JPS61133414A - ガス流量制御装置の動作確認装置 - Google Patents
ガス流量制御装置の動作確認装置Info
- Publication number
- JPS61133414A JPS61133414A JP59254714A JP25471484A JPS61133414A JP S61133414 A JPS61133414 A JP S61133414A JP 59254714 A JP59254714 A JP 59254714A JP 25471484 A JP25471484 A JP 25471484A JP S61133414 A JPS61133414 A JP S61133414A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- flow
- flow rate
- difference
- output
- gas flow
- Prior art date
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- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
- G05D7/00—Control of flow
- G05D7/06—Control of flow characterised by the use of electric means
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Automation & Control Theory (AREA)
- Testing And Monitoring For Control Systems (AREA)
- Flow Control (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はガスの流量制御装置の動作を自動的に確認チェ
ックする装置に係る。
ックする装置に係る。
ガスの流量制御装置の一例としてマスクロコントローラ
をあげることができる。マス７０コントローラはガスの
流量を電圧で指定すると当該ガス流量が流れるよう自動
的に制御され、その時の流量が電圧で出力される。従っ
て、指定した流量が流れてｈるか否かは指建値１例えば
流量を指定するポテンショメータのダイヤルの目盛と流
量の出力電圧を目視により比較する方法がとられている
。指定流量と流量の出力電圧を比較する方法もあるか、
プロセスにより流ｔが種種変化するので誤差の割合いが
変化し、レベルを揃えた確認ができないという欠陥があ
る。
をあげることができる。マス７０コントローラはガスの
流量を電圧で指定すると当該ガス流量が流れるよう自動
的に制御され、その時の流量が電圧で出力される。従っ
て、指定した流量が流れてｈるか否かは指建値１例えば
流量を指定するポテンショメータのダイヤルの目盛と流
量の出力電圧を目視により比較する方法がとられている
。指定流量と流量の出力電圧を比較する方法もあるか、
プロセスにより流ｔが種種変化するので誤差の割合いが
変化し、レベルを揃えた確認ができないという欠陥があ
る。
従って、従来は動作確認を目視に頼る以外に方法がなく
マスフロコントローラを常時監視することができないと
いう欠陥がある。また、ｉ景が変化しそのチェックが遅
れると、正しい化学処理ができないという欠陥があるう
さらにまた。目視により確認するので誤認することが発
生するという欠陥がある。
マスフロコントローラを常時監視することができないと
いう欠陥がある。また、ｉ景が変化しそのチェックが遅
れると、正しい化学処理ができないという欠陥があるう
さらにまた。目視により確認するので誤認することが発
生するという欠陥がある。
本発明は上記欠陥を除去した新規な発明でありて、その
目的は （１）目視；ユよらない、常時監視可能なマスフロコン
トローラの動作確認装置を提供すること。
目的は （１）目視；ユよらない、常時監視可能なマスフロコン
トローラの動作確認装置を提供すること。
（２）指定流量が変化しても常（ニー足の集注でチェッ
クを行う動作確認装置を提供すること。
クを行う動作確認装置を提供すること。
（３）正しい化学処理が可能な動作確認装置を提供する
こと。
こと。
であり、上記目的はガス流量制御装置と、該ガス流量制
御装置に流量を指定する流せ指定手段エラグ値設定手段
と、比較手段とによって達成される。
御装置に流量を指定する流せ指定手段エラグ値設定手段
と、比較手段とによって達成される。
以下１本発明金図面（二より詳細に説明する。
第１図は本発明になるガス流量制御装置の動作確認装置
１０を含むシステムの機能図である。
１０を含むシステムの機能図である。
マス７０コントローラ１の入力口２（＝ガスが入力され
流量制御されたガスが出力口３に出力される。流量指定
手段４例えばポテンショメータで流量に対応した電圧ま
たは電流をマスフロコントローラ１（＝与よる。マスフ
ロコントローラ１は流量制御し、流れている流量を表す
電圧が出力され表示器５（二流量表示する。該流量と指
定流量を動作確認装置ｔ１０に人力し、その差を差分算
出手段６で算出し、チェック値設定手段７例えばポテン
ショメータによる電圧と比較手段８で比較する。
流量制御されたガスが出力口３に出力される。流量指定
手段４例えばポテンショメータで流量に対応した電圧ま
たは電流をマスフロコントローラ１（＝与よる。マスフ
ロコントローラ１は流量制御し、流れている流量を表す
電圧が出力され表示器５（二流量表示する。該流量と指
定流量を動作確認装置ｔ１０に人力し、その差を差分算
出手段６で算出し、チェック値設定手段７例えばポテン
ショメータによる電圧と比較手段８で比較する。
差分算出手段６の電圧がチェック値設定手段７の電圧よ
シ大きい時、出力９は１となりエラ状態にあることを表
示し、小さい時、出力９はＯとなり正常であることを表
示する。
シ大きい時、出力９は１となりエラ状態にあることを表
示し、小さい時、出力９はＯとなり正常であることを表
示する。
−第２図は本発明になるガス流量制御装置の動作確認装
置の実−例の回路図であるパ ポテンショメータ１４で流量ヲマス７０コントロー
ラ１へ指定スる。マス７０コントローラ］の流量出力は
抵抗１２．指定流量は抵抗１３を経て演算増幅器１６に
入力されて、その流量差分が算出される。
置の実−例の回路図であるパ ポテンショメータ１４で流量ヲマス７０コントロー
ラ１へ指定スる。マス７０コントローラ］の流量出力は
抵抗１２．指定流量は抵抗１３を経て演算増幅器１６に
入力されて、その流量差分が算出される。
次に、ポテンショメータ１７ａと１７℃で夫夫流量差分
のプラス側限界値とマイナス側限界値を設定シ、コンパ
レータ１８ａ、１８ｂで流量差分出力２０と比較してオ
ア回路２１で論理和をとり。
のプラス側限界値とマイナス側限界値を設定シ、コンパ
レータ１８ａ、１８ｂで流量差分出力２０と比較してオ
ア回路２１で論理和をとり。
応ずれか一方の出力が限界値を超えた時、出力 １
９が論理・１・となってエラ信号を出力する。
９が論理・１・となってエラ信号を出力する。
ポテンショメータ１７ａ、１７ｂの一方の端子２２ａ。
２２１）はポテンショメータ１４の出力（＝接続されて
いるので、指定流量の百分率でチェック条件を設定する
ことができる。従って、指定流量が変化しても常１：同
−条件でチェックできるので高精変に動作確認をするこ
とが可能となる。
いるので、指定流量の百分率でチェック条件を設定する
ことができる。従って、指定流量が変化しても常１：同
−条件でチェックできるので高精変に動作確認をするこ
とが可能となる。
上記説明では流を差分のプラス側とマイナス側をチェッ
クする場合について述べたが１本発明はこれＣ二限定さ
れるものではなくいずれか一方でも実現可能なことは明
らかである。
クする場合について述べたが１本発明はこれＣ二限定さ
れるものではなくいずれか一方でも実現可能なことは明
らかである。
以上説明したように１本発明ζ二よればガス流微制御装
置と、該ガス流量制御装置（二流量を指定する流量指定
手段と、該ガス流量制御装置の流量と前記流１１２足手
段の流量との差を算出する差分算出手段と、チェック値
設定手段と、比較手段とにより、常時監視可能で指定流
量に依存しない、一定の条件でチェック可能なガス流量
制御装置の動作確認装置を実現することができる。
置と、該ガス流量制御装置（二流量を指定する流量指定
手段と、該ガス流量制御装置の流量と前記流１１２足手
段の流量との差を算出する差分算出手段と、チェック値
設定手段と、比較手段とにより、常時監視可能で指定流
量に依存しない、一定の条件でチェック可能なガス流量
制御装置の動作確認装置を実現することができる。
第１図は本発明になるガス流量制御装置の動作確認装置
１０を含むシステムの機能図、第２図は本発明になるガ
ス流量制御装置の動作確認装置の実施例の回路図である
。 １はマス７０コントローラ、２は入力口、３は出力口、
４は流量指定手段、５は表示器、６は差分算出手段、７
はチェック値設定手段、８は比較手段、９．１９は出力
、 １０動作確認装置。 １２、１３は抵抗＋ １４＋ １７ａ、 １７ｂはポテ
ンショメータ、１６は演算増幅器＋ １８ａ、 １８ｂ
はコンパレータ、 ２０は流量差分出力、２１はオア回
路。 ２２ａ＋２２ｂは端子である。 特許出願人 シグマ技術工業株式会社代表者神１
）薫
１０を含むシステムの機能図、第２図は本発明になるガ
ス流量制御装置の動作確認装置の実施例の回路図である
。 １はマス７０コントローラ、２は入力口、３は出力口、
４は流量指定手段、５は表示器、６は差分算出手段、７
はチェック値設定手段、８は比較手段、９．１９は出力
、 １０動作確認装置。 １２、１３は抵抗＋ １４＋ １７ａ、 １７ｂはポテ
ンショメータ、１６は演算増幅器＋ １８ａ、 １８ｂ
はコンパレータ、 ２０は流量差分出力、２１はオア回
路。 ２２ａ＋２２ｂは端子である。 特許出願人 シグマ技術工業株式会社代表者神１
）薫
Claims (1)
- ガス流量制御装置と、該ガス流量制御装置に流量を指定
する流量指定手段と、該ガス流量制御装置の流量と前記
流量設定手段の流量との差を算出する差分算出手段と、
チェック値設定手段と、比較手段とからなることを特徴
としたガス流量制御装置の動作確認装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59254714A JPS61133414A (ja) | 1984-12-02 | 1984-12-02 | ガス流量制御装置の動作確認装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59254714A JPS61133414A (ja) | 1984-12-02 | 1984-12-02 | ガス流量制御装置の動作確認装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61133414A true JPS61133414A (ja) | 1986-06-20 |
Family
ID=17268825
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59254714A Pending JPS61133414A (ja) | 1984-12-02 | 1984-12-02 | ガス流量制御装置の動作確認装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61133414A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0371597A2 (en) * | 1988-11-28 | 1990-06-06 | Mks Instruments, Inc. | Flow controller |
| US8336544B2 (en) | 2002-11-20 | 2012-12-25 | Air Products And Chemicals, Inc. | Volume flow controller |
-
1984
- 1984-12-02 JP JP59254714A patent/JPS61133414A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0371597A2 (en) * | 1988-11-28 | 1990-06-06 | Mks Instruments, Inc. | Flow controller |
| US8336544B2 (en) | 2002-11-20 | 2012-12-25 | Air Products And Chemicals, Inc. | Volume flow controller |
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