JPH02158346A - 液体噴射記録ヘッド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 肢淋じ１ 本発明は、液体噴射記録ヘッドに関し、より詳細には、
インクジェットプリンターの記録ヘットに関する。

従」句支体− ノンインパクト記録法は、記録時における騒音の発生が
無視し得る程度に極めて小さいという点において、最近
関心を集めている。その中で、高速記録が可能であり、
而も所謂普通紙に特別の定着処理を必要とせずに記録の
ｔｉえる所謂インクジェット記録法は極めて有力な記録
法であって、これまでにも様々な方式が提案され、改良
が加えられて商品化されたものもあれば、現在もなお実
用化への努力が続けられているものもある。

この様なインクジェット記録法は、所謂インクと称され
る記１か液体の小滴（ｄｒｏｐｌｅｔ）を飛翔させ。

記録部材に付着させて記録を行うものであって、この記
録液体の小滴の発生法及び発生された記録液小滴の飛翔
方向を制御する為の制御方法によって幾つかの方式に大
別される。

先ず第１の方式は、例えば米国特許第３０６０４２９号
明細書に開示されているもの（Ｔｅｌｅ　ｔｙｐｅ方式
）であって、記録液体の小滴の発生を静電吸収的ｋ、＝
３ 行い、発生した記録液体小滴を記録信号に応じて電界制
御し７、記録部材上に記録液体小滴を選択的に個性させ
て記録を行うものである。

これに就いて、更に詳述すれば、ノズルと加速電極間に
電界を掛けて、−様に帯電した記録液体の小滴をノズル
より吐出させ、該吐出した記録液体の小滴を記録信号に
応じて電気制御可能な様に構成されたｘｙ偏向電極間を
飛翔させ、電界の強度変化によって選択的に小滴を記録
部材上に付着させて記録を行うものである。

第２の方式は、例えば米国特許第３５９６２７５号明細
書、米国特許第３２９８０３０号明細書等に開示されて
いる方式（Ｓｗｅｅｔ方式）であって、連続振動発生法
１，３よって帯電量の制御された記録液体の小滴を発生
させ、二の発生された帯電量の制御された小滴を、−様
の電界が掛けられている偏向電極間を飛翔させることで
、記録部材上に記録を行うものである。

具体的には、ピエゾ振動素子の付設されている記録ヘッ
ドを構成する一部であるノズルのオリフ＝４− イス（吐出口）の前に記録信号が印加されている様に構
成した帯電電極を所定距離だけ離して配置し、前記ピエ
ゾ振動素子に一定周波数の電気信号を印加することでピ
エゾ振動素子を機械的に振動させ、前記吐出口より記録
液体の小滴を吐出させる。この時前記帯電電極によって
吐出する記録液体小滴には電荷が静電誘導され、小滴は
記録信号に応じた電荷量で帯電される。帯電量の制御さ
れた記録液体の小滴は、一定の電界が一様に掛けられて
いる偏向電極間を飛翔する時、付加された帯電量に応じ
て偏向を受け、記録信号を担う小滴のみが記録部材上に
付着し得る様にされている。

第３の方式は、例えば米国特許第３４１６１５３号明細
書に開示されている方式（Ｈｅｒｔｚ方式）であって、
ノズルとリング状の帯電電極間に電界を掛け、連続振動
発生法によって、記録液体の小滴を発生霧化させて記録
する方式である。即ちこの方式ではノズルと帯電電極間
に掛ける電界強度を記録信号に応じて変調することによ
って小滴の霧化状態を制御し、記録画像の階調性を出し
て記録する。

第４の方式は、例えば米国特許第３７４７１２０号明細
書に開示されている方式（Ｓｔｅｍｍｅ方式）で、この
方式は前記３つの方式とは根本的に原理が異なるもので
ある。

即ち、前記３つの方式は、何れもノズルより吐出された
記録液体の小滴を、飛翔している途中で電気的に制御し
、記録信号を担った小滴を選択的に記録部材上に付着さ
せて記録を行うのに対して、このＳｔｅｍｍｅ方式は、
記録信号に応じて吐出口より記録液体の小滴を吐出飛翔
させて記録するものである。

つまり、Ｓｔｅｍｍｅ方式は、記録液体を吐出する吐出
口を有する記録ヘッドに付設されているピエゾ振動素子
に、電気的な記録信号を印加し、この電気的記録信号を
ピエゾ振動素子の機械的振動に変え、該機械的振動に従
って前記吐出口より記録液体の小滴を吐出飛翔させて記
録部材に付着させることで記録を行うものである。

これ等、従来の４つの方式は各々に特長を有するもので
あるが、又、他方において解決され得る一 可き点が存在する。

即ち、前記第１から第３の方式は記録液体の・１滴の発
生の直接的エネルギーが電気的エネルギーであり、又、
小滴の偏向制御も電界制御で、））、、：、　。

その為、第１の方式は、構成上はシンプルであるが、小
滴の発生に高電圧を要し２、又、記録ヘッドのマルチノ
ズル化が困難であるので高速記録には不向きである。

第２の方式は、記録ヘッドのマルチノズル化が可能で高
速記録に向くが、構成上複雑であり、父記録液体小滴の
電気的制御が高度で困難であン）こと、記録部材上にサ
ナライ１−ドツ１−が生じ易いこと等の問題点がある。

第３の方式は、記録液体小滴を霧化することによって階
調性に優れた画像が記録され得る特長を有するが、他方
霧化状態の制御が困難であること、記録画像にカブリが
生ずること及び記録ヘッドのマルチノズル化が困難で、
高速記録には不向きであること等の諸問題点が存する。

第４の方式は、第１乃至第３の方式に比へ利点−７＝ を比較的多く有する。即ち、構成上シンプルであること
、オンデマンド（ｏｎ−ｄｅｍａｎｄ）で記録液体をノ
ズルの吐出口より吐出して記録を行う為に、第１乃牟第
３の方式の様に吐出飛翔する小滴の中、画像の記録に要
さなかった小滴を回収することが不要であること及び第
１乃至第２の方式の様に、導電性の記録液体を使用する
必要性がなく記録液体の物質上の自由度が大であること
等の大きな利点を有する。丙午ら、一方において、記録
ヘッドの加工上に問題があること、所望の共振数を有す
るピエゾ振動素子の小型化が極めて困難であること等の
理由から記録ヘッドのマルチノズル化が難しく、又、ピ
エゾ振動素子の機械的振動という機械的エネルギーによ
って記録液体小滴の吐出飛翔を行うので高速記録には向
かないこと、等の欠点を石する。

更には、特開昭４８−９６２２号公報（前記米国特許第
３７４７１２０号明細書に対応）には、変形例として、
前記のピエゾ振動素子等の手段による機械的振動エネル
ギーを利用する代わりに熱エネルギ−を利用することが
記載されている。

即ち、上記公報には、圧力上昇を生じさせる蒸気を発生
する為に液体を直接加熱する加熱コイルをピエゾ振動素
子の代りの圧力上昇手段として使用する所謂バブルジェ
ットの液体噴射記録装置が記載されている。

しかし、上記公報には、圧力上昇手段としての加熱コイ
ルに通電して液体インクが出入りし得る口が−っしかな
い袋状のインク室（液室）内の液体インクを直接加熱し
て蒸気化することが記載されているに過ぎず、連続繰返
し液吐出を行う場合は、どの様に加熱すれば良いかは、
何等示唆されるところがない。加えて、加熱コイルが設
けられている位置は、液体インクの供給路から遥かに遠
い袋状液室の最深部に設けられているので、ヘッド構造
上複雑であるに加えて、高速での連続繰返し使用には、
不向きとなっている。

しかも、上記公報に記載の技術内容からでは、実用上重
要である発生する熱で液吐出を行った後に次の液吐出の
準備状態を速やかに形成することは出来ない。

このように従来法には、構成上、高速記録化上、記録ヘ
ッドのマルチノズル化上、サテライトドツトの発生およ
び記録画像のカブリ発生等の点において一長一短があっ
て、その長所を利する用途にしか適用し得ないという制
約が存在していた。

また、特開昭５４−５１８３７号公報には、本出願人よ
り熱エネルギーを利用するいわゆるバブルジェットイン
クジェットの方式が提案されている。これはインクへの
エネルギー作用部を小さくでき、高密度配列が可能な優
れた方式である。この方式を具現化するための一例とし
て、たとえば、特開昭５５−２７２８１号公報が知られ
ている。

これには、超微細加工技術によってバブルジェットイン
クジエソ１−インクジェットのヘッドを製作する方法に
ついて記載されているものの、個々の吐出エレメントの
バラツキという概念はない。

方、特開昭６３−４９５５号公報では、バブルジエン１
〜インクジエツ１−ヘツドの電気熱変換素子大きさが、
エツチングによってバラツクためその不＝９ 具合いを解消するために、バラツク領域つまり、複数個
配列された電気熱全換気素子の両端をダミーヒーターと
して扱い、実際には使用しないことが開示されている。

これにいたって、はじめて、量産向けのヘッドを製作す
るにはどうしたらよいかという概念が示されたわけであ
り、それは、従来の単に実験室レベルの原理的記載のみ
しかなかった発明に比べて、格段の進歩を示したといえ
る。

しかしながら、特開昭６３−４９５５号公報においても
、単にダミーヒーターを、実際に使用するヒーターの両
側に設けるという概念を示したにすぎず、具体的にどの
位のダミーヒーターを設ければよいのかというところま
で考えられておらず、このままでは、真に量産向けのヘ
ッドをバラツキのない高い歩留まりで製造することはで
きない。

目　　　　　的 本発明は、」二連のごとき欠点を解決するためになされ
たもので、吐出性能のバラツキが許容される範囲を具体
的に示し、真に量産向けのヘッドを歩留まりで製造する
方法をともなう液体噴射記録ヘッドを提案することであ
り、また、吐出性能のバラツキが許容される範囲内にヘ
ッドの電気熱変換体のバラツキをおさえ、高画質の印写
を得るようにした液体噴射記録ヘッドを提供することを
目的としてなされたものである。

購−一−−−成５ 本発明は、ト記目的を達成するために、記録液体を吐出
して飛翔液滴を形成するための吐出口と、該吐出１コに
前記記録液体を導くための液路と、前記記録液体にエネ
ルギーを作用させるためのエネルギー作用部とを有する
液体噴射記録ヘッドにおいて、前記エネルギー作用部は
複数個配列され、該複数個のうち、実際に記録液体吐出
に使用されるのは、両端の数個〜数１０個をのぞいた中
央付近のエネルギー作用部である液体噴射記録ヘッドで
あって、前記中央付近のエネルギー作用部の領域の配列
方向の長さをＤｕ、吐出に使用しないエネルギー作用部
領域の片側だけの配列方向の長さをＤｄとする時、 Ｄｄ≧０．０２７９Ｄｕ＋０．５４８ を満足し、かつ、前記エネルギー作用部がフォトファブ
リケーションによって形成されること、或いは、記録液
体を吐出して飛翔液滴を形成するための吐出口と、該吐
出口に前記記録液体を導くための液路と、前記記録液体
にエネルギーを作用させるためのエネルギー作用部とを
有する液体噴射記録ヘッドにおいて、前記エネルギー作
用部は、フォトファブリケーションによって複数個配列
形成され、前記配列形成されたエネルギー作用部の両端
に前記フォトファブリケーションによって、前エネルギ
ー作用部と少なくとも一部は同一の層を有する領域を形
成してなり、前記エネルギー作用部の領域の配列方向の
長さをＤｕ、前記少なくとも一部は同一の層を有する領
域の片側だけの前記エネルギー作用部の配列方向の長さ
をＤｄとする時、 Ｄｄ≧０　、０２７９　Ｄ　ｕ　＋　０　、５４８を満
足することを特徴としたものである。

最初に第２図に基づいてバブルジェットによるインク噴
射の原理について説明する。図中、２１は蓋基板、２２
は発熱体基板、２７は選択（独立）電極、２８共通電極
、２９は発熱体（ヒーター）、３ｏはインク、３１は気
泡、３２は飛翔インク滴である。

（ａ）は定常状態であり、オリフィス面でインク３０の
表面張力と外圧とが平衡状態にある。

（ｂ）はヒータ２９が加熱されて、ヒータ２９の表面温
度が急上昇し隣接インク層に沸Ｂ現像が起きるまで加熱
され、微小気泡３１、が点在している状態にある。

（ｃ）はヒータ２９の全面で急激に加熱された隣接イン
ク層が瞬時に気化し、沸騰膜を作り、この気泡３１が生
長した状態である。この時、ノズル内の圧力は、気泡の
生長した分だけ上昇し、オリフィス面での外圧とのバラ
ンスがくずれ、オリフィスよりインク柱が生長し始める
。

（ｄ）は気泡が最大に生長した状態であり、オリフィス
面より気泡の体積に相当する分のインク３０が押し出さ
れる。この時、ヒータ２９には電流が流れていない状態
にあり、ヒータ２９の表面温度は降下しつつある。気泡
３１の体積の最大値は電気パルス印加のタイミングから
ややおくれる。

（ｅ）は気泡３１がインクなどにより冷却されて収縮を
開始し始めた状態を示す。インク柱の先端部では押し出
された速度を保ちつつ前進し、後端部では気泡の収縮に
伴ってノズル内圧の減少によりオリフィス面からノズル
内へインクが逆流してインク柱にくびれが生じている。

（ｆ）はさらに気泡３１が収縮し、ヒータ面にインクが
接しヒータ面がさらに急激に冷却される状態にある。オ
リフィス面では、外圧がノズル内圧より高い状態になる
ためメニスカスが大きくノズル内に入り込んで来ている
。インク柱の先端部は液滴になり記録紙の方向へ５〜１
０　ｍ　／　ｓｅｃの速度で飛翔している。

（ｇ）はオリフィスにインクが毛細管現象により再び供
給（リフイノｋ）されて（ａ）の状態にもどる過程で、
気泡は完全に消滅している。３２は飛翔インク滴である
。

第３図は、バブルジェット記録ヘラＩくの斜視図、第４
図は、記録ヘッドの分解構成図で（、）は蓋基板、（ｂ
）は発熱体基板を示す図、第５図は、第４図（ａ）に示
した蓋基板の裏面図である。

図中、２３は記録液体流入口、２４はオリフィス、２５
は流路、２６は液室を形成するための領域である。

第３図〜第５図はバブルジェットの概念を示すための簡
略図で、オリフィスの数（＝発熱体の数）を４個で示し
て説明したが、実際には、これは、プリンターの用途に
よってかわり得るが、２０〜１０００個、あるいは、そ
れ以上使用する。そして、それら複数個の発熱体基板上
に形成する好適な方法は、いわゆる半導体製造プロセス
で使用されるフォトファブリケーションである。このフ
ォトファブリケーションとは、蒸着、スパッタリング等
の薄膜形成技術及びそれらをフォトリソグラフィー及び
フカ＋−エツチングあるいはリフトオフ等の技術で微細
パターンにする技術をいい、ＬＳＩウェハチップ、サー
マルヘッドあるいは本発明で説明しようとしているとこ
ろのバブルジェットヘッドの発熱体基板形成に使用され
る。次に本発明が適用されるバブルジェットヘッドの発
熱体基板の形成法について説明する。

まず、Ｓｉウェハの表面に熱酸化により５μｍ厚の５ｊ
−０２膜を形成する。更にスパッタ法により発熱抵抗層
としてＨｆＢ２を１５００人の厚さにスパッタリングし
、続いて電子ビーム蒸着しこよりへ〇、層５０００人を
集積する。

次に、フォ１−リングラフイエ程により、所望の発熱体
形状および電極形状が得られるようにパターン形成する
。次に５ｉ０２層をハイレートスパッタリングにより２
．５μｍ集積させる。

その後、Ｔａリフトオフ用レジストとして、例えば日立
化成製のＰＩＱの如きポリイミド膜を３μｍパターンニ
ングし、ＤＣスパッタによりＴａ膜を１．ｏｔＬｒｎに
形成する。このＴａ膜形成後、ＰＩＱ膜を剥離して所望
のＴａ膜のパターンを得て基板作成を終了する。

この発熱体基板を製作するフォトファブリケーションに
おいては、フォトレジストを現像する時の現像液の循環
不良、あるいは現像の進行スピードが、パターンが多く
あられれるところ（たとえば、本発明でいうならば、複
数個発熱体が配列されているところの中央の領域）とパ
ターンが片側しかないところ（たとえば本発明でいうな
らば、複数個発熱体が配列されているところの両端部）
では異なることによりフオトレジス１−パターン巾が不
均一になること、及びその不均一なフォトレジスターを
マスカン１−とじて、その後エツチングすることによっ
てフォトレジストパターン巾の不均一がそのままその下
の薄膜のパターンに反映されて、たとえば、薄膜で形成
された、発熱体の大きさが複数個配列されているうちの
中央部領域の発熱体と、両端部発熱体とで異なるという
問題点がある。又、仮に何らかの手段を用いて（たとえ
ば、フォトマスクパターンｄ１を中央部と両端部で、少
しかえて現像時のバラツキを補償することも可能である
が）、フォトレジストの現像後のパターン１コを均一に
形成することができたとしても、その後のエツチング液
の循環不良、あるいはエッチ＝１７ ングの進行スピードが」二連の現像の進行スピードと同
様に、パターンが多くあるところと、パターンが片側し
かないところでは異なることにより、たとえば、発熱体
のパターンｌＪが不均一になるという問題点がある。こ
のような問題点に鑑み、その解決のための概念を示した
特開昭６３−４９５５号公報は優れた発明といえる。し
かしながら、より具体的にどの位ダミーヒータを設けれ
ばよいかという記載がないため、このままでは、実際に
量産向けのヘッドをバラツキなく供給することはできな
い。そこで、本発明者らは、その点に鑑み、膨大な量に
及ぶ実験、試作をくり返し、最適条件を定量的に明確に
し、バラツキのない量産向けのヘッドを製作できるよう
にしたものである。以下、本発明の実施例に基づいて説
明する。

第１図は、本発明による液体噴記録ヘッドの一実施例を
説明するたるめの構成図で、図中、１１はインク滴吐出
に使用するエネルギー作用部（ここでは発熱部）の領域
で、その配列方向の長さをＤｕとする。１２はインク滴
吐出に使用しないエネルギー作用部の領域、いいかえる
ならば、フォトエツチングによるパターンサイズのバラ
ツキを補償するために設けられたダミーヒータの領域で
あり、その配列方向の長さをＤｄとする。ＩＩＡは発熱
体、ＩＩＢは電極である。なお、Ｄｄは両側にあり、そ
の長さは常識的には等しくされが、必ずしも等しくする
必要はなく、もし、何らかの設計上の都合等で等しくし
ない場合には、短かい方のＤｄを本発明には適用した方
がよい。なお、Ｄｕ及びＤ’ｄの定義は、厳密に発熱体
１１Ａのパターンの端から測定された値ではなく、１つ
の吐出のためのエレメント（おりかえした電極１１Ｂも
含む）単位であり、従って、数μｍ〜数１０μｍの誤差
を含むものである。

第１表に試作品に対する評価結果を示す。

次に第６図〜第８図に本発明の他の実施例を示す。ここ
で、１０はインク滴吐出に使用するエネルギー作用部の
領域で、その配列方向の長さをＤｕとする。１１Ａは発
熱体、１３は電極である、４１．５１．６１は第１図の
場合と異なり、ダミーヒータとしての形状はとらず、イ
ンク滴吐出に使用するエネルギー作用部の領域１０と少
なくとも一部は同一の層を有する領域で、たとえば発熱
体１１と同一の層とした領域であり、その長さ（ここで
は、エネルギー作用部が配列されている方向の長さ）を
Ｄｄとする。

第２表にこのようなパターンをエネルギー作用部の両端
に設けて試作、評価した結果を示す。なお、ここで実際
に試作したのは第６図のタイプのもので第７図、第８図
は、このような例も考えられるということで示したもの
である。

以上の試作、評価、検討結果から、本発明者らは、フォ
トファブケーションにより、このようなエネルギー作用
部を形成し、インクジェットヘッドをその吐出性能のバ
ラツキが許容される範囲内におさまるには、ダミーヒー
ターもしくは、それと相当する領域を設ければよいこと
を見いだした。

しかしながら、ダミーヒーターもしくは、それと相当す
る領域は少なすぎては効果はなく、又、無制限に設けて
も、コストがかさむだけである。本発明者らは、上記結
果から吐出に使用するエネルギー作用部の領域の配列方
向の長さＤｕと、吐出に使用しないエネルギー作用部の
領域の片側だけの配列方向の長さ、あるいは、エネルギ
ー作用部と少なくも一部は同一の層を有する領域を形成
してなる。エネルギー作用部の領域の配列方向の長さＤ
ｄとが、以下の条件を満たすように、エネルギー作用部
及び、ダミーヒーターもしくはダミーヒーター相当部が
レイアウトされるならば、その完成したヘッドは、イン
ク滴噴射速度のバラツキが小さく、高画像品質の印字が
得られることを見いだした。すなわち、 Ｄｄ≧０．０２７９Ｄｕ＋０．５４８ を満足するようにヘッドを設計することにより、バラツ
キの少ない、高品質の量産に適したヘッドが得られるわ
けである。

なお、この実験式は、吐出に使用されるエネルギー作用
部の領域が３．３ｍｎ〜４．３ｍｎの領域で、又そのエ
レメントの配列密度力、２００〜８００ｄｐｊにおいて
、好適に適用されることもつけ加えておく、 勲−一一限 以上の説明から明らかなように、本発明によると、ダミ
ーヒータを設ける条件を最適化することにより最も生産
効率のよい、しかもバラツキの少ない高性能ヘッドを量
産できるようになった。又、そのヘッドを使用すること
により、非常に高画質の印字ができろうになった（請求
項１に対応）。

また、必ずしも、吐出に使用するエネルギー作用部と同
一形状とする必要がないので、フォトマスクが簡略化さ
れ低コス１−でできる。ダミーヒータ相当領域を、ある
条件（本発明の実験式）で設けることによる生産効率的
効果、あるいは高性能ヘッドが量産できるようになった
こと、及びそれを用いて高画質の印字ができるようにな
った点については、請求項１に対応する作用効果と同じ
である（請求項２に対応）。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明による液体噴射記録ヘッドの一実施例
を説明するための構成図、第２図は、記録ヘッドのバブ
ルジェットインクの吐出を気泡発生、消滅を説明するた
めの原理図、第３図は、記録ヘッドの斜視図、第４図は
、記録ヘッドの分解構成図で、（ａ）図は蓋基板、（ｂ
）図は発熱体基板を示す図、第５図は、記録ヘッドの蓋
基板の裏面図、第６図〜第８図は、本発明による液体噴
射記録ヘッドの他の実施例を示す図である。 １０・・・エネルギー作用部、１１・・インク滴吐出に
使用するエネルギー作用部の領域、■ＬＡ・・・発熱体
（ヒータ）、１２・・・インク滴吐出に使用しないエネ
ルギー作用部の領域、ＩＩＢ、１３・・電極、４．１，
５１．６１・・・エネルギー作用部。 特許出願人　　株式会社　リ　コ

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、記録液体を吐出して飛翔液滴を形成するための吐出
   口と、該吐出口に前記記録液体を導くための液路と、前
   記記録液体にエネルギーを作用させるためのエネルギー
   作用部とを有する液体噴射記録ヘッドにおいて、前記エ
   ネルギー作用部は複数個配列され、該複数個のうち、実
   際に記録液体吐出に使用されるのは、両端の数個〜数１
   ０個をのぞいた中央付近のエネルギー作用部である液体
   噴射記録ヘッドであって、前記中央付近のエネルギー作
   用部の領域の配列方向の長さをＤｕ、吐出に使用しない
   エネルギー作用部領域の片側だけの配列方向の長さをＤ
   ｄとする時、 Ｄｄ≧０．０２７９Ｄｕ＋０．５４８ を満足し、かつ、前記エネルギー作用部がフォトファブ
   リケーションによって形成されることを特徴とする液体
   噴射記録ヘッド。 ２、記録液体を吐出して飛翔液滴を形成するための吐出
   口と、該吐出口に前記記録液体を導くための液路と、前
   記記録液体にエネルギーを作用させるためのエネルギー
   作用部とを有する液体噴射記録ヘッドにおいて、前記エ
   ネルギー作用部は、フォトファブリケーションによって
   複数個配列形成され、前記配列形成されたエネルギー作
   用部の両端に前記フォトファブリケーションによって、
   前エネルギー作用部と少なくとも一部は同一の層を有す
   る領域を形成してなり、前記エネルギー作用部の領域の
   配列方向の長さをＤｕ、前記少なくとも一部は同一の層
   を有する領域の片側だけの前記エネルギー作用部の配列
   方向の長さをＤｄとする時、 Ｄｄ≧０．０２７９Ｄｕ＋０．５４８ を満足することを特徴とする液体噴射記録ヘッド。