JPH02208209A - 酸化物超電導体前駆物質の製造方法 - Google Patents
酸化物超電導体前駆物質の製造方法Info
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- JPH02208209A JPH02208209A JP1029144A JP2914489A JPH02208209A JP H02208209 A JPH02208209 A JP H02208209A JP 1029144 A JP1029144 A JP 1029144A JP 2914489 A JP2914489 A JP 2914489A JP H02208209 A JPH02208209 A JP H02208209A
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- 239000002887 superconductor Substances 0.000 title claims abstract description 60
- 239000002243 precursor Substances 0.000 title claims abstract description 37
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 12
- 239000002994 raw material Substances 0.000 claims abstract description 35
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 32
- 239000012159 carrier gas Substances 0.000 claims abstract description 15
- 238000005979 thermal decomposition reaction Methods 0.000 claims abstract description 10
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 9
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims abstract description 9
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims abstract description 9
- 239000000470 constituent Substances 0.000 claims abstract description 6
- 239000002904 solvent Substances 0.000 claims abstract description 3
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 5
- 150000002736 metal compounds Chemical class 0.000 claims description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 16
- 238000000151 deposition Methods 0.000 abstract description 15
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 abstract description 14
- 230000008021 deposition Effects 0.000 abstract description 11
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract description 3
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 abstract 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 10
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 10
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 8
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 7
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 6
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 6
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 6
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 6
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 description 5
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 5
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 4
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 4
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 3
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 3
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 3
- 229910052797 bismuth Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- 238000004663 powder metallurgy Methods 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910017610 Cu(NO3) Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001242 acetic acid derivatives Chemical class 0.000 description 1
- 229910052784 alkaline earth metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001342 alkaline earth metals Chemical class 0.000 description 1
- -1 and other elements Chemical compound 0.000 description 1
- 229910052788 barium Inorganic materials 0.000 description 1
- JCXGWMGPZLAOME-UHFFFAOYSA-N bismuth atom Chemical compound [Bi] JCXGWMGPZLAOME-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052791 calcium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 239000003595 mist Substances 0.000 description 1
- 150000002823 nitrates Chemical class 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 229910052761 rare earth metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
- 229910052712 strontium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052716 thallium Inorganic materials 0.000 description 1
- BKVIYDNLLOSFOA-UHFFFAOYSA-N thallium Chemical compound [Tl] BKVIYDNLLOSFOA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001947 vapour-phase growth Methods 0.000 description 1
- 229910052727 yttrium Inorganic materials 0.000 description 1
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E40/00—Technologies for an efficient electrical power generation, transmission or distribution
- Y02E40/60—Superconducting electric elements or equipment; Power systems integrating superconducting elements or equipment
Landscapes
- Inorganic Compounds Of Heavy Metals (AREA)
- Superconductor Devices And Manufacturing Methods Thereof (AREA)
- Superconductors And Manufacturing Methods Therefor (AREA)
- Oxygen, Ozone, And Oxides In General (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は酸化物超電導体前駆物質の製造方法に関するも
のである。
のである。
近年、アルカリ土金属、希土類元素、銅、ビスマス、タ
リウム等の元素及び酸素からなるＹＢａ。
リウム等の元素及び酸素からなるＹＢａ。
Ｃｕ、０７−δ、Ｂｉ２３ ｒ２Ｃａ２Ｃｕ３０Ｘ等の
化学式で示される酸化物超電導体が見出されている。
化学式で示される酸化物超電導体が見出されている。
これらの酸化物超電導体は液体Ｎ２温度以上で超電導状
態となる為、従来の液体Ｈｅ温度で超電導を示す金属超
電導体に比べて格段に経済的であり、各分野での利用が
検討されている。
態となる為、従来の液体Ｈｅ温度で超電導を示す金属超
電導体に比べて格段に経済的であり、各分野での利用が
検討されている。
ところで前記酸化物超電導体は脆い為金属材料の様に塑
性加工が出来ず、これらを板材や線材等に加工するには
、主に粉末冶金法が用いられ、例えば原料粉末を仮焼成
して仮焼粉となし、この仮焼粉を押出成形したり、又は
Ａｇ管等に充填して減面加工し、次いでこれを酸素含有
雰囲気中で加熱焼結する方法が取られている。しかしこ
の様な粉末冶金法では、酸化物超電導体をマグネットコ
イル導体等として利用する際に必要な長尺品を得る事が
困難であった。
性加工が出来ず、これらを板材や線材等に加工するには
、主に粉末冶金法が用いられ、例えば原料粉末を仮焼成
して仮焼粉となし、この仮焼粉を押出成形したり、又は
Ａｇ管等に充填して減面加工し、次いでこれを酸素含有
雰囲気中で加熱焼結する方法が取られている。しかしこ
の様な粉末冶金法では、酸化物超電導体をマグネットコ
イル導体等として利用する際に必要な長尺品を得る事が
困難であった。
そこでＣＶＤ法等の気相成長法により、連続的に走行す
るテープ状或いは線状の基体上に酸化物超電導体膜を連
続的に堆積させる方法が種々検討されており、例えば酸
化物超電導体の原料溶液を霧状化し、この霧状体をキャ
リアガスにより加熱された連続的に走行するテープ状或
いは線状の基体表面に搬送し、この基体表面上に熱分解
反応により酸化物超電導体の前駆物質を膜状に堆積せし
め、引続きこれを熱処理して酸化物超電導体の長尺品を
連続的に製造する方法が最近注目されている。
るテープ状或いは線状の基体上に酸化物超電導体膜を連
続的に堆積させる方法が種々検討されており、例えば酸
化物超電導体の原料溶液を霧状化し、この霧状体をキャ
リアガスにより加熱された連続的に走行するテープ状或
いは線状の基体表面に搬送し、この基体表面上に熱分解
反応により酸化物超電導体の前駆物質を膜状に堆積せし
め、引続きこれを熱処理して酸化物超電導体の長尺品を
連続的に製造する方法が最近注目されている。
第４図はこの様なＣＶＤ法による酸化物超電導体の製造
方法の一例を示す説明図であって、酸化物超電導体の原
料溶液１０を、底部に超音波発振子１１を有する超音波
噴霧器１２により霧状化し、この霧状体を酸素を含有す
るキャリアガスにより搬送して、ノズル２の先端より赤
外線加熱炉１４により加熱された金属製線材ＩＡの表面
に噴出させ、その表面に熱分解反応により酸化物超電導
体の前駆物質ＩＢを堆積せしめる。次にこの線材ＩＢを
引続き焼結用電気炉４、アニール用電気炉１５により熱
処理して表面に酸化物超電導体膜を有する線材ＩＣとし
、この線材ＩＣの表面に樹脂被覆用ダイス５により樹脂
６を被覆した後、これを樹脂硬化用電気炉７で加熱して
酸化物超電導線材ＩＤとし、巻取り機８に巻取る。
方法の一例を示す説明図であって、酸化物超電導体の原
料溶液１０を、底部に超音波発振子１１を有する超音波
噴霧器１２により霧状化し、この霧状体を酸素を含有す
るキャリアガスにより搬送して、ノズル２の先端より赤
外線加熱炉１４により加熱された金属製線材ＩＡの表面
に噴出させ、その表面に熱分解反応により酸化物超電導
体の前駆物質ＩＢを堆積せしめる。次にこの線材ＩＢを
引続き焼結用電気炉４、アニール用電気炉１５により熱
処理して表面に酸化物超電導体膜を有する線材ＩＣとし
、この線材ＩＣの表面に樹脂被覆用ダイス５により樹脂
６を被覆した後、これを樹脂硬化用電気炉７で加熱して
酸化物超電導線材ＩＤとし、巻取り機８に巻取る。
然しなから前記霧状体原料溶液の熱分解反応により連続
的に走行する基体表面に酸化物超電導体前駆物質を堆積
させ、これを引続き熱処理して酸化物超電導体膜とする
方法においては、霧状原料溶液の熱分解反応により生成
した超電導体前駆物質の微粒子が基体上に堆積する効率
が約数％と極めて小さく、その為酸化物超電導体前駆物
質の基体表面への堆積速度が遅く、効率が悪いという問
題があった。
的に走行する基体表面に酸化物超電導体前駆物質を堆積
させ、これを引続き熱処理して酸化物超電導体膜とする
方法においては、霧状原料溶液の熱分解反応により生成
した超電導体前駆物質の微粒子が基体上に堆積する効率
が約数％と極めて小さく、その為酸化物超電導体前駆物
質の基体表面への堆積速度が遅く、効率が悪いという問
題があった。
本発明は上記の点に鑑み鋭意検討の結果なされたもので
あり、その目的とするところは、酸化物超電導体前駆物
質の基体表面上への堆積速度を向上させ、酸化物超電導
体の長尺品を効率良く製造する方法を提供する事である
。
あり、その目的とするところは、酸化物超電導体前駆物
質の基体表面上への堆積速度を向上させ、酸化物超電導
体の長尺品を効率良く製造する方法を提供する事である
。
本発明者等は上述の様な問題点を解決する為鋭意検討し
た結果、上述のＣＶＤ法では第３図に示す様に霧状原料
溶液１３が加熱されて蒸発（１７）し、これが熱分解（
１Ｂ）Ｌ、更に酸化等の反応によって酸化物超電導体前
駆物質の微粒子１９となり、この微粒子１９が基体２０
の表面に付着して、酸化物超電導体前駆物質膜９として
堆積するものであるが、この際前記酸化物超電導体前駆
物質の微粒子の多くは熱泳動効果によって高温に加熱さ
れた基体表面から遠ざけられる為、一部の微粒子しか基
体表面上に堆積しない事、そしてその堆積速度を太き（
する為には単位体積当たりの微粒子の濃度を増加させる
事が有効である事を見出した。而して霧状原料溶液の微
粒子濃度を高める方法について種々検討した結果、超音
波噴霧器等の霧化器を２台以上直列に接続してそこにキ
ャリアガスを送る事により該キャリアガス中の霧状原料
溶液の濃度を漸次増加出来、よって前記酸化物超電導体
前駆物質の微粒子の濃度を増加させる事が出来る事を見
出して、本発明の完成に到ったものである。
た結果、上述のＣＶＤ法では第３図に示す様に霧状原料
溶液１３が加熱されて蒸発（１７）し、これが熱分解（
１Ｂ）Ｌ、更に酸化等の反応によって酸化物超電導体前
駆物質の微粒子１９となり、この微粒子１９が基体２０
の表面に付着して、酸化物超電導体前駆物質膜９として
堆積するものであるが、この際前記酸化物超電導体前駆
物質の微粒子の多くは熱泳動効果によって高温に加熱さ
れた基体表面から遠ざけられる為、一部の微粒子しか基
体表面上に堆積しない事、そしてその堆積速度を太き（
する為には単位体積当たりの微粒子の濃度を増加させる
事が有効である事を見出した。而して霧状原料溶液の微
粒子濃度を高める方法について種々検討した結果、超音
波噴霧器等の霧化器を２台以上直列に接続してそこにキ
ャリアガスを送る事により該キャリアガス中の霧状原料
溶液の濃度を漸次増加出来、よって前記酸化物超電導体
前駆物質の微粒子の濃度を増加させる事が出来る事を見
出して、本発明の完成に到ったものである。
即ち本発明は、酸化物超電導体の構成元素を各々含有す
る金属化合物をそれぞれ所定量溶媒に溶解して得られた
原料溶液を所望手段により霧状化し、この霧状体を酸素
を含有するキャリアガスにより加熱された基体表面に搬
送し、この基体表面上に熱分解反応により酸化物超電導
体の前駆物質を堆積せしめる酸化物超電導体前駆物質の
製造方法において、２台以上の霧化器を直列に接続して
キャリアガスを送る事を特徴とする酸化物超電導体前駆
物質の製造方法である。尚酸化物超電導体の構成元素を
含有する金属化合物としては、Ｙ、Ｂａ及びＣｕの酢酸
塩或いはＢｉ、Ｓｒ、Ｃａ及びＣｕの硝酸塩等が好適な
化合物である。
る金属化合物をそれぞれ所定量溶媒に溶解して得られた
原料溶液を所望手段により霧状化し、この霧状体を酸素
を含有するキャリアガスにより加熱された基体表面に搬
送し、この基体表面上に熱分解反応により酸化物超電導
体の前駆物質を堆積せしめる酸化物超電導体前駆物質の
製造方法において、２台以上の霧化器を直列に接続して
キャリアガスを送る事を特徴とする酸化物超電導体前駆
物質の製造方法である。尚酸化物超電導体の構成元素を
含有する金属化合物としては、Ｙ、Ｂａ及びＣｕの酢酸
塩或いはＢｉ、Ｓｒ、Ｃａ及びＣｕの硝酸塩等が好適な
化合物である。
〔作用〕
本発明においては例えば第２図に示す様な超音波噴霧器
１２を２台以上直列に接続して、これにキャリアガスを
送りそれぞれの超音波噴霧器１２によって原料溶液１０
を霧状化しているので、キャリアガス中の霧状原料溶液
１３の濃度が漸次増加し、よって当該霧状原料溶液１３
の熱分解によって基体表面付近に生成する酸化物超電導
体前駆物質からなる微粒子の濃度も増加する為、酸化物
超電導体前駆物質の基体上への堆積速度が向上する。
１２を２台以上直列に接続して、これにキャリアガスを
送りそれぞれの超音波噴霧器１２によって原料溶液１０
を霧状化しているので、キャリアガス中の霧状原料溶液
１３の濃度が漸次増加し、よって当該霧状原料溶液１３
の熱分解によって基体表面付近に生成する酸化物超電導
体前駆物質からなる微粒子の濃度も増加する為、酸化物
超電導体前駆物質の基体上への堆積速度が向上する。
次に本発明の実施例を図面を参照しながら具体的に説明
する。
する。
第１図は本発明方法の実施に使用する装置の一例を示す
要部説明図である。この装置は原料溶液を霧状化して搬
送する原料供給装置１６と、霧状化した原料溶液を加熱
された金属製線材ＩＡ上に噴出させるノズル２と、前記
金属製線材ＩＡを加熱する赤外線加熱炉１４と、酸化物
超電導体前駆物質が堆積した線材ＩＢを焼結処理する焼
結用電気炉４と、前記線材ＩＢを引続き焼鈍するアニル
用電気炉１５と、この様にして得られた表面に酸化物超
電導体膜を有する線材ＩＣに樹脂を被覆して該樹脂を硬
化させる樹脂被覆用ダイス５及び樹脂硬化用電気炉７と
、得られた酸化物超電導線材ＩＤを巻取る巻取機８とか
ら構成されている。
要部説明図である。この装置は原料溶液を霧状化して搬
送する原料供給装置１６と、霧状化した原料溶液を加熱
された金属製線材ＩＡ上に噴出させるノズル２と、前記
金属製線材ＩＡを加熱する赤外線加熱炉１４と、酸化物
超電導体前駆物質が堆積した線材ＩＢを焼結処理する焼
結用電気炉４と、前記線材ＩＢを引続き焼鈍するアニル
用電気炉１５と、この様にして得られた表面に酸化物超
電導体膜を有する線材ＩＣに樹脂を被覆して該樹脂を硬
化させる樹脂被覆用ダイス５及び樹脂硬化用電気炉７と
、得られた酸化物超電導線材ＩＤを巻取る巻取機８とか
ら構成されている。
而して前記原料供給装置１６としては、底部に超音波発
振子１１を有する超音波噴霧器１２を１０台直列に接続
した第２図に示す様な構成のものを使用し、キャリアガ
スとして０□ガスをこれらの超音波噴霧器１２中を順次
通過させて、当該キャリアガス中の霧状原料溶液１３の
濃度を漸次増加させてからノズル２に搬送した。
振子１１を有する超音波噴霧器１２を１０台直列に接続
した第２図に示す様な構成のものを使用し、キャリアガ
スとして０□ガスをこれらの超音波噴霧器１２中を順次
通過させて、当該キャリアガス中の霧状原料溶液１３の
濃度を漸次増加させてからノズル２に搬送した。
実施例１
酸化物超電導体の構成元素を含有する化合物として、Ｙ
（ＣＨ３ＣＯＯ）３ ・４ ＨｚＯｌＢａ （ＣＨ
３Ｃ００）ｚ ・ＨｚＯ及びＣｕ （ＣＨｘＣＯＯ）
ｚ・Ｈ２Ｏを用い、各々の化合物をＹ：Ｂａ：Ｃｕがモ
ル比で１：２：３になる様に秤量し、これを純水にＹ
Ｂ ａ ２ Ｃｕ ３の組成で０．０４ ｍ ｏ Ｉ！
、／ ｌ溶解し、これを第２図に示した原料供給装置に
より霧状体し、３１７ ｍ ｉ ｎの０２ガスにより搬
送して、ノズル２から１０ｍｍ／ｈｒの速度で一方向に
移動するテープ状のＰｔ線材ＩＡの表面に噴出せしめた
。この際前記ｐｔ線材ＩＡをノズル２と反対の側に設置
された赤外線加熱炉１４により加熱して、前記霧状原料
溶液の熱分解反応により生成した酸化物超電導体前駆物
質が堆積する部分の温度が５００°Ｃになる様にした。
（ＣＨ３ＣＯＯ）３ ・４ ＨｚＯｌＢａ （ＣＨ
３Ｃ００）ｚ ・ＨｚＯ及びＣｕ （ＣＨｘＣＯＯ）
ｚ・Ｈ２Ｏを用い、各々の化合物をＹ：Ｂａ：Ｃｕがモ
ル比で１：２：３になる様に秤量し、これを純水にＹ
Ｂ ａ ２ Ｃｕ ３の組成で０．０４ ｍ ｏ Ｉ！
、／ ｌ溶解し、これを第２図に示した原料供給装置に
より霧状体し、３１７ ｍ ｉ ｎの０２ガスにより搬
送して、ノズル２から１０ｍｍ／ｈｒの速度で一方向に
移動するテープ状のＰｔ線材ＩＡの表面に噴出せしめた
。この際前記ｐｔ線材ＩＡをノズル２と反対の側に設置
された赤外線加熱炉１４により加熱して、前記霧状原料
溶液の熱分解反応により生成した酸化物超電導体前駆物
質が堆積する部分の温度が５００°Ｃになる様にした。
又焼結用電気炉４及びアニール用電気炉Ｉ５の温度はそ
れぞれ９００°Ｃ及び４００°Ｃに設定し、いずれも酸
素雰囲気中で熱処理を行なった。
れぞれ９００°Ｃ及び４００°Ｃに設定し、いずれも酸
素雰囲気中で熱処理を行なった。
この様な方法で長さ４００ｍｍの酸化物超電導線材を作
製し、直流４端子法でその臨界温度（Ｔ、）及び臨界電
流密度（ＪＣ）を測定した。又この酸化物超電導線材の
中央部を破断させて、その破断面を走査電子顕微鏡（Ｓ
ＥＭ）で観察する事により酸化物超電導体膜の膜厚を測
定した。更に原料溶液の噴霧速度、即ち霧状原料溶液の
発生量を測定し、これらの結果を本発明例品１として第
１表にまとめて示した。尚霧状原料溶液の発生量は、酸
化物超電導体前駆物質が基体上への堆積を開始する前の
原料溶液の総重ｉｉＷｏ（ｇ）及び前記基体上への堆積
を終了した後の原料溶液の総重量Ｗ（ｇ）を測定し、（
ｗｏ−ｗ）／ｌにより計算した（但しｔは堆積時間−２
０Ｘ６０ｍｉｎ）。
製し、直流４端子法でその臨界温度（Ｔ、）及び臨界電
流密度（ＪＣ）を測定した。又この酸化物超電導線材の
中央部を破断させて、その破断面を走査電子顕微鏡（Ｓ
ＥＭ）で観察する事により酸化物超電導体膜の膜厚を測
定した。更に原料溶液の噴霧速度、即ち霧状原料溶液の
発生量を測定し、これらの結果を本発明例品１として第
１表にまとめて示した。尚霧状原料溶液の発生量は、酸
化物超電導体前駆物質が基体上への堆積を開始する前の
原料溶液の総重ｉｉＷｏ（ｇ）及び前記基体上への堆積
を終了した後の原料溶液の総重量Ｗ（ｇ）を測定し、（
ｗｏ−ｗ）／ｌにより計算した（但しｔは堆積時間−２
０Ｘ６０ｍｉｎ）。
比較例１
原料供給装置として、第４図に示す様に超音波噴霧器１
２を１台しか用いなかった以外は実施例１と同様な方法
で酸化物超電導線材を作製し、実施例１と同様な測定を
行なって、その結果を比較別品１として第１表に併記し
た。
２を１台しか用いなかった以外は実施例１と同様な方法
で酸化物超電導線材を作製し、実施例１と同様な測定を
行なって、その結果を比較別品１として第１表に併記し
た。
実施例２
酸化物超電導体の構成元素を含有する化合物として、Ｂ
ｉ （ＮＯ３）：＋ ・５ ＨｚＯｌＳ ｒ （Ｎ
Ｏ−） ｚ・４Ｈ，０、Ｃａ （ＮＯ３）ｚ・４Ｈ２
０及びＣｕ（ＮＯ３）２・６Ｈ２０を用い、各々の化合
物をＢｉ：ｓｒ：Ｃａ：Ｃｕがモル比で２：２：２：３
となる様に秤量し、これを純水にＢ ｉｚｓ ｒｚｃａ
ｔＣｕ＝の組成で０．０１ ｍ ｏ ｊ１！ ／ ｌ溶
解し、これを実施例１と同様な方法で霧状化し、４ｊ！
／ｍｉｎの０□ガスにより搬送して、ノズル２から１０
ｍｍ／ｈｒの速度で一方向に移動するテープ状のＰｔ線
材ＩＡの表面に噴出せしめた。この際前記Ｐｔ線材ＩＡ
を実施例１と同様な方法でその温度が６００°Ｃになる
様に加熱した。又焼結用電気炉４及びアニール用電気炉
１５の温度はそれぞれ８７０°Ｃ及び５００°Ｃに設定
し、いずれも酸素雰囲気中で熱処理を行なった。
ｉ （ＮＯ３）：＋ ・５ ＨｚＯｌＳ ｒ （Ｎ
Ｏ−） ｚ・４Ｈ，０、Ｃａ （ＮＯ３）ｚ・４Ｈ２
０及びＣｕ（ＮＯ３）２・６Ｈ２０を用い、各々の化合
物をＢｉ：ｓｒ：Ｃａ：Ｃｕがモル比で２：２：２：３
となる様に秤量し、これを純水にＢ ｉｚｓ ｒｚｃａ
ｔＣｕ＝の組成で０．０１ ｍ ｏ ｊ１！ ／ ｌ溶
解し、これを実施例１と同様な方法で霧状化し、４ｊ！
／ｍｉｎの０□ガスにより搬送して、ノズル２から１０
ｍｍ／ｈｒの速度で一方向に移動するテープ状のＰｔ線
材ＩＡの表面に噴出せしめた。この際前記Ｐｔ線材ＩＡ
を実施例１と同様な方法でその温度が６００°Ｃになる
様に加熱した。又焼結用電気炉４及びアニール用電気炉
１５の温度はそれぞれ８７０°Ｃ及び５００°Ｃに設定
し、いずれも酸素雰囲気中で熱処理を行なった。
この様な方法で長さ４００ｍｍの酸化物超電導線材を作
製し、実施例１と同様な測定を行なってその結果を本発
明別品２として第１表に併記した。
製し、実施例１と同様な測定を行なってその結果を本発
明別品２として第１表に併記した。
比較例２
原料供給装置として、第４図に示す様に超音波噴霧器１
２を１台しか用いなかった以外は実施例２と同様な方法
で酸化物超電導線材を作製し、実施例２と同様な測定を
行なって、その結果を比較測高２として第１表に併記し
た。
２を１台しか用いなかった以外は実施例２と同様な方法
で酸化物超電導線材を作製し、実施例２と同様な測定を
行なって、その結果を比較測高２として第１表に併記し
た。
ｚ
第１表から明らかな様に本発明の方法により製造した本
発明別品１及び２は原料溶液の霧状化に超音波噴霧器を
１台しか用いなかった比較測高１及び２に比べて、霧状
原料溶液の噴霧速度がそれぞれ約８倍となっており、１
０台の超音波噴霧器を直列に接続して使用する事により
、霧状原料溶液の熱分解によって基体付近に生成し、該
基体上に堆積する酸化物超電導体前駆物質の微粒子の濃
度が約８倍になったものと考えられる。この様に酸化物
超電導体前駆物質の微粒子の濃度が増加した結果、当該
酸化物超電導体前駆物質の微粒子の基体上への堆積速度
が向上し、本発明別品１及び２は、基体上へ堆積した酸
化物超電導体前駆物質の膜厚が比較測高１及び２に比べ
てそれぞれ約７倍になっている。又本発明別品１及び２
はそれぞれ比較測高１及び２に比べて、臨界温度（Ｔ、
）、臨界電流密度（Ｊ、）等の超電導特性も良好である
。
発明別品１及び２は原料溶液の霧状化に超音波噴霧器を
１台しか用いなかった比較測高１及び２に比べて、霧状
原料溶液の噴霧速度がそれぞれ約８倍となっており、１
０台の超音波噴霧器を直列に接続して使用する事により
、霧状原料溶液の熱分解によって基体付近に生成し、該
基体上に堆積する酸化物超電導体前駆物質の微粒子の濃
度が約８倍になったものと考えられる。この様に酸化物
超電導体前駆物質の微粒子の濃度が増加した結果、当該
酸化物超電導体前駆物質の微粒子の基体上への堆積速度
が向上し、本発明別品１及び２は、基体上へ堆積した酸
化物超電導体前駆物質の膜厚が比較測高１及び２に比べ
てそれぞれ約７倍になっている。又本発明別品１及び２
はそれぞれ比較測高１及び２に比べて、臨界温度（Ｔ、
）、臨界電流密度（Ｊ、）等の超電導特性も良好である
。
本発明の方法によれば、酸化物超電導体前駆物質の基体
上への堆積速度が向上し、これを引続き熱処理する事に
より酸化物超電導線材の長尺品を効率良く製造する事が
出来る等、工業上顕著な効果を奏するものである。
上への堆積速度が向上し、これを引続き熱処理する事に
より酸化物超電導線材の長尺品を効率良く製造する事が
出来る等、工業上顕著な効果を奏するものである。
第１図は本発明方法の実施に使用する装置の一例を示す
要部説明図、第２図は第１図における原料供給装置の部
分の拡大説明図、第３図は霧状原料溶液を用いて加熱し
た基板上に酸化物超電導体前駆物質を堆積させる方法の
原理を示す説明図、第４図は従来の酸化物超電導体製造
装置の要部説明図である。 ＩＡ・−・金属製線材、ＩＢ−酸化物超電導体の前駆物
質を堆積させた線材、ＩＣ−表面に酸化物超電導体膜を
有する線材、ＩＩ）−酸化物超電導線材、２−・・ノズ
ル、３−−−−一霧状原料溶液とキャリアガスとの混合
物、４−−−−一焼結用電気炉、５− 樹脂被覆用ダ
イス、６−樹脂、７− 樹脂硬化用電気炉、８−巻取
り機、９− 超電導体前駆物質の膜、１〇−原料溶液
、１１−・−超音波発振子、１２− 超音波噴霧器、
霧状原料溶液、 赤外線加熱炉、 アニール用電気炉、 原料供給装置、 一分解生成物、 微粒子、２０ 一基体、
要部説明図、第２図は第１図における原料供給装置の部
分の拡大説明図、第３図は霧状原料溶液を用いて加熱し
た基板上に酸化物超電導体前駆物質を堆積させる方法の
原理を示す説明図、第４図は従来の酸化物超電導体製造
装置の要部説明図である。 ＩＡ・−・金属製線材、ＩＢ−酸化物超電導体の前駆物
質を堆積させた線材、ＩＣ−表面に酸化物超電導体膜を
有する線材、ＩＩ）−酸化物超電導線材、２−・・ノズ
ル、３−−−−一霧状原料溶液とキャリアガスとの混合
物、４−−−−一焼結用電気炉、５− 樹脂被覆用ダ
イス、６−樹脂、７− 樹脂硬化用電気炉、８−巻取
り機、９− 超電導体前駆物質の膜、１〇−原料溶液
、１１−・−超音波発振子、１２− 超音波噴霧器、
霧状原料溶液、 赤外線加熱炉、 アニール用電気炉、 原料供給装置、 一分解生成物、 微粒子、２０ 一基体、
Claims (1)
- 酸化物超電導体の構成元素を各々含有する金属化合物を
それぞれ所定量溶媒に溶解して得られた原料溶液を所望
手段により霧状化し、この霧状体を酸素を含有するキャ
リアガスにより加熱された基体表面に搬送し、この基体
表面上に熱分解反応により酸化物超電導体の前駆物質を
堆積せしめる酸化物超電導体前駆物質の製造方法におい
て、２台以上の霧化器を直列に接続してキャリアガスを
送る事を特徴とする酸化物超電導体前駆物質の製造方法
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1029144A JPH02208209A (ja) | 1989-02-08 | 1989-02-08 | 酸化物超電導体前駆物質の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1029144A JPH02208209A (ja) | 1989-02-08 | 1989-02-08 | 酸化物超電導体前駆物質の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02208209A true JPH02208209A (ja) | 1990-08-17 |
Family
ID=12268078
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1029144A Pending JPH02208209A (ja) | 1989-02-08 | 1989-02-08 | 酸化物超電導体前駆物質の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02208209A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8124171B2 (en) | 2005-03-25 | 2012-02-28 | International Superconductivity Technology Center, The Juridical Foundation | Method of and apparatus for manufacturing tape-formed oxide superconductor |
| WO2012105244A1 (ja) * | 2011-02-03 | 2012-08-09 | 昭和電線ケーブルシステム株式会社 | テープ状酸化物超電導線材の製造方法及び熱処理装置 |
| WO2012105243A1 (ja) * | 2011-02-03 | 2012-08-09 | 公益財団法人国際超電導産業技術研究センター | テープ状酸化物超電導線材の製造方法及び熱処理装置 |
-
1989
- 1989-02-08 JP JP1029144A patent/JPH02208209A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8124171B2 (en) | 2005-03-25 | 2012-02-28 | International Superconductivity Technology Center, The Juridical Foundation | Method of and apparatus for manufacturing tape-formed oxide superconductor |
| WO2012105244A1 (ja) * | 2011-02-03 | 2012-08-09 | 昭和電線ケーブルシステム株式会社 | テープ状酸化物超電導線材の製造方法及び熱処理装置 |
| WO2012105243A1 (ja) * | 2011-02-03 | 2012-08-09 | 公益財団法人国際超電導産業技術研究センター | テープ状酸化物超電導線材の製造方法及び熱処理装置 |
| JP2012164443A (ja) * | 2011-02-03 | 2012-08-30 | Swcc Showa Cable Systems Co Ltd | テープ状酸化物超電導線材の製造方法及び熱処理装置 |
| JP2012164442A (ja) * | 2011-02-03 | 2012-08-30 | International Superconductivity Technology Center | テープ状酸化物超電導線材の製造方法及び熱処理装置 |
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