JPH0213195U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0213195U JPH0213195U JP8788988U JP8788988U JPH0213195U JP H0213195 U JPH0213195 U JP H0213195U JP 8788988 U JP8788988 U JP 8788988U JP 8788988 U JP8788988 U JP 8788988U JP H0213195 U JPH0213195 U JP H0213195U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- housing
- control line
- outside
- exhaust pipe
- exhaust
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Description
図面は本考案の一実施例を示し、第1図は縦断
面図、第2図は斜視図である。 1……ハウジング、21,22……ロータ、3
1,32……タービン翼、81,82……制御線
、13……排気配管、15……気密導入端子、1
8……排気口、511,512……ラジアル磁気
軸受、521,522……スラスト磁気軸受。
面図、第2図は斜視図である。 1……ハウジング、21,22……ロータ、3
1,32……タービン翼、81,82……制御線
、13……排気配管、15……気密導入端子、1
8……排気口、511,512……ラジアル磁気
軸受、521,522……スラスト磁気軸受。
Claims (1)
- ハウジング内に、能動形の磁気軸受に浮上支持
させてなる左右一対のロータを配し、両ロータと
対応する各ステータとの間にそれぞれ独立したタ
ービン翼を構成して、吸気したガスを並列排気し
た後、排気配管を通じて共通の排気口から外部へ
排出し得るようにしたものにおいて、前記ハウジ
ングに、外部から一方の磁気軸受に制御線を導入
するための気密導入端子を設け、この気密導入端
子より導入した制御線の一部を、前記排気配管を
通じて他方の磁気軸受に導いていることを特徴と
するターボ分子ポンプ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8788988U JPH0213195U (ja) | 1988-06-30 | 1988-06-30 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8788988U JPH0213195U (ja) | 1988-06-30 | 1988-06-30 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0213195U true JPH0213195U (ja) | 1990-01-26 |
Family
ID=31312478
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP8788988U Pending JPH0213195U (ja) | 1988-06-30 | 1988-06-30 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0213195U (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015117697A (ja) * | 2013-12-18 | 2015-06-25 | プファイファー・ヴァキューム・ゲーエムベーハー | 真空ポンプ |
-
1988
- 1988-06-30 JP JP8788988U patent/JPH0213195U/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015117697A (ja) * | 2013-12-18 | 2015-06-25 | プファイファー・ヴァキューム・ゲーエムベーハー | 真空ポンプ |