JPH02179436A - 二重遮断ガスバルブのリークチェック方法及びその装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 【産業上の利用分野】

この発明はガスバルブのガス漏れを検知する二重遮断ガ
スバルブのリークチェック方法及びその装置に関するも
のである。

【従来の技術】

第４図は従来の二重遮断ガスバルブのり一りチェック装
置を示すブロック回路図であり、図において、１はガス
漏れの検知対象としての上流側の第１の遮断弁（図中、
■１と示す）、２は同じく下流側の第２の遮断弁（図中
、■２と示す）、３はこれら遮断弁１，２が接続される
ガス管路、４は前記第１．第２の遮断弁１．２間のガス
管路３における、検知対象チャンバと連通ずるチエツク
チャンバ５を、密閉されたハウジング６により形成して
いるバルブリークチエッカ、しかしてこのバルブリーク
チエッカ４内には、第３の遮断弁７、この第３の遮断弁
７に直列に接続されたポンプ８、前記チエツクチャンバ
５内の圧力を検知する圧力検知スイッチ９、及び前記第
３の遮断弁７の開閉制御やポンプ８の運転制御を行うと
共に、チエツクチャンバ５内の圧力を所定値に設定後、
該圧力が所定時間内に第１の圧力値より低下したとき、
警報器（図示せず）に警報信号を出力する、即ち、所定
のプログラムシーケンスに沿って前記第１゜第２の遮断
弁１，２のガス漏れの検知作業の制御を行うコントロー
ラ１０が設置されている。なお、前記第１及び第２の遮
断弁１，２はそれぞれ、対応して１個づつ設けられてい
るアクチュエータとしての電磁比例コイル（共に図示路
）により駆動されて開閉動作する。 次に動作について説明する。第１．第２の遮断弁１．２
を共に閉じ、次にバルブリークチエッカ４内の第３の遮
断弁７を開いてポンプ８を稼動させる。そしてチエツク
チャンバ５内の圧力を、第１の遮断弁１の１次側（入口
側）よりのガス供給により、該１次側の圧力より３００
〜４００ｍｍＡｑ程度高く加圧して第３の遮断弁７を閉
じる。そしてチエツクチャンバ５内の圧力を圧力検知ス
イッチ９により検知し、該圧力が前記第３の遮断弁７の
閉止後、所定時間のうちに前記第１の圧力値より低下す
るか否かのチエツクをコントローラ１０の制御下に行い
、低下した場合には、コントローラ１０は警報信号を出
力する。

【発明が解決しようとする課題】

従来の二重遮断ガスバルブのリークチェック装置は以上
のように構成されているので、第１．第２の遮断弁１，
２に弁リーク異常がなくとも、チエツク時間として前記
所定時間が必ず必要であり、その間は他のシーケンスに
移行させることができないという問題点があった。この
ことは特に、弁リーク異常の発生回数が、弁リークのチ
エツク回数に比して極めて少いことを考えれば、検査時
間として多大な無駄な時間を要している問題点を含んで
いる。 この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、第１及び第２の遮断弁のガス漏れチエツクを
短時間で行えるようにした二重遮断ガスバルブのリーク
チェック方法及びその装置を提供することを目的とする
。

【課題を解決するための手段】

この発明に係る二重遮断ガスバルブのリークチェック方
法は、第１及び第２の遮断弁間の検知対象チャンバ内の
圧力を圧力変位手段により所定の圧力値に設定したのち
において、該検知対象チャンバ内の圧力が、前記アクチ
ュエータの発熱に基づいて、前記所定時間より短い時間
内に前記第１の圧力値より高い第２の圧力値になったと
きに、前記第１及び第２の遮断弁は弁リーク異常なしと
判断するようにしたものである。 この発明に係る二重遮断ガスバルブのり一りチェック装
置は、第１及び第２の遮断弁間の検知対象チャンバ内の
圧力を変位させる圧力変位手段、該検知対象チャンバ内
の圧力の圧力検知手段、前記圧力変位手段により前記検
知対象チャンバ内の圧力が所定の圧力値に設定されたの
ち、該圧力が前記アクチュエータの発熱に基づいて、前
記所定時間より短い時間内に前記第１の圧力値より高い
第２の圧力値になったことを前記圧力検知手段により確
認すると、前記第１及び第２の遮断弁は弁リーク異常な
しと判断するコントローラを備えたものである。

【作用】

この発明における二重遮断ガスバルブのリークチェック
方法は、前記検知対象チャンバ内の圧力が、前記所定の
圧力値に設定されたのち前記所定時間より、短い時間内
に前記第２の圧力値まで昇圧すると、弁リーク異常なし
と判定し、弁リークチェックのチエツク時間が大幅に短
縮される。 またこの発明における二重遮断ガスバルブのリークチェ
ック装置は、コントローラが、前記検知対象チャンバ内
の圧力が、前記所定の圧力値に設定されたのち前記所定
時間より短い時間内に前記第２の圧力値に達したことを
、圧力検知手段により検知すると弁リーク異常なしを判
断し、したがって、第１及び第２の遮断弁の正常時のガ
ス漏れのチエツク時間が、極めて短時間のうちに行える
ものである。

【実施例】

以下、この発明の実施例を図について説明する。 なお、第４図につき説明した従来装置と同一構成部につ
いては、重複説明は行わない。先ず、第１図により本発
明装置の概略構成を説明すると、図中、１１は本発明に
よるガスリークチェックチャンバユニットであり、その
詳細構造は第２図により後述する。また１２は温度セン
サであり、この温度センサ１２は、第１．第２の遮断弁
１，２間のガス管路３における検知対象チャンバ内の温
度を検知して、その温度変化による内圧変化に対し、温
度補償をコントローラ１０に行わせるために設けられて
いる。 次に第２図において、前記ガスリークチェックチャンバ
ユニット１１の詳細構成を説明する。図中、２１はこの
ユニット１１のハウジングであり、このハウジング２１
の内部は、第１のダイアフラム２２と第２のダイアフラ
ム２３とにより仕切られている。そしてこれら第１のダ
イアフラム２２と第２のダイアフラム２３とにより形成
される空間は加減圧チャンバ２４を構成し、しかしてこ
の加減圧チャンバ２４は、連結孔２５を介し、前記第１
の遮断弁１と第２の遮断弁２との間のガス管路３におけ
るガス漏れの前記検知対象チャンバに連通している。 ２６は第１のダイアフラム２２に直接、そのプランジャ
２７を固着させた電磁比例コイルであり、該プランジャ
２７は、コントローラ１０により電磁比例コイル２６が
通電されるとき、その駆動電流の大きさに応じて変位す
る。即ち、このプランジャ２７を備えた電磁比例コイル
２６は、加減圧チャ゛ンバ２４内の圧力を変動させ、第
１のダイアフラム２２の位置を変位させる圧力変位手段
を構成する。 ２８は第２のダイアフラム２３に常時当接しているレバ
ーアームで、その先端にはマグネット２９が取付けられ
ている。３０はこのマグネット２９に対向してハウジン
グ２１の外壁に取付けられた磁電変換素子より成る圧力
検知手段としての圧力センサで、前記加減圧チャンバ２
４内の圧力変動に応じて動作する第２のダイアフラム２
３と共に移動するマグネット２９の該移動に伴う磁束密
度の変化を電気信号に変換し、コントローラ１０に供給
する。即ち、圧力センサ３０は信号変換手段をも構成す
るものである。３１はレバーアーム２８の回動力を調節
するアジャストスクリュー、３２はブリード孔である。 また前記第１の遮断弁１．第２の遮断弁２はそれぞれ、
対応して１個づつ設けられているアクチュエータとして
の電磁比例コイル（共に図示路）により駆動されて開閉
動作する。 次に、動作について説明する。ガス管路３を介してガス
を供給するには、第１及び第２の遮断弁１．２にそれぞ
れ設けられているアクチュエータとしての電磁比例コイ
ル（図示路）に通電し、各遮断弁１，２を開くようにす
る。このとき、前記電磁比例コイルは通電のために発熱
する。しかして第１及び第２の遮断弁１，２の弁リーク
異常のチエツクを行うときには、該第１及び第２の遮断
弁１．２間の検知対象チャンバを所定の圧力値まで加圧
する。このとき、前記アクチュエータとしての電磁比例
コイルの通電を止めて非励磁とし、第１及び第２の遮断
弁１．２を共に閉止する。そしてガスリークチェックチ
ャンバユニット１１の圧力変位手段を構成する電磁比例
コイル２６をコントローラ１０の所定のプログラムシー
ケンスにしたがって励磁し、第１のダイアフラム２２の
位置を変位させて、前記検知対象チャンバに連通ずる加
減圧チャンバ２４内を５００ｍｍＡｑ程度まで加圧する
。第３図のグラフに示すａ点の圧力がこれを示している
。なお、この加減圧チャンバ２４内の圧力設定は、第１
のダイアフラム２２の変位に応動する第２のダイアフラ
ム２３の変位がレバーアーム２８、マグネット２９を介
して圧力センサ３０により検知され、その結果、該変位
量を変換した電気信号がコントローラ１０に供給されて
処理されることにより行われる。 このようにして、前記加減圧チャンバ２４内の圧力をａ
点の５００ｍｍＡｑ程度まで加圧したのち、第１及び第
２の遮断弁１，２をそのまま閉止状態にしておくと、前
記アクチュエータ通電時の余熱がガス管路３を介して前
記加減圧チャンバ２４に伝わり、該チャンバ２４内のガ
スが熱せられ、これによってチャンバ２４内の圧力は上
昇する。 したがって、第１及び第２の遮断弁１．２を閉止して前
記検知対象チャンバ内、即ち、これに連通ずる加減圧チ
ャンバ２４内を所定の圧力値、例えば５００ｍｍＡｑ（
ａ点）程度まで加圧したのちにおいては、アクチュエー
タの発熱に基づく該加減圧チャンバ２４内の圧力の上昇
がみられるから、この現象を利用して第１及び第２の遮
断弁１．２の弁リーク異常のチエツクが不能となる。 即ち、コントローラ１０に次のようなプログラムシーケ
ンスを組んでおいて、弁リーク異常のチエツクが可能と
なるもので、先ず、通常の弁リーク異常のチエツクのた
めの検出時間を例えば１０秒と設定しておき、これに対
し、この所定の検出時間（１０秒）より短い、例えば４
秒程度の時間内に、前記加減圧チャンバ２４内の圧力が
加圧設定値５００ｍｍＡｑより高い５４０ｎｖｎＡｑ程
度の第２の圧力値（第３図）まで上昇したときは、第１
及び第２の遮断弁１．２には弁リーク異常はないとする
ものである。他方、前記所定の検出時間（１０秒）内に
圧力上昇がないばかりでなく、前記加圧設定値５００ｍ
ｍＡｑより低い、例えば３５０ｍｍＡｑ程度の第１の圧
力値（第３図）まで前記検出時間（１０秒）内に前記加
減圧チャンバ２４内の圧力が低下したときには、前記第
１及び第２の遮断弁１゜２は弁リーク異常であると判断
するプログラムシーケンスがコントローラ１０に組込ま
れている。 第３図は、コントローラ１０に組込まれている弁リーク
異常チエツクのためのプログラムシーケンスの内容を概
念的に説明するグラフであり、ａ点は上述したように、
加圧して設定する所定の圧力値を示し、ｂ点は第２の圧
力値に達する、前記検出時間（１０秒）より短い時間を
示す点、Ｃ点は弁リーク異常が従来装置同様にして判断
される第１の圧力値に達する時間を示す点である。そし
て（（）　、　（０）　、　（ハ）の各圧力変化は弁リ
ーク異常なしの例を示し、（＝）は弁リーク異常ありの
例を示している。

【発明の効果】

以上のように、この発明によれば、二重遮断ガスバルブ
のリークチェック方法及びその装置を、第１及び第２の
遮断弁間の検知対象チャンバ内の圧力を圧力変位手段に
より所定の圧力値に設定したのち、該圧力が、前記第１
及び第２の遮断弁をそれぞれ駆動して開閉動作させるア
クチュエータの発熱に基づき、所定時間より短い時間内
に、第１の圧力値より高い第２の圧力値に達すると弁リ
ーク異常なしと判断するように構成したので、第１及び
第２の遮断弁のガス漏れのチエツクが極めて短時間のう
ちに行えるようになる効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明に係る二重遮断ガスバルブのリークチ
ェック装置の概略構成図、第２図は特にガスリークチェ
ックチャンバユニット１１の詳細構造を示す断面図を含
む構成図、第３図はコントローラ１０に組込まれている
プログラムシーケンスの内容を概念的に示すグラフを表
わす図、第４図は従来装置の概略構成図である。 １は第１の遮断弁、２は第２の遮断弁、ｌＯはコントロ
ーラ、２６は電磁比例コイル（圧力変位手段）、２７は
プランジャ（圧力変位手段）、３０は圧力センサ（圧力
検知手段）。 なお、図中、同一符号は同一、又は相当部分を示す。 （１０朽す

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）第１の遮断弁と第２の遮断弁との間のガス漏れの
   検知対象チャンバ内の圧力を圧力変位手段により所定の
   圧力値に設定後、該検知対象チャンバ内の圧力が所定時
   間内に第１の圧力値より低下したときに前記第１及び第
   ２の遮断弁に弁リーク異常が発生したことを判断するよ
   うにした二重遮断ガスバルブのリークチェック方法にお
   いて、前記検知対象チャンバ内の圧力を前記所定の圧力
   値に設定した後において、該検知対象チャンバ内の圧力
   が、前記第１及び第２の遮断弁を開閉動作させるアクチ
   ュエータの発熱に基づき、前記所定時間より短い時間内
   に前記第１の圧力値より高い第２の圧力値となったとき
   に、前記第１及び第２の遮断弁は弁リーク異常なしと判
   断することを特徴とする二重遮断ガスバルブのリークチ
   ェック方法。
2. （２）第１の遮断弁と第２の遮断弁との間のガス漏れの
   検知対象チャンバ内の圧力を変位させる圧力変位手段と
   、前記検知対象チャンバ内の圧力を検知する圧力検知手
   段と、前記検知対象チャンバ内の圧力を前記圧力変位手
   段により所定の圧力値に設定したのち該検知対象チャン
   バ内の圧力が所定時間内に第１の圧力値より低下したこ
   とを前記圧力検知手段により検知すると前記第１及び第
   ２の遮断弁の弁リーク異常有りを判断するコントローラ
   とを備えた二重遮断ガスバルブのリークチェック装置に
   おいて、 前記検知対象チャンバ内の圧力が前記圧力変位手段によ
   り前記所定の圧力値に設定されたのち、該検知対象チャ
   ンバ内の圧力が前記第１及び第２の遮断弁を開閉動作さ
   せるアクチュエータの発熱に基づき、前記所定時間より
   短い時間内に前記第１の圧力値より高い第２の圧力値と
   なったことを前記圧力検知手段の検知動作により前記コ
   ントローラが判断したとき、該コントローラは、前記第
   １及び第２の遮断弁の弁リーク異常なしを判断すること
   を特徴とする二重遮断ガスバルブのリークチェック装置
   。