JPH0221146A - 危険薬品使用工場等用クリーンルームの給排気方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、危険薬品使用を使用する工場等に用いられる
クリーンルーム及びその給排気方法に関するものである
。

〔従来の技術〕

従来、この種のクリーンルームとしては、例えば第５図
に示すものが知られていた。

図に於て、１は作業空間で、所定の間隔を置いて作業機
器２が配されている。この作業機器２には、ダンパ４を
設けた排気ダクト３が取り付けられている。このダンパ
４は、作業機器２の運転状況に応じて開放され、作業空
間１内の循環空気を外部に設置した排気用ファン５によ
って排気している。６は作業空間１の上方に位置する天
井空間で、フィルタ天井７によって仕切られている。こ
のフィルタ天井７は、後述する如く天井空間６内の循環
空気を作業空間１に吹き出すためのものであるから、こ
れに限らず、作業空間ｌの上方を天井によって仕切り、
その天井に吹出口を設けたものとしても良い。そして、
この天井空間６では、循環空気を収容し、作業空間１側
に設けられたフィルタ天井７を介して循環空気を作業空
間Ｉに吹き出すように形成されている。８は作業空間ｌ
の下方に形成された床下空間で、床板９によって仕切ら
れている。この床板９は、作業空間１に吹き出された循
環空気を通過することが出来る多孔板等で形成されてい
る。１０は天井空間６と床下空間８とを連結する循環空
気用ダクトで、循環用ファン１１によって床下空間８内
の空気を天井空間６に供給し、空気を循環させるように
している。

この循環空気用ダクト１０は、天井空間６と床下空間８
とを連通ずることが出来る廊下或いはメンテナンスゾー
ンがある場合には、これらが代わって用いられることも
あるが、本例では説明の都合上、循環空気用ダクト１０
について説明する。１２は床下空間８に取り付けられた
外気導入用ダクトで、途中に温度、湿度をコントロール
すると共に、外気を濾過するフィルタ等の８１目整器１
３が設けられている。この外気導入用ダクト１２は、ク
リーンルームの稼働に見合った外気を導入して室圧を保
つようにしている。尚、外気導入用ダクト１２は、床下
空間８に限らず、循環空気用ダクト１０に取り付けられ
る場合もあるし、或いは、循環空気用ダクト１０に代わ
って廊下又はメンテナンスプーンが用いられる場合には
、これらに取り付けられることもあるが、本例では説明
の都合上、床下空間８に取り付けられている場合につい
て説明する。

斯して構成されたクリーンルームによれば、所定の温度
、湿度等に保たれた空気が、循環用ファン１１によって
天井空間６に送られ、この天井空間６ではフィルタ天井
７を介して作業空間ｌに供給され、作業空間Ｉに配設さ
れている作業機器２に触れて、床下空間８内に流入する
。そして、床下空間８に収容された空気は、再び循環用
ファン１１によって循環空気用ダクト１０を介して天井
空間６に送られる。この循環は、その用途によって異な
るが、通常は１００〜４００回／時間である。そして、
外気導入用ダクト１２から外気が導入された後に所定の
温度、湿度等にされて床下空間８内に供給される。

上述したクリーンルームでは、作業機器２が事故を起こ
し、有毒ガス又は可燃性ガス等の危険ガスが出たり、或
いは窒素ガス等の窒息性ガスが出たりすると、全てのフ
ァン５，１１．１２を停止する方法が一般的である。

そこで、上述のガスを緊急に排気するために、例えば第
５図に示す如く、クリーンルーム内に設けた排気口１４
から排気ダクト１６を介してファン１５によって外部に
緊急排気によって多量の空気を排出する方法、又は、そ
の事故域と外部と繋がる窓口とをフレキシブルなジャバ
ラによって連結して排気するという方法が提案されてい
る。

〔発明が解決しようとする課題〕

然し、前者では、排気口１４が固定的であるため、排気
口から離れた箇所での事故に対する応答性に難があった
。又、後者では、人手によってジャバラを操作するため
、手間暇を要旨、緊急性を要するこの種の排気には適し
ていない。而も、ガスが人体に悪影響を与えるため、排
気処理のために特別な機器が必要であった。更に、これ
らは、何れも事故箇所から緊急排気を行なうだけである
から、ガスの拡散を積極的に防止することは困難であっ
た。更に、斯かる緊急排気方式では、排気された空気量
に見合った空気が周囲から自然に回って来るだけである
から、危険ガス又は窒息性ガスの濃度を成る一定濃度に
希釈するだけの空気量を確保することが困難であった。

本発明は斯かる従来の問題点を解決するために為された
もので、その目的は、ガスの漏洩域からのガスの拡散を
積極的に抑え、確実に緊急、排気することが出来る危険
薬品使用工場等用クリーンルーム及びその給排気方法を
提供することにある。

〔課題を解決するための手段〕

本発明に係る危険薬品使用工場等用クリーンルームは、
作業空間の上方をフィルタ天井又は吹出口付き天井とし
、天井から空気を作業空間に吹き出せるようにすると共
に、作業空間の床下に吹き出された空気を収容する空間
を形成し、床下に収容された空気を再び天井に戻して循
環できるように循環用ファンを設けたクリーンルームに
於て、一作業空間単位毎又は一定寸法のモジュール毎に
天井内及び床下内を対応して仕切って複数の天井空間と
床下空間とを形成すると共に、対応する各天井空間と床
下空間とを循環用ファンを備えた空気流通路を介して各
別に連通し、各天井空間内に外気が導入できるように各
天井空間又は床下空間に外気導入路を連通し、この外気
導入路に外気導入量調整用ダンパを設けたものである。

此処で、空気流通路は、循環用ダクト、廊下。

メンテナンスゾーンで構成され、又、外気導入路は、ダ
クトで構成されることが望ましい。

又、本発明に係る危険薬品使用工場等用クリーンルーム
の給排気方法は、作業空間の上方をフィルタ天井又は吹
出口付き天井とし、天井から空気を作業空間に吹き出せ
るようにすると共に、作業空間の床下に吹き出された空
気を収容する空間を形成し、床下に収容された空気を再
び天井に戻して循環できるように循環用ファンを設けた
クリーンルームに於て、一作業空間単位毎又は一定寸法
のモジュール毎に天井内及び床下内を対応して仕切って
複数の天井空間と床下空間とを形成すると共に、対応す
る各天井空間と床下空間とを循環用ファンを備えた空気
流通路を介して各別に連通し、各天井空間内に外気が導
入できるように各天井空間又は床下空間に外気導入路を
連通し、この外気導入路に外気導入量調整用ダンパを設
け、常態では各外気量調整用ダンパを絞って、クリーン
ルームの稼働に見合うだけの外気量を供給し、生産機器
から有毒ガス又は可燃性ガスが漏洩した時に、対応する
天井空間内に連通ずる空気流通路に設けた循環用ファン
を停止すると共に、外気導入用ダクトに設けた外気量調
整用ダンパを停止してその天井空間からの空気供給を停
止し、その周囲の天井に連結する外気量調整用ダンパを
開いてその周囲からの外気供給量を多くし、且つ、漏洩
領域の床下の排気ダンパを開いて有毒ガス又は可燃性ガ
スを排気するものである。

更に、本発明に係る危険薬品使用工場等用クリーンルー
ムの給排気方法は、作業空間の上方をフィルタ天井又は
吹出口付き天井とし、天井から空気を作業空間に吹き出
せるようにすると共に、作業空間の床下に吹き出された
空気を収容する空間を形成し、床下に収容された空気を
再び天井に戻して循環できるように循環用ファンを設け
たクリーンルームに於て、一作業空間単位毎又は一定寸
法のモジュール毎に天井内及び床下内を対応して仕切っ
て複数の天井空間と床下空間とを形成すると共に、対応
する各天井空間と床下空間とを循環用ファンを備えた空
気流通路を介して各別に連通し、各天井空間内に外気が
導入できるように各天井空間又は床下空間に外気導入路
を連通し、この外気導入路に外気導入量調整用ダンパを
設け、常態では各外気量調整用ダンパを絞って、クリー
ンルームの稼働に見合うだけの外気量を供給し、生産機
器から窒息性ガスが漏洩した時に、対応する天井空間と
その周囲の天井空間に連通ずる空気流通路の外気量調整
用ダンパを開いて外気供給量を多くすると共に、漏洩領
域の床下の排気ダンパを開いて排気するものである。

〔作　用〕

本発明に係る危険薬品使用工場等用クリーンルームに於
ては、天井空間と床下空間とが、一作業空間単位毎又は
一定寸法のモジュール毎に複数に仕切られて、各天井空
間と床下空間とが対を為すように対応して配設され、且
つ、対応する各天井空間と床下空間とが循環用ファンを
備えた空気流通路を介して各別に連通しているから、天
井空間から吹き出された空気は対応する床下空間に収容
され、その床下空間から再び天井空間に戻されるという
経路を循環する。そして、各天井空間内又は床下空間に
は、外気導入路を介して外気が導入できるようになって
いる。

又、本発明に係る危険薬品使用工場等用クリーンルーム
の給排気方法に於ては、常態では、外気導入路に設けた
外気量調整用ダンパを絞ってクリーンルームの稼働に見
合うだけの外気量を供給して室圧を制御する。そして、
生産機器から有毒ガス又は可燃性ガスが漏洩した時には
、対応する天井空間からの外気供給を停止すると共に、
循環ファンを停止し、且つ事故領域の床下の排気ダンパ
を開いて、事故領域の周囲の天井に連結する外気量調整
用ダンパを開いて事故領域周辺への外気供給量を多くし
て、事故領域周辺を積極的に加圧し、有毒ガス又は可燃
性ガスをその事故領域から排出し、排気ダンパを介して
外部に排気することができる。

更に、本発明に係る危険薬品使用工場等用クリーンルー
ムの給排気方法に於ては、常態では、外気ダクトに設け
た外気量調整用ダンパを絞って、クリーンルームの稼働
に見合うだけの外気量を供給して室圧を制御する。そし
て、生産機器から窒息性ガスが漏洩した時には、対応す
る天井空間とその周囲の天井に連結する外気量調整用ダ
ンパを開いて外気供給量を多くすると共に、対応する天
井空間からの外気供給量を最も多くし、且つ事故領域の
床下の排気ダンパを開き、窒息性ガスを事故領域から強
制的に排気することができる。

〔実施例〕

以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。

第１図及び第２図は本発明の一実施例に係る危険薬品使
用工場等用クリーンルームを示し、図に於て、２１は作
業空間である。

この作業空間２１には、所定の間隔で産業機器２２が配
設されている（本例では、便宜上１つにして説明する）
。この生産機器２２には、排気用ダクト３６が設けられ
、外部に設置した排気用ファン３７によって排気できる
ようになっている。

排気用ダクト３６には、ダンパ３８が設けられている。

作業空間２１の上方には、フィルタ天井２３が設けられ
、作業空間２１と隔離した天井側の空間２４を形成して
いる。この天井側の空間２４は、各生産機器２２の配置
スペースに応じた間隔又は一定モジュール間隔で仕切板
２５で仕切ることによって、各別に天井空間２６を形成
している。

これらの天井空間２６には、各別に循環空気用ダクト２
８が流入口２７を介して取り付けられている。各循環空
気用ダクト２８には、循環用ファン２９が設けられてい
る。

作業空間２１の下方には、無数の通気孔３１を穿設した
床部３０が設けられ、作業空間２１と隔離した床下側の
空間３２を形成している。この床下側の空間３２は、各
生産機器２２の配置スペースに応じた間隔又は一定モジ
ュール間隔で仕切板３４で仕切ることによって、各別に
床下空間３３を形成している。

これらの床下空間３３には、各別に循環空気用ダクト２
８が流入口３５を介して取り付けられている。従って、
各床下空間３３は、各循環空気用ダクト２８を介して各
天井空間２６と各別に連通し、循環用ファン２９によっ
て循環空気を各天井空間２６に供給する。

各床下空間３３には、各別に外気導入用ダクト３９が流
入口３８を介して取り付けられている。

この丼気導入用ダクト３９は、途中に温度、湿度をコン
トロールすると共に、外気を濾過するフィルタ等の調整
器４０と、ダンパ４１が設けられている。この外気導入
用ダクト３９は、常態では、クリーンルームの稼働に見
合った外気を導入して室圧を保つようにしている。

又、各床下空間３３には、各別に排気用ダクト４３が流
入口４２を介して取り付けられている。

この排気用ダクト４３には、緊急排気用ファン４４が取
り付けられ、産業機器２２が事故を起こした時に床下空
間３３から強制的に排気するようになっている。従って
、排気用ダクト４３に設けたダンパ４５は、コントロー
ラ等の指令によって常時は閉で、事故時に開となるよう
に作動されるようになっている。

次に、斯して構成された本実施例の作用を説明する。

本実施例に係る危険薬品使用工場等用クリーンルームの
給排気方法は、常態では、外気導入用ダクト３９に設け
た外気量調整用ダンパ４１を絞って、クリーンルームの
稼働に見合った外気を導入している。

そして、生産機器２２が事故を起こしてガスが漏洩した
時に、次の如くして緊急排気を行なう。

先ず、生産機器２２から毒性或いは可燃性ガスが漏洩し
た場合について、第３図に基づいて説明する。

生産機器２２の真上の天井空間２６に連通ずる循環用フ
ァン２９を停止し、この天井空間２６からの循環空気の
供給を停止すると共に、外気導入用ダクト３９に設けた
外気量調整用ダンパ４１を閉じ、生産機器２２の下の床
下空間３３への外気供給を停止し、この生産機器２２の
下に位置する排気用ダンパ４５を開き、排気用ダクト３
７を駆動し、且つ、排気用ダクト４３のダンパ４５を開
き、緊急排気用ファン４４を駆動する。更に同時に、こ
の生産機器２２の隣接ブロックの床下空間３３と連結す
る各外気導入用ダクト３９の外気量調整用ダンパ４１を
開き、この外気を各循環空気用ダクト２８を介して各天
井空間２６へ送り、矢印で示す如く、生産機器２２周辺
への外気供給量を多くして、事故領域周辺を積極的に加
圧し、有毒ガス又は可燃性ガスをその事故領域から床下
空間３３へ押し出し、その床下空間３３から排気用ダク
ト４３を介して外部に排気する。

尚、この際の外気供給は、他の生産機器２２の稼働を低
下させない範囲で、外気導入用ダクト３９の外気量調整
用ダンパ４１を全開又はそれに近い開度で開き、積極的
に外気を供給する。

このように、事故を起こした生産機器２２が設置されて
いる漏洩領域は、周囲の天井空間２６から多量の外気を
供給することによって、その周囲を加圧状態にし、ガス
の拡散が積極的に防止し、且つ、ガスを積極的に床下空
間３３へ押し出すと共に、排気用ダクト４３を介して外
部へ排出することができる。

次に、生産機器２２から窒素ガス等の窒息性ガスが漏洩
した場合について、第４図に基づいて説明する。

生産機器２２の真下の床下空間３３に連通ずる外気導入
用ダクト３９に設けた外気量調整用ダンパ４１を全開に
し、生産機器２２の真下の床下空間３３への外気供給を
増量し、この生産機器２２の真下に位置する排気用ダン
パ４５を開き、排気用ダクト３７を駆動し、且つ、排気
用ダクト４３のダンパ４５を開き、緊急排気用ファン４
４を駆動することによって、窒息性ガスをその事故領域
から床下空間３３へ押し出し、その床下空間３３から排
気用ダクト４３を介して外部に排気する。

尚、この際の外気供給は、他の生産機器２２の稼働を低
下させない範囲で、外気導入用ダクト３９の外気量調整
用ダンパ４１を全開又はそれに近い開度で開き、積極的
に外気を供給する。

このように、事故を起こした生産機器２２が設置されて
いる漏洩領域は、窒息性ガスを積極的に床下空間３３へ
押し出すと共に、排気用ダクト４３を介して外部へ排出
することができる。

尚、上記実施例では、フィルタ天井２３を用いた場合に
ついて説明したが、フィルタ天井２３に代えて吹出口を
設けた天井を配設しても良い。この場合には、各天井空
間２６毎に吹出口を設置する。

又、ガス漏洩量が少ない時には、緊急排気用ファン４４
を用いず、生産機器２２と連絡する排気用ダクト３６を
用い、排気用ファン３７によって排気するようにしても
良い。又、逆に外気供給量が足りない時には、外気導入
用ダクト３９にブースターファンを設け、送風力を高め
ても艮い。

更に、外気導入用ダクト３９を、床下空間３３に連通し
た場合について説明したが、各天井空間２６に設けても
良い。

更に又、上記実施例では、天井空間２６と床下空間３３
とを各別に循環空気用ダクト２８を介して連結した場合
について説明したが、循環空気用ダクト２８を用いずに
、各天井空間２６と床下空間３３とを廊下、メンテナン
スゾーン等の空間を使用して連結しても良い。

〔発明の効果〕

以上の如く、本発明の請求項１乃至３記載の危険薬品使
用工場等用クリーンルームによれば、一作業空間単位毎
又は一定寸法のモジュール毎に天井内及び床下内を対応
して仕切って複数の天井空間と床下空間とを形成すると
共に、対応する各天井空間と床下空間とを循環用ファン
を備えた空気流通路を介して各別に連通し、各天井空間
内に外気が導入できるように各天井空間又は床下空間に
外気導入路を連通し、この外気導入路に外気導入量調整
用ダンパを設けたものであるから、循環空気が対応する
天井空間と床下空間とを循環し、作業空間単位毎又は一
定寸法のモジュール毎での供給、停止が調整できると共
に、供給量の増減が容易に図られる。

又、本発明に係る請求項４記載の危険薬品使用工場等用
クリーンルームの給排気方法によれば、生産機器から有
毒ガス又は可燃性ガスが漏洩した時に、対応する天井内
に連結する空気流通路に設けた循環用ファンを停止する
と共に、外気導入路に設けた外気量調整用ダンパを停止
してその天井空間からの空気供給を停止し、その周囲の
天井に連結する外気量調整用ダンパを開いてその周囲か
らの外気供給量を多くするものであるから、漏洩領域が
負圧状態となり、周囲の外気吹出によって積極的に漏洩
領域の床下の排気ダンパを介して排出され、周囲に拡散
しない。その結果、クリーン度が低下せず、他の生産機
器を停止させるという不具合がない。

更に又、本発明に係る請求項５記載の危険薬品使用工場
等用クリーンルームの給排気方法によれば、生産機器か
ら窒息性ガスが漏洩した時に、対応する天井空間とその
周囲の天井に連結する外気量調整用ダンパを開いて外気
供給量を多くするものであるから、窒息性ガスがその床
下の排気ダンパを介してスムースに排出され、周囲に拡
散しない。その結果、クリーン度が低下せず、他の生産
機器を停止させるという不具合がない。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例に係る危険薬品使用工場等用ク
リーンルームを正面側から示す要部拡大断面図である。 第２図は本発明の実施例に係る危険薬品使用工場等用ク
リーンルームを側面側から示す要部拡大断面図である。 第３図は本発明の実施例に係る危険薬品使用工場等用ク
リーンルームの給排気方法が毒性、可燃性ガスの漏洩時
に作動している状態を示す正面側から見た説明図である
。 第４図は本発明の実施例に係る危険薬品使用工場等用ク
リーンルームの給排気方法が窒息性ガスの漏洩時に作動
している状態を示す正面側から見た説明図である。 第５図は従来に於ける危険薬品使用工場等の給排気方法
を示す正面側から見た説明図である。 〔主要な部分の符号の説明〕 ２１・・・作業空間 ２２・・・生産機器 ２３・・・フィルタ天井 ２５・・・仕切板 ２Ｇ・・・天井空間 ２８・・・循環空気用ダクト ２９・・・循環用ファン ３０　・ ３３　・ ３６゜ ３７　・ ３８　・ ３９　・ ４０　・ ４１　・ ４４　・ 床部 床下空間 ・・・排気用ダクト 排気用ファン ダンパ 外気導入用ダクト 調整器 外気Ｎ調整用ファン 緊急排気用ファン。 第１図 第２ 図 第 図 第 図 第 図

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. （１）作業空間の上方をフィルタ天井又は吹出口付き天
   井とし、天井から空気を作業空間に吹き出せるようにす
   ると共に、作業空間の床下に吹き出された空気を収容す
   る空間を形成し、床下に収容された空気を再び天井に戻
   して循環できるように循環用ファンを設けたクリーンル
   ームに於て、一作業空間単位毎又は一定寸法のモジュー
   ル毎に天井内及び床下内を対応して仕切って複数の天井
   空間と床下空間とを形成すると共に、対応する各天井空
   間と床下空間とを循環用ファンを備えた空気流通路を介
   して各別に連通し、各天井空間内に外気が導入できるよ
   うに各天井空間又は床下空間に外気導入路を連通し、こ
   の外気導入路に外気導入量調整用ダンパを設けたことを
   特徴とする危険薬品使用工場等用クリーンルーム。
2. （２）空気流通路が、循環用ダクト、廊下、メンテナン
   スゾーンであることを特徴とする請求項１記載の危険薬
   品使用工場等用クリーンルーム。
3. （３）外気導入路が、ダクトである請求項１記載の危険
   薬品使用工場等用クリーンルーム。
4. （４）作業空間の上方をフィルタ天井又は吹出口付き天
   井とし、天井から空気を作業空間に吹き出せるようにす
   ると共に、作業空間の床下に吹き出された空気を収容す
   る空間を形成し、床下に収容された空気を再び天井に戻
   して循環できるように循環用ファンを設けたクリーンル
   ームに於て、一作業空間単位毎又は一定寸法のモジュー
   ル毎に天井内及び床下内を対応して仕切って複数の天井
   空間と床下空間とを形成すると共に、対応する各天井空
   間と床下空間とを循環用ファンを備えた空気流通路を介
   して各別に連通し、各天井空間内に外気が導入できるよ
   うに各天井空間又は床下空間に外気導入路を連通し、こ
   の外気導入路に外気導入量調整用ダンパを設け、常態で
   は各外気量調整用ダンパを絞って、クリーンルームの稼
   働に見合うだけの外気量を供給し、生産機器から有毒ガ
   ス又は可燃性ガスが漏洩した時に、対応する天井空間内
   に連通する空気流通路に設けた循環用ファンを停止する
   と共に、外気導入用ダクトに設けた外気量調整用ダンパ
   を停止してその天井空間からの空気供給を停止し、その
   周囲の天井に連結する外気量調整用ダンパを開いてその
   周囲からの外気供給量を多くし、且つ、漏洩領域の床下
   の排気ダンパを開いて有毒ガス又は可燃性ガスを排気す
   ることを特徴とする危険薬品使用工場等クリーンルーム
   の給排気方法。
5. （５）作業空間の上方をフィルタ天井又は吹出口付き天
   井とし、天井から空気を作業空間に吹き出せるようにす
   ると共に、作業空間の床下に吹き出された空気を収容す
   る空間を形成し、床下に収容された空気を再び天井に戻
   して循環できるように循環用ファンを設けたクリーンル
   ームに於て、一作業空間単位毎又は一定寸法のモジュー
   ル毎に天井内及び床下内を対応して仕切って複数の天井
   空間と床下空間とを形成すると共に、対応する各天井空
   間と床下空間とを循環用ファンを備えた空気流通路を介
   して各別に連通し、各天井空間内に外気が導入できるよ
   うに各天井空間又は床下空間に外気導入路を連通し、こ
   の外気導入路に外気導入量調整用ダンパを設け、常態で
   は各外気量調整用ダンパを絞って、クリーンルームの稼
   働に見合うだけの外気量を供給し、生産機器から窒息性
   ガスが漏洩した時に、対応する天井空間とその周囲の天
   井空間に連通する空気流通路の外気量調整用ダンパを開
   いて外気供給量を多くすると共に、漏洩領域の床下の排
   気ダンパを開いて排気することを特徴とする危険薬品使
   用工場等用クリーンルームの給排気方法。