JPH0219012A - 水晶振動子の製造方法 - Google Patents
水晶振動子の製造方法Info
- Publication number
- JPH0219012A JPH0219012A JP16942088A JP16942088A JPH0219012A JP H0219012 A JPH0219012 A JP H0219012A JP 16942088 A JP16942088 A JP 16942088A JP 16942088 A JP16942088 A JP 16942088A JP H0219012 A JPH0219012 A JP H0219012A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vapor deposition
- crystal vibration
- vibration chip
- base electrode
- frequency adjustment
- Prior art date
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- Pending
Links
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Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、水晶振動子の製造方法に関するものである。
従来の技術
従来は、圧電効果を有する水晶振動片に圧電現象を現出
させるベース電極を形成し１次にこれを保持器に装着し
た後、周波数調整のトリミング電極を付加し、気密封止
していた。
させるベース電極を形成し１次にこれを保持器に装着し
た後、周波数調整のトリミング電極を付加し、気密封止
していた。
発明が解決しようとする課題
しかしながら、上記従来の製造方法では第３図のごとく
ベース電極を形成させた水晶振動片を保持器に装着した
後２周波数調整をするために蒸着装置内にセットしなけ
ればならない。このため２−回の投入数量が７０個程度
に限定され、生産能力を向上させるには蒸着装置の台数
を増やす以外方法がなかった。また６周波数調整のトリ
ミング電極は高真空中で蒸着する必要があるが、所定の
真空度を得るための時間が作業時間の大半を占めること
から作業時間が長くなり、作業効率の悪いものであった
。
ベース電極を形成させた水晶振動片を保持器に装着した
後２周波数調整をするために蒸着装置内にセットしなけ
ればならない。このため２−回の投入数量が７０個程度
に限定され、生産能力を向上させるには蒸着装置の台数
を増やす以外方法がなかった。また６周波数調整のトリ
ミング電極は高真空中で蒸着する必要があるが、所定の
真空度を得るための時間が作業時間の大半を占めること
から作業時間が長くなり、作業効率の悪いものであった
。
本発明は、この様な従来の問題点を解決するものであり
、少数の蒸着装置においても作業時間の短縮化及び、多
量の周波数調整処理が可能となる水晶振動子の製造方法
を提供することを目的とするものである。
、少数の蒸着装置においても作業時間の短縮化及び、多
量の周波数調整処理が可能となる水晶振動子の製造方法
を提供することを目的とするものである。
課題を解決するための手段
本発明は、前記目的を達成するために前記水晶振動子の
周波数調整工程において第２図のごとくベース准極を形
成した水晶振動片単体で周波数調整することにより前述
の問題解決を図−たものである。
周波数調整工程において第２図のごとくベース准極を形
成した水晶振動片単体で周波数調整することにより前述
の問題解決を図−たものである。
作用
本発明によれば、水晶振動片にベース電極を形成した後
１周波数調整するトリミング電極を付加する蒸着装置内
部の水晶振動片供給部にベース電極を形成した水晶振動
片単体を投入する。そして前記供給部を通じて蒸着発生
源部前に移動した前述の水晶振動片に規定量の電極を付
加する。このため蒸着装置内への一回の投入量が限定さ
れる欠点が改善され、少数の蒸着装置での作業が可能と
なり１作業時間が短縮できるものとなる。
１周波数調整するトリミング電極を付加する蒸着装置内
部の水晶振動片供給部にベース電極を形成した水晶振動
片単体を投入する。そして前記供給部を通じて蒸着発生
源部前に移動した前述の水晶振動片に規定量の電極を付
加する。このため蒸着装置内への一回の投入量が限定さ
れる欠点が改善され、少数の蒸着装置での作業が可能と
なり１作業時間が短縮できるものとなる。
実施例
第１図は本発明の一実施例の構成を示すものである。ベ
ース電極を形成した水晶振動片単体を蒸着装置１内の水
晶振動片供給部２に投入する。すると、パーツフィーダ
３によってトリミング電極蒸着発生源４前の振動片チャ
ック部５に水晶振動片８が運ばれ規定量の電極蒸着が行
われる。終了後、パーツフィーダ６を通じて水晶振動片
保管部７に運ばれる。ベース電極を形成した水晶振動片
の投入量の全ての周波数調整が終われば、水晶振動片保
管部７を蒸着装置内１より取り出す。
ース電極を形成した水晶振動片単体を蒸着装置１内の水
晶振動片供給部２に投入する。すると、パーツフィーダ
３によってトリミング電極蒸着発生源４前の振動片チャ
ック部５に水晶振動片８が運ばれ規定量の電極蒸着が行
われる。終了後、パーツフィーダ６を通じて水晶振動片
保管部７に運ばれる。ベース電極を形成した水晶振動片
の投入量の全ての周波数調整が終われば、水晶振動片保
管部７を蒸着装置内１より取り出す。
発明の効果
本発明は以上に述べたものであるから、水晶振動子の製
造において、ベース電極を形成した振動片の周波数調整
を蒸着装置内において行う場合に。
造において、ベース電極を形成した振動片の周波数調整
を蒸着装置内において行う場合に。
蒸着装置に投入する数量を大幅に増加することができ、
多量の周波数調整処理がワンパッチで可能となる。
多量の周波数調整処理がワンパッチで可能となる。
第１図は本発明に関わる周波数調整蒸着装置の構成を示
す図、第２図と第３図は本発明と従来例の製造工程を示
すブロック図である。 １・・・・・周波数調整蒸着装置、８・・・・・・水晶
振動片。
す図、第２図と第３図は本発明と従来例の製造工程を示
すブロック図である。 １・・・・・周波数調整蒸着装置、８・・・・・・水晶
振動片。
Claims (1)
- 圧電効果を有する水晶振動片に圧電現象を現出させるベ
ース電極を形成し、前記水晶振動片単体において前記ベ
ース電極の少なくとも一方に周波数調整するためのトリ
ミング電極を付加し任意の周波数に調整した後、保持器
に装着して気密封止する水晶振動子の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16942088A JPH0219012A (ja) | 1988-07-07 | 1988-07-07 | 水晶振動子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16942088A JPH0219012A (ja) | 1988-07-07 | 1988-07-07 | 水晶振動子の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0219012A true JPH0219012A (ja) | 1990-01-23 |
Family
ID=15886262
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16942088A Pending JPH0219012A (ja) | 1988-07-07 | 1988-07-07 | 水晶振動子の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0219012A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7109432B2 (en) | 2002-06-12 | 2006-09-19 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Electric power unit for machining of wire electric discharge machine |
-
1988
- 1988-07-07 JP JP16942088A patent/JPH0219012A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7109432B2 (en) | 2002-06-12 | 2006-09-19 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Electric power unit for machining of wire electric discharge machine |
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