JPH02114796U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH02114796U JPH02114796U JP2246889U JP2246889U JPH02114796U JP H02114796 U JPH02114796 U JP H02114796U JP 2246889 U JP2246889 U JP 2246889U JP 2246889 U JP2246889 U JP 2246889U JP H02114796 U JPH02114796 U JP H02114796U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rotor
- casing
- screw
- wall surface
- turbo
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Description
第１図は本考案に係わる第１の実施例のポンプ
の一部切欠正面図、第２図ａはそのロータの一部
断面斜視図、第２図ｂは本考案に係る第２の実施
例のロータの一部断面図、第３図は従来例の一部
切欠正面図及び第４図はそのロータの一部断面斜
視図である。 １…ケーシング、２…ステータ翼、３…ロータ
、３ａ…外壁面、４…ロータ翼、５…ネジ、ａ…
吸気口、ｂ…排気口。
の一部切欠正面図、第２図ａはそのロータの一部
断面斜視図、第２図ｂは本考案に係る第２の実施
例のロータの一部断面図、第３図は従来例の一部
切欠正面図及び第４図はそのロータの一部断面斜
視図である。 １…ケーシング、２…ステータ翼、３…ロータ
、３ａ…外壁面、４…ロータ翼、５…ネジ、ａ…
吸気口、ｂ…排気口。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ ケーシングの内壁面に取付けられたステータ
翼と、上記ケーシングの内部に配置されたロータ
の外壁面に取付けられたロータ翼とをロータの軸
方向に交互に配置し、上記ロータ翼を回転させて
ロータ軸の一方向から吸気し他方向へ排気すると
ともに、上記ロータの外壁面もしくはケーシング
内の固定側にネジを設け、ロータの回転によつて
排気するターボ分子ポンプにおいて、 上記ネジの突状部の断面形状は台形状に形成さ
れていることを特徴とするターボ分子ポンプ。 ２ 請求項１記載のターボ分子ポンプにおいて、 上記ネジの突状部の縦断面形状は正弦波状に形
成されていることを特徴とするターボ分子ポンプ
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2246889U JPH02114796U (ja) | 1989-02-28 | 1989-02-28 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2246889U JPH02114796U (ja) | 1989-02-28 | 1989-02-28 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02114796U true JPH02114796U (ja) | 1990-09-13 |
Family
ID=31240620
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2246889U Pending JPH02114796U (ja) | 1989-02-28 | 1989-02-28 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02114796U (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20000011555A (ko) * | 1998-07-07 | 2000-02-25 | 다카키도시요시 | 진공펌프및진공장치 |
| JP2016166594A (ja) * | 2015-03-10 | 2016-09-15 | 株式会社島津製作所 | 真空ポンプ |
| JP2021080917A (ja) * | 2019-11-19 | 2021-05-27 | プファイファー・ヴァキューム・ゲーエムベーハー | 真空ポンプ及びそのような真空ポンプを製造する方法 |
-
1989
- 1989-02-28 JP JP2246889U patent/JPH02114796U/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20000011555A (ko) * | 1998-07-07 | 2000-02-25 | 다카키도시요시 | 진공펌프및진공장치 |
| JP2016166594A (ja) * | 2015-03-10 | 2016-09-15 | 株式会社島津製作所 | 真空ポンプ |
| CN105971905A (zh) * | 2015-03-10 | 2016-09-28 | 株式会社岛津制作所 | 真空泵 |
| JP2021080917A (ja) * | 2019-11-19 | 2021-05-27 | プファイファー・ヴァキューム・ゲーエムベーハー | 真空ポンプ及びそのような真空ポンプを製造する方法 |