JPH02126126A - 温度分布調査方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、例えば半導体装置に用いるなど、製造工程で
加熱を必要とする基板の温度分布を調査する温度分布調
査方法に関するものである。

〔従来の技術〕

加熱工程の基板の温度分布を検査する方法としては、例
えば第４図に示すように基板ホルダー２１の所要の位置
にＣ−Δ（クロメル−アルメル）熱電対２２をネジ止め
して調べたり、サーモラベルやサーモペイントなどによ
って調べる方法がある。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかし、上記の方法には次のような問題点がある。

（１）熱電対やサーモラベルの場合：測定点のみの部分
的な温度しか分らず、基板全体の温度分布がど′うなっ
ているのか把握し難い。

（２）サーモペイントの場合：温度分布は分るが、半導
体製造装置など、クリーンな雰囲気を要求される場合に
使用できない。

（３）熱雷対を用いる場合：配線を引出したり、専用の
演算装置を設ける必要がある。

（４）ラベル方式の場合ニラベルの粘着剤やベースフィ
ルムから脱ガスなどが発生するため、半導体製造装置で
使用することができない。

本発明の目的は、雰囲気などに制約を受けることなく、
温度分布を適確に知ることができる温度分布調査方法を
提供することにある。

〔課題を解決するための手段〕

本発明は、基板上にカラーフィルター材料によりカラー
フィルター層を形成し、このカラーフィルター層の熱に
よる脱色の度合いを利用して温度分布を知ることを特徴
とするものである。

〔実施例〕

以下、本発明を図面を参照しながら詳細に説明する。

第１図及び第２図は本発明の−・実施例を示すもので、
まず第１図に示すように基板１にカラーフィルター材料
、例えば２色性色素のグリーンフィルター材料によりカ
ラーフィルター層２を形成して、温度センサーとする。

つまり、カラーフィルター層２の熱による脱色の度合い
を利用して温度分布を調べる。カラーフィルター層２は
、染色法、印刷法、電着法などにより形成する。

上記基板１（温度センサー）を真空系の半導体製造装置
の基板ホルダーＡにセットし、通常の加熱工程（真空引
き、基板加熱）の処理を行った後、取出すと、第２図に
示すように基板加熱による脱色が観察され、塞板１に実
際に加えられた温度の分布を見ることができる。また、
第３図に示す色度図とその色に対応する温度との関係か
ら温度が分る。

これは、２色性色素であるグリーンフィルター材料のう
ち、シアン系の染料は耐熱温度が低いのに対し、イエロ
ー系の染料は耐熱温度が高いため、まずシアン系染料の
み脱色してイエローとなる領域２Ａが生じ、更に高温に
なるｍ域２Ｂではイエロー系染料も脱色してホワイトと
なるからである。

なお、上記実施例ではグリーンとしたが、染料の色は任
意であり、調べたい温度に応じて選定する。また、２種
類以上の染料を混合してもよく、それによって広範囲な
温度分布を高精度に知ることができる。

〔発明の効果〕

以上のように本発明によれば、カラーフィルター層の熱
による脱色の度合いを利用するため、色の分布がそのま
ま温度分布となり、非常に明瞭である。しかも、実際に
使用している基板の全面にカラーフィルター層を形成し
て調査することが可能であるため、実用基板上の温度分
布を直に表わすことができる。また、耐熱温度の異なる
染料を自由に選べるため、広範囲の温度分布が分るとと
もに、温度に比例して色度が変化するため、高精度にそ
の位置の温度を知ることができる。更に、カラーフィル
ター層から微粒子やガスは殆んど発生しないので、クリ
ーン度が要求される場合や減圧・加圧を必要とする場合
でも使用できる。

【図面の簡単な説明】

第１図及び第２図は本発明に係る温度分布調査方法の一
実施例を示す平面図、第３図は色度図とその色に対応す
る温度との関係を示す図、第４図は従来例を示す平面図
である。 １・・・基板、 ２・・・カラー（グリーン）フィルター層、２Ａ・・・
イエロー呈色領域、 ２Ｂ・・・ホワイト呈色領域、Ａ・・・基板ホルダー特
許出願人　スタンレー電気株式会社 外 名 第１ 図 第２図 第３図 第４図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 基板上にカラーフィルター材料によりカラーフィルター
   層を形成し、このカラーフィルター層の熱による脱色の
   度合いを利用して温度分布を知ることを特徴とする温度
   分布調査方法。