JPH02189527A - 導波路型波長変換素子 - Google Patents
導波路型波長変換素子Info
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- JPH02189527A JPH02189527A JP1069689A JP1069689A JPH02189527A JP H02189527 A JPH02189527 A JP H02189527A JP 1069689 A JP1069689 A JP 1069689A JP 1069689 A JP1069689 A JP 1069689A JP H02189527 A JPH02189527 A JP H02189527A
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Landscapes
- Optical Integrated Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、導波路型波長変換素子に関し、特にコヒーレ
ントな短波長小型光源の実現を可能にする半導体レーザ
用に好適な導波路型波長変換素子に関する。
ントな短波長小型光源の実現を可能にする半導体レーザ
用に好適な導波路型波長変換素子に関する。
波長変換素子、特に第２次高調波発生（Ｓ ｉ（Ｇ ：
５ｅｃｏｎｄ Ｈａｒｍｏｎｉｃ Ｇｅｎｅｒａｔｉ
ｏｎ）素子は、エキシマレーザなどでは得にくいコヒー
レントな短波長光を得るデバイスとして産業上極めて重
要である。
５ｅｃｏｎｄ Ｈａｒｍｏｎｉｃ Ｇｅｎｅｒａｔｉ
ｏｎ）素子は、エキシマレーザなどでは得にくいコヒー
レントな短波長光を得るデバイスとして産業上極めて重
要である。
波長変換素子の有用性は、使用光源が半導体レーザの場
合には、既存の波長光の半導体レーザを用いても、波長
変換によって所望の短波長光を取り出せる光源を構成で
きる点にある。
合には、既存の波長光の半導体レーザを用いても、波長
変換によって所望の短波長光を取り出せる光源を構成で
きる点にある。
すなわち、一般に、半導体レーザは、小型で高出力のコ
ヒーレントレーザ光源として各種の光通信機器や光情報
機器に使用されているが、現在、この半導体レーザから
得られる光の波長は、０．７８μｍ〜１．５５μｍの近
赤外領域の波長である。
ヒーレントレーザ光源として各種の光通信機器や光情報
機器に使用されているが、現在、この半導体レーザから
得られる光の波長は、０．７８μｍ〜１．５５μｍの近
赤外領域の波長である。
このような半導体レーザをデイスプレィ等、さらに広く
機器に応用するために、赤色、緑色、青色等、より短波
長の光が得られる半導体レーザが求められているが、現
在の技術では、この種の半導体レーザ、すなわち１．半
導体レーザ自体として短波長光が得られるものをにわか
に実現するのは難しい。
機器に応用するために、赤色、緑色、青色等、より短波
長の光が得られる半導体レーザが求められているが、現
在の技術では、この種の半導体レーザ、すなわち１．半
導体レーザ自体として短波長光が得られるものをにわか
に実現するのは難しい。
従って、波長変換素子、特に半導体レーザの出力程度で
も効率よく波長変換できる波長変換素子が実現できれば
、その効果は甚大なものとなるのである。
も効率よく波長変換できる波長変換素子が実現できれば
、その効果は甚大なものとなるのである。
そこで、半導体レーザ用波長変換素子の研究、開発が進
められており、近年、半導体レーザの製作技術の発達に
伴い従来にも増して高出力の特性のものが得られるよう
になってきたため、波長変換素子として導波路型ＳＨＧ
素子が注目されてきている。
められており、近年、半導体レーザの製作技術の発達に
伴い従来にも増して高出力の特性のものが得られるよう
になってきたため、波長変換素子として導波路型ＳＨＧ
素子が注目されてきている。
すなわち、光導波路型のＳＨＧ素子を構成すれば、光の
回折によるエネルギ密度の減少を回避でき、半導体レー
ザ程度の光強度でも比較的高い変換効率で波長変換素子
を実現できる可能性がある。
回折によるエネルギ密度の減少を回避でき、半導体レー
ザ程度の光強度でも比較的高い変換効率で波長変換素子
を実現できる可能性がある。
従来、このような観点からの導波路型波長変換素子の例
として、ニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂ０３）結晶に光導
波路を形成し、この光導波路に近赤外光を透過し、これ
から結晶基板中に放射（チェレンコフ輻射）される第２
次高調波を得る方式のＳＨＧ素子の技術が提案されてい
る（特開昭６０〜１４２２２号公報、特開昭６１−９４
０３１号公報）。
として、ニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂ０３）結晶に光導
波路を形成し、この光導波路に近赤外光を透過し、これ
から結晶基板中に放射（チェレンコフ輻射）される第２
次高調波を得る方式のＳＨＧ素子の技術が提案されてい
る（特開昭６０〜１４２２２号公報、特開昭６１−９４
０３１号公報）。
しかし、かかる方式によるＳＨＧ素子にあっては、次の
ような波面収差などの点では、なお改善の余地がある。
ような波面収差などの点では、なお改善の余地がある。
すなわち、上述の従来の方式のＳＨＧ素子は、基本波と
ＳＨＧ波との位相整合条件が自動的に取れているため、
精密な温度調節が必要ないという特長をもつ反面、５ｒ
（Ｇ出力が基板放射光であるため波面が特異で、収差の
きつい、あたかも「細い眉毛」の様な強度分布の光が基
板の端面から出てくる。このため、この光をガウス状強
度分布の通常の使い易いビームに変換するには、この収
差を補正する高級なレンズを必要とする。
ＳＨＧ波との位相整合条件が自動的に取れているため、
精密な温度調節が必要ないという特長をもつ反面、５ｒ
（Ｇ出力が基板放射光であるため波面が特異で、収差の
きつい、あたかも「細い眉毛」の様な強度分布の光が基
板の端面から出てくる。このため、この光をガウス状強
度分布の通常の使い易いビームに変換するには、この収
差を補正する高級なレンズを必要とする。
本発明の目的は、上述のような従来の導波路型波長変換
素子の持つ難点を除去することができ、出力光に波面収
差のない導波路型波長変換素子を提供することにある。
素子の持つ難点を除去することができ、出力光に波面収
差のない導波路型波長変換素子を提供することにある。
本発明の導波路型波長変換素子は、
Ｘ仮またはＹ板ニオブ酸リチウム結晶面上のＺ軸にほぼ
直交する方向に進むチャンネル光導波路と、 このチャンネル光導波路を形成した同一の結晶面上にお
ける当該チャンネル光導波路を挟んだ左右いずれか一方
の結晶面上に形成された等側屈折率の周期格子を有する
平面導波路とを有することを特徴としている。
直交する方向に進むチャンネル光導波路と、 このチャンネル光導波路を形成した同一の結晶面上にお
ける当該チャンネル光導波路を挟んだ左右いずれか一方
の結晶面上に形成された等側屈折率の周期格子を有する
平面導波路とを有することを特徴としている。
本発明では、Ｘ板またはＹ板ニオブ酸リチウム結晶面上
のＺ軸にほぼ直交する方向に進むチャンネル光導波路に
基本波を注入すれば、等側屈折率の周期格子を有する平
面導波路から上記基本波と波長を異にする波長変換され
た出力光が平面導波光として得られる。
のＺ軸にほぼ直交する方向に進むチャンネル光導波路に
基本波を注入すれば、等側屈折率の周期格子を有する平
面導波路から上記基本波と波長を異にする波長変換され
た出力光が平面導波光として得られる。
この出力光は波面収差のないものとして取り出され、従
って従来のように収差補正に高級なレンズを使用しない
でも済む。また、Ｘ板またはＹ板の使用は、半導体レー
ザと組み合わせて光源を構成する場合でも、半導体レー
ザとの直接的な接続を可能ならしめる。
って従来のように収差補正に高級なレンズを使用しない
でも済む。また、Ｘ板またはＹ板の使用は、半導体レー
ザと組み合わせて光源を構成する場合でも、半導体レー
ザとの直接的な接続を可能ならしめる。
次に、本発明について図面を参照して説明する。
第１図は本発明の一実施例である導波路型波長変換素子
の構造を示す図である。
の構造を示す図である。
本実施例では、ニオブ酸リチウム（Ｌ ｉ Ｎ ｂ Ｏ
ｚ）結晶基板としてＸ板を用いており、これにチャンネ
ル光導波路と、等側屈折率の周期格子を有する平面導波
路との２つの光導波路を形成する構成を採っている。
ｚ）結晶基板としてＸ板を用いており、これにチャンネ
ル光導波路と、等側屈折率の周期格子を有する平面導波
路との２つの光導波路を形成する構成を採っている。
すなわち、第１図において、参照符号１はＬｉＮ ｂ
Ｏｘ結晶板であり、基板方位はＸ板（すなわち、基板に
立てた法線はＸ軸）である。この結晶面上に、Ｚ軸にほ
ぼ直交する方向（従って、本実施例ではＹ方向）に進む
チャンネル光導波路２が形成されている。そして、この
チャンネル光導波路２を形成した同一の結晶面上の、チ
ャンネル光導波路２を挟んだどちらか一方の結晶面上に
等側屈折率の周期格子４を有する平面導波路３が設けら
れている。
Ｏｘ結晶板であり、基板方位はＸ板（すなわち、基板に
立てた法線はＸ軸）である。この結晶面上に、Ｚ軸にほ
ぼ直交する方向（従って、本実施例ではＹ方向）に進む
チャンネル光導波路２が形成されている。そして、この
チャンネル光導波路２を形成した同一の結晶面上の、チ
ャンネル光導波路２を挟んだどちらか一方の結晶面上に
等側屈折率の周期格子４を有する平面導波路３が設けら
れている。
チャンネル光導波路２の一方の端面側には光源としての
半導体レーザ１０が、また平面導波路３の出射端面側に
は図示の例では円筒レンズ１１が、それぞれ配置されて
いる。
半導体レーザ１０が、また平面導波路３の出射端面側に
は図示の例では円筒レンズ１１が、それぞれ配置されて
いる。
第１図に示した波長変換素子では、使用半導体レーザ１
０からの出力光をチャンネル光導波路２に入射させるこ
とによって波長変換し、平面導波路３を介し平面導波光
として取り出し、これをＳＨＧ出力光として円筒レンズ
】１に与えるようになっている。
０からの出力光をチャンネル光導波路２に入射させるこ
とによって波長変換し、平面導波路３を介し平面導波光
として取り出し、これをＳＨＧ出力光として円筒レンズ
】１に与えるようになっている。
ＳＨＧ出力光、すなわち波長が１／２の第２次高調波を
得るのに際し、これを平面導波光として取り出すことが
できるので、従来のように収差を（ｍ圧するべく高級な
レンズを使用しないでも済み、ＳＨＧ出力光に波面収差
のない、安定な導波路型波長変換素子を構成することが
できる。
得るのに際し、これを平面導波光として取り出すことが
できるので、従来のように収差を（ｍ圧するべく高級な
レンズを使用しないでも済み、ＳＨＧ出力光に波面収差
のない、安定な導波路型波長変換素子を構成することが
できる。
前述したように、従来のものでは、ＳＨＧ出力に波面が
特異で収差のきつい光が出てくるためガウス状強度分布
の使い易いビームに変換するのに収差補正用の高級なレ
ンズが必要とされるのに対し、ＳＨＯ出力光も使用半導
体レーザの出射光と同じようにチャンネル導波光であれ
ば、または、そうでなくても少なくとも１次元方向には
導波された平面導波光であれば、円レンズないしは本実
施例の如（円筒レンズ１１を用いて容易に平行ビーム、
すなわちコリメートＳ ＨＧ光１２に変換することがで
き、従来のような不便は生じない。従って、前述の従来
の導波型ＳＨＧ素子の持つ難点を取り除（ことができ、
ＳＨＧ出力光が平面導波光となる構造の導波路型波長変
換素子を得ることができる。
特異で収差のきつい光が出てくるためガウス状強度分布
の使い易いビームに変換するのに収差補正用の高級なレ
ンズが必要とされるのに対し、ＳＨＯ出力光も使用半導
体レーザの出射光と同じようにチャンネル導波光であれ
ば、または、そうでなくても少なくとも１次元方向には
導波された平面導波光であれば、円レンズないしは本実
施例の如（円筒レンズ１１を用いて容易に平行ビーム、
すなわちコリメートＳ ＨＧ光１２に変換することがで
き、従来のような不便は生じない。従って、前述の従来
の導波型ＳＨＧ素子の持つ難点を取り除（ことができ、
ＳＨＧ出力光が平面導波光となる構造の導波路型波長変
換素子を得ることができる。
また、第１図の構成では、前述の従来例と異なって、既
述の如く使用結晶板にＸ板を用いており、Ｚ板を用いて
いないために、半導体レーザ１０を直接導波路端面に接
続できる。具体的には半導体レーザエＯの出力光をレン
ズを介し、または直接に結合させることができ、Ｚ板を
使用する場合のように半波長板を介したり、使用半導体
レーザチップを９０度傾けたりする必要もない。
述の如く使用結晶板にＸ板を用いており、Ｚ板を用いて
いないために、半導体レーザ１０を直接導波路端面に接
続できる。具体的には半導体レーザエＯの出力光をレン
ズを介し、または直接に結合させることができ、Ｚ板を
使用する場合のように半波長板を介したり、使用半導体
レーザチップを９０度傾けたりする必要もない。
このように、本発明に従う導波路型波長変換素子は、ｘ
板またはＹ板ニオブ酸リチウム結晶面上のＺ軸にほぼ直
交する方向に進むチャンネル光導波路２と、チャンネル
光導波路２を形成した同一の結晶面上の、チャンネル光
導波路２を挟んで左右いずれか一方の結晶面上に形成さ
れた等側屈折率の周期格子４を有する平面導波路３から
なるものであり、かかる構成によれば、光源として半導
体レーザｌＯを使用し波長変換によってＳＭＣ光を得る
場合には、チャンネル光導波路２に基本波（周波数ω）
を注入し、前記等価屈折率の周期格子４を有する平面導
波路３から前記基本波の第２高調波を得るように前記チ
ャンネル、平面の画光導波路２．３を設けることによっ
て、ＳＨＧ出力光に波面収差のない導波路型波長変換素
子を得ることができる。
板またはＹ板ニオブ酸リチウム結晶面上のＺ軸にほぼ直
交する方向に進むチャンネル光導波路２と、チャンネル
光導波路２を形成した同一の結晶面上の、チャンネル光
導波路２を挟んで左右いずれか一方の結晶面上に形成さ
れた等側屈折率の周期格子４を有する平面導波路３から
なるものであり、かかる構成によれば、光源として半導
体レーザｌＯを使用し波長変換によってＳＭＣ光を得る
場合には、チャンネル光導波路２に基本波（周波数ω）
を注入し、前記等価屈折率の周期格子４を有する平面導
波路３から前記基本波の第２高調波を得るように前記チ
ャンネル、平面の画光導波路２．３を設けることによっ
て、ＳＨＧ出力光に波面収差のない導波路型波長変換素
子を得ることができる。
以下、数値例をも含めて第１図の導波路型波長変換素子
について更に具体的に説明する。
について更に具体的に説明する。
第１図において、半導体レーザ１０と波長変換素子は、
コヒーレントな短波長小型光源を構成しており、半導体
レーザ１０は例えば波長０．８３μｍで発振する半導体
レーザであり、その出力光は、チャンネル光導波路２０
片端面からレンズを介し、または直接に結合される。こ
の光がチャンネル光導波路２を進むにつれ結晶の持つ非
線形光学定数ａｒｉｆｆを介して波長０．４１５μｍの
Ｓ ＨＧ光を発生する。このＳＭＣ光は平面導波光とし
て平面導波路３中に放射される。平面導波路３を出た光
は、円筒レンズ１１によって円形の平行コリメートビー
ム、すなわちコリメートＳＨＧ光１２に変換される。
コヒーレントな短波長小型光源を構成しており、半導体
レーザ１０は例えば波長０．８３μｍで発振する半導体
レーザであり、その出力光は、チャンネル光導波路２０
片端面からレンズを介し、または直接に結合される。こ
の光がチャンネル光導波路２を進むにつれ結晶の持つ非
線形光学定数ａｒｉｆｆを介して波長０．４１５μｍの
Ｓ ＨＧ光を発生する。このＳＭＣ光は平面導波光とし
て平面導波路３中に放射される。平面導波路３を出た光
は、円筒レンズ１１によって円形の平行コリメートビー
ム、すなわちコリメートＳＨＧ光１２に変換される。
上記の２つの光導波路は、より詳細には以下のような構
造をしている。
造をしている。
入射光であり結晶基板１のＸ面に、Ｚ軸に平行な電界成
分をもつＴＥ波の基本波を保持するチャンネル光導波路
２は、通常よく使われる方法である金属チタン（Ｔｉ）
を熱拡散するごとによって形成されており、その厚さは
、基本波の波長０．８３μｍの半導体レーザ光に対して
単一モード導波路となるように設定しである。基本波と
同じ偏波のＴＥ波であるＳ ＨＧ平面導波光を保持する
導波路３は、導波路２と同一の結晶面上に形成されてお
リ、上記のＴｔ熱拡散法やプロトン（Ｈ゛）交換法によ
って設けられている。そして、この導波路３はＳＭＣ光
である波長０．４１５μｍの光に対しては、単一モード
導波路となっており、基本波の０゜８３μｍ光に対して
は、はぼカットオフとなるようにその厚さが設定されて
いる。さらに、等偏屈折率の周期を形成するために、こ
こでは、平面導波路３の表面に、例えばＳｉｎ、膜の格
子４が設けである。
分をもつＴＥ波の基本波を保持するチャンネル光導波路
２は、通常よく使われる方法である金属チタン（Ｔｉ）
を熱拡散するごとによって形成されており、その厚さは
、基本波の波長０．８３μｍの半導体レーザ光に対して
単一モード導波路となるように設定しである。基本波と
同じ偏波のＴＥ波であるＳ ＨＧ平面導波光を保持する
導波路３は、導波路２と同一の結晶面上に形成されてお
リ、上記のＴｔ熱拡散法やプロトン（Ｈ゛）交換法によ
って設けられている。そして、この導波路３はＳＭＣ光
である波長０．４１５μｍの光に対しては、単一モード
導波路となっており、基本波の０゜８３μｍ光に対して
は、はぼカットオフとなるようにその厚さが設定されて
いる。さらに、等偏屈折率の周期を形成するために、こ
こでは、平面導波路３の表面に、例えばＳｉｎ、膜の格
子４が設けである。
基本波とＳＭＣ光との位相整合は、次のようにして実現
しており、また、後述のようにして効率のよい変換も行
うことができる。
しており、また、後述のようにして効率のよい変換も行
うことができる。
まず、基本波が伝搬するＴｉ拡散チャンネル光導波路２
の波長０．８３μｍ基本波に対する等偏屈折率ｎ−１は
２．１７程度であり、平面導波路３が等偏屈折率の周期
格子を持たない場合の基本波と同一方向（即ちＹ方向）
に伝搬する波長０．４１５ｐｍＴＥ波に対する等偏屈折
率ｎＨｄ）は２．３２程度である。
の波長０．８３μｍ基本波に対する等偏屈折率ｎ−１は
２．１７程度であり、平面導波路３が等偏屈折率の周期
格子を持たない場合の基本波と同一方向（即ちＹ方向）
に伝搬する波長０．４１５ｐｍＴＥ波に対する等偏屈折
率ｎＨｄ）は２．３２程度である。
このため、２つの波の位相定数に差があるため同一伝搬
方向では基本波からＳＭＣ光への変換は生しない。
方向では基本波からＳＭＣ光への変換は生しない。
しかるに、ＳＭＣ光の波面伝搬方向がＹ方向からＺ方向
に回転すると、等偏屈折率は増大する。
に回転すると、等偏屈折率は増大する。
例えば、Ｙ軸から２０〜２５度程度振種変と、平面導波
路の０．４１５ｐｍＴＥ波に対する等偏屈折率ｎ（２）
は、前述のチャンネル光導波路２をＹ方向に伝搬する基
本波に対する等偏屈折率と等しくなるため、原理的には
この方向にＳＭＣ光が放射されるはずである。しかしな
がら、基本波はＹ方向に伝搬する平面波に近い波であり
、ＳＭＣ光はＹ軸から２０〜２５度程度振種変方向に伝
搬する平面波に近い波である。基本波とＳＭＣ光とでは
波面の方向が２０〜２５度と大きく異なるため変換の効
率はきわめて小さい。
路の０．４１５ｐｍＴＥ波に対する等偏屈折率ｎ（２）
は、前述のチャンネル光導波路２をＹ方向に伝搬する基
本波に対する等偏屈折率と等しくなるため、原理的には
この方向にＳＭＣ光が放射されるはずである。しかしな
がら、基本波はＹ方向に伝搬する平面波に近い波であり
、ＳＭＣ光はＹ軸から２０〜２５度程度振種変方向に伝
搬する平面波に近い波である。基本波とＳＭＣ光とでは
波面の方向が２０〜２５度と大きく異なるため変換の効
率はきわめて小さい。
従って、変換の効率を大きくするためには、基本波とＳ
ＭＣ光とは、伝搬方向が僅かな角度βの差であることが
望ましい。そこで、いま、β（ｍａｌ） ２β（Ｗ）
２ ２π／Δすなわち、 ｎ（２ｔ＋Ｊ） −ｎｌｌａｌｌ ｚ ９．４１５ ／
Δの関係を満たす周期Δμｍの屈折率の変化の周期を、
周期のベクトルをＹ軸方向から掻く僅かの角度（０，５
〜１度程種変ずらして設けておけば、チャンネル光の基
本波から平面導波光のＳＭＣ光へ効率のよい変換が行わ
れる。
ＭＣ光とは、伝搬方向が僅かな角度βの差であることが
望ましい。そこで、いま、β（ｍａｌ） ２β（Ｗ）
２ ２π／Δすなわち、 ｎ（２ｔ＋Ｊ） −ｎｌｌａｌｌ ｚ ９．４１５ ／
Δの関係を満たす周期Δμｍの屈折率の変化の周期を、
周期のベクトルをＹ軸方向から掻く僅かの角度（０，５
〜１度程種変ずらして設けておけば、チャンネル光の基
本波から平面導波光のＳＭＣ光へ効率のよい変換が行わ
れる。
具体的には、周期格子４の形成については、上記の等偏
屈折率の値の場合、その周期Δは、２μｍ程度となり、
これは通常のリソグラフィー技術を用いてパターンは形
成することが出来る。
屈折率の値の場合、その周期Δは、２μｍ程度となり、
これは通常のリソグラフィー技術を用いてパターンは形
成することが出来る。
また、導波路３の厚さや結晶屈折率などにゆらぎや温度
変化があると、導波路３の等偏屈折率は変化し、上式が
満たされなくなり、ＳＨＧ変換は極めて不安定になるが
、これを避けるために、導波路３上に設けた誘電体の周
期、すなわち格子の周期を、光透過方向に徐々に変化さ
せるようにすれば、これによって、等偏屈折率のゆらぎ
や温度変化を吸収して安定なＳＨＧ変換を実現すること
も出来る。
変化があると、導波路３の等偏屈折率は変化し、上式が
満たされなくなり、ＳＨＧ変換は極めて不安定になるが
、これを避けるために、導波路３上に設けた誘電体の周
期、すなわち格子の周期を、光透過方向に徐々に変化さ
せるようにすれば、これによって、等偏屈折率のゆらぎ
や温度変化を吸収して安定なＳＨＧ変換を実現すること
も出来る。
なお、上記の実施例において、平面導波路３が、Ｔｉ拡
散法やイオン交換法等の単一プロセスで形成されていて
、結晶端面から放射されるＳＭＣ先の導波路垂直方向へ
の強度分布に非対称が生じ、円筒レンズ１１で変換され
たコリメートＳＨＧ光１２が、ガウス状円形ビームから
形状が隔たる場合には、チャンネル光導波路２を埋め込
み構造にして、放射光強度分布を対称化することも可能
である。
散法やイオン交換法等の単一プロセスで形成されていて
、結晶端面から放射されるＳＭＣ先の導波路垂直方向へ
の強度分布に非対称が生じ、円筒レンズ１１で変換され
たコリメートＳＨＧ光１２が、ガウス状円形ビームから
形状が隔たる場合には、チャンネル光導波路２を埋め込
み構造にして、放射光強度分布を対称化することも可能
である。
これは、上記のプロセスの後、マグネシウム等の屈折率
を低下させる原子を熱拡散法等で、追拡散させるという
公知の技術を用いることで実現される。
を低下させる原子を熱拡散法等で、追拡散させるという
公知の技術を用いることで実現される。
また、上記の実施例では、等偏屈折率の周期を形成する
のに、平面導波路３の上に誘電体の格子を設ける場合を
述べたが、これに限らず、導波路を形成するＴｉ拡拡散
中プロトン交換厚を周期状に変えることでも可能である
。
のに、平面導波路３の上に誘電体の格子を設ける場合を
述べたが、これに限らず、導波路を形成するＴｉ拡拡散
中プロトン交換厚を周期状に変えることでも可能である
。
以上説明したように、本発明によれば、出力光に波面収
差のない安定な導波路型波長変換素子が得られる。
差のない安定な導波路型波長変換素子が得られる。
しかも、従来例と異なってＸ板ないしはＹ板を用いてお
り、Ｚ板を用いていないために、半導体レーザを光源と
して用いる場合においてその半導体レーザを直接導波路
端面に接続でき、Ｚ板の場合のように半波長板を介した
り、半導体レーザチップを９０度傾けたりする必要もな
く、実装上極めて好都合であり、特に半導体レーザ用波
長変換素子として適している。
り、Ｚ板を用いていないために、半導体レーザを光源と
して用いる場合においてその半導体レーザを直接導波路
端面に接続でき、Ｚ板の場合のように半波長板を介した
り、半導体レーザチップを９０度傾けたりする必要もな
く、実装上極めて好都合であり、特に半導体レーザ用波
長変換素子として適している。
第１図は本発明の一実施例の導波路型波長変換素子の構
造を説明する斜視図である。 １・・・・・ニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂ０３）結晶板 ２・・・・・Ｔｉ拡散チャンネル光導波路３・・・・・
平面導波路 ４・・・・・等偏屈折率周期格子 １０・・・・・半導体レーザ １１・・・・・円筒レンズ １２・・・・・コリメートＳ ＨＧ光 代理人 弁理士 岩 佐 義 幸
造を説明する斜視図である。 １・・・・・ニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂ０３）結晶板 ２・・・・・Ｔｉ拡散チャンネル光導波路３・・・・・
平面導波路 ４・・・・・等偏屈折率周期格子 １０・・・・・半導体レーザ １１・・・・・円筒レンズ １２・・・・・コリメートＳ ＨＧ光 代理人 弁理士 岩 佐 義 幸
Claims (1)
- （１）Ｘ板またはＹ板ニオブ酸リチウム結晶面上のＺ軸
にほぼ直交する方向に進むチャンネル光導波路と、 このチャンネル光導波路を形成した同一の結晶面上にお
ける当該チャンネル光導波路を挟んだ左右いずれか一方
の結晶面上に形成された等価屈折率の周期格子を有する
平面導波路とを有することを特徴とする導波路型波長変
換素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1069689A JPH02189527A (ja) | 1989-01-19 | 1989-01-19 | 導波路型波長変換素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1069689A JPH02189527A (ja) | 1989-01-19 | 1989-01-19 | 導波路型波長変換素子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02189527A true JPH02189527A (ja) | 1990-07-25 |
Family
ID=11757448
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1069689A Pending JPH02189527A (ja) | 1989-01-19 | 1989-01-19 | 導波路型波長変換素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02189527A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5339190A (en) * | 1992-04-16 | 1994-08-16 | Nippon Steel Corporation | Optical waveguide second harmonic generating element and method of making the same |
-
1989
- 1989-01-19 JP JP1069689A patent/JPH02189527A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5339190A (en) * | 1992-04-16 | 1994-08-16 | Nippon Steel Corporation | Optical waveguide second harmonic generating element and method of making the same |
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