JPH02111883A - 無電解金属めっき方法 - Google Patents

無電解金属めっき方法

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JPH02111883A
JPH02111883A JP26571188A JP26571188A JPH02111883A JP H02111883 A JPH02111883 A JP H02111883A JP 26571188 A JP26571188 A JP 26571188A JP 26571188 A JP26571188 A JP 26571188A JP H02111883 A JPH02111883 A JP H02111883A
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JP
Japan
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metal
metal plating
plated
immersed
reducing agent
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JP26571188A
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English (en)
Inventor
Toshiki Matsui
敏樹 松井
Tomoyuki Imai
知之 今井
Masaaki Fukukaito
福垣内 正昭
Nanao Horiishi
七生 堀石
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Toda Kogyo Corp
Original Assignee
Toda Kogyo Corp
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、無電解金属めっき方法に関するものであり、
詳しくは、均−且つ緻密であり、しかも密着性に優れて
いる金属めっき被膜をパラジウム等の高価な貴金属触媒
を用いることなく、経済的、工業的に有利に形成するこ
とを可能とした無電解金属めっき方法に関するものであ
る。
本発明に係る無電解金属めっき方法の主な用途は、装飾
用材料、断熱材、電磁シールド材、プリント基板、発熱
体等である。
〔従来の技術〕
紙や不織布などの繊維成形物、ガラス、セラミ7クス及
び高分子材料は本来絶縁体であるが、金属材料などに比
べ軽量でかつ安価であることから、これらに金属めっき
を施して各種金属を付与することにより、磁気的性質及
び導電性等の電気的性質を持たせることが行われている
金属めっき被膜は、優れた磁気的、電気的特性を有する
と共に、長期に亘り安定であり、且つ、固形物等の接触
により容易に脱落しにくいことが必要であり、その為に
は、均−且つ緻密であり、しかも密着性に優れているこ
とが強く要求されている。
また、金属めっきの方法としては、経済的、工業的に有
利な方法が強く要求されている。
従来、無電解金属めっき方法として最も代表的な方法は
、被めっき物を塩化第一錫水溶液に浸漬処理して錫の2
価イオンを被めっき物に吸着させる、所謂、感受性化処
理工程、めっき金属の成長核となり反応用開始触媒とし
て働くパラジウム等の貴金属触媒の微粒子を析出させる
、所謂、活性化処理工程、活性化された触媒の作用によ
り、金属イオンがめつき液中の還元剤により還元析出さ
れ金属めっき被膜が形成される、所謂、金属めっき工程
の各工程を経由するものであり、この方法を基本として
種々の改良が行われており、例えば、米国特許第270
2253号公報、米国特許第3011920号公報及び
特開昭61−63780号公報に記載の方法がある。
米国特許第2702253号公報に記載の方法は、被め
っき物を強酸性塩化第一錫溶液に浸漬させる、所謂、感
受性化処理をした後、水洗し、次いで、強酸性塩化パラ
ジウム溶液に浸漬することにより、被めっき物表面にめ
っき金属の成長核となり反応用開始触媒として働くパラ
ジウム微粒子を析出させる、所謂、活性化処理を行った
後、金属めっきする方法である。
米国特許第3011920号公報に記載の方法は、被め
っき物にめっき金属の成長核となり反応開始触媒として
働く強酸性のパラジウム−錫コロイドを付与し、次いで
、金属めっきする方法である。
特開昭61−63780号公報に記載の方法は、吸水性
繊維成形物を、界面活性剤により安定化されたパラジウ
ムヒドロシルに浸漬処理して、パラジウムコロイドを吸
着させた後、乾燥または、水洗し、次いで、金属めっき
する方法である。
〔発明が解決しようとする課題〕
均−且つ緻密であり、しかも密着性に優れている金属め
っき被膜を、経済的、工業的に有利に形成することを可
能とした金属めっき方法は、現在最も要求されていると
ころであるが、前出公知の金属めっき方法は、未だ、こ
れら緒特性を満足するものではない。
即ち、前出米国特許第2702253号公報及び米国特
許第3011920号公報に記載の方法は、何れも金属
めっき被膜が不均一となりやすく、また、高価な貴金属
パラジウムを触媒として用いるものである。更に、後者
に記載の方法は、金属めっきの還元反応を生起させる為
に必要且つ十分なパラジウムを付与する為には、工程を
数回反復しなければならず、あるいは、被めっき物から
、触媒作用の妨げとなる錫水酸化物等の不純物を除去す
る為、被めっき物を強酸性パラジウム−錫コロイド溶液
に浸漬した後、更に、アルカリ溶液中で浸漬処理する等
、工程が複雑な方法であり、経済的、工業的でない。
また、前出−特開昭61−63780号に記載の方法は
、均−且つ緻密であり、しかも密着性に優れている金属
めっき被膜が得られるが、一方、パラジウムコロイド等
高価な貴金属コロイドを使用する為、経済的ではない。
上述した通り、均−且つ緻密であり、しかも密着性に優
れている金属めっき被膜を高価な貴金属触媒を使用する
ことなく、経済的、工業的に有利に形成することを可能
とする無電解金属めっき方法の確立は現在最も要求され
ているところである。
〔課題を解決する為の手段〕
本発明者は、均−且つ緻密であり、しかも密着性に優れ
ている金属めっき被膜を高価な貴金属触媒を使用するこ
となく、また、経済的、工業的に有利に形成することを
可能とする無電解金属めっき方法について種々検討を重
ねた結果、本発明に到達したのである。
即ち、本発明は、被めっき物に、還元剤を吸着させた後
、自触媒性金属イオンを含む溶液に浸漬することにより
、前記被めっき物に前記自触媒性金属を析出させ、次い
で、該析出金属を還元剤で還元処理した後、金属めっき
することからなる無電解金属めっき方法である。
〔作用〕
先ず、本発明において、最も重要な点は、被めっき物に
、還元剤を吸着させた後、自触媒性金属イオンを含む溶
液に浸漬することにより、前記被めっき物に前記自触媒
性金属を析出させ、次いで、該析出金属を還元剤で還元
処理した後、無電解金属めっきした場合には、高価な貴
金属触媒を使用しなくても、均−且つ緻密であり、しが
も密着性に優れている金属めっき被膜を形成させること
が可能となるという事実である。
本発明において、析出金属を還元剤で還元処理するのは
、析出金属を基板に強固に定着させ、且つ、析出金属の
活性度を高め、引き続いて行われる金属めっきを円滑且
つ十分に生起させる為である。
本発明において、均−且つ緻密であり、しかも密着性に
優れている金属めっき被膜が形成される理由について、
本発明者は、予め被めっき物表面に還元剤を吸着させて
おく事により、被めっき物表面に金属めっきを生起させ
る成長核となりまた反応用開始触媒としての作用を有す
る自触媒性金属を強固に析出定着させ、次いで、析出し
た自触媒性金属をより強固に定着させ且つ活性度を高め
る還元剤による処理を行った後、無電解金属めっきを施
すことによるものと考えている。
また、本発明においては、高価な貴金属触媒を使用しな
いから経済的、工業的にを利である。
次に、本発明方法実施にあたっての諸条件について述べ
る。
本発明における被めっき物としては、祇、不織布等の繊
維成形物、ガラス、セラミックス、高分子材料、金属及
び金属酸化物等還元剤が吸着するものであればいかなる
ものでも対象とすることができる。殊に、表面が親水性
で凹凸が大きなものがよく、吸水性繊維成形物やエツチ
ング処理した無機材料及び有機高分子材料が好適である
本発明における還元剤としては、水素化ホウ素ナトリウ
ム、水素化ホウ素カリウムなどのアルカリ金属水酸化ホ
ウ素塩、ジメチルアミンボランなどのホウ素系還元剤の
他、次亜リン酸ナトリウムなどのリン系還元剤、ヒドラ
ジンなどの水溶液が用いられる。還元剤の量は、100
μH以上3M以下が実用上好ましい。
本発明における自触媒性金属イオンを含む溶液としては
、水溶液又は非水溶液のいずれでもよく、ニッケルイオ
ン、コバルトイオン、銅イオン等を含む溶液を使用する
ことができる。自触媒性金属イオンを含む溶液の濃度は
0,4ハ以上3M以下が実用上好ましい。
本発明における析出金属の還元処理は、前出の還元剤と
同じものを使用することができる。
本発明における無電解めっき溶液としては、周知のニソ
’Tル、コバルト、銅、パラジウム、白金、恨等のめっ
き溶液のいずれをも使用するこ・とができる。
〔実施例〕
次に、実施例により本発明を説明する。
表面抵抗は、三菱油化■製表面抵抗針(LORESTA
)を用いて測定した値で示したものである。
めっきの密着性は、めっき終了1時間後にスコンチメン
ディングテープ(住友スリーエム■製)をめっき物上に
強く貼り付け、引きはがすことにより3周べた。
実施例1 縦5.0cmX横4.5cmX厚み0.05cmのポリ
エステル不織布を15mMの水素化ホウ素ナトリウム水
溶液100m1に温度20℃で5分間浸漬した。
水素化ホウ素ナトリウム水溶液が吸着している上記ポリ
エステル不織布を別に用意したO、 LMの硫酸ニッケ
ル水溶液100mに温度20°Cで5分間浸漬して、硫
酸ニッケルをニッケル金属として析出させた。
ニッケル金属が析出している上記ポリエステル不、織布
を別に用意した3、0mMの水素化ホウ素ナトリウム水
溶液100dに温度20゛Cで30秒間浸漬して析出ニ
ッケル金属を還元処理した。還元処理後のポリエステル
不織布を200mj!の無電解ニッケルめっき液(硫酸
ニッケル 0.11M 、次亜リン酸ナトリウム 0.
19M 、酢酸ナトリウム 0.29M 、クエン酸ナ
トリウム 50mM、コハク酸ナトリウム 20mM、
塩化鉛5.4μ門、チオ尿素 20μ門を含む溶液を硫
酸でpH4,5に調整)に温度90°Cで10分間浸漬
しニッケル金属めっき処理を行った後、水洗、乾燥した
得られたポリエステル不織布の表面は、ニッケル金属め
っきによる金属光沢を呈していた。二・2ケル金属めっ
き被膜が形成されているポリエステル不織布の表面抵抗
値は240Ω/口であり、また、メンディングテープを
強く貼り付けはがしたところニッケル金属めっき被膜は
剥離しなかった。
実施例2 縦5.0cmx横3.0+aaX厚み0.3cmの表面
粗化したABS樹脂成形体を30mMの水素化ホウ素ナ
トリウム水溶液50戚に温度20°Cで5分間浸漬した
水素化ホウ素ナトリウム水溶液が吸着している上記AB
S樹脂成形体を別に用意したIMの硫酸ニッケル水溶液
50Idに温度20°Cで2分間浸漬して、硫酸ニッケ
ルをニッケル金属として析出させた。
ニッケル金属が析出している上記ABS樹脂成形体を別
に用意した3、0mMの水素化ホウ素ナトリウム水溶1
50In1に温度20’Cで10秒間浸漬して析出ニッ
ケル金属を還元処理した後、70dのイオン交換水に温
度20°Cで30秒間浸漬し、次いで、実施例1と同一
の無電解ニジケルめっき液60tn1に温度90“Cで
10分間浸漬しニッケル金属めっき処理を行った後、水
洗、乾燥した。
得られたABS樹脂成形体の表面は、ニッケル金属めっ
きによる金属光沢を呈していた。ニッケル金属めっき被
膜が形成されているABS樹脂成形体の表面抵抗値は0
.9Ω/口であり、また、メンディングテープを強く貼
り付けはがしたところニッケル金属めっき被膜は剥離し
なかった。
実施例3 縦5.0cmX横3.0cmX厚み0.3CII+の表
面粗化したABS樹脂成形体を30mMの水素化ホウ素
ナトリウム水溶液100rdに温度20゛cで5分間浸
漬した。
水素化ホウ素ナトリウム水溶液が吸着している上記AB
S樹脂成形体を別に用意したIMの硫酸ニッケル水溶液
100mff1に温度20°Cで3分間浸漬して、硫酸
ニッケルをニッケル金属として析出させた。
ニッケル金属が析出している上記ABS樹脂成形体を別
に用意した30mMの水素化ホウ素ナトリウム水溶液1
00dに温度20°Cで10秒間浸漬して析出ニッケル
金属を還元処理した後、100m1のイオン交換水に温
度20°Cで30秒間浸漬し、次いで、1ooyの無電
解銅めっき液〔A液(ロッセル塩 0.60M、水酸化
ナトリウム・1.25M 、硫酸銅 0.14M 、炭
酸ナトリウム 0.28門、EDTA  68mM)と
B液(ホルムアルデヒド 37%)とをA/B=5の体
積比で混合したもの〕に20分間浸漬し銅金属めっき処
理を行った後、水洗、乾燥した。
得られたABS樹脂成形体の表面は、銅金属めっきによ
る金属光沢を呈していた。銅金属めっき被膜が形成され
ているABSP4脂成形体の表面抵抗値は0.15Ω/
口であり、また、メンディングテープを強く貼り付けは
がしたところ銅金属めっき被膜は剥離しなかった。
実施例4 !4.Ocmx横4.0cmx厚み0.02cmのガラ
スクロス繊維を10mMの水素化ホウ素ナトリウム水溶
?&100tnJ2に温度20’Cで2分間浸漬した。
水素化ホウ素ナトリウム水溶液が吸着している上記ガラ
スクロス繊維を別に用意した0、5Mの硫酸ニッケル水
溶液100dに温度20°Cで2分間浸漬して、硫酸ニ
ッケルをニッケル金属として析出させた。
ニッケル金属が析出している上記ガラスクロス繊維を別
に用意した10mMの水素化ホウ素ナトリウム水溶液1
00mfに温度20’Cで10秒間浸漬して析出ニッケ
ル金属を還元処理した後、100mのイオン交換水に温
度20℃で1分間浸漬し、次いで、100dの無電解コ
バルトめっき液(硫酸コバルト0゜03M 、q石酸ナ
トリウム 0.50M 、次亜リン酸ナトリウム 0.
2釦、ホウIJ  0.50Mを含む溶液を水酸化ナト
リウムでpH9,0に調整)に温度80’Cで10分間
浸漬しコバルト金属めっき処理を行った後、水洗、乾燥
した。
得られたガラスクロス繊維の表面は、コバルト金属めっ
きによる金属光沢を呈していた。コバルト金属めっき被
膜が形成され′ているガラスクロス繊維の表面抵抗値は
2.5Ω/口であり、また、メンディングテープを強く
貼り付けはがしたところコバルト金属めっき被膜は剥離
しなかった。
〔発明の効果] 本発明に係る無電解金属めっき方法は、均−且つ緻密で
あり、しかも、密着性に優れている金属めっき被膜を高
価な貴金属触媒を用いることなく、経済的、工業的に有
利に形成することが可能である。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)被めっき物に、還元剤を吸着させた後、自触媒性
    金属イオンを含む溶液に浸漬することにより、前記被め
    っき物に前記自触媒性金属を析出させ、次いで、該析出
    金属を還元剤で還元処理した後、金属めっきすることを
    特徴とする無電解金属めっき方法。
JP26571188A 1988-10-20 1988-10-20 無電解金属めっき方法 Pending JPH02111883A (ja)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2002309375A (ja) * 2001-02-07 2002-10-23 Okuno Chem Ind Co Ltd 無電解めっき用触媒付与方法
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US7972970B2 (en) 2003-10-20 2011-07-05 Novellus Systems, Inc. Fabrication of semiconductor interconnect structure
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