JPH01314907A - 厚み測定方法に於けるゼロ点補正方法及びその装置 - Google Patents
厚み測定方法に於けるゼロ点補正方法及びその装置Info
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- JPH01314907A JPH01314907A JP14688988A JP14688988A JPH01314907A JP H01314907 A JPH01314907 A JP H01314907A JP 14688988 A JP14688988 A JP 14688988A JP 14688988 A JP14688988 A JP 14688988A JP H01314907 A JPH01314907 A JP H01314907A
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- 238000000691 measurement method Methods 0.000 claims description 7
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 9
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
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- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、厚み測定方法に於けるゼロ点補正方法及び
その装置に係わり、更に詳しくは従来のレーザ距離計で
は不可能であった板厚等の厚みゼロ点（原点）の検出を
容易に行うことが出来るようにして、機械的寸法の取付
は精度及び厚み測定値の精度を向上させた新規な厚み測
定方法に於けるゼロ点補正方法及びその装置に関するも
のである。
その装置に係わり、更に詳しくは従来のレーザ距離計で
は不可能であった板厚等の厚みゼロ点（原点）の検出を
容易に行うことが出来るようにして、機械的寸法の取付
は精度及び厚み測定値の精度を向上させた新規な厚み測
定方法に於けるゼロ点補正方法及びその装置に関するも
のである。
従来、板状の物（被測定物）の厚さを測定する場合、所
定の速度で移動する被測定物の上下面に、上下部のレー
ザ距離計により各々の距離を検出し、この各々の距離の
和と、前記上下部のレーザ距離計間の距離との差から被
測定物の厚さを測定する方法が行われていた。
定の速度で移動する被測定物の上下面に、上下部のレー
ザ距離計により各々の距離を検出し、この各々の距離の
和と、前記上下部のレーザ距離計間の距離との差から被
測定物の厚さを測定する方法が行われていた。
なお、上記レーザ距離計とは、被測定物表面に垂直に細
いレーザ光を照射する投光部と、被測定物よりの反射光
を照射光軸と一定の角度で受光する受光部とから成り、
受光部内で集光された反射光は、受光素子上にスポット
にて像を結ぶ様になっており、かつその受光素子上のス
ポ７）の位置が電気的に出力され、かつ投光部より被測
定物までの距離に比例するようになっているものを言う
。
いレーザ光を照射する投光部と、被測定物よりの反射光
を照射光軸と一定の角度で受光する受光部とから成り、
受光部内で集光された反射光は、受光素子上にスポット
にて像を結ぶ様になっており、かつその受光素子上のス
ポ７）の位置が電気的に出力され、かつ投光部より被測
定物までの距離に比例するようになっているものを言う
。
また、被測定物の厚さを精度良く測定するためには、原
点となる厚みのゼロ点を設定する必要があるが、上記の
ような従来のレーザ距離計を使用した厚さ測定方法の場
合、厚みゼロ点、即ち、原点を検出するのが非常に難し
く、このため上下部のレーザ距離計の取付は寸法により
ゼロ点を補正したり、またブロックゲージ等を使用して
仮想のゼロ点を求めて、被測定物の厚みの補正を行って
いた。
点となる厚みのゼロ点を設定する必要があるが、上記の
ような従来のレーザ距離計を使用した厚さ測定方法の場
合、厚みゼロ点、即ち、原点を検出するのが非常に難し
く、このため上下部のレーザ距離計の取付は寸法により
ゼロ点を補正したり、またブロックゲージ等を使用して
仮想のゼロ点を求めて、被測定物の厚みの補正を行って
いた。
然しなから、上記のようなゼロ点補正も、大気温度や、
取付は精度等により、必ずしも精度良く補正することが
できないと言う問題があった。
取付は精度等により、必ずしも精度良く補正することが
できないと言う問題があった。
この発明は、かかる従来の問題点に着目して案出された
もので、厚み測定装置の一部に、被測定物の厚み測定の
ゼロ点を検出するための較正治具を用いて、このゼロ点
補正値と被測定物の厚み測定値との差により被測定物の
厚さのゼロ点を補正することにより、機械的寸法の取付
は精度、レーザ距離計のドリフト等により生ずる厚み測
定値の精度を向上させるようにした厚み測定方法に於け
るゼロ点補正方法及びその装置を提供することを目的と
するものである。
もので、厚み測定装置の一部に、被測定物の厚み測定の
ゼロ点を検出するための較正治具を用いて、このゼロ点
補正値と被測定物の厚み測定値との差により被測定物の
厚さのゼロ点を補正することにより、機械的寸法の取付
は精度、レーザ距離計のドリフト等により生ずる厚み測
定値の精度を向上させるようにした厚み測定方法に於け
るゼロ点補正方法及びその装置を提供することを目的と
するものである。
この発明は、上記目的を達成するため、被測定物の移動
方向と直交する水平方向に移動可能なスキャンフレーム
の上下部に、前記被測定物の上下面にレーザ光を照射さ
せる上部レーザ距離針と、下部レーザ距離計とを配設し
、このスキャンフレームの移動限に、予め平滑な面に仕
上げた二枚の板をずらせた状態で貼合わせて成る較正治
具を取付け、この較正治具の取付は位置で、較正治具の
各々の貼合わせ面に上下部のレーザ距離計からレーザ光
が照射出来るようにしたことを要旨とするものである。
方向と直交する水平方向に移動可能なスキャンフレーム
の上下部に、前記被測定物の上下面にレーザ光を照射さ
せる上部レーザ距離針と、下部レーザ距離計とを配設し
、このスキャンフレームの移動限に、予め平滑な面に仕
上げた二枚の板をずらせた状態で貼合わせて成る較正治
具を取付け、この較正治具の取付は位置で、較正治具の
各々の貼合わせ面に上下部のレーザ距離計からレーザ光
が照射出来るようにしたことを要旨とするものである。
この発明は、上記のように構成され、上下部のレーザ距
離計の略中央側部に、予め平滑な面に仕上げた二枚の板
をずらせた状態で貼合わせて成る較正治具を取付け、こ
の較正治具の各々の貼合わせ面に、上下部のレーザ距離
計からレーザ光を照射させて各々の距離を測定し、この
測定した距離の和より前記被測定物までの上下部々の距
離の和を差引くことにより、各被測定物の巾方向の厚み
のゼロ点を自動的に補正し、精度の高い測定値を求める
ことが出来ることを特徴とするものである。
離計の略中央側部に、予め平滑な面に仕上げた二枚の板
をずらせた状態で貼合わせて成る較正治具を取付け、こ
の較正治具の各々の貼合わせ面に、上下部のレーザ距離
計からレーザ光を照射させて各々の距離を測定し、この
測定した距離の和より前記被測定物までの上下部々の距
離の和を差引くことにより、各被測定物の巾方向の厚み
のゼロ点を自動的に補正し、精度の高い測定値を求める
ことが出来ることを特徴とするものである。
以下添付図面に基いて、この発明の詳細な説明する。
第１図は、この発明を実施した被測定物Ｗの厚さ測定装
置の概略正面図を示し、被測定物Ｗの移送方向と直交す
る向きに配設されたベースプレート１上には、支持部材
２を介して水平に送りボールネジ３が設置されている。
置の概略正面図を示し、被測定物Ｗの移送方向と直交す
る向きに配設されたベースプレート１上には、支持部材
２を介して水平に送りボールネジ３が設置されている。
この送りボールネジ３は、位置発信器４を備えた駆動モ
ータ５の出力軸に、カップリング６を介して接続され、
またボールネジ３には、ナツト７を介して断面コ字状に
形成されたスキャンフレーム８が取付けられている。ス
キャンフレーム８の下部には、スライドレール９が取付
けられ、また断面口字状に形成されたスキャンフレーム
８の先端側には、相対向して上部レーザ距離計１０ａと
、下部レーザ距離計１０ｂとが取付けられている。
ータ５の出力軸に、カップリング６を介して接続され、
またボールネジ３には、ナツト７を介して断面コ字状に
形成されたスキャンフレーム８が取付けられている。ス
キャンフレーム８の下部には、スライドレール９が取付
けられ、また断面口字状に形成されたスキャンフレーム
８の先端側には、相対向して上部レーザ距離計１０ａと
、下部レーザ距離計１０ｂとが取付けられている。
前記、上部レーザ距離計１０ａと、下部レーザ距離計１
０ｂとの間の略中央部で、かつスキャンフレーム８の基
端側には、支持プレート１１を介して較正治具１２が水
平に取付けられ、この較正治具１２は、第２図及び第３
図に示すように、平滑な面に仕上げた二枚の板１３，１
４をずらせた状態で貼合わせて構成されている。
０ｂとの間の略中央部で、かつスキャンフレーム８の基
端側には、支持プレート１１を介して較正治具１２が水
平に取付けられ、この較正治具１２は、第２図及び第３
図に示すように、平滑な面に仕上げた二枚の板１３，１
４をずらせた状態で貼合わせて構成されている。
また、第１図において、１５ａはスキャンフレーム８の
前進限りミツトスイッチ、１５ｂは後退限りミツトスイ
ッチを示している。
前進限りミツトスイッチ、１５ｂは後退限りミツトスイ
ッチを示している。
上記の較正治具１２は、上部レーザ距離計１０ａと、下
部レーザ距離計１０ｂとの移動限において、上部レーザ
距離計１０２と、下部レーザ距離計１０ｂとのレーザ光
Ｐｉ、Ｐ’２が板１３．１４との接合面１３ａ、１４ａ
（厚みゼロ面）に照射されるように突出して取付け
られている。
部レーザ距離計１０ｂとの移動限において、上部レーザ
距離計１０２と、下部レーザ距離計１０ｂとのレーザ光
Ｐｉ、Ｐ’２が板１３．１４との接合面１３ａ、１４ａ
（厚みゼロ面）に照射されるように突出して取付け
られている。
従って、仮１３．１４との接合面１３ａ、１４ａに照射
されたレーザ光ＰＩ、Ｐ２により測定される距離の和（
ｌＩ ＋ｌｚ ）は、上部レーザ距離計１０ａと下部レ
ーザ距離計１０ｂとの距離Ｒと等しくなる。
されたレーザ光ＰＩ、Ｐ２により測定される距離の和（
ｌＩ ＋ｌｚ ）は、上部レーザ距離計１０ａと下部レ
ーザ距離計１０ｂとの距離Ｒと等しくなる。
次に、被測定物Ｗの厚さｔの測定と、そのゼロ点補正の
方法を、第４図を参照しながら説明する。
方法を、第４図を参照しながら説明する。
まず、被測定物Ｗの厚さｔの測定は、所定の間隔を隔て
て配設された上下部のレーザ距離計１０ａ、１０ｂの間
に、被測定物Ｗを一定の速度で移動させると共に、レー
ザ距離計１０ａ。
て配設された上下部のレーザ距離計１０ａ、１０ｂの間
に、被測定物Ｗを一定の速度で移動させると共に、レー
ザ距離計１０ａ。
１０ｂを、被測定物Ｗの移送方向と直交する方向に、駆
動モータ５を介して送りボールネジ３を回転駆動するこ
とによりスキャンフレーム８と共に移動させて、被測定
物Ｗをスキャンしながら厚さｔを測定する。
動モータ５を介して送りボールネジ３を回転駆動するこ
とによりスキャンフレーム８と共に移動させて、被測定
物Ｗをスキャンしながら厚さｔを測定する。
即ち、上記の作動に伴い上下部のレーザ距離計１０ａ、
１０ｂから被測定物Ｗの上下面にレーザ光ＰＩ、Ｐ２を
照射させ、そのレーザ光Ｐ１、Ｐ２により距離Ｘ＋、Ｘ
ｔを検出し、この各々の距離の和（Ｘ＋＋Ｘｚ）と、前
記上下部のレーザ距離計１０ａ、１０ｂ間の距離Ｒとの
差（Ｒ−（Ｌ ＋ＸＺ ））から被測定物の厚さｔを測
定する方法するのである。
１０ｂから被測定物Ｗの上下面にレーザ光ＰＩ、Ｐ２を
照射させ、そのレーザ光Ｐ１、Ｐ２により距離Ｘ＋、Ｘ
ｔを検出し、この各々の距離の和（Ｘ＋＋Ｘｚ）と、前
記上下部のレーザ距離計１０ａ、１０ｂ間の距離Ｒとの
差（Ｒ−（Ｌ ＋ＸＺ ））から被測定物の厚さｔを測
定する方法するのである。
次に、被測定物Ｗのゼロ点補正は、予め平滑な面に仕上
げた二枚の板１３．１４をずらせた状態で貼合わせて成
る較正治具１２の各々の貼合わせ面１３ａ、１４ａに、
上下部のレーザ距離計１０ａ、１０ｂからのレーザ光Ｐ
Ｉ、Ｐ２を照射し、接合面１３ａ、１４ａに照射された
レーザ光ＰＩ、Ｐ２により測定された距離の和（２＋
十β２）が、上部レーザ距離計１０ａと下部レーザ距離
計１０ｂとの間の距離Ｒと等しくなり、その差がゼロと
なる。即ち、 ｒＱ＝Ｒ−（ｚ＋ ＋１２）→Ｒ＝１．−ｚ２Ｊとな
るのである。
げた二枚の板１３．１４をずらせた状態で貼合わせて成
る較正治具１２の各々の貼合わせ面１３ａ、１４ａに、
上下部のレーザ距離計１０ａ、１０ｂからのレーザ光Ｐ
Ｉ、Ｐ２を照射し、接合面１３ａ、１４ａに照射された
レーザ光ＰＩ、Ｐ２により測定された距離の和（２＋
十β２）が、上部レーザ距離計１０ａと下部レーザ距離
計１０ｂとの間の距離Ｒと等しくなり、その差がゼロと
なる。即ち、 ｒＱ＝Ｒ−（ｚ＋ ＋１２）→Ｒ＝１．−ｚ２Ｊとな
るのである。
また、上記の接合面１３ａ、１４ａからの距離の和（Ｉ
ｌ＋＋ＺＺ）は、レーザ距離計１０ａ。
ｌ＋＋ＺＺ）は、レーザ距離計１０ａ。
１０ｂのスキャン戻り限で、被測定物Ｗの各スキャン毎
に記憶するものとする。
に記憶するものとする。
このようなことから、被測定物Ｗのスキャン時に、被測
定物Ｗの厚さｔ＝Ｒ−（ＸＩ ＋Ｘ２）＝ （１＋
＋１．）−（ｘ＋ ＋Ｘ２ ） 、となり被測定物Ｗ
の厚み測定毎にゼロ点補正が行われて精度の高い測定を
行うことが出来るのである。
定物Ｗの厚さｔ＝Ｒ−（ＸＩ ＋Ｘ２）＝ （１＋
＋１．）−（ｘ＋ ＋Ｘ２ ） 、となり被測定物Ｗ
の厚み測定毎にゼロ点補正が行われて精度の高い測定を
行うことが出来るのである。
この発明は、上記のように構成し、上下部のレーザ距離
計の略中央側部に、予め平滑な面に仕上げた二枚の板を
ずらせた状態で貼合わせて成る較正治具を取付け、この
較正治具の各々の貼合わせ面に、上下部のレーザ距離計
からレーザ光を照射させて各々の距離を測定し、この測
定した距離の和と、前記被測定物の厚さとの差により、
各被測定物の巾方向の厚みのゼロ点を自動的に補正する
ようにしたので、従来不可能とされていた被測定物の厚
みゼロ点の検出が可能となり、機械的寸法の取付は精度
に関係なくまた、レーザ距離計のドリフト等により生ず
る厚み測定値の精度を向上させることが出来る効果があ
る。
計の略中央側部に、予め平滑な面に仕上げた二枚の板を
ずらせた状態で貼合わせて成る較正治具を取付け、この
較正治具の各々の貼合わせ面に、上下部のレーザ距離計
からレーザ光を照射させて各々の距離を測定し、この測
定した距離の和と、前記被測定物の厚さとの差により、
各被測定物の巾方向の厚みのゼロ点を自動的に補正する
ようにしたので、従来不可能とされていた被測定物の厚
みゼロ点の検出が可能となり、機械的寸法の取付は精度
に関係なくまた、レーザ距離計のドリフト等により生ず
る厚み測定値の精度を向上させることが出来る効果があ
る。
第１図は、この発明を実施した厚み測定装置の概略構成
図、第２図は較正治具の斜視図、第３図は較正治具の測
定方法を示す説明図、第４図は、被測定物の厚み測定と
、ゼロ点補正の説明図である。 ８・・・スキャンフレーム、１０ａ、１０ｂ・・・上下
部のレーザ距離計、１２・・・較正治具、１３゜１４・
・・板、１３ａ、１４ａ・・・貼合わせ面、Ｗ・・・被
測定物、Ｐｉ、Ｐ２・・・レーザ光。 代理人 弁理士 小 川 信 −
図、第２図は較正治具の斜視図、第３図は較正治具の測
定方法を示す説明図、第４図は、被測定物の厚み測定と
、ゼロ点補正の説明図である。 ８・・・スキャンフレーム、１０ａ、１０ｂ・・・上下
部のレーザ距離計、１２・・・較正治具、１３゜１４・
・・板、１３ａ、１４ａ・・・貼合わせ面、Ｗ・・・被
測定物、Ｐｉ、Ｐ２・・・レーザ光。 代理人 弁理士 小 川 信 −
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、所定の間隔を隔てて配設された上下部のレーザ距離
計の間に、被測定物を一定の速度で移動させながら、上
下部のレーザ距離計から被測定物の上下面にレーザ光を
照射させ、レーザ距離計からの各々の距離を検出し、こ
の各々の距離の和と、前記上下部のレーザ距離計間の距
離との差から被測定物の厚さを測定する方法において、
前記、上下部のレーザ距離計の略中央側部に、予め平滑
な面に仕上げた二枚の板をずらせた状態で貼合わせて成
る較正治具を取付け、この較正治具の各々の貼合わせ面
に、上下部のレーザ距離計からレーザ光を照射させて各
々の距離を測定し、この測定した距離の和より前記被測
定物までの上下各々の距離の和を差引くことにより、各
被測定物の巾方向の厚みのゼロ点を自動的に補正するこ
とを特徴とする厚み測定方法に於けるゼロ点補正方法。 ２、被測定物の移動方向と直交する水平方向に移動可能
なスキャンフレームの上下部に、前記被測定物の上下面
にレーザ光を照射させる上部レーザ距離計と、下部レー
ザ距離計とを配設し、このスキャンフレームの移動限に
、予め平滑な面に仕上げた二枚の板をずらせた状態で貼
合わせて成る較正治具を取付け、この較正治具の取付け
位置で、較正治具の各々の貼合わせ面に上下部のレーザ
距離計からレーザ光が照射出来るようにしたことを特徴
とする厚み測定方法に於けるゼロ点補正装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63146889A JP2568891B2 (ja) | 1988-06-16 | 1988-06-16 | 厚み測定方法に於けるゼロ点補正方法及びその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63146889A JP2568891B2 (ja) | 1988-06-16 | 1988-06-16 | 厚み測定方法に於けるゼロ点補正方法及びその装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01314907A true JPH01314907A (ja) | 1989-12-20 |
| JP2568891B2 JP2568891B2 (ja) | 1997-01-08 |
Family
ID=15417868
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63146889A Expired - Fee Related JP2568891B2 (ja) | 1988-06-16 | 1988-06-16 | 厚み測定方法に於けるゼロ点補正方法及びその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2568891B2 (ja) |
Cited By (11)
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-
1988
- 1988-06-16 JP JP63146889A patent/JP2568891B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2568891B2 (ja) | 1997-01-08 |
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