JPH02198301A - 誘導性近接センサ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明はセンサヘッドから出る交番磁界は当該磁界に作
用を与える物体の接近の際その磁力線分布経過の点で変
化せしめられ、上記の磁界変化はセンサの評価回路にお
いて検出され応答信号の形成に用いられる誘導性近接セ
ンサに関する。

公知の誘導性近接センサでは自動振動する減衰可能な発
振器が使用され、その際センサヘッドはフェライトコア
から成る。その際そのセンサヘッドには発振器の一部で
あるコイルが巻回されている。上記発振器には電子的ア
ンプ回路を介して丁度法のような程度の電気エネルギが
供給される。すなわち、発振器自体にて生じる振動損失
がカバーされ発振器が共振特性で振動する程度の電気エ
ネルギが供給される。センサヘッドのフェライトコアか
ら出てゆく交番磁界中に導電性物体がもたらされる（進
入する）と、上記物体中に交番磁界により渦電流が生ぜ
しめられ、この渦電流により発振器からエネルギが奪い
去られ、それにより振動の共振状態が消失し、アンプか
らのエネルギ供給は当該振動を維持するのに十分なもの
でなくなる。振動の消滅は交流磁界内での物体の存在を
表わす信号として評価される。

***特許出願公開公報第１９１５０４４号からも公知の
誘導性センサでは同様に自励振動する減衰可能又は励振
可能な発振器が設けられている。このセンサは交番磁界
内に進入する非鉄金属体又は鉄金属体に応動するもので
ある。非鉄金属体を指示しようとする場合は発振器はま
だ振動しないように調整される。交番磁界を発生するコ
イルは減衰管体により取囲まれている。交番磁界中へ非
鉄金属体の進入の際磁力線がおし戻されて、比較的に短
い距離経路を介して減衰管体を通ってコイルコアのとこ
ろへ戻るように導かれ、それにより、減衰管体にて先立
って生じた渦電流損失が減少され発振器は励振される。

鉄金属体を検出しようとする場合、発振器は丁度振動す
るように調整される。鉄金属体が交番磁界の領域内に入
ると、鉄金属体における交番磁界の磁束が集中せしめら
れ、それにより、振動を減衰させる渦電流が生じ、それ
により、振動は通常の減衰される近接センサにおけるよ
うに消滅する。

上記の及び他の公知の渦電流により減衰される誘導性近
接センサにて欠点となるのは発振器の所要の高いＱであ
り、更に、アンプ回路を介して供給される振動エネルギ
は全く精確に維持されなければならない。高い発振器品
質（回路の良さ）を得るのに発振器回路における大きな
インダクタンス及び比較的小さな容量が必要であり、そ
の際上記インダクタンスはやはり高価なフェライトコア
上に巻装されているコイルによってのみ実現され得る。

また、比較的小型のセンサではインダクタンスを任意に
大きくするわけにはゆかないので、自由に利用可能でな
い無線電磁波の領域内に入る発振器周波が生じる。極め
て問題性のあるのはアンプ回路である、それというのは
、過度に小さくない作動間隔（ギャップ）を得ようとす
る場合、大きなコストと複雑な回路手法を用いなければ
上記アンプ回路を相当温度安定性にすることはできない
からである。比較的大きな作動間隔の場合、センサヘッ
ドから出る交番磁界のうち外部磁力線のみが、当該磁界
内にもたらされる金属体にて渦電流の発生のため用いら
れる。アンプにより供給されるエネルギがたんに所要の
エネルギ供給量よりわずかだけ高い場合には共振状態に
おいて発生さるべきエネルギからエネルギの奪取（減少
）を行うだけでは振動の消滅がなされず、所要の振動消
滅を行わせるのに十分なエネルギ奪取が行われるように
するにはセンサの作動間隔がさらに短縮されねばならな
い。今日達成可能な作動間隔は公知の発振器減衰層近接
スイッチではセンサヘッドにおけるフェライトコア直径
のほぼ半分である。その際通常の作動トレランスは＋／
−１θ％を上回る。

発明の目的 本発明の課題ないし目的とするところは簡単な手段によ
り、センサヘッド直径に比しての大きな作動間隔をわず
かなトレランスと無視可能な温度依存性を以って達成し
得る誘導性近接センサを提供することにある。

発明の構成 上記課題の解決策は請求範囲１の構成要件により可能で
ある。

交番磁界の発生のため交流電源により給電される磁界発
生コイルが設けられていることにより、上記の交流電流
は温度特性の安定した、比較的低周波の任意の交流電源
から取出され得るのであり、高いＱ（回路の良さ）で、
よって、高い発振器周波数（この発振器周波数は法律規
定上監視されるノイズ（障害）ビーム領域内に入る）を
有する安定した温度特性の発振器が不要である。磁界に
作用を与える物体の作用領域において検出器コイルが配
置されておりこの検出器コイルには磁界発生コイルから
出る磁力線の一部が貫くので、従来必要であった高いＱ
の発振器に代えて簡単なコイルが用いられ得、それによ
り、殊に、高価で、且、機械構造にとって困難且破損し
易いフェライト構造が省かれ得る。上述のように磁力線
の一部が検出器コイルを貫くと、この検出器コイルに交
流電圧が誘起され、而して、交番磁界内に導電性で非強
磁性の物体が進入すると上記磁界はその幾何学的形状が
変化せしめられ、すなわち、磁力線が物体のところから
排除されるか、または強磁性物体が進入すると上記物体
中に引込まれ、検出器コイルにて誘起された交流電圧が
、磁界の変化により、もってそれに伴う磁力線密度の変
化により、上昇又は低下せしめられるのである。検出器
において誘起される交流電圧の上昇及び低下が後置接続
の評価回路にて信号の形成のために用いられ、この信号
により物体の存在が指示されるので、発振器系に対する
著しい温度敏感性のアンプ回路が省かれ、今や、幾何学
的磁界変化により生じる、検出器コイルにおける誘起電
圧が測定されて、信号が発生される。この測定過程は著
しく温度依存性であり、不確実にしか制御され得ない発
振器振動の消滅とか振動開始の手法（この手法は多くの
要因の影響を受け、もって、比較的大きな作動間隔の場
合は不確実にしか制御され得ない発振器振動消滅及び立
上り開始の難がある）より著しく簡単に制御され得る。

検出器コイルにて誘起される交流電圧の上昇又は低減が
実質的に最も遠くに前方にセンサ外に出て行く磁力線に
より生ぜしめられるので、信号トリガのための作動間隔
は最遠にセンサ外に出て行くそのような磁力線の作用の
ため著しく増大され得る。交番磁界の幾何学的形また変
化によりトリガされる、検出器コイル中誘起交流電圧の
みが信号評価のために用いられるので、発振器の振動維
持保存のための従来必要であった問題性のある精確なエ
ネルギ供給も省かれ得る。

請求項２の構成要件に相応して、次のように規定するこ
とにより、即ち、上記検出器コイルは磁界発生コイルに
対して同心的に配置構成されており、当該の同心的配置
構成では検出器コイルの内部にて電圧を誘起せずに磁界
発生コイルから出る交番磁界のすべての可能な磁力線の
一方の部分が閉成され磁界発生コイルから外部に向かっ
て延びる磁力線の他方の部分が上記検出器コイルをセン
サ長ｆ軸に対して対称的に外方から包囲し、それにより
、検出器コイルにて交流電圧を生じさせ、その際交番磁
界の出る領域中への導電性の非強磁性材料から成る物体
の侵入ないし進入の際上記磁界はその幾何学的形状の点
で変化せしめられ、すなわち外方に向かって拡大され、
又は強磁性材料から成る物体の侵入の際内側に向かって
狭められ、更に、それにより生じる上記検出器コイル内
に誘起される交流電圧の上昇又は低下が、後置接続の評
価回路にて磁界に作用を与える物体の指示のために用い
られることにより、磁力線の出ている領域内へ物体の進
入の際磁界発生コイルからは外部に向かって拡大可能な
磁力線の最大可能の信号的成分、部分が実際にも外方に
向かって拡げられ、検出器コイルを今や外方で包囲し、
このコイルの中に誘起された電圧を高める（物体に対し
て非強磁性の導電性材料が使用される限り）これに対し
て強磁性材料から成る物体が磁力線の出ている領域内に
進入する際、上記磁力線はそれの高い導磁性により上記
物体中に引込まれ、それにより、検出器コイルを外方で
包囲する磁力線の最大可能作用部分が検出器コイルの内
部に向かって狭められ、それにより、この検出器コイル
にて誘起された電圧が低減される。

当該コイルの同心的配置により、検出器コイルにて誘起
された電圧が、特に著しく高められたり、又は低減され
、それにより、信号評価のため特に強い信号が得られ、
その結果作動間隔の一層の拡大が可能である。

請求項３に示すように交番磁界発生のための全電流のう
ち一部の電流が分岐され補償電圧の発生のため用いられ
ることにより、上記磁界中へ物体の進入の際、磁界変化
により生じる差電圧が、信号作用をする電圧として特に
高い値となり、その結果信号評価は特に簡単に行われ得
、又は作動間隔はやはり増大され得る。

有利には請求項４によれば、上記検出器コイルは２つの
検出器部分コイルから成り、上記両部会コイルの相互間
の配置関係および磁界発生コイルとの配置関係は上記部
分コイルに磁界発生コイルの異なる磁力線成分が貫通す
るようになされており、それにより、被測物体の進入に
よりトリガされる磁界変化の際上記両検出器部分コイル
にて異なる誘起電圧変化が生じ、この誘起電圧変化は信
号発生のために用いられるのである。２つの検出器部分
コイルのそのような配置構成によって、交番磁界におけ
るそのようなコイルの幾何学的構成は次のようにして、
特に有利になされ得る、すなわち、発生コイルから著し
く離れたところで外方に向かって延びる磁力線がコイル
の配置領域で閉成され、その結果遠隔磁界中へ物体の進
入の際特に、検出器中に信号発生のため生じる電圧変化
が作用するようにするのである。

有利に請求項５によれば２つの検出器部分コイルは相互
に電気的に逆方向に接続されてもよく、それにより、そ
こにて誘起される交流電圧は全面的に又は部分的に補償
される。それにより磁界発生コイルの交番磁界中へ物体
の進入の際、検出器コイルから到来する残余電圧が相当
強くなり、その結果信号評価が簡単化され作動間隔が増
大され得る。

特に有利な評価回路は請求項６の構成要件により実現さ
れ得る。検出器コイル又は検出器部分コイルにおける電
圧変化が検出器コイルにて誘起電圧の最も小さい変化の
際にも作用する大きな位相変化に帰せられることにより
、確実且高感度の信号評価が行われ得、これにより、そ
のような評価回路を有する誘導性センサの作動間隔が著
しく増大され得る。

本発明の他の有利な構成は引用請求項７〜１１により規
定されている。

次に図示の実施例を用いて本発明を説明する実施例 第１図の構成略図から明らかなように、磁界発生コイル
ｌは交流電圧源２に接続されておりそれにより、交番磁
界３は外部磁力線４〜８と共に生ぜしめられる。磁界発
生コイルｌに同心的に検出器コイル９が設けられている
。検出器コイル９外部に閉成これる磁力線７と８は検出
器コイル９において交流電圧を生じさせ、方、検出器コ
イル９内部に閉成される磁力線４〜６は検出コイル９に
て電圧の誘起には何ら寄与しない。検出器コイル９にて
誘起される交流電圧は評価回路１０にて信号に変換され
る。

第２図に示すように、非フェライト性の導体材料から成
る（被検）物体１１はセンサヘッドにおける磁界発生コ
イルｌから出ている交番磁界４〜８中にもたらされ、そ
の際上記物体の反撥作用により、上記磁界４〜８はおし
のけられ、外方へ向かって拡げられる。上記物体１１の
反撥作用は導電性材料の場合主として、上記材料にて生
ぜしめられる渦電流のりアクティブ（反作用的）な作用
に基づいている。磁界４〜８の拡がりによって、今や検
出器コイル９は磁力線６によっても外側から包囲され、
それにより、検出器コイル９にて誘起交流電圧の上昇が
生じ、この電圧上昇は評争回路１０にて信号トリガのた
めに用いられる。

第３図の例の場脅、第２図と異なって、強磁性材料から
成る物体１２が磁界４〜８中にもたらされる。それによ
り今や磁界４〜８は物体１２中に引込まれ、それにより
磁界４〜８は狭められる。この磁界４〜８の狭隘化は次
のようにして生ぜしめられる、即ち、磁力線４〜８は強
磁性材料から成る良好な導磁性の物体１２を通って比較
的に短い経路をたどるようにして生ぜしめられる。この
磁界狭隘化の際第１図におけると対照的に磁力線７は検
出器コイル９の内部領域内に移し入り、それにより、検
出器コイル９を外から包囲する磁力線はよりわずかにな
る。それにより、誘起電圧発生のため用いられ得る磁力
線は比較的に少なくなり、その結果検出器コイル９内に
誘起される電圧は比較的にわずかになる。このような車
圧減少は評価回路１０において信号発生のため用いられ
る。

第４図の実施例では牢界発生コイルｌと検出器部分コイ
ル９ａ、９１＋が１つの共通の導磁性のコア１３上に直
列的に配置されている。上記コア１３はシリンダ状に構
成されており、リング溝１４，１５．１６を有し、この
リング溝内にはコイル１．９ａ、９ｂが巻装されている
。

シリンダ状コア１３のリング溝１４．１５．１６間に位
置する筒状部１７．１８．１９上には各コイルに配属さ
れて磁力線案内ポット体が圧力嵌めて嵌着されている。

上記ポット体は相互に入り組み合って同心的に位置する
。ポット体開口部はセンサの応動面に向かって前方に向
けられている。

第４図の実施例では磁界発生コイルｌは前方に位置し、
両検出器部分コイル９ａ、９ｂは軸方向で相前後して磁
界発生コイルｌの後方に位置する。磁力線案内カップ体
ないしポット体２０〜２２により、磁界発生コイルｌか
ら中心を合わせて（同心的に）串でいる磁力線２４が３
つの部分磁力線２５．２６．２７に分けられる。その際
最遠前方に向かって出ている磁力線２５は外側ポット体
２２を通ってコア１３を介して磁界発生コイルｌへの経
路で閉成され、その際両検出器部分コイル９ａ、９ｂ中
に電圧を誘起する。中間の磁力線２６は中間の磁力線案
内ポット体２１とコア１３を介して磁界発生コイルｌの
ところへ戻って閉成され、その際一方の検出器コイル９
ａにおいてのみ電圧を誘起する。内側の磁力線２７は磁
力線案内ポット体２０を通ってコア１３を介して磁界発
生コイルｌに戻って閉成され、その際検出器コイル９ａ
、９ｂには作用を及ぼさない。

磁界おしのけ作用を有する物体が外側の磁力線案内領域
２５内にもたらされると、磁界２５は外側に向かって拡
げられ、その際中間磁力線２６の一部は外側の磁力線カ
ップ体ないしポット体２２のほうヘジャンプし、今や付
加的にコア１３を介しての帰路の際、検出器部分コイル
９ｂを貫流する。それにより検出器部分コイル９ｂにて
誘起される電圧が高められる。内側の磁力線２７は磁界
を排除する物体の進入の際にも変形されるが、内側ポッ
ト体２０への著しく短い帰路経路を有するので、中間ポ
ット体２１へ帰路の起こるようにｒしのけられることは
ない。

検出器９ａ、９ｂへの作用を第５図に示す。

雨検出器部分コイル９ａ、９ｂはその接続端部２８．２
９が評価回路１０と別個に接続されており、一方、両方
の他方の接続端部３０．３１は相互に接続されている。

検出器部分コイル９ａ、９ｂの巻回方向は逆方向に選定
されており、巻回（ターン）数は次のように異なって選
定されている、即ち、物体の不存在の際検出器部分コイ
ル９ａ、９ｂにおける磁力線２５．２６は逆向きの同じ
大きさの電圧を誘起しこれら誘起電圧は相互に打消し合
うように異なって選定されている。物体の進入の際雨検
出器コイル９ａ、９ｂにて生じる電圧変化は逆方向であ
り、前述の回路により正方向で加算し合い、その結翠進
入した物体により惹起された電圧変化が信号評価のため
完全に作用をするようになる。

第６図は、第４図のヤンサの、製作の特に簡単な構成を
示す。磁力線２０〜２２はその底部にて、直径の点で比
較的に小さな管状突出部３２〜３４を有する。管状突出
部３２は磁界発生コイルｌを支持し、一方、管状突出部
３３には検出器部分コイル９ａが、また、管状突出部３
４には検出器部分コイル９ｂが巻装されている。磁力線
案内ポット体２０〜２２はコイル９ａ９ｂの巻装後相互
に入り組み合うように差込まれ、その結果相互に圧入し
合った管状突出部３２〜３４はコイルコアを成す。

検出器コイルにて誘起された電圧変化が、存在する基本
電圧に対して著しく小さい場合、電圧測定を、時間依存
の位相測定に帰せしめると一層簡単である。

第７図は相互に補償し合う電圧３６、例えば、磁界発生
コイルｌかもの分岐された部分電圧と、電圧３６、例え
ば検出器コイル９からの誘起された電圧とそれの少さい
位相角３７、並びに残余電圧３８としての合成差を示す
。第７ａ図は残余電圧３８と補筆電圧３６との間の発生
位相角３９を示す。第７ｂ図から明らかなように、交番
磁界内への物体の進入により惹起される、検出器コイル
における電圧３６により位相角３９の大きな変化がトリ
ガされる。このような位相角の変化は検出器コイルの電
圧３６のわずかな変化より著しく精確に測定され得る。

発明の効果 本発明によれば簡単な手段によりセンサヘッド直径に比
しての大きな作動間隔をわずかなトレランスと無視可能
な温度依存性を以って達成し得る誘導性近接センサを実
現できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は近接センサの磁界発生及び検出器コイルを所属
の磁力線分布位置と共に示す概念図、第２図は非フェラ
イ１−性の物体により排除される磁力線経過と共に示す
第１図のコイル装置の概念図、第３図はフェライト性物
体により内方へ狭められた交番磁界と共に示す第１図の
コイル装置の概念図、第４図は磁界発生コイルと、磁力
線案内ポット体付きの２つの検出器コイルとから成るコ
イル装置の概念図、第５図は磁界発生コイルと２つの検
出器部分コイルの回路図、第６図は磁界発生コイルと検
出器コイルを有する磁力線案内ポット体の別の装置構成
の概念図、第７図は位相角表示、形成のため当該残余電
圧を生成する電圧及び残余電圧のベクトルダイヤグラム
を表わす図、第７ａ図は第７図のベクトル端部の拡大図
、第７ｂ図は第７図のベクトル端部を、異なった位相角
を示す拡大図である。 ｌ・・・磁界発生コイル、２・・・交流電圧源、３・・
・交番磁界、４〜８・・・外部磁力線、９・・・検出器
コイル

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、センサヘッドから出る交番磁界（３）は当該磁界に
   作用を与える物体の接近の際その磁力線分布経過（４〜
   ８）の点で変化せしめられ、上記の磁界変化はセンサの
   評価回路（１０）において検出され応答信号の形成に用
   いられる誘導性近接センサにおいて、交番磁界の発生の
   ため、交流電源（２）により給電される磁界発生コイル
   （１）が設けられており、磁界（４〜８、２５〜２７）
   に作用を与える物体（１１、１２）の作用領域において
   検出器コイル（９、９ａ、９ｂ）が配置されており、上
   記検出器コイルには被測物体の存在の際上記磁界発生コ
   イル（１）から出る磁力線（３、４〜８；２５〜２７）
   の一部が貫通してそれにより上記検出器コイル（９、９
   ａ、９ｂ）にて交流電圧が誘起され、導電性で非強磁性
   の材料から成る物体（１１）の、交番磁界中への侵入な
   いし進入の際上記磁界はその幾何学的形状の点で変化せ
   しめられ、すなわち、当該磁力線が被測物体から排除さ
   れるか又は強磁性材料（１２）から成る物体の侵入の際
   当該磁界は上記物体中に引込まれるように構成され、検
   出器コイル（９、９ａ、９ｂ）内にて誘起された交流電
   圧が、磁界の形状変化、及びそれに伴う磁力線密度の変
   化により上昇または低下せしめられ、上記の変化は後置
   接続の評価回路（１０）にて、磁界に作用を与える物体
   （１１、１２）の存在の指示のための信号の生成のため
   用いられるように構成されることを特徴とする誘導性近
   接センサ。 ２、上記検出器コイル（９）は磁界発生コイル（１）に
   対して同心的に配置構成されており、当該の同心的配置
   構成では検出器コイル（８）の内部にて電圧を誘起せず
   に磁界発生コイル（１）から出る交番磁界（３）のすべ
   ての可能な磁力線の一方の部分（４、５、６）が閉成さ
   れ磁界発生コイル（１）から外部に向かって延びる磁力
   線の他方の部分（７、８）が上記検出器コイル（３）を
   外方から包囲し、それにより、検出器コイルにて交流電
   圧を生じさせ、その際交番磁界の出る領域（４〜８、２
   ４、２５〜２７）中への導電性の非強磁性材料から成る
   物体（１１）の侵入ないし進入の際上記磁界はその幾何
   学的形状の点で変化せしめられ、すなわち外方に向かっ
   て拡大され、又は強磁性材料から成る物体（１２）の侵
   入の際内側に向かって狭められ、更に、それにより生じ
   る上記検出器コイル（９、９ａ、９ｂ）内に誘起される
   交流電圧の上昇又は低下が、後置接続の評価回路（１０
   ）にて磁界に作用を与える物体（１１、１２）の指示の
   ために用いられる請求項１記載のセンサ。 ３、磁界発生コイルにて磁界発生のための全電流と固定
   的関係にある部分電流が分岐されて、補償電圧の形成の
   ために用いられ、上記補償電圧はこれによって、検出器
   コイル（９、９ａ、９ｂ）にて生ぜしめられた誘起電圧
   が全面的に又は部分的に補償されるように選定されてお
   り、被測物体（１１、１２）の進入の際磁界拡大又は磁
   界狭隘化により惹起される差電圧の変化のみが信号発生
   のために用いられ、上記差電圧は磁界発生コイル（１）
   の分岐部分電圧と検出器コイル（９）の電圧との間に生
   じている差電圧である請求項１又は２記載のセンサ。 ４、上記検出器コイル（９）は２つの検出器部分コイル
   （９ａ、９ｂ）から成り、上記両部分コイルの相互間の
   配置関係および磁界発生コイル（１）との配置関係は上
   記部分コイルに磁界発生コイル（１）の異なる磁力線成
   分（４〜８、２５〜２７）が貫通するようになされてお
   り、それにより、被測物体の進入によりトリガされる磁
   界変化の際上記両検出器部分コイル（９ａ、９ｂ）にて
   異なる誘起電圧変化が生じ、この誘起電圧変化は信号発
   生のために用いられる請求項１又は２記載のセンサ。 ５、上記両検出器部分コイル（９ａ、９ｂ）は電気的に
   相互に逆方向に接続されていて、これによりそこにおい
   て誘起された交流電圧は外部磁界内に被測物体が進入し
   てない際に全面的に又は部分的に補償し合いないし打消
   し合い、それにより、信号発生のため上記両部分コイル
   （９ａ、９ｂ）の誘起電圧変化のみが有効に用いられる
   請求項４記載のセンサ。 ６、誘導性近接スイッチとしてのセンサにおいて上記の
   補償し合う電圧が回路設計構成によって次のように選定
   されている、即ち上記補正し合う電圧間に小さい位相角
   （３７）が生じ上記補償し合う電圧に対して残留する電
   圧が、上記の補償し合う電圧相互間の差として形成され
   た小さい値であるように選定されており、上記作用領域
   中へ被検物体（１１、１２）の進入の際当該の残留電圧
   （３８）とこれの形成に用いられた補償し合う電圧（３
   ５、３６）との間の位相角（３９）の変化が信号形成の
   ために用いられる請求項３又は５記載のセンサ。 ７、磁界発生コイル（１）および検出器コイル（９）な
   いし検出器部分コイル（９ａ、９ｂ）は軸方向において
   直列的にないし相前後して１つの共通の、一体構成の導
   磁性コア（１３）に巻回されており、各コイル（９、９
   ａ、９ｂ）は導磁性材料から成る磁力線案内カップ体な
   いしポット体（２０〜２２）によって包囲されており、
   上記カップ体（２０〜２２）の外被殼は同心的に相互に
   入り組み合っており、また、カップ体開口部は前方に、
   センサの応動面（２３）のほうに向けられている請求項
   １から６までのいずれか１記載のセンサ。 ８、上記磁界発生コイル（１）はセンサの応動面（２３
   ）のほうに向かって前方に配置されており、一方、検出
   器コイル（９）又は、検出器部分コイル（９ａ、９ｂ）
   は軸方向に順次配置されている請求項７記載のセンサ。 ９、導磁性コア（１３）として、上記コイル（１、９、
   ９ａ、９ｂ）の受容用のリング溝（１４〜１６）を有す
   る回転体が用いられ、上記回転体には磁力線案内カップ
   体（２０〜２２）はコイルの巻装後、圧力ばめにより、
   上記回転体（１３）の、上記コイル間に存在する筒状部
   （１７〜１９）に嵌着されている請求項７および８記載
   のセンサ。 １０、上記磁力線案内カップ体（２０〜２２）はその底
   部にて、直径にて比較的小さい管状張出部（３２〜３４
   ）を有し、この管状張出部上には上記コイル（１、９、
   ９ａ、９ｂ）が巻装されており、上記磁力線案内カップ
   体ないしポット体が、コイルの巻回後相互に入り組んで
   設けられており、その際相互に入り組んで設けられた管
   状突出部（３２〜３４）はコイルコア（１３）を形成す
   る請求項７および８記載のセンサ。 １１、外部磁力線案内カップ体（２２）の被殻は同時に
   、金属製の良導磁性のセンサ外側被殻の構成部分である
   請求項１から１０までのいずれか１項記載のセンサ。 １２、上記検出器コイル（９）又は検出器部分コイル（
   ９ａ、９ｂ）における電圧の、評価回路（１０）にて評
   価可能な上昇又は低下が、上記評価回路（１０）によっ
   て信号化するために用いられ、上記信号化によっては非
   強磁性で導電性の材料（１）の進入により又は強磁性材
   料（１２）の進入により電圧変化がトリガされたか否か
   が信号化される請求項１から１１までのいずれか１記載
   のセンサ。