JPH01291491A - Board conveyor device - Google Patents
Board conveyor deviceInfo
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- JPH01291491A JPH01291491A JP63122323A JP12232388A JPH01291491A JP H01291491 A JPH01291491 A JP H01291491A JP 63122323 A JP63122323 A JP 63122323A JP 12232388 A JP12232388 A JP 12232388A JP H01291491 A JPH01291491 A JP H01291491A
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
（イ） 産業上の利用分野
本発明は、プリント基板を搬送するもので、その搬送途
中で位置決め装置により前記基板の位置決めをした後に
所定作業が行なわれた当該基板を下流に搬送する基板搬
送装置に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (A) Industrial Application Field The present invention is for transporting a printed circuit board, and after positioning the board by a positioning device during transport, the board is transported after a predetermined operation has been performed. This invention relates to a substrate transport device that transports downstream.
（口） 従来の技術
従来の此種搬送装置は、特開昭６１−２６４７９１号公
報等に開示されている。(Explanation) Conventional technology A conventional conveying device of this type is disclosed in Japanese Patent Laid-Open Publication No. 61-264791 and the like.
一方プリント基板によっては、多数の電子部品を装着し
なければならない場合があり、この場合コンベアに載せ
て装着した後、再度コンベアに載せて装着する必要があ
る。このとき、全てのプリント基板上に部品を装着し終
えて、アンローダに収納した後に、アンローダの基板ス
トッカとローダの基板ストッカとを交換し、再度ブリ〉
ト基板を搬送して装着すればよい。On the other hand, depending on the printed circuit board, there are cases where it is necessary to mount a large number of electronic components, and in this case, it is necessary to place it on a conveyor and mount it, and then put it on the conveyor again and mount it. At this time, after all the components have been mounted on the printed circuit boards and stored in the unloader, the unloader's board stocker and the loader's board stocker are replaced, and the board is reloaded.
All you have to do is transport and mount the board.
（ハ） 発明が解決しようとする課題
しかし、前記基板ストッカを変換する場合に、その基板
ストッカの向きを反対側にしなければならないからプリ
ント基板の位置決め時の基準側が前回のときと反対とな
ってしまい、部品の装着精度に悪影響を与えることにな
る。(C) Problem to be Solved by the Invention However, when converting the board stocker, the direction of the board stocker must be reversed, so the reference side when positioning the printed circuit board is opposite to the previous one. This will adversely affect the accuracy of component mounting.
このため、使用者は、アンローダの収納箱から、「１−
グの収納箱に手で直接にか、或いは治具を用いてプリン
ト基板を移し換えて、再びコンベア搬送して電子部品等
を装着していた。Therefore, the user must remove the "1-" from the unloader storage box.
The printed circuit board was transferred directly by hand or using a jig to the storage box of the computer, and then transferred again by a conveyor and electronic components etc. were attached.
しかし、このように移し換え作業を行なうと、既に装着
した電子部品の位置ずれやときに破損したりすることが
あって、品質上大きな問題があった。また当然に移し換
えの作業の手間が掛るという問題があった。However, when such a transfer operation is performed, electronic components that have already been installed may be misaligned or even damaged, which poses a major problem in terms of quality. Furthermore, there was also the problem that the transfer work was time-consuming.
そこで本発明は、再び搬送・装着する際にもプリント基
板の位置決め時の基準側を前回と同じにし、品質上の問
題及び作業の手間が掛るという問題を解決するものであ
る。Therefore, the present invention solves the problem of quality and labor-intensive work by using the same reference side for positioning the printed circuit board when transporting and mounting it again.
（ニ） 課題を解決するための手段
このために本発明は、プリント基板を搬送するもので、
その搬送途中で位置決め装置により前記基板の位置決め
をした後に所定作業が行なわれた当該基板を下流に搬送
する基板搬送装置に於いて、曲記位蟹決め装置の上流側
に、前記基板の流れ方向の向きを反転させる反転装置を
設けたものである。(d) Means for solving the problem To this end, the present invention transports printed circuit boards,
In the substrate transport device that transports the substrate, which has been subjected to a predetermined operation after the substrate has been positioned by a positioning device during the transport, to the downstream side, a device is installed on the upstream side of the positioning device in the flow direction of the substrate. A reversing device is provided to reverse the direction of the.
（ホ） 作用
コンベアに搬送され、電子部品等が装着されてアンロー
ダの収納箱にプリント基板の収納が完了した場合に於い
て、再度搬送・装着するときには、アンローダの収納箱
とローダの収納箱とを移し換えて、順次コンベアにより
プリント基板を搬送する。そして当該プリント基板を位
置決め固定する前に、反転装置により水平方向に於いて
１８０度反転させて再搬送し、前回の位置決め基準と同
一とした状態で位置決め装置にて位置決めできる。(e) When the printed circuit board has been transported to the working conveyor, electronic components etc. have been mounted, and the storage box of the unloader is completed, when transporting and mounting it again, the storage box of the unloader and the storage box of the loader must be The printed circuit boards are transferred one after another by a conveyor. Then, before positioning and fixing the printed circuit board, it is horizontally reversed 180 degrees by a reversing device and transported again, so that the positioning device can position it in the same state as the previous positioning reference.
くべ） 実旌例 以下本発明の一実施例を図に基づき説明する。Kube) Practical example An embodiment of the present invention will be described below based on the drawings.
〈１）は電子部品装着装置の本体で、該本体（１）には
プリント基板（厚膜基板含む）（Ｐ）、リードフ【・−
ム等を搬送するコンベア（２）と、該コンベア（２）に
於ける上流側に設けられる反転装置（３）と、該反転装
置（３）の下流側に設けられる一対の位置決め装！（４
）（５）と、取付台（６）上に固定される吸着フレット
交換装置（７）（８）と、４個のウェハーテーブル（９
）（１０）有してＸＹ力方向の移動及び平面方向で回転
可焼なウェハー支持台（１１）（１２）と、天板（１３
）に吊持されてＸＹ力方向移動可能な装着ヘッド（１４
）（１５）とが設けられている。<1) is the main body of the electronic component mounting device, and the main body (1) includes a printed circuit board (including thick film board) (P), a lead leaf [・-
A conveyor (2) for conveying products, etc., a reversing device (3) provided on the upstream side of the conveyor (2), and a pair of positioning devices provided on the downstream side of the reversing device (3)! (4
) (5), suction fret exchange devices (7) (8) fixed on the mounting base (6), and four wafer tables (9).
) (10) A wafer support stand (11) (12) which can be moved in the XY force directions and rotated in the plane direction, and a top plate (13).
) and is movable in the XY force directions (14
)(15) are provided.
前記コンベア（２）は、一対の駆動スプロケット（１６
）（１１３）、従動スプロケット（１７）（１７）間に
張設された一対のチェーン（１８Ａ）（１８Ｂ＞から敗
り、該チェーン（１８Ａ）（１８Ｂ＞上に載置してプリ
ント基板（Ｐ）を上流側から下流側へ搬送する。このと
きチェーン（１８Ａ）（１８Ｂ）には所定間隔を存して
基板（Ｐ）の送り方向の後端部に係止する係合片（１９
）が立設され、基板（Ｐ）は両チ５．−ン（１８Ａ）（
１８Ｂ＞上にＩＩ！、置し且つ各係合片（１９）で係止
された状態で上流側から下流側に間欠的に搬送される。The conveyor (2) has a pair of drive sprockets (16
) (113), a pair of chains (18A) (18B> stretched between the driven sprockets (17) (17), and placed on the chains (18A) (18B>) to connect the printed circuit board (P ) from the upstream side to the downstream side.At this time, the chains (18A) and (18B) have engagement pieces (19
) is set upright, and the board (P) is on both sides 5. -n (18A) (
18B>Upward II! , and is intermittently conveyed from the upstream side to the downstream side while being locked by each engaging piece (19).
尚各係合片（１９）が設けられるその相互間隔は。The mutual spacing between the engaging pieces (19) is as follows.
チェーンピッチの整数倍となっており、この間隔内に収
まる基板（Ｐ）は全て搬送動作に関しては、段取りなし
で共通に送ることができる。This interval is an integral multiple of the chain pitch, and all substrates (P) that fall within this interval can be conveyed in common without any set-up regarding the conveyance operation.
次にコンベア（２）及び可動シュート（２ＯＡ）の移動
について述べる。駆動モータ（２１）が通電されると、
ベルト〈２３）を介してその駆動が伝達されてインデッ
クス装置（２２）の出力軸が間欠駆動し、その出力軸に
取付けられた出力軸プーリ（２４）とプーリ（２５）と
の間に張設きれたベルト（２θ）によりスプライン軸（
２７）が間欠回転するので両プーリ（２８Ａ）（２８Ｂ
＞（２９Ａ）（２９Ｂ）間に張設されたベルト（３０）
（３１）により支軸（３２）＜３３）を介して両駆動ス
プロケット（１６）（１６）が間欠回転する。これによ
り両スプロケット（１６）（１６＞、 （１７）（１７
）が回転するので、チェーン（１８Ａ＞（１８Ｂ）上の
プリント基板（Ｐ）は間欠的に定まった距離搬送される
ことになる。Next, the movement of the conveyor (2) and the movable chute (2OA) will be described. When the drive motor (21) is energized,
The drive is transmitted via the belt (23) to intermittently drive the output shaft of the indexing device (22), which is stretched between the output shaft pulley (24) and pulley (25) attached to the output shaft. The spline shaft (
27) rotates intermittently, both pulleys (28A) (28B
> Belt (30) stretched between (29A) and (29B)
Due to (31), both drive sprockets (16) (16) are intermittently rotated via the support shaft (32)<33). This allows both sprockets (16) (16>, (17) (17
) rotates, so the printed circuit board (P) on the chain (18A>(18B)) is intermittently conveyed a predetermined distance.
一方可動シュート（２ＯＡ）の両端に設けられたナツト
体（３４）（３５）にボールネジ体（３６）（３７）が
嵌合し、駆動モータ（３８）によりベルト（３９）及び
プーリ（４０）（４１）を介して該ネジ体（３６）（３
７）が回転すると、可動シュート＜２ＯＡ）が固定シュ
ート（２０Ｂ）に対して進退動することになる。即ち基
板（Ｐ）の流れ方向と直交する方向の幅寸法に対応して
、両シュー ト（２０Ａ）（２０Ｂ）間の距離を拡げた
り狭めたりすることができる。このとき、可動シュー）
、（２ＯＡ）はスプライン軸受（４２）によってスプラ
イン軸（２７）に沿って移動することになる。On the other hand, the ball screw bodies (36) (37) are fitted into the nut bodies (34) (35) provided at both ends of the movable chute (2OA), and the belt (39) and pulley (40) ( 41) through the screw body (36) (3
7) rotates, the movable chute <2OA) moves forward and backward relative to the fixed chute (20B). That is, the distance between the chutes (20A) and (20B) can be increased or decreased depending on the width dimension in the direction orthogonal to the flow direction of the substrate (P). At this time, the movable shoe)
, (2OA) are moved along the spline shaft (27) by the spline bearing (42).
（４３）は前記フンベア（２）による送りが停止してい
る状態での位置決め装置（４）より１ピッチ分上流に位
置する係合片（１９）の存在を検知する一対の光学的手
段から成るセンサーで、間欠移動するコンベア（２）の
位置ずれを検知する。即ち経時変化等でチェーン（１８
Ａ）が伸びて係合片（１９）の停止位置がずれて、ある
許容範囲を越えた場合には、前記センサー（４３）が「
無し」と検知すると、電子部品装着装置全体を停止させ
る。この場合１作業者は手動でもってインデックス装置
（２２）の軸を回し、ずれ量を補正する。(43) consists of a pair of optical means for detecting the presence of the engagement piece (19) located one pitch upstream of the positioning device (4) when the feed by the feeder bearer (2) is stopped. A sensor detects the positional shift of the conveyor (2), which moves intermittently. In other words, the chain (18
A) is extended and the stopping position of the engaging piece (19) shifts, exceeding a certain tolerance range, the sensor (43)
If it detects that there is no electronic component, the entire electronic component mounting device is stopped. In this case, one worker manually rotates the shaft of the indexing device (22) to correct the amount of deviation.
反転装置（３）は、前記コンベア（２）に於ける上流側
の前記チェーン（１８Ａ）（１８Ｂ）間の下方位置に配
設され、必要に応じ前記基板（Ｐ）の流れ方向の向きを
反転させるものである。該反転装ｅ（３）は、Ｘ軸周モ
ータ（４４）、Ｙ動用モータ（４５）によりＸ方向及び
Ｙ方向に移動可能なＸＹテーブル（４６）と、得々のも
のが取付けられるものであってＸＹテーブル＜４６）上
に設けられる取付台（４７）とから構成きれる。 （４
ｇ＞は取付台（４７）に固定され上下杆（４９）を上下
動可能に案内するガイド、（５０）は前記上下杆（４９
）の頂部に設けられてコンベア（２）より上方へ突出可
能な押上体、（５１）は前記上下杆（４９）の下部に設
けられたプーリ（５２）とモータ（５３）の出力軸プー
リ（５４）間に張設されたベルト、（５５）は一端がシ
リンダー（５６）の作動杆と回動可使に連結これ他端が
上下杆（４９）の下端部の支持部（５７）間に嵌合され
中間部を支点として揺動可能な揺動部材である。The reversing device (3) is disposed at a lower position between the chains (18A) and (18B) on the upstream side of the conveyor (2), and reverses the flow direction of the substrate (P) as necessary. It is something that makes you The reversing device e (3) is equipped with an XY table (46) movable in the X and Y directions by an X-axis circumferential motor (44) and a Y-movement motor (45). It consists of a mounting base (47) provided on the XY table (46). (4
g> is a guide that is fixed to the mounting base (47) and guides the upper and lower rods (49) in a vertically movable manner; (50) is a guide that guides the upper and lower rods (49);
) is provided at the top of the conveyor (2) and can protrude upward from the conveyor (2), and (51) is a pulley (52) provided at the bottom of the upper and lower rods (49) and the output shaft pulley (53) of the motor (53). 54) One end of the belt (55) is rotatably connected to the operating rod of the cylinder (56), and the other end is connected between the supporting parts (57) at the lower ends of the upper and lower rods (49). It is a rocking member that is fitted and can swing around the intermediate portion as a fulcrum.
そして、該反転装置（３）の押上体（５０）には、所定
間隔を存して複数の吸引路（５８）が形成きれ、上下杆
（４９）には該吸引路（５８）に連通する真空通路（５
９）が形成され、更に該通路（５９）にはロークリジツ
イント（６０）及びチューブ（６１）を介して図示しな
い真空源に連通する。A plurality of suction passages (58) are formed at predetermined intervals in the push-up body (50) of the reversing device (3), and the upper and lower rods (49) are connected to the suction passages (58). Vacuum passage (5
9) is formed, and the passageway (59) further communicates with a vacuum source (not shown) via a low rigid int (60) and a tube (61).
尚インデックス装ｆｉ！（２２）の出力側には出力軸プ
ーリ（２４）との間にトルクリミッタ（６２）が設けら
れ、その端部に過負荷検出板（６３）が設けられている
。従って、プリント基板搬送中に異常が起き、過負荷状
態になって、前記検出板（６３）が軸方向に移動した場
合に、一対の光センサ−（６４）で過負荷状態を検出す
ることができる。Furthermore, index equipment fi! A torque limiter (62) is provided on the output side of (22) between it and the output shaft pulley (24), and an overload detection plate (63) is provided at the end thereof. Therefore, if an abnormality occurs during the transportation of printed circuit boards, resulting in an overload condition and the detection plate (63) moves in the axial direction, the pair of optical sensors (64) can detect the overload condition. can.
（６５Ａ）＜６５Ｂ）は前記シュート（２０Ａ＞（２０
Ｂ）の上流側端部に夫々対向する如く内側に設けられた
ブレーキ部材で、夫々上面には真空源に連通ずる吸引口
（６６）が複数開設きれている。 （６７Ａ）はローダ
で、複数のプリント基板（Ｐ）を棚上に収納すると共に
図示しないエレベータにより昇降可能な収納箱（６８Ａ
）と該箱（６８Ａ）内の最下位にある基板（Ｉ”）を前
記コンベア（１８Ａ）（１８Ｂ）上に押出す押出部材（
６９）とより成る。この押出部材（６９）より収納箱（
６８Ａ）内の基板（Ｐ）が押出建れた際に、コンベア（
１８Ａ）（１８Ｂン上にスームズに乗り移らず、りい余
ってコンベア（１８Ａ） （１８Ｂ）からから落下した
りしないように、前記ブレーキ部材（６５Ａ）（０５Ｂ
）によって吸引され確実に安定した状態で乗り移れるよ
うにされている。即ち押出部材（６９）の押出動作開始
時に真空源による吸引を開始し、押出動作が終了したら
吸引を解除する。(65A)<65B) is the chute (20A>(20
A brake member is provided on the inside so as to face the upstream end of B), and a plurality of suction ports (66) communicating with a vacuum source are opened on the upper surface of each brake member. (67A) is a loader that stores a plurality of printed circuit boards (P) on a shelf and a storage box (68A) that can be raised and lowered by an elevator (not shown).
) and an extrusion member (I'') that extrudes the lowest substrate (I'') in the box (68A) onto the conveyor (18A) (18B).
69). The storage box (
When the substrate (P) in 68A) is extruded, the conveyor (
18A) (18B) The brake member (65A) (05B
) to ensure that the vehicle can be transferred in a stable state. That is, when the extrusion member (69) starts the extrusion operation, suction by the vacuum source is started, and when the extrusion operation is finished, the suction is released.
次に一対の基板位置決め装！（４）（５）について説明
するが、両者は同様な構成であるため、一方（５）につ
いてのみ説明する。該位置決め装置（４）（５）は、基
板（Ｐ）の送り方向、これと直交する幅力向及び基板（
Ｐ）の厚さ方向の各方向の位置決めを行なうものであり
、以下説明する。Next is a pair of board positioning devices! (4) and (5) will be explained, but since both have the same configuration, only one (5) will be explained. The positioning devices (4) and (5) are configured to move the substrate (P) in the feeding direction, the width force direction perpendicular thereto, and the substrate (P).
P) is positioned in each direction in the thickness direction, and will be explained below.
一対の軸受（７０）（７１）を貫通する軸杆（７２）に
は、第１図及び第２図の左から幅寄せカム（７３）、リ
フトカム（７４）及びクランプカム（７５）が設けられ
、該軸杆（７２）左端部のプーリ（７６）とモータ（７
７）の出力軸プーリ（７８）間にはベルト（７９）が張
設されている。従ってモータ（７７）の通電により軸杆
（７２）が回転すると、各カム（７３）（７４）（７５
）が回転し、６力ｌ・フォロワー（８０）（８１バ８２
）を介して各」；下部材（８６）＜８７）（８ｇ＞が上
下動し、これに伴ない各カムレバー（８９）（９Ｇ）（
９１）も上下動する。A shaft rod (72) passing through a pair of bearings (70) and (71) is provided with a width shifting cam (73), a lift cam (74), and a clamp cam (75) from the left in FIGS. 1 and 2. , the pulley (76) on the left end of the shaft (72) and the motor (7).
A belt (79) is stretched between the output shaft pulleys (78) of 7). Therefore, when the shaft rod (72) rotates due to the energization of the motor (77), each cam (73) (74) (75
) rotates, and 6 force l/follower (80) (81 bar 82
), the lower members (86) <87) (8g> move up and down, and each cam lever (89) (9G) (
91) also moves up and down.
先ず基板（Ｐ）の送り方向の規制位置決めを行なう装置
（９２）について説明する。First, the device (92) for regulating and positioning the substrate (P) in the feeding direction will be described.
（９３）（９４）は前記基板（Ｐ）の流れ方向の端部に
接触する基準クランプ、可動クランプで、夫々支軸゛（
９５）（９６）を支点として回動可使である。そしてバ
ネ（９７）により基準クランプ（９３）は外方に回動す
るように付勢され、可動クランプ（９４）はバネ（９８
）により内方へ回動するように付勢されている。 （９
１）は前述の如く前記上下部材（８Ｂ）の頂部に設けら
れたカムレバーで、前記クランプ（９３）（９４）に突
出し −たピン（９９）（１００）に係合して、該クラ
ンプ（９３）（９４）の揺動を制御する。(93) and (94) are a reference clamp and a movable clamp that contact the ends of the substrate (P) in the flow direction, respectively;
It can be rotated using 95) and 96 as fulcrums. The reference clamp (93) is then biased to rotate outward by the spring (97), and the movable clamp (94) is biased by the spring (98).
) is biased to rotate inward. (9
1) is a cam lever provided at the top of the upper and lower members (8B) as described above, which engages with the pins (99) and (100) protruding from the clamps (93) and (94), so that the clamps (93) ) (94).
一方基板（Ｐ）の流れ方向に延びたリニアガイド（ｉｏ
ｌ）によりＸテーブル（１０２）が水平移動可能であり
、該テーブル（１０２）には前記可動クランプ（９４）
を回動可能に支持する可動体（１０３）が固定されると
共に、駆動ｇ（図示せず）により回転するネジ軸（１０
４）が嵌合するボールネジ体（１０５）と一体化された
連結体（１０６）が固定される。 （１０７）（１０８
）は軸受である。On the other hand, a linear guide (io) extending in the flow direction of the substrate (P)
l) allows the X table (102) to move horizontally, and the table (102) is equipped with the movable clamp (94).
A movable body (103) that rotatably supports the screw shaft (103) is fixed, and a screw shaft (103) rotates by a drive g (not shown).
A connecting body (106) integrated with the ball screw body (105) into which the ball screw body (105) is fitted is fixed. (107) (108
) is a bearing.
従って駆動源によりネジ軸（１０４）が回転することに
より連結体（１０６）を介してＸテーブル（１０２）が
流れ方向に移動するため、可動体（１０３）も移動し、
基準クランプ（９３）に対して可動クランプ（９４）が
遠近移動することができ、種々の基板（Ｐ）の送り方向
の長さに対応できる。Therefore, as the screw shaft (104) is rotated by the drive source, the X table (102) moves in the flow direction via the connecting body (106), so the movable body (103) also moves.
The movable clamp (94) can move near and far with respect to the reference clamp (93), and can accommodate various lengths of substrates (P) in the feeding direction.
またカムレバー（９１）が上動すると、可動クランプ（
９４）はピン（１００）を介して外方向に回動し、基準
クランプ（９３）もバネ（９７）により外方向に回動し
、両クランプ（９３）（９４）は基板（Ｐ）より下方に
位置することになる。Also, when the cam lever (91) moves upward, the movable clamp (
94) is rotated outward via the pin (100), the reference clamp (93) is also rotated outward by the spring (97), and both clamps (93) and (94) are rotated downward from the board (P). It will be located in
以上のように、上下部材（８８）は、ガイド（８５）を
介して上下動可能であり、固定シュート（２０Ｂ）に突
出したピン（１１０）と上下部材（８８）に突出したピ
ン（１１１）との間にはバネ（１１２）が張架きれ、該
、上下部材（８８）を上方へ付勢している。従って上下
部材（８８）端部のカムフォロワー（８２）は、クラン
プカム（７５）に圧接するので、該カム（７５）の形状
に合わせて上下部材（８Ｂ）はＬ下することになる。As described above, the vertical member (88) is movable up and down via the guide (85), and the pin (110) protruding from the fixed chute (20B) and the pin (111) protruding from the vertical member (88) A spring (112) is stretched between the upper and lower members (88) and urges the upper and lower members (88) upward. Therefore, since the cam follower (82) at the end of the upper and lower members (88) comes into pressure contact with the clamp cam (75), the upper and lower members (8B) are lowered by L in accordance with the shape of the cam (75).
次に基板（Ｐ）の送り方向と直交する幅方向の規制につ
い１述べる。先ず固定シュート（２０［１）の上部には
、固定板（１１５）が設けられ、該固定板＜１１５）上
には所定間隔を存して可動ベアリング体＜１１６）及び
基準ベアリング体（１１７）が設けられる。一方可動シ
ュート（２０Ａ）に設けられる軸受（１１８）（１１８
）に回転可能に支持される支軸（１１９）には、複数個
の幅寄せ部材（１２０）を取付け、図示しない軸により
回転可能なその円筒部分の周縁が基板（Ｐ）に当接可ｔ
ｒ＆である。そして一対の支持部（１２１）（１２１）
間に支持された取付杆（１２２）に付勢体としてのバネ
（１２３）の一端が固定され、前記幅寄せ部材（１２０
）は夫々基板（Ｐ）方向に回動するように付勢されてい
る。また一対の支持部（１２１）（１２１）間に支持さ
れた支軸（１２４）により回動可能ときれた伝達アーム
（１２５）の上部には、係合ロッド（１２６）が設けら
れ、前記幅寄せ部材（１２０）の夫々を基板（Ｐ）から
遠ざけるように作動する。前記伝達アーｌ、（１２５）
の他端部にはカムフォロワー（１２７）が設けられ、前
記幅寄せカム（７３）と係合するカムフォロワー（８０
）を有する上下部材（８６）の上下動に伴うカムレバー
（８９）の」二下勤によって、該レバー（８９）により
前記カムフォロワー（１２７）を介して前記伝達アーム
（１２５）は回動されることになる。Next, the regulation in the width direction perpendicular to the feeding direction of the substrate (P) will be described. First, a fixed plate (115) is provided on the upper part of the fixed chute (20[1), and a movable bearing body <116) and a reference bearing body (117) are mounted on the fixed plate <115) at a predetermined interval. is provided. On the other hand, bearings (118) (118) provided on the movable chute (20A)
) A plurality of width shifting members (120) are attached to the support shaft (119) rotatably supported by a shaft (119), and the peripheral edge of the cylindrical portion rotatable by a shaft (not shown) can come into contact with the substrate (P).
It is r&. and a pair of support parts (121) (121)
One end of a spring (123) serving as a biasing body is fixed to a mounting rod (122) supported between the width adjustment members (120
) are each urged to rotate in the direction of the substrate (P). Further, an engagement rod (126) is provided at the upper part of the transmission arm (125) which is rotatable by a support shaft (124) supported between the pair of support parts (121). Each of the shifting members (120) is operated to move away from the substrate (P). Said transmission arm (125)
A cam follower (127) is provided at the other end, and the cam follower (80) engages with the width shifting cam (73).
) The transmission arm (125) is rotated by the lever (89) via the cam follower (127) due to the vertical movement of the cam lever (89) as the vertical member (86) having the vertical movement moves up and down. It turns out.
次に基板（Ｐ）への部品実装面の位置を、該基板ＣＰ）
の厚さ如何に係わらず一定とするための規制装置（１３
０）について説明する。固定シュート（２０Ｂ＞及び可
動シュート（２０Ａ）には、夫々リニアガイド（８４）
（８４）により吸着用上下部材（８７Ａ）（８７＾）が
上下動可能とされている。また両シュート（２０Ｂ）（
２０Ａ）から突設したピン（１３１）（１３１）と各上
下部材（８７Ａ）（８７Ａ）下部に突設したピン（１３
２）（１３２）との間にはバネ（１３３）（１３３）が
張架され、上下部材（８７）（８７）を夫々上方へ付勢
している。Next, determine the position of the component mounting surface on the board (P) (CP)
A regulating device (13) to keep the thickness constant regardless of the thickness of the
0) will be explained. The fixed chute (20B> and the movable chute (20A) each have a linear guide (84).
(84) allows the suction up and down members (87A) (87^) to move up and down. Also, both chutes (20B) (
Pins (131) (131) protruding from the bottom of each upper and lower member (87A) (87A) and pins (13) protruding from the bottom of each upper and lower member (87A).
2) (132), springs (133) (133) are stretched between the upper and lower members (87) (87), respectively.
一方上下部材（８７Ａ）（８７Ａ）端部に設けられたカ
ム７ｔＯワー（１３４）（１３４）は、カムレバー （
９０）＋： 、Ｊ、り押下げられる。即ち、リフトカム
（７４）に係合するカムフォロワー（８１）を有する上
下部材（８７）の上端部に前記カムレバー（９ｏ〉を設
けているので、リフトカム（７４）により吸着用上下部
材（８７Ａ）（８７Ａ）は夫々上下動することになる。On the other hand, the cam lever (134) (134) provided at the end of the upper and lower members (87A) (87A)
90) +: , J, is pressed down. That is, since the cam lever (9o) is provided at the upper end of the upper and lower members (87) having the cam follower (81) that engages with the lift cam (74), the upper and lower suction members (87A) ( 87A) will move up and down, respectively.
また（１３５）（１３５）は前記シュート（２０Ａ）（
２０Ｂ＞（７）上部に設けられる基板押えで、前記基板
（Ｐ）の上面と係合可使な係合部（１３６）（１３６）
を有している。(135) (135) is the chute (20A) (
20B>(7) Engaging parts (136) (136) that can be engaged with the top surface of the board (P) with a board holder provided at the top
have.
更に、前記吸着用上下部材（８７Ａ）（８７Ａ）のと流
寄りの吸着部＜１３８）には、複数の吸着孔（１３７）
が開設され、真空バイブ（１３９）（１３９）を介して
図示しない真空源に連通している。従って前記上下部材
（８７Ａ）（８７Ａ）の上部にプリント基板（Ｐ）の下
面が吸着可能である。Furthermore, a plurality of suction holes (137) are provided in the suction portion <138) on the upstream side of the upper and lower suction members (87A) (87A).
is opened and communicated with a vacuum source (not shown) via vacuum vibes (139) (139). Therefore, the lower surface of the printed circuit board (P) can be attracted to the upper part of the upper and lower members (87A) (87A).
また前記上下部材（８７Ａ）（８７＾）の上部面は、コ
ンベア（２）搬送面よりわ・ずかに高いレベルに設定さ
れており、チェーン（１８Ａ）（１８Ｂ）の係合片（１
９）（１９）により基板（Ｐ）は、コンベア（２）搬送
面から前記上下部材（８７Ａ）（８７Ａ）に乗り移り、
その時点で、真空吸着を開始する。そしてコンベア（２
）が停止したときにその吸着を停止するが、この吸着に
よりコンベア（２）が停止したときの慣性によってプリ
ント基板（Ｐ）が移動することはない、従って大きな位
置ずれを起すことなく、該上下部材（８７Ａ）（８７Ａ
）によってリフＩ・アップされ、プリント基板（Ｐ）は
その送り方向及びこの送り方向と直交する幅方向の位置
決めがなきれた状態で、基板押え（１３５）（１３５）
の係合部（１３６）（１３６）に押しつけられる。Further, the upper surfaces of the upper and lower members (87A) (87^) are set at a slightly higher level than the conveyor (2) conveyance surface, and the engagement pieces (1) of the chains (18A) (18B)
9) According to (19), the substrate (P) is transferred from the conveyor (2) conveyance surface to the upper and lower members (87A) (87A),
At that point, vacuum suction begins. And the conveyor (2
) stops, the suction stops, but this suction prevents the printed circuit board (P) from moving due to inertia when the conveyor (2) stops. Member (87A) (87A
), the printed circuit board (P) is lifted up by the board holders (135) (135), and the printed circuit board (P) is not positioned in the feeding direction and in the width direction perpendicular to this feeding direction.
are pressed against the engaging portions (136) (136).
次にウェハー支持台（１１）（１２）について詳述する
が、両者は同一構造であり支持台（１１）についてのみ
説明する。 （１４０）はＸＹテーブルで、Ｘ軸層モー
タ（１４１）、Ｙ軸周モータ（１４２）により、Ｘ軸方
向ガイド（１４３）及びＹ軸方向ガイド（１４４）に沿
って、平面方向に移動可能である。また該ＸＹテーブル
（１４Ｇ）上に載置したウェハーテーブル（９）は、図
示しない駆動源により正逆回転可能である。Next, the wafer support stands (11) and (12) will be explained in detail, but since both have the same structure, only the support stand (11) will be explained. (140) is an XY table, which can be moved in the plane direction along the X-axis direction guide (143) and the Y-axis direction guide (144) by the X-axis layer motor (141) and the Y-axis circumferential motor (142). be. Further, the wafer table (9) placed on the XY table (14G) can be rotated forward and backward by a drive source (not shown).
従って、突き」−げ針装置ｌｌ （１４５）の上方位置
に、所望のウェハーシート（１４６）が位置することに
なる。ウェハーテーブル（９）は、４個あるために、少
なくとも１種以上４種以下の例えば夫々大きさが異なる
ウェハーを扱えることになる。Therefore, the desired wafer sheet (146) will be located above the stabbing device II (145). Since there are four wafer tables (9), it is possible to handle at least one type and four or less types of wafers, each having a different size, for example.
次に一方の装着ヘッド（１４）について詳述する。Next, one mounting head (14) will be explained in detail.
該ヘッド（１４）は、天板（１３）に支持された支持部
材（１５０）に支持されたボールネジ（１５１）に沿っ
て第４３図に示す駆動モータ（１５４Ａ）によりＸ方向
の移動が可能であり、またガイド体（１５２）（１５２
）に沿って駆動モータ（１５４Ｂ）によりＹ・方向の移
動が可使となる。略箱状を呈したヘッド本体（１５３）
内に配設された駆動モータ（１５４Ｃ）の出力軸プーリ
（１５５）とネジ軸（１５６）端部のプーリ（１５７）
との間にはベルト（１５ｇ）が張設され、上下移動体（
１５９）がナツト体（１６０）によりガイド体（１６１
）を介して上下移動可能となる。The head (14) can be moved in the X direction by a drive motor (154A) shown in FIG. 43 along a ball screw (151) supported by a support member (150) supported by the top plate (13). There is also a guide body (152) (152
), the drive motor (154B) enables movement in the Y direction. Head body (153) that is approximately box-shaped
The output shaft pulley (155) of the drive motor (154C) disposed inside and the pulley (157) at the end of the screw shaft (156)
A belt (15g) is stretched between the vertical moving body (
159) is connected to the guide body (161) by the nut body (160).
) can be moved up and down.
そしてｂ下移動体（１５９）には、加圧用モータ（１６
２）とロックソレノイド（１６３）が固定されており、
該モータ（１６２）の出力軸にはバネ取付ピン（１６４
）を有するレバー＜１６５）が設けられている。前記ソ
レノイド（１６３）のプランジャ（１６６）には取付ピ
ン（１６７）が突設され、上下移動体（１５９）に固定
されたＬ字形状の支持体＜１６８）に突設した取付ピン
（１６９）との間にはバネＡ（１７０）が張架されてい
る。The lower moving body b (159) is equipped with a pressurizing motor (16).
2) and lock solenoid (163) are fixed,
A spring mounting pin (164) is attached to the output shaft of the motor (162).
) is provided with a lever <165). A mounting pin (167) is protruded from the plunger (166) of the solenoid (163), and a mounting pin (169) is protruded from an L-shaped support <168) fixed to the vertical moving body (159). A spring A (170) is stretched between.
上下移動体（１５９）の軸受部（１７１）には支軸（１
７２）により揺動体＜１７３）が回動可能とされ、該揺
動体（１７ｇ）の上端部にはＵ字溝が切欠されて該溝に
前記取付ピン（１６７）が嵌合し、また揺動体（１７３
）の他端部には加圧ベアリング体（１７４）が設けられ
ている。The bearing part (171) of the vertical moving body (159) has a support shaft (1
72) allows the rocking body <173) to rotate, and a U-shaped groove is cut out in the upper end of the rocking body (17g), and the mounting pin (167) fits into the groove, and the rocking body (173
) is provided with a pressure bearing body (174) at the other end.
＜１７５）はロータリジヨイント（１７６）に突設した
鍔体（１７７）を、前記加圧ベアリング体（１７４）と
で挟持する固定ベアリング体であり、前記支持体（１６
Ｂ）の端部に設けられている。前記揺動体（１７３）に
突設した取付ピン（１７Ｂ）と加圧用モータ（１Ｂ２）
の出力軸に固定されたレバー（１６５）に突設した取付
ピン（１６４）との間に張架されたバネＢ （１７９）
により前記加圧ベアリング体（１７４）を下方へ付勢し
ている。<175) is a fixed bearing body that sandwiches a collar body (177) protruding from the rotary joint (176) with the pressure bearing body (174), and the support body (16)
B) is provided at the end. A mounting pin (17B) protruding from the rocking body (173) and a pressurizing motor (1B2)
Spring B (179) stretched between a mounting pin (164) protruding from a lever (165) fixed to the output shaft of
The pressure bearing body (174) is urged downward.
そしてこの加圧用モータ（１６２）の回転角度を制御す
ることにより、加圧ベアリング体（１７４）によるロー
タリジヨイント（１７６）及び固定ベアリング体（１７
５）への押圧力を可変とすることができる。このバネＢ
（１７９）は、ペレット（１８０Ａ）、 （１８０Ｂ
）を基板（Ｐ）に装着する際の押しっけ圧力を加°える
ためのものである。By controlling the rotation angle of this pressurizing motor (162), the rotary joint (176) and the fixed bearing body (17) are controlled by the pressurizing bearing body (174).
5) The pressing force can be made variable. This spring B
(179) is pellet (180A), (180B
) is used to apply pushing pressure when attaching the board (P) to the board (P).
また前記上下移動体（１５９＞に突設した取付ピン（１
８１）とロータリジヨイント（１７６）から突設した取
付ピン（１８２）との間には、ｌメランスバネＣ（１８
３）が張架され、該バネＢ （１８３）の弾性力と吸着
ノズル体（１８４）及び吸着フレット＜１８５）の自重
が略等しくなるようにこの弾性力が設定されており、前
記自重の影響を除去している。In addition, a mounting pin (1) protruding from the vertical moving body (159)
81) and the mounting pin (182) protruding from the rotary joint (176).
3) is stretched, and the elastic force of the spring B (183) is set so that the self-weight of the suction nozzle body (184) and suction fret <185) is approximately equal, and the influence of the self-weight is is being removed.
前記ロータリジヨイント（１７６）にはピン（１８６）
が突設しており、このピン（１８６）に嵌合する係止片
（１８７）により該ジョイン）（１７６）自身の回転は
防止されている。The rotary joint (176) has a pin (186).
The joint (176) itself is prevented from rotating by a locking piece (187) that fits into the pin (186).
吸着ノズル体（１８４）は、ロータリジヨイント（１７
６）、ホース（１９０）、大きなペレット（１８０Ｂ）
の吸着有無検出に使用する真空スイッチ（１９１）等を
介して図示しない真空源と連結している。該吸着ノズル
体（１８４）は、上下ガイド体（１９２）内を上下動可
能であるが、該ノズル体（１８４）の上部には面取部（
１９３）が形成されて規制ベアリング（１９４＞により
上下ガイド体（１９２）内でのθ回転はできない、前記
真空スイッチ（１９１）は、真空源による吸引圧力が一
定値以上になった場合に作動し、吸着コレット（１８５
）がベレットを吸着していないものと判断する。The suction nozzle body (184) has a rotary joint (17
6), hose (190), large pellet (180B)
It is connected to a vacuum source (not shown) via a vacuum switch (191) used to detect the presence or absence of suction. The suction nozzle body (184) can move up and down within the vertical guide body (192), but the nozzle body (184) has a chamfered part (
The vacuum switch (191) is activated when the suction pressure from the vacuum source exceeds a certain value. , suction collet (185
) is determined to not be adsorbing the pellet.
また前記ヘッド本体（１５３）内には、駆動モータ（１
９５）が配設されその出力軸プーリ（１９６）と前記上
下ガイド体（１９２）周囲に固定きれたプーリ（１９７
）間にはベルト（１９ｇ）が張設きれ、前記モータ（１
９５）の通電によりベルト（１９８）を介して上下ガイ
ド体（１９２）がベアリング体（１９９）に案内きれつ
つ回転し吸着ノズル体（１Ｂ４）をもθ回転さすること
になる。Further, a drive motor (1
95) is disposed, and the output shaft pulley (196) and the pulley (197) fixed around the upper and lower guide body (192) are provided.
), a belt (19g) is stretched between the motors (1
95), the upper and lower guide bodies (192) rotate through the belt (198) while being fully guided by the bearing body (199), and the suction nozzle body (1B4) is also rotated by θ.
該吸着ノズル体（１８４）の下端には、吸着コレット（
１８５）がロック機構（２００）の施錠、解錠により若
脱可能に設けられる。At the lower end of the suction nozzle body (184), a suction collet (
185) is provided so that it can be released by locking and unlocking the lock mechanism (200).
（２０１）は前記ヘッド本体（１５３）の側面に取付け
られたＤＣソしメイドで、そのプラン２〜（２０２）に
は中間部が枢支された作動レバー（２０３＞が回転可能
に連結している。 （２０４）はヘッド本体（１５３）
に上下に延びたガイドレール（２０５）に沿って上下動
可能な上下スライダーで、該スライダー（２０４）に突
設したピン（２０６）とヘッド本体（１５３）上部に突
設したビン（２０７）との間にはバネＤ（２０８）が張
架され、該スライダー（２０４）を上方へ付勢している
。(201) is a DC somale attached to the side of the head body (153), and the plan 2 to (202) are rotatably connected to actuating levers (203> whose intermediate portions are pivoted). (204) is the head body (153)
It is a vertical slider that can move up and down along a guide rail (205) extending up and down, and has a pin (206) projecting from the slider (204) and a bottle (207) projecting from the top of the head body (153). A spring D (208) is stretched between them and urges the slider (204) upward.
そしてこのスライダー（２０４）には、カムフォロワー
（２１０）が設けられており、ヘッド本体（１５３）に
は上限ストッパ（２１１）及び下限スト・シバ（２１２
）が設けられ前記作動レバー（２０３）がカムフォロワ
ー（２１０）に当接しているので、前記ンレノイド（２
０１）が励磁すると作動レバー（２０３）は反時計方向
へ回転してスライダー（２０４）を押下げカムフオｏ７
−（２１０）がストッパ（２１２）に当接して停止し同
様に消磁すると作動レバー（２０３）が時計方向へ回転
し該レバー（２０３）が上限ストッパ（２１１）に当接
するまでバネＤ（２０Ｂ）によりスライダー（２０４）
を押上げる。The slider (204) is provided with a cam follower (210), and the head body (153) includes an upper limit stopper (211) and a lower limit stopper (212).
) is provided and the operating lever (203) is in contact with the cam follower (210), so the lenoid (2
01) is excited, the actuating lever (203) rotates counterclockwise and pushes down the slider (204) to release the cam foo o7.
- (210) comes into contact with the stopper (212) and stops and is similarly demagnetized, the operating lever (203) rotates clockwise and the spring D (20B) rotates until the lever (203) comes into contact with the upper limit stopper (211). By slider (204)
Push up.
従って発光素子（２１３）及び受光素子（２１４）を備
え且つ厚さが厚いが小さなベレット（１ｇＯＡ）の吸着
検出に使用する光電検知装置ｔ （２１５）を下端部に
備えているので、この上下スライダー（２０４）の上下
により光電検知装置（２１５）も上下することになる。Therefore, since the photoelectric detection device t (215), which is equipped with a light emitting element (213) and a light receiving element (214) and is used for adsorption detection of a thick but small pellet (1gOA), is provided at the lower end, the vertical slider The photoelectric detection device (215) also moves up and down as (204) moves up and down.
このため、検知装［（２１５）が下方位置にあるとき、
吸着コレット（１８５）が吸着しているベレット（１８
０Ａ＞（１８０Ｂ）の有無状態を検知でき、上方位置に
あるとき、吸着コレット（１８５）自体の有無状態を検
知できる。Therefore, when the detection device [(215) is in the lower position,
The beret (18) to which the suction collet (185) is adsorbed
The presence or absence of 0A>(180B) can be detected, and the presence or absence of the suction collet (185) itself can be detected when it is in the upper position.
（２８４Ａ）（２８４Ｂ）は保持形の３！！！動する切
換スイッチで、使用者が任意に切換えられる。 （２８
５）（２８６）は夫々オア回路、アンド回路で、制御装
置であるマイクロ・コンピュータ（２８７）に接続され
ている。(284A) (284B) is a holding type 3! ! ! A switch that moves allows the user to switch as desired. (28
5) (286) are an OR circuit and an AND circuit, respectively, and are connected to a microcomputer (287) which is a control device.
従って切換スイッチ（２８４Ａ）（２８４Ｂ）が、第４
３図に示すように設定しである状態では、前記真空スイ
ッチ（１９１）が光電検知装！（２１５）かのいずれか
が、ペレット「無し」を検知したら、予めペレット無し
カウンター（図示せず）に゛設定された回数Ｎだけピッ
クアップ動作を繰り返し、Ｎ回を越えると、マイクロ拳
コンピュータ（２ｇ？）はモータ駆動回路（２８ｇ）を
介して各モータ（１５４Ａ）（１５４Ｂ）（１５４Ｃ）
を制御して、装着ヘッド（１４）、 （１５）を復帰さ
けた後当該装着装置の運転を停止すると共に報知手段（
２８９＞により表示灯、ブザー等の視覚か聴覚に訴えて
使用者に知らせる。然る後使用者は、ペレットｒ無し）
が事実か否かの確認をし、事実でなければ真空スイッチ
（１９１）の作動レベルを￥Ｉ４整したり、光電検知装
置（２１５）の高さ位置Ｕ４整を行なって一回試運転さ
せるか再運転させればよい。Therefore, the changeover switch (284A) (284B)
In the setting shown in Figure 3, the vacuum switch (191) is a photoelectric detector! (215) When one of the micro-fist computers (215) detects the absence of pellets, it repeats the pick-up operation the number of times N set in the pellet-absence counter (not shown) in advance. ) is connected to each motor (154A) (154B) (154C) via the motor drive circuit (28g).
is controlled to avoid returning the mounting heads (14) and (15), and then the operation of the mounting device is stopped and the notification means (
289>, the user is notified visually or aurally using an indicator light, buzzer, etc. After that, the user will be given no pellets)
Check whether this is true or not, and if it is not true, adjust the operating level of the vacuum switch (191), or adjust the height position U4 of the photoelectric detection device (215), and run a trial run or try again. Just let them drive.
また切換スイッチ（２８４Ａ）（２８４Ｂ）を切り換え
た場合には、真空スイング−（１９１）及び光電検知装
置（２１５）の両方がペレット１無し、を検知した場合
に、アンド回路（２８６）を介してマイクロ・コンピュ
ータ（２８７）が検知出力を受けて前述と同様に制御す
る。In addition, when the changeover switches (284A) (284B) are switched, if both the vacuum swing (191) and the photoelectric detection device (215) detect that there is no pellet 1, the A microcomputer (287) receives the detection output and performs control in the same manner as described above.
尚ｖｆＩ記切換スイッデ（２８４Ａ）＜２８４Ｂ＞、オ
ア回路（２８５）、アンド回路（２８６）に代えて、同
等の機能をキー人力装置及びランダム・アクセス−メモ
リ（ＲＡＭ）によって置換えることも可能であることは
勿論である。In addition, in place of the vfI switching switch (284A) <284B>, the OR circuit (285), and the AND circuit (286), it is also possible to replace equivalent functions with a key manual device and random access memory (RAM). Of course there is.
次に前記吸着コレット（１８５）について説明すると、
該、ノズル体（１８４）の下端部には、ロック機構取付
部（２１６）を形成し、該取付部（２１６）にロック機
構（２０Ｇ）を設ける。そして該取付部（２１６）には
、中空の取付空間（２１ｇ）が形成され前記吸着コレッ
ト（１８５）のアダプタ（２１９＞が嵌合する。また取
付部（２１６）の両側部には軸受体（２２０）（２２０
）間に夫々ロック爪体（２２１）を配設してこれらを支
軸（２２２）が貫通し、ロック爪体（２２１）の夫々を
対向するように配設してバネ（２２３）によりその下端
が互いに近づくように付勢している。 （２２４）は取
付部（２１６）下面に突設した位置決めピンであり、後
述のＵ字溝（２２５）に嵌合可能である。Next, the adsorption collet (185) will be explained.
A lock mechanism attachment part (216) is formed at the lower end of the nozzle body (184), and a lock mechanism (20G) is provided in the attachment part (216). A hollow mounting space (21g) is formed in the mounting portion (216), into which the adapter (219>) of the suction collet (185) is fitted. 220) (220
), a locking claw body (221) is disposed between the two, and a support shaft (222) passes through these, and the locking claw bodies (221) are disposed so as to face each other, and the lower end is secured by a spring (223). are biased toward each other. (224) is a positioning pin protruding from the lower surface of the mounting portion (216), which can be fitted into a U-shaped groove (225) to be described later.
吸着コレット（１８５）は、前記取付部（２１６）の取
付空間（２１８）に嵌合１゛るアダプタ（２１９）と、
該アダプタ（２１９）の下部には前記嵌合した際に前記
取付体（２１６）下面に当接するアダプタフランジ部（
２２６）と、ベレット（１８０Ａ）（１８０Ｂ）を直接
吸着する吸着部（２２７）とから構成される。前記フラ
ンジ部（２２６）の両側部には、下部が内方へ凹んだ係
止部（２２ｇ）が形成され、前記ロック爪体（２２１）
の下端が該係上部（２２８）に入り込んでロックするこ
とになる。The suction collet (185) includes an adapter (219) that fits into the mounting space (218) of the mounting portion (216);
The lower part of the adapter (219) has an adapter flange part (
226) and a suction part (227) that directly suctions the pellets (180A) (180B). A locking part (22g) whose lower part is recessed inward is formed on both sides of the flange part (226), and the locking claw body (221)
The lower end of the locking section (228) enters and locks.
次に吸着コレット交換装置（７）、（８）について述べ
るが、両者は同一構造であるため、一方（７）について
のみ述べる。該交換装置（７）は、大きく分けて取付板
（２３０）に対して図示しない駆動源により上下動可能
なツールスト１カー（２３１）及びストッカー台（２３
２）と、所定間隔を存して複数のロック解除ピン（２３
３）を有するピン取付台（２３４）とから構成きれる。Next, the suction collet exchange devices (7) and (8) will be described, but since both have the same structure, only one (7) will be described. The exchange device (7) is broadly divided into a tool stock car (231) and a stocker stand (23) that can be moved up and down by a drive source (not shown) with respect to a mounting plate (230).
2), and a plurality of lock release pins (23
3) and a pin mount (234).
面記ストッカー（２３１）及びストアカー台（２３２）
とは、略同形状であり、両者は所定間隔も存して互いに
合致する取付孔＜２３５）（２３６）が複数穿設されて
いる。そしてストッカー（２３１）及びストッカー台（
２３２）に穿設した孔には２本のフンプライアンスピン
（２３７）が遊嵌し、頭部（２３８）とフィルスプリン
グ（２３９）によりストッカー（２３−１＞及びストッ
カー台（２３２＞は、該ストッカー台（２３２）の上面
に開設した溝内にあるスチールポール（２２９）を介し
て互いに圧接される。このボール（２２９）によってス
トッカー台（２３２）上をストッカー（２３１）が転が
れるようになる。前記コンプライアンスピン（２３７）
の径より該ピン（２３７）が嵌合する孔径をやや大きく
とることによって、吸着コレット（１８５）の着脱時の
吸着ノズル体（１８４）のセンターとストッカー（２３
１）に収納された吸着コレット（１８５）のアダプタ（
２１９）のセンターの芯ずれを吸収できる。Menu stocker (231) and store car stand (232)
and have substantially the same shape, and both have a plurality of mounting holes <235) (236) that match each other and are spaced apart from each other by a predetermined distance. And stocker (231) and stocker stand (
Two fly spring pins (237) are loosely fitted into the holes drilled in the hole (232), and the stocker (23-1> and the stocker stand (232>) are moved by the head (238) and fill spring (239). They are pressed against each other via a steel pole (229) located in a groove formed on the top surface of the stocker stand (232).This ball (229) allows the stocker (231) to roll on the stocker stand (232). .The compliance pin (237)
By making the hole diameter into which the pin (237) fits slightly larger than the diameter of the hole, the center of the suction nozzle body (184) and the stocker (23
1) The adapter for the suction collet (185) housed in
219) can absorb the misalignment of the center.
前記ピン取付台（２３４）から立設した夫々同長のロッ
ク解除ピン（２３３）は、前記ストッカー（２３１）及
びストッカー台（２３２）を貫通している。Lock release pins (233), each having the same length, are erected from the pin mount (234) and pass through the stocker (231) and the stocker stand (232).
ストッカー（２３１）の取付孔（２３５’）の上面側開
口周縁部の前後部には、吸着コレット支持台（２４Ｇ）
が立設され、夫々位置決めピン（２４１）（２４１）が
突設している。従って該交換装Ｒ（７）に吸着フレット
（１８５）が置かれている場合には、前記支持台（２４
０）上に前記フランジ部（２２６）が当接し、然も該フ
ランジ部（２２６）の長手力向側の端部にはＵ宇Ｗ４（
２２５）（２２５）が形成され、夫々位置決めピン（２
４１）（２４１）が該溝＜２２５）（２２５）に嵌合し
、該コレｙト（１８５）のθ回転を阻止する。A suction collet support stand (24G) is installed at the front and rear of the upper opening periphery of the mounting hole (235') of the stocker (231).
are erected, and positioning pins (241) (241) are provided respectively. Therefore, when the suction fret (185) is placed on the exchanger R (7), the support stand (24
0), the flange portion (226) is in contact with the flange portion (226), and the end portion of the flange portion (226) on the longitudinal direction side is
225) (225) are formed, and positioning pins (225) are formed, respectively.
41) (241) fits into the groove <225) (225) and prevents the θ rotation of the collet (185).
前記ピン取付台（２３４）は取付板（２３０）に取付け
られたシリンダー（２４２）により、ガイド（２４３＞
（２４３）に軸杆（２４４）（２４４）が案内されなが
ら上下動が可能である。 （２４５）（２４５）は前記
ストッカー台（２３２）に設けられた軸受体で、該軸受
体（２４５）に所定間隔を存して複数の押え部材（２４
７）が固定きれた軸杆（２４６）が回動自在に支持され
ている。該押え部材（２４７）は略クランク形状を呈し
て一端部が前記アダプタフランジ部（２２６）に上面か
ら係合するもので、任意の押え部材（２４７）の他端部
には回動用駆動源としてのシリンダー（２４８）が連結
している。The pin mount (234) is connected to the guide (243) by a cylinder (242) attached to the mounting plate (230).
It is possible to move up and down while being guided by the shaft rods (244) (243). (245) (245) is a bearing body provided on the stocker stand (232), and the bearing body (245) has a plurality of presser members (24
A shaft rod (246) to which 7) is fixed is rotatably supported. The holding member (247) has a substantially crank shape, and one end engages with the adapter flange portion (226) from above, and the other end of any holding member (247) is provided with a drive source for rotation. cylinders (248) are connected.
尚前記ツールストッカー（２３１）及びストッカー台（
２３２）に開設した複数の取付孔（２３５）（２３６）
の開設ピッチ、同じくロック解除ピン（２３３）が嵌合
する孔（図示せず）の開設ピッチ、ロック解除ビン（２
３３）の取付ピッチは全て同ピツチである。In addition, the tool stocker (231) and the stocker stand (
Multiple mounting holes (235) (236) opened in 232)
The opening pitch of the hole (not shown) into which the lock release pin (233) fits, and the opening pitch of the lock release pin (233)
33) all have the same mounting pitch.
次に突き上げ針装置（１４５）について詳述する。Next, the push-up needle device (145) will be described in detail.
先ず図示しない駆動モータ及びその出力軸に設けられた
歯車と歯車（２５０）とが噛合しており、娘歯車（２５
０）により回転ガイド（２５１）及び回転板（２５２）
が９０度正逆回転可能である。 （２５４）はシリンダ
ー（２５３）により上下動するベース体で、該ベース体
＜２５４）に取付けられた回転ガイド軸受（２５５）に
案内されつつ前記回転ガイド（２５１）は回転可能であ
る。First, a drive motor (not shown) and a gear provided on its output shaft mesh with a gear (250), and a daughter gear (25
0) rotates the rotating guide (251) and rotating plate (252).
can be rotated 90 degrees forward and backward. (254) is a base body that moves up and down by a cylinder (253), and the rotation guide (251) is rotatable while being guided by a rotation guide bearing (255) attached to the base body <254).
そして回転板（２５２）には、９０度異な−）た位置に
夫々第１のガイドレール（２５６）（２５７）に沿って
移動可ずｔな第１の作動レバー（２５８）（２５９＞及
び夫々第２のガイドレール（２６０＞（２６１＞に沿っ
て移動可能な第２の作獅レバー（２６２＞（２６３＞が
設けられる。第２の作動レバー（２６２）（２６３）に
は、ガイド体（２６４）（２６５）が設けられている。The rotary plate (252) is provided with first actuating levers (258) (259>) which cannot be moved along the first guide rails (256) (257), respectively, at positions 90 degrees apart from each other. A second operating lever (262>(263>) movable along the second guide rail (260>(261>) is provided.The second operating lever (262)(263) is provided with a guide body ( 264) (265) are provided.
一方のガイド体（２６４）は、小さいペレット（１ｇＯ
Ａ）に対応するもので、そのステージ面（２６６）の外
径は小さく、吸着孔（２６７）の孔径も小さい、該ガイ
ド体（２６４）には、突き上げ針（２６８）を上下動可
能とする案内通路（２６９）が中央部に形成され、また
４個開設された吸着孔（２６７）は夫々１つの集合室＜
２７０）に連通した後１つの連通路（２７１＞及び導管
（２７２）を介して真空源に連通している。One guide body (264) contains a small pellet (1gO
Corresponding to A), the outer diameter of the stage surface (266) is small, the diameter of the suction hole (267) is also small, and the guide body (264) has a push-up needle (268) that can move up and down. A guide passageway (269) is formed in the center, and four suction holes (267) are formed into one collection chamber.
270) and then to a vacuum source via one communication path (271> and a conduit (272)).
また他方のガイド体（２６５）は、大きいペレット（１
８０Ｂ）に対応するもので、そのステージ面（２７３）
の外径は前記ステージ面（２６６）のそれより大きく、
吸着孔（２７４）の孔径も前記吸着孔（２６７）のそれ
よりも大きい、そしてガイド体＜２６５）には、例えば
４木の突き上げ針（２７５）を上下動可能とする案内通
路（２７６）及び前記針（２７５）を支持する支持杆＜
２７６）を上下動可能とする案内通路（２７７）が形成
され、また８個開設された吸着孔（２７４）は夫々１つ
の集合室（２７９＞に連通した後１つの連通路（２８０
）及び導管（２８１）を介して真空源に連通している。Moreover, the other guide body (265) has a large pellet (1
80B), its stage surface (273)
has an outer diameter larger than that of the stage surface (266);
The diameter of the suction hole (274) is also larger than that of the suction hole (267), and the guide body <265) is provided with a guide passage (276) and a guide passage (276) that allow the up-and-down movement of the push-up needle (275), for example, made of four pieces of wood. A support rod supporting the needle (275)
A guide passage (277) is formed that allows the vertical movement of the suction holes (276), and eight suction holes (274) each communicate with one collection chamber (279>) and then connect to one communication passage (280).
) and a vacuum source via a conduit (281).
従って、該ガイド体＜２６５）の総吸引力は、ガイド体
（２６４）のそれよりも大きく設定しである。Therefore, the total suction force of the guide body (<265) is set to be larger than that of the guide body (264).
そして、前記突き上げ針（２６ｇ）及び支持杆（２７７
）の下部には、夫々フィルバネ（２８２）（２８３）が
巻装された状態で第１の作動レバー（２５８）（２５９
）に夫々取付けられる。従ってこれらバネ（２８２＞（
２８３）によって、両レバー（２５８）（２５９）、
（２６２）（２６３）が離反するように付勢される。Then, the push-up needle (26g) and the support rod (277g)
), the first operating levers (258) (259) are wound with fill springs (282) (283), respectively.
) are installed respectively. Therefore, these springs (282>(
283), both levers (258) (259),
(262) and (263) are urged to separate.
（２９０）（２９１）は下限ストッパで、第１の作動レ
バー （２５８）（２５９）の係合部（２９２バ２９３
）が当接することにより該レバー（２５Ｂ＞（２５９）
の下限が決定される。(290) and (291) are lower limit stoppers, which are the engaging portions (292 bar 293) of the first operating levers (258) and (259).
) comes into contact with the lever (25B>(259)
The lower limit of is determined.
即ち前記針（２６８）（２７５）の下限が決定されるこ
とによる。That is, the lower limits of the needles (268) and (275) are determined.
そして、後述の上下ローラー（２９４＞により夫々第１
の作動レバー（２５ｇ＞、 （２５９）が上動したとき
に、バネ（２８２）、 （２８３）によって第２の作動
レバー＜２６２＞、 （２６３）も上動するが、上限ス
トッパーポル１− ＜２９５）＜２９６）が上限ストッ
パ（２９７）（２９８）に当接すると上動は制限される
。更に第１のレバー（２５ｇ）。Then, the upper and lower rollers (294>, which will be described later),
When the operating levers (25g>, (259) move upward, the second operating levers (262), (263) also move upward due to the springs (282), (283), but the upper limit stopper pol 1-<295)<296) comes into contact with the upper limit stoppers (297) and (298), the upward movement is restricted. Furthermore, the first lever (25g).
（２５９）がバネ（２８２）、 （２８３）に抗して上
動すると、針Ｃ２６８＞（２７５）は上昇し、ウェハー
シート（１４６）のペレット＜１８ＯＡ）、 （１８０
Ｂ）を突き上げることになる。When (259) moves upward against springs (282) and (283), needle C268> (275) rises and pellets of wafer sheet (146) <18OA), (180
B) will be pushed up.
（２９９）、 （３００）は押下げビンで、第１の作動
レバー（２５ｇ）、 （２５９）が下降するときに第２
の作動レバー （２６２）（２６３）も下降することに
なる。(299) and (300) are push-down bins, and when the first operating lever (25g) and (259) descend, the second
The operating levers (262) and (263) will also be lowered.
・一方、ベース体（２５４）の上部には駆動モータ（３
０１）が取付けられ、その出力軸プーリ（３０２＞とネ
ジ軸（３０３）の上部のプーリ（３０４＞との間にベル
ト（３０５）が張設される。 （３０６）は前記ネジ軸
（３０３）を支持する支持体で、（３０７）は前記ネジ
軸（３０３）が嵌合し該ネジ軸（３０３）の回転により
上下する上下バーである。該上下バー（３０７）は回転
ガイド（２５１）の中空部に遊挿され、該バー（３０７
）端部の上下ローラー（２９４＞が該バー（３０７）の
上動に伴ない第１の作動レバー＜２５８）、 （２５９
）のいずれかを前述の如く上動させるものである。・On the other hand, a drive motor (3
01) is attached, and a belt (305) is stretched between its output shaft pulley (302> and the upper pulley (304>) of the screw shaft (303). (306) is the screw shaft (303). (307) is a vertical bar into which the screw shaft (303) is fitted and moves up and down as the screw shaft (303) rotates.The vertical bar (307) is a support body that supports the rotation guide (251). The bar (307
) The upper and lower rollers (294) at the ends move the first operating levers (258) and (259) as the bar (307) moves upward.
) is moved upward as described above.
（３０８）、 （３０９）は回転板ストッパで、夫々回
転板（２５２）に当接して、該回転板（２５２）の停止
１：、位置を確実なものとしており、このストッパ（３
０８）、 （３０９）に回転板（２５２）が当接する際
の衝撃を緩和するためにショ・ンクアブソーバが設けら
れている。(308) and (309) are rotary plate stoppers that respectively come into contact with the rotary plate (252) to ensure the stop position 1 of the rotary plate (252).
08) and (309) are provided with a shock absorber to reduce the impact when the rotating plate (252) comes into contact with the rotating plate (252).
そして第４０図に示すように、前記ガイド体（２６４）
、 （２６５）と真空源との間には、第１のフィルター
（３１０）、（３１１）と、切換弁（３１２＞、 （３
１３）と、該切換弁（３１２）、 （３１３）と真空源
との間に並列に接続される二又絞り弁（３１４）（３１
５）、 （３１６）（３１７）、第２のフィルター（３
１８）＜３１９＞、 （３２０）＜３２１）及びパルプ
（３２２）（３２３）、 （３２４）（３２５＞とが設
けられる。As shown in FIG. 40, the guide body (264)
, (265) and the vacuum source are first filters (310), (311) and switching valves (312>, (3
13), and a two-pronged throttle valve (314) (31) connected in parallel between the switching valve (312), (313) and the vacuum source.
5), (316) (317), second filter (3
18) <319>, (320) <321) and pulp (322) (323), (324) (325>) are provided.
尚真空圧のＩＬＬ！！は、二又絞り弁（３１４）（３１
５）。In addition, vacuum pressure ILL! ! The two-pronged throttle valve (314) (31
5).
（３１６）（３１７＞の一方の大気に開放している弁（
３２６）（３２７）、 （３２８）（３２９）の絞り具
合により決まる。(316) One of the valves (317> open to the atmosphere)
It is determined by the degree of aperture of 326) (327), (328) and (329).
前記第１のフィルター（３１Ｇ）、 （３１１）は、吸
着孔（２６７）、 （２７４）から吸い込んだ塵埃を除
塵して、切換弁（３１２）、 （３１３）及び二又絞り
弁（３２６）（３２７）。The first filters (31G), (311) remove the dust sucked in from the suction holes (267), (274), and remove the dust from the switching valves (312), (313) and the two-pronged throttle valve (326) ( 327).
（３２８）（３２９）を保護し、第２のフィルター（３
１ｇ）。(328) (329) and the second filter (3
1g).
（３１９）、 （ａ２ｏ）、 （３２１）は、前記二又
絞り弁（３２６）（３２７）、（３２８）（３２９）カ
ラ吸イ込ンタ塵埃をｖＲ塵し、夫々バルブ（３２２）（
３２３）、 （３２４）（３２５）を保護する。(319), (a2o), and (321) are the two-pronged throttle valves (326), (327), (328, and
323), (324) and (325).
以上の構成により以下動作について説明する。The operation of the above configuration will be explained below.
い） コンベア（２）幅のＩＲ整動作
固定シュート（２０Ｂ）に対１゛る可動シュート（２０
Ａ）の移動動作について以下述べる。１ａ々の大ききの
プリント基板（Ｐ）をコンベア（２）を搬送できるよう
にするために、先ず駆動モータ（３８）によりベルト（
３９）及び各プーリ（４０）＜４１）を介してポールネ
ジ体（３６）（３７）を回転させる。するとナツト体（
３５）〈３６）が可動シュート（２０Ａ）と共に進退動
するが、このとき可動シュート（２０Ａ）はスプライン
軸（２７）に案内されながら移動することになる。従っ
て両ス−ｊ ｏケラト（１６）、 （１７）間に張設さ
れたチェーン（１８Ｂ）も移動することにムリ、プリン
ト基板（Ｐ）の送り方向と直交する方向の幅に対応でき
ることになる。) A movable chute (20
The moving operation in A) will be described below. In order to enable the conveyor (2) to transport large printed circuit boards (P) of 1A to 1A, the drive motor (38) first moves the belt (
39) and each pulley (40)<41) to rotate the pole screw bodies (36) and (37). Then, the nut body (
35) <36) moves forward and backward together with the movable chute (20A), and at this time the movable chute (20A) moves while being guided by the spline shaft (27). Therefore, the chain (18B) stretched between the two skateboards (16) and (17) is also forced to move, making it possible to accommodate the width of the printed circuit board (P) in the direction perpendicular to the feeding direction. .
（ｉ） プリント基板（Ｐ）の搬送動作駆動モータ（
２１）が通電されると、ベルト（２３）を介してインデ
ックス装置（２２）が働らき、その出力軸プーリ（２０
とプーリ（２５）との間に張設されたベルト（２６）に
より支軸（３２）（３３）を介して駆動スプロケット（
１６）（１６）が回転する。このため従動スプロケット
（１７）（１７）も回転し、チェーン（１８Ａ）（１８
Ｂ）上°、のプリント基板ＣＰ）は間欠的に搬送される
ことになる。(i) Printed circuit board (P) transport operation drive motor (
21) is energized, the indexing device (22) operates via the belt (23), and its output shaft pulley (20
A belt (26) stretched between the pulley (25) and the drive sprocket (
16) (16) rotates. Therefore, the driven sprockets (17) (17) also rotate, and the chains (18A) (18
B) The printed circuit board CP) shown above will be transported intermittently.
このとき、プリント基板（Ｐ）は、各係合片（１９）に
その上流側端部が係合した状態で、間欠的に搬送される
。At this time, the printed circuit board (P) is intermittently conveyed with its upstream end engaged with each engagement piece (19).
尚、駆動スプロケット（１６）の加工上の寸法誤差が送
り精度のバラツキ、にならないようインデックス装置（
２２）の１割出しによって、該スプロケット（１６）が
１回転するようにし、このスプロケット（１６）の１回
転が間欠搬送の１ピツチとなるように該スプロケット（
１６）、プーリの歯数が決めである。In addition, an indexing device (
The sprocket (16) rotates once by indexing the sprocket (22), and the sprocket (16) is rotated so that one revolution of the sprocket (16) corresponds to one pitch of intermittent conveyance.
16), the number of teeth on the pulley is determined.
またローダ（６７Ａ）から前記チェーン（１８Ａ）（１
８Ｂ）上へプリント基板（Ｐ）の橋渡しは、先ず収納箱
（６８Ａ）内の最下位にある基板（Ｐ）を押出部材（６
９）により押出すことにより行なわれる。即ち押出部材
（６９）は、前記各係合片（１９）間に各基板（Ｐ）が
位置するように作動する。Also, from the loader (67A) to the chain (18A) (1
8B) To bridge the printed circuit board (P) above, first move the lowest board (P) in the storage box (68A) to the extrusion member (6
9) by extrusion. That is, the pushing member (69) operates so that each substrate (P) is positioned between each of the engaging pieces (19).
前記押出部材（６９）が基板（Ｐ）を押出すと、この押
出動作開始に同期して各ブレーキ部材（６５Ａ）（６５
Ｂ）により各吸引口（６６）を介して基板（Ｐ）の動き
に真空によってブレーキをかけるので、コンベア（１８
Ａ）（１８Ｂ）上に確実に安定した状態で乗り移れる。When the extrusion member (69) extrudes the substrate (P), each brake member (65A) (65
B) brakes the movement of the substrate (P) through each suction port (66) by means of a vacuum, so that the conveyor (18
A) (18B) You can reliably and stably move onto the top.
而してこの乗り移った後は、前記押出動作終了に同期し
て真空源による吸引を解除する。After this transfer, the suction by the vacuum source is released in synchronization with the end of the extrusion operation.
尚基板（Ｐ）の搬送中に何らかの事故が起きて、過負荷
状態となると、ドルクリミック（６２）が働らきその検
出板（６３）が軸方向に移動することになるので、一対
の光センサ−（６４）で過負荷状態を検出することがで
きる。このときには、当該駆動モータ（２１）を非通電
とすると共に図示しない報知手段で使用者にその旨を報
知する。従って使用者は、その事故の原因を取除けばよ
い。If some kind of accident occurs during the transportation of the substrate (P) and an overload condition occurs, the droklymic (62) will be activated and its detection plate (63) will move in the axial direction, so the pair of optical sensors An overload condition can be detected at (64). At this time, the drive motor (21) is de-energized and a notification means (not shown) notifies the user of this fact. Therefore, the user should remove the cause of the accident.
またこのようにしてプリント基板（１’）の搬送は行な
われるが、経時変化等でチェーン（１８Ａ）が伸びて係
合片（１９）の停止位置がずれである許容範囲。Furthermore, although the printed circuit board (1') is transported in this manner, the chain (18A) stretches due to changes over time, etc., and the stopping position of the engaging piece (19) may shift within the allowable range.
を越えた場合には、センサー（４３）が保合片（１９）
に遮光されず係合片（１９）の存在を１無し」と検知す
ると、電子部品装着装置全体を停止させる。この場合、
作業者は、手動でもってインデックス装置（２２）の軸
を回し、ずれ量を補正し、正規の位置に戻せばよい。If the sensor (43) exceeds the retaining piece (19)
When the presence of the engaging piece (19) is detected as "1" without being shielded from light, the entire electronic component mounting apparatus is stopped. in this case,
The operator can manually rotate the shaft of the indexing device (22), correct the amount of deviation, and return it to the normal position.
（ｉ） プリント基板（Ｐ）の位置決め動作そしてチ
ェーン（１８Ａ）（１８Ｂ）により、位置決め装置２！
（４）の位置に到達したのが検知されると、駆動モータ
（２１）の通電は断たれプリント基板（Ｐ）の搬送は停
止する。(i) Positioning operation of the printed circuit board (P) and the chain (18A) (18B), positioning device 2!
When it is detected that the position (4) has been reached, the power supply to the drive motor (21) is cut off and the conveyance of the printed circuit board (P) is stopped.
すると、モータ（７７）が通電されベルト（７９）を介
して軸杆（７２）が回転するので、各カム（７３）（７
４）（７５）も回転し、該カムの形状に合わせてカムフ
ォロワー（８０）（８１）＜８２＞を介して、各上下部
材（８６）（８７）（８８）は上下動することになる。Then, the motor (77) is energized and the shaft rod (72) rotates via the belt (79), so each cam (73) (7
4) (75) also rotates, and the vertical members (86), (87), and (88) move up and down via the cam followers (80), (81), and <82> according to the shape of the cam. .
これによりプリント基板（Ｐ）の送り方向、この送り方
向と直交する幅方向、これらの方向と直交する垂直方向
の位置規制を行なう。This controls the position of the printed circuit board (P) in the feeding direction, the width direction perpendicular to the feeding direction, and the vertical direction perpendicular to these directions.
■ プリント基板（Ｐ）の送り方向の位置規制基板（Ｐ
）がこの位置決め位置に到達する前は、カムレバー（９
１）が上昇位置にあるため第８図に示す状態にある。■ Position regulating board (P) in the feeding direction of the printed circuit board (P)
) before reaching this position, the cam lever (9
1) is in the raised position, so it is in the state shown in FIG.
そして、モータ（７７）の通電により回転するクランプ
カム（７５）に合わせて、上下部材（８８）がバネ（１
１２＞に抗して下降すると、バネ（９８）により可動ク
ランプ（９４）がバネ（９７）に抗して基準クランプ（
９３）が夫々回動じてプリント基板（Ｐ）の送り方向の
位置規制が行なわれる。Then, the upper and lower members (88) are moved by the spring (1) in accordance with the clamp cam (75) that rotates when the motor (77) is energized.
12>, the spring (98) causes the movable clamp (94) to move against the spring (97) and lower the reference clamp (
93) are rotated to regulate the position of the printed circuit board (P) in the feeding direction.
即ち、ガイド（８５）に沿って上下部材（８８）が下降
すると、６Ｔ動クランプ（９４）は支軸（９６）を支点
とし基準り２ンブ（９３）は支軸（９５）を支点とし℃
夫々回動する。このため、各タテ）・プが基板（Ｐ）の
上流側端面及び下流０１端面に当接することになる。That is, when the upper and lower members (88) descend along the guide (85), the 6T movable clamp (94) uses the support shaft (96) as a fulcrum, and the 2-tube clamp (93) uses the support shaft (95) as a fulcrum, and the 6T movement clamp (94) uses the support shaft (95) as a fulcrum and moves downwards.
Each rotates. For this reason, each of the vertical and vertical ends comes into contact with the upstream end surface and the downstream end surface of the substrate (P).
尚プリント基板（Ｐ）の送り方向の寸法が変更する場合
には、チェーン（１８Ａ）（１８Ｂ）にａｔする前に１
図示しない駆動源によりネジ軸（１０４）を回転させる
ことにより行なう、このネジ軸（１０４＞が回転すると
、ボールネジ体（１０５）及び連結体（１０６）を介し
てリニアガイド（１０１）に沿ってＸテーブル（１０２
）が移動する。このＸテーブル（１０２）には、可動ク
ランプ（９４）を支持する可動体（１０３）が固定され
ているので、基準クランプ（９３）に対して可動クラン
プ（９４）が遠ざかったり近づいたりすることが′でき
る。これにより、プリント基板（Ｐ）の送り方向の寸法
が変っても、対処できることになる。In addition, if the dimensions of the printed circuit board (P) in the feeding direction are changed, 1.
This is done by rotating the screw shaft (104) by a drive source (not shown). When the screw shaft (104) rotates, it moves in the direction of Table (102
) moves. Since a movable body (103) that supports the movable clamp (94) is fixed to this X table (102), the movable clamp (94) cannot move away from or approach the reference clamp (93). 'can. This makes it possible to deal with changes in the dimensions of the printed circuit board (P) in the feeding direction.
■ プリント基板（Ｐ）の送り方向と直交する幅方向の
位置規制
基板（Ｐ）がこの位置決め位置に到達する前は、−１１
下部材（８６）及びカムレバー（８９）が上昇位置にあ
るので、バネ（１２３）に抗して幅寄せ部材（１２０）
は第１１図に示すような状態にある。■ Before the position regulating board (P) in the width direction perpendicular to the feeding direction of the printed circuit board (P) reaches this positioning position, -11
Since the lower member (86) and the cam lever (89) are in the raised position, the width adjusting member (120) resists the spring (123).
is in the state shown in FIG.
そして航記モータ（７７）の通電により回転する幅寄せ
カム（７３）の形状に合わせて上下部材（８６）が下降
する。このためバネ＜１２３）によって幅寄せ部材（１
２０）は支軸＜１１９＞を支点として上部が基板（Ｐ）
側に回動する。この回動により基板（Ｐ）を可動ベアリ
ング体（１１６）とで挾持することになる。従って基板
（Ｐ）の幅方向の位置が規制されることになる。Then, the upper and lower members (86) are lowered in accordance with the shape of the width shifting cam (73) which is rotated by energization of the navigation motor (77). Therefore, the spring <123) is applied to the width adjusting member (1
20) has the support shaft <119> as the fulcrum and the upper part is the board (P)
Rotate to the side. This rotation causes the substrate (P) to be held between the movable bearing body (116). Therefore, the position of the substrate (P) in the width direction is regulated.
尚このプリント基板ＣＰ＞の送り方向と直交する幅方向
の寸法が変った場合には、前述の如く、駆動モータ（３
８）により可動シュート（２０Ａ）を移動さけ、固定シ
ュート（２０Ｂ）との間隔を拡開したり、狭めることに
よって結果的にこれら幅寄せ部材（１２０）を移動させ
ればよい。If the dimension of the printed circuit board CP> in the width direction perpendicular to the feeding direction changes, the drive motor (3
8), the movable chute (20A) is moved, and the distance between it and the fixed chute (20B) is widened or narrowed, thereby moving these width adjusting members (120).
■ プリント基板（Ｐ）の垂直方向の規制基板（Ｐ）が
この位置決め位置に到達する前は、上下部材（８７）及
びカムレバー（９ｏ）は第１３図に示すように下降位置
にあって、吸着用」；下部材（８７Ａ）（８７Ｂ）の上
面はチェーン（１８Ａ）（１８Ｂ）の上面よりわずかに
高いレベルにあり、各チェーン（１８Ａ）（１８Ｂ）の
係合片（１９）により基板（Ｆ’）はチェーンから各上
下部材（８７Ａ）（８７Ｂ）の上面に乗り移って吸着さ
れる。そしてコンベア（２）が停止したときにその吸着
を停止することになるが、この吸着によりコンベア（２
）が停止したときの慣性によってプリント基板（Ｐ）が
移動することは少ない。■ Before the vertical regulation board (P) of the printed circuit board (P) reaches this positioning position, the upper and lower members (87) and the cam lever (9o) are in the lowered position as shown in Fig. 13, and the suction The upper surface of the lower member (87A) (87B) is at a slightly higher level than the upper surface of the chain (18A) (18B), and the engagement piece (19) of each chain (18A) (18B) ') is transferred from the chain to the upper surface of each upper and lower member (87A) (87B) and is attracted. Then, when the conveyor (2) stops, the suction will be stopped, but this suction causes the conveyor (2) to stop.
) is rarely moved due to inertia when it stops.
そして前記モータ（７７）の通電により回転するりフト
カム（７４）の形状に合わせて、上下部材（８７）及び
カムレバー（９０）が上昇すると、プリント基板（Ｐ）
は、バネ（１３３）（１３３）により上昇する前記上下
部材（８７Ａ）＜８７Ａ）によって押上げられる。この
ため基板（Ｐ）は、送り方向及びこの送り方向と直交す
る幅方向の位置規制がなされた状態で、基板押え（１３
５）（１３５）の保合部（１３６）＜１３Ｇ＞の下面に
当接した状態となる（第１４図参照）。When the upper and lower members (87) and the cam lever (90) rise in accordance with the shape of the lift cam (74) that rotates when the motor (77) is energized, the printed circuit board (P)
is pushed up by the upper and lower members (87A)<87A) which are raised by springs (133) (133). For this reason, the board (P) is held in place by the board holder (13
5) The retaining portion (136) of (135) comes into contact with the lower surface of <13G> (see FIG. 14).
従って、この規制装！ （１３０）によって、基板（Ｐ
）ノ＼の部品実装面の位置を、該基板（Ｐ）の厚さに影
ａすれず常に一定とすることができる。Therefore, this regulation outfit! (130), the substrate (P
) The position of the component mounting surface can be kept constant regardless of the thickness of the substrate (P).
以上の基板（Ｐ）の各位置規制は、モータ（７７）の通
電により略同時に開始されることになるが、送り方向の
位置規制、この送り方向とは直交する幅方向の位置規制
、これらの方向と直交する垂直方向の位置規制の順に終
了する。Each position regulation of the board (P) described above is started almost simultaneously when the motor (77) is energized, but the position regulation in the feeding direction, the position regulation in the width direction perpendicular to this feeding direction, and these It ends in the order of position regulation in the vertical direction orthogonal to the direction.
（ｉｖ） ウェハーテーブル（９）等の動作前述のよ
うに位置規制谷れた状態にあるプリント基板（Ｐ）にペ
レットを装着するわけであるが、この装着前にウェハー
テーブル（９）上の所望ウェハーシート（１４６）がス
テーション（Ａ）に移動するように、ウェハー支持台（
１１）を図示しない駆動滉により正逆いずれかに回転さ
せる。(iv) Operation of wafer table (9), etc. As mentioned above, pellets are mounted on the printed circuit board (P) which is in a positionally restricted position. The wafer support stage (
11) is rotated in either forward or reverse direction by a drive mechanism (not shown).
次にＸ軸周モータ（１４１）、Ｙ軸周モータ（１４２）
により各カイト（１４３）（１４４）に沿ッテ、ＸＹｙ
−プル（１４０＞及び支持台（１１）を平面方向に移動
きせて、突き上げ計装！（１４５）のガイド体（２６４
）の上方位置に所望のウェハーシート（１４６）上のペ
レット（１ＢＯＡ）が位置するようにする。Next, the X-axis circumferential motor (141), the Y-axis circumferential motor (142)
Along each kite (143) (144), XYy
- Move the pull (140> and support stand (11) in the plane direction and push up the guide body (264) of the instrumentation! (145).
) so that the pellet (1BOA) on the desired wafer sheet (146) is located above the wafer sheet (146).
そしてシリンダー（２５３）によりべ一体（２５４）を
上動させ、前記ガイド体（２６４）をウェハーシート（
１４６）に近接させる。その後駆動モータ（３０１）を
通電させ、各プーリ（３０２）（３０４＞及びベルト（
３０５）を介してネジ軸（３０３）を回転させ上下バー
（３０７）を−上昇させる。すると該パー（３０７）は
、第１の作動レバー（２５８）を−ｈＪ？、きせるので
、バネ（２８２）によって第２のレバー（２６２）も上
昇するが、ボルト（２９５）が上限ストッパ（２９７）
に当接するので、この上動は制限される。Then, the cylinder (253) moves the bezel (254) upward, and the guide body (264) moves the wafer sheet (
146). After that, the drive motor (301) is energized, and each pulley (302) (304> and belt (
305) to rotate the screw shaft (303) to raise the vertical bar (307). Then, the par (307) moves the first operating lever (258) to -hJ? , so the second lever (262) also rises due to the spring (282), but the bolt (295) is pushed up by the upper limit stopper (297).
This upward movement is restricted as it comes into contact with the .
しかし、更に第１のレバー（２５８）は上動するので、
突き上げ針（２６８）は上昇する。従って第３６図に示
すように、真空源により導管（２７２）、連通路（２７
１）及び吸着孔（２６７）を介して、ステージ面（２６
６）、ヒに吸着したシート（１４６）を突き上げ、シー
ト（１４６）面からペレット（１ＢＯＡ）を剥がすよう
にして装着ヘッド（４）の吸着部（２２７）とで保持す
る状態として該吸着部（２２７）が確実にペレット（１
８０Ａ）を吸着する。However, since the first lever (258) further moves upward,
The push-up needle (268) rises. Therefore, as shown in FIG.
1) and the suction hole (267), the stage surface (26
6) Push up the sheet (146) that has been adsorbed to the surface of the sheet (146) and peel off the pellet (1BOA) from the surface of the sheet (146) to hold it with the adsorption part (227) of the mounting head (4). 227) is reliably pelleted (1
80A).
但し、このとき突き上げ針（２６８）は、その下限停止
位置から一気に突き上げるのではなく、ベレット吸着後
の吸着コレット（１８５）の上昇クイミ２ングと同期を
とるために、先ず突き上げ針（２６８）上端がステージ
面（２６６）と同一レベルで待機して、しかるべきタイ
ミング信号でもつで上昇して前記シート（１４６）を突
き上げる（第３６図参照）、このとき降下している吸着
コレット（１８５）の吸着部（２２７）の下端部とでペ
レット（１ＢＯＡ）を挾持しても、更に針（２６８）は
上昇するので、装着ヘッド（１４）の上下移動体（１５
９）が停止状態にあってもバネＢ （１７９）に抗して
吸着ノズル体（１８４）を上昇させる。However, at this time, the push-up needle (268) is not pushed up all at once from its lower limit stop position, but in order to synchronize with the upward movement of the suction collet (185) after the pellet is adsorbed, the push-up needle (268) is first pushed up from the upper end of the push-up needle (268). waits at the same level as the stage surface (266), rises with a proper timing signal and pushes up the sheet (146) (see Figure 36), and at this time the suction collet (185) that is descending Even if the pellet (1BOA) is clamped between the lower end of the suction part (227), the needle (268) will rise further, so the vertical moving body (15) of the mounting head (14)
9) is in a stopped state, the suction nozzle body (184) is raised against the spring B (179).
この後突き上げ針（２６８）と吸着ノズル体（１Ｂ４）
は、同期してペレット（１８０Ａ）を挟持した状態で共
に上昇する。モして、所定の上昇に到達した後は、前記
ノズル体（１８４）のみ上昇し、前記針（２６Ｂ）は下
降し待機位置に戻る。After this, push up needle (268) and suction nozzle body (1B4)
synchronously rise together with the pellet (180A) sandwiched between them. After reaching a predetermined elevation, only the nozzle body (184) ascends, and the needle (26B) descends and returns to the standby position.
この吸着後は、前記駆動モータ（３０１）の回転を逆転
さけ、上下バー（３Ｇ？）を下動きせバネ（２８２）に
より第１の作動レバー（２５８）を下降させるので前記
針（２６８）は下降し、更に上下バー（３０７＞が下動
すると、第２の作動レバー（２６２）も下降し、この突
き上げ針装置！（１４５）はシリンダー（２５３）によ
って下降することによって初期状態となる。After this adsorption, the rotation of the drive motor (301) is reversed, the vertical bar (3G?) is moved downward, and the first operating lever (258) is lowered by the spring (282), so that the needle (268) When the upper and lower bars (307> are lowered), the second actuating lever (262) also lowers, and the push-up needle device! (145) is lowered by the cylinder (253) to return to its initial state.
次に大きなペレット（１８０Ｂ＞を装着したい場合には
、そのウェハーシート（１４６＞がステージ日〉・（Ａ
）に位置するように支持台（１１）を回転きせると共に
ＸＹテーブル（１４Ｇ）及び支持台（１１）を平面方向
に移動させて、次の装着動作に備える。°また突き上げ
針装置（１４５）の回転板（２５２＞を９０度回転きせ
る。即ち、図示しない駆動モータに通電して、その出力
軸に設けられたｔＩｉＩ車に噛合する歯車（２５０）に
より回転ガイド（２５１）及び回転板（２５２）を回転
きけ、回転板ストッパ＜３０８）に当接して停止位置を
確実なものにしている。If you want to attach the next large pellet (180B), the wafer sheet (146) is the stage day
), the XY table (14G) and the support base (11) are moved in the plane direction in preparation for the next mounting operation. °Also, the rotary plate (252> of the push-up needle device (145) is rotated 90 degrees. That is, the drive motor (not shown) is energized and the rotation is guided by the gear (250) that meshes with the tIiI wheel provided on its output shaft. (251) and the rotary plate (252) are allowed to rotate and come into contact with the rotary plate stopper <308) to ensure the stopping position.
従って、大きなペレット（１８０Ｂ）用のガイド体（２
６５）がウェハーシート（１４６）の直下方に位置する
ことになる。Therefore, the guide body (2) for large pellets (180B)
65) is located directly below the wafer sheet (146).
尚第４０図に示すように、ペレットをウェハーシー ト
（１４６）から剥離する際に、ウェハーシート（１４６
）をステージ面（２６６）に吸着するための真空圧も変
更することができる。即ち比較的小言なペレ７ ト（１
８０Ａ）の場合には、切換弁（３１２）を切換えること
によって、二叉絞り弁（３１４）、 （３１５）のいず
れかを選択して異なる真空圧で吸引でき、また比較的大
きなペレット（１８０Ｂ＞の場合には、切換弁（３１３
）を切換えることによって、二又絞り弁（３１６）、
（３１７）のいＣれかを選択して異なる真空圧で吸引で
きる。As shown in FIG. 40, when peeling the pellets from the wafer sheet (146), the wafer sheet (146)
) to the stage surface (266) can also be varied. In other words, the relatively nagging Pele 7 (1
80A), by switching the switching valve (312), you can select either of the two-pronged throttle valves (314) and (315) to suction at different vacuum pressures, and relatively large pellets (180B> In this case, the switching valve (313
) by switching the two-pronged throttle valve (316),
You can select one of (317) to suck at different vacuum pressures.
従って、各ガイド体（２６４）、 （２６５）につき２
ａ類の真空圧を選択調整でき、各ウェハーテーブル（９
）（１０）上のウェハーの大きさの異なる種類に応じて
対応することができる。Therefore, 2 for each guide body (264), (265)
The vacuum pressure of type a can be selectively adjusted, and each wafer table (9
) (10) Can be adapted to different types of wafer sizes.
例えば、前述の小さなぺ【・ット（１８０Ａ）を扱う場
合には、切換弁（３１２）を切換えて、二又絞り弁（３
１４）を選択し、各パルプ（３２３）、 ＜３２４）、
（３２５）を閉ビ、パルプ（３２２）は開く、すると
真空圧は、例えば２５０ｆｆ５１１ｇとなる。またこの
とき、ガイド体（２６４）の吸２１孔（２６７）を介し
て吸い込んだ塵埃は第１のフィルター（３１０）で除！
！！きれ、切換弁（３１２）及び二又絞り方（３１４）
は保：１１＊れる。更には、二又絞り弁（３１４）の弁
（３２６）から吸い込んだ塵埃は第２のフィルター（３
１８）で除塵され、パルプ（３２２）は保護される。こ
のベレ・シト（ＩＩＯＡ）より少許大きなペレットを扱
う場合には、切換弁（３１２）を切換えて二又絞り弁（
３１５）を選択して、真空圧を例えば３５００１１１１
ｇとする。For example, when handling the aforementioned small pet (180A), switch the switching valve (312) and
14) and select each pulp (323), <324),
(325) is closed and the pulp (322) is opened, then the vacuum pressure becomes, for example, 250ff511g. Also, at this time, the dust sucked in through the suction hole 21 (267) of the guide body (264) is removed by the first filter (310)!
! ! Opening, switching valve (312) and bifurcated throttle (314)
Haho: 11*reru. Furthermore, the dust sucked in from the valve (326) of the two-pronged throttle valve (314) is filtered through the second filter (326).
18) to remove dust and protect the pulp (322). When handling pellets slightly larger than this IIOA, switch the selector valve (312) to the two-pronged throttle valve (
315) and set the vacuum pressure to 35001111, for example.
Let it be g.
勿論大きなペレット（１８０Ｂ）を扱う場合には、切換
弁（３１３）を切換えて、二又絞り弁（３２８）、 （
３２９）のいずれかを選択して、真空圧を例えば３００
＋１１１！ＩＩ＠。Of course, when handling large pellets (180B), switch the switching valve (313) and use the two-pronged throttle valve (328), (
329) and set the vacuum pressure to 300, for example.
+111! II@.
４００ｍＨｇのいずれかに設定することができる。It can be set to either 400 mHg.
（Ｖ） ペレットの装着動作
装着ヘッド（１４）は、駆動モータ（１５４Ａ）によっ
て回転されるボールネジ（１５１＾）によりＸ方向の移
動ができ、駆動モータ（１５４Ｂ）によって回転される
ポールネジ（１５１１Ｓ）によりガイド体（１５２）（
１５２）に沿っ°てＹ方向の移動が可能となる。(V) Pellet loading operation The loading head (14) can be moved in the X direction by a ball screw (151^) rotated by a drive motor (154A), and can be moved in the X direction by a pole screw (1511S) rotated by a drive motor (154B). Guide body (152) (
152) in the Y direction.
従って、装着ヘッド（１４）は、ステージＲン（Ａ）に
位置するウェハーシート（１４６）の吸着すべきペレッ
ト（１ＢＯＡ＞の上方位置まで移動でき、次いで吸着コ
レット（１８５）を降下させることにより所望のペレッ
ト（１８０Ａ）を吸着できる。この点につき以下詳述す
る。Therefore, the mounting head (14) can move to a position above the pellet (1BOA>) to be adsorbed on the wafer sheet (146) located on the stage Rn (A), and then lower the adsorption collet (185) to the desired position. pellets (180A) can be adsorbed.This point will be explained in detail below.
先ず駆動モータ（１５４Ｇ）に通電して、各プーリ（１
５５）、 （１５７）、ベルト（１５ｇ＞を介してネジ
軸（１５６）を回転させ、上下移動体（１５９）を降下
きせる。ｆると、加圧用モータ（１６２）によりバネＢ
（１７９）によって、加圧ベアリング体（１７４）が
ロータリジヨイント（１７６）及び固定ベアリング体（
１７５）に押圧しているので、吸着ノズル体（１８４）
は上下ガイド体（１９２）に沿ってウェハーシート（１
４６）まで降下する。このため、前述の如く突き上げ計
装Ｗ （１４５）の針（２６８）と相俟ってペレット（
１８０Ａ）を確実に吸着できる。First, power is applied to the drive motor (154G), and each pulley (1
55), (157), the screw shaft (156) is rotated via the belt (15g), and the vertical moving body (159) is lowered. Then, the spring B is moved by the pressurizing motor (162).
(179), the pressurized bearing body (174) is connected to the rotary joint (176) and the fixed bearing body (
175), the suction nozzle body (184)
is the wafer sheet (1) along the upper and lower guide bodies (192).
46). Therefore, as mentioned above, the pellet (
180A) can be reliably adsorbed.
そして、この吸着後は前記モータ（１５４Ｇ）の回転を
逆転させて、ネジ軸（１５６）により上下移動体（１５
９）を上昇させるが、この上昇後はロックソレノイド（
１６３）を励磁させる。このため吸引されたブチンジャ
（１６６）によりバネ（１７０）に抗して揺動（１７３
）を支軸（１７２）を支点として回動させる。従って上
下移動体（１５９）に固定された支持体（１６８）に設
けられた固定ベアリング体（１７５）と加圧ベアリング
体（１７４）とで、ロータリジヨイント（１７６）の鍔
体（１７７）を挾持した状態にロックする。勿論このロ
ック動作は、装着ヘッド（１４）の水平移動中に行なわ
れ、このｏ ＝ｙり動作後必要あらば吸着ノズル体（１
８４）（７） Ｏｒｉｉ１転を行ナイ、ぺＬ・ｙ ）
（１８０Ａ）（７） 平面方向における向きを基板（Ｐ
）への装着向きに合わせる。After this suction, the rotation of the motor (154G) is reversed, and the vertical moving body (15) is rotated by the screw shaft (156).
9), but after this rise, the lock solenoid (
163) is excited. Therefore, the sucked butinja (166) swings (173) against the spring (170).
) is rotated about the support shaft (172) as a fulcrum. Therefore, the collar body (177) of the rotary joint (176) is moved by the fixed bearing body (175) and the pressurized bearing body (174) provided on the support body (168) fixed to the vertically movable body (159). Lock in the clamped position. Of course, this locking operation is performed during the horizontal movement of the mounting head (14), and if necessary after this o = y movement, the suction nozzle body (14) is
84) (7) Orii 1 turn is not performed, PeL・y)
(180A) (7) Adjust the orientation in the plane direction to the substrate (P
).
即ら、駆動モータ（１９５）の通電により各プーリ（１
９６＞、 （１９７）、ベルト（１９８）を介して、上
下ガイド体（１９２）及び規制ベアリング（１９４）に
よって吸着７・ゾル体（１８０はθ回転することになる
。That is, by energizing the drive motor (195), each pulley (1
96>, (197), the suction 7/sol body (180) is rotated by θ by the upper and lower guide bodies (192) and the regulation bearing (194) via the belt (198).
この吸着ノズル体（１８４）は、装着ヘッド（１４）の
水平方向の移動によって、前述のように位置規制された
状態にあるプリント基板（Ｐ）の上方位置ま゛で移動し
、該基板（Ｐ）の所望位置にペレ・ント（１８０＾）を
装着することができる。By the horizontal movement of the mounting head (14), this suction nozzle body (184) moves to a position above the printed circuit board (P) whose position is regulated as described above. ) can be attached to the desired position of the pellet (180^).
即ち、前述の如く、モータ（１５４Ｃ）に通電して、上
下移動体（１５９）を降下させ、吸着ノズル体（１８４
）を基板（Ｐ）上まで降下させるがその途中で、前記ロ
ックソレノイド（１６３）を消磁させてロック動作を解
除する。That is, as described above, the motor (154C) is energized to lower the vertical moving body (159) and the suction nozzle body (184
) is lowered onto the board (P), but on the way there, the lock solenoid (163) is demagnetized to release the locking operation.
この装着時には、ノ七ネＢ （１７９）によってペレッ
ト（１ＢＯＡ）はプリント基板（Ｐ）に押圧されること
になる。従ってこの押圧力を変更したい場合には、加圧
用モータ（１６２）の回転角度を希望の値にデータ設定
することにより行なえる。During this mounting, the pellet (1BOA) is pressed against the printed circuit board (P) by the No. 7 Nee B (179). Therefore, if it is desired to change this pressing force, it can be done by setting data for the rotation angle of the pressing motor (162) to a desired value.
尚、前記吸着コレット（１８５）による吸看動作時に、
図示しない真空源による真空吸引動作が開始した場合に
、当該装着装置の全てを統轄制御するマイクロ・コンピ
ュータ（２８７）は、前記真空スイッチ（１９１）、光
電検知装置（２１５）からの検知データをオア回路（２
８５）かアンド回路（２８６）を介して取り込む、そし
て、切換スイッチ（２８４Ａ）（２８４Ｂ）の状態によ
り少なくとも一方の検知データか両方の検知データの内
容がベレットｒ無し」であれば、予めペレット無しカウ
ンター（図示せず）に設定された回数Ｎだけ、ピックア
ップ動作を繰り返し、８回を越えると、装着ヘッド（１
４）、 （１５）を原点に復帰させて、当該装着装置の
運転を停止すると共に使用者に報知手段（２ｇ９）によ
って視覚か聴覚により使用者にその旨を報知する。従っ
て使用者は、ペレット１無し」が事実か否かの確認をし
、事実でなければ真空スイッチ（１９１）の作動レベル
を調整したり、光電検知装置（２１５）の高さ位置調整
を行なって一回試運転させるか再運転許せて、その調整
が適切か否かを確認する。適切でなければ、再度調整し
、適切であれば通常運転を続行すればよい。In addition, during the suction operation by the suction collet (185),
When a vacuum suction operation is started by a vacuum source (not shown), a microcomputer (287) that centrally controls all of the mounting devices outputs detection data from the vacuum switch (191) and the photoelectric detection device (215). Circuit (2
85) or via the AND circuit (286), and if the content of at least one or both of the detection data is "No pellet r" depending on the state of the changeover switch (284A) (284B), it is determined in advance that there is no pellet. The pickup operation is repeated the number of times N set on the counter (not shown), and when the number of times N is set on the counter (not shown), the loading head (1
4), (15) is returned to the origin, the operation of the mounting device is stopped, and the user is notified visually or audibly by the notification means (2g9). Therefore, the user should check whether "No pellet 1" is true or not, and if it is not true, adjust the operating level of the vacuum switch (191) or adjust the height position of the photoelectric detection device (215). Test run it once or allow it to run again to confirm whether the adjustment is appropriate. If it is not appropriate, readjust it, and if it is appropriate, continue normal operation.
また装着ヘッド＜１４）（１５）は、前記チェーン（１
８Ａ）（１８Ｂ）の各保合片（１９）の間隔の整数倍の
間隔を存して配設してあり、このためタイミング上同時
に両ヘッドがボンディング動作ができる。Further, the mounting head <14) (15) is attached to the chain (1
8A) and 18B, with an interval that is an integral multiple of the interval between the respective retaining pieces (19), so that both heads can perform the bonding operation at the same time.
（ｖｉ） 吸着コレット（１８５）の交換動作以上の
ように装着動作が行なわれることになる、が、例えば次
に装着したいペレットが大きなペレット（１８０Ｂ）の
場合には、それに合った吸着コレット（１８５）に交換
しなければならない、以下その交換動作について、第２
５図〜第３２図に基づいて説明する。(vi) Replacing the suction collet (185) The mounting operation will be carried out as described above. However, for example, if the pellet you want to install next is a large pellet (180B), replace the suction collet (185) that matches it. ), the replacement operation will be explained in Section 2 below.
This will be explained based on FIGS. 5 to 32.
先ず第２２図に示すように、前述の如く吸着ノズル体（
１８４）及び吸着フレット（１８５）を降下させ、吸、
ｎフレット交換装置（°７）の吸着フレットが収納きれ
ていないシールストッカー（２３１）の取付？Ｌ（２３
５）と方位置に移動させる。First, as shown in FIG. 22, the suction nozzle body (
184) and suction fret (185) to lower the suction,
Installing the seal stocker (231) where the suction fret of the n fret exchange device (°7) is not fully accommodated? L(23
5) Move it to the position.
次にシリンダー（２４２）の駆動によりピン取付台（２
３４）及び図示しない駆動源によりシールストッカー（
２３１）を上昇させる（第２５図参照）。Next, the pin mount (2) is driven by the cylinder (242).
34) and a seal stocker (
231) (see Figure 25).
この後、前記ノズル体（１８４）及びコレット（１８５
）を更に降下させると、ロック爪体（２２１）、 （２
２１）がロック解除ピン（２３３）に当接して支軸（２
２２）、 （２２２）を支点として回動して開く（第２
６図参照）、このため、ロックが解除されることになる
が、シリンダー （２４Ｂ＞によって外更に回動してい
た押え部材（２４７）がこのシリンダー（２４ｇ）の駆
動により内方に回動してアダプタフランジ部（２２６）
を押える。After this, the nozzle body (184) and collet (185)
) is further lowered, the lock claw body (221), (2
21) comes into contact with the lock release pin (233) and the support shaft (2
22), (222) as a fulcrum to open it (second
As a result, the lock is released, but the holding member (247), which had been rotated further outward by the cylinder (24B), is rotated inward by the drive of this cylinder (24g). Adapter flange part (226)
hold down.
勿論、このときフランジ部（２２６）に形成されたＵ字
溝（２２５）内に支持台（２４０）上の位置決めピン（
２４１）（２４１）が夫々嵌合し、吸着フレット（１８
５）のθ回転は防止される。Of course, at this time, the positioning pin (
241) and (241) are fitted respectively, and the suction fret (18
5) θ rotation is prevented.
そして、第２７図に示すように駆動源によりストッカー
（２３１）を降下させると、アダプタ（２１９）は取付
空間（２１８）から抜けて下がる０次に吸着ノズル体（
１８４）は前述のように上昇し、ピン取付台（２３４）
及びロック解除ピン（２３３）が下降する（第２８図参
照）、この後、吸着ノズル体（１８４）は、大きなペレ
ット（１ＢＯＡ）用の吸着コレット（１８５）の上方位
置まで移動して下降し、一方前記ピン（２３ｉ）も上昇
する。従って、該ピン（２３３）によってロック爪体（
２２１）（２２１）が開く（第２９図参照）。Then, when the stocker (231) is lowered by the drive source as shown in FIG.
184) is raised as described above, and the pin mount (234)
and the lock release pin (233) is lowered (see Fig. 28). After this, the suction nozzle body (184) moves to a position above the suction collet (185) for large pellets (1BOA) and lowers, Meanwhile, the pin (23i) also rises. Therefore, the lock claw body (
221) (221) opens (see Figure 29).
そしてシールストッカー（２３１）及びストッカー台（
２３２）が上昇し、吸着コレット（１８５）のアダプタ
（２１９）を前記取付空間（２１ｇ）内に挿入する。こ
のとき取付部（２１６）下面の位置決めピン（２２４”
）がアダプタフランジ部（２２６）のＵ字溝（２２５）
内に嵌合することにより、この挿入時のθずれを防止し
ている。And the seal stocker (231) and stocker stand (
232) rises and inserts the adapter (219) of the suction collet (185) into the mounting space (21g). At this time, the positioning pin (224") on the bottom of the mounting part (216)
) is the U-shaped groove (225) of the adapter flange part (226)
By fitting inside, θ deviation at the time of insertion is prevented.
然る後、シリンダー（２４ｇ）の駆動によって、押え部
材（２４７）を外方へ回動させる。Thereafter, the pressing member (247) is rotated outward by driving the cylinder (24g).
この後前記解除ピン＜２３３）を降下させるので、ロッ
ク爪体（２２１）（２２１＞がバネ（２２３）（２２３
＞により内方へ回動し、係止部（２２ｇ）内に入り込ん
でロックすることになる（第３１図参照）、そして吸着
ノズル体（１８４）及び吸着コレット（１８５）は上昇
し、前記押え部材（２４７）を今度は内方へ回動きせ、
ストッカー （２３１）及びストッカー台（２３２）を
下降させることによって、吸着フレッ１−（１８５）の
交換動作が終了する。After that, the release pin <233) is lowered, so that the lock claw bodies (221) (221> are released by the springs (223) (223).
>, the suction nozzle body (184) and the suction collet (185) move upward, and the suction nozzle body (184) and the suction collet (185) are rotated inward and locked into the locking part (22g) (see Fig. 31). Rotate the member (247) inward this time,
By lowering the stocker (231) and the stocker stand (232), the replacement operation of the suction flap 1-(185) is completed.
この吸着コレット（１８５）の交換により、大きなペレ
ッ）、 （１８０Ｂ）の装着に対応できることになる。By replacing this suction collet (185), it becomes possible to accommodate large pellets (180B).
次にこの吸着フレット（１８５）の交換が確実に行なわ
れたか否かの確認動作について述べる。Next, the operation for checking whether or not the suction fret (185) has been reliably replaced will be described.
先ずＤＣソレノイド（２０１）が励磁しでいる状態では
、バネＤ（２０８）に抗して作動レバー（２０３）かカ
ム７オロ７− （２１０）を介して上下スライダ（２０
４） ヲ下方に押圧しており、前記ブ第１プワー（２１
０）が下限ストッパ（２１２）に当接して係止している
状態にあるため、光電検知装置 （２１５）は吸着フレ
ット（１８５）がベレット（１ｇＯＡ＞、 （１８０Ｂ
）を吸着しているか否かの検知を行なっている。しかし
、前述のコレットＤ８５）の交換が行なわれたか否かの
確認をする場合には、前記ソレノイド（２０１）を消磁
させればよい、即ち、この消磁によって上下スライダ（
２０４）はバネＤ（２０８）によりと昇し、作動レバー
（２０３＞が上限ストッパ（２１１）に当接して係止す
る状態となり、第１９Ｂ図に示すように光電検知装置（
２１５）は吸着コレ・ｙト（１８５）の存在を確認でき
る。First, when the DC solenoid (201) is energized, the vertical slider (20
4) It is pressed downward, and the first puller (21)
0) is in contact with the lower limit stopper (212) and is locked, so the photoelectric detection device (215) detects that the suction fret (185) is in a state where the bellet (1gOA>, (180B)
) is being adsorbed. However, in order to confirm whether or not the above-mentioned collet D85) has been replaced, it is sufficient to demagnetize the solenoid (201).
204) is raised by the spring D (208), and the operating lever (203> comes into contact with and locks the upper limit stopper (211), and as shown in FIG. 19B, the photoelectric detection device (
215) can confirm the presence of adsorbed COLEYTO (185).
仮に、存在ｒ無ｊを検知すると、以後の動作を中止する
と共に、使用者に図示しない報知手段により報知する。If presence r/absence j is detected, the subsequent operation will be stopped and the user will be notified by notification means (not shown).
以上のように装着動作が行なわれると、位置決め装置（
４）の各動作を停止する。即ち、前記モータ＜７７）を
再び通電して、幅寄せカム（７３）、 リフトカム（７
４）及びクランプカム（７５）を回１１４、カムレバー
（９１）（８９）を上昇さけると共にカムレバー（９０
）を降下させ、また吸着用上ｒ部材（８７Ａ）。When the mounting operation is performed as described above, the positioning device (
4) Stop each operation. That is, the motor <77) is energized again, and the width shifting cam (73) and lift cam (7
4) Turn the clamp cam (75) 114, raise the cam levers (91) (89), and lower the cam lever (90).
), and also the upper r member for adsorption (87A).
（８７Ａ）の吸着孔（１３７）を介するプリント基板（
Ｐ）の吸着を止めるように真空源による吸引を止めて大
気圧に戻し前記モータ（７７）を非通電とし、初期状態
に戻す、また然る後、駆動モータ（２１）に通電してプ
リント基板（Ｐ）をチェーン（１８＾）（１８Ｂ）によ
って下流に搬送する。(87A) through the suction hole (137) on the printed board (
The suction by the vacuum source is stopped and the pressure is returned to atmospheric pressure so as to stop the adsorption of P), and the motor (77) is de-energized to return to the initial state. After that, the drive motor (21) is energized and (P) is conveyed downstream by chains (18^) (18B).
（ｖｉ） プリント基板（Ｐ）の反転動作このように
して、装着後のプリント基板（Ｐ）は下流に搬送きれて
、第４１図に示すように図示しないエレベータにより昇
降可能な収納箱（６８Ｂ＞に逐次収納される。この収納
箱（６８Ｂ＞は前述のローダ（６７Ａ）の収納箱（６８
Ａ）と全（同一構造である。従ってローダ（６７Ａ）の
収納箱（６８Ａ）内のプリント基板（Ｐ）の全てが、装
着し終ってアンローダ（６７Ｂ）の収納箱（６８Ｂ）内
に収納きれることになる。(vi) Reversing operation of the printed circuit board (P) In this way, the mounted printed circuit board (P) is transported downstream, and as shown in FIG. This storage box (68B> is the same as the storage box (68B) of the loader (67A) mentioned above.
A) and all (same structure. Therefore, all the printed circuit boards (P) in the storage box (68A) of the loader (67A) can be stored in the storage box (68B) of the unloader (67B) after being installed. It turns out.
ここで、プリント基板（Ｐ）にＪっては、多数のペレッ
トを装著しなければならないものがあり、この場合再度
チェーン（１８Ａ）（１８Ｂ）に載せて装着する必要が
ある。この場合、プリント基板ＣＰ＞が収納されている
収納箱（６８Ｂ）と収納されていない収納箱（６８Ａ）
とを交換し、夫々ローダ（６７Ａ）、アンローダ（６７
Ｂ＞にセットすればよい。Here, some printed circuit boards (P) must be loaded with a large number of pellets, and in this case, they must be mounted again on the chains (18A) (18B). In this case, a storage box (68B) in which the printed circuit board CP> is stored and a storage box (68A) in which it is not stored.
and replace them with the loader (67A) and unloader (67A), respectively.
Just set it to B>.
この場合、プリント基板（Ｐ）の位置決めの際の基準側
が反対側となってしまうが、反転装ｅ（３）により平面
方向に於いて反転させればよい、以下詳述する。In this case, the reference side when positioning the printed circuit board (P) is the opposite side, but it is sufficient to reverse it in the plane direction using the reversing device e(3), which will be described in detail below.
前述のようにローダ（６７Ａ）からチェーン（１８Ａ）
（１８Ｂ）上に基板（Ｐ）が載置して、間欠搬送きれて
、反転装ｆ（３）の直上方位置に来たら、搬送の駆動源
である駆動モータ（２１）の通電を停止してシリンダー
（５６）を駆動する。すると揺動部材（５５）が回動し
ガイド（４８）によって上下杆（４９）を上動させると
共に、図示しない真空源によりチューブ（６１）、上下
杆（４９）の真空通路（５９）及び押上体（５０）の吸
引路（５８）を介して、押上体（５０）の」二面にプリ
ント基板（Ｐ＞を吸着しつつ上昇させる。然る後、モー
タ（５３）に通電してプーリ（５４）、 （５２）及（
メベルト（５１）を介して平面方向に於いて１８０度分
押上体（５０）を回転させる。As mentioned above, from the loader (67A) to the chain (18A)
When the substrate (P) is placed on (18B) and has been conveyed intermittently and is located directly above the reversing device f (3), the power supply to the drive motor (21), which is the drive source for conveyance, is stopped. to drive the cylinder (56). Then, the swinging member (55) rotates and the guide (48) moves the upper and lower rods (49) upward, and a vacuum source (not shown) moves the tube (61), the vacuum passage (59) of the upper and lower rods (49), and the upper and lower rods (49) upward. The printed circuit board (P>) is sucked onto the two sides of the push-up body (50) through the suction path (58) of the body (50) and lifted up. After that, the motor (53) is energized and the pulley 54), (52) and (
The push-up body (50) is rotated by 180 degrees in the plane direction via the mebelt (51).
この後前記シリンダー（５６）の駆動を停止して、前記
揺動部材（５５）を初期状態に戻して押上体（５０）を
降下させる。このとき、前記真空源による吸引を解除し
て大気圧に戻すから、プリント基板（Ｐ）はチェーン（
１８Ａ） （１８Ｂ）、ヒに載置され、再び搬送用の駆
動モータ（２１）に通電して、１８０度反転されたプリ
ント基板ＣＰ）を再び搬送して、前述のように位置決め
し、所望のペレットを装置ｒればよい。Thereafter, the driving of the cylinder (56) is stopped, the swinging member (55) is returned to the initial state, and the push-up body (50) is lowered. At this time, the suction by the vacuum source is released and the pressure is returned to atmospheric pressure, so the printed circuit board (P) is attached to the chain (
18A) (18B), the conveying drive motor (21) is energized again, the printed circuit board CP) which has been inverted 180 degrees is conveyed again, and positioned as described above, and the desired position is reached. The pellets can be placed in a device.
従って、プリント基板（Ｐ）の位置決めの際の基準側が
、最初に搬送位置決めしたときと同じ側となるから、装
着精度が向上する。Therefore, the reference side when positioning the printed circuit board (P) is the same side as when the printed circuit board (P) was initially transported and positioned, so that the mounting accuracy is improved.
尚プリント基板（Ｐ）の搬送方向と直交する幅寸法が変
更した基板（Ｐ）を流す場合には、Ｘ軸周モータ（４４
）、Ｙ軸周モータ（４５）を駆動して、ＸＹテーブル（
４６）を移動移せ、その相互の間隔が変更したチェーン
＜１８Ａ）（１８Ｂ）のその丁度中間位置に前記押上体
〈５０）を移動することにより対処できる。In addition, when transporting a board (P) whose width dimension perpendicular to the conveyance direction of the printed circuit board (P) has been changed, use the X-axis circumferential motor (44
), the Y-axis circumferential motor (45) is driven, and the XY table (
This problem can be solved by moving the push-up body (50) to a position exactly in the middle of the chains (18A) (18B) whose mutual spacing has changed.
（ト） 発明の効果
以上のように本発明は、位置決め装置の上流側に、プリ
ント基板等の流れ方向の向きを反転きせる反転装置を設
けたから、アンローダの収納箱から、ローダの収納箱に
移し換える必要もなく、また移し換えにより生ずる品質
上のトラブルも生じない。(G) Effects of the Invention As described above, the present invention is provided with a reversing device on the upstream side of the positioning device that can reverse the flow direction of printed circuit boards, etc., so that printed circuit boards, etc. can be transferred from the storage box of the unloader to the storage box of the loader. There is no need to change the product, and there are no quality problems caused by transfer.
またプリント基板の位置決め基準を、同じにすることに
より電子部品等の装着精度が、従来に比して向上する。Furthermore, by using the same positioning reference for printed circuit boards, the mounting accuracy of electronic components and the like is improved compared to the conventional method.
第１図はｔ子部品装着装置の平面図、第２図は同装ｆ！
装置の固定シｓ−トの内側から奥行方向を見た正面図、
第３図は同装着装置の搬送部の右側面図、第４図はチェ
ーン（１８Ａ）の部分正面図、第５図は第１図のｘ−ｘ
’断面図、第６図は第１図のＹ−Ｙ’断面図、第７ｖＡ
は送り方向の規制位置決めを行なう装置１（９２）の正
面図、第８図は同装置（９２）の作動待機状態の正面図
、第９図は同装置（９２）による送り方向の寸法が長い
プリント基板（Ｐ）の位置決め状態を示す正面図、第１
０図は位置決め装置（４）の平面図、第１１図は第１図
の２−２′断面図でプリント基板（Ｐ）の幅方向の位置
決め前の状態を示す要部断面図、第１２図は同じくブ゛
リント基板（Ｐ）の幅方向の位置決め状態を示す要部断
面図、第１３図は第１図のｖ−ｖ’断面図で規制袋！
（１３０）による位置決め前の状態を示す要部断面図、
第１４図は同じく規制装置（１３０）による位置決め状
態を示す要部断面図、第１５図は基板の送り方向とは直
交する幅方向の位置を規制する装置を取除いた状態の部
分平面図、第１６図は装着ヘッドの一部断面せる正面図
、第１７図は装着ヘッドのノ従断右側面図、第１８図は
装着ヘッドの一部切欠せる平面図、第１９Ａ図は装着ヘ
ッドの一部切欠せる右側面図、第１９Ｂ図は上下スライ
ダーが上昇した状態の装着ヘッドの一部切欠せる右側面
図、第２０図は吸着ノズル下端部を縦断した状態及び吸
着コレットの正面図、第２１図は吸着ノズル下端部の左
側面図、第２２図は吸着ノズル交換装置の縦断正面図、
第２３図は同交換装置の平面図、第２４５Ａは同交換装
置の左側面図、第２５図乃至第３２図は吸着ロレットの
交換動作を示す図、第３３図は小さいペレットを扱う場
合の突き上げ針装置の正面図、第３４図は第３３図の右
側面図、第３５図は大きいペレットを扱う場合の同装置
の正面図、第３６図−は／Ｊ１さいベレット用の突き上
げガイドの縦断面図、第３７図は同ガイドの平面図、第
３８箇は大きいペレットを扱う場合の突き上げガイドの
縦断面図、第３９図は同ガイドの平面図、第４０図は突
き上げに必要な吸引回路図、第４１図は本発明装着装置
の模式図であって反転装置の動作を示す図、第４２図は
反転装置の動作説明図、第４３図は吸着コレットがペレ
ットを吸着したか否かの検出に係るブロック図を夫々示
す。
（２）・・・コンベア、（３）・・・反転装置、（４）
（５）・・・位置決め装置、（Ｐ）・・・プリント基板
。Fig. 1 is a plan view of the t-child parts mounting device, and Fig. 2 is the same mounting f!
A front view looking in the depth direction from inside the fixed seat of the device,
Fig. 3 is a right side view of the conveyance section of the mounting device, Fig. 4 is a partial front view of the chain (18A), and Fig. 5 is x-x in Fig. 1.
'Cross-sectional view, Figure 6 is a Y-Y' cross-sectional view of Figure 1, 7vA
Figure 8 is a front view of the device 1 (92) that performs regulation positioning in the feed direction, Figure 8 is a front view of the device (92) in a standby state, and Figure 9 shows the long dimension in the feed direction by the device (92). Front view showing the positioning state of the printed circuit board (P), 1st
Figure 0 is a plan view of the positioning device (4), Figure 11 is a sectional view taken along line 2-2' in Figure 1, and is a sectional view of the main part showing the state before positioning the printed circuit board (P) in the width direction. 13 is a sectional view of the main part showing the positioning state of the print board (P) in the width direction, and FIG. 13 is a sectional view taken along the line v-v' in FIG.
(130) A sectional view of the main part showing the state before positioning,
FIG. 14 is a cross-sectional view of a main part showing the positioning state by the regulating device (130), and FIG. 15 is a partial plan view with the device for regulating the position in the width direction perpendicular to the feeding direction of the board removed. Fig. 16 is a partially cutaway front view of the mounting head, Fig. 17 is a sectional right side view of the mounting head, Fig. 18 is a partially cutaway plan view of the mounting head, and Fig. 19A is a partially cut away front view of the mounting head. Fig. 19B is a partially cutaway right side view of the mounting head with the upper and lower sliders raised; Fig. 20 is a vertical view of the lower end of the suction nozzle and a front view of the suction collet; Fig. 21 The figure is a left side view of the lower end of the suction nozzle, and FIG. 22 is a longitudinal sectional front view of the suction nozzle exchange device.
Fig. 23 is a plan view of the exchange device, Fig. 245A is a left side view of the exchange device, Figs. 25 to 32 are diagrams showing the suction rollet exchange operation, and Fig. 33 is a push-up when handling small pellets. A front view of the needle device, FIG. 34 is a right side view of FIG. 33, FIG. 35 is a front view of the same device when handling large pellets, and FIG. 36 is a longitudinal section of the push-up guide for the /J1 size pellet. Fig. 37 is a plan view of the same guide, No. 38 is a vertical cross-sectional view of the thrusting guide when handling large pellets, Fig. 39 is a plan view of the same guide, and Fig. 40 is a suction circuit diagram necessary for thrusting. , FIG. 41 is a schematic diagram of the mounting device of the present invention, showing the operation of the reversing device, FIG. 42 is an explanatory diagram of the operation of the reversing device, and FIG. 43 is a diagram showing whether or not the suction collet has adsorbed a pellet. The block diagrams related to the above are shown respectively. (2)...conveyor, (3)...reversing device, (4)
(5)...Positioning device, (P)...Printed circuit board.
Claims (1)
位置決め装置により前記基板の位置決めをした後に所定
作業が行なわれた当該基板を下流に搬送する基板搬送装
置に於いて、前記位置決め装置の上流側に、前記基板の
流れ方向の向きを反転させる反転装置を設けたことを特
徴とする基板搬送装置。(1) In a board transport device that transports a printed circuit board, after positioning the board by a positioning device during the transport, and transporting the board downstream after a predetermined operation is performed, a device located upstream of the positioning device 1. A substrate transport device, comprising: a reversing device provided on a side of the substrate for reversing the flow direction of the substrate.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63122323A JP2594109B2 (en) | 1988-05-19 | 1988-05-19 | Substrate transfer device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63122323A JP2594109B2 (en) | 1988-05-19 | 1988-05-19 | Substrate transfer device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01291491A true JPH01291491A (en) | 1989-11-24 |
| JP2594109B2 JP2594109B2 (en) | 1997-03-26 |
Family
ID=14833124
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63122323A Expired - Lifetime JP2594109B2 (en) | 1988-05-19 | 1988-05-19 | Substrate transfer device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2594109B2 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008280201A (en) * | 2007-05-09 | 2008-11-20 | Shiraitekku:Kk | Apparatus for cutting liquid crystal panel |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS624531A (en) * | 1985-06-28 | 1987-01-10 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Positioning work bed for plate-shaped workpiece |
| JPS62109339A (en) * | 1985-11-07 | 1987-05-20 | Nissha Printing Co Ltd | Method and apparatus for conveying work |
-
1988
- 1988-05-19 JP JP63122323A patent/JP2594109B2/en not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS624531A (en) * | 1985-06-28 | 1987-01-10 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Positioning work bed for plate-shaped workpiece |
| JPS62109339A (en) * | 1985-11-07 | 1987-05-20 | Nissha Printing Co Ltd | Method and apparatus for conveying work |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008280201A (en) * | 2007-05-09 | 2008-11-20 | Shiraitekku:Kk | Apparatus for cutting liquid crystal panel |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2594109B2 (en) | 1997-03-26 |
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Legal Events
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