JPH02194409A - 流量制御装置 - Google Patents
流量制御装置Info
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- JPH02194409A JPH02194409A JP1308828A JP30882889A JPH02194409A JP H02194409 A JPH02194409 A JP H02194409A JP 1308828 A JP1308828 A JP 1308828A JP 30882889 A JP30882889 A JP 30882889A JP H02194409 A JPH02194409 A JP H02194409A
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- fluid flow
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Links
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- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 4
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 claims description 4
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical group C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 12
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
- F15C—FLUID-CIRCUIT ELEMENTS PREDOMINANTLY USED FOR COMPUTING OR CONTROL PURPOSES
- F15C7/00—Hybrid elements, i.e. circuit elements having features according to groups F15C1/00 and F15C3/00
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
- G05D7/00—Control of flow
- G05D7/06—Control of flow characterised by the use of electric means
- G05D7/0617—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials
- G05D7/0629—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials characterised by the type of regulator means
- G05D7/0635—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials characterised by the type of regulator means by action on throttling means
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T137/00—Fluid handling
- Y10T137/7722—Line condition change responsive valves
- Y10T137/7758—Pilot or servo controlled
- Y10T137/7759—Responsive to change in rate of fluid flow
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は流体流量制御装置に関する。
（従来の技術及び発明が解決しようとする課題）流体流
量制御装置は、流体通路中に備えられたバルブを密閉及
び開放することによって流体（例えば気体等）の流値を
制御するシステムに用いることができるものである。そ
の種のシステムにおいては、流値バルブが、オリフィス
の間隙をｍｆｔＸすることにより流体流量を変化させる
ようになっている。流体の要求流量がゼロの場合には、
密閉状態に正圧即ち予荷重が付与されており、これは例
えば、表面キズや、バルブを開放状態にしようとする流
体管路内の正圧」−昇によって、その密閉状態が損なわ
れることがないようにするためである。
量制御装置は、流体通路中に備えられたバルブを密閉及
び開放することによって流体（例えば気体等）の流値を
制御するシステムに用いることができるものである。そ
の種のシステムにおいては、流値バルブが、オリフィス
の間隙をｍｆｔＸすることにより流体流量を変化させる
ようになっている。流体の要求流量がゼロの場合には、
密閉状態に正圧即ち予荷重が付与されており、これは例
えば、表面キズや、バルブを開放状態にしようとする流
体管路内の正圧」−昇によって、その密閉状態が損なわ
れることがないようにするためである。
積分回路を用いて流量バルブを制御することは公知とな
っている。斯かる積分回路は制御信号を絶え間なくＬ昇
ないし低下させ、この制御信号がその制御バルブへ供給
される出力電力を制御し。
っている。斯かる積分回路は制御信号を絶え間なくＬ昇
ないし低下させ、この制御信号がその制御バルブへ供給
される出力電力を制御し。
この制御は、目標流量に基づいた設定点の値と実流量に
基づいた実流量の値との間の差分に基づいて行なわれる
。従って、そのバルブを通って流れる流量は、ある時間
に亙ってならせば目標流量に等しくなっている。そのバ
ルブは密閉状態を確実にするために予荷重が与えられて
いるため、設定点が指定されたならば、その出力電力が
ゼロから出発してランプ状に増加し、密閉予荷重を克服
するのに必要な大きさに達してからでなくては、／ヘル
プが開き始めることはできない。
基づいた実流量の値との間の差分に基づいて行なわれる
。従って、そのバルブを通って流れる流量は、ある時間
に亙ってならせば目標流量に等しくなっている。そのバ
ルブは密閉状態を確実にするために予荷重が与えられて
いるため、設定点が指定されたならば、その出力電力が
ゼロから出発してランプ状に増加し、密閉予荷重を克服
するのに必要な大きさに達してからでなくては、／ヘル
プが開き始めることはできない。
この問題を解決するための方法として、バイアス調節機
能をその制御器に備え、それによって、オペレータが、
設定点の値を入力する前に、バルブをそれが丁度閉塞す
る点に合せることができるようにするということが公知
となっている。更には、流量と設定点ｆ＃との双方を検
出し、設定点値がゼロでないにもかかわらず流量がゼロ
であった場合には大きな誤差信号を作為的に積分回路へ
注入し、それによって、この積分回路から出力される制
御信号がより高速でランプφアップするようにするとい
う方法も公知となっている。この偽誤差信号は、流量セ
ンサが流体の流動開始を検出したならば除去されるよう
になっている。
能をその制御器に備え、それによって、オペレータが、
設定点の値を入力する前に、バルブをそれが丁度閉塞す
る点に合せることができるようにするということが公知
となっている。更には、流量と設定点ｆ＃との双方を検
出し、設定点値がゼロでないにもかかわらず流量がゼロ
であった場合には大きな誤差信号を作為的に積分回路へ
注入し、それによって、この積分回路から出力される制
御信号がより高速でランプφアップするようにするとい
う方法も公知となっている。この偽誤差信号は、流量セ
ンサが流体の流動開始を検出したならば除去されるよう
になっている。
（課題を解決するための手段）
未発明者が発見したことは、実流量信号と目標流値信号
との比較結果に関係した信号を出力する実制御回路と、
目標流量と目標流量スレショルド信号との比較結果に基
づいた信号を出力する目標流醍比較回路と、それらの出
力を受取りそれらの出力に基づいた制御信号を発生する
加算回路とを有する流体流量制御回路は、その制御信号
を受取る流体流量制御バルブと、その流体流量制御回路
へ実流量信号を入力する流体流量センサとを有する流体
流量制御装置を有利に制御するこということである。
との比較結果に関係した信号を出力する実制御回路と、
目標流量と目標流量スレショルド信号との比較結果に基
づいた信号を出力する目標流醍比較回路と、それらの出
力を受取りそれらの出力に基づいた制御信号を発生する
加算回路とを有する流体流量制御回路は、その制御信号
を受取る流体流量制御バルブと、その流体流量制御回路
へ実流量信号を入力する流体流量センサとを有する流体
流量制御装置を有利に制御するこということである。
好適実施例においては、流体流量制御装置は、目標流量
比較回路出力を受取りこの目標流量比較回路出力に関係
した信号を発生するように構成されたシーケンシャルφ
ロジック回路と、実流量信号をｆｌＬｔ規定スレショル
ド信号と比較してその比較結果を表わす流量比較回路出
力を発生するように構成された流量比較回路と、実流量
信号と目標ｆｉｔ量信号との間の差分を表わす信号を出
力する減算回路、並びに実流量信号と目標流量信号との
ＩＩＪＪの差分に基づいて絶え間なく変化する初期流量
制御信号を出力する積分回路を含んでいる実制御回路と
、セット・リセット・フリップフロップ及びその他のロ
ジックを含んでいるシーケンシャル−ロジック回路と、
流体流量制御回路であって、流体流量制御バルブへ増幅
された制御信号を出力する増幅回路、デユーティ番サイ
クル変調式スイッチング・デバイスである加′Ｂ回路、
スイッチを含んでいる増幅回路、互いに組合わされた加
算回路及び増幅回路、並びに加算増幅回路と線形給電式
駆動回路とを含んでいる組合せ加算増幅回路を含んでい
る、流体流量制御回路とを、含んでいるものとすること
ができる。
比較回路出力を受取りこの目標流量比較回路出力に関係
した信号を発生するように構成されたシーケンシャルφ
ロジック回路と、実流量信号をｆｌＬｔ規定スレショル
ド信号と比較してその比較結果を表わす流量比較回路出
力を発生するように構成された流量比較回路と、実流量
信号と目標ｆｉｔ量信号との間の差分を表わす信号を出
力する減算回路、並びに実流量信号と目標流量信号との
ＩＩＪＪの差分に基づいて絶え間なく変化する初期流量
制御信号を出力する積分回路を含んでいる実制御回路と
、セット・リセット・フリップフロップ及びその他のロ
ジックを含んでいるシーケンシャル−ロジック回路と、
流体流量制御回路であって、流体流量制御バルブへ増幅
された制御信号を出力する増幅回路、デユーティ番サイ
クル変調式スイッチング・デバイスである加′Ｂ回路、
スイッチを含んでいる増幅回路、互いに組合わされた加
算回路及び増幅回路、並びに加算増幅回路と線形給電式
駆動回路とを含んでいる組合せ加算増幅回路を含んでい
る、流体流量制御回路とを、含んでいるものとすること
ができる。
（実施例）
第１図を参照して説明すると、流量制御システムｌＯは
流体流量制御回路１２を含んでいる。この流体ｉｔ実制
御回路２へは流量センサ１４から信号が入力され、また
この流体流量制御回路１２かもは電磁バルブ１６へ制御
信号が出力されるようになっており、この電磁バルブ１
６が流体管路エフの中の流値を制御するようになってい
る。ｍ研センサ１４の出力ＦＬＯＷは、実制御回路１９
の減算回路２０へ入力されるようになっている。
流体流量制御回路１２を含んでいる。この流体ｉｔ実制
御回路２へは流量センサ１４から信号が入力され、また
この流体流量制御回路１２かもは電磁バルブ１６へ制御
信号が出力されるようになっており、この電磁バルブ１
６が流体管路エフの中の流値を制御するようになってい
る。ｍ研センサ１４の出力ＦＬＯＷは、実制御回路１９
の減算回路２０へ入力されるようになっている。
減算回路２０へは更に設定点信号ＳＰも入力されるよう
になっており、この設定点信号ＳＰはシステム１０の目
標流はを表わす信号である。実制御回路１９は更に積分
回路２２を含んでおり、この積分回路２２へは減算回路
２０の出力が入力されるようになっている。実制御回路
１９の出力はこの積分回路２２の出力であり、これが加
算回路２４へ入力されるようになっている。加算回路２
４へは更に、スレショルド検出回路２６の出力が入力さ
れるようになっている。加算回路２４の出力は増幅回路
２５へ入力され、この増幅回路２５が制御信号を出力す
るようになっている。
になっており、この設定点信号ＳＰはシステム１０の目
標流はを表わす信号である。実制御回路１９は更に積分
回路２２を含んでおり、この積分回路２２へは減算回路
２０の出力が入力されるようになっている。実制御回路
１９の出力はこの積分回路２２の出力であり、これが加
算回路２４へ入力されるようになっている。加算回路２
４へは更に、スレショルド検出回路２６の出力が入力さ
れるようになっている。加算回路２４の出力は増幅回路
２５へ入力され、この増幅回路２５が制御信号を出力す
るようになっている。
スレショルド検出回路２６は、目標ｖｔＭｔ比較回路３
０と流量比較回路３２とを含んでおり、これらの比較回
路３０．３２は、シーケンシャルψロジック回路３４へ
信号を出力する。シーケンシャル・ロジー２り回路３４
は加算回路２４へ、ペデスタル信号ＦＥＤを出力するよ
うになっている。
０と流量比較回路３２とを含んでおり、これらの比較回
路３０．３２は、シーケンシャルψロジック回路３４へ
信号を出力する。シーケンシャル・ロジー２り回路３４
は加算回路２４へ、ペデスタル信号ＦＥＤを出力するよ
うになっている。
［］標流敬比較回路３０へは、設定点信号ＳＰと設定点
規定ス１／ショルドＶＴ旧とが入力されるようになって
おり、このＶｌ旧は、即ち［１標流躾スレショルド信号
である。流量比較回路３２へは、流縫信号ＦＬＯＷと流
量規定スレショルドＶＩＨ２とが入力されるようになっ
ている。
規定ス１／ショルドＶＴ旧とが入力されるようになって
おり、このＶｌ旧は、即ち［１標流躾スレショルド信号
である。流量比較回路３２へは、流縫信号ＦＬＯＷと流
量規定スレショルドＶＩＨ２とが入力されるようになっ
ている。
第２図について説明すると、ンーケンシャルーロジック
回路３４は、ＮＯＲゲート３５、ＮＯＲゲート３６、Ｎ
ＯＲゲート３７、並びにセット争すセット争クリップフ
ロップ３８を含んでおり。
回路３４は、ＮＯＲゲート３５、ＮＯＲゲート３６、Ｎ
ＯＲゲート３７、並びにセット争すセット争クリップフ
ロップ３８を含んでおり。
この構成において、１１標流量比較回路３０の出力は、
ＮＯＲゲート３５と、ＮＯＲゲート３６と、フリップフ
ロップ３８のセット入力とへ入力されるようになってお
り、一方、Ｒ＠比較回路３２の出力はＮＯＲゲート３６
へ入力され、このＮＯＲゲート３６の出力がフリー、プ
フロフプ３８のリセット入力へ入力されるようになって
いる。フリップフロップ３８の出力はＮＯＲゲート３７
へ入力されるようになっており、このＮＯＲゲート３７
の出力がＦＥＤ信号である。セット参リセット・７リツ
プフロフ・プ３８は、セット入力−Ｆに「真」レベルな
いしエツジが生じるとその出力Ｑが「真」にセットされ
、一方、リセット入力上に「真」 レベルないしエツジ
が生じるとその出力Ｑがリセットされるデバイスである
。双方の入力に［偽Ｊレベルないしエツジが入力された
場合には、それによって出力が影響を及ぼされることは
ない。
ＮＯＲゲート３５と、ＮＯＲゲート３６と、フリップフ
ロップ３８のセット入力とへ入力されるようになってお
り、一方、Ｒ＠比較回路３２の出力はＮＯＲゲート３６
へ入力され、このＮＯＲゲート３６の出力がフリー、プ
フロフプ３８のリセット入力へ入力されるようになって
いる。フリップフロップ３８の出力はＮＯＲゲート３７
へ入力されるようになっており、このＮＯＲゲート３７
の出力がＦＥＤ信号である。セット参リセット・７リツ
プフロフ・プ３８は、セット入力−Ｆに「真」レベルな
いしエツジが生じるとその出力Ｑが「真」にセットされ
、一方、リセット入力上に「真」 レベルないしエツジ
が生じるとその出力Ｑがリセットされるデバイスである
。双方の入力に［偽Ｊレベルないしエツジが入力された
場合には、それによって出力が影響を及ぼされることは
ない。
流体流量制御回路１２の残りの部分について説明すると
、設定点信号と流量出力信号とは。
、設定点信号と流量出力信号とは。
×１／＜ッファ回路４０と４２とへ夫々供給されるよう
になっている。流量出力信号は、そのゲインが１の反転
増幅器として構成されている演算増幅器４４へ入力され
るようになっている。従って、その反転された信号が積
分回路２２へ入力されたならば、その信号は、同じくこ
の積分回路２２八入力されている設定点信号から減じら
れることになる。この積分回路２２は演算増幅器４６と
コンデンサＣＩＯとを含んでおり、それらのｒｉ４算増
幅憲とコンデンサとが、この積分回路２２の主要機Ｉ七
素子である。加算回路２４は比較器４８とそれに付随す
る複数の抵抗器とを含んでおり、この加算回路２４は、
デユーティ會すイクル変調式スイッチング争デバイスと
して機走するものである。
になっている。流量出力信号は、そのゲインが１の反転
増幅器として構成されている演算増幅器４４へ入力され
るようになっている。従って、その反転された信号が積
分回路２２へ入力されたならば、その信号は、同じくこ
の積分回路２２八入力されている設定点信号から減じら
れることになる。この積分回路２２は演算増幅器４６と
コンデンサＣＩＯとを含んでおり、それらのｒｉ４算増
幅憲とコンデンサとが、この積分回路２２の主要機Ｉ七
素子である。加算回路２４は比較器４８とそれに付随す
る複数の抵抗器とを含んでおり、この加算回路２４は、
デユーティ會すイクル変調式スイッチング争デバイスと
して機走するものである。
加算回路２４の出力は増幅回路２５−２人力されるよう
になっており、この増幅回路２５は電界効果トランジス
タ（ＦＥＴ）５０をスイッチとして使用している。比較
回路３０は比較器５２を含んでおり、また比較回路３２
は比較器５４を含んでいる。
になっており、この増幅回路２５は電界効果トランジス
タ（ＦＥＴ）５０をスイッチとして使用している。比較
回路３０は比較器５２を含んでおり、また比較回路３２
は比較器５４を含んでいる。
動作
第１図を参照すると、制御回路１２は、センサ１４から
受取った情報を用いて流量制御バルブ１６を制御する。
受取った情報を用いて流量制御バルブ１６を制御する。
更に詳しくは、減算回路２０が実流量比較回路として機
能１７．それは、この減算回路２０が、オペＬ、−−−
タ（不図示）により入力された設定点信号ＳＰとセンサ
１４から受取った実流量信号ＦＬＯＷとの間の差分を検
出してその差分を積分回路２２へ出力することによって
行なう。理想的な状況においては、この積分回路２２の
出力が増幅器２５へ出力されるようにし、そし。
能１７．それは、この減算回路２０が、オペＬ、−−−
タ（不図示）により入力された設定点信号ＳＰとセンサ
１４から受取った実流量信号ＦＬＯＷとの間の差分を検
出してその差分を積分回路２２へ出力することによって
行なう。理想的な状況においては、この積分回路２２の
出力が増幅器２５へ出力されるようにし、そし。
て積分回路２２のこの出力に応じてこの増幅器２５が制
御バルブ１６を制御するようにしても良い。しかしなが
ら、バルブ１６には初期予荷重が加わっているため、こ
のバルブ１６が閉塞された状態にあるときには、積分回
路２２の出力はこのバルブ１６の予荷重を克服するには
不充分なものとなっている。従ってバルブ１６を、この
信号だけで制御することはできない、この、予荷重が加
わった状態に対する補償のために、スレショルド検出回
路２６が使用されているのである。スレショルド検出回
路２６は、入力されているスレショルドＶ＋旧とＶ＋Ｈ
２とを用いて、また更に、システム１０の履歴、即ちこ
のシステム１０がそれまでに行なった動作を考慮に入れ
て、ペデスタル信号を提供する。このペデスタル信号が
加算回路２４において積分回路２２の出力に加算され、
それによって制御回路１２が、バルブ１６の予荷重を克
服する信号を出力するようになっている。加算回路２４
の構成は第２図のようになっているため、この加算回路
２４へのそれら両方の入力のいずれもが、この加算回路
の出力を負の方向へ偏位させてシステム１０における流
体の流動を開始させるように働くことになる。
御バルブ１６を制御するようにしても良い。しかしなが
ら、バルブ１６には初期予荷重が加わっているため、こ
のバルブ１６が閉塞された状態にあるときには、積分回
路２２の出力はこのバルブ１６の予荷重を克服するには
不充分なものとなっている。従ってバルブ１６を、この
信号だけで制御することはできない、この、予荷重が加
わった状態に対する補償のために、スレショルド検出回
路２６が使用されているのである。スレショルド検出回
路２６は、入力されているスレショルドＶ＋旧とＶ＋Ｈ
２とを用いて、また更に、システム１０の履歴、即ちこ
のシステム１０がそれまでに行なった動作を考慮に入れ
て、ペデスタル信号を提供する。このペデスタル信号が
加算回路２４において積分回路２２の出力に加算され、
それによって制御回路１２が、バルブ１６の予荷重を克
服する信号を出力するようになっている。加算回路２４
の構成は第２図のようになっているため、この加算回路
２４へのそれら両方の入力のいずれもが、この加算回路
の出力を負の方向へ偏位させてシステム１０における流
体の流動を開始させるように働くことになる。
第２図及び第３図について説明すると、状態ダイアグラ
ム８０は、シーケンシャルφロジック回路３４の様々な
状態を表わすものである。この状態ダイアグラムにおい
て、丸で囲まれた数字はシステム１０の様々な状態を表
わしており、括弧内の情報はこのシステノ・に変化を生
じさせる原因となった事象を明示しており、また、この
括弧内の情報のすぐ下に記された情報は、状態の変化の
際にシステム１０により実行されるところの動作である
。
ム８０は、シーケンシャルφロジック回路３４の様々な
状態を表わすものである。この状態ダイアグラムにおい
て、丸で囲まれた数字はシステム１０の様々な状態を表
わしており、括弧内の情報はこのシステノ・に変化を生
じさせる原因となった事象を明示しており、また、この
括弧内の情報のすぐ下に記された情報は、状態の変化の
際にシステム１０により実行されるところの動作である
。
始動しようとしているときには、システム１０は状態１
にあり、このとき設定点はゼロ、流量もゼロ、それにペ
デスタル信号もゼロとなっている。システノ・の始動は
、設定点を目標のレベルヘト讐させることによって行な
われる。これによりＳ定点はＶ目１１より大きくなり、
従ってペデスタル信号がオンに転じ、システムは状態２
へ移行する。設定点がＶ ＴＨＩ以下に低下したならば
システムは状態２から状態１へ移行する。この状況は先
の２（Ｐ信号がおそらくノイズであったことを示すもの
である。状態２にある間はペデスタル信号はオンのまま
であり、この状況は流量信号ＦＬＯＷがＶ＋＋＋２より
大きくなるまで続き、そして大きくなった時点でシステ
ムは状態３へ移行する。状態３にある間にＦＬＯＷがそ
のスレショルドであるＶ １８２以下に低下したならば
、システム１０は状態４へ移行し、このときには何の動
作も行なわれない、即ちシステム１０は、ｍｕがこの最
小スレショルド以下になった場合にも尚１機能し続けて
いる。この状態は可逆的であり、即ち、流量がスレショ
ルドＶ ＋ｕ２より大きくなったならば、装ごは状態３
へ復帰する。しかＬながら、状態４にある間に設定点が
スレショルドＶ ＴＨＩ以下に低下したならば、ペデス
タル信号が除去されてシステムは状ｇ １へ復帰する。
にあり、このとき設定点はゼロ、流量もゼロ、それにペ
デスタル信号もゼロとなっている。システノ・の始動は
、設定点を目標のレベルヘト讐させることによって行な
われる。これによりＳ定点はＶ目１１より大きくなり、
従ってペデスタル信号がオンに転じ、システムは状態２
へ移行する。設定点がＶ ＴＨＩ以下に低下したならば
システムは状態２から状態１へ移行する。この状況は先
の２（Ｐ信号がおそらくノイズであったことを示すもの
である。状態２にある間はペデスタル信号はオンのまま
であり、この状況は流量信号ＦＬＯＷがＶ＋＋＋２より
大きくなるまで続き、そして大きくなった時点でシステ
ムは状態３へ移行する。状態３にある間にＦＬＯＷがそ
のスレショルドであるＶ １８２以下に低下したならば
、システム１０は状態４へ移行し、このときには何の動
作も行なわれない、即ちシステム１０は、ｍｕがこの最
小スレショルド以下になった場合にも尚１機能し続けて
いる。この状態は可逆的であり、即ち、流量がスレショ
ルドＶ ＋ｕ２より大きくなったならば、装ごは状態３
へ復帰する。しかＬながら、状態４にある間に設定点が
スレショルドＶ ＴＨＩ以下に低下したならば、ペデス
タル信号が除去されてシステムは状ｇ １へ復帰する。
このシステムが状態３にあり、且つ、設定点がＶ ＴＨ
Ｉ以下に低下した場合には、システムは状態５へ移行し
、このときには何の動作も行なわれない、しかしながら
、状態５にある間に流量が流量スレショルド’ＶＨ２以
下に低下した場合には、ペデスタル信号は除去されてシ
ステムは状態１へ復帰し、即ちシステムは停止される。
Ｉ以下に低下した場合には、システムは状態５へ移行し
、このときには何の動作も行なわれない、しかしながら
、状態５にある間に流量が流量スレショルド’ＶＨ２以
下に低下した場合には、ペデスタル信号は除去されてシ
ステムは状態１へ復帰し、即ちシステムは停止される。
別実施例
別実施例とは、請求の範囲に含まれるものである。−例
を挙げると、第４図は、流量制御回路１２′と、ｔｉｔ
量センサ１４’と、ｆＩｔ量制御バルブ１６′とを備え
た流量制御システム１０゜を示している。流量制御回路
１２’は、減算回路２０′、積分回路２２′、加算回路
２４°、並びに増幅回路２５゛を含んでいる。スレショ
ルド検出回路１００は［］標流酸比較回路１０２を含ん
でおり、この比較回路１０２へは設定点電圧とスレショ
ルド電圧とが入力されるようになっている。
を挙げると、第４図は、流量制御回路１２′と、ｔｉｔ
量センサ１４’と、ｆＩｔ量制御バルブ１６′とを備え
た流量制御システム１０゜を示している。流量制御回路
１２’は、減算回路２０′、積分回路２２′、加算回路
２４°、並びに増幅回路２５゛を含んでいる。スレショ
ルド検出回路１００は［］標流酸比較回路１０２を含ん
でおり、この比較回路１０２へは設定点電圧とスレショ
ルド電圧とが入力されるようになっている。
この比較回路１０２の出力は加算回路２４°へ入力され
るようになっており、この加算回路２４゛は積分回路２
２°の下流側に配置されている。ペデスタル信号は、積
分回路２２゛から出力される信号に加算されるようにな
っているため、このペデスタル信号が積分回路２２゛に
よって積分されることは決してない、従ってこの実施例
は、バルン１６゛を開くための信号を得る上での遅延時
間を有利に短縮させている。
るようになっており、この加算回路２４゛は積分回路２
２°の下流側に配置されている。ペデスタル信号は、積
分回路２２゛から出力される信号に加算されるようにな
っているため、このペデスタル信号が積分回路２２゛に
よって積分されることは決してない、従ってこの実施例
は、バルン１６゛を開くための信号を得る上での遅延時
間を有利に短縮させている。
更には、以−１−に説明したものと同一のロジック機能
を、異なった種類のロジック素子を用いて実現すること
も可能である。状態ダイアグラム８０に示されている状
態を発生するような、ロジック素子のあらゆる組合せは
、本発明の別実施例であると考えられる。
を、異なった種類のロジック素子を用いて実現すること
も可能である。状態ダイアグラム８０に示されている状
態を発生するような、ロジック素子のあらゆる組合せは
、本発明の別実施例であると考えられる。
更には、加算回路２４と増幅回路２５とは、加算増幅器
と線形給電式駆動回路（ｌｉｎｅａｒ ｐｏｗｅｒｅｄ
ｄｒｉマｅｒ）とを含むものとすることができる。
と線形給電式駆動回路（ｌｉｎｅａｒ ｐｏｗｅｒｅｄ
ｄｒｉマｅｒ）とを含むものとすることができる。
第１図は１本発明に係る流量制御システムのブロック図
である。 第２図は、第１図のシステムの回路図である。 第３図は、第１図のシステムの状態ダイアグラムである
。 第４図は、本発明に係る別システムのブロック図である
。 尚、図中、 １０、ｌＯ′・・・流体流量制御システム、１２．１２
’・・・流体流量制御回路、１４．１４′・・・流量セ
ンサ、 １６．１６’・・・流量制御バルブ、 １７・・・流体通路、 １９・・・実制御回路。 ２０・・・減算回路 ２２．２２°・・・積分回路、 ２４．２４゛・・・加算回路、 ２５・・・増幅回路。 ２６・・・スレショルド検出回路、 ０・・・目標流量比較回路、 ２・・・流量比較回路。 ４・・・シーケンシャル惨ロジック回路、５、 ３６
． ３７ ・・・ ＮＯＲゲ − ト 、８・・・
セット−リセットψフリップフロップ。 Ｏ・・・ＦＥＴスイッチ、 ００・・・スレショルド検出回路、 ０２・・・目標流量比較回路。
である。 第２図は、第１図のシステムの回路図である。 第３図は、第１図のシステムの状態ダイアグラムである
。 第４図は、本発明に係る別システムのブロック図である
。 尚、図中、 １０、ｌＯ′・・・流体流量制御システム、１２．１２
’・・・流体流量制御回路、１４．１４′・・・流量セ
ンサ、 １６．１６’・・・流量制御バルブ、 １７・・・流体通路、 １９・・・実制御回路。 ２０・・・減算回路 ２２．２２°・・・積分回路、 ２４．２４゛・・・加算回路、 ２５・・・増幅回路。 ２６・・・スレショルド検出回路、 ０・・・目標流量比較回路、 ２・・・流量比較回路。 ４・・・シーケンシャル惨ロジック回路、５、 ３６
． ３７ ・・・ ＮＯＲゲ − ト 、８・・・
セット−リセットψフリップフロップ。 Ｏ・・・ＦＥＴスイッチ、 ００・・・スレショルド検出回路、 ０２・・・目標流量比較回路。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、流体通路内に配置され制御信号により制御されるよ
うに構成された流体流量制御バルブと、 前記流体通路内の流体の流れを検出して該流量を表わす
実流量信号を出力するように構成された流体流量センサ
と、 前記流体流量制御バルブを制御するように構成された流
体流量制御回路であって、 前記実流量信号を目標流量信号と比較して その比較結果に関係した信号を発生するように構成され
た実制御回路と、 前記目標流量信号を目標流量スレショルド 信号と比較してその比較結果を表わす目標流量比較回路
出力を発生するように構成された目標流量比較回路と、 前記実流量信号を前記目標流量信号と比較 した前記比較結果に関係した前記信号と、前記目標流量
比較回路出力に関係した信号とを受取り、それらの信号
に基づいて前記制御 信号を発生するように構成された加算回路 と、 を含んでいる流体流量制御回路と、 を含んでいることを特徴とする流体流量制御装置。 ２、前記流体流量制御回路が、前記目標流量比較回路出
力を受取り該目標流量比較回路出力に関係した前記信号
を発生するように構成されたシーケンシャル・ロジック
回路を含んでいることを特徴とする、請求項１記載の流
体流量制御装置。 ３、前記流体流量制御信号が更に、前記実流量信号を流
量規定スレショルド信号と比較してその比較結果を表わ
す流量比較回路出力を発生するように構成された流量比
較回路を含んでおり、且つ、 前記シーケンシャル・ロジック回路が、該流量比較回路
出力を受取るように構成されている、ことを特徴とする
請求項２記載の流体流量制御装置。 ４、前記実制御回路が、前記実流量信号と前記目標流量
信号とを受取り該実流量信号と該目標流量信号との間の
差分を表わす差分信号を出力するように構成された減算
回路を含んでいることを特徴とする、請求項１記載の流
体流量制御装置。 ５、前記実制御回路が、前記実流量信号と前記目標流量
信号との間の差分を表わす信号を受取り初期流量制御信
号を出力するように構成された積分回路を含み、該初期
流量制御信号が、前記実流量信号と前記目標流量信号と
の間の差分に基づいて変化するものであることを特徴と
する、請求項１記載の流体流量制御装置。 ６、前記シーケンシャル・ロジック回路がセット・リセ
ット・フリップフロップを含んでいることを特徴とする
、請求項３記載の流体流量制御装置。 ７、前記シーケンシャル・ロジック回路が ＮＯＲゲートを含んでおり、 該ＮＯＲゲートへは前記目標流量比較回路並びに前記流
量比較回路の出力が入力されるようになっており、 該ＮＯＲゲートは前記セット・リセット・フリップフロ
ップのリセット入力へ信号を出力するようになっている
、 ことを特徴とする請求項６記載の流体流量制御装置。 ８、前記シーケンシャル・ロジック回路が第２のＮＯＲ
ゲートを含んでおり、 該第２ＮＯＲゲートへは前記目標流量比較回路の出力が
入力されるようになっており、 前記目標流量比較回路の出力は更に前記セット・リセッ
ト・フリップフロップのセット入力へも入力されるよう
になっている、 ことを特徴とする請求項７記載の流体流量制御装置。 ９、前記シーケンシャル・ロジック回路が更に第３のＮ
ＯＲゲートを含んでおり、 該第３ＮＯＲゲートは、前記セット・リセット・フリッ
プフロップの出力と前記第２ＮＯＲゲートの出力とを受
取り前記目標流量比較器出力に関係した前記信号を出力
するようになっている、ことを特徴とする請求項８記載
の流体流量制御装置。 １０、前記流体流量制御回路が更に、前記制御信号を受
取り前記流体流量制御バルブへ増幅した制御信号を出力
するための増幅回路を含んでいることを特徴とする、請
求項１記載の流体流量制御装置。 １１、前記加算回路がデューティ・サイクル変調式スイ
ッチング・デバイスを含んでおり、前記増幅回路がスイ
ッチを含んでいることを特徴とする請求項１０記載の流
体流量制御装置。 １２、前記加算回路と前記増幅回路とが組合されて構成
されていることを特徴とする請求項１０記載の流体流量
制御回路。 １３、前記組合せ加算増幅回路が、加算増幅回路と線形
給電式駆動回路とを含んでいることを特徴とする請求項
１２記載の流体流量制御装置。 １４、流体流量制御バルブと流体流量センサとを有する
システム内の流体通路を流れる流体流量を制御するため
の方法であって、 前記流体通路を流れる流体流量を前記流体流量センサで
検出して該流体流量を表わす実流量信号を発生するステ
ップと、 前記実流量信号を目標流量信号と比較してその比較結果
に関係した信号を発生するステップと、 前記目標流量信号を目標流量スレショルド信号と比較し
てその比較結果を表わす目標流量比較出力を発生するス
テップと、 前記実流量信号を前記目標流量信号と比較した比較結果
に関係した前記信号と、前記目標流量比較出力に関係し
た信号とを加算して制御信号を発生するステップと、 前記流体通路を流れる流体流量を前記制御信号に基づい
て制御するステップと、 を含んでいることを特徴とする流体流量制御方法。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US07/277,030 US4877051A (en) | 1988-11-28 | 1988-11-28 | Flow controller |
| US277030 | 1988-11-28 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02194409A true JPH02194409A (ja) | 1990-08-01 |
Family
ID=23059139
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1308828A Pending JPH02194409A (ja) | 1988-11-28 | 1989-11-28 | 流量制御装置 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4877051A (ja) |
| EP (1) | EP0371597A3 (ja) |
| JP (1) | JPH02194409A (ja) |
| KR (1) | KR900008183A (ja) |
| CN (1) | CN1025462C (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016514324A (ja) * | 2013-03-14 | 2016-05-19 | イリノイ トゥール ワークス インコーポレイティド | 質量流量制御器のバルブペデスタルを自動的に自己調整するシステム及び方法 |
Families Citing this family (40)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE69001224T2 (de) * | 1989-09-01 | 1993-09-02 | Toto Ltd | Toilettenspuelvorrichtung. |
| US5259073A (en) * | 1989-09-01 | 1993-11-09 | Toto Ltd. | Water closet flushing apparatus |
| US5038821A (en) * | 1990-08-06 | 1991-08-13 | Maget Henri J R | Electrochemical control valve |
| DE4027936A1 (de) * | 1990-09-04 | 1992-03-05 | Rota Yokogawa Gmbh & Co Kg | Massedosierautomat |
| JP2718821B2 (ja) * | 1990-11-29 | 1998-02-25 | 山武ハネウエル株式会社 | ガス流量制御装置 |
| US5118008A (en) * | 1990-12-07 | 1992-06-02 | Titan Industries, Inc. | Programmable additive controller |
| US5271526A (en) * | 1990-12-07 | 1993-12-21 | Titan Industries, Inc. | Programmable additive controller |
| US5295394A (en) * | 1991-06-13 | 1994-03-22 | Mks Japan Inc. | Bypass unit for a flowmeter sensor |
| DE4219551C2 (de) * | 1991-06-13 | 1996-04-18 | Mks Japan Inc | Massenströmungssensor |
| JP2643665B2 (ja) * | 1991-06-13 | 1997-08-20 | 日本エム・ケー・エス 株式会社 | 流量センサ |
| US5228469A (en) * | 1991-08-15 | 1993-07-20 | Otten Bernard J | Fluid control system |
| US5141021A (en) * | 1991-09-06 | 1992-08-25 | Stec Inc. | Mass flow meter and mass flow controller |
| US5271389A (en) * | 1992-02-12 | 1993-12-21 | Puritan-Bennett Corporation | Ventilator control system that generates, measures, compares, and corrects flow rates |
| EP0711430A1 (en) * | 1992-06-12 | 1996-05-15 | Unit Instruments, Inc. | Mass flow controller |
| US5363874A (en) * | 1992-10-08 | 1994-11-15 | Sentry Equipment Corp. | Automated sample conditioning module |
| US5282487A (en) * | 1992-10-19 | 1994-02-01 | Timpany Peter L | Flow control system |
| US5660207A (en) * | 1994-12-29 | 1997-08-26 | Tylan General, Inc. | Flow controller, parts of flow controller, and related method |
| US5526838A (en) * | 1995-01-12 | 1996-06-18 | Mac Valves, Inc. | Method and valve assembly for controlling a pilot signal |
| US5499647A (en) * | 1995-01-12 | 1996-03-19 | Mac Valves, Inc. | Method and valve assembly for controlling a pilot signal |
| US5804717A (en) * | 1996-04-05 | 1998-09-08 | Mks Instruments, Inc. | Mass flow transducer having extended flow rate measurement range |
| US5865205A (en) * | 1997-04-17 | 1999-02-02 | Applied Materials, Inc. | Dynamic gas flow controller |
| JP3828995B2 (ja) * | 1997-07-09 | 2006-10-04 | Ｓｍｃ株式会社 | バルブ装置の制御方法および回路 |
| WO2002016885A1 (en) * | 2000-08-22 | 2002-02-28 | Fugasity Corporation | Fluid mass flow meter with substantial measurement range |
| US6962164B2 (en) * | 2001-04-24 | 2005-11-08 | Celerity Group, Inc. | System and method for a mass flow controller |
| US7000464B2 (en) | 2002-05-28 | 2006-02-21 | Mcmillan Company | Measuring and control of low fluid flow rates with heated conduit walls |
| US6736005B2 (en) * | 2002-05-28 | 2004-05-18 | Mcmillan Company | High accuracy measuring and control of low fluid flow rates |
| KR20050031109A (ko) * | 2002-07-19 | 2005-04-01 | 셀레리티 그룹 아이엔씨 | 질량 유량 제어기 내의 압력 보상을 위한 방법 및 장치 |
| JP4300846B2 (ja) * | 2002-07-23 | 2009-07-22 | 日立金属株式会社 | 流量センサ、流量測定器及び流量制御器 |
| FR2864905B1 (fr) * | 2004-01-09 | 2006-07-14 | Airbus France | Dispositif d'extinction de feu |
| FR2870459B1 (fr) * | 2004-05-19 | 2006-08-25 | Airbus France Sas | Dispositif d'extinction de feu par injection d'un gaz genere par la combustion d'un bloc pyrotechnique |
| US7216019B2 (en) * | 2004-07-08 | 2007-05-08 | Celerity, Inc. | Method and system for a mass flow controller with reduced pressure sensitivity |
| US7487773B2 (en) | 2004-09-24 | 2009-02-10 | Nellcor Puritan Bennett Llc | Gas flow control method in a blower based ventilation system |
| FR2879107B1 (fr) * | 2004-12-09 | 2007-04-06 | Airbus France Sas | Dispositif pour augmenter l'efficacite du gaz de pressurisation dans une bouteille d'extincteur |
| SG140513A1 (en) * | 2006-09-05 | 2008-03-28 | Yokogawa Electric Corp | A method to evaluate a performance of a control valve and a system thereof |
| KR20100029070A (ko) | 2007-02-19 | 2010-03-15 | 브룩스 인스트러먼트, 엘엘씨, | 밸브 누출량 진단 |
| DE102008028189B4 (de) * | 2008-06-12 | 2014-05-22 | Abb Technology Ag | Elektropneumatisches Ventil |
| US8131400B2 (en) * | 2010-06-10 | 2012-03-06 | Hitachi Metals, Ltd. | Adaptive on-tool mass flow controller tuning |
| ES2720608T3 (es) | 2014-05-01 | 2019-07-23 | Graco Minnesota Inc | Método para la calibración del control de flujo de sistemas altamente transitorios |
| JP6708555B2 (ja) | 2014-05-01 | 2020-06-10 | グラコ ミネソタ インコーポレーテッド | 閉じた状態のシステムにおける流体圧力を制御する方法 |
| US11693382B2 (en) * | 2020-12-22 | 2023-07-04 | Fisher Controls International Llc | Methods and apparatus to adjust operation of a fluid flow control assembly |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3552428A (en) * | 1968-06-20 | 1971-01-05 | Phillips Petroleum Co | Automatically tuned process controller |
| US4417312A (en) * | 1981-06-08 | 1983-11-22 | Worcester Controls Corporation | Electronic controller for valve actuators |
| JPS61133414A (ja) * | 1984-12-02 | 1986-06-20 | Sigma Gijutsu Kogyo Kk | ガス流量制御装置の動作確認装置 |
| US4720807A (en) * | 1985-05-20 | 1988-01-19 | Vacuum General, Inc. | Adaptive pressure control system |
| JPS62217313A (ja) * | 1986-03-19 | 1987-09-24 | Yuken Kogyo Kk | 比例電磁式流体制御弁の制御回路 |
| US4665938A (en) * | 1986-09-30 | 1987-05-19 | Rosemount Inc. | Frequency feedback on a current loop of a current-to-pressure converter |
-
1988
- 1988-11-28 US US07/277,030 patent/US4877051A/en not_active Expired - Fee Related
-
1989
- 1989-10-12 EP EP19890310443 patent/EP0371597A3/en not_active Withdrawn
- 1989-11-15 CN CN89108624A patent/CN1025462C/zh not_active Expired - Fee Related
- 1989-11-28 KR KR1019890017299A patent/KR900008183A/ko not_active Application Discontinuation
- 1989-11-28 JP JP1308828A patent/JPH02194409A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016514324A (ja) * | 2013-03-14 | 2016-05-19 | イリノイ トゥール ワークス インコーポレイティド | 質量流量制御器のバルブペデスタルを自動的に自己調整するシステム及び方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR900008183A (ko) | 1990-06-02 |
| US4877051A (en) | 1989-10-31 |
| EP0371597A3 (en) | 1991-06-12 |
| CN1025462C (zh) | 1994-07-13 |
| CN1043207A (zh) | 1990-06-20 |
| EP0371597A2 (en) | 1990-06-06 |
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