JPH02176415A - 位置センサとそれを用いたトルクセンサ - Google Patents
位置センサとそれを用いたトルクセンサInfo
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- JPH02176415A JPH02176415A JP23834989A JP23834989A JPH02176415A JP H02176415 A JPH02176415 A JP H02176415A JP 23834989 A JP23834989 A JP 23834989A JP 23834989 A JP23834989 A JP 23834989A JP H02176415 A JPH02176415 A JP H02176415A
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
- G01D5/14—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
- G01D5/142—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage using Hall-effect devices
- G01D5/145—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage using Hall-effect devices influenced by the relative movement between the Hall device and magnetic fields
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- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[発明の目的]
〈産業−1−の利用分野〉
本発明は測定装置の一般分野に関し、特に磁界の変化を
測定することによって作動する位置センサに関する。好
適には、本発明による位置センサはトルクセンサを構成
するために使用することができる。
測定することによって作動する位置センサに関する。好
適には、本発明による位置センサはトルクセンサを構成
するために使用することができる。
〈従来の技術〉
従来、装置の可動部分の成る基準に関する位置を測定す
るために位置センサが広く使用されている。これらのセ
ンサには、要求される精度に応じて簡単な機械式の装置
や複雑な電r・システムが使用されている。
るために位置センサが広く使用されている。これらのセ
ンサには、要求される精度に応じて簡単な機械式の装置
や複雑な電r・システムが使用されている。
〈発明が解決しようとする課題〉
本発明は、磁気媒体によって発生する磁界の変化をピッ
クアップヘッドで測定することによって位置を決定する
磁気式センサに関するものであり、その主な目的は、簡
単でかつ低価格な構造をaし、かつ実質的にピックアッ
プヘッドと磁気媒体との間隙の変化による影響を受けな
い磁気式センサを提供することにある。
クアップヘッドで測定することによって位置を決定する
磁気式センサに関するものであり、その主な目的は、簡
単でかつ低価格な構造をaし、かつ実質的にピックアッ
プヘッドと磁気媒体との間隙の変化による影響を受けな
い磁気式センサを提供することにある。
[発明の構成]
〈課題を解決するための手段及び作用〉本発明の一実施
例によれば、位置センサは位置によって強さが変化する
磁界を発生させる磁気テープを担持する細長いガイドバ
ーを有する。ピックアップヘッドはガイドバーに関して
Nlkl速進するようになっており、かつピックアップ
ヘッドの位置を表す磁界の強さの瞬間値を測定する。
例によれば、位置センサは位置によって強さが変化する
磁界を発生させる磁気テープを担持する細長いガイドバ
ーを有する。ピックアップヘッドはガイドバーに関して
Nlkl速進するようになっており、かつピックアップ
ヘッドの位置を表す磁界の強さの瞬間値を測定する。
ピックアップヘッドは、その11k進運動の方向に互い
に所定の距離をもって離隔して磁心に取り付けられた1
対のホール効果変換器を有する。ホール効果変換器は、
そのガイドバー−、lxの位置に於ける磁界の強さを表
し、多少とも変換器の磁心と磁気テープとの間に存在す
る距離即ち間隙の関数である電圧を発生する。ホール効
果変換器の出力信号を処理し、該変換器間の距離を知る
ことによって、各変換器について間隙の変動が同一であ
る条件下でピックアップヘッドの成る位置と他の位置と
に於ける間隙の差と無関係に、ピックアップヘッドの位
置を正確に測定することができる。これは、変換器間の
距離が比較的小さく、かつ磁気テープによって発生する
磁界が間隙の変動より相当速く変化する場合に当て嵌る
。
に所定の距離をもって離隔して磁心に取り付けられた1
対のホール効果変換器を有する。ホール効果変換器は、
そのガイドバー−、lxの位置に於ける磁界の強さを表
し、多少とも変換器の磁心と磁気テープとの間に存在す
る距離即ち間隙の関数である電圧を発生する。ホール効
果変換器の出力信号を処理し、該変換器間の距離を知る
ことによって、各変換器について間隙の変動が同一であ
る条件下でピックアップヘッドの成る位置と他の位置と
に於ける間隙の差と無関係に、ピックアップヘッドの位
置を正確に測定することができる。これは、変換器間の
距離が比較的小さく、かつ磁気テープによって発生する
磁界が間隙の変動より相当速く変化する場合に当て嵌る
。
ピックアップヘッドは、ホール効果変換器の出力信号か
らピックアップヘッドの位置を測定する信号処理回路に
接続されている。
らピックアップヘッドの位置を測定する信号処理回路に
接続されている。
この位置センサは、原動機から負荷装置へ伝達されるト
ルクを測定するトルクセンサを構成するために使用し得
るという点でa利である。トルクセンサは、それぞれ原
動機と負荷装置とに接続されかつ支持装置1−に回動可
能に取り付けられた1対のロータを有する。このロータ
は、それらの回転軸と一致する軸線に沿って延長する弾
性要素によって離隔され、かつ互いに結合されている。
ルクを測定するトルクセンサを構成するために使用し得
るという点でa利である。トルクセンサは、それぞれ原
動機と負荷装置とに接続されかつ支持装置1−に回動可
能に取り付けられた1対のロータを有する。このロータ
は、それらの回転軸と一致する軸線に沿って延長する弾
性要素によって離隔され、かつ互いに結合されている。
弾性要素は、ロータ間の伝達軸として機能し、かつl・
ルクの作用によってその軸線を中心としてトルクに比例
した捩り角をもって捩られる。
ルクの作用によってその軸線を中心としてトルクに比例
した捩り角をもって捩られる。
各ロータは、位置に応じた強さを有する磁界を発生させ
る磁気媒体を有する。ピックアップヘッドは弾性要素の
捩りによって生じるその捩り角を表すロータの磁気媒体
間に於ける位相のずれを測定するために、各ロータの近
傍に取り付けられて磁界の強さを測定する。より詳細に
言えば、−ノjのピックアップヘッドは磁心に取り付け
られた単一のホール効果変換器を有し、かつ他方のピッ
クアップヘッドは、本発明の位置センサの好適な実施例
に関連して説明したピックアップヘッドの場合と同様に
配置された2個のホール効果変換器を何する。
る磁気媒体を有する。ピックアップヘッドは弾性要素の
捩りによって生じるその捩り角を表すロータの磁気媒体
間に於ける位相のずれを測定するために、各ロータの近
傍に取り付けられて磁界の強さを測定する。より詳細に
言えば、−ノjのピックアップヘッドは磁心に取り付け
られた単一のホール効果変換器を有し、かつ他方のピッ
クアップヘッドは、本発明の位置センサの好適な実施例
に関連して説明したピックアップヘッドの場合と同様に
配置された2個のホール効果変換器を何する。
ピックアップヘッドは、弾性要素の捩りfり即ちトルク
を測定する信号処理回路に接続されている。
を測定する信号処理回路に接続されている。
従って、本発明によれば、磁界を生じさせる磁気媒体と
、前記磁界を検出するために前記磁気媒体の近傍に取り
付けられたピックアップヘッドとを備え、前記ピックア
ップヘッドと前記磁気媒体とが互いに並進運動可能であ
り、かつ前記磁界の強さが前記並進運動の方向に沿って
連続的に変化し得ると共に、前記ピックアップヘッドが
、(a)その検出位置に於ける前記磁界の強さを表す出
力信号を発生する第1磁界検出器と、(b)前記第1磁
界検出器から前記並進運動の方向に沿って所定の距離を
もって離隔され、その検出位置に於ける前記磁界の強さ
を表す出力信号を発生ずる第2磁界検出器とを有し、か
つ前記第1及び第2磁界検出器が前記出力信号から位置
情報を得る信号処理回路に接続されるようになっている
ことを特徴とする位置センサが提供される。
、前記磁界を検出するために前記磁気媒体の近傍に取り
付けられたピックアップヘッドとを備え、前記ピックア
ップヘッドと前記磁気媒体とが互いに並進運動可能であ
り、かつ前記磁界の強さが前記並進運動の方向に沿って
連続的に変化し得ると共に、前記ピックアップヘッドが
、(a)その検出位置に於ける前記磁界の強さを表す出
力信号を発生する第1磁界検出器と、(b)前記第1磁
界検出器から前記並進運動の方向に沿って所定の距離を
もって離隔され、その検出位置に於ける前記磁界の強さ
を表す出力信号を発生ずる第2磁界検出器とを有し、か
つ前記第1及び第2磁界検出器が前記出力信号から位置
情報を得る信号処理回路に接続されるようになっている
ことを特徴とする位置センサが提供される。
また、本発明によれは検出するべきトルクを原動機から
負荷装置へ伝達するために前記原動機と前記負荷装置と
に統合されるようになっており、かつ前記トルクによっ
て捩りを生じる回動自在なトーション軸と、前記1・−
ジョン軸1−の軸線方向に離隔した位置に取り付けられ
、前記1・−ジョン軸の周方向にその強さが連続的に変
化する磁界を発生させる第1及び第2磁気媒体と、それ
ぞれ前記第1及び第2磁気媒体に隣接して取り付けられ
、前記磁界を検出しかつそれに応じて出力信号を発生す
る第1及び第2ピックアップヘツドとを備え、前記第1
ピックアップヘツドが前記トーション軸の周方向に所定
の距離をもって離隔され、その検出位置1こ於ける前記
磁界の強さを表す出力信号を発生する1対の磁界検出器
を何し、かつ前記第1及び第2ピックアップヘツドがそ
の出力信号からトルク情報を得るための信号処理回路に
接続されるようになっていることを特徴とするトルクセ
ンサが提供される。
負荷装置へ伝達するために前記原動機と前記負荷装置と
に統合されるようになっており、かつ前記トルクによっ
て捩りを生じる回動自在なトーション軸と、前記1・−
ジョン軸1−の軸線方向に離隔した位置に取り付けられ
、前記1・−ジョン軸の周方向にその強さが連続的に変
化する磁界を発生させる第1及び第2磁気媒体と、それ
ぞれ前記第1及び第2磁気媒体に隣接して取り付けられ
、前記磁界を検出しかつそれに応じて出力信号を発生す
る第1及び第2ピックアップヘツドとを備え、前記第1
ピックアップヘツドが前記トーション軸の周方向に所定
の距離をもって離隔され、その検出位置1こ於ける前記
磁界の強さを表す出力信号を発生する1対の磁界検出器
を何し、かつ前記第1及び第2ピックアップヘツドがそ
の出力信号からトルク情報を得るための信号処理回路に
接続されるようになっていることを特徴とするトルクセ
ンサが提供される。
〈実施例〉
以下、本発明の好適実施例を添付の図面について詳しく
説明する。
説明する。
第1図に関して、符号10は固定された真直なガイドバ
ー12を何する位置センサを示しており、ガイドバー1
2−]−を直線的に並進運動可能なカーソル14を備え
る。通常、カーソル14は、そのガイドバー12に関す
る位置を測定するべき装置の可動部分に取り付けられる
。
ー12を何する位置センサを示しており、ガイドバー1
2−]−を直線的に並進運動可能なカーソル14を備え
る。通常、カーソル14は、そのガイドバー12に関す
る位置を測定するべき装置の可動部分に取り付けられる
。
カーソル14の軌道を構成するガイドバー12は、その
カーソル14の移動範囲に従って選択される長さの範囲
に亘って一定の断面をHする。ガイドバー12は金属製
の;1ス坦なベースプレート16を何し、その−に面に
は、中心に配置されて長平方向に延長する磁気テープ1
8が接着により取り付けられ、かつその側縁部がねじ2
2によってベースプレート16に固定された保持バー2
0によってベースプレー1−16.1−に止着されてい
る。
カーソル14の移動範囲に従って選択される長さの範囲
に亘って一定の断面をHする。ガイドバー12は金属製
の;1ス坦なベースプレート16を何し、その−に面に
は、中心に配置されて長平方向に延長する磁気テープ1
8が接着により取り付けられ、かつその側縁部がねじ2
2によってベースプレート16に固定された保持バー2
0によってベースプレー1−16.1−に止着されてい
る。
磁気テープ18は、その長袖に沿って強さが正弦波状に
変化する磁界を発生させる。第1図に於て、磁界は符号
24によって表される正弦波として概略的に示され、こ
の正弦波の各サイクルに於ける正の磁気特性に対応する
部分が実線で示され、かつ負の磁気極性に対応する部分
が破線で示されている。
変化する磁界を発生させる。第1図に於て、磁界は符号
24によって表される正弦波として概略的に示され、こ
の正弦波の各サイクルに於ける正の磁気特性に対応する
部分が実線で示され、かつ負の磁気極性に対応する部分
が破線で示されている。
磁界は磁気記録処理によって磁気テープ18内に形成さ
れる。
れる。
磁界のピックアップヘッドとして機能するカーソル14
は、それぞれ半円環体形状の磁心28a、28bを台す
る2個の同一の検出器26a、26bと、磁心28a、
28bによって郭定される磁路内に挿入されるホール効
果変換器30a、30bのような磁束−電圧変換器とを
aする。ここで、一方の検出器26aと同一である他方
の検出器26bについては、その各構成要素がbを付し
た符号をもって表される。
は、それぞれ半円環体形状の磁心28a、28bを台す
る2個の同一の検出器26a、26bと、磁心28a、
28bによって郭定される磁路内に挿入されるホール効
果変換器30a、30bのような磁束−電圧変換器とを
aする。ここで、一方の検出器26aと同一である他方
の検出器26bについては、その各構成要素がbを付し
た符号をもって表される。
各検出器26a、26bは、磁気テープ181゜に記憶
される磁気信号24の波長の1/4に対応する距離をも
って磁気テープ18の長袖に沿って離隔されている。
される磁気信号24の波長の1/4に対応する距離をも
って磁気テープ18の長袖に沿って離隔されている。
図示されていないが、雨検出器26a、26bは互いに
固定されている。一般に、検出器26a、26bは、ホ
ール効果変換器30a、30bの4個の出力導体のみが
外部に延出する保護ブロック内に装着される。
固定されている。一般に、検出器26a、26bは、ホ
ール効果変換器30a、30bの4個の出力導体のみが
外部に延出する保護ブロック内に装着される。
通常カーソル14は、磁気テープ18の上面と接触して
磨耗しないように、結合されるべき装置の可動部分から
吊り下げられる。従って、磁心28a、28bの自由端
と磁気テープ18との間には空隙が郭定される。
磨耗しないように、結合されるべき装置の可動部分から
吊り下げられる。従って、磁心28a、28bの自由端
と磁気テープ18との間には空隙が郭定される。
ホール効果変換器30a、30bは、位置センサ10と
組み合わされて位置測定装置を構成する信号処理回路3
1に接続されている。この信号処理回路31の機能が第
2図のブロック図に示されている。
組み合わされて位置測定装置を構成する信号処理回路3
1に接続されている。この信号処理回路31の機能が第
2図のブロック図に示されている。
信り処理回路31は、適当にプログラムされたマイクロ
コンピュータに接続されたアナログ部分を何する。信号
処理回路31のハードウェア及びソフトウェアについて
は当業賃にとって周知であるので詳細な説明は省略する
。
コンピュータに接続されたアナログ部分を何する。信号
処理回路31のハードウェア及びソフトウェアについて
は当業賃にとって周知であるので詳細な説明は省略する
。
位置センサ10の動作について以下に第2図を用いて説
明する。
明する。
磁気テープ18に記録された磁界24の強さはカーソル
14の位置によって変化する。より詳細に言えば、ガイ
ドバー12の基準点、例えはその一方の端部から測定さ
れるカーソル14の角度位置θによって変化する。これ
は、次のような数学的関係をもって説明することができ
る。
14の位置によって変化する。より詳細に言えば、ガイ
ドバー12の基準点、例えはその一方の端部から測定さ
れるカーソル14の角度位置θによって変化する。これ
は、次のような数学的関係をもって説明することができ
る。
β=βwax −5in θ
−(1)ここで、θ=(2eπ/λ)・d、d=カーソ
ル14の移動距離、λ=磁界の波長とする。
−(1)ここで、θ=(2eπ/λ)・d、d=カーソ
ル14の移動距離、λ=磁界の波長とする。
磁気テープ18に記録された磁界によって各磁心28a
、28b内には磁束φが発生するが、その強さは、主と
して磁心28a、28bの断面積及び磁心28a、28
bの自由端と磁気テープ18の1−面との空隙によって
決定される。磁束φは次式で表される。
、28b内には磁束φが発生するが、その強さは、主と
して磁心28a、28bの断面積及び磁心28a、28
bの自由端と磁気テープ18の1−面との空隙によって
決定される。磁束φは次式で表される。
φ=φmax * sin θ
・・・ (3)
検出器26bの磁気回路内のホール効果変換器30bは
、次式で表される電気信号を発生する。
、次式で表される電気信号を発生する。
VsL= S l 令sin θ
・・・ (4)
ここで、Sl=信号の振幅である。
検出器26bからλ/4の距離をもって離隔された検出
器26aのホール効果変換器30aは、次式で表される
電気信号を発生する。
器26aのホール効果変換器30aは、次式で表される
電気信号を発生する。
Vs2=S2 Φsln (θ+、v/2)
=(5)Vs2=S2 ・cos θ
・ (6)ここで、S2=信号の振幅である。
=(5)Vs2=S2 ・cos θ
・ (6)ここで、S2=信号の振幅である。
ガイドバー12の構造りの欠点、例えばガイドバー12
の軸線方向に沿って生じた反り・歪み、保持バー20の
非均質性、磁気テープ18の厚さの変化等によって、カ
ーソル14の・1に進運動の際に磁心28a、28bの
自由端と磁気データ18の上面との間の空隙に変動が生
じる。これらの変動によって、磁気テープ18に沿って
振幅値511S2がゆらぎを生じる。これらのゆらぎは
、磁気テープ18」−に記録された磁界の波長より相当
長い波長を有する波であると考えられる。
の軸線方向に沿って生じた反り・歪み、保持バー20の
非均質性、磁気テープ18の厚さの変化等によって、カ
ーソル14の・1に進運動の際に磁心28a、28bの
自由端と磁気データ18の上面との間の空隙に変動が生
じる。これらの変動によって、磁気テープ18に沿って
振幅値511S2がゆらぎを生じる。これらのゆらぎは
、磁気テープ18」−に記録された磁界の波長より相当
長い波長を有する波であると考えられる。
検出器26aの磁心28aを磁気テープ18に沿って移
動させると、角度θが0となる成る位置に於て最小の磁
束が生じる。他方、検出器26aからλ/4の距離だけ
離隔された検出器26bの磁心28bは最大の磁束を生
じさせる。
動させると、角度θが0となる成る位置に於て最小の磁
束が生じる。他方、検出器26aからλ/4の距離だけ
離隔された検出器26bの磁心28bは最大の磁束を生
じさせる。
カーソル14がガイドバー12にをλ/4に対応する距
離(角度θはπ/2に等しい)だけ前進すると、磁心2
8aは最大磁束を生じさせる。このとき、検出器26b
の磁心28bは最小磁束を生じさせる。
離(角度θはπ/2に等しい)だけ前進すると、磁心2
8aは最大磁束を生じさせる。このとき、検出器26b
の磁心28bは最小磁束を生じさせる。
ホール効果変換器30a、30bの出力は、それぞれ電
圧St、S2を所定のレベルSに設定する校正回路32
.33に接続されている。校正回路32.33は基本的
に調整可能な利得を有する演算増幅器である。
圧St、S2を所定のレベルSに設定する校正回路32
.33に接続されている。校正回路32.33は基本的
に調整可能な利得を有する演算増幅器である。
校正回路32.33の出力信号は次式で表される。
Vsl= S * sln θ
Vs2=S Llcos θ
・・・ (7)
・・・ (8)
L述したように、変換器30a、30bがら発生する出
力信号の振幅は、カーソル14がガイドバー121を移
動する際に、磁気テープ18に記録されている磁束の波
長より相当長い波長をhする波に従って変化する。磁心
28a、28bが互いに非常に近接しているので、St
が変化すると82が同様に変化する。
力信号の振幅は、カーソル14がガイドバー121を移
動する際に、磁気テープ18に記録されている磁束の波
長より相当長い波長をhする波に従って変化する。磁心
28a、28bが互いに非常に近接しているので、St
が変化すると82が同様に変化する。
校正回路32.33に接続されたマイクロコンピュータ
34は角度φ(通常初期値0を何する)の値を発生し、
次にこの角度φのeO3とsinとをM1算して、式(
7)、(8)によって得られた値をそれぞれ掛けて次の
値を得る。
34は角度φ(通常初期値0を何する)の値を発生し、
次にこの角度φのeO3とsinとをM1算して、式(
7)、(8)によって得られた値をそれぞれ掛けて次の
値を得る。
Vs巨eOs φ=SL1sln θ” eO3φ・
(9)Vs2 ・sin φ= S @cos θ嗜
sin φ−(10)次に、マイクロコンピュータ34
は信号9から信り10を引いてエラー信号Zを得る。
(9)Vs2 ・sin φ= S @cos θ嗜
sin φ−(10)次に、マイクロコンピュータ34
は信号9から信り10を引いてエラー信号Zを得る。
Z=S・[sln θ@ eO8φ−eO3θ・sln
φ]・・・ (11) Z=Sφsin (θ−φ) エラー信号Zの極性及び値によってマイクロコンピュー
タ34は角度φの値を増減させ、かつエラー信号Zが0
になるまで必要な回数だけ」1記動作を繰り返して行う
。次に、角度θに対応する角度φが表示され、これから
磁界24の波長を知ってカーソル14の位置が測定され
る。
φ]・・・ (11) Z=Sφsin (θ−φ) エラー信号Zの極性及び値によってマイクロコンピュー
タ34は角度φの値を増減させ、かつエラー信号Zが0
になるまで必要な回数だけ」1記動作を繰り返して行う
。次に、角度θに対応する角度φが表示され、これから
磁界24の波長を知ってカーソル14の位置が測定され
る。
角度φは振幅(ii!(SI S82と無関係に得るこ
とができ、換言すればカーソルの位置の測定は磁心28
a、28bと磁気テープ18との空隙と無関係に行われ
る。
とができ、換言すればカーソルの位置の測定は磁心28
a、28bと磁気テープ18との空隙と無関係に行われ
る。
第2実施例
第3図には、回転装置に使用するための位置センサの実
施例が示されている。第1図示の実施例と比較すると、
ガイドバー50は、第2図では簡単化のために円弧部分
の一部が図示されているだけであるが、円形路を郭定す
るように環状体として形成されている。使用の際には、
通常ガイドバー50が装置の回転部分に取り付けられ、
かつカーソル14が固定される。
施例が示されている。第1図示の実施例と比較すると、
ガイドバー50は、第2図では簡単化のために円弧部分
の一部が図示されているだけであるが、円形路を郭定す
るように環状体として形成されている。使用の際には、
通常ガイドバー50が装置の回転部分に取り付けられ、
かつカーソル14が固定される。
ガイドバー50に関するカーソル位置14の決定は、第
1図示の実施例に関連して説明したと同様にして行われ
る。カーソル14の位置を角変位αで得る場合には、前
記円形路を郭定する磁気テープの長さに於ける磁界のサ
イクルの数で角度θについて得られる値を割らなければ
ならない。
1図示の実施例に関連して説明したと同様にして行われ
る。カーソル14の位置を角変位αで得る場合には、前
記円形路を郭定する磁気テープの長さに於ける磁界のサ
イクルの数で角度θについて得られる値を割らなければ
ならない。
第3実施例
第4図は、第1図及び第3図に関連する型式の位置セン
サを用いたトルク検出器を概略的に示している。
サを用いたトルク検出器を概略的に示している。
このトルク検出器はトルクセンサ100を何し、トルク
センサ100は弾性部材106によって互いに結合され
た1対のディスク102.1o4を有する。ディスク1
02.104は、弾性部材106の縦軸と一致する軸線
に関して回動するように図示されない適当な軸受部分に
支持されている。
センサ100は弾性部材106によって互いに結合され
た1対のディスク102.1o4を有する。ディスク1
02.104は、弾性部材106の縦軸と一致する軸線
に関して回動するように図示されない適当な軸受部分に
支持されている。
ディスク102(以下入力端ディスクと称す)は、他方
のディスク104(以下出力側ディスクと称す)に接続
された負荷装置を駆動する原動機に接続される。原動機
の圧力は弾性部月106を介して負荷装置に伝達され、
かつ弾性部月106はその縦軸に関して伝達トルクに対
して弾性部祠106の材質及び寸法に応じた一定の比率
によって決定される角度に捩られる。
のディスク104(以下出力側ディスクと称す)に接続
された負荷装置を駆動する原動機に接続される。原動機
の圧力は弾性部月106を介して負荷装置に伝達され、
かつ弾性部月106はその縦軸に関して伝達トルクに対
して弾性部祠106の材質及び寸法に応じた一定の比率
によって決定される角度に捩られる。
入力端ディスク102は、第1図示の実施例の磁気テー
プ18と同様に、ディスク102の周方向に正弦波状に
変化する磁界を発生させる周方向に延在する磁気テープ
108を打する。磁気テープ108の1−面近傍には、
磁心110とホール効果変換器112とからなる単一の
検出器によって構成される固定式ピックアップヘッド1
09が取り付けられている。ピックアップヘッド即ち検
出器109は、本発明の第1実施例に関して記載される
検出器26a、26bと構造上同一のものである。
プ18と同様に、ディスク102の周方向に正弦波状に
変化する磁界を発生させる周方向に延在する磁気テープ
108を打する。磁気テープ108の1−面近傍には、
磁心110とホール効果変換器112とからなる単一の
検出器によって構成される固定式ピックアップヘッド1
09が取り付けられている。ピックアップヘッド即ち検
出器109は、本発明の第1実施例に関して記載される
検出器26a、26bと構造上同一のものである。
出力側ディスク104はその周辺部に磁気テープ108
と同一の磁気テープ14が取り付けられており、磁気テ
ープ114に記録される磁界は弾性部材106が捩られ
ない場合に於て磁気テープ108の磁界と同位相である
。磁気テープ114の上面近傍には、それぞれホール効
果変換器120a、120bを有する2個の検出器11
8a。
と同一の磁気テープ14が取り付けられており、磁気テ
ープ114に記録される磁界は弾性部材106が捩られ
ない場合に於て磁気テープ108の磁界と同位相である
。磁気テープ114の上面近傍には、それぞれホール効
果変換器120a、120bを有する2個の検出器11
8a。
118bを有する固定式ピックアップへラド116が取
り付けられている。ピックアップヘッド116は本発明
の第1実施例に関連するカーソル14と構造的に同一の
ものである。
り付けられている。ピックアップヘッド116は本発明
の第1実施例に関連するカーソル14と構造的に同一の
ものである。
出力側ディスク104に連関するホール効果変換器12
0a、120b及び入力端ディスク1゜2に連関する変
換器112は、これら変換器から発生する信号を処理す
る信号処理回路122に接続されている。トルクセンサ
1ooと回路122との組み合わせによってトルク計が
構成される。
0a、120b及び入力端ディスク1゜2に連関する変
換器112は、これら変換器から発生する信号を処理す
る信号処理回路122に接続されている。トルクセンサ
1ooと回路122との組み合わせによってトルク計が
構成される。
電子回路122は、適当にプログラムされたマイクロコ
ンピュータに接続されたアナログ部分を有する。この回
路のハードウェア及びソフトウェアは、当業者にとって
明らかであるので詳細な説明を省略する。
ンピュータに接続されたアナログ部分を有する。この回
路のハードウェア及びソフトウェアは、当業者にとって
明らかであるので詳細な説明を省略する。
トルクセンサ100の動作について、以下に第4図及び
第5図を参照しつつ説明する。
第5図を参照しつつ説明する。
入力端ディスク102を前記原動機によって駆動すると
、入力端ディスク102は弾性部jA 106を介して
出力側ディスク104に接続された負荷装置を駆動する
。第4図に示される弾性部材106の捩り角θrは伝達
トルクに比例する。
、入力端ディスク102は弾性部jA 106を介して
出力側ディスク104に接続された負荷装置を駆動する
。第4図に示される弾性部材106の捩り角θrは伝達
トルクに比例する。
出力側ディスク104に接続されたホール効果変換器1
20a、120bは、次のような電気信号を発生する。
20a、120bは、次のような電気信号を発生する。
Vsl= S LIsin ωLVs2=S ・
eO3ωt ・・・ (1) ・・・ (2) ここで、ωは磁気テープ114の角速度であり、かつ【
は時間である。
eO3ωt ・・・ (1) ・・・ (2) ここで、ωは磁気テープ114の角速度であり、かつ【
は時間である。
入力端ディスク102に結合されたホール効果変換器1
12は、次の信号を発生する。
12は、次の信号を発生する。
す信りを得る。
■e=E φsln (ωL +θ) −
(3)ここで、E=変換器112から発生する信号の振
幅、θ=信号1と信号3との間の位相角であり、かつθ
rを弾性部)74106の捩り角とし、かつKを磁気テ
ープ108の長さに於ける磁界のサイクルの数に対応す
る整数であるとすると、θはK・θ「と等しい。
(3)ここで、E=変換器112から発生する信号の振
幅、θ=信号1と信号3との間の位相角であり、かつθ
rを弾性部)74106の捩り角とし、かつKを磁気テ
ープ108の長さに於ける磁界のサイクルの数に対応す
る整数であるとすると、θはK・θ「と等しい。
信号処理回路122は、信号(1)と信号(2)とを掛
けて基準信号Vrを発生させるべくホール効果変換器1
20a、120bに接続されたアナログ乗算器124を
有する。
けて基準信号Vrを発生させるべくホール効果変換器1
20a、120bに接続されたアナログ乗算器124を
有する。
Vr =S2/2 ・sln 2ωL −
(4)ホール効果変換器120a、120b、112に
接続されたアナログ乗算器126.128は、信号(1
)、(2)に信号(3)を掛けて次に示Ve −Vsl
=E @S/2 @[(1−cos 2ωL )” e
Os θ+sin 2(IJL 11cos θ]
・・・ (5) Ve −Vs2=E −S/2 ・[sin 2ωt
eOs θ+ (1+cos 2ωL )sin θ
] ・・・(6)l器126.128に
接続されたマイクロコンピュータ130は角度θの値(
通常、初期fli’LO)を発生し、この角度のsin
及びeOsを=1算し、かつ得られた値にそれぞれ信号
(5)及び信号(6)を掛けて次式で表される信号が得
られる。
(4)ホール効果変換器120a、120b、112に
接続されたアナログ乗算器126.128は、信号(1
)、(2)に信号(3)を掛けて次に示Ve −Vsl
=E @S/2 @[(1−cos 2ωL )” e
Os θ+sin 2(IJL 11cos θ]
・・・ (5) Ve −Vs2=E −S/2 ・[sin 2ωt
eOs θ+ (1+cos 2ωL )sin θ
] ・・・(6)l器126.128に
接続されたマイクロコンピュータ130は角度θの値(
通常、初期fli’LO)を発生し、この角度のsin
及びeOsを=1算し、かつ得られた値にそれぞれ信号
(5)及び信号(6)を掛けて次式で表される信号が得
られる。
Ve 11Vsl * sinφ=E 拳S/2 ・[
slnφ働eO3θ−cos 2ωL esln
φ ” cos θ+sin 2(IJL 舎s
1n φ・sIn θ] ・ (7)(以下余白) Ve −Ve2・cosφ=E−8/2 ・[sln
θ・cos φ−cos 2(IJL esln
θ” eOs φ+sin 2ω【 ・eOs
θ・cos φ] ・・・ (8)マイクロコンピュ
ータ130に接続されたアナログ加算器132は信号(
7)と信号(8)とを加え、エラー信号Zが得られる。
slnφ働eO3θ−cos 2ωL esln
φ ” cos θ+sin 2(IJL 舎s
1n φ・sIn θ] ・ (7)(以下余白) Ve −Ve2・cosφ=E−8/2 ・[sln
θ・cos φ−cos 2(IJL esln
θ” eOs φ+sin 2ω【 ・eOs
θ・cos φ] ・・・ (8)マイクロコンピュ
ータ130に接続されたアナログ加算器132は信号(
7)と信号(8)とを加え、エラー信号Zが得られる。
Z=E−8/2・ [sln (θ−φ)+C082ω
【・51n(θ−φ) esln 2ωt・cos
(θ−φ)] ・・・ (9)この値か
ら加算器132に接続された回路134が時間に関して
変化しない部分(信号の直流(DC)成分)を取り除く
ことによって、新しいエラー信号Zが得られる。
【・51n(θ−φ) esln 2ωt・cos
(θ−φ)] ・・・ (9)この値か
ら加算器132に接続された回路134が時間に関して
変化しない部分(信号の直流(DC)成分)を取り除く
ことによって、新しいエラー信号Zが得られる。
Z=E a S/2 m [cos 2
ωL 拳 sln (θ −φ)esln 2(
IJL Φcos (θ−φ)Z=E −S/2
esln (2ωL +θ−φ)・・・ (10) 入力端ディスク102に向って、以下のパラメータの極
性は次のように郭定される。
ωL 拳 sln (θ −φ)esln 2(
IJL Φcos (θ−φ)Z=E −S/2
esln (2ωL +θ−φ)・・・ (10) 入力端ディスク102に向って、以下のパラメータの極
性は次のように郭定される。
(a)角速度ωは、入力端ディスク102が時計方向に
回転するとき正である。
回転するとき正である。
(b)捩り角θrは、弾性部材106を矢印136で示
される方向に捩チた場合に正である。従って、伝達され
るトルクは捩り各θrに比例するから正である。
される方向に捩チた場合に正である。従って、伝達され
るトルクは捩り各θrに比例するから正である。
(c)伝達動力Pは、角速度ω及び伝達トルクTが正で
あるので正である。
あるので正である。
より明確にするために、捩り角は±π/Kに制限される
。
。
回路134に接続された電子回路138が信号10と信
号4との間の位相角を測定する。測定が実行されると、
回路138は、その周波数が位相角に比例するパルス列
と、位相角の極性を識別するコードとを発生する。
号4との間の位相角を測定する。測定が実行されると、
回路138は、その周波数が位相角に比例するパルス列
と、位相角の極性を識別するコードとを発生する。
電子回路138に接続されたマイクロコンピュータ13
0は前記パルス列及びコードを受は取り、かつそれに従
って角度φの値を増減する。次に、マイクロコンピュー
タ130はエラー信号Zが0になるまで必要な回数だけ
」−記動作を繰り返し実行する。この状態に適合すると
、マイクロコンピュータ130は角度θと等しい角度φ
を表示する。
0は前記パルス列及びコードを受は取り、かつそれに従
って角度φの値を増減する。次に、マイクロコンピュー
タ130はエラー信号Zが0になるまで必要な回数だけ
」−記動作を繰り返し実行する。この状態に適合すると
、マイクロコンピュータ130は角度θと等しい角度φ
を表示する。
トルクが角度θまたは捩り角θrと比例することを考慮
すれば、表示された値が伝達されたトルクを表している
ことになる。
すれば、表示された値が伝達されたトルクを表している
ことになる。
第1図及び第2図に関連して1−述した位置センサの場
合と同様に、空隙、またはディスク102.104を支
持する軸受部分の偏心のような構造−1−の欠陥等と無
関係にトルクを測定することができる。
合と同様に、空隙、またはディスク102.104を支
持する軸受部分の偏心のような構造−1−の欠陥等と無
関係にトルクを測定することができる。
第1図は、本発明による直線運動する位置センサを示す
斜視図である。 第2図は、第1図示の位置センサについて使用される信
号処理回路の機能を示すブロック図である。 第3図は、本発明による回転運動する位置センサを示す
斜視図である。 第4図は、本発明によるトルクセンサを示す概略斜視図
である。 第5図は、第4図示のトルクセンサについて使用される
信号処理回路の機能を示すブロック図である。 10・・・位置センサ 12・・・ガイドバー14・
・・カーソル 16・・・ベースプレート18・・
・磁気テープ 20・・・保持バー22・・・ねじ
24・・・正弦波26a、26b・・・検出器 28a、28b−・・磁心 30a、30b・・・ホール効果変換器31・・・信号
処理回路 32.33・・・校正回路34・・・マイク
ロコンピュータ 50・・・ガイドバー 100・・・トルクセンサ1
02・・・入力端ディスク 104・・・出力側ディスク 06・・・弾性部材 108・・・磁気テープ09・
・・ピックアップヘッド 10・・・磁心 112・・・ホール効果変換器
14・・・磁気テープ 16・・・ピックアップヘッド 18a、118b−・・検出器 20a、120b・・・ホール効果変換器22・・・信
号処理回路 24.126.128・・・アナログ乗算器30・・・
マイクロコンピュータ 32・・・アナログ加算器 34・・・回路 136・・・矢印38・・・電
子回路 図面の浄書(内容に変更なし) 特 許 出 願 人 コンスラブ・インコーホレイテ
ッド 代 理 人 弁理士 大 島 陽手続補正書
(方 式) 一1芝成2年1月9日 特許庁長官 吉 Ill 文 毅 殿
(賃・;\1、事件の表示 平成1年特許願第238349号 2、発明の名称 位置センサとそれを用いたトルクセンサ3、補正をする
者 事件との関係 特許出願人 名 称 コンスラブ・インコーホレイテッド4、代理
人 居 所 〒 102 東京都千代III区飯1.1
1橋1−8−6(発送日 平成1年12月260) 6、補正により増加する請求項の数 07、補正の対
象 図面の浄書
斜視図である。 第2図は、第1図示の位置センサについて使用される信
号処理回路の機能を示すブロック図である。 第3図は、本発明による回転運動する位置センサを示す
斜視図である。 第4図は、本発明によるトルクセンサを示す概略斜視図
である。 第5図は、第4図示のトルクセンサについて使用される
信号処理回路の機能を示すブロック図である。 10・・・位置センサ 12・・・ガイドバー14・
・・カーソル 16・・・ベースプレート18・・
・磁気テープ 20・・・保持バー22・・・ねじ
24・・・正弦波26a、26b・・・検出器 28a、28b−・・磁心 30a、30b・・・ホール効果変換器31・・・信号
処理回路 32.33・・・校正回路34・・・マイク
ロコンピュータ 50・・・ガイドバー 100・・・トルクセンサ1
02・・・入力端ディスク 104・・・出力側ディスク 06・・・弾性部材 108・・・磁気テープ09・
・・ピックアップヘッド 10・・・磁心 112・・・ホール効果変換器
14・・・磁気テープ 16・・・ピックアップヘッド 18a、118b−・・検出器 20a、120b・・・ホール効果変換器22・・・信
号処理回路 24.126.128・・・アナログ乗算器30・・・
マイクロコンピュータ 32・・・アナログ加算器 34・・・回路 136・・・矢印38・・・電
子回路 図面の浄書(内容に変更なし) 特 許 出 願 人 コンスラブ・インコーホレイテ
ッド 代 理 人 弁理士 大 島 陽手続補正書
(方 式) 一1芝成2年1月9日 特許庁長官 吉 Ill 文 毅 殿
(賃・;\1、事件の表示 平成1年特許願第238349号 2、発明の名称 位置センサとそれを用いたトルクセンサ3、補正をする
者 事件との関係 特許出願人 名 称 コンスラブ・インコーホレイテッド4、代理
人 居 所 〒 102 東京都千代III区飯1.1
1橋1−8−6(発送日 平成1年12月260) 6、補正により増加する請求項の数 07、補正の対
象 図面の浄書
Claims (16)
- (1)磁界を生じさせる磁気媒体と、 前記磁界を検出するために前記磁気媒体の近傍に取り付
けられたピックアップヘッドとを備え、前記ピックアッ
プヘッドと前記磁気媒体とが互いに並進運動可能であり
、かつ前記磁界の強さが前記並進運動の方向に沿って連
続的に変化し得ると共に、 前記ピックアップヘッドが、 (a)その検出位置に於ける前記磁界の強さを表す出力
信号を発生する第1磁界検出器と、 (b)前記第1磁界検出器から前記並進運動の方向に沿
って所定の距離をもって離隔され、その検出位置に於け
る前記磁界の強さを表す出力信号を発生する第2磁界検
出器とを有し、かつ前記第1及び第2磁界検出器が前記
出力信号から位置情報を得る信号処理回路に接続される
ようになっていることを特徴とする位置センサ。 - (2)前記第1及び第2磁界検出器が、それぞれ磁路を
決定する磁心構成手段と、前記磁路内の磁束−電圧変換
器とを有することを特徴とする特許請求の範囲第1項に
記載の位置センサ。 - (3)前記磁束−電圧変換器がホール効果変換器である
ことを特徴とする特許請求の範囲第2項に記載の位置セ
ンサ。 - (4)前記磁界の強さが前記磁気媒体の長手方向に沿っ
て正弦波状に変化することを特徴とする特許請求の範囲
第1項に記載の位置センサ。 - (5)金属製のベースプレートと、前記ベースプレート
上に接着され、前記磁気媒体を構成する磁気テープと、
前記ベースプレート上に取り付けられて前記磁気テープ
の側縁部を止着する1対の保持バーとを有するガイドバ
ーを備えることを特徴とする特許請求の範囲第1項に記
載の位置センサ。 - (6)前記ガイドバーが真直であることを特徴とする特
許請求の範囲第5項に記載の位置センサ。 - (7)前記ガイドバーが環状をなすことを特徴とする特
許請求の範囲第5項に記載の位置センサ。 - (8)前記磁界検出器が、前記磁界の波長の約1/4に
対応する距離をもって互いに離隔されていることを特徴
とする特許請求の範囲第4項に記載の位置センサ。 - (9)検出するべきトルクを原動機から負荷装置へ伝達
するために前記原動機と前記負荷装置とに統合されるよ
うになっており、かつ前記トルクによって捩りを生じる
回動自在なトーション軸と、前記トーション軸上の軸線
方向に離隔した位置に取り付けられ、前記トーション軸
の周方向にその強さが変化する磁界を発生させる第1及
び第2磁気媒体と、 それぞれ前記第1及び第2磁気媒体に隣接して取り付け
られ、前記磁界を検出しかつそれに応じて出力信号を発
生する第1及び第2ピックアップヘッドとを備え、 前記第1ピックアップヘッドが前記トーション軸の周方
向に所定の距離をもって離隔され、その検出位置に於け
る前記磁界の強さを表す出力信号を発生する1対の磁界
検出器を有し、かつ前記第1及び第2ピックアップヘッ
ドがその出力信号からトルク情報を得るための信号処理
回路に接続されるようになっていることを特徴とするト
ルクセンサ。 - (10)前記第2ピックアップヘッドが1個の磁界検出
器を有することを特徴とする特許請求の範囲第9項に記
載のトルクセンサ。 - (11)前記各磁界検出器が磁路を決定する磁心と、前
記磁路内の磁束−電圧変換器とを有することを特徴とす
る特許請求の範囲第9項に記載のトルクセンサ。 - (12)前記磁束−電圧変換器がホール効果変換器であ
ることを特徴とする特許請求の範囲第11項に記載のト
ルクセンサ。 - (13)前記第2ピックアップの前記磁界検出器が、磁
路を決定する磁心と前記磁路内に配置された磁束−電圧
変換器とを有することを特徴とする特許請求の範囲第1
0項に記載のトルクセンサ。 - (14)前記磁束−電圧変換器がホール効果変換器であ
ることを特徴とする特許請求の範囲第13項に記載のト
ルクセンサ。 - (15)前記磁界が正弦波状に変化することを特徴とす
る特許請求の範囲第9項に記載のトルクセンサ。 - (16)前記第1ピックアップヘッドの前記磁界検出器
が互いに前記磁界の波長の1/4の距離をもって離隔さ
れていることを特徴とする特許請求の範囲第15項に記
載のトルクセンサ。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US243,859 | 1988-09-13 | ||
US07/243,859 US4926121A (en) | 1987-03-25 | 1988-09-13 | Magnetic type position sensor for use in the construction of position indicators or torque meters |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02176415A true JPH02176415A (ja) | 1990-07-09 |
Family
ID=22920413
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP23834989A Pending JPH02176415A (ja) | 1988-09-13 | 1989-09-13 | 位置センサとそれを用いたトルクセンサ |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP0368687A3 (ja) |
JP (1) | JPH02176415A (ja) |
CA (1) | CA1322281C (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001235377A (ja) * | 1999-03-15 | 2001-08-31 | Tadatoshi Goto | 相対的回転位置検出装置 |
JP2009541739A (ja) * | 2006-06-21 | 2009-11-26 | アレグロ・マイクロシステムズ・インコーポレーテッド | アナログ回転センサのための方法および装置 |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE69310577T2 (de) * | 1992-02-27 | 1997-11-13 | Philips Electronics Nv | Positionssensorsystem |
DE9306681U1 (de) * | 1993-05-04 | 1994-09-15 | Altendorf Wilhelm Gmbh Co Kg | Doppelseitiger Gehrungsanschlag für Werkzeugmaschinen, insbesondere Formatkreissägen |
JP3134590B2 (ja) * | 1993-05-13 | 2001-02-13 | ソニー・プレシジョン・テクノロジー株式会社 | スケール装置 |
DE19716985A1 (de) * | 1997-04-23 | 1998-10-29 | A B Elektronik Gmbh | Vorrichtung zur Ermittlung der Position und/oder Torsion rotierender Wellen |
US6229297B1 (en) * | 1999-06-30 | 2001-05-08 | Hewlett-Packard Company | Device for determining the position of an object relative to a surface |
US8125216B2 (en) | 2008-01-04 | 2012-02-28 | Allegro Microsystems, Inc. | Methods and apparatus for angular position sensing using multiple quadrature signals |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3742243A (en) * | 1971-09-27 | 1973-06-26 | Veeder Industries Inc | Pulse generator |
US4208904A (en) * | 1978-07-17 | 1980-06-24 | Resco, Inc. | Method of measuring long shaft torque |
DE2945895C2 (de) * | 1979-11-14 | 1986-06-05 | Festo-Maschinenfabrik Gottlieb Stoll, 7300 Esslingen | Magnetischer Stellungsgeber für hydrauliche oder pneumatische Arbeitszylinder |
JPS6275328A (ja) * | 1985-09-30 | 1987-04-07 | Toshiba Corp | トルクセンサ |
CA1306618C (en) * | 1987-03-25 | 1992-08-25 | Normand Guay | Torquemeter |
-
1989
- 1989-09-12 EP EP19890402486 patent/EP0368687A3/en not_active Withdrawn
- 1989-09-13 JP JP23834989A patent/JPH02176415A/ja active Pending
- 1989-09-13 CA CA000611297A patent/CA1322281C/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001235377A (ja) * | 1999-03-15 | 2001-08-31 | Tadatoshi Goto | 相対的回転位置検出装置 |
JP4612143B2 (ja) * | 1999-03-15 | 2011-01-12 | 株式会社アミテック | 相対的回転位置検出装置 |
JP2009541739A (ja) * | 2006-06-21 | 2009-11-26 | アレグロ・マイクロシステムズ・インコーポレーテッド | アナログ回転センサのための方法および装置 |
JP2013253988A (ja) * | 2006-06-21 | 2013-12-19 | Allegro Microsystems Llc | アナログ回転センサのための方法および装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CA1322281C (en) | 1993-09-21 |
EP0368687A2 (en) | 1990-05-16 |
EP0368687A3 (en) | 1991-09-25 |
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