JPH02209319A

JPH02209319A - 搬送装置

Info

Publication number: JPH02209319A
Application number: JP2926789A
Authority: JP
Inventors: Takashi Miyatani; 孝宮谷; Kazuya Okubo; 一也大久保; Takafumi Kawamura; 孝文川村; Norio Nagai; 永井　則雄; Giichi Yokobori; 横堀　義一; Hiroyuki Terauchi; 寺内　宏之; Takashi Araki; 隆荒木
Original assignee: Toshiba Ceramics Co Ltd
Current assignee: Coorstek KK
Priority date: 1989-02-08
Filing date: 1989-02-08
Publication date: 1990-08-20

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（１）発明の目的［産業上の利用分野］本発明は、搬送装置に関し、特に液体槽の加圧液体領域
からノズルを介して液体を噴出することにより液体に浮
遊せしめて被搬送物体を搬送してなる搬送装置に関する
ものである。

［従来の技術］従来、この種の搬送技術としては、（ｉｌ被搬送物体を
ビンセットを使って直接に把持し搬送するもの、あるい
は（ｉｉ）圧搾空気を噴射することにより被搬送物体を
空中に浮上せしめて搬送するもの、もしくは（ｉｉｉｌ
ベルトコンベアに載置して被搬送物体を搬送するものな
どが提案されていた。

［解決すべき問題点］しかしながら従来の搬送技術では、（ｉｔ　ピンセット
によって把持して搬送する場合、人体から脱落した毛髪
あるいはフケなどによって被搬送物体が汚染される欠点
があり、またｆｉｌ圧搾空気によって空中に浮上せしめ
て搬送する場合、圧搾空気を被搬送物体に向けて噴射せ
しめていたので、圧搾空気中の塵埃によって被搬送物体
が汚染される欠点があり、加えて（ｉｉｉｌベルトコン
ベアに載置して搬送する場合、空気中の塵埃がベルト表
面に付着していたので、被搬送物体とベルトコンベアと
の間の接触に際し被搬送物体がその塵埃によって汚染さ
れる欠点があった。

そこで本発明は、これらの欠点を除去すべく、汚染のお
それのない液体に浮遊せしめて被搬送物体を搬送してな
る搬送装置を提供せんとするものである。

（２）発明の構成［問題点の解決手段］本発明により提供される問題点の解決手段は、「（ａ）
液体を加圧して収容する加圧液体領域を包有してなる液
体槽と、ｆｂｌ被搬送物体を液体に浮遊せしめて搬送するよう、
液体槽の加圧液体領域から加圧された液体を噴出するノズルとを備えてなる搬送装置」である。

［作用Ｊ本発明にかかる搬送装置は、　（ａｌ液体を加圧して収
容する加圧液体領域を包有してなる液体槽と、ｆｂ）被
搬送物体を液体に浮遊せしめて搬送するよう液体槽の加
圧液体領域から加圧された液体を噴出するノズルとを備
えてなるので、ｆｉｌ被搬送物体が搬送中に搬送手段に
よって汚染されることを回避する作用をなし、併せて（
ｉｉｌ搬送中に被搬送物体の洗浄を達成する作用をなし
、また（ｉｉｉｌ被搬送物体が搬送中に損傷を受けるこ
とを回避する作用をなす。

〔実施例〕

次に本発明にかかる搬送装置について、その好ましい実
施例を挙げ具体的に説明する。しかしながら以下に説明
する実施例は、本発明の理解を容易化ないし促進化する
ために記載されるものであって、本発明を限定するため
に記載されるものではない、換言すれば、以下に説明さ
れる実施例において開示される各部材は、本発明の精神
ならびに技術的範囲に属する全ての設計変更ならびに均
等物置換を含むものである。

まず第１図（ａｌ　ないし第１図［ｄｌを参照しつつ、
本発明にかかる搬送装置の第１の実施例について、その
構成および作用を詳細に説明する。

圧は１本発明にかかる搬送装置であって、純水などの汚
染のおそれのない液体１）が収容され一端部から他端部
に向は後述の被搬送物体Ｍの搬送方向にそって延長され
たステンレス製、塩化ビニル、テフロンあるいは石英ガ
ラス製などの液体槽１２が備えられている。液体槽１２
には、適宜の加圧手段（図示せず）によって加圧された
液体１）を収容するための加圧液体領域１２Ａが形成さ
れている。加圧液体領域１２Ａは、上面が液体ｌｌ内に
適宜の深さだけ埋没されるよう液体槽１２内に配設され
ており液体槽１２の底面にそって延長された平板状のノ
ズル部材１３によって区画されている。

ノズル部材１３には、被搬送物体Ｍを液体１）に浮遊せ
しめた状態で搬送するために被搬送物体Ｍの搬送方向に
向は傾斜して開口されており加圧液体領域１２Ａから液
体１）を噴出する搬送ノズル１３ａと、被搬送物体Ｍを
液体１）に浮遊せしめた状態で停止せしめるために重力
方向に向けて開口されており加圧液体領域１２Ａから液
体１）を噴出する停止ノズル１３ｂと、停止ノズル１３
ｂによる被搬送物体Ｍの停止動作を効率良く達成するた
めに被搬送物体Ｍの搬送方向に対向する方向に向けて傾
斜して開口されており加圧液体領域１２Ａから液体１）
を噴出する停止補助ノズル１３ｃとを包有している。停
止ノズル１３ｂおよび停止補助ノズル１３ｃは、所望に
より除去してもよいが、ここでは包有されているものと
して説明する。

本発明にかかる搬送装置圧は、所望によって、液体槽１
２の上方に噴霧装置１４を配設してもよく、これにより
液体１）の表面ならびに被搬送物体Ｍの表面に対して液
体１）を噴霧でき、被搬送物体Ｍが搬送中に乾燥するこ
とを防止しかつ汚染物質の飛来を遮断することができる
。したがって噴霧装置１４は、被搬送物体Ｍがシリコン
ウェーハなどの場合に特に有益である。

Ｍは、本発明にかかる搬送装置圧によって搬送される鏡
面加工されたシリコンウェーハなどの所望の被搬送物体
であって、ノズル部材１３の搬送ノズル１３ａから噴出
される液体１）によって浮遊しつつ液体槽１２の一端部
から他端部に向けて搬送され、ノズル部材１３の停止ノ
ズル１３ｂおよび停止補助ノズル１３ｃから噴出される
液体１）によって浮遊しつつ液体槽１２の他端部に停止
せしめられる。

しかして本発明にかかる搬送装置圧は、以下のごとく作
用する。

すなわち液体槽１２の加圧液体領域１２Ａに対して適宜
の加圧装置（図示せず）によって加圧された液体１）を
供給しかつノズル部材１３の搬送ノズル１３ａ＋停止ノ
ズル１３ｂおよび停止補助ノズル１３ｃからその加圧さ
れた液体１）を噴出せしめ、併せて被搬送物体Ｍの表面
が搬送中に乾燥することを防止しかつ汚染物質の飛来を
遮断できる゛よう、噴霧装置１４によって液体１）を噴
霧する。

この状態で、被搬送物体Ｍを適宜の手段（図示せず）に
よって液体槽１２の一端部に供給する。被搬送物体Ｍは
、搬送手段として搬送ノズル１３ａが液体槽１２の一端
部から他端部に向は配設されているので、その搬送ノズ
ル１３ａから噴出される液体１）によって液体１）に浮
遊しつつ噴霧装置１４で形成されたｉＦ中を矢印六方向
にそって移動する。

液体１）に浮遊しつつ搬送された被搬送物体Ｍは、液体
槽１２の他端部に到達すると、そこに停止手段として停
止ノズル１３ｂおよび停止補助ノズル１３ｃが配設され
ているので、矢印Ａ方向への搬送力が除去される。これ
により被搬送物体Ｍは、液体槽１２の他端部に停止せし
められる。液体槽１２の他端部に停止せしめられた被搬
送物体Ｍは、適宜の取出手段（図示せず）によって液体
槽１２から取出される。

次いで第２図（ａｌないし第２図（ｄｌを参照しつつ、
本発明にかかる搬送装置の第２の実施例について、その
構成および作用を詳細に説明する。

底部材２３Ｂに対しその延長方向にそって被搬送物体Ｍ
を浮上せしめるための浮上ノズル２３ｄが重力方向に向
けて形成されたことを除き、実質的に第１の実施例と同
一の構成および作用を有している。

したがってここでは説明の便宜上、第１の実施例に含ま
れた部材と同一の部材に対して第１の実施例に比べ’１
０”だけ大きい参照符号を付して第２図（ａｔ　ないし
第２図（ｄｌ　に図示することにより、これ以上の詳細
な説明を省略する。

第２の実施例は、第１の実施例に含まれた加圧液体領域
１２Ａおよびノズル部材１３に代え、加圧液体領域２２
Ａが液体槽２２の側面にそって拡張され、結果的にノズ
ル部材２３が液体槽２２の側面にそった側部材２３Ａと
その底面にそった底部材２３Ｂとで形成されており、側
部材２３Ａに対しその延長方向にそって上述の搬送ノズ
ル２３ａ、停止ノズル２３ｂおよび停止補助ノズル２３
ｃがそれぞれ形成されかつ更に第３図（ａｔないし第３
図（Ｃ１を参照しつつ、本発明にかかる搬送装置の第３
の実施例について、その構成および作用を詳細に説明す
る。

第３の実施例は、第１の実施例に含まれた停止ノズル１
３ｂおよび停止補助ノズル１３ｃに代え、液体？！３２
の他端部に対して取出装置３０Ａを配設したことを除き
、実質的に第１の実施例と同一の構成および作用を有し
ている。

したがってここでは説明の便宜上、以下に取出装置３０
Ａについて詳述することを除き、第１の実施例に含まれ
た部材と同一の部材に対して第１の実施例に比べ“２０
”だけ大きい参照符号を付して第３図ｆａｔ　ないし第
３図ｆｃ）に図示することにより、詳細な説明を省略す
る。

すなわち本発明にかかる搬送装置四に包有された取出装
置出は、液体槽３２の他端部外側に配設された駆動装置
３５と、駆動装置３５の出力シャフト３６により矢印Ｂ
方向に向けて昇降せしめられる保持部材３７と、保持部
材３７に保持されており液体槽３２の他端部において液
体３１中に配置される石英ガラス製などのカセット３８
と、ノズル部材３３の後端部に形成されており加圧液体
領域３２Ａからカセット３８の収容部下面へ液体３１を
噴出することにより被搬送物体Ｍの前端部を適宜に浮上
せしめてその収容部への収容を容易化するための取出ノ
ズル３９Ａと、カセット３８の収容部前端部に向けて液
体槽３２の上方から液体３１を噴出することにより被搬
送物体Ｍの後端部を押圧しその収容部への収容を確実化
するための他の取出ノズル３９Ｂとを包有している。

しかして本発明にかかる搬送装置３０に包有された取出
装置出は、搬送ノズル３３ａによって被搬送物体Ｍが液
体槽３２の他端部まで搬送されてきたとき、取出ノズル
３９Ａから噴出された液体３１によってその前端部を適
宜に浮上せしめ、かつ取出ノズル３９Ｂから間歇的に噴
出される液体３１によってその後端部を適宜に押圧し、
これによりカセット３８の収容部に対し被搬送物体Ｍを
支障な（好適に収容する。

取出装置３０Ａは、カセット３８に被搬送物体Ｍが収容
されると、駆動装置３５によりその出力シャフト３６を
回転せしめて保持部材３７を矢印Ｂ方向に降下せしめ、
これによりカセット３８を矢印Ｂ方向に降下せしめて後
続の被搬送物体Ｍが搬送されてくるのを待つ。

加えて第４図ｆａｔないし第４図（ｃｌを参照しつつ、
本発明にかかる搬送装置の第４の実施例について、その
構成および作用を詳細に説明する。

また第５図（ａｔないし第５図＋ｄ）を参照しつつ、本
発明にかかる搬送装置の第５の実施例にっいて、その構
成および作用を詳細に説明する。

第４の実施例は、第２の実施例に含まれた停止ノズル２
３ｂおよび停止補助ノズル２３ｃに代え、液体槽４２の
他端部に対し上述の取出装置出と同一の構成および作用
を有する取出装置出を配設したことを除き、実質的に第
２の実施例と同一の構成および作用を有している。

したがってここでは説明の便宜上、第２の実施例に含ま
れた部材と同一の部材に対して第２の実施例に比べ“２
０”だけ大きい参照符号を付し、かつ第３の実施例に含
まれた部材と同一の部材に対して第３の実施例に比べ”
１０“たけ大きい参照符号を付して第４図（ａｌないし
第４図ｆｃｌに図示することにより、これ以上の詳細な
説明を省略する。

第５の実施例は、第１の実施例に含まれた加圧液体領域
１２Ａに代え、液体槽５２の長手方向に延長された排液
溝５２８によって分割された２つの加圧液体領域５２Ａ
ａ、　５２Ａｂを包有していることを除き、実質的に第
１の実施例と同一の構成および作用を有している。

したがってここでは説明の便宜上、以下に排液溝５２Ｂ
について詳述することを除き、第１の実施例に含まれた
部材と同一の部材に対して第１の実施例に比べ“４０”
だけ大きい参照符号を付して第５図ｆａｌ　ないし第５
図（ｄ）に図示することにより、詳細な説明を省略する
。

すなわち本発明にかかる搬送装置５０は、被搬送物体Ｍ
の搬送方向に向けて傾斜して開口された搬送ノズル５３
ａから噴出される液体５１によって被搬送物体Ｍを液体
５１に浮遊せしめつつ液体槽５２の一端部から他端部に
向けて搬送し、液体槽５２の他端部で停止ノズル５３ｂ
および停止補助ノズル５３ｃから噴出される液体５１に
よって被搬送物体Ｍを液体５１に浮遊せしめつつ停止せ
しめる。

このとき搬送ノズル５３ａ、停止ノズル５３ｂおよび停
止補助ノズル５３ｃからそれぞれ噴出された液体５１が
突部５２Ｂａ、　５２Ｂｂを介して排液溝５２Ｂに向は
溢流しているので、加圧液体領域５２Ａａ、　５２Ａｂ
の側面に接触することな（、被搬送物体Ｍを液体槽５２
の中央部にそって他端部まで搬送できる。

液体槽５２の他端部まで搬送された被搬送物体Ｍは、第
１の実施例と同様に適宜の取出装置（図示せず）によっ
て取り出される。

ちなみに排液溝５２Ｂの液体５１は、適宜の手段によっ
て排除される。

ついて、その構成および作用を詳細に説明する。

第６の実施例は、第２の実施例に含まれた加圧液体領ｔ
ｉｉ２２Ａに代え、上述の排液溝５２Ｂおよび加圧液体
領域５２Ａａ、　５２Ａｂと同一の構成および作用を有
する排液溝６２Ｂおよび加圧液体領域６２Ａａ、　６２
Ａｂを包有しており、かつ第２の実施例に含まれた浮上
ノズル２３ｄを除去していることを除き、実質的に第２
の実施例と同一の構成および作用を有している。

したがってここでは説明の便宜上、第２の実施例に含ま
れた部材と同一の部材に対して第２の実施例に比べ”４
０”だけ大きい参照符号を付し、かつ第５の実施例に含
まれた部材と同一の部材に対して第５の実施例に比べ“
１０“たけ大きい参照符号を付して第６図（ａｌ　ない
し第６図ｆｄｌに図示することにより、詳細な説明を省
略する。

更にまた第６図ｆａｔ　ないし第６図Ｔｄｌを参照しつ
つ、本発明にかかる搬送装置の第６の実施例に併せて第
７図ｆａｌないし第７図（ｃｌを参照しつつ、本発明に
かかる搬送装置の第７の実施例について、その構成およ
び作用を詳細に説明する。

第７の実施例は、第１の実施例に含まれた加圧液体領域
１２Ａに代え、液体槽７２の長平方向に延長された２つ
の排液溝７２Ｂａ、　７２Ｂｂによって挟まれた加圧液
体領域７２Ａを包有していることを除き、実質的に第１
の実施例と同一の構成および作用を有している。

したがってここでは説明の便宜上、以下に排液溝７２Ｂ
ａ、　？２Ｂｂについて詳述することを除き、第１の実
施例に含まれた部材と同一の部材に対して第１の実施例
に比べ“６０“だけ大きい参照符号を付して第７図（ａ
ｌないし第７図（ｄｌ　に図示することにより、詳細な
説明を省略する。

送物体Ｍを液体７１に浮遊せしめつつ液体槽７２の一端
部から他端部に向けて搬送し、液体槽７２の他端部で停
止ノズル７３ｂおよび停止補助ノズル７３ｃから噴出さ
れる液体７１によって被搬送物体Ｍを液体７１に浮遊せ
しめつつ停止せしめる。

このとき搬送ノズル７３ａ、停止ノズル７３ｂおよび停
止補助ノズル７３ｃからそれぞれ噴出された液体７１が
突部７２Ｂａ、　７２Ｂｂを介して加圧液体領域７２Ａ
の両側の排液溝７２８ａ、　７２Ｂｂに向は溢流してい
るので、液体槽７２の側面に接触することなく、被搬送
物体Ｍをその中央部にそって他端部まで搬送できる。

液体槽７２の他端部まで搬送された被搬送物体Ｍは、第
１の実施例と同様に適宜の取出装置（図示せず）によっ
て取り出される。

すなわち本発明にかかる搬送装置四は、被搬送物体Ｍの
搬送方向に向けて傾斜して開口された搬送ノズル７３ａ
から噴出される液体７１によって被搬最後に第８図ｆａ
）ないし第８図（ｄｌを参照しつつ、本発明にかかる搬
送装置の第８の実施例について、その構成および作用を
詳細に説明する。

第８の実施例は、第６の実施例に含まれた排液溝６２Ｂ
に代え、液体槽８２の長平方向に延長されており浮上ノ
ズル８３ｄが形成された加圧液体領域８２Ａｃによって
分割された２つの排液溝８２８ａ、　８２Ｂｂを包有し
ていることを除き、実質的に第６の実施例と同一の構成
および作用を有している。

したがってここでは説明の便宜上、以下に加圧液体領域
８２Ａｃおよび排液溝８２Ｂａ、　８２Ｂｂについて詳
述することを除き、第６の実施例に含まれた部材と同一
の部材に対して第１の実施例に比べ°’２０”だけ大き
い参照符号を付して第８図ｆａｔないし第８図ｆｄｌ　
に図示することにより、詳細な説明を省略する。

すなわち本発明にかかる搬送装置８０は、被搬送物体Ｍ
の搬送方向に向けて傾斜して開口された搬送ノズル８３
ａかも噴出される液体８１によって被搬送物体Ｍを液体
８１に浮遊せしめつつ液体槽８２の一端部から他端部に
向けて搬送し、液体槽８２の他端部で停止ノズル８３ｂ
および停止補助ノズル８３ｃから噴出される液体８１に
よって被搬送物体Ｍを液体８１に浮遊せしめつつ停止せ
しめる。

このときノズル部材８３ｃに形成された浮上ノズル８３
ｄから噴出された液体８１がノズル部材８３ｃの表面か
ら排液溝８２Ｂａ、　８２Ｂｂに向けて流下しており、
かつ搬送ノズル８３ａ、停止ノズル８３ｂおよび停止補
助ノズル８３ｃからそれぞれ噴出された液体８１が突部
８２Ｂａ、　８２Ｂｂを介して排液溝８２８ａ、　８２
Ｂｂに向は溢流しているので、本発明にかかる搬送装置
廷は、加圧液体領域８２Ａａ、　８２Ａｂの側面に接触
せしめることなく、被搬送物体Ｍを液体槽８２の中央部
にそって他端部まで搬送できる。

液体槽８２の他端部まで搬送された被搬送物体Ｍは、第
１の実施例と同様に適宜の取出装置（図示せず）によっ
て取り出される。

（３）発明の効果上述より明らかなように、本発明にかかる搬送装置は、（ａｌ液体を加圧して収容する加圧液体領域を包有して
なる液体槽と、ｆｂｌ被搬送物体を液体に浮遊せしめて搬送するよう、
液体槽の加圧液体領域から加圧された液体を噴出するノズルとを備λてなるので、ｆｉｌ被搬送物体が搬送中に搬送手段によって汚染され
ることを回避できる効果を有し、併せて（ｉｉｌ搬送中に被搬送物体の洗浄を達成できる効果を有し、また（ｉｉｉｌ被搬送物体が搬送中に損傷を受けることを回
避できる効果を有する。

【図面の簡単な説明】

第１図ｆａ）〜（ｄｌは、本発明にかかる搬送装置の第
１の実施例を示すそれぞれ１．−１．線。１、−ＩＩｌ線、１ｅ−ＩＣ！！およびＩ、−１，線に
そった断面図および平面図、第２図（ａｔ〜Ｆｄｌは本
発明にかかる搬送装置の第２の実施例を示すそれぞれｎ
、−ｎ、線、■ゎ−■、線、■ゎ■。線およびｎ、−ｎ
、線にそった断面図、第３図（ａｔ〜（ｃｌは本発明に
かかる搬送装置の第３の実施例を示すそれぞれｍ、−ｒ
ｎ、線、　ＩＩｌ、　−ＩＩＩｂ線および■。−■２線
にそった断面図および部分平面図、第４図ｆａｌ〜ｆｃ
ｌは本発明にかかる搬送装置の第４の実施例を示すそれ
ぞれＩＶ、−ＩＶ、線、　ＩＶｂ−ＩＶｂ線およびＩＶ
Ｃ−ＩＶＣ線にそった断面図、第５図ｆａｔ〜ｆｄ）は
本発明にかかる搬送装置の第５の実施例を示すそれぞれ
Ｖ、−Ｖ、線。ＶＩｌ−Ｖ。線、Ｖｃ−Ｖｃ線およびＶ、−Ｖ、線にそ
った断面図、第６図ｆａｔ〜（ｄｌは本発明にかかる搬
送装置の第６の実施例を示すそれぞれＶｌ。 −Ｖｌ、線、　Ｖｌｂ−Ｖｌ、線、　Ｖｌ、−ＶｌｃＬ
’ｉ！およびｖｒ、−■ａ線にそった断面図、第７図（
ａｌ　−１ｃｌは本発明にかかる搬送装置の第７の実施
例を示すそれぞれ■、−■、綿、■。−■。綿および■
。 −■。線にそった断面図、第８図（ａｌ〜ｆｄｌは本発
明にかかる搬送装置の第８の実施例を示すそれぞれ■、
−■、線、■。−■、線、■６−■Ｃ線および■、−■
、線にそった断面図である。ＬＱ：践；凹；赳；観；観；洩；Ｕ搬送装置１）；２１；３１；４１；５１；６１；７１；８１・・
・・・・・・・・・・・・・・・・・・液体１２；２２
；３２；４２；５２；６２；７２；８２液体槽１２Ａ；２２Ａ；３２Ａ；４２Ａ；５２Ａａ、　５２Ａ
ｂ；６２Ａａ、　６２Ａｂ；７２Ａ；８２Ａａ、　８２
Ａｂ、　８２Ａｃ加圧液体領域５２Ｂ；２Ｂ；７２Ｂａ、　７２Ｂｂ・・−・・−・−
・・排液溝５２Ｂａ、　５２Ｂｂ；６２Ｂａ、　６２Ｂ
ｂ；８２Ｂａ、　８２Ｂｂ突部１３；２３；３３；４３；５３；６３；７３；８３・・
・・・・・・・・・・・・・・・・・・ノズル部材２３
＾；４３Ａ；５３＾；６３＾：８３Ａ・・・・・側部材
２３Ｂ；４３Ｂ；５３Ｂ；６３Ｂ：８３Ｂ・・・・・底
部材１３ａ；２３ａ；３３ａ；４３ａ；５３ａ；６３ａ
；７３ａ；８３ａ搬送ノズル１３ｂ；２３ｂ；３３ｂ；４３ｂ：５３ｂ：６３ｂ；７
３ｂ；８３ｂ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・
・停止ノズル１３ｃ；２３ｃ；３３ｃ；４３ｃ；５３ｃ
；６３ｃ；７３ｃ；８３ｃ停止補助ノズル１３ｄ；２３ｄ；３３ｄ：４３ｄ；５３ｄ：６３ｄ；７
３ｄ；８３ｄ浮上ノズル１４；２４；３４；４４；５４；６４；７４；８４・・
・・・噴霧装置・・・・・・・・・・・・・・・・・・
・駆動装置駆動装置出力シャフト保持部材カセット・・・・・・・・・・・・取出ノズル凹か出３５．４５３６．４６３７．４７３８．４８３９Ａ、　３９Ｂ、４９Ａ、　４９Ｂ被搬送物体第１図（ｂ）

Claims

【特許請求の範囲】

（１）（ａ）液体を加圧して収容する加圧液体領域を包
有してなる液体槽と、（ｂ）被搬送物体を液体に浮遊せしめて搬送するよう、
液体槽の加圧液体領域から加圧された液体を噴出するノ
ズルとを備えてなる搬送装置。
（２）液体槽の上方に配設されており搬送中の被搬送物
体の表面に対して液体を噴霧する噴霧装置を備えてなる
特許請求の範囲第（１）項記載の搬送装置。