JPH02283453A - 液体噴射記録装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 筑監分災 本発明は、液体噴射記録装置に関し、より詳細には、バ
ブルジェットプリンタのヘッド部に関する。

従ｍ罷 ノンインパクト記録法は、記録時における騒音の発生が
無視し得る程度に極めて小さいという点において、最近
関心を集めている。その中で、高速記録が可能であり、
而も所謂普通紙に特別の定着処理を必要とせずに記録の
行える所謂インクジェット記録法は極めて有力な記録法
であって、これまでにも様々な方式が提案され、改良が
加えられて商品化されたものもあれば、現在もなお実用
化への努力が続けられているものもある。

この様なインクジェット記録法は、所謂インクと称され
る記録液体の小滴（ｄｒｏｐｌｅｔ）を飛翔させ、記録
部材に付着させて記録を行うものであって、この記録液
体の小滴の発生法及び発生された記録液小滴の飛翔方向
を制御する為の制御方法によって幾つかの方式に大別さ
れる。

先ず第１の方式は、例えば米国特許第３０６０４２９号
明細書に開示されているもの（Ｔｅｌｅｔｙｐｅ方式）
であって、記録液体の小滴の発生を静電吸引的に行い、
発生した記録液体小滴を記録信号に応じて電界制御し、
記録部材上に記録液体小滴を選択的に付着させて記録を
行うものである。

これに就いて、更に詳述すれば、ノズルと加速電極間に
電界を掛けて、−様に帯電した記録液体の小滴をノズル
より吐出させ、該吐出した記録液体の小滴を記録信号に
応じて電気制御可能な様に構成されたｘｙ偏向電極間を
飛翔させ、電界の強度変化によって選択的に小滴を記録
部材上に付着させて記録を行うものである。

第２の方式は、例えば米国特許第３５９６２７５号明細
書、米国特許第３２９８０３０号明細書等に開示されて
いる方式（Ｓｗｅｅｔ方式）であって、連続振動発生法
によって帯電量の制御された記録液体の小滴を発生させ
、この発生された帯電量の制御された小滴を、−様の電
界が掛けられている偏向電極間を飛翔させることで、記
録部材上に記録を行うものである。

具体的には、ピエゾ振動素子の付設されている記録ヘッ
ドを構成する一部であるノズルのオリフィス（吐出口）
の前に記録信号が印加されている様に構成した帯電電極
を所定距離だけ離して配置し、前記ピエゾ振動素子に一
定周波数の電気信号を印加することでピエゾ振動素子を
機械的に振動させ、前記吐出口より記録液体の小滴を吐
出させる。この時前記帯電電極によって吐出する記録液
体小滴には電荷が静電誘導され、小滴は記録信号に応じ
た電荷量で帯電される。帯電量の制御された記録液体の
小滴は、一定の電界が一様に掛けられている偏向電極間
を飛翔する時、付加された帯電量に応じて偏向を受け、
記録信号を担う小滴のみが記録部材上に付着し得る様に
されている。

第３の方式は、例えば米国特許第３４１６１５３号明細
書に開示されている方式（Ｈｅｒｔｚ方式）であって、
ノズルとリング状の帯電電極間に電界を掛け、連続振動
発生法によって、記録液体の小滴を発生霧化させて記録
する方式である。即ちこの方式ではノズルと帯電電極間
に掛ける電界強度を記録信号に応じて変調することによ
って小滴の霧化状態を制御し、記録画像の階調性を出し
て記録する。

第４の方式は、例えば米国特許第３７４７１２０号明細
書に開示されている方式（Ｓｔｅｍｍｅ方式）で、この
方式は前記３つの方式とは根本的に原理が異なるもので
ある。

即ち、前記３つの方式は、何れもノズルより吐出された
記録液体の小滴を、飛翔している途中で電気的に制御し
、記録信号を担った小滴を選択的に記録部材上に付着さ
せて記録を行うのに対して、このＳｔｅｍｍｅ方式は、
記録信号に応じて吐出口より記録液体の小滴を吐出飛翔
させて記録するものである。

つまり、Ｓｔｅｍｍｅ方式は、記録液体を吐出する吐出
口を有する記録ヘッドに付設されているピエゾ振動素子
に、電気的な記録信号を印加し、この電気的記録信号を
ピエゾ振動素子の機械的振動に変え、該機械的振動に従
って前記吐出口より記録液体の小滴を吐出飛翔させて記
録部材に付着させることで記録を行うものである。

これ等、従来の４つの方式は各々に特長を有するもので
あるが、又、他方において解決され得る可き点が存在す
る。

即ち、前記第１から第３の方式は記録液体の小滴の発生
の直接的エネルギーが電気的エネルギーであり、又、小
滴の偏向制御も電界制御である。

その為、第１の方式は、構成上はシンプルであるが、小
滴の発生に高電圧を要し、又、記録ヘッドのマルチノズ
ル化が困難であるので高速記録には不向きである。

第２の方式は、記録ヘッドのマルチノズル化が可能で高
速記録に向くが、構成上複雑であり、又記録液体小滴の
電気的制御が高度で困難であること、記録部材上にサテ
ライトドツトが生じ易いこと等の問題点がある。

第３の方式は、記録液体小滴を霧化することによって階
調性に優れた画像が記録され得る特長を有するが、他方
霧化状態の制御が困難であること、記録画像にカブリが
生ずること及び記録ヘッドのマルチノズル化が困難で、
高速記録には不向きであること等の諸問題点が存する。

第４の方式は、第１乃至第３の方式に比べ利点を比較的
多く有する。即ち、構成上シンプルであること、オンデ
マンド（ｏｎ−ｄｅｍａｎｄ）で記録液体をノズルの吐
出口より吐出して記録を行う為に、第１乃至第３の方式
の様に吐出飛翔する小滴の中、画像の記録に要さなかっ
た小滴を回収することか不要であること及び第１乃至第
２の方式の様に、導電性の記録液体を使用する必要性が
なく記録液体の物質上の自由度が大であること等の大き
な利点を有する。面乍ら、一方において、記録ヘッドの
加工上に問題があること、所望の共振数を有するピエゾ
振動素子の小型化が極めて困難であること等の理由から
記録ヘッドのマルチノズル化が難しく、又、ピエゾ振動
素子の機械的振動という機械的エネルギーによって記録
液体小滴の吐出飛翔を行うので高速記録には向かないこ
と、等の欠点を有する。

更には、特開昭４８−９６２２号公報（前記米国特許第
３７４７１２０号明細書に対応）には、変形例として、
前記のピエゾ振動素子等の手段による機械的振動エネル
ギーを利用する代わりに熱エネルギーを利用することが
記載されている。

即ち、上記公報には、圧力上昇を生じさせる蒸気を発生
する為に液体を直接加熱する加熱コイルをピエゾ振動素
子の代りの圧力上昇手段として使用する所謂バブルジェ
ットの液体噴射記録装置が記載されている。

しかし、上記公報には、圧力上昇手段としての加熱コイ
ルに通電して液体インクが出入りし得る口が一つしかな
い袋状のインク室（液室）内の液体インクを直接加熱し
て蒸気化することが記載されているに過ぎず、連続繰返
し液吐出を行う場合には、どの様に加熱すれば良いかは
、何等示唆されるところがない。加えて、加熱コイルが
設けられている位置は、液体インクの供給路から遥かに
遠い袋状液室の最深部に設けられているので、ヘッド構
造上複雑であるに加えて、高速での連続繰返し使用には
、不向きとなっている。

しかも、上記公報に記載の技術内容からでは、実用」二
重要である発生する熱で液吐出を行った後に次の液吐出
の準備状態を速やかに形成することは出来ない。

このように従来法には、構成上、高速記録化上、記録ヘ
ッドのマルチノズル化上、サテライトドツトの発生およ
び記録画像のカブリ発生等の点において一長一短があっ
て、その長所を利する用途にしか適用し得ないという制
約が存在していた。

特公昭６２−５９６７２号公報には、インク流路がオリ
フィス部とインク吐出部と作用部とインク供給路部とで
構成されているインクジェット記録ヘッドにおいて、感
光性樹脂の硬化層で形成されたインク流路溝に沿って、
液体を吐出するための能動素子が設けられている基体の
前記インク流路溝上に蓋部材を設けることでインク流路
を形成する方法が開示されている。

また特公昭６３−６３５７号公報には、熱エネルギーの
作用によって液体を吐出させるインクジェット記録装置
において、凹部が形成された熱作用部を有し、吐出方向
に平行な軸上のベクトルと該ベクトル又はその延長線が
発熱体の発熱面と交差する点を通る発熱面に対する垂直
線上のペクトルとで形成される夾角ψが４５°以下であ
ることが開示されている。

また特開昭５８−８６５８号公報には、熱エネルギーの
作用によって液体を吐出させるインクジェット記録装置
において、液体の流れる方向の終端に吐出口を有し、途
中において曲折されている液流路の壁面の主要部分を感
光性樹脂を硬化させて形成したことが開示されている。

さらに、特開昭５９−１３８４６０号公報には、熱エネ
ルギーを利用する液体噴射記録装置に関して、隣接する
熱作用面間及び／又は吐出口間を隔離する隔離壁が、熱
作用面の近傍の液流路幅を一定にしないような形状で設
置されることが開示されている。

前述の特公昭６２−５９６７２号公報に記載された発明
は、インク流路を形成する方法として感光性樹脂の硬化
層を用いているので高密度微細加工が容易となり歩留り
良く流路を形成することができ、非常に優れた技術であ
る。本発明もこの技術を用いることでより簡単に作製す
ることができ、大量生産においても歩留り良く、低コス
ト化が計れる。

また、前述の特公昭６３−６３５７号公報に記載された
発明の主たる目的は、吐出効率、吐出応答性或いは吐出
安定性、長時間連続記録性の向上にあり、高密度マルチ
オリフィス化にも対応できる。しかしながら、供給流路
プレート、吐出流路プレート、及び吐出オリフィス板を
必要とし部品数が多くなる。従って、工程数が増え、高
密度化（例えば１６本／ｍｍより高密）されたマルチオ
リフィスを製作するには、それぞれの位置決めが困難で
ある。さらに、供給流路プレート及び吐出プレートを同
一部材とする場合は、エツチングや電子ビーム加工或い
はレーザー加工等の技術を必要とするので、エツチング
率の差からくる液流路の歪や流路内壁面の荒れ等の問題
があり、流路抵抗の一定した液流路が得難く、インク吐
出特性にバラツキが出易く、製造工程も多くなるので量
産に不向きであった。

また、特開昭５８−８６５８号公報に記載された発明は
、上記欠点を解決するために流路の壁面の主要部分を感
光性樹脂を硬化させて形成することを特徴としたもので
ある。しかし、インク流路溝と吐出口の両者を感光性樹
脂で形成するため、樹脂と樹脂を接合しなければならな
い。したがって樹脂と樹脂を接合するときにドライフィ
ルムフォトレジストのラミネート圧が大きすぎるとダレ
が生じ、小さすぎると密着性が悪くなるという問題点が
生じる。これは、インク吐出特性に悪影響を与え、量産
した場合には、バラツキも出易すくなる。

上記、特公昭６３−６３５７号公報及び特開昭５８−８
６５８号公報に記載されたヘッド構造は、吐出口に連通
ずる流路が基板の厚み方向に屈折し、発熱抵抗体の発熱
面が吐出オリフィス方向に向いている、いわゆるサイド
シュータ−型ヘッドである。一方、本発明による流路は
基板上の同一平面内におけるものであるので、そのヘッ
ド構造はサイドシュータ−型と基本的に異なる構造のも
のであり、サイドシュータ−型にくらべてその製造力法
は著しく簡単なものである。

また、特開昭５９−１３８４６０号公報に記載された発
明は、記録信号に対する応答の忠実性や確実性および耐
久性を向上させるためのものであり、構成上は本発明と
類似する点が見られるが、ねらいとするところは全く異
なるものである。

且−一双 本発明は、上述のごとき実情に鑑みてなされたもので、
吐出効率や吐出安定性の向上、さらには低コストで量産
性のある液体噴射記録装置を提供することを目的として
なされたものである。

隻−一双 本発明は、上記目的を達成するために、導入される記録
液体を収容するとともに、該記録液体に熱によって気泡
を発生させ、該気泡の体積増加にともなう作用力を発生
させる熱エネルギー作用部を付設した流路と該流路に連
絡して前記記録液体を前記作用力によって液滴として吐
出させるためのオリフィスと、前記流路に連絡して前記
流路に前記記録液体を導入するための液室と、前記液室
に記録液体を導入する導入手段とよりなる液体噴射記録
装置において、前記オリフィスから液室までの流路の中
心線が少なくとも一部で曲がっていることを特徴とした
ものである。以下、本発明の実施例に基づいて説明する
。

最初に、第２図に基づいてバブルジエツ１〜によるイン
ク噴射の原理について説明すると、（、）は定常状態で
あり、オリフィス面でインク３０の表面張力と外圧とが
平衡状態にある。

（ｂ）はヒータ２９が加熱されて、ヒータ２９の表面温
度が急上昇し隣接インク層に沸騰現象が起きるまで加熱
され、微小気泡３１が点在している状態にある。

（Ｑ）はヒータ２９の全面で急激に加熱された隣接イン
ク層が瞬時に気化し、沸騰膜を作り、この気泡３１が生
長した状態である。この時、ノズル内の圧力は、気泡の
生長した分だけ上昇し、オリフィス面での外圧とのバラ
ンスがくずれ、オリフィスよりインク柱が生長し始める
。

（ｄ）は気泡が最大に生長した状態であり、オリフィス
面より気泡の体積に相当する分のインク３０が押し出さ
れる。この時、ヒータ２９には電流が流れていない状態
にあり、ヒータ２９の表面温度は降下しつつある。気泡
３１の体積の最大値は電気パルス印加のタイミングから
ややおくれる。

（ｅ）は気泡３１がインクなどにより冷却されて収縮を
開始し始めた状態を示す。インク柱の先端部では押し出
された速度を保ちつつ前進し、後端部では気泡の収縮に
伴ってノズル内圧の減少によりオリフィス面からノズル
内へインクが逆流してインク柱にくびれが生じている。

（ｆ）はさらに気泡３１が収縮し、ヒータ面にインクが
接しヒータ面がさらに急激に冷却される状態にある。オ
リフィス面では、外圧がノズル内圧より高い状態になる
ためメニスカスが大きくノズル内に入り込んで来ている
。インク柱の先端部は液滴になり記録紙の方向へ５〜１
０　ｍ　／　ｓｅｅの速度で飛翔している。

（ｇ）はオリフィスにインクが毛細管現象により再び供
給（リフィル）されて（ａ）の状態にもどる過程で、気
泡は完全に消滅している。３２は飛翔インク滴である。

ここで、第２図中（Ｃ）から（ｄ）、すなわち気泡が生
長し始めてから最大に達するまでの間、気泡の発生及び
生長にともなって発生する圧力波の進行は、ノズル内の
オリフィス方向のみならず、インク供給側方向さらには
流路方向へも進行する。

本発明は、この圧力波に着目して圧力波が効率よくノズ
ルのオリフィス方向へ進行するように流路を形成させる
ものである。

第３図は、バブルジェット記録ヘッドの斜視図、第４図
は、記録ヘッドの分解構成図で、（、）は蓋基板、（ｂ
）は発熱体基板を示す図、第５図は、第４図（ａ）に示
した蓋基板の裏面図である。図中、２１は蓋基板、２２
は発熱体基板、２３は記録液体流入口、２４はオリフィ
ス、２５は流路、２６は液室を形成するための領域、２
７は個別（独立）電極、２８は共通電極、２９は発熱体
（ヒータ）である。

第１図は、本発明による液体噴射記録装置のへラド部の
一実施例を説明するための構成図で、（ａ）はＬ字形に
曲がった流路を示すもので、（ｂ）は流路の配列幅を最
小限にしたものである。

図中、１０は発熱抵抗体、１１．１２は流路、１３はオ
リフィス、１４は流路壁（図中の斜線部分）である。

オリフィス１３から発熱抵抗体１０の後部までの流路１
１と流室に連絡するＬ字形に曲った流路１２とで構成さ
れている。したがって、発熱抵抗体１０の後部は流路壁
１４となっているので、従来インク供給側、すなわち液
室方向へ圧力波が逃げていたものが壁に反射してオリフ
ィス方向へ進行するので、圧力波の損失が減少し、効率
良くインクを吐出させる−ことができる。

また、発熱抵抗体の後端と流路壁１４との距離ｄを変化
させることで、反射する圧力波の時間遅れを調整するこ
とができるので、気泡収縮時に発生する負圧によって生
ずる気泡吸込みの防止や、吐出されたインク柱のくびれ
のでき方が調整でき、距離ｄを最適に選ぶことで安定し
たインクを吐出させることができる。

さらに、液室側からの流路１２は発熱抵抗体１０に至る
までＬ字形に曲がっているので、隣接流路間に生ずる相
互干渉も防止できる。

さらに第１図（ｂ）の構造にすることにより、より高密
化（例えば、１６本／ｍｍより高密）にノズルを配列す
ることが可能である。

次に、第６図に基づいて、本発明を用いた液体噴射記録
装置のヘッド部の製造方法について述べる。

この第６図は、バブルジェット液体噴射記録ヘッドの部
分図で、（ａ）はオリフィス側から見た正面部分図、（
ｂ）は（ａ）の−点鎖線ｘ−ｘの切断部分図である。

これらの図に示された記録ヘッド４１は、その表面に電
気熱変換体４２が設けられている基板４３上に、所定の
線密度で所定の巾と深さの溝が所定数設けられている溝
付板４４を該基板４３を覆うように接合することによっ
て、液体を飛翔させるためのオリフィス４５を含む液吐
出部４６が形成された構造を有している。

液吐出部４６は、オリフィス４５と電気熱変換体４２よ
り発生される熱エネルギーが液体に作用して気泡を発生
させ、その体積の膨張と収縮による急激な状態変化を引
き起こすところである熱作用部４７とを有する。

熱作用部４７は、電気熱変換体４２の熱発生部４８の上
部に位置し、熱発生部４８の液体と接触する面としての
熱作用面４９をその底面としている。熱発生部４８は、
基体４３上に設けられた下部層５０、該下部層５０上に
設けられた発熱抵抗層５１、該発熱抵抗層５１上に設け
られた上部層５２とで構成される。

発熱抵抗層５１には、熱を発生させるために該発熱抵抗
層５１に通電するための電極５３．５４がその表面に設
けられており、これらの電極間の発熱抵抗層によって熱
発生部４８が形成されている。

電極５３は、各液吐出部の熱発生部に共通の電極であり
、電極５４は、各液吐出部の熱発生部を選択して発熱さ
せるための選択電極であって、液吐出部の液流路に沿っ
て設けられている。

上部層５２は、発熱抵抗層５１を使用する液体から化学
的、物理的に保護するために発熱抵抗層５１と液吐出部
４６にある液体とを隔絶すると共に、液体を通じて電極
５３．５４間が短絡するのを防止する発熱抵抗層５１の
保護的機能を有している。

上部層５２は、上記の様な機能を有するものであるが、
発熱抵抗層５１が耐液性であり、且つ液体を通じて電極
５３．５４間が電気的に短絡する必要が全くない場合に
は、必ずしも設ける必要はなく、発熱抵抗層５１の表面
に直ちに液体が接触する構造の電気熱変換体として設計
しても良い。

下部層５０は、次に熱流量制御機能を有する即ち、液滴
吐出の際には、発熱抵抗層５１で発生する熱が基板４３
側の方に伝導するよりも、熱作用部４７側の方に伝導す
る割合が出来る限り多くなり、液滴吐出後、つまり発熱
抵抗層５１への通電がＯＦＦされた後には、熱作用部４
７及び熱発生部４８にある熱が速やかに基板４３側に放
出されて、熱作用部４７にある液体及び発生した気泡が
急冷される為に設けられる。

発熱抵抗層５１を構成する材料として、有用なものには
、たとえば、タンタル−３ｉＯ□の混合物、窒化タンタ
ル、ニクロム、銀−パラジウム合金、シリコン半導体、
あるいはハフニウム、ランタン、ジルコニウム、チタン
、タンタル、タングステン、モリブデン、ニオブ、クロ
ム、バナジウム等の金属の硼化物があげられる。

これらの発熱抵抗層５１を構成する材料の中、殊に金属
硼化物が優れたものとしてあげることができ、その中で
も最も特性の優れているのが、硼化ハフニウムであり、
次いで、硼化ジルコニウム、硼化ランタン、硼化タンタ
ル、硼化バナジウム、硼化ニオブの順となっている。

発熱抵抗層５１は、上記の材料を用いて、電子ビーム蒸
着やスパッタリング等の手法を用いて形成することがで
きる。発熱抵抗層５１の膜厚は、単位時間当りの発熱量
が所望通りとなるように、その面積、材質及び熱作用部
分の形状及び大きさ、更には実際面での消費電力等に従
って決定されるものであるが、通常の場合、０．００１
〜５μｍ、好適には０．０１〜１μｍとされる。

電極５３．５４を構成する材料としては、通常使用され
ている電極材料の多くのものが有効に使用され、具体的
には、たとえばＡＱ、Ａｇ、Ａｕ。

Ｐｔ、Ｃｕ等があげられ、これらを使用して蒸着等の手
法で所定位置に、所定の大きさ、形状、厚さで設けられ
る。

保護層５３に要求される特性は、発熱抵抗層５１で発生
された熱を記録液体に効果的に伝達することを妨げずに
、記録液体より発熱抵抗層５１を保護するということで
ある。保護層５３を構成する材料として有用なものには
、たとえば酸化シリコン、窒化シリコン、酸化マグネシ
ウム、酸化アルミニウム、酸化タンタル、酸化ジルコニ
ウム等があげられ、これらは、電子ビーム蒸着やスパッ
タリング等の手法を用いて形成することができる。保護
層５３の膜厚は、通常は０．０１〜１０μｍ、好適には
０．１〜５μｍ、最適には０．１〜３μｍとされるのが
望ましい。

第６図に示したような溝付板４４はガラス天板を直接エ
ツチングすることで所望のインク室及び流路を形成する
ことができる。

天板に感光性ガラスを用いる場合は、感光性ガラスを所
望のインク室流路のパターンに露光すると、感光部分だ
けでか乳白化される。この乳白ガラスの部分を薄い弗酸
によってエツチングすればよい。尚、天板は、上記ガラ
スに限らずセラミック、樹脂、あるいは金属でもかまわ
ないが、ヒーターボードとの接合のため、天板に接着性
のあるものが積層されているか又は天板そのものに接着
性のあるものが望ましい。

また、第７図に示すように感光性ドライフィルムを用い
て以下のように製作することができる。

図中、６１は基板、６２は発熱抵抗体、６３は保護膜、
６４は感光性ドライフィルム、６５は天板。

６６は接着層、６７は流路である。

ヒーターボード（基板）６１上に感光性ドライフィルム
６４をラミネートし、所望の流路及びインク液室が得ら
れるようにパターニングされたマスクを重ね、この上か
ら露光する（第７図ａ。

ｂ）。感光性ドライフィルム６４は、露光された部分が
光重合反応を起こし硬化される。したがって、露光後に
現像を行なうと、露光されなかった部分は溶解除去され
、流路壁６４ｐを形成することができる（第７図Ｃ）。

次に、ガラス天板６５と接着層６６を介して接合する。

このガラス天板６５には、インク室（図示せず）に対応
する部分に堀込みがなされ、インク室へインクを供給す
るための供給口の加工がなされている（第７図ｄ）。

また、インク室及び流路の壁を形成する際は、上記のよ
うにノズル基板側に感光性ドライフィルムをラミネート
するのでなく、ガラス天板側にラミネートしてつくるこ
ともできる。

本発明者らは、上記製作方法に基づき、第８図により以
下のような実験を行なった。すなわち第８図は、本発明
による記録ヘッドの熱作用部の構成図で、図中、１０１
はＳｉ基板、１０２は下部層、１０３は発熱抵抗層、１
０４は電極、１０５は第１の保護層、１０６は第２の保
護層、１０７は樹脂層、１０８は熱作用面である。

Ｓｉ基板１０１上に下部層１０２としてＳｊ、０２を５
μｍの厚さでスパッタリングした後、フォトリソ技術、
エツチング技術、スパッタリング技術等を利用し、発熱
抵抗Ｎ１０３として、Ｔａ・ＳｊＯ□を４００人、さら
に電極１０４　トＬ、テＡ　Ｑを５０００人の厚さで、
第９図においてａ＝１９μｍ、ｂ＝４０μｍの形状とし
た。

次に、第１の保護層１０５として、ＳｉＣ２を５０００
人の厚さでスパッタリングし、さらに、第２の保護層１
０６として５１３Ｎ４を５０００人の厚さでスパッタリ
ングし、ＡＱが積層されているところのみにレジン（樹
脂）Ｍをパターニングしヒーターボードを形成した。

ヒーターボード上に感光性ドライフィルムをラミネート
し、所望のインク室及び第９図においてｃ＝１７μｍ、
ｄ＝３μｍの流路壁を第７図の製造方法によって形成す
る。次にガラス天板と接着層を介して接合する。この基
板をスライサーで切断することで吐出口を形成する。

このようにして製作した該吐出エレメントを用いて飛翔
インク液滴の吐出状態を測定したところ、隣接ノズルを
同時駆動しても相互干渉を起こさず安定した吐出が得ら
れた。

羞−一米 以上の説明から明らかなように、本発明によると以下の
ような効果がある。

（１）液室方向への圧力波の逃げが減少するので吐出効
率が向上し、低エネルギー化が計れる。

（２）隣接ノズル間の相互干渉を受けにくく、気泡吸い
込みを防止でき、かつ、安定したインク液を吐出するこ
とができるので、高画像品質を得ることができる。

（３）構造が簡単なので、従来の流路形成プロセスと全
く同じ工程で製作でき、ノズルの高密化（例えば１６本
／ｍｍより高密）及び量産化が可能である。

【図面の簡単な説明】

第１図（ａ）、（ｂ）は、本発明による液体噴射記録装
置のヘッド部の構成図、第２図は、記録ヘッドのインク
の吐出と気泡の発生・消滅を説明するための原理図、第
３図は、記録ヘッドの斜視図、第４図は、記録ヘッドの
分解構成図で、（ａ）は蓋基板、（ｂ）は発熱体基板を
示す図、第５図は、記録ヘッドの蓋基板の裏面図、第６
図は、記録ヘッドの部分図で、（ａ）はヘッドのオリフ
ィス側より見た正面部分図、（ｂ）は（ａ）のＸ−Ｘ線
切断部分図、第７図は、記録ヘッドの製作工程を説明す
るための図、第８図は、ヘッドの熱作用部の構成図、第
９図は、本発明による液体噴射記録装置のヘッド部の形
状寸法を示す図である。 １０・・・発熱抵抗体、１１．１２・・・流路、１３・
・・オリフィス、１４・・・流路壁。 特許出願人　　株式会社　リ　コ ７一 第 図 （ａン （ｂ） （Ｃン （ｄ） 第 図 第 図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、導入される記録液体を収容するとともに、該記録液
   体に熱によって気泡を発生させ、該気泡の体積増加にと
   もなう作用力を発生させる熱エネルギー作用部を付設し
   た流路と、該流路に連絡して前記記録液体を前記作用力
   によって液滴として吐出させるためのオリフィスと、前
   記流路に連絡して前記流路に前記記録液体を導入するた
   めの液室と、前記液室に記録液体を導入する導入手段と
   よりなる液体噴射記録装置において、前記オリフィスか
   ら液室までの流路の中心線が少なくとも一部で曲がって
   いることを特徴とする液体噴射記録装置。