JPH02122346U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は異物検出装置の一実施例を示す斜視図
、第２図は第１図に示す異物検出装置の概略正面
図、第３図は第１図に示す照明手段を拡大して示
す斜視図、第４図ａは反射板が設けられており、
異物が被検査物の内部に存在する場合の反射光束
の状態を示す説明図、第４図ｂは反射板が設けら
れてなく異物が被検査物の表面に存在する場合の
反射光束の状態を示す説明図、第４図ｃは反射板
が設けられてなく異物が被検査物の内部に存在す
る場合の反射光束の状態を示す説明図、第５図ａ
は反射板が設けられてない場合に異物が存在しな
い被検査物からの反射光束に基づいて出力される
電気（電圧）信号の状態を示す説明図、第５図ｂ
は反射板が設けられている場合に出力される電気
（電圧）信号の状態を示す説明図、第５図ｃは異
物が存在しない被検査物の断面図、第６図ａ，ｂ
は、内部に異物が存在する被検査物からの反射光
束に基づいて出力される電気（電圧）信号の状態
を示す第５図ａ，ｂに相当する図、第６図ｃは異
物が存在する被検査物の断面図である。 １……被検査物、２……異物、３……照明手段
、４……反射板、５……イメージセンサカメラ。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 被検査物の表面または内部に存在する異物
   を検出する異物検出装置であつて、上記被検査物
   に光を照射する照明手段と該照明手段の光の上記
   被検査物からの反射光を受光するイメージセンサ
   カメラとを備え、上記照明手段が上記イメージセ
   ンサカメラのレンズの軸線を挟む位置に細隙を介
   して配設された一対の棒状照明具を具備すること
   を特徴とする異物検出装置。 (2) 上記被検査物を介して上記照明手段の反対
   側に上記被検査物を透過した光を反射する反射板
   を備える、請求項(1)記載の異物検出装置。