JPH02122224A - 色採連続測定装置 - Google Patents
色採連続測定装置Info
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- JPH02122224A JPH02122224A JP27656688A JP27656688A JPH02122224A JP H02122224 A JPH02122224 A JP H02122224A JP 27656688 A JP27656688 A JP 27656688A JP 27656688 A JP27656688 A JP 27656688A JP H02122224 A JPH02122224 A JP H02122224A
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- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 claims description 13
- 239000000835 fiber Substances 0.000 abstract description 20
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 abstract description 20
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 abstract description 7
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 abstract description 5
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 abstract 1
- 238000004611 spectroscopical analysis Methods 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 5
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 5
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 4
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000003491 array Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000123 paper Substances 0.000 description 2
- 235000008733 Citrus aurantifolia Nutrition 0.000 description 1
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 235000011941 Tilia x europaea Nutrition 0.000 description 1
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004571 lime Substances 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- 210000002784 stomach Anatomy 0.000 description 1
Landscapes
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野コ
この発明は色彩連続71111定装置に関し、特に、連
続的または瞬時に変化もしくは移動する試料物体の色を
測定する。Lうな色彩連続Δ1り定装置に関する。
続的または瞬時に変化もしくは移動する試料物体の色を
測定する。Lうな色彩連続Δ1り定装置に関する。
[従来の技術]
布や紙や鉄IQな古のようなン−!・状になって連続的
に製造される物体の表面の色を/11す定する装置の一
例として、特開昭54− I C1786号公報に記載
された表面の色彩連続検査装置がある。この装置は、白
色光を線状に照射し、その乱反n・Jを分光上二次元撮
像装置を用いて反射光の強度を測定することにより、線
状の各位置での色度を求めるものである。
に製造される物体の表面の色を/11す定する装置の一
例として、特開昭54− I C1786号公報に記載
された表面の色彩連続検査装置がある。この装置は、白
色光を線状に照射し、その乱反n・Jを分光上二次元撮
像装置を用いて反射光の強度を測定することにより、線
状の各位置での色度を求めるものである。
また、他の例として、特開昭60−113’l’37号
公報には、少なくとも3 flAIのセンナを1組とし
て、これを直線」−に並べてカラーセンザをf:、i成
17、検査パターンの検査光をプリズムで分光し、カラ
ーセン−りに個別的に入射させてパターンを検査するよ
うにしたものかある。
公報には、少なくとも3 flAIのセンナを1組とし
て、これを直線」−に並べてカラーセンザをf:、i成
17、検査パターンの検査光をプリズムで分光し、カラ
ーセン−りに個別的に入射させてパターンを検査するよ
うにしたものかある。
[発明か解決しようとする課題]
上述の特開昭54−]0786号公■に記拭きれた表面
色彩連続検査装置は、受光素子として、CCDなどから
なる一次元撮1τ鴎;了や、二次元撮像素子をui用し
た場合、素工のダイナミックレンジは2桁程度と低く、
高精度な測定をすることができない。一方、PDA (
フォトダイオードアレイ)を用いた一次元撮像素工ては
、り′イナミックレンジは4桁以上とることができ、高
粘度なdll+定がi+5能になる反曲、市販のPDA
は形状か大きく、光学系設計時に制約を伴うという欠点
かある。
色彩連続検査装置は、受光素子として、CCDなどから
なる一次元撮1τ鴎;了や、二次元撮像素子をui用し
た場合、素工のダイナミックレンジは2桁程度と低く、
高精度な測定をすることができない。一方、PDA (
フォトダイオードアレイ)を用いた一次元撮像素工ては
、り′イナミックレンジは4桁以上とることができ、高
粘度なdll+定がi+5能になる反曲、市販のPDA
は形状か大きく、光学系設計時に制約を伴うという欠点
かある。
また、」−述の特開昭60−11:う9′37号公報に
記載された装置のように、分光部j′−としてプリズム
を使用した場合、スペクトル分解能か低くなる。また、
カラーセンザについては、現状では現感度によくマツチ
した性能のものが人手不可能なため、満是な測定をする
ことができない。また、分光素子に回折格子を使用した
場合、スペクトル分解能は高くなるが、可視域を一度に
分光しよ・)とすると、光学系の非直線性から分光波長
間隔が一様にならず、スペクトル結像面が曲面になるた
め、像の中心から外れるほどリニアリティが減少すると
いう欠点がある。
記載された装置のように、分光部j′−としてプリズム
を使用した場合、スペクトル分解能か低くなる。また、
カラーセンザについては、現状では現感度によくマツチ
した性能のものが人手不可能なため、満是な測定をする
ことができない。また、分光素子に回折格子を使用した
場合、スペクトル分解能は高くなるが、可視域を一度に
分光しよ・)とすると、光学系の非直線性から分光波長
間隔が一様にならず、スペクトル結像面が曲面になるた
め、像の中心から外れるほどリニアリティが減少すると
いう欠点がある。
さらに、−次元あるいは二次元のCCD、PCD(プラ
ズマカップルドデバイス)、PDAのような固体受光素
」′−を使用した場合、隣接する洛」づ間のクロスト−
りにより素」′ごとの分解能か低ドするという問題点か
あった。
ズマカップルドデバイス)、PDAのような固体受光素
」′−を使用した場合、隣接する洛」づ間のクロスト−
りにより素」′ごとの分解能か低ドするという問題点か
あった。
それゆえに、この発明の主たる目的は、光学系設置、1
の制約をなくして高精度に分光測定を行なって、連続的
に色彩を/l1ll定できるような色彩連続A+1定装
置を提供することである。
の制約をなくして高精度に分光測定を行なって、連続的
に色彩を/l1ll定できるような色彩連続A+1定装
置を提供することである。
[課題を解決するための手段]
この発明は連続的または瞬時に変化もしくは移動する試
オ′1物体の色をAll+定する色彩連続測定装置であ
−)で、試料物体からの光を多波長の光に同時に分散さ
せる回折格子と、多数の光ファイバの束からなり、回折
格子によ−)で分散された多波長の光をその一端に受け
、他端に導くためのイメージガー「ドと、イメージガイ
ドを構成する多数の光ファイバのそれぞれの他端に対応
して設けられ、導かれた各波長の光を電気信号に変換す
る受光素子とを備えて+1111成される。
オ′1物体の色をAll+定する色彩連続測定装置であ
−)で、試料物体からの光を多波長の光に同時に分散さ
せる回折格子と、多数の光ファイバの束からなり、回折
格子によ−)で分散された多波長の光をその一端に受け
、他端に導くためのイメージガー「ドと、イメージガイ
ドを構成する多数の光ファイバのそれぞれの他端に対応
して設けられ、導かれた各波長の光を電気信号に変換す
る受光素子とを備えて+1111成される。
[イ′1団月
この発明に係る色彩連続A1す定装置は、回折格子にj
−って分散された試料物体からの多波長の光をイメージ
ガイドにより受光素子にそれぞれ導くようにしたので、
受光素子としてPDAを用いることにより、光学系設計
の制約をなくすことができ、高精度の分光測定か可能と
なる。
−って分散された試料物体からの多波長の光をイメージ
ガイドにより受光素子にそれぞれ導くようにしたので、
受光素子としてPDAを用いることにより、光学系設計
の制約をなくすことができ、高精度の分光測定か可能と
なる。
[発明の実施例]
第1図はこの発明の一実施例の構成を示す図であり、第
2図は分光部とイメージガイドとPDAとを概略的に示
す斜視図であり、第3図はイメジガイドを構成する先フ
ァイバを示す図であり、第4図はファイバ固定具の外観
斜視図であり、第5図は光ファイバとPDAとの取付構
造を示す図であり、第6図は板状繊維束光学系とファイ
バ固定具と光ファイバを示す側面図である。
2図は分光部とイメージガイドとPDAとを概略的に示
す斜視図であり、第3図はイメジガイドを構成する先フ
ァイバを示す図であり、第4図はファイバ固定具の外観
斜視図であり、第5図は光ファイバとPDAとの取付構
造を示す図であり、第6図は板状繊維束光学系とファイ
バ固定具と光ファイバを示す側面図である。
まず、第1図ないし第6図を参照して、この発明の一実
施例の光学系の構成について説明する。
施例の光学系の構成について説明する。
第1図に示すように、シーI・状物体1はy方向に順次
移動する。このシート状物体1の彼A11定部位1aに
は、図示しない光源から光か照射され、その反射光は結
像レンズ2によって集光されて分光部3に人11・Iさ
れる。分光部3はスリット4と回折格子5と板状謀維束
光学系6とを含む。集光レンズ2によって集光された光
はスリット4によって帯状に抽出されて回折格子5に入
射される。回折格子5はその受光面が凹面になっており
、入射された光を各波長ごとに、矢印λて示す波長方向
に分光する。この分光は、たとえば380 n m〜7
20n ITIの波長の光を波長1[Llnmごとに行
なわれる。分光された各波長ごとの光は板状繊維束光学
系6に入射される。この板状繊維束光学系6はスペクI
・ル結像面を形成しており、各波長ごとに分光された光
に是づく像か板状繊維束光学系6に写し出される。この
板状繊維束光学系6は光繊維を束ねて、その受光面が凹
面となるように構成される。そして、板状繊維束光学系
6に入射された各波長ごとの光はイメージガ・「ドアに
よってPDA8に導かれる。
移動する。このシート状物体1の彼A11定部位1aに
は、図示しない光源から光か照射され、その反射光は結
像レンズ2によって集光されて分光部3に人11・Iさ
れる。分光部3はスリット4と回折格子5と板状謀維束
光学系6とを含む。集光レンズ2によって集光された光
はスリット4によって帯状に抽出されて回折格子5に入
射される。回折格子5はその受光面が凹面になっており
、入射された光を各波長ごとに、矢印λて示す波長方向
に分光する。この分光は、たとえば380 n m〜7
20n ITIの波長の光を波長1[Llnmごとに行
なわれる。分光された各波長ごとの光は板状繊維束光学
系6に入射される。この板状繊維束光学系6はスペクI
・ル結像面を形成しており、各波長ごとに分光された光
に是づく像か板状繊維束光学系6に写し出される。この
板状繊維束光学系6は光繊維を束ねて、その受光面が凹
面となるように構成される。そして、板状繊維束光学系
6に入射された各波長ごとの光はイメージガ・「ドアに
よってPDA8に導かれる。
イメージガイド7はたとえば直径40μmの石英光ファ
イバ71を625本束ねて形成され、第3図に示すよう
に、一端の直径がl ITI ITIの円形をなしてお
り、他端はその断面か3 、 9 m m x 02
m mのtri形をなしている。そし7て、光ファーr
ハフ1の一端は第4図に示すようなファイバ固定具72
によって板状繊維束光学系6に固定される。
イバ71を625本束ねて形成され、第3図に示すよう
に、一端の直径がl ITI ITIの円形をなしてお
り、他端はその断面か3 、 9 m m x 02
m mのtri形をなしている。そし7て、光ファーr
ハフ1の一端は第4図に示すようなファイバ固定具72
によって板状繊維束光学系6に固定される。
すなわち、ファイバ固定具72には縦方向35本横方向
に16本の光ファイ/\71を挿入するための孔か形成
されている。また、先ファイハフ1の他端は取付金具9
によってP D A 8に取(−1けられる。
に16本の光ファイ/\71を挿入するための孔か形成
されている。また、先ファイハフ1の他端は取付金具9
によってP D A 8に取(−1けられる。
P I) A 8はたとえば1−15個の素rからなる
アレイか16個配列されたものであって、それぞれか先
ファイバ7]の他端側に対応している。取(−1金具9
は光ファ・rハフ]からの光か隣接する領域にもれて人
avシないように遅閉する機能も兼ねている。
アレイか16個配列されたものであって、それぞれか先
ファイバ7]の他端側に対応している。取(−1金具9
は光ファ・rハフ]からの光か隣接する領域にもれて人
avシないように遅閉する機能も兼ねている。
第7図はこの発明の一実施例の電気的構成を示すブロッ
ク図である。第7図において、PDA8の各アレイ81
,82・・8nの出力はトライバ101.102・・・
]0[lに1jえられ、増幅されてマルチプレク」)“
11に7−Jえられる。マルチブレクリ。
ク図である。第7図において、PDA8の各アレイ81
,82・・8nの出力はトライバ101.102・・・
]0[lに1jえられ、増幅されてマルチプレク」)“
11に7−Jえられる。マルチブレクリ。
11はドライバ101 102−1Onによって増幅さ
れたアレイ81.82−8nのそれぞれの出力を順次選
択するものであり、選択されたアレイの出力はA /
Dコンバータ12によってデジタル信号に変換されて出
力される。デンタル信号に変換されたデータは図示しな
いマイクロンピュタに人力されて処理される。
れたアレイ81.82−8nのそれぞれの出力を順次選
択するものであり、選択されたアレイの出力はA /
Dコンバータ12によってデジタル信号に変換されて出
力される。デンタル信号に変換されたデータは図示しな
いマイクロンピュタに人力されて処理される。
上述のことく色彩連続測子装置をh’lj成したことに
よって、・12面状物体lの被測定部位1]からの反n
・J光は集光L/レンズによって集光され、スリット4
を介して回折格子5に入射され、回折格−Ji5によっ
て波長h″向に分光され、各波長ことの光は板状繊維束
光学系6に入射される。そして、各波長ごとの光は・r
メージガ・rドアによってPDA8に導かれ、PDA8
の各アレイ81. 82−8 nの出力かトラ−rハ1
01,102・]Onによって駆動される。そし、−r
、l・ライム1(11,1+111 (1nのそれぞれ
の出力はマルチプレクサ1]によ−、て選択され、A/
1〕コンバータ]2によってデジタル信号とし、て出力
される。
よって、・12面状物体lの被測定部位1]からの反n
・J光は集光L/レンズによって集光され、スリット4
を介して回折格子5に入射され、回折格−Ji5によっ
て波長h″向に分光され、各波長ことの光は板状繊維束
光学系6に入射される。そして、各波長ごとの光は・r
メージガ・rドアによってPDA8に導かれ、PDA8
の各アレイ81. 82−8 nの出力かトラ−rハ1
01,102・]Onによって駆動される。そし、−r
、l・ライム1(11,1+111 (1nのそれぞれ
の出力はマルチプレクサ1]によ−、て選択され、A/
1〕コンバータ]2によってデジタル信号とし、て出力
される。
第8図は波長方向のスペクトル11!i像而の歪を説明
するための図である。
するための図である。
第8図に示すように、入射スリット4からの光を回折格
子5て分光し、回折格子5のローランド円51上に曲面
でないl) D A 8を配置したような場合に、受光
面上に波長に対してリニアな分散1象か結1象ぜず、受
光面の端に行くに従って波長間隔の拡がりか大きくなっ
てしまう。これに対して、この発明の一実施例では、回
折格子5で分光された各波長ごとの光を板状繊維束光学
系6に結像さぜ、結像されたそれぞれの1象を・rメー
ジガイド7によってPDA8に導くようにしているため
、第8図に示した例に比べて、波長方向の歪を少なくで
きるという特Hの効果を奏する。
子5て分光し、回折格子5のローランド円51上に曲面
でないl) D A 8を配置したような場合に、受光
面上に波長に対してリニアな分散1象か結1象ぜず、受
光面の端に行くに従って波長間隔の拡がりか大きくなっ
てしまう。これに対して、この発明の一実施例では、回
折格子5で分光された各波長ごとの光を板状繊維束光学
系6に結像さぜ、結像されたそれぞれの1象を・rメー
ジガイド7によってPDA8に導くようにしているため
、第8図に示した例に比べて、波長方向の歪を少なくで
きるという特Hの効果を奏する。
[発明の効果]
以上のように、この発明によれば、試料物体からの光を
多波長の光に同時に波長方向および空間方向に分散させ
、多数の光ファイバの束からなるイメージガ・rドによ
って、回tJi )?5丁によって分散された多波長の
光を受光素〕胃こ専くようにしたので、布1紙、鋼板な
とのシート状物体表面での直線」二に並んだ各位置の反
」1.1スペクトルを同時的かつ連続的に粘度良くΔ1
り定することかできる。
多波長の光に同時に波長方向および空間方向に分散させ
、多数の光ファイバの束からなるイメージガ・rドによ
って、回tJi )?5丁によって分散された多波長の
光を受光素〕胃こ専くようにしたので、布1紙、鋼板な
とのシート状物体表面での直線」二に並んだ各位置の反
」1.1スペクトルを同時的かつ連続的に粘度良くΔ1
り定することかできる。
4、図面の口3’1lltな説明
第1図はこの発明の一実施例の構成を示す図である。第
2図は・rメージガイドとPDAとを示す斜視図である
。第3図は・rメージノf−rI:を47.j成す集光
ファー(ハを示ず図−Cある。9゛34図はファイバ固
定具の外観斜視図である。−)5図は光ファイバとPD
Aとの取(tI構造を示す図である。第6図は板状繊維
束光学系とファーrハ固疋具と光ファイバを示す側面図
である。第7図はこの発明の一実施例のiは気的措成を
示すブロック図である。第8図は波長b−向のスペクト
ルi;l: ig、面の歪を説明するための図である。
2図は・rメージガイドとPDAとを示す斜視図である
。第3図は・rメージノf−rI:を47.j成す集光
ファー(ハを示ず図−Cある。9゛34図はファイバ固
定具の外観斜視図である。−)5図は光ファイバとPD
Aとの取(tI構造を示す図である。第6図は板状繊維
束光学系とファーrハ固疋具と光ファイバを示す側面図
である。第7図はこの発明の一実施例のiは気的措成を
示すブロック図である。第8図は波長b−向のスペクト
ルi;l: ig、面の歪を説明するための図である。
図において、1はシー!・状物体、2は集光レンス、3
は分光部、4はスリット、5は回伍洛r、6は板状繊維
束光学系、7はイメージガイド、8はPI)A、9は取
イ・j金具、]1はマルチプレクサ、12はA/Dコン
バータ、7]は光ファイバ、7]0 2はファイバ取イ・j具、 81゜ 82 =−8nはPDA。
は分光部、4はスリット、5は回伍洛r、6は板状繊維
束光学系、7はイメージガイド、8はPI)A、9は取
イ・j金具、]1はマルチプレクサ、12はA/Dコン
バータ、7]は光ファイバ、7]0 2はファイバ取イ・j具、 81゜ 82 =−8nはPDA。
102゜
102・・
]、 Onはドラ・rハを示す。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 連続的または瞬時に変化もしくは移動する試料物体の色
を測定する色彩連続測定装置であって、前記試料物体か
らの光を多波長の光に同時に分散させる回折格子、 多数の光ファイバの束からなり、前記回折格子によって
分散された多波長の光をその一端に受け、他端に導くた
めのイメージガイド、および 前記イメージガイドを構成する多数の光ファイバのそれ
ぞれの他端に対応して設けられ、前記導かれた各波長の
光を電気信号に変換する受光素子を備えた、色彩連続測
定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP27656688A JPH02122224A (ja) | 1988-10-31 | 1988-10-31 | 色採連続測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP27656688A JPH02122224A (ja) | 1988-10-31 | 1988-10-31 | 色採連続測定装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02122224A true JPH02122224A (ja) | 1990-05-09 |
Family
ID=17571269
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP27656688A Pending JPH02122224A (ja) | 1988-10-31 | 1988-10-31 | 色採連続測定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH02122224A (ja) |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5256984A (en) * | 1975-11-06 | 1977-05-10 | Dainippon Screen Mfg | Method of decomposing color |
JPS5640804A (en) * | 1979-09-13 | 1981-04-17 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Optical branching filter |
JPS6114004U (ja) * | 1984-06-30 | 1986-01-27 | 株式会社島津製作所 | 回診用x線撮影装置 |
-
1988
- 1988-10-31 JP JP27656688A patent/JPH02122224A/ja active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPS5256984A (en) * | 1975-11-06 | 1977-05-10 | Dainippon Screen Mfg | Method of decomposing color |
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