JPH0210256A - セラミックス基板の探傷方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、電子部品等に使用されるセラミックス基板の
欠陥の有無を検査するための、セラミックス基板の探傷
方法に関するものである。

［従来の技術］ 電子部品に使用されているセラミックス基板は、クラッ
ク、穴等の欠陥の有無を検査し、不良品を排除して良品
のみを使用する必要がある。

従来から行われているセラミックス基板の探傷方法とし
て、目視検査、セラミックス基板の表面を加熱して、そ
こから放射される赤外線を検出する方法等がある。

［発明が解決しようとする課題］ 従来から行われている目視検査は最も多く採用されてい
るが、多くの人手と時間を要し、光の当て方によっては
欠陥を見落すことがあった。

またセラミックス基板の表面を加熱して放射される赤外
線を検出する方法は、加熱に時間がかかると共に、多く
のエネルギーを必要とし、しかも均一に加熱することが
むずかしい点があった。

本発明はこのような従来の欠点を除去し、極めて短時間
に精度の高い検出ができるようにしたセラミックス基板
の探傷方法を提供するものである。

［課題を解決するための手段］ 本発明は、セラミックス基板の一方の面より赤外線を照
射し、前記セラミックス基板の他方の面側に透過した赤
外線を検出することを特徴とするセラミックス基板の探
傷方法である。

［作　　　用］ 短時間で表面のみならす、裏面や内部の欠陥も検査する
ことかできる。

［実　施　例］ 以下、本発明の実施例を図面を参照して説明する。

第１図は本発明の方法の一実施例に使用する装置の正面
図であって、セラミックス基板ｌの裏面には赤外線ラン
プ２を設け、セラミックス基板ｌの表面側には赤外線カ
メラ３を設けである。赤外線カメラ３は、処理装置４、
モニタテレビ５に順次接続されている。

赤外線ランプ２がセラミックス基板ｌの裏面を照射する
と、赤外線はセラミックス基板ｌの裏面から表面側に透
過し、セラミックス基板ｌの表面から再放射して赤外線
カメラ３に到達する。赤外線カメラ３は到達した赤外線
を撮影し、この電気信号を処理装置４で信号処理し、モ
ニタテレビ５に画像として写し出す。

セラミックス基板！の裏面、内部または表面にクラック
、穴等の欠陥がある場合には、セラミックス基板ｌの表
面から赤外線放射率が変るので、モニタテレビ５に欠陥
部６として写し出される。従って欠陥部６が写し出され
たセラミックス基板１は不良品として排除する。

赤外線ランプ２は、モニタテレビ５が１つの画像を写し
出すのに必要な０．５〜２秒間だけ点灯すれば、１枚の
セラミックス基板ｌの探傷を完了することができる。赤
外線ランプ２の光量は、セラミックス基板１の材質、板
厚により設定し、欠陥部と無欠陥部との赤外線放射率の
差が大きくなるようにする。

第２図は本発明の他の実施例に使用する装置の斜視図で
あって、駆動モータ７によってコンベヤ８を第２図の左
方から右方へ移動させ、複数のセラミックス基板ｌを搬
送できるようになっている。コンベヤ８の下側には赤外
線ランプ２を上向きに設置し、その直上におけるコンベ
ヤ８の上側には、赤外線カメラ３を下向きに設けである
。赤外線カメラ３はデータ処理および制御器９に接続さ
れ、データ処理および制御器９は、モニタテレビ５と排
出器用制御器ＩＯとに接続されている。排出器用制御器
ＩＯは、コンベヤ８の終端近くの側方に設けである排出
器１１を制御するもので、排出器用制御器１０から排出
器１１に制御信号が送られると、排出器１１のロッド１
２が伸長し、赤外線カメラ３の下を通過した直後の１枚
のセラミックス基板１を、第２図においてコンベヤ８の
手前側に排出する。

第２図に示す装置において、セラミックス基板１はコン
ベヤ８の上に並べられ、順次左方から右方へ搬送されて
来る。１枚のセラミックス基板ｌが赤外線カメラ３の直
下まで搬送されて来るとコンベヤ８を一時停止し、赤外
線ランプ２を点灯すると、赤外線はコンベヤ８及びセラ
ミックス基板ｌを透過し、セラミックス基板ｌの表面か
ら再放射して赤外線カメラ３に到達する。これによりデ
ータ処理および制御器９を介してモニタテレビ５に画像
が写し出され、セラミックス基板ｌの欠陥の有無を判別
することができる。

赤外線ランプ２が一定時間点灯した後消灯すると、コン
ベヤ８は再び駆動される。そしてセラミックス基板ｌに
欠陥がなかった場合には、そのセラミックス基板ｌはコ
ンベヤ８の端部まで搬送される。ところがセラミックス
基板１に欠陥があった場合には、データ処理および制御
器９がこれを判別して排出器用制御器ｌＯに信号を出力
する。そしてコンベヤ８が駆動されて欠陥のあるセラミ
ックス基板１が赤外線カメラ３の直下から出た時点で排
出器用制御器ｌＯから排出器１１に制御信号が送られ、
排出器１１のロッド１２が伸長して欠陥があったセラミ
ックス基板１をコンベヤ８の手前側に排出する。

第３図は本発明のさらに他の実施例に使用する装置を、
第２図とは異なる部分のみ示した斜視図であって、コン
ベヤ８の下側に設けである赤外線ランプ２は、コンベヤ
８の移動方向に対して直角方向の直線状に赤外線を照射
するようになっている。この実施例においては、コンベ
ヤ８を一時停止させずに移動させたままであっても、直
線状の赤外線はコンベヤ８と共に移動しているセラミッ
クス基板ｌの第３図における右側縁から左側縁にかけて
順次透過し、データ処理および制御器９を介してモニタ
テレビ５にセラミックス基板１の状態を側縁から順次写
し出すことになる。この実施例では赤外線ランプ２の点
灯およびコンベヤ８の移動を継続したままで、多数のセ
ラミックス基板１の欠陥の有無を、連続的に判別するこ
とかできる。

［発明の効果］ 本発明は、目視検査のように光の当て方による欠陥の見
落しがなく、セラミックス基板を加熱する必要もなく、
極めて短時間に、しかもセラミックス基板の表面のみで
なく内部や裏面の欠陥の有無を高い精度で検出すること
ができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の方法の一実施例に使用する装置の正面
図、第２図は本発明の他の実施例に使用する装置の斜視
図、第３図は本発明のさらに他の実施例に使用する装置
を第２図とは異なる部分のみ示した斜視図である。 図中、■はセラミックス基板、２は赤外線ランプ、３は
赤外線カメラ、５はモニタテレビを示す。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １）セラミックス基板の一方の面より赤外線を照射し、
   前記セラミックス基板の他方の面側に透過した赤外線を
   検出することを特徴とするセラミックス基板の探傷方法
   。