JPH02194027A - ポリ置換されたオリゴシラザン類およびその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、新規のポリ置換されたオリゴシラザン類オリ
ゴシラザン類およびその製造方法に関するものである。

本発明によるオリゴシラザン類は、更なるクロロシラン
類との反応によりポリマー性クロロシラザン類に転換す
ることができ、該ポリマー性クロロシラザン類は、順に
、先ずポリシラザン類に、そして次いで窒化珪素を含有
するセラミック材料に転換することができる。

（従来技術） 別のオリゴマー類からのポリシラザン類の製造は、既に
記載されており（米国特許第４４８２６６９号明細書、
同第４７２０５３２号明細書および国際特許ＰＣＴ−Ｗ
０８８１０１２６０号明細書）、同様にポリシラザン類
を熱分解して窒化珪素を含有するセラミック材料を形成
することも記載されている（Ｒ，Ｒ。

Ｗｉｌｌｓ　ｅｔ　ａｌ、、　Ｃｅｒａｍｉｃ　Ｂｕｌ
ｌｅｔｉｎ、　ｖｏｌ、　６２（１９８３）　９０４−
９１５）。

ポリマー類の中間体としてのオリゴマー性或いは低分子
量シラザン類は、今までのところ一般にクロロシラン類
を出発物質として使用して製造され、そしてそれをアン
モニアまたは一級或いは二級アミン類と反応させる（米
国特許第４５４０８０３号明細書、同第４５４３３４４
号明細書、同第４５９５７７５号明細書および同第４３
９７８２８号明細書）。

（発明が解決しようとする課題） 本発明は、ポリシラザン類の新規の出発物質を提供する
ものである。

（課題を解決するための手段） 本発明は、過剰のアンモニアをＲ’Ｒ”５ｉＣＩ□（１
）およびＣＩＪ’５ｉ−ＣＩＩｚＣＨｔ−５ｉＲ’ＣＩ
□（ＩＩ）で表される二成分のうち少なくとも一成分お
よびＲ’５ｉＣ１ｓ（■）およびＣＩ＋５ｉ−ＣＴｏＣ
Ｈｚ−５ｉＲ’Ｃ１ｚ　（■）で表される二成分のうち
少なくとも一成分を含有する出発物質（上記ラジカルは
互いに無関係に以下の意味を持つ、即ちＲ１，Ｒ１、Ｒ
’＝Ｈ、Ｃ，〜Ｃ，アルキル基またはＣ２〜Ｃ６アルケ
ニル基であり、そしてＲ３、Ｒ５＝Ｃ１〜Ｃ３アルキル
基またはＣ２〜Ｃ，アルケニル基であり、また上記出発
物質における（Ｉ）または（ＩＩ）或いはこれらの混合
物のモルパーセントは３０〜９０％である）と−７０〜
＋１００℃で反応させる［但し、（１）および（ＩＩＩ
）のみを含有する混合物のアンモニアとの反応は除外さ
れる１　ことからなるオリゴシラザン類の製造方法に関
するものである。上記ラジカルは互いに無関係に以下の
意味を持つ、即ちＲ１、Ｒ２、Ｒ’＝Ｈ、Ｃ，〜Ｃ，ア
ルキル基またはＣｔ　−Ｃ３アルケニル基であり、そし
てＲ２、Ｒ５＝Ｃ１〜Ｃｌアルキル基またはＣｔ　’＝
　Ｃｓアルケニル基であることが好ましい。Ｒ’　＝Ｈ
，Ｒ”＝Ｒ３＝Ｒ’＝ＣＩ。

およびＲ’＝ＣＨ，またはビニル基である場合特に好ま
しい。

出発物質として使用されるクロロシラン類（１）　Ｒ’
Ｒ”ＳｉＣ１ｇおよび（Ｉ［［）Ｒ’５ｉＣ１ｉは、市
販されており、そしてエチレン架橋種である（ＩＩ）お
より　（ＩＩＩ）は、Ｒ’Ｈ５ｉＣ１ｇおよびエチレン
のヒドロシリル化（ｈｙｄｏｒｓｉｌｙｌａｔｉｏｎ）
によって或いはビニルトリクロロシランおよびＲ’ＨＳ
ｉＣＩ　ｚのヒドロシリル化によって得ることができる
（下記の実験レポートを参照のこと）。

アンモニアとの反応は、上記クロロシラン類を該反応体
に対して不活性な挙動を示す溶剤に入れて、次いで全て
の５ｉＣ１官能基がＮＨ基によって置換されている際に
達する飽和点にまでこれらをアンモニアと混合すること
によって行われるのが好ましい、この反応に好適な溶剤
の例としては、ｎ−ペシラン、シクロヘキサンまたはト
ルエン等の飽和脂肪族または芳香族炭化水素類、クロロ
ホルムまたはクロロベンゼン等の塩化炭化水素類または
ジメチルエーテルまたはＴＨＦ等のエーテル類が挙げら
れる。

場合により、本発明の方法を減圧下に或いは１〜１００
バールの圧力下に行うこともできる。アンモニアは、気
体として或いは液体として配置添加することができる。

また本発明の方法は、連続的に行うこともできる。

製造された新規のオリゴマー性シラザン類は、次式（Ｖ
）： で表すことができる分子構造を有する。

従って、本発明は、更に式（Ｖ）： （式中、上記ラジカルは互いに無関係に以下の意味を持
つ、即ち Ｒ’、　Ｒ冨、Ｒ’＝Ｉ１．Ｃ，−Ｃ，アルキル基また
はＣｔ〜Ｃ，アルケニル基であり、そして Ｒ３、Ｒ５＝Ｃ＋−Ｃａアルキル基またはＣ２〜Ｃ＆ア
ルケニル基であり、 ａ、ｂ、、ｃおよびｄは、各構造単位のモル分率であり
、 同時にａ＞０　、、ｂ＞０．　ｃ＝０およびｄ、ｏの場
合は除かれる）で表されるオリゴマー性シラザン類に関
するものである。

ａ＋ｂ＋ｃ＋ｄの合計は、常に１の値をとる。好ましく
は、ＲＩＳＲＲ１Ｒ’＝Ｈ、Ｃ＋−Ｃ３アルキル基また
はＣ２〜Ｃ，アルケニル基であり、そしてＲ３、Ｒ’＝
Ｃ，〜Ｃ。

アルキル基またはＣ２〜Ｃ，アルケニル基である。ＲＩ
＝Ｈ，Ｒ”＝Ｒ’＝Ｒ’＝ＣＨコおよびＲ’＝ＣＩ！ま
たはビニル基である場合が特に好ましい。

本発明による式（Ｖ）で表されるオリゴシラザン類は、
以下の方法で窒化珪素を含有するセラミック材料に転換
することができる。即ち、先ず本発明のオリゴシラザン
類を３０〜３００°ＣでＣ１ｚＲ’５ｉ−ＣＨ２Ｃｌ２
−５ｉＲ’Ｃ１ｇ、Ｃ１３Ｓｉ−ＣＨＩＣＩＩＩ−Ｓｉ
Ｒ’ＣＩ　！、Ｒ”５ｉＣ１、またはＲ’５ｉＨＣ１ｚ
　（上記ラジカルは互いに無関係に以下の意味を持つ、
即ちＲｈ、　Ｒ？、Ｒ１、Ｒ’Ｃ，−Ｃ！アルキル基ま
たはＣ２〜Ｃ，アルケニル基であり、好ましくは０１〜
Ｃ，アルキル基またはＣ８〜Ｃ，アルケニル基である）
のうち少なくとも一種類のクロロシラン類と反応させる
。Ｒ””Ｒ’＝Ｒ’＝ＣＨ３であり、且つＲ＠＝ＣＨ３
またはビニル基である場合に、特に好ましい、この反応
は、ポリ置換された塩素含有−シラザンポリマー類を製
造し、該ポリマーは、以下ポリマー性クロロシラザンと
も呼ばれる。

このポリマー性クロロシラザンを与える反応において、
反応体、即ちクロロシラン；オリゴシラザンの七ツマー
単位（ｎ・１）とのモル比は、約０．１：１〜約１．５
：　１であることが好ましく、特に約０．１：ｌ〜約０
．７：１である。

この反応体は、オリゴシラザン類をとり、そして上記ク
ロロシラン類のうち少な（とも一種類をこれに加えるこ
とによって互いに反応させるのが好ましい、この反応が
発熱反応であるので、温度は、該反応体を一緒に加える
際に（ｂｒｏｕｇｈ　ｔｔｏｇｅｔｈｅｒ）、先ず３０
〜５０″Ｃに保持されるのが好ましい０次いでこの反応
混合物を１００〜３００℃、好ましくは１２０〜２５０
°Ｃの温度に加熱する。

副生成物として形成されるＮＯ，のうちい（らかは、反
応の際にエスケープする。この反応が完結した際に、残
部の高い揮発性の化合物類は、反応容器から、−ａには
減圧することによって、除去される。

この反応において形成される殆どのＮＨ、ＣＩも、反応
の際に反応混合物から昇華する。残渣のＮＨ、ＣＩは、
製造されたポリマー性クロロシラザンからｎ−ヘキサン
、トルエンまたはエーテル等の不活性有機溶剤による抽
出によって除去することができる。

反応時間は、加熱速度および反応温度によって異なる。

３〜７時間の反応時間は、一般には充分である。

この反応は、有機溶剤中で行うこともできる。

好ましい溶剤は、反応体に対して不活性な挙動を示し、
且つ充分に高い沸点を有するものであり、例えばｎ−デ
カン、デカリン、キシレンまたはトルエン等の飽和脂肪
族または芳香族炭化水素類、クロロベンゼン等の塩化炭
化水素類、ジベンジルエーテルまたはジエチレングリコ
ールジエチルエーテル等のエーテルである。形成された
Ｎｆ１４ＣＩが不溶である溶剤を使用する場合は、ＮＨ
４Ｃｌを濾別することができる０次いで減圧下に上記溶
剤を蒸発させることによってポリマー性クロロシラザン
類が得られる。

場合により、本発明の方法を減圧下に或いは１〜ｌＯ気
圧の範囲の圧力下に行うこともできる。

上記ポリマー性クロロシラザン類は、アンモニアとの反
応［「アンモニア分解Ｊ　（ａｍｍｏｎｏｌｙｓｉｓ）
］によってポリシラザン類に転換し、これらを順に熱分
解によって窒化珪素を含有するセラミック材料に転換す
ることができる。

アンモニア分解は、液体ＮＨ３中で行うことができるが
、有機溶剤中で行われるのが有効である。

好適な溶剤は、上記ポリマー性クロロシラザン類に対し
て不活性な挙動を示す全ての溶剤である。

好ましい溶剤は、副生成物として得られた塩化アンモニ
ウムが難溶性であり、且つ容易に分離することができる
ものであり、例えばエーテル類、脂肪族および芳香族炭
化水素類および塩化炭化水素類である。アンモニア分解
において、上記反応体は、反応容器にいかなる順序で投
入することができるが、通常はポリマー性クロロシラザ
ン類を溶液にとり、そしてアンモニアガスを通過させる
か或いは液体アンモニアを加えるのが有効である。

ポリマー性クロロシラザンが好適な有機溶剤中で製造さ
れている場合は、このアンモニア分解は、予めＮＨ、Ｃ
Ｉを分離することなしにこの溶剤中で行うことができる
。上記アンモニア分解は、反応を完結させ且つ最終生成
物をできる限り塩素なしにするために過剰のＮＨ３を用
いて行われるのが好ましい、再び理論量が一般にはこの
目的のために充分である。

この反応は、一般に約−５０〜＋１００℃の温度、好ま
しくは一２０〜＋３０℃の温度、特に好ましくは室温（
この場合水冷を使用する）で行われる。しかしながら、
上記反応を室温以上、例えば使用される溶剤の沸点或い
は室温以下、例えば液体ＮＴｏを使用した場合−３３℃
で行うことも可能である。

アンモニア分解が完結した際、ｉ剃なＮＨ，が除去され
、そして得られた塩化アンモニウムが濾別される。収量
は、上記の有機溶剤のうちの１つで洗浄することによっ
て増加することができる。減圧下にこの溶剤を蒸発させ
た後、ポリシラザン類が白色粉末として直ちに得られる
。このポリシラザン類は、上記の有機溶剤に可溶であり
、表面を被覆するのに或いは繊維を製造するのに使用す
ることができる。

上記ポリシラザン類を不活性窒素或いはアルゴン雰囲気
中で８００〜１２００°Ｃの温度で熱分解してＳｉ。

ＮおよびＣから本質的になり、また痕跡量のＨおよび０
を含有することもできる緻密な非晶質材料を形成するこ
とができる。１２００℃以上の熱分解温度、例えば１２
００〜１４００℃の範囲の温度において、結晶質相とし
てα−５ｉＪ、を含有する部分的に非晶質のセラミック
材料が形成される。

熱分解の前に上記ポリシラザン類を種々の方法で成形し
て三次元成形体を形成することができるということは特
に有効である。

成形のうち一つの重要な方法は、繊維をトルエン、ＴＨ
Ｆまたはヘキサン等の溶剤中のポリシラザンの高い粘度
の溶液からから延伸することができる繊維延伸（ｆｔｂ
ｅｒ　ｄｒａｗｉｎｇ）である。直径８０〜１５０ミク
ロンを有する紡糸口金により延伸するのが有効である。

引続きの延伸によりフィラメントは、薄くなりそれによ
って直径２〜２０ミクロン、特に５〜１５ミクロンの強
固なフィラメントが熱分解の後に形成される。引き続い
て熱分解することによって得られた繊維は、繊維強化ア
ルミニウム、アルミニウム合金およびセラミック成分に
おける機械的強化マトリックスとして使用される。ポリ
シラザン類を加工することができるその他の重要な方法
は、金属、特にスチールへの緻密な、強固な接着性の非
晶質或いは微細結晶性セラミック被膜の製造である。こ
の被膜は、トルエン、Ｔ肝またはヘキサン等の溶剤中の
ポリシラザンの溶液の補助により施される。非晶質或い
は微細結晶層への熱分解的な転換は、三次元成形体に関
して記載された方法で不活性ガス中で８００〜１２００
℃または１２００〜１４００℃の同一温度範囲で生じる
。

その優れた接着力、高い硬度および表面性質のため、こ
のセラミック被膜は、機械的にまたは化学的に応力を受
ける機械成分に特に好適である。

上記のポリシラザン類は、不活性ガス中の代わりにＮｌ
ｈ雰囲気中でも７０〜９０％の同等に高いセラミック収
率で熱分解することができる。この結果、実質的に炭素
なしの無色透明の材料となる。熱分解が１０００°Ｃ或
いはそれ以上でＮＨ１中で行われた場合、炭素含有量は
、０．５重量％未満である。熱分解温度により、熱分解
生成物は、実質的に純粋な非晶質窒化珪素　（１２００
℃以下の熱分解）または結晶Ｓｉ　Ｊａ　（１２００°
Ｃ以上、特に１３００℃以上の熱分解）から構成される
。　　ＮＨ３中での熱分解を上記の成形方法によって製
造された全ての成形体、即ち粉体、繊維および被膜から
の成形体に適用することができる。

しかしながら、窒化珪素を含有するセラミック材料への
ポリマー性クロロシラザン類の転換は、中間体として形
成されたポリシラザン類を単離しないような方法で行わ
れるのが好ましい。この場合、このポリマー性クロロシ
ラザン類をアンモニアガスと反応させ、そして形成され
た反応混合物をアンモニア雰囲気下に熱分解させる。

実験レポート 実験ｌ：下記式の１．２−ビス（メチルジクロロシリル
）エタンの製造 ヒドロシリル化により、二分子のメチルジクロロシラン
即ち、（ＣＨｓ）Ｈ５ｉＣ１ｇを一分子のエチレン即ち
、ＩＣＣＢに加えた。これは、トルエンを溶剤としてと
り、エチレンガスをこれに通過させることによって行わ
れた。　　０．５１１１のクロロホルム中のヘキサクロ
ロ白金酸の０．０５モル溶液をこの溶液に加えた。この
混合物を１００℃まで加熱して、そしてメチルジクロロ
シラン（沸点４５℃）をエチレンを連続的に通過させな
がらゆっくりと滴下した０反応の経過は、反応混合物の
温度を介して追跡された。　８０℃以下に降下した場合
、非常に多量の未反応のメチルジクロロシランが存在し
、これは、次いでさらに添加する前に反応させた。１．
２−ビス（メチルジクロロシリル）エタンの収率は、略
１００％であり、この溶液を使用して後処理されること
なしにオリゴシラザンを製造することができた。クロロ
シラン含有量は、’Ｈ−ＮＭＲスペクトルにより容易に
測定することができた。Ｒ少の可能割合の溶剤を使用す
ることが好ましい、この化合物は、必要な反応温度に到
達させるために最初は１．２−ビス（メチルジクロロシ
リル）エタンをとることによる完全に溶剤なしの方法で
製造することができた。

実験２：下記式の１−メチルジクロロシリル−２−トリ
クロロシリルエタンの製造 ３００ｄ　（３８１ｇ、　２．３６モル）のビニルトリ
クロロシランをとり、０．５−のＣＨＣ１ｚ中の１ｈＰ
ｔｃｌａの０．０５モル溶液を加えた。　　２４２１７
！（２７１，５ｇ、　２．３６モル）のメチルジクロロ
シランを９０℃でゆっくりと添加したところ、反応容器
内の温度は、油浴温度を上昇することなしに１２０℃ま
で上昇した。

収量（収率）　　：６５０ｇ　（９９％）この生成物が
純粋な形態であったので後処理せず。

実施例 実施例Ｉ Ｒ’　”　Ｈ，Ｒ”−Ｒ３＝　Ｒ’　＝　ＣＨｓ＋　８
　＝０．４２＋　ｂ　＝　０．３８＋　Ｃ＝０．２０お
よびｄ＝０である式（Ｖ）のオリゴマー性シラザンの製
造 攪拌機、冷却管および導入管を備えた２Ｉ！、四つロフ
ラスコ中にて、５０Ｉ１１（５５，７ｇ、０．４８モル
）のＣＩＬ３ＳｉｌｌＣ１ｇ　、５０ｄ　（６０ｇ、０
．２３モル）のＣ１ｚＣＨ３Ｓｉ−ＣＨ２Ｃｌ２−Ｓｉ
ＣＨ３Ｃｈおよび５０ｄ　（６３，６ｇ、０．４３モル
）のＣＨｓＳｉＣｌｓを１．５１の無水ＴＨＦに溶解し
、そしてこの溶液を混合した０次いでアンモニアを０〜
１０℃の温度で飽和点まで通過させた。反応が終了した
際、この反応混合物を解凍し、そして生成した塩化アン
モニウムをフリット上で分離し、２００Ｉ１１のＴＨＰ
で二度洗浄した。？［’およびその他の揮発性成分から
４０℃で減圧下に蒸発させることによって濾液を遊離さ
せ溶剤なしのオリゴマーを残した。

収量（収率）　　：　７４．５ｇ　　（８３，２％）。

’ＨＮＭＲデータ： ５ｉＣＨ３：δ＝（ＣＯ〜０．５ｐｐｍ　（ｂｒ）、強
度１１．０Ｎ）１＋ＳｉＣＨｚＣＨｇＳｉ：δ＝０．５
〜１．１ｐｐ■（ｂｒ）　、強度６．３Ｓｉｎ：δ＝４
．５〜５．０ｐｐｍ　（ｂｒ）、強度１．１実施例２ Ｒ’＝Ｒ”−Ｒ３＝Ｒ’＝ＣＩｈ＋　ａ＝　ｂ＝　ｃ＝
　ｄ＝０．２５である式（Ｖ）のオリゴマー性シラザン
の製造クロロシラン類が以下の通り即ち、 ３３．９ｇ（３１，９ａｆ、　０．２６モル）の（ＣＨ
ｓ）ｚｓｉｃｌｇ、６７．４ｇ（５６，２ｍ、　０．２
６モル）のＣ１＊ＣＨＩＳｉ−ＣＨｚ−ＣＨｚ−ＳｉＣ
Ｈ、Ｃ１ｇ、 ３９．３ｇ（３０，９ａｄ！、　０．２６モル）のＣＨ
３５ｉＣ１ｓおよび７２．８ｇ（６０，６ｍ、　０．２
６モル）のＣＣ１５Ｓｉ−ＣＨｘＣＨｔ−ＳｉＣＨ３Ｃ
１であった以外は、この方法は、実施例１と同様であっ
た。

収量（収率）　　：８５ｇ　　（７８％）。

’ＨＮＭＲデータ： ５ｉＣＨ，：δ＝０．０〜０．５ｐｐｍ　（ｂｒ）、強
度１４．１ＮＨ＋５ｉＣ）ＩｚＣＨｔＳｉ：δ＝０．５
〜１．３ｐｐｍ　（ｂｒ）、強度１０．４実施例３ ＲＩ＝Ｈ，Ｒ冨＝Ｒ”−ＣＨ２，Ｒ’＝ビニル基、　ａ
　＝０．６４．ｂ＝０．１６．ｃ＝０．２およびｄ＝０
である式（Ｖ）のオリゴマー性シラザンの製造 クロロシラン類が以下の通り即ち、 １００．３ｇ　（９０ｍ１．０．７８モル）のＣ１ｈＳ
ｉＨＣｈ、４８０ｇ（４０Ｉ！！１．０．１９モル）の
Ｃ１ｚＣＨｓＳｉ−ＣＨｇＣＨｔ−５ｉＣＨｓＣ１□、
および ３８．１ｇ（３０Ｉｄ、　０．２４モル）のビニル−５
ｉＣ１３であった以外は、この方法は、実施例１と同様
であった。

収量（収率）　　：９２ｇ　　（８１％）。

’ＨＮＭＲデータ：

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. （１）過剰のアンモニアをＲ＾１Ｒ＾２ＳｉＣｌ＿２（
   I ）およびＣｌ＿２Ｒ＾３Ｓｉ−ＣＨ＿２ＣＨ＿２Ｓ
   ｉＲ＾３Ｃｌ＿２（II）で表される二成分のうち少なく
   とも一成分およびＲ＾４ＳｉＣｌ＿３（III）およびＣ
   ｌ＿３Ｓｉ−ＣＨ＿２ＣＨ＿２−ＳｉＲ＾５Ｃｌ＿２（
   IV）で表される二成分のうち少なくとも一成分を含有す
   る出発物質（上記ラジカルは互いに無関係に以下の意味
   を持つ、即ち Ｒ＾１、Ｒ＾２、Ｒ＾４＝Ｈ、Ｃ＿１〜Ｃ＿６アルキル
   基またはＣ＿２〜Ｃ＿６アルケニル基であり、そして Ｒ＾３、Ｒ＾５＝Ｃ＿１〜Ｃ＿６アルキル基またはＣ＿
   ２〜Ｃ＿６アルケニル基であり、また 上記出発物質における（ I ）または（II）或いはこれ
   らの混合物のモルパーセントは３０〜９０％である）と
   −７０〜＋１００℃で反応させる［但し、（ I ）およ
   び（III）のみを含有する混合物のアンモニアとの反応
   は除外される］ことからなるオリゴシラザン類の製造方
   法。
2. （２）上記ラジカルが互いに無関係に以下の意味を持つ
   、即ち Ｒ＾１、Ｒ＾２、Ｒ＾４＝Ｈ、Ｃ＿１〜Ｃ＿３アルキル
   基またはＣ＿２〜Ｃ＿３アルケニル基であり、そして Ｒ＾３、Ｒ＾５＝Ｃ＿１〜Ｃ＿３アルキル基またはＣ＿
   ２〜Ｃ＿３アルケニル基である請求項１に記載の方法。
3. （３）Ｒ＾１＝Ｈ、Ｒ＾２＝Ｒ＾３＝Ｒ＾５＝ＣＨ＿３
   およびＲ＾４＝ＣＨ＿３またはビニル基である請求項１
   に記載の方法。
4. （４）請求項１〜３項のいずれかに記載の方法によって
   得られたオリゴシラザン類。
5. （５）式： ▲数式、化学式、表等があります▼ （式中、上記ラジカルは互いに無関係に以下の意味を持
   つ、即ち Ｒ＾１、Ｒ＾２、Ｒ＾４＝Ｈ、Ｃ＿１〜Ｃ＿６アルキル
   基またはＣ＿２〜Ｃ＿６アルケニル基であり、そして Ｒ＾３、Ｒ＾５＝Ｃ＿１〜Ｃ＿６アルキル基またはＣ＿
   ２〜Ｃ＿６アルケニル基であり、 ａ〜ｄは各構成単位のモル分率を示し、 同時にａ＞０、ｂ＞０、ｃ＝０およびｄ＝０の場合は除
   かれる）で表されるオリゴシラザン類。
6. （６）上記ラジカルは互いに無関係に以下の意味を持つ
   、即ち Ｒ＾１、Ｒ＾２、Ｒ＾４＝Ｈ、Ｃ＿１〜Ｃ＿３アルキル
   基またはＣ＿２〜Ｃ＿３アルケニル基であり、そして Ｒ＾３、Ｒ＾５＝Ｃ＿１〜Ｃ＿３アルキル基またはＣ＿
   ２〜Ｃ＿３アルケニル基である請求項５に記載のオリゴ
   シラザン類。
7. （７）Ｒ＾１＝Ｈ、Ｒ＾２＝Ｒ＾３＝Ｒ＾５＝ＣＨ＿３
   およびＲ＾４＝ＣＨ＿３またはビニル基である請求項５
   に記載のオリゴシラザン類。