JPH02216626A - 光学式走査装置 - Google Patents
光学式走査装置Info
- Publication number
- JPH02216626A JPH02216626A JP1321620A JP32162089A JPH02216626A JP H02216626 A JPH02216626 A JP H02216626A JP 1321620 A JP1321620 A JP 1321620A JP 32162089 A JP32162089 A JP 32162089A JP H02216626 A JPH02216626 A JP H02216626A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- grating
- radiation
- sub
- scanning device
- optical scanning
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims description 45
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims abstract description 126
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 53
- 201000009310 astigmatism Diseases 0.000 claims description 14
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 abstract 2
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 21
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 10
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 9
- 238000000034 method Methods 0.000 description 7
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 4
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 3
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 3
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 3
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- 229920002994 synthetic fiber Polymers 0.000 description 3
- 206010010071 Coma Diseases 0.000 description 2
- 230000009471 action Effects 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 1
- 239000012141 concentrate Substances 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 1
- 230000005469 synchrotron radiation Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/08—Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers
- G11B7/09—Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers with provision for moving the light beam or focus plane for the purpose of maintaining alignment of the light beam relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/12—Heads, e.g. forming of the optical beam spot or modulation of the optical beam
- G11B7/135—Means for guiding the beam from the source to the record carrier or from the record carrier to the detector
- G11B7/1353—Diffractive elements, e.g. holograms or gratings
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/08—Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers
- G11B7/09—Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers with provision for moving the light beam or focus plane for the purpose of maintaining alignment of the light beam relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following
- G11B7/0901—Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers with provision for moving the light beam or focus plane for the purpose of maintaining alignment of the light beam relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following for track following only
- G11B7/0903—Multi-beam tracking systems
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/08—Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers
- G11B7/09—Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers with provision for moving the light beam or focus plane for the purpose of maintaining alignment of the light beam relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following
- G11B7/0908—Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers with provision for moving the light beam or focus plane for the purpose of maintaining alignment of the light beam relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following for focusing only
- G11B7/0909—Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers with provision for moving the light beam or focus plane for the purpose of maintaining alignment of the light beam relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following for focusing only by astigmatic methods
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/08—Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers
- G11B7/09—Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers with provision for moving the light beam or focus plane for the purpose of maintaining alignment of the light beam relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following
- G11B7/0908—Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers with provision for moving the light beam or focus plane for the purpose of maintaining alignment of the light beam relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following for focusing only
- G11B7/0916—Foucault or knife-edge methods
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/12—Heads, e.g. forming of the optical beam spot or modulation of the optical beam
- G11B7/135—Means for guiding the beam from the source to the record carrier or from the record carrier to the detector
- G11B7/1362—Mirrors
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/12—Heads, e.g. forming of the optical beam spot or modulation of the optical beam
- G11B7/135—Means for guiding the beam from the source to the record carrier or from the record carrier to the detector
- G11B7/1381—Non-lens elements for altering the properties of the beam, e.g. knife edges, slits, filters or stops
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/12—Heads, e.g. forming of the optical beam spot or modulation of the optical beam
- G11B7/135—Means for guiding the beam from the source to the record carrier or from the record carrier to the detector
- G11B7/1372—Lenses
- G11B2007/13727—Compound lenses, i.e. two or more lenses co-operating to perform a function, e.g. compound objective lens including a solid immersion lens, positive and negative lenses either bonded together or with adjustable spacing
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Optical Recording Or Reproduction (AREA)
- Optical Head (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
- Diffracting Gratings Or Hologram Optical Elements (AREA)
- Lenses (AREA)
- Automatic Focus Adjustment (AREA)
- Facsimile Scanning Arrangements (AREA)
- Radiography Using Non-Light Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、物体を光学的に走査する走査装置であって、
走査ビームを供給する放射光源と、走査ビームを走査ス
ポットに集束させるミラー対物レンズと、走査させるべ
き物体からの放射光を受光する放射光感知検出系とを具
える光学式走査装置に関するものである。
走査ビームを供給する放射光源と、走査ビームを走査ス
ポットに集束させるミラー対物レンズと、走査させるべ
き物体からの放射光を受光する放射光感知検出系とを具
える光学式走査装置に関するものである。
また、本発明は、この走査装置に使用するにふされしい
ミラー対物レンズ並びにかかる装置を具えた光学式書込
み及び／又は読取り装置に関するものである。
ミラー対物レンズ並びにかかる装置を具えた光学式書込
み及び／又は読取り装置に関するものである。
（従来の技術）
走査さるべき物体は光学式記録担体の情報面とすること
ができる。この情報面は走査装置により読取られる予め
記録した情報を有することができる。その代わりに、書
込まれるべき情報に従って強度変調された走査ビームに
より情報面を書込むこともできる。上記物体は、その構
造が例えば走査装置がその一部を形成する走査型顕微鏡
によって検査されなければならない任意の種々の物体で
あってもよい。
ができる。この情報面は走査装置により読取られる予め
記録した情報を有することができる。その代わりに、書
込まれるべき情報に従って強度変調された走査ビームに
より情報面を書込むこともできる。上記物体は、その構
造が例えば走査装置がその一部を形成する走査型顕微鏡
によって検査されなければならない任意の種々の物体で
あってもよい。
光学式記録担体を読取るだめの冒頭に述べたような走査
装置は英国特許明細書筒１，５４１，５９６号より既知
である。この明細書は反射面が互いに対向する２個のミ
ラーから成る対物レンズを具えた光学式走査装置につい
て述べている。一方の凹面でその反射側は記録担体と対
向している。他方のミラーはより小さく凸面でその反射
側は放射光源に而している。放射光源からの放射光は、
より大きな凹面ミラー内の通路を経て凸面ミラーに入射
する。ついで、放射光は凹面ミラー方向に反射され、こ
のミラーによって記録担体の情報面にスポットとして集
束する。
装置は英国特許明細書筒１，５４１，５９６号より既知
である。この明細書は反射面が互いに対向する２個のミ
ラーから成る対物レンズを具えた光学式走査装置につい
て述べている。一方の凹面でその反射側は記録担体と対
向している。他方のミラーはより小さく凸面でその反射
側は放射光源に而している。放射光源からの放射光は、
より大きな凹面ミラー内の通路を経て凸面ミラーに入射
する。ついで、放射光は凹面ミラー方向に反射され、こ
のミラーによって記録担体の情報面にスポットとして集
束する。
既知の対物レンズは記録担体に対する対物レンズの位置
を制御する磁気コイル内に懸吊される２段集束系の一部
を形成している。小さい方のミラーは圧電材料片上に取
付けられ、それによって上下に移動することもでき、こ
の結果情報面に微小範囲のデフォーカスを発生し、この
デフォーカスを検出装置によって検出し、その出力信号
からフォーカスエラー信号を取出し、このフォーカスエ
ラー信号を用いて磁気コイルによって対物レンズの位置
を再調整するように構成されている。
を制御する磁気コイル内に懸吊される２段集束系の一部
を形成している。小さい方のミラーは圧電材料片上に取
付けられ、それによって上下に移動することもでき、こ
の結果情報面に微小範囲のデフォーカスを発生し、この
デフォーカスを検出装置によって検出し、その出力信号
からフォーカスエラー信号を取出し、このフォーカスエ
ラー信号を用いて磁気コイルによって対物レンズの位置
を再調整するように構成されている。
２個の個別のミラーを互いに緊密な作業関係で使用する
ことによって公知の走査装置は幾分複雑な構造を有し、
機械的動揺に対して敏感に対応する欠点がある。
ことによって公知の走査装置は幾分複雑な構造を有し、
機械的動揺に対して敏感に対応する欠点がある。
本発明の目的は、コンパクトで堅固であるだけでなく、
ミラー対物レンズに特別な素子を設けこの特別な素子に
よって放射ビームを適当な形状のものとし、正確な走査
動作に必要とされる複数の機能を果たすように構成した
走査装置を提供することである。
ミラー対物レンズに特別な素子を設けこの特別な素子に
よって放射ビームを適当な形状のものとし、正確な走査
動作に必要とされる複数の機能を果たすように構成した
走査装置を提供することである。
このため、本発明の走査装置は、ミラー対物レンズが放
射源に面する第１の面と、放射源から離れた第２の面を
有する放射光透過体を具え、前記第１の面がミラー対物
レンズの光軸に対称に配置された第１の放射窓と、この
窓を包囲する第１の反射体とを有し、前記第２の面が光
軸に対称に配置された第２の反射体と、前記検出器を包
囲する第２の放射窓とを有し、第１の放射窓が放射源に
より供給される放射ビームから走査ビームと２本の補助
ビームとを形成する第１の回折素子を支持し、前記第２
の反射体が、走査される物体により反射した放射光の一
部を回折させ再び対物レンズを経て放射感知検出系方向
へ向かわせると共に、回折した走査光をフォーカスエラ
ー信号が検出系によって導出できるように変形させる第
２の回折素子を支持することを特徴とする。
射源に面する第１の面と、放射源から離れた第２の面を
有する放射光透過体を具え、前記第１の面がミラー対物
レンズの光軸に対称に配置された第１の放射窓と、この
窓を包囲する第１の反射体とを有し、前記第２の面が光
軸に対称に配置された第２の反射体と、前記検出器を包
囲する第２の放射窓とを有し、第１の放射窓が放射源に
より供給される放射ビームから走査ビームと２本の補助
ビームとを形成する第１の回折素子を支持し、前記第２
の反射体が、走査される物体により反射した放射光の一
部を回折させ再び対物レンズを経て放射感知検出系方向
へ向かわせると共に、回折した走査光をフォーカスエラ
ー信号が検出系によって導出できるように変形させる第
２の回折素子を支持することを特徴とする。
本走査装置は、ミラー対物レンズ内の光路が折り曲がり
、このミラー対物レンズが一体より成るというだけでな
く、このミラー対物レンズ内に従来公知の装置において
個別の素子であり別個に取付けなければならない素子が
組込まれているために、コンパクトで堅固である。
、このミラー対物レンズが一体より成るというだけでな
く、このミラー対物レンズ内に従来公知の装置において
個別の素子であり別個に取付けなければならない素子が
組込まれているために、コンパクトで堅固である。
第１の回折素子により形成される補助ビームは、ミラー
対物レンズにより情報面内の被走査トラックの２個の異
なる周縁上に位置する２つの補助スポットに集束される
。それぞれの補助スポットは検出系の個別の検出器上に
再結像される。トラッキングエラー信号、即ち走査スポ
ットの中心と被走査トラックの中心線との間の偏差の大
きさ及び方向を表示する信号は、上記２個の検出器の出
力信号間の差から導き出すことができる。
対物レンズにより情報面内の被走査トラックの２個の異
なる周縁上に位置する２つの補助スポットに集束される
。それぞれの補助スポットは検出系の個別の検出器上に
再結像される。トラッキングエラー信号、即ち走査スポ
ットの中心と被走査トラックの中心線との間の偏差の大
きさ及び方向を表示する信号は、上記２個の検出器の出
力信号間の差から導き出すことができる。
第２の回折素子は走査した物体で反射した放射光の一部
を回折すると共に検出系に向けて対物レンズを通過させ
、この放射ビームからの１本の非点収差ビーム、又は２
本の副ビームを形成する。
を回折すると共に検出系に向けて対物レンズを通過させ
、この放射ビームからの１本の非点収差ビーム、又は２
本の副ビームを形成する。
検出系と共働させることにより、フォーカスエラー信号
はこの非点収差ビームにより、もしくは２本の補助ビー
ムにより導き出すことができる。
はこの非点収差ビームにより、もしくは２本の補助ビー
ムにより導き出すことができる。
フォーカスエラー信号は、ミラー対物レンズの集束面と
走査さるべき面との間の偏差の大きさ及び方向を表示す
る信号である。
走査さるべき面との間の偏差の大きさ及び方向を表示す
る信号である。
光学式走査装置おいて、走査ビームに加えてトラッキン
グエラー信号を発生させる２本の補助ビームを発生させ
る回折格子を用いることは、米国特許第３，８７６．８
４２号より既知である点に注意されたい。然しなから、
既知装置においては、第２の回折格子を用いて投射され
たビームと反射したビームとを分離すること並びにフォ
ーカスエラー信号を発生させる技術は開示されていない
。
グエラー信号を発生させる２本の補助ビームを発生させ
る回折格子を用いることは、米国特許第３，８７６．８
４２号より既知である点に注意されたい。然しなから、
既知装置においては、第２の回折格子を用いて投射され
たビームと反射したビームとを分離すること並びにフォ
ーカスエラー信号を発生させる技術は開示されていない
。
更に、上記既知装置は、第１の格子を適切に支持するミ
ラー対物レンズを具えてはいない。
ラー対物レンズを具えてはいない。
投射されたビームと反射したビームとを分離し、反射ビ
ームを２本の副ビームに分割してフォーカスエラー信号
を発生させるために光学式走査装置内に回折格子を使用
すること自体もまた米国特許第４，６６５，３１０号よ
り既知である。然しなから、米国特許第４，６６５，３
１０号による装置の場合、２本の補助ビームを形成して
トラッキングエラー信号を発生させるための特別な回折
素子は使用されていない。
ームを２本の副ビームに分割してフォーカスエラー信号
を発生させるために光学式走査装置内に回折格子を使用
すること自体もまた米国特許第４，６６５，３１０号よ
り既知である。然しなから、米国特許第４，６６５，３
１０号による装置の場合、２本の補助ビームを形成して
トラッキングエラー信号を発生させるための特別な回折
素子は使用されていない。
本発明においては、所望の結像作用を得るために所定の
厚さを有するミラー対物レンズの２個の面上に２個の回
折素子を形成しても、第２の回折格子で発生し放射感知
検出系に進行するビームが第１の回折素子によってさら
に別の副ビームに分割されないことが重要である。
厚さを有するミラー対物レンズの２個の面上に２個の回
折素子を形成しても、第２の回折格子で発生し放射感知
検出系に進行するビームが第１の回折素子によってさら
に別の副ビームに分割されないことが重要である。
従って、検出系上に形成した放射スポットの数は限定さ
れたままのものとなり、この結果検出系の形状は比較的
簡単な構成のものとすることができる。更に、相異なる
信号を発生させるために必要な放射スポットにおけるエ
ネルギーは依然十分大きなものとなる。
れたままのものとなり、この結果検出系の形状は比較的
簡単な構成のものとすることができる。更に、相異なる
信号を発生させるために必要な放射スポットにおけるエ
ネルギーは依然十分大きなものとなる。
回折素子は例えば光透過性又は反射性の区域と光吸収性
の区域とを交互に形成した形態の振幅構体を有すること
ができる。然しなから、望ましい走査装置例は回折素子
が位相構造を有する点に特徴をもっている。
の区域とを交互に形成した形態の振幅構体を有すること
ができる。然しなから、望ましい走査装置例は回折素子
が位相構造を有する点に特徴をもっている。
かかる位相構体は例えば面内により高く位置する区域と
低い所に位置した区域とを交互に具え、原理的に振幅構
体よりも高い回折効率を有する。
低い所に位置した区域とを交互に具え、原理的に振幅構
体よりも高い回折効率を有する。
回折素子は投射レンズの表面上に設けられるため、上記
位相構体は公知の加圧レプリカ技法により比較的箔単に
形成することができる。
位相構体は公知の加圧レプリカ技法により比較的箔単に
形成することができる。
本発明による走査装置には種々のフォーカスエラー検出
方法を使用することができる。第１の可能性は、第２の
回折素子が非点収差を発生する素子であって、放射感知
検出系が、回折した走査ビームの主光線のまわりに４分
割した区域に配置した４個の検出器を具えることを特徴
とする装置である。
方法を使用することができる。第１の可能性は、第２の
回折素子が非点収差を発生する素子であって、放射感知
検出系が、回折した走査ビームの主光線のまわりに４分
割した区域に配置した４個の検出器を具えることを特徴
とする装置である。
第２の回折素子により回折した走査ビームは非点収差ビ
ームに変換され、再結像された放射スポットの形状は情
報面内の走査ビームの合焦の程度により決定される。
ームに変換され、再結像された放射スポットの形状は情
報面内の走査ビームの合焦の程度により決定される。
デフォーカスの場合には、この放射スポットは、長袖が
デフォーカスの符号に応じて２つの互いに直交する方向
（以下非点収差方向と称する）の−方の方向に位置する
楕円スポットに変形される。
デフォーカスの符号に応じて２つの互いに直交する方向
（以下非点収差方向と称する）の−方の方向に位置する
楕円スポットに変形される。
４分割した検出器の分割線はほぼ４５°の角度で非点収
差方向へ延在する。
差方向へ延在する。
放射スポットの形状は、それぞれ一対の対角線状に配置
された検出器の出力信号の和を決定すると共にこれら２
個の和信号を互いに減算することによって確立される。
された検出器の出力信号の和を決定すると共にこれら２
個の和信号を互いに減算することによって確立される。
非点収差を発生させる素子は、非平行ビーム内に配置す
ることにより所定の範囲の非点収差を発生させる線形格
子とすることができる。それより大きな範囲の非点収差
は、非点収差を発生させる素子が直線状の格子ストリッ
プと線形に変形する格子周期を有する回折格子であると
いう特徴をもった実施例の中に実現することができる。
ることにより所定の範囲の非点収差を発生させる線形格
子とすることができる。それより大きな範囲の非点収差
は、非点収差を発生させる素子が直線状の格子ストリッ
プと線形に変形する格子周期を有する回折格子であると
いう特徴をもった実施例の中に実現することができる。
望ましい装買例は、回折素子が湾曲した格子ストリップ
と非線形に変化する格子周期を有するいわゆるホログラ
フィック格子によって光学系の収差を補正することが可
能になる。
と非線形に変化する格子周期を有するいわゆるホログラ
フィック格子によって光学系の収差を補正することが可
能になる。
フォーカスエラー信号を発生させる４分割検出器と共に
線形に変化する格子周期を有する回折格子を使用するこ
と自体は米国特許第４．３５８．２００号より既知であ
ることを指摘しておきたい。然しなから、上記特許によ
る装置は２本の補助ビームを形成するための第２の回折
格子を具えていない。
線形に変化する格子周期を有する回折格子を使用するこ
と自体は米国特許第４．３５８．２００号より既知であ
ることを指摘しておきたい。然しなから、上記特許によ
る装置は２本の補助ビームを形成するための第２の回折
格子を具えていない。
感温性及び制御の容易さに関する限り、上記の所謂非点
収差法に好適なフォーカスエラー検出の第２の可能性は
、第２の回折素子が２個の副格子を具え、回折した走査
ビームを２本の副ビームに分割する回折格子とし、複合
検出系が、２組の検出器対を具え、第１及び第２の副ビ
ームがそれぞれ第１及び第２の検出器対と共働する点に
特徴を有する実施例により実現される。
収差法に好適なフォーカスエラー検出の第２の可能性は
、第２の回折素子が２個の副格子を具え、回折した走査
ビームを２本の副ビームに分割する回折格子とし、複合
検出系が、２組の検出器対を具え、第１及び第２の副ビ
ームがそれぞれ第１及び第２の検出器対と共働する点に
特徴を有する実施例により実現される。
本装置では、走査スポットは２個の放射スポットとして
検出器対に再結像される。各放射スポットは、情報面に
対する走査ビームのフォーカスエラーに応じてそれと関
連する検出器対の分割線と直交する方向にシフトする。
検出器対に再結像される。各放射スポットは、情報面に
対する走査ビームのフォーカスエラーに応じてそれと関
連する検出器対の分割線と直交する方向にシフトする。
この変位は検出器の出力信号を比較することによって検
出することができる。このフォーカスエラー検出方法は
ダブルフーコー法として知られている。
出することができる。このフォーカスエラー検出方法は
ダブルフーコー法として知られている。
最後に述べた装置の望ましい実施例の特徴は、副格子が
、変化する格子周期を有し副格子の格子ストリップが湾
曲していることである。
、変化する格子周期を有し副格子の格子ストリップが湾
曲していることである。
格子周期が変化し格子ストリップが湾曲しているために
、複合回折格子はレンズ作用を存し、この格子を副格子
の境界線方向に変位させることによって放射スポットの
エネルギー分布を関連する検出器対に対して対称にする
ことができる。対物レンズ系と回折格子との組立体の結
像距離が、ダイオードレーザと検出器との間の光軸方向
の距離に適合しているためである。この構成は、ホトダ
イオードの形態の検出器とダイオードレーザとを１個の
部品に結合し互いに固定する場合に特に重要である。変
化する格子周期と湾曲した格子ストリップ（そのストリ
ップはホログラムとも称される）を有する複合格子は、
直線状の格子ストリップを有する格子を使用する際に生
ずるコマ（収差）や非点収差の如き結像誤差を補正する
ことができる。フーコーフォーカスエラー検出法が使用
される走査装置には原理的に２個の実施例がある。第１
の実施例の特徴は、一つの副格子の格子ストリップが他
の副格子の格子ストリップと同一の主方向を有し、副格
子の平均格子周期がそれぞれ異なり、検出器対が副格子
間の境界線に対して平行な方向に並列している点である
。本実施例の場合、走査ビームの副ビームは同一方向で
あって異なる角度で回折する。
、複合回折格子はレンズ作用を存し、この格子を副格子
の境界線方向に変位させることによって放射スポットの
エネルギー分布を関連する検出器対に対して対称にする
ことができる。対物レンズ系と回折格子との組立体の結
像距離が、ダイオードレーザと検出器との間の光軸方向
の距離に適合しているためである。この構成は、ホトダ
イオードの形態の検出器とダイオードレーザとを１個の
部品に結合し互いに固定する場合に特に重要である。変
化する格子周期と湾曲した格子ストリップ（そのストリ
ップはホログラムとも称される）を有する複合格子は、
直線状の格子ストリップを有する格子を使用する際に生
ずるコマ（収差）や非点収差の如き結像誤差を補正する
ことができる。フーコーフォーカスエラー検出法が使用
される走査装置には原理的に２個の実施例がある。第１
の実施例の特徴は、一つの副格子の格子ストリップが他
の副格子の格子ストリップと同一の主方向を有し、副格
子の平均格子周期がそれぞれ異なり、検出器対が副格子
間の境界線に対して平行な方向に並列している点である
。本実施例の場合、走査ビームの副ビームは同一方向で
あって異なる角度で回折する。
第２の実施例の特徴は、副格子が同一の平均格子周期を
有する一方、一つの副格子の格子ストリップの主方向が
第１の角度で延在し、他方の副格子の主方向が２つの副
格子の間の境界線に対して第２の角度で延在し、検出器
対が上記境界線の方向と直交する方向に並列されている
点にある。走査ビームの副ビームは同一の角度で異なる
方向に回折することが望ましい。本実施例はその組立許
容公差、調節の容易さ安定性のために先の実施例よりも
好ましい。
有する一方、一つの副格子の格子ストリップの主方向が
第１の角度で延在し、他方の副格子の主方向が２つの副
格子の間の境界線に対して第２の角度で延在し、検出器
対が上記境界線の方向と直交する方向に並列されている
点にある。走査ビームの副ビームは同一の角度で異なる
方向に回折することが望ましい。本実施例はその組立許
容公差、調節の容易さ安定性のために先の実施例よりも
好ましい。
ミラー対物レンズの球面収差が十分に補正され更に申し
分なく製作できる望ましい走査装置例の特徴は第２の放
射窓が非球面を有する点にある。
分なく製作できる望ましい走査装置例の特徴は第２の放
射窓が非球面を有する点にある。
レンズ系の非球面は、基本形が球面であるが、その実際
の形状は球面かられずかにずれ、球面を有するレンズ素
子を使用した場合に生ずる球面収差を補正できるように
したレンズ素子の面を意味するものと解すべき・である
。球面状の基本形は、また非常に大きな曲率半径を有す
ることによって上記非球面が平坦な基本形を有するよう
になっている。放射窓を非球面形にすることの利点は、
非球面の形の精度が例えば反射面が非球面とされる場合
に必要とされる場合の精度よりも相当小さく、例えば６
分の１にすることができる点である。
の形状は球面かられずかにずれ、球面を有するレンズ素
子を使用した場合に生ずる球面収差を補正できるように
したレンズ素子の面を意味するものと解すべき・である
。球面状の基本形は、また非常に大きな曲率半径を有す
ることによって上記非球面が平坦な基本形を有するよう
になっている。放射窓を非球面形にすることの利点は、
非球面の形の精度が例えば反射面が非球面とされる場合
に必要とされる場合の精度よりも相当小さく、例えば６
分の１にすることができる点である。
走査装置にミラー対物レンズを使用することは、放射光
源と検出系の位置決めに関して一層有利なものとするこ
とができる。
源と検出系の位置決めに関して一層有利なものとするこ
とができる。
例えば、走査装置の一例は、更に放射源が第１の放射窓
に連結されている点に特徴を有する。上記放射窓は（放
射光放出面が第１の放射窓に対向配置した半導体レーザ
とする。また上記放射光源は光ファイバを介してこの放
射窓に接続するようにしてもよい。
に連結されている点に特徴を有する。上記放射窓は（放
射光放出面が第１の放射窓に対向配置した半導体レーザ
とする。また上記放射光源は光ファイバを介してこの放
射窓に接続するようにしてもよい。
もう一つの走査装置例は、放射光に感知検出系が第１の
放射窓に結合される点に特徴がある。
放射窓に結合される点に特徴がある。
放射源、光ファイバもしくは放射感知検出系は例えば透
明接着剤によって第１の放射窓に固定することができる
。この結果、走査装置の光学部分全体を収納する一つの
コンパクトで堅固な一体的な部品が得られる。
明接着剤によって第１の放射窓に固定することができる
。この結果、走査装置の光学部分全体を収納する一つの
コンパクトで堅固な一体的な部品が得られる。
走査装置は種々の型式の放射源で構成でき単一のダイオ
ードレーザ、ダイオードレーザアレイ、又は光ファイバ
によってミラー対物レンズに直接又は間接的に結合され
ることができる放射源で構成できる。
ードレーザ、ダイオードレーザアレイ、又は光ファイバ
によってミラー対物レンズに直接又は間接的に結合され
ることができる放射源で構成できる。
添付図面について本発明の実施例を詳説する。
（実施例）
第１図は円形ディスク状の記録担体１の接線方向断面の
一部を示す。この記録担体は透明基板２と放射反射性情
報面３を具えている。情報トラック （その一つのみを
第１図に示す）を情報面内に形成する。記録担体が情報
で書込まれている場合、各トラックはトラック方向に沿
って複数の情報区域６と中間区域７とを交互に有し、上
記情報は順次の情報区域と中間区域とによって規定され
る。
一部を示す。この記録担体は透明基板２と放射反射性情
報面３を具えている。情報トラック （その一つのみを
第１図に示す）を情報面内に形成する。記録担体が情報
で書込まれている場合、各トラックはトラック方向に沿
って複数の情報区域６と中間区域７とを交互に有し、上
記情報は順次の情報区域と中間区域とによって規定され
る。
第１図に示す如く、情報構体は位相構体とすることがで
きる。一方、情報構体は振幅構体とすることもできる。
きる。一方、情報構体は振幅構体とすることもできる。
情報構体は保護層８でコーチングすることができる。
情報面は、例えばダイオードレーザから成る放射源から
発注する走査ビームｂｌにより走査する。
発注する走査ビームｂｌにより走査する。
このビームは対物レンズ系１０により情報面内の走査ス
ポラ）Ｖ＋に集束する。記録担体を、この記録担体に対
して垂直で光軸ＡＡ’に対して平行でかつ座標系ＸＹＺ
の方向Ｚに対して平行な軸を中心にして回転させると、
走査スポットν１が情報トラックを走査する。情報面全
体は、走査スポットと記録担体を互いに径方向へ運動さ
せることによって走査することができる。
ポラ）Ｖ＋に集束する。記録担体を、この記録担体に対
して垂直で光軸ＡＡ’に対して平行でかつ座標系ＸＹＺ
の方向Ｚに対して平行な軸を中心にして回転させると、
走査スポットν１が情報トラックを走査する。情報面全
体は、走査スポットと記録担体を互いに径方向へ運動さ
せることによって走査することができる。
対物レンズ系はミラー対物レンズであり、放射源側の第
１の屈折面１２と記録担体側の第２の屈折面１３とで規
定される放射透過体を具える。
１の屈折面１２と記録担体側の第２の屈折面１３とで規
定される放射透過体を具える。
第１の面は光軸を中心にして対称的に配置した第２の反
射体Ｉ４を有している。この窓を反射部分１５で包囲す
る。第２面１３は光軸を中心にして対称的に位置する第
２反射体１６とこの反射体を包囲する放射窓１７とを有
している。
射体Ｉ４を有している。この窓を反射部分１５で包囲す
る。第２面１３は光軸を中心にして対称的に位置する第
２反射体１６とこの反射体を包囲する放射窓１７とを有
している。
走査ビームｂ、は第１の窓１４を経て対物レンズ１０に
入射し、第２の反射体により反射するので、既に発散し
ている走査ビームはさらに発散することになる。従って
、このビームは第１の反射体１５のほぼ全面にわたり、
この反射体１５により走査ビームは集束ビームとなり、
第２窓１７及び透明基板２を経て情報面３上に走査スポ
ットとして集束する。
入射し、第２の反射体により反射するので、既に発散し
ている走査ビームはさらに発散することになる。従って
、このビームは第１の反射体１５のほぼ全面にわたり、
この反射体１５により走査ビームは集束ビームとなり、
第２窓１７及び透明基板２を経て情報面３上に走査スポ
ットとして集束する。
情報面により反射され対物レンズ系に入射した放射光は
、ミラー対物レンズを反対方向に通過し、放射スポラｌ
”Ｖ＋、＋として集束する。上記放射スポットｖ１．１
は、その他の処理を受けない場合、放射源９の出射面に
入射することになる。後述するように、反射ビームｂ
、 ｌ は投射ビームｂ、から分離される。放射感知検
出系２０はビームｂ、＋ の光路内に配置する。記録担
体を読取る間に、反射した走査ビームｂ、 Ｉ は読取
られた情報に従って強度変調され、放射感知検出系は強
度変調を電気信号に変換し、この電気信号に基づいて更
に処理操作を行うことができる。
、ミラー対物レンズを反対方向に通過し、放射スポラｌ
”Ｖ＋、＋として集束する。上記放射スポットｖ１．１
は、その他の処理を受けない場合、放射源９の出射面に
入射することになる。後述するように、反射ビームｂ
、 ｌ は投射ビームｂ、から分離される。放射感知検
出系２０はビームｂ、＋ の光路内に配置する。記録担
体を読取る間に、反射した走査ビームｂ、 Ｉ は読取
られた情報に従って強度変調され、放射感知検出系は強
度変調を電気信号に変換し、この電気信号に基づいて更
に処理操作を行うことができる。
ミラー対物レンズ１０により集束されたビームは球面収
差を呈する。米国特許第４，６６８，０５６号より周知
の如く、非球面を使用することによってこの収差を補正
することができる。反射面１５を非球面とすれば、比較
的大きな回折結像視野が得られることは自明である。一
方、本発明では放射窓１４゜１７の一方もしくは双方の
面を非球面とする。この場合結像視野は小さくなるけれ
ども、観察しようとする物体については回折スポットに
よって面を走査することにより結像視野は依然として十
分大きいことが判明している。放射窓を非球面にする大
きな利点は、非球面系の精度に課せられるべき条件が反
射面に対する条件よりもあまり厳しくなくてすむという
点である。光が透過する場合における非球面の場合、そ
の形状許容公差は ２ｎ。
差を呈する。米国特許第４，６６８，０５６号より周知
の如く、非球面を使用することによってこの収差を補正
することができる。反射面１５を非球面とすれば、比較
的大きな回折結像視野が得られることは自明である。一
方、本発明では放射窓１４゜１７の一方もしくは双方の
面を非球面とする。この場合結像視野は小さくなるけれ
ども、観察しようとする物体については回折スポットに
よって面を走査することにより結像視野は依然として十
分大きいことが判明している。放射窓を非球面にする大
きな利点は、非球面系の精度に課せられるべき条件が反
射面に対する条件よりもあまり厳しくなくてすむという
点である。光が透過する場合における非球面の場合、そ
の形状許容公差は ２ｎ。
倍だけ反射の場合の公差よりも大きい。この場合、ｎｌ
はレンズ材質の屈折率であってｎ２は周囲媒質の屈折率
である。
はレンズ材質の屈折率であってｎ２は周囲媒質の屈折率
である。
ミラー対物レンズの放射窓１４．１６の一方もしくは双
方に非球面形を付与するためには、従来レンズの表面に
非球面形を付与するための米国特許第４．６６８，０５
６号に述べられた技術を使用することができる。その場
合、放射窓の非球面が、球面上に設けられる透明な合成
材料の非球面形外側面により構成されるミラー対物レン
ズが得られる。
方に非球面形を付与するためには、従来レンズの表面に
非球面形を付与するための米国特許第４．６６８，０５
６号に述べられた技術を使用することができる。その場
合、放射窓の非球面が、球面上に設けられる透明な合成
材料の非球面形外側面により構成されるミラー対物レン
ズが得られる。
上記合成材料はポリマー化可能な合成材料、例えば窓上
に液体状で形成され金型により所望の形状とされる紫外
線放射の作用により硬化されるものでよい。
に液体状で形成され金型により所望の形状とされる紫外
線放射の作用により硬化されるものでよい。
第１図による実施例の場合、より大きな窓１７は非球面
１８を有している。この実施例は、第１の実施例におけ
る回折によって限定された画像視野が第２の実施例の場
合よりも大きいため、小さい方の窓１４が非球面状であ
る第２の実施例よりも好ましい。
１８を有している。この実施例は、第１の実施例におけ
る回折によって限定された画像視野が第２の実施例の場
合よりも大きいため、小さい方の窓１４が非球面状であ
る第２の実施例よりも好ましい。
表面を走査する際、走査ビームは常にこの表面上に鋭く
集束させる必要がある。このため、この走査装置は対物
レンズの焦点面と走査さるべき表面との間の偏差を検出
する手段を具える必要がある。これらの検出手段により
供給される信号すなわちフォーカスエラー信号を用いて
例えばミラー対物レンズと走査さるべき表面とを光軸に
沿って互いに変位させることによりフォーカシング補正
することができる。更に、表面から発し対物レンズによ
り受光される放射光を、放射源より発する放射光から分
離する必要がある。最後に、特に情報トラックを有する
情報面を走査する場合、走査スポットの中心をつねに走
査されるトラックの中心線と一致させる必要がある。こ
のため、本装置は走査スポットの中心とトラックの中心
線との間の偏差を検出する手段、即ちトラッキングエラ
ー信号を発生する手段を具える必要がある。その場合に
は、トラック中心線に対する走査点の位置は、例えば、
情報面と放射光源９、対物レンズ１０および検出系２０
を具える光学式読取装置と情報面とを径方向、すなわち
第１図のＸ方向に互いに変位させる信号により補正する
ことができる。
集束させる必要がある。このため、この走査装置は対物
レンズの焦点面と走査さるべき表面との間の偏差を検出
する手段を具える必要がある。これらの検出手段により
供給される信号すなわちフォーカスエラー信号を用いて
例えばミラー対物レンズと走査さるべき表面とを光軸に
沿って互いに変位させることによりフォーカシング補正
することができる。更に、表面から発し対物レンズによ
り受光される放射光を、放射源より発する放射光から分
離する必要がある。最後に、特に情報トラックを有する
情報面を走査する場合、走査スポットの中心をつねに走
査されるトラックの中心線と一致させる必要がある。こ
のため、本装置は走査スポットの中心とトラックの中心
線との間の偏差を検出する手段、即ちトラッキングエラ
ー信号を発生する手段を具える必要がある。その場合に
は、トラック中心線に対する走査点の位置は、例えば、
情報面と放射光源９、対物レンズ１０および検出系２０
を具える光学式読取装置と情報面とを径方向、すなわち
第１図のＸ方向に互いに変位させる信号により補正する
ことができる。
上記作用を実行するために、本発明によるミラー対物レ
ンズは第１の放射窓１４上に配置した第１の放射透過性
回折素子３０と第２の反射体１６上に配置した第２の反
射性回折素子４０とを具える。この場合、ミラー対物レ
ンズが、所定の厚さを有しているので２個の回折素子が
所望の最小距離よりも大きな相互距離で存在し、しかも
第１の回折素子３０が放射光源に近接して配置され従っ
て小さな寸法とすることができる。
ンズは第１の放射窓１４上に配置した第１の放射透過性
回折素子３０と第２の反射体１６上に配置した第２の反
射性回折素子４０とを具える。この場合、ミラー対物レ
ンズが、所定の厚さを有しているので２個の回折素子が
所望の最小距離よりも大きな相互距離で存在し、しかも
第１の回折素子３０が放射光源に近接して配置され従っ
て小さな寸法とすることができる。
回折素子４０、例えば回折格子を米国特許第４８６６５
．３１０号に述べられた既知の方法で用い、所望のビー
ム分離を実現すると共に反射ビームをフォーカスエラー
信号を発生するために適当な形状とする。この回折格子
は、情報面３により反射され対物レンズ系１０を通過す
る走査ビームを非回折零次副ビームと複数の一次及び高
次の副ビームに分割する。
．３１０号に述べられた既知の方法で用い、所望のビー
ム分離を実現すると共に反射ビームをフォーカスエラー
信号を発生するために適当な形状とする。この回折格子
は、情報面３により反射され対物レンズ系１０を通過す
る走査ビームを非回折零次副ビームと複数の一次及び高
次の副ビームに分割する。
これらのビームの一つ、特に−次側ビームは放射感知検
出系上に入射し、フォーカスエラー信号を発生するため
に使用される。格子パラメータ、特に格子ストリップの
幅と中間格子ストリップの幅の比及び格子溝の深さ及び
形状は、放射光の最大量が検出系に入射するように選択
することができる。
出系上に入射し、フォーカスエラー信号を発生するため
に使用される。格子パラメータ、特に格子ストリップの
幅と中間格子ストリップの幅の比及び格子溝の深さ及び
形状は、放射光の最大量が検出系に入射するように選択
することができる。
第２図は既知の放射感知検出系２０及びそれと関連する
回折格子４０の斜視図を示す。ビームｂ、は、格子４０
の領域における断面として示す。この格子４０は境界線
４１により互いに分離された２本の副格子４２と４３を
具える。副格子の格子ストリップはそれぞれ参照番号４
４．４５により示される。これらの格子ストリップは中
間ストリップ４６．４７により分離する。本例において
、副格子は同一の格子周期を有するが、副格子４２の湾
曲した格子ストリップ４４の主方向は境界ｖＡ４１に対
して第１の角度で延在し、第２の副格子４３の湾曲した
格子ストリップ４５の主方向は境界線に対して第２の、
殊に大きさが等しいが反対の角度で延在する。副ビーム
はほぼ主方向と直交する方向に回折される。主方向は互
いに異なっているため、副ビームｂ＋、 Ｉとｂｌ、２
はＹＺ面内で異なる角度で回折する。すなわち、検出器
面すなわち、ＹＸ面内において放射スポットＬ＋１及び
Ｖ３．、はＹ方向に互いに変位する。本図及びその他の
図において、基準値ｘ、ｙ、ｚはその原点Ｏがダイオー
ドレーザの９の放射面の中心と一致する座標系軸である
。
回折格子４０の斜視図を示す。ビームｂ、は、格子４０
の領域における断面として示す。この格子４０は境界線
４１により互いに分離された２本の副格子４２と４３を
具える。副格子の格子ストリップはそれぞれ参照番号４
４．４５により示される。これらの格子ストリップは中
間ストリップ４６．４７により分離する。本例において
、副格子は同一の格子周期を有するが、副格子４２の湾
曲した格子ストリップ４４の主方向は境界ｖＡ４１に対
して第１の角度で延在し、第２の副格子４３の湾曲した
格子ストリップ４５の主方向は境界線に対して第２の、
殊に大きさが等しいが反対の角度で延在する。副ビーム
はほぼ主方向と直交する方向に回折される。主方向は互
いに異なっているため、副ビームｂ＋、 Ｉとｂｌ、２
はＹＺ面内で異なる角度で回折する。すなわち、検出器
面すなわち、ＹＸ面内において放射スポットＬ＋１及び
Ｖ３．、はＹ方向に互いに変位する。本図及びその他の
図において、基準値ｘ、ｙ、ｚはその原点Ｏがダイオー
ドレーザの９の放射面の中心と一致する座標系軸である
。
細い分割線２５．２６により分離されているホトダイオ
ード２１．２２及び２３．２４の形態をした放射感知検
出器はそれぞれ副ビームｂｌ＋ｌとｂｌ＋２の各々と関
連している。これら検出器は、情報面３上でビームｂ１
が合焦している場合に副ビームｂｌ＋Ｉとｂｌ＋！によ
り形成された放射スポラ）Ｖ＋、ｔとｖｌ、！の強度分
布がそれぞれ検出器２１．２２及び２３．２４に対して
対称となるように位置決めする。フォーカスエラーが発
生すると、放射スポットＶｉ、＋とＶＩ＋ １は第３ａ
図と第３ｂ図に示すように非対称的に大きくなる０本図
は、分割線２５．２６が、原点Ｏと複合検出器の中心Ｍ
との間の接続線ＣＬに対してそれぞれ＋ψと一部の角度
で延在する公知の複合検出器を示す。
ード２１．２２及び２３．２４の形態をした放射感知検
出器はそれぞれ副ビームｂｌ＋ｌとｂｌ＋２の各々と関
連している。これら検出器は、情報面３上でビームｂ１
が合焦している場合に副ビームｂｌ＋Ｉとｂｌ＋！によ
り形成された放射スポラ）Ｖ＋、ｔとｖｌ、！の強度分
布がそれぞれ検出器２１．２２及び２３．２４に対して
対称となるように位置決めする。フォーカスエラーが発
生すると、放射スポットＶｉ、＋とＶＩ＋ １は第３ａ
図と第３ｂ図に示すように非対称的に大きくなる０本図
は、分割線２５．２６が、原点Ｏと複合検出器の中心Ｍ
との間の接続線ＣＬに対してそれぞれ＋ψと一部の角度
で延在する公知の複合検出器を示す。
上記接続線は第２図と第３図の検出器対２０．２２及び
２３．２４間の分離ストリップ２７と一致する。第３ａ
図において、ビームｂの焦点は情報面３の前側に位置し
、一方、第３ｂ図は情報面の後側の面内に位置する。
２３．２４間の分離ストリップ２７と一致する。第３ａ
図において、ビームｂの焦点は情報面３の前側に位置し
、一方、第３ｂ図は情報面の後側の面内に位置する。
検出器２１．２２．２３．２４の出力信号をそれぞれＳ
！Ｉ＋Ｓ！Ｚ＋ Ｓｏｌ ｓｔｎで表示すると、フォー
カスエラー信号Ｓ、は、 Ｓｔ ＝ （ｈｌ ＋Ｓ！４） （Ｓｚｚ ＋Ｓ！３
）によって与えられる。読取られる情報に比例する信号
、即ち情報信号Ｓ、は、 Ｓｉ −ＳｔＩ＋Ｓｚｚ＋Ｓｚｘ＋Ｓｔａによって与え
られる。
！Ｉ＋Ｓ！Ｚ＋ Ｓｏｌ ｓｔｎで表示すると、フォー
カスエラー信号Ｓ、は、 Ｓｔ ＝ （ｈｌ ＋Ｓ！４） （Ｓｚｚ ＋Ｓ！３
）によって与えられる。読取られる情報に比例する信号
、即ち情報信号Ｓ、は、 Ｓｉ −ＳｔＩ＋Ｓｚｚ＋Ｓｚｘ＋Ｓｔａによって与え
られる。
第１図の格子３０はトラッキングエラー信号を発生する
ために使用される。本図に示す如く、この格子は、放射
光源９からのビームｂを、非回折零次ビームｂ３、＋１
次回折ビームｂ２、−１次回折ビームｂ、及び複数の高
次回折ビームに分割する。最後に述べたビームは本発明
にとって重要ではない。
ために使用される。本図に示す如く、この格子は、放射
光源９からのビームｂを、非回折零次ビームｂ３、＋１
次回折ビームｂ２、−１次回折ビームｂ、及び複数の高
次回折ビームに分割する。最後に述べたビームは本発明
にとって重要ではない。
何故ならば、それらは対物レンズ系１０の外側へ大きく
回折し強度が低いためである。格子３０は直線状の格子
線、例えば一定の格子周期を有する単一の、即ち非分割
の格子である。この格子のパラメータ、殊に格子ストリ
ップの幅と中間格子ストリップの幅との比、及び格子溝
の深さ及び形状は、入射ビームｂのほぼ全放射量がビー
ムｂ、、 ｂｚ及びす、となるように選ぶことができる
。更に、ビームｂ１の強度が各ビームｂ！＋ ｂ３の強
度よりも数倍大きく、例えば６倍以上となるようにする
ことができる。
回折し強度が低いためである。格子３０は直線状の格子
線、例えば一定の格子周期を有する単一の、即ち非分割
の格子である。この格子のパラメータ、殊に格子ストリ
ップの幅と中間格子ストリップの幅との比、及び格子溝
の深さ及び形状は、入射ビームｂのほぼ全放射量がビー
ムｂ、、 ｂｚ及びす、となるように選ぶことができる
。更に、ビームｂ１の強度が各ビームｂ！＋ ｂ３の強
度よりも数倍大きく、例えば６倍以上となるようにする
ことができる。
ビームｂ、は主ビームすなわち走査ビームであって情報
面３内に走査スポラ）Ｌを形成する。ビームｂ２及びす
、は情報面内に２個の補助スポラ）Ｖ＋。
面３内に走査スポラ）Ｌを形成する。ビームｂ２及びす
、は情報面内に２個の補助スポラ）Ｖ＋。
Ｖ、として対物レンズ系１０により集束される補助ビー
ムである。補助ビームＶｔ、 Ｖ、は、格子３０により
反対の角度で回折するため、トラック方向に見た場合補
助スポラ）Ｖ！、 Ｖ３は走査スポットｖＩの何れか一
方の側に位置する。
ムである。補助ビームＶｔ、 Ｖ、は、格子３０により
反対の角度で回折するため、トラック方向に見た場合補
助スポラ）Ｖ！、 Ｖ３は走査スポットｖＩの何れか一
方の側に位置する。
格子３０の格子ストリップの方向と有効トラック方向と
の間の角度は９０−αであり、αは第４ａ図に、示すよ
うに微小である。本図は格子ストリップ３１と中間スト
リップ３２とを有する格子１０の一部を平面として示す
、線４′は、走査されるトラックの中心線の格子３００
面における投影である。この線は有効トラック方向を示
す。角度αを適当に選択することによって、走査スポッ
トｖｌの中心から走査されるトラックの中心線上に位置
した場合、第４ｂ図に示す如く、補助スポットｖ２の中
心がこのトラックの一方の周縁上に位置し補助スポット
Ｖ、の中心が他方の周縁部上に位置するようにできる。
の間の角度は９０−αであり、αは第４ａ図に、示すよ
うに微小である。本図は格子ストリップ３１と中間スト
リップ３２とを有する格子１０の一部を平面として示す
、線４′は、走査されるトラックの中心線の格子３００
面における投影である。この線は有効トラック方向を示
す。角度αを適当に選択することによって、走査スポッ
トｖｌの中心から走査されるトラックの中心線上に位置
した場合、第４ｂ図に示す如く、補助スポットｖ２の中
心がこのトラックの一方の周縁上に位置し補助スポット
Ｖ、の中心が他方の周縁部上に位置するようにできる。
放射感知検出系２０において、各補助ビームに対して個
別の検出器を用いることができる。補助スポットＶ２．
Ｖ２がトラックを等しい範囲でカバーする第４ｂ図に
示す場合にあっては、上記検出器の出力信号は等しくな
る。トラッキングエラーが発生すると、補助スポットの
一方の中心はトラックの中心線方向に変位し、他方の補
助スポットの中心は中心線から離れる方向に移動し、上
記個別の検出器の出力信号は等しくなくなる。かくして
検出器の出力信号間の差はトラッキングエラー信号を表
わす。
別の検出器を用いることができる。補助スポットＶ２．
Ｖ２がトラックを等しい範囲でカバーする第４ｂ図に
示す場合にあっては、上記検出器の出力信号は等しくな
る。トラッキングエラーが発生すると、補助スポットの
一方の中心はトラックの中心線方向に変位し、他方の補
助スポットの中心は中心線から離れる方向に移動し、上
記個別の検出器の出力信号は等しくなくなる。かくして
検出器の出力信号間の差はトラッキングエラー信号を表
わす。
走査ビーム及び情報面により反射された２本の補助ビー
ム（そのうち周辺光線だけを第１図に示す）は、格子４
０の上に入射する。この格子はビームｂ１について第２
図に関して説明したと同一の方法で各ビームを処理する
。各ビームは検出系２０の方向に大きく回折されると同
時に２本の副ビームに分割される。例えばＹ方向に分割
されるビーム分割は、わかりやすいように第５図に別個
に示しである。この図もまた２個の副格子４２．４３よ
り成る回折格子４０を示す。上記回折格子４０は第２図
の回折格子に対して９０゛回転配置されている。反射し
た走・査ビーム及び２本の補助ビームの格子４０の領域
における端面ば、それぞれ実線円す、と半実線ならびに
半破線円ｂ２＋ ｂ３により示される。格子４０はビー
ムｔｌｌ＋ ｔ１２＋ ｂ＝を２本の副ビームｂｔ、
Ｉ； ｂ、 ｔ：ｂ、、 ｌ ； ｂ２＋ ２′及びｂ
ｆｆ、 ＋； ｌ）３＋ ｚにそれぞれ分割する。
ム（そのうち周辺光線だけを第１図に示す）は、格子４
０の上に入射する。この格子はビームｂ１について第２
図に関して説明したと同一の方法で各ビームを処理する
。各ビームは検出系２０の方向に大きく回折されると同
時に２本の副ビームに分割される。例えばＹ方向に分割
されるビーム分割は、わかりやすいように第５図に別個
に示しである。この図もまた２個の副格子４２．４３よ
り成る回折格子４０を示す。上記回折格子４０は第２図
の回折格子に対して９０゛回転配置されている。反射し
た走・査ビーム及び２本の補助ビームの格子４０の領域
における端面ば、それぞれ実線円す、と半実線ならびに
半破線円ｂ２＋ ｂ３により示される。格子４０はビー
ムｔｌｌ＋ ｔ１２＋ ｂ＝を２本の副ビームｂｔ、
Ｉ； ｂ、 ｔ：ｂ、、 ｌ ； ｂ２＋ ２′及びｂ
ｆｆ、 ＋； ｌ）３＋ ｚにそれぞれ分割する。
副格子４２は副ビームｂｌ＋ Ｉ ； ｂＺ＋ １及び
す１１．を右方向へ回折させる。上記副ビームは複合検
出器２０上の放射スポットＶ＋、 ＋ｉ ｖ！、 ＋及
びＶ３＋１上に集束する。
す１１．を右方向へ回折させる。上記副ビームは複合検
出器２０上の放射スポットＶ＋、 ＋ｉ ｖ！、 ＋及
びＶ３＋１上に集束する。
副格子４３は副ビームｂ１１ｇ；ｂｆ＋ ２及びす２，
２を左方向へ回折させ、これら副ビームは放射スポット
Ｖｌ、ｚ；ｖ２，２及びｖ３，２として集束する。複合
検出器はそれぞれ放射スポットＶＩ＋ Ｉとｖｌ、２に
ついて２組の検出器対２１．２２及び２３．２４から成
り、一方の検出器５０は放射スポッ）Ｌ、＋とｖｌ、２
について２組の検出器対２１．２２及び２３．２４から
成り、一方の検出器５０は放射スポットｖ２＋ＩとＶＺ
、 ！用のものであり、検出器５１は放射スポットｖ１
．１とＶｌ、！に対して用いる。
２を左方向へ回折させ、これら副ビームは放射スポット
Ｖｌ、ｚ；ｖ２，２及びｖ３，２として集束する。複合
検出器はそれぞれ放射スポットＶＩ＋ Ｉとｖｌ、２に
ついて２組の検出器対２１．２２及び２３．２４から成
り、一方の検出器５０は放射スポッ）Ｌ、＋とｖｌ、２
について２組の検出器対２１．２２及び２３．２４から
成り、一方の検出器５０は放射スポットｖ２＋ＩとＶＺ
、 ！用のものであり、検出器５１は放射スポットｖ１
．１とＶｌ、！に対して用いる。
第６図において、形成された放射スポットとそれに関連
する検出器を再び示す。本図はまた、ダイオードレーザ
９の放射面を複合検出器に対してどのように配置するか
を示す、検出器５０．５１の出力信号をそれぞれＳ、。
する検出器を再び示す。本図はまた、ダイオードレーザ
９の放射面を複合検出器に対してどのように配置するか
を示す、検出器５０．５１の出力信号をそれぞれＳ、。
とＳＳＩにより表わすと、トラッキングエラー信号れは
Ｓｒ″″’ Ｓｓｏ ＳＳＩ
により与えられる。
フォーカスエラー信号は
Ｓｒ ” （ｈｔ ＋ｈ＜＞ （ｈｚ＋ｈｓ）となり
、情報信号Ｓ１は、 Ｓｓ −３！Ｉ ＋Ｓｚｘ ＋Ｓｚｚ ＋Ｓｚａにより
与えられる。
、情報信号Ｓ１は、 Ｓｓ −３！Ｉ ＋Ｓｚｘ ＋Ｓｚｚ ＋Ｓｚａにより
与えられる。
本発明による装置の特徴は、検出器上の放射スポットの
数が、必要な機能に対して必須な原理的に最小数に限定
されることである。その結果、検出系を比較的簡単にで
き、本検出系上の放射スポットの強度を検出器の出力信
号が十分強力になるように十分大きくすることができる
。
数が、必要な機能に対して必須な原理的に最小数に限定
されることである。その結果、検出系を比較的簡単にで
き、本検出系上の放射スポットの強度を検出器の出力信
号が十分強力になるように十分大きくすることができる
。
フーコーフォーカスエラー検出方法を行なうため、反射
走査ビーム（ｂ、）は２本の副ビームに分割される必要
がある。また反射した補助ビーム（ｂ２゜ａｉ） も複
合格子４０内を通過しなければならないから、これらの
ビームも不可避的に２本の副ビームに分割される結果、
合計６本のビームが発生する。
走査ビーム（ｂ、）は２本の副ビームに分割される必要
がある。また反射した補助ビーム（ｂ２゜ａｉ） も複
合格子４０内を通過しなければならないから、これらの
ビームも不可避的に２本の副ビームに分割される結果、
合計６本のビームが発生する。
本発明では、放射光路中に２個の回折格子を順次配置し
ているにもかかわらずビーム本数を原理的に必要な最小
本数とするため特別な方法を採用する。
ているにもかかわらずビーム本数を原理的に必要な最小
本数とするため特別な方法を採用する。
原理的に、回折格子（３０）は第１の回折格子（４０）
の上注に配置することができる。その場合、格子３０に
より形成される３本のビームｂ、、 ｂ、、 ｂ３は、
記録担体により反射された後再びこの格子を通過し更に
９本のビームに分割されることになる。その後これらの
ビームは格子４０を通過して合計１８本のビームを発生
することになる。ビーム数は、格子３０を格子４０の後
側に配置することによって制限することができる。その
他の措置がなければ、この位置決めにでは、ビーム本数
は依然として余りに大きすぎることになろう。事実、格
子４０からのビームは格子３０内を通過し更に分割され
ることによって６本以上のビームが検出器上に入射する
ことになる。これは、所定の厚さを有するミラー対物レ
ンズの面１２及び１３上に回折格子３０及び４０を配置
すると共に、回折格子３０を小さくして放射源に近接配
置することにより回避される。従って、格子４０から発
し検出器２０へ向かうビームは、最早格子３０を横切る
ことはできない。
の上注に配置することができる。その場合、格子３０に
より形成される３本のビームｂ、、 ｂ、、 ｂ３は、
記録担体により反射された後再びこの格子を通過し更に
９本のビームに分割されることになる。その後これらの
ビームは格子４０を通過して合計１８本のビームを発生
することになる。ビーム数は、格子３０を格子４０の後
側に配置することによって制限することができる。その
他の措置がなければ、この位置決めにでは、ビーム本数
は依然として余りに大きすぎることになろう。事実、格
子４０からのビームは格子３０内を通過し更に分割され
ることによって６本以上のビームが検出器上に入射する
ことになる。これは、所定の厚さを有するミラー対物レ
ンズの面１２及び１３上に回折格子３０及び４０を配置
すると共に、回折格子３０を小さくして放射源に近接配
置することにより回避される。従って、格子４０から発
し検出器２０へ向かうビームは、最早格子３０を横切る
ことはできない。
同様に、レーザビームが放射光源から情報面へ至る放射
光路上であまり多く分割されることを防止するための手
段も講ぜられる。既に述べた如く、格子３０により放射
光を走査ビーム及び２本の補助ビーム内にできるだけ多
く集光するようにしである。複合格子４０を適切に形成
し、光路上の格子により第−次及び高次に回折した放射
光が放射点ｖ１から比較的大きな距離をもって情報面に
入射させ、情報面で反射され格子４０を通る第２の光路
を通過した後、上記高次放射光が所望信号に対してほと
んど影響を及ぼさないように構成する。
光路上であまり多く分割されることを防止するための手
段も講ぜられる。既に述べた如く、格子３０により放射
光を走査ビーム及び２本の補助ビーム内にできるだけ多
く集光するようにしである。複合格子４０を適切に形成
し、光路上の格子により第−次及び高次に回折した放射
光が放射点ｖ１から比較的大きな距離をもって情報面に
入射させ、情報面で反射され格子４０を通る第２の光路
を通過した後、上記高次放射光が所望信号に対してほと
んど影響を及ぼさないように構成する。
フーコーフォーカスエラー検出方法を使用する装置に関
する上記概念は、勿論、格子４０が副分割されていない
ために、最後に述べた装置の場合検出器上の放射スポッ
トの数が原理的に小さいという理解に基づいて非点収差
フォーカスエラー検出を使用する装置にも通用される。
する上記概念は、勿論、格子４０が副分割されていない
ために、最後に述べた装置の場合検出器上の放射スポッ
トの数が原理的に小さいという理解に基づいて非点収差
フォーカスエラー検出を使用する装置にも通用される。
第５図及び第６図に図示する実施例において、′″フー
コー放射スポット°′ｖ１．とり１．２は一方では補助
スポットＶｚ、＋とｖ２，２の間に位置し、他方では補
助スポッｌ’Ｖｚ、＋とｖｌ、２の間に位置し、１組の
補助スポット用に１個の検出器だけですむ利点がある。
コー放射スポット°′ｖ１．とり１．２は一方では補助
スポットＶｚ、＋とｖ２，２の間に位置し、他方では補
助スポッｌ’Ｖｚ、＋とｖｌ、２の間に位置し、１組の
補助スポット用に１個の検出器だけですむ利点がある。
ただし、副ビームｂ、、 Ｉとす２，２の間の角度、つ
まり格子ストリップ４４．４５の間の角度の選択は制限
されている。第７図はこの概念に関しより大きな選択の
自由度を与える複合検出系の形状を示す。
まり格子ストリップ４４．４５の間の角度の選択は制限
されている。第７図はこの概念に関しより大きな選択の
自由度を与える複合検出系の形状を示す。
本例の場合、格子４０により実現される検出系２０の面
における分離は、格子３０により実現される分離よりも
大きい。従って、放射スポットｖ、２及びｖｌｌ、は、
それぞれ放射スポットｖｌ、 ｚ ） ｖ２． ｚ及び
ｖ３．！、もしくは放射点ｖ１，１とｖ２，１及びｖ３
１．よりも互いに大きな距離をもって位置する。
における分離は、格子３０により実現される分離よりも
大きい。従って、放射スポットｖ、２及びｖｌｌ、は、
それぞれ放射スポットｖｌ、 ｚ ） ｖ２． ｚ及び
ｖ３．！、もしくは放射点ｖ１，１とｖ２，１及びｖ３
１．よりも互いに大きな距離をもって位置する。
各々の放射スポットν２，２及びＶ２＋ １と放射スポ
ットＶ３−ｚ及びｖｌ、１に対してはそれぞれ個別の検
出器を利用すべきである。
ットＶ３−ｚ及びｖｌ、１に対してはそれぞれ個別の検
出器を利用すべきである。
放射スポットｖ２，２及びｖｆｆｉ＋１並びにスポット
ｖ３，２及びｖｌ、１に対して１個の検出器しか必要で
はなく、副ビームｂＩ、 ｌとｂｌ＋！の間の角度に対
しては依然として十分な選択の自由度が存在する実施例
は、格子３０によるビーム分割が格子４０により行なわ
れるものよりも異なる方向に実現される実施例である。
ｖ３，２及びｖｌ、１に対して１個の検出器しか必要で
はなく、副ビームｂＩ、 ｌとｂｌ＋！の間の角度に対
しては依然として十分な選択の自由度が存在する実施例
は、格子３０によるビーム分割が格子４０により行なわ
れるものよりも異なる方向に実現される実施例である。
本実施例は第２図と組合わされた第１図に示す実施例に
対応する。第８図は本実施例の検出器形を示し何らそれ
以上の説明を要しない。
対応する。第８図は本実施例の検出器形を示し何らそれ
以上の説明を要しない。
第２図の複合格子だけでなく第９図に示す回折格子４０
はフォーカスエラー信号を発生するために使用すること
ができる。本図はその副ビームｂｌ＋１とｂｌ、２を有
する格子面内の走査ビームｂ、の断面図である。２個の
副格子４２．４３の湾曲した格子ストリップの主方向は
、境界線４１に対して同一の角度で延びる一方、２個の
副格子の平均格子周期は異なっている。そのため、副ビ
ームｂ３，２が回折する角度は副ビームｂ１，１が回折
する角度と異なっている。このことは検出器２１．２２
．２３．２４の面内で放射ストリップＶ２１．とり５，
２が境界線４１の方向に互いに変位するということを意
味する。・ 本発明によれば、第９図に示す格子は２本の補助ビーム
を形成する格子とも組合わされる。最後に述べた格子に
よる回折がＹ方向に発生すると共に第９図による格子に
よる回折がＸ方向にする場合、検出系は第１０図に示す
ような形を有する。
はフォーカスエラー信号を発生するために使用すること
ができる。本図はその副ビームｂｌ＋１とｂｌ、２を有
する格子面内の走査ビームｂ、の断面図である。２個の
副格子４２．４３の湾曲した格子ストリップの主方向は
、境界線４１に対して同一の角度で延びる一方、２個の
副格子の平均格子周期は異なっている。そのため、副ビ
ームｂ３，２が回折する角度は副ビームｂ１，１が回折
する角度と異なっている。このことは検出器２１．２２
．２３．２４の面内で放射ストリップＶ２１．とり５，
２が境界線４１の方向に互いに変位するということを意
味する。・ 本発明によれば、第９図に示す格子は２本の補助ビーム
を形成する格子とも組合わされる。最後に述べた格子に
よる回折がＹ方向に発生すると共に第９図による格子に
よる回折がＸ方向にする場合、検出系は第１０図に示す
ような形を有する。
格子４０につい・でも、２個の副格子４２．４３の湾曲
した格子ストリップの格子周期及び主方向の双方共に相
異させることができる。かかる格子の作用は、第２図と
第９図の格子の回折格子の組合せであると考えられる。
した格子ストリップの格子周期及び主方向の双方共に相
異させることができる。かかる格子の作用は、第２図と
第９図の格子の回折格子の組合せであると考えられる。
従って、副ビームｂ１１．は副ビームｂ８，２と異なっ
た角度に互いに垂直な直交する２つの方向に回折する。
た角度に互いに垂直な直交する２つの方向に回折する。
複合検出器２０の面において、放射スポットＶ＋、＋と
ｖ２，２は互いに直交する２個の方向に互いに変位する
。
ｖ２，２は互いに直交する２個の方向に互いに変位する
。
第２図に示す複合回折格子はその製作上の許容公差が優
れていて調節しやすく安定しているために、第９図に示
すものよりも優れているという点に注意されたい。
れていて調節しやすく安定しているために、第９図に示
すものよりも優れているという点に注意されたい。
副格子４２．４３は直線状の格子ストリップ及び−定の
格子周期を有する。然しなから、変化する格子周期と、
例えば数パーセント程度の平均格子周期の周期変化を有
するホログラムとも称されるタイプの格子を使用するこ
とが望ましい。更に、第２図と第９図に示すように２個
の副格子の格子ストリップは湾曲している。かくして、
これら副格子はレンズ作用を有する。格子周期が変化す
るために放射スポッｌ−Ｌ、＋及びｖｌ、２の位置は、
格子４０をそれ自身の面内で変位させることによって変
化させることができる。境界線４１の 方向に対して直交する方向への収差は、格子ストリップ
の曲率により最小のものとすることができる。一体化し
たレーザホトダイオードユニットを使用する場合、即ち
、ダイオードレーザと光検出器が一つの支持体上に配置
され従って互いに固定されＺ方向の固定の相互間距離を
有する部品を使用する場合、放射スポット位置を移動さ
せる可能性は特に重要である。この距離は作製上の許容
差を受け、装置組立中にホトダイオードをレーザダイオ
ードに対してＸ方向に変位させることにより補正するこ
とはできない。
格子周期を有する。然しなから、変化する格子周期と、
例えば数パーセント程度の平均格子周期の周期変化を有
するホログラムとも称されるタイプの格子を使用するこ
とが望ましい。更に、第２図と第９図に示すように２個
の副格子の格子ストリップは湾曲している。かくして、
これら副格子はレンズ作用を有する。格子周期が変化す
るために放射スポッｌ−Ｌ、＋及びｖｌ、２の位置は、
格子４０をそれ自身の面内で変位させることによって変
化させることができる。境界線４１の 方向に対して直交する方向への収差は、格子ストリップ
の曲率により最小のものとすることができる。一体化し
たレーザホトダイオードユニットを使用する場合、即ち
、ダイオードレーザと光検出器が一つの支持体上に配置
され従って互いに固定されＺ方向の固定の相互間距離を
有する部品を使用する場合、放射スポット位置を移動さ
せる可能性は特に重要である。この距離は作製上の許容
差を受け、装置組立中にホトダイオードをレーザダイオ
ードに対してＸ方向に変位させることにより補正するこ
とはできない。
第９図による実施例の場合、副ビーム、とりわけｂｌ＋
１及びｂｌ、 ２が副格子１２．４３の相異なる平均格
子周期により互いに異なる角度で回折するが、副ビーム
の焦点は複合検出系の面に対して平行な面内に位置する
。副格子の対応する部分の格子ストリップの格子周期及
び曲率に重なる変化を与えることにより副ビームの焦点
は複合検出系の面に平行な面内に位置する。
１及びｂｌ、 ２が副格子１２．４３の相異なる平均格
子周期により互いに異なる角度で回折するが、副ビーム
の焦点は複合検出系の面に対して平行な面内に位置する
。副格子の対応する部分の格子ストリップの格子周期及
び曲率に重なる変化を与えることにより副ビームの焦点
は複合検出系の面に平行な面内に位置する。
直線状格子ストリップを有する格子と比べて湾曲した格
子ストリップを有する回折格子の重要な利点は、直線状
格子ストリップの回折格子を使用する場合に発生するお
それのあるコマ収差や非点収差の如き光学収差を、この
格子を作製する際にこれらの収差を考慮に入れ格子スト
リップの曲率を適合させることにより回避できることで
ある。
子ストリップを有する回折格子の重要な利点は、直線状
格子ストリップの回折格子を使用する場合に発生するお
それのあるコマ収差や非点収差の如き光学収差を、この
格子を作製する際にこれらの収差を考慮に入れ格子スト
リップの曲率を適合させることにより回避できることで
ある。
第１１図は反射された走査ビームｂｌを非点収差ビーム
ｂ、 ｌ に変換する格子７０を示す。この格子は直線
状の格子ストリップ７１と線形に変化する格子周期を有
する。格子はビームｂの放射が１次回折で例えば＋１次
回折で大きく回折するように適切な寸法とする。第１次
ビームｂ１°はもはや点状に集′束せず、２本の互いに
直交する焦線７５．７６に沿って集束する。焦線７５は
格子が非点収差形でない場合ビームｂ、ｌが合焦する位
置に位置する。フォーカスエラーが発生すると、焦線７
５と７６は同時に同一方向に同一距離にわたって変位す
る。走査ビームが情報面上に合焦する場合に焦線により
占められる位置間のほぼ中央の面内にいわゆる４分割検
出器８０を配置する。第１２図に示すこの検出器は、回
折ビームｂ、 ｌ の主光線の周囲の４分割した位置に
配置した４個の検出器８１．８２．８３．８４を有して
いる。走査ビームが情報面３上に合焦している場合、検
出器の面内のビームｂ、 ｌ により形成される放射ス
ポットν１・ は第１２図の実線円により描かれるよう
に円形となる。フォーカスエラーが発生すると、放射ス
ポットＶ、・ は第１２図に破線の楕円により示される
ような楕円形スポットに変形する。
ｂ、 ｌ に変換する格子７０を示す。この格子は直線
状の格子ストリップ７１と線形に変化する格子周期を有
する。格子はビームｂの放射が１次回折で例えば＋１次
回折で大きく回折するように適切な寸法とする。第１次
ビームｂ１°はもはや点状に集′束せず、２本の互いに
直交する焦線７５．７６に沿って集束する。焦線７５は
格子が非点収差形でない場合ビームｂ、ｌが合焦する位
置に位置する。フォーカスエラーが発生すると、焦線７
５と７６は同時に同一方向に同一距離にわたって変位す
る。走査ビームが情報面上に合焦する場合に焦線により
占められる位置間のほぼ中央の面内にいわゆる４分割検
出器８０を配置する。第１２図に示すこの検出器は、回
折ビームｂ、 ｌ の主光線の周囲の４分割した位置に
配置した４個の検出器８１．８２．８３．８４を有して
いる。走査ビームが情報面３上に合焦している場合、検
出器の面内のビームｂ、 ｌ により形成される放射ス
ポットν１・ は第１２図の実線円により描かれるよう
に円形となる。フォーカスエラーが発生すると、放射ス
ポットＶ、・ は第１２図に破線の楕円により示される
ような楕円形スポットに変形する。
楕円の長軸は分割線８５．８６に対して４５°の角度で
延在する。角度の符号はフォーカスエラーの符号により
決定される。検出器８１．８２．８３．８４の信号をＳ
ａｌ＋ Ｓ＠２＋ ５１１３＋ ３８４により表わすと
、フォーカスエラー信号Ｓｆは Ｓ、 ＝ （Ｓ□＋５ａｚ） （Ｓ＊ｚ＋５ｓ４）に
よって与えられる。
延在する。角度の符号はフォーカスエラーの符号により
決定される。検出器８１．８２．８３．８４の信号をＳ
ａｌ＋ Ｓ＠２＋ ５１１３＋ ３８４により表わすと
、フォーカスエラー信号Ｓｆは Ｓ、 ＝ （Ｓ□＋５ａｚ） （Ｓ＊ｚ＋５ｓ４）に
よって与えられる。
第２の格子（第１図の３０）を２木の補助ビームｂ！＋
ｂ：＋を形成する非点収差格子７０と共に走査装置内
に配置すれば、複合検出系は第１２図に示す形態とする
必要がある。反射した補助ビームｌ）！＋ ｂｌにより
それぞれ形成される各放射スポットｖ２”とｖ３′につ
いて一つの非分割検出器８７．８８を設ける。これまで
格子３０の格子ストリップはトラ・イク方向とほぼ直交
する方向Ｘ方向に延在し、格子７０の格子ストリップは
Ｙ方向に延在するものとした。しかしながら、格子７０
と３０の双方の格子ストリップを有効トラック方向とほ
ぼ直交するように設定することも可能である。
ｂ：＋を形成する非点収差格子７０と共に走査装置内
に配置すれば、複合検出系は第１２図に示す形態とする
必要がある。反射した補助ビームｌ）！＋ ｂｌにより
それぞれ形成される各放射スポットｖ２”とｖ３′につ
いて一つの非分割検出器８７．８８を設ける。これまで
格子３０の格子ストリップはトラ・イク方向とほぼ直交
する方向Ｘ方向に延在し、格子７０の格子ストリップは
Ｙ方向に延在するものとした。しかしながら、格子７０
と３０の双方の格子ストリップを有効トラック方向とほ
ぼ直交するように設定することも可能である。
第１１図と第１２図に示す装置では、分割線８５及び８
６は有効トラック方向に対して４５°の角度で延在する
。トラッキングエラーが発生すると、放射スポットｓｌ
’の強度分布の重心はＸ方向に左右に変位する。その結
果、トラッキングエラーはフォーカスエラー信号に影響
を及ぼすおそれがある。
６は有効トラック方向に対して４５°の角度で延在する
。トラッキングエラーが発生すると、放射スポットｓｌ
’の強度分布の重心はＸ方向に左右に変位する。その結
果、トラッキングエラーはフォーカスエラー信号に影響
を及ぼすおそれがある。
かかる不具合は、例えば非点収差格子を、この格子で通
過する走査ビームｂ、１ の非点収差焦線が第１１図の
分割線に対して４５°回転するように位置決めすること
によって防止することができる。４分割検出器の分割線
８５．８６は、第１２図の分割線に対して４５°回転さ
せることができ、トラック方向に対してそれぞれ平行又
は垂直になるように回転できる。トラッキングエラーが
発生すると、検出器８１及び８４上に入射する放射光量
は検出器８２及び８３に入射する放射光量よりも増加し
又は減少する。
過する走査ビームｂ、１ の非点収差焦線が第１１図の
分割線に対して４５°回転するように位置決めすること
によって防止することができる。４分割検出器の分割線
８５．８６は、第１２図の分割線に対して４５°回転さ
せることができ、トラック方向に対してそれぞれ平行又
は垂直になるように回転できる。トラッキングエラーが
発生すると、検出器８１及び８４上に入射する放射光量
は検出器８２及び８３に入射する放射光量よりも増加し
又は減少する。
検出器８２．８３からの信号と共に検出器８１．８４か
らの信号は互いから減算することによりフォーカスエラ
ーが決定されるので、トラッキングエラーはフォーカス
エラー信号に対して何らの影響も与えない。
らの信号は互いから減算することによりフォーカスエラ
ーが決定されるので、トラッキングエラーはフォーカス
エラー信号に対して何らの影響も与えない。
以上、読取り装置に使用する場合について本発明を説明
してきたが、本発明は記録中に書込みビームのフォーカ
シング及びトラッキングを監視するような書込み装置も
しくは書込み／読取り装置１２に使用することもできる
。上記フォーカスエラーおよびトラッキングエラー検出
系は情報面３の特殊な性質を利用してはいない。この表
面が反射性でトラック構造を有することで必要かつ十分
である。それ故、本発明は非常に正確な読取りが必要と
なる種々の装置、例えば、顕微鏡にも使用することがで
きる。
してきたが、本発明は記録中に書込みビームのフォーカ
シング及びトラッキングを監視するような書込み装置も
しくは書込み／読取り装置１２に使用することもできる
。上記フォーカスエラーおよびトラッキングエラー検出
系は情報面３の特殊な性質を利用してはいない。この表
面が反射性でトラック構造を有することで必要かつ十分
である。それ故、本発明は非常に正確な読取りが必要と
なる種々の装置、例えば、顕微鏡にも使用することがで
きる。
第１図は本発明による走査装置の一実施例の構成を示す
線図、 第２図は回折格子とそれに関連するフォーカスエラー信
号発生用複合検出系の第１実施例の線図、第３ａ図及び
第３ｂ図はフォーカスエラーが発生するときの検出系上
における放射スポットの変化を示す線図、 第４ａ図及び第４ｂ図はそれぞれ補助ビーム形成用格子
とトラック構造の一部の構成を示す平面図、 第５図は走査ビーム及び補助ビームがいかにして複合回
折格子と複合検出器上に形成された放射スポット位置に
より回折され分割されるかを示す線図、 第６図は第２図の格子と関連する複合検出系の一例の構
成を示す線図、 第７図及び第８図は第２図の回折格子と関連する複合検
出系の第２及び第３の実施例を示す線図、第９図はフォ
ーカスエラー信号発生用回折格子の第２実施例を示す線
図、 第１０図はこの格子と関連する検出系の構成を示す線図
、 第１１図はフォーカスエラー信号発生用の非点収差格子
の一例の構成を示す線図、 第１２図は上記格子と関連する複合検出系の構成を示す
線図である。 １・・・記録担体 ２・・・透明基板９・・・
放射光源 １０・・・ミラー対物レンズｖ１・
・・走査スポッ） ＡＡ’・・・光軸１２・・・
第１の屈折面 １３・・・第２の屈折面１４・・・
第１の放射窓 １７・・・放射窓２０・・・惑知検
出系 ＩＧ２
線図、 第２図は回折格子とそれに関連するフォーカスエラー信
号発生用複合検出系の第１実施例の線図、第３ａ図及び
第３ｂ図はフォーカスエラーが発生するときの検出系上
における放射スポットの変化を示す線図、 第４ａ図及び第４ｂ図はそれぞれ補助ビーム形成用格子
とトラック構造の一部の構成を示す平面図、 第５図は走査ビーム及び補助ビームがいかにして複合回
折格子と複合検出器上に形成された放射スポット位置に
より回折され分割されるかを示す線図、 第６図は第２図の格子と関連する複合検出系の一例の構
成を示す線図、 第７図及び第８図は第２図の回折格子と関連する複合検
出系の第２及び第３の実施例を示す線図、第９図はフォ
ーカスエラー信号発生用回折格子の第２実施例を示す線
図、 第１０図はこの格子と関連する検出系の構成を示す線図
、 第１１図はフォーカスエラー信号発生用の非点収差格子
の一例の構成を示す線図、 第１２図は上記格子と関連する複合検出系の構成を示す
線図である。 １・・・記録担体 ２・・・透明基板９・・・
放射光源 １０・・・ミラー対物レンズｖ１・
・・走査スポッ） ＡＡ’・・・光軸１２・・・
第１の屈折面 １３・・・第２の屈折面１４・・・
第１の放射窓 １７・・・放射窓２０・・・惑知検
出系 ＩＧ２
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、走査ビームを供給する放射源と、上記走査ビームを
走査スポットに集束させるミラー対物レンズと、走査さ
れるべき物体からの放射光を受光する放射感知検出系と
を具える物体を光学的に走査する走査装置において、前
記ミラー対物レンズが放射源と対向する第１の面及び放
射源から離れた第２の面を有する放射透過体を具え、上
記第１の面が、ミラー対物レンズの光軸に対して対称的
に位置する第１の放射窓、及びこの放射窓を包囲する第
１の反射体を有し、上記第２の面が、光軸に対して対称
的に位置する第２の反射体、及び上記検出器を包囲する
第２の放射窓を有し、前記第１の放射窓に放射源により
供給された放射ビームから走査ビームと２本の補助ビー
ムとを形成する第１の回折素子を設け、前記第２の反射
体に、走査されるべき物体により反射した放射光の一部
を回折させると共に前記放射感知検出系に向けて再びミ
ラー対物レンズを通過させ、且つ放射感知検出系により
これらビームからフォーカスエラー信号を取り出すこと
ができるように回折した走査ビームを変形する第２の回
折素子を設けたことを特徴とする光学式走査装置。 ２、請求項１記載の光学式走査装置において、前記回折
素子の少なくとも一つが位相構体を有する光学式走査装
置。 ３、請求項１もしくは２記載の光学式走査装置において
、前記第２の回折素子を非点収差を発生する素子とし、
前記放射感知検出系が、回折した走査ビームの主光線の
４分割した領域に配置した４個の検出器を具えることを
特徴とする光学式走査装置。 ４、請求項３記載の光学式走査装置において、前記第２
の回折素子を、直線状の格子ストリップ及び線形に変化
する格子周期を有する回折格子としたことを特徴とする
光学式走査装置。 ５、請求項３記載の光学式走査装置において、前記の回
折素子を、湾曲した格子ストリップ及び非線形に変化す
る格子周期を有するホログラフィック回折格子としたこ
とを特徴とする光学式走査装置。 ６、請求項１もしくは２記載の光学式走査装置において
、前記第２の回折素子を、２個の副格子を有し回折ビー
ムを２本の副ビームに分割する回折格子とし、前記放射
感知検出系が２個の検出器対を具え、第１及び第２の副
ビームが第１及び第２の検出器対とそれぞれ共働するよ
うに構成したことを特徴とする光学式走査装置。 ７、請求項６記載の光学式走査装置において、前記副格
子が変化する格子周期を有し、これら副格子の格子スト
リップが湾曲していることを特徴とする光学式走査装置
。 ８、請求項６又は７記載の光学式走査装置において、前
記一方の副格子の格子ストリップが、他方の副格子の格
子ストリップと同一の主方向を有し、２個の副格子の平
均格子周期が互いに異なり、前記放射感知検出器対も、
副格子間の境界線に対して平行な方向に並置したことを
特徴とする光学式走査装置。 ９、請求項６又は７記載の光学式走査装置において、前
記副格子が互いに同一の平均格子周期を有し、一方の副
格子の格子ストリップの主方向が第１の角度で延在し、
他方の副格子の格子ストリップが２個の副格子間の境界
線に対して第２の角度で延在し、前記放射感知検出器対
を上記境界線の方向と直交する方向に並置したことを特
徴とする光学式走査装置。 １０、請求項１〜３のいずれか一に記載の光学式走査装
置において、前記第２の放射窓が非球面を有することを
特徴とする光学式走査装置。 １１、請求項１〜１０のいずれか一に記載の光学式走査
装置において、前記放射光源を前記第１の放射窓に連結
したことを特徴とする光学式走査装置。 １２、請求項１〜１１のいずれか一に記載の光学式走査
装置において、前記放射感知検出系を前記第１の放射窓
に連結したことを特徴とする光学式走査装置。 １３、請求項１〜１２のいずれか一に記載の光学式走査
装置に使用するに適当な２個の回折素子を具えたミラー
対物レンズ。 １４、請求項１〜１３のいずれか一に記載の走査装置を
具える光学式書込み及び／又は読取り装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| NL8803055A NL8803055A (nl) | 1988-12-13 | 1988-12-13 | Optische aftastinrichting, spiegelobjektief geschikt voor toepassing daarin en optisch inschrijf- en/of uitleesapparaat voorzien van deze aftastinrichting. |
| NL8803055 | 1988-12-13 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02216626A true JPH02216626A (ja) | 1990-08-29 |
| JPH0619839B2 JPH0619839B2 (ja) | 1994-03-16 |
Family
ID=19853373
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1321620A Expired - Lifetime JPH0619839B2 (ja) | 1988-12-13 | 1989-12-13 | 光学式走査装置 |
Country Status (10)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4940890A (ja) |
| EP (1) | EP0373699B1 (ja) |
| JP (1) | JPH0619839B2 (ja) |
| KR (1) | KR900010679A (ja) |
| CN (1) | CN1030736C (ja) |
| AT (1) | ATE104793T1 (ja) |
| CA (1) | CA2004982A1 (ja) |
| DE (1) | DE68914804T2 (ja) |
| HK (1) | HK77096A (ja) |
| NL (1) | NL8803055A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001194582A (ja) * | 1999-11-30 | 2001-07-19 | Samsung Electronics Co Ltd | 高密度光集束のための対物レンズ及びこれを採用した光ピックアップ装置並びにこれに適した光ディスク |
| KR100644566B1 (ko) * | 1999-09-29 | 2006-11-13 | 삼성전자주식회사 | 고밀도 광집속을 위한 대물렌즈 및 이를 채용한 광픽업장치 |
Families Citing this family (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5408547A (en) * | 1993-02-19 | 1995-04-18 | Motorola, Inc. | Optical read/write head |
| EP0954859B1 (en) * | 1997-11-22 | 2006-10-18 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Catadioptric optical system, optical pickup and optical disk drive employing the same, and optical disk |
| US6212153B1 (en) * | 1998-07-06 | 2001-04-03 | Read-Rite Corporation | High NA solid catadioptric focusing device having a flat kinoform phase profile |
| ES2358102T3 (es) * | 2002-10-16 | 2011-05-05 | Bioject, Inc. | Conjunto de cartucho para medicamentos y procedimiento de fabricación. |
| JP2005063545A (ja) * | 2003-08-11 | 2005-03-10 | Sony Corp | 光学式ヘッド装置及び光学式情報処理装置 |
| JP2007512545A (ja) * | 2003-09-30 | 2007-05-17 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | 振動反射器を有する光学システム |
| JP2006155843A (ja) * | 2004-12-01 | 2006-06-15 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光ヘッド |
| EP1950752A1 (en) * | 2007-01-24 | 2008-07-30 | Deutsche Thomson OHG | Phase shift grating for phase shift differential push-pull tracking |
| EP1950753A1 (en) * | 2007-01-24 | 2008-07-30 | Thomson Licensing S.A. | Phase shift grating for phase shift differential push-pull tracking |
| EP2666049B1 (en) * | 2011-01-20 | 2018-02-28 | GE Healthcare Bio-Sciences Corp. | Light-scanning systems |
| US9864190B2 (en) * | 2011-02-24 | 2018-01-09 | The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University | Confocal microscope, system and method therefor |
| CN105116527B (zh) * | 2015-09-25 | 2018-10-30 | 上海新跃仪表厂 | 一种大相对孔径低畸变广角长红外折反射式光学*** |
| EP3809770A4 (en) | 2018-07-13 | 2021-06-23 | Guangdong Oppo Mobile Telecommunications Corp., Ltd. | HARNESS FAILURE RECOVERY INDICATION PROCESS, DEVICE AND INFORMATION MEDIA |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CH541140A (de) * | 1971-12-31 | 1973-08-31 | Gretag Ag | Beleuchtungsanordnung |
| FR2309888A1 (fr) * | 1975-04-30 | 1976-11-26 | Thomson Brandt | Dispositif optique de projection et lecteur optique comportant un tel dispositif |
| GB2119112B (en) * | 1982-04-27 | 1985-08-29 | Ferranti Plc | Optical elements |
| EP0226647B1 (en) * | 1985-12-17 | 1991-05-29 | Ibm Deutschland Gmbh | Read/write head for optical disks |
| US4835380A (en) * | 1987-06-11 | 1989-05-30 | U. S. Philips Corporation | Scanning device for an optical recording and/or reproducing apparatus |
| NL8701749A (nl) * | 1987-07-24 | 1989-02-16 | Philips Nv | Inrichting voor het met optische straling aftasten van een informatievlak. |
| NL8702245A (nl) * | 1987-09-21 | 1989-04-17 | Philips Nv | Inrichting voor het met optische straling aftasten van een stralingsreflekterend informatievlak. |
-
1988
- 1988-12-13 NL NL8803055A patent/NL8803055A/nl not_active Application Discontinuation
-
1989
- 1989-12-05 US US07/449,294 patent/US4940890A/en not_active Expired - Fee Related
- 1989-12-07 EP EP89203110A patent/EP0373699B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1989-12-07 AT AT8989203110T patent/ATE104793T1/de not_active IP Right Cessation
- 1989-12-07 DE DE68914804T patent/DE68914804T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1989-12-08 CA CA002004982A patent/CA2004982A1/en not_active Abandoned
- 1989-12-11 CN CN89109790A patent/CN1030736C/zh not_active Expired - Fee Related
- 1989-12-11 KR KR1019890018270A patent/KR900010679A/ko not_active Application Discontinuation
- 1989-12-13 JP JP1321620A patent/JPH0619839B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1996
- 1996-05-02 HK HK77096A patent/HK77096A/xx not_active IP Right Cessation
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100644566B1 (ko) * | 1999-09-29 | 2006-11-13 | 삼성전자주식회사 | 고밀도 광집속을 위한 대물렌즈 및 이를 채용한 광픽업장치 |
| JP2001194582A (ja) * | 1999-11-30 | 2001-07-19 | Samsung Electronics Co Ltd | 高密度光集束のための対物レンズ及びこれを採用した光ピックアップ装置並びにこれに適した光ディスク |
| US6938890B2 (en) | 1999-11-30 | 2005-09-06 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Objective lens for high-density optical focusing and an optical disk in an optical pickup |
| KR100657247B1 (ko) * | 1999-11-30 | 2006-12-19 | 삼성전자주식회사 | 고밀도 광집속을 위한 대물렌즈 및 이를 채용한광픽업장치 |
| US7200098B2 (en) | 1999-11-30 | 2007-04-03 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Objective lens for high-density optical focusing and an optical disk in an optical pickup |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US4940890A (en) | 1990-07-10 |
| ATE104793T1 (de) | 1994-05-15 |
| CN1043794A (zh) | 1990-07-11 |
| NL8803055A (nl) | 1990-07-02 |
| CA2004982A1 (en) | 1990-06-13 |
| EP0373699B1 (en) | 1994-04-20 |
| KR900010679A (ko) | 1990-07-09 |
| CN1030736C (zh) | 1996-01-17 |
| EP0373699A1 (en) | 1990-06-20 |
| DE68914804T2 (de) | 1994-10-20 |
| HK77096A (en) | 1996-05-10 |
| DE68914804D1 (de) | 1994-05-26 |
| JPH0619839B2 (ja) | 1994-03-16 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4850673A (en) | Optical scanning apparatus which detects scanning spot focus error | |
| EP0294902B1 (en) | Optical scanning device, mirror objective suitable for use therein and an optical recording and/or reproducing apparatus provided therewith | |
| US4924079A (en) | Apparatus for optically scanning an information plane | |
| EP0373700B1 (en) | Optical scanning device, and mirror objective suitable for use in said device. | |
| EP0398431B1 (en) | Retrofocus objective lens and optical scanning device provided with such a lens | |
| JPH02216626A (ja) | 光学式走査装置 | |
| KR100238737B1 (ko) | 방사-반사정보면을 광학적으로 주사하는 장치 | |
| EP0426248B1 (en) | Grating objective and grating-beam shaper, and optical scanning device comprising at least one of said elements | |
| JPH0775080B2 (ja) | 光学式走査装置 | |
| EP0164687B1 (en) | Optical head for focusing a light beam on an optical disk | |
| EP0776002A2 (en) | Integrated optical pickup system capable of reading optical disks of different thicknesses | |
| US5500846A (en) | Radiation source-detection unit employing a grating having two grating structures, and a device including that unit | |
| KR960011790B1 (ko) | 광헤드장치 | |
| EP0325103A2 (en) | Method for constructing an optical head by varying a hologram pattern | |
| JP4542903B2 (ja) | チルトの検出を備えた光走査デバイス | |
| JPS6123575B2 (ja) | ||
| JPS63191328A (ja) | 光ヘツド装置 | |
| JP2904422B2 (ja) | 光ヘッド | |
| JPS5977637A (ja) | 光学読取装置 | |
| JPS62208440A (ja) | 光ピツクアツプ | |
| JPH01319138A (ja) | 光学ヘッド | |
| JPS62259233A (ja) | 光情報検出装置 |