JP2632001B2 - Electronic component mounting device - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 （イ） 産業上の利用分野 本発明は、電子部品をプリント基板、リードフレーム
等に装着するためにXY移動可能な装着ヘッドに、上下動
可能に取付けられた部品装着ノズルを設け、該ノズルの
下降による部品の装着の際には押圧力を加えるバネを有
する電子部品装着装置に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (A) Industrial application field The present invention relates to a component mounting which is mounted on a mounting head which can move in an XY direction so as to mount electronic components on a printed circuit board, a lead frame, etc. The present invention relates to an electronic component mounting apparatus having a nozzle and a spring for applying a pressing force when mounting a component by lowering the nozzle.

（ロ） 従来の技術 従来の此種の装着装置は、特開昭61−264792号公報に
開示されているが、吸着ノズルに電子部品を吸着してい
る状態で水平移動すると、振動が発生するため、この振
動によって一旦吸着した電子部品を落したり、位置ずれ
を起したり、部品表面に傷を付けたりすることがあっ
た。(B) Conventional technology A conventional mounting device of this type is disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 61-264792. However, when the electronic device is horizontally moved while an electronic component is being sucked by a suction nozzle, vibration is generated. For this reason, the electronic component once adsorbed by this vibration may drop, may be displaced, or may scratch the surface of the component.

（ハ） 発明が解決しようとする課題 前述せる従来技術の欠点に鑑みて、本発明は装着ヘッ
ドの水平移動途中に於いて振動等が発生しても、吸着ノ
ズルから吸着部品が落下したり等することを防止して、
もって装着動作の向上を図らんとするものである。(C) Problems to be Solved by the Invention In view of the above-mentioned drawbacks of the prior art, the present invention provides a method of, for example, causing a suction component to drop from a suction nozzle even if vibration occurs during horizontal movement of a mounting head. To prevent
This aims to improve the mounting operation.

（ニ） 課題を解決するための手段 このために本発明は、電子部品をプリント基板、リー
ドフレーム等に装着するためにXY移動可能な装着ヘッド
に上下動可能な部品吸着ノズルを設け、該ノズルの下降
による部品の装着の際には押圧力を加えるバネを有する
電子部品装着装置に於いて、前記装着ヘッドの移動途中
の振動等による前記吸着ノズルの上下動を停止させる停
止機構を設けたものである。(D) Means for Solving the Problems To this end, the present invention provides a vertically movable component suction nozzle on an XY movable mounting head for mounting an electronic component on a printed circuit board, a lead frame, or the like. An electronic component mounting apparatus having a spring for applying a pressing force when mounting a component by lowering the mounting head, wherein a stop mechanism for stopping vertical movement of the suction nozzle due to vibration or the like during movement of the mounting head is provided. It is.

（ホ） 作用 吸着ノズルが電子部品を吸着した後、停止機構により
前記吸着ノズルの上下動を停止させた状態で、装着ヘッ
ドを平面方向に移動させる。(E) Operation After the suction nozzle sucks the electronic component, the mounting head is moved in the plane direction in a state where the vertical movement of the suction nozzle is stopped by the stopping mechanism.

（ヘ） 実施例 以下本発明の一実施例を図に基づき説明する。（１）
は電子部品装着装置の本体で、該本体（１）にはプリン
ト基板（厚膜基板含む）（Ｐ）、リードフレーム等を搬
送するコンベア（２）と、該コンベア（２）に於ける上
流側に設けられる反転装置（３）と、該反転装置（３）
の下流側に設けられる一対の位置決め装置（４）（５）
と、取付台（６）上に固定される吸着コレット交換装置
（７）（８）と、４個のウェハーテーブル（９）（10）
を有してXY方向への移動及び平面方向で回転可能なウェ
ハー支持台（11）（12）と、天板（13）に吊持されてXY
方向に移動可能な装着ヘッド（14）（15）とが設けられ
ている。(F) Example An example of the present invention will be described below with reference to the drawings. (1)
Denotes a main body of the electronic component mounting apparatus. The main body (1) includes a conveyor (2) for transporting a printed circuit board (including a thick film substrate) (P), a lead frame, and the like, and an upstream side of the conveyor (2). Reversing device (3) provided in the device, and the reversing device (3)
Positioning devices (4) and (5) provided downstream of the device
And a suction collet exchanging device (7) (8) fixed on the mounting table (6), and four wafer tables (9) (10)
And a wafer support table (11) (12) that can move in the XY direction and rotate in the plane direction, and is suspended by the top plate (13).
Mounting heads (14) and (15) movable in the directions.

前記コンベア（２）は、一対の駆動スプロケット（1
6）（16）、従動スプロケット（17）（17）間に張設さ
れた一対のチェーン（18A）（18B）から成り、該チェー
ン（18A）（18B）上に載置してプリント基板（Ｐ）を上
流側から下流側へ搬送する。このときチェーン（18A）
（18B）には所定間隔を存して基板（Ｐ）の送り方向の
後端部に係止する係合片（19）が立設され、基板（Ｐ）
は両チェーン（18A）（18B）上に載置し且つ各係合片
（19）で係止された状態で上流側から下流側に間欠的に
搬送される。The conveyor (2) has a pair of driving sprockets (1
6) (16), a pair of chains (18A) (18B) stretched between the driven sprockets (17) and (17), and the printed circuit board (P) is mounted on the chains (18A) and (18B). ) From upstream to downstream. At this time the chain (18A)
At (18B), an engagement piece (19) that locks at a rear end portion of the board (P) in the feeding direction is provided upright at a predetermined interval, and the board (P)
Is intermittently conveyed from the upstream side to the downstream side while being placed on both chains (18A) (18B) and locked by the respective engaging pieces (19).

尚各係合片（19）が設けられるその相互間隔は、チェ
ーンピッチの整数倍となっており、この間隔内に収まる
基板（Ｐ）は全て搬送動作に関しては、段取りなしで共
通に送ることができる。The spacing between the engagement pieces (19) is an integral multiple of the chain pitch, and all the substrates (P) that fall within this spacing can be sent in common for the transport operation without any setup. it can.

次にコンベア（２）及び可動シュート（20A）の移動
について述べる。駆動モータ（21）が通電されると、ベ
ルト（23）を介してその駆動が伝達されてインデックス
装置（22）の出力軸が間欠駆動し、その出力軸に取付け
られた出力軸プーリ（24）とプーリ（25）との間に張設
されたベルト（26）によりスプライン軸（27）が間欠回
転するので両プーリ（28A）（28B）（29A）（29B）間に
張設されたベルト（30）（31）により支軸（32）（33）
を介して両駆動スプロケット（16）（16）が間欠回転す
る。これにより両スプロケット（16）（16），（17）
（17）が回転するので、チェーン（18A）（18B）上のプ
リント基板（Ｐ）は間欠的に定まった距離搬送されるこ
とになる。Next, the movement of the conveyor (2) and the movable chute (20A) will be described. When the drive motor (21) is energized, the drive is transmitted via the belt (23), the output shaft of the index device (22) is intermittently driven, and the output shaft pulley (24) attached to the output shaft The spline shaft (27) rotates intermittently by the belt (26) stretched between the pulley (25) and the belt (26) stretched between the two pulleys (28A) (28B) (29A) (29B) 30) (31) to support shaft (32) (33)
The two drive sprockets (16) (16) intermittently rotate via the. As a result, both sprockets (16) (16), (17)
Since (17) rotates, the printed circuit board (P) on the chains (18A) and (18B) is intermittently conveyed by a predetermined distance.

一方可動シュート（20A）の両端に設けられたナット
体（34）（35）にボールネジ体（36）（37）が嵌合し、
駆動モータ（38）によりベルト（39）及びプーリ（40）
（41）を介して該ネジ体（36）（37）が回転すると、可
動シュート（20A）が固定シュート（20B）に対して進退
動することになる。即ち基板（Ｐ）の流れ方向と直交す
る方向の幅寸法に対応して、両シュート（20A）（20B）
間の距離を拡げたり狭めたりすることができる。このと
き、可動シュート（20A）はスプライン軸受（42）によ
ってスプライン軸（27）に沿って移動することになる。On the other hand, the ball screw bodies (36) and (37) fit into the nut bodies (34) and (35) provided at both ends of the movable chute (20A),
Belt (39) and pulley (40) by drive motor (38)
When the screw bodies (36) and (37) rotate via (41), the movable chute (20A) moves forward and backward with respect to the fixed chute (20B). That is, both chutes (20A) and (20B) correspond to the width in the direction orthogonal to the flow direction of the substrate (P).
The distance between them can be increased or decreased. At this time, the movable chute (20A) is moved along the spline shaft (27) by the spline bearing (42).

（43）は前記コンベア（２）による送りが停止してい
る状態での位置決め装置（４）により１ピッチ分上流に
位置する係合片（19）の存在を検知する一対の光学的手
段から成るセンサーで、間欠移動するコンベア（２）の
位置ずれを検知する。即ち経時変化等でチェーン（18
A）が伸びる等して係合片（19）の停止位置がずれて、
ある許容範囲を越えた場合には、前記センサー（43）が
「無し」と検知すると、電子部品装着装置全体を停止さ
せる。この場合、作業者は手動でもってインデックス装
置（22）の軸を回し、ずれ量を補正する。(43) consists of a pair of optical means for detecting the presence of the engagement piece (19) located one pitch upstream by the positioning device (4) in a state where the feeding by the conveyor (2) is stopped. The sensor detects the displacement of the intermittently moving conveyor (2). That is, the chain (18
A) The stop position of the engagement piece (19) shifts due to extension, etc.
If a certain allowable range is exceeded, when the sensor (43) detects "none", the entire electronic component mounting apparatus is stopped. In this case, the operator manually rotates the axis of the index device (22) to correct the shift amount.

反転装置（３）は、前記コンベア（２）に於ける上流
側の前記チェーン（18A）（18B）間の下方位置に配設さ
れ、必要に応じ前記基板（Ｐ）の流れ方向の向きを反転
させるものである。該反転装置（３）は、Ｘ軸用モータ
（44）、Ｙ軸用モータ（45）によりＸ方向及びＹ方向に
移動可能なXYテーブル（46）と、種々のものが取付けら
れるものであってXYテーブル（46）上に設けられる取付
台（47）とから構成される。（48）は取付台（47）に固
定され上下杆（49）を上下動可能に案内するガイド、
（50）は前記上下杆（49）の頂部に設けられてコンベア
（２）より上方へ突出可能な押上体、（51）は前記上下
杆（49）の下部に設けられたプーリ（52）とモータ（5
3）の出力軸プーリ（54）間に張設されたベルト、（5
5）は一端がシリンダー（56）の作動杆と回動可能に連
結された他端が上下杆（49）の下端部の支持部（57）間
に嵌合され中間部の支点として揺動可能な揺動部材であ
る。A reversing device (3) is provided at a lower position between the chains (18A) and (18B) on the upstream side of the conveyor (2), and reverses the direction of flow of the substrate (P) as necessary. It is to let. The reversing device (3) is provided with an XY table (46) that can be moved in the X and Y directions by an X-axis motor (44) and a Y-axis motor (45), and various types are mounted. A mounting table (47) provided on the XY table (46). (48) is a guide that is fixed to the mounting base (47) and guides the vertical rod (49) so that it can move up and down.
(50) is a push-up body provided at the top of the upper and lower rods (49) and capable of protruding above the conveyor (2). (51) is a pulley (52) provided at a lower part of the upper and lower rods (49). Motor (5
3) Belt stretched between output shaft pulleys (54), (5)
5) has one end rotatably connected to the operating rod of the cylinder (56) and the other end fitted between the supporting parts (57) at the lower ends of the upper and lower rods (49) and can swing as a fulcrum of the intermediate part. It is a swingable member.

そして、該反転装置（３）の押上体（50）には、所定
間隔を存して複数の吸引路（58）が形成され、上下杆
（49）には該吸引路（58）に連通する真空通路（59）が
形成され、更に該通路（59）にはロータリジョイント
（60）及びチューブ（61）を介して図示しない真空源に
連通する。A plurality of suction paths (58) are formed at predetermined intervals in the lifting body (50) of the reversing device (3), and the upper and lower rods (49) communicate with the suction paths (58). A vacuum passage (59) is formed, and the passage (59) communicates with a vacuum source (not shown) via a rotary joint (60) and a tube (61).

尚インデックス装置（22）の出力側には出力軸プーリ
（24）との間にトルクリミッタ（62）が設けられ、その
端部に過負荷検出板（63）が設けられている。従って、
プリント基板搬送中に異常が起き、過負荷状態になっ
て、前記検出板（63）が軸方向に移動した場合に、一対
の光センサー（64）で過負荷状態を検出することができ
る。A torque limiter (62) is provided between the output side of the index device (22) and the output shaft pulley (24), and an overload detection plate (63) is provided at an end thereof. Therefore,
When an abnormality occurs during conveyance of the printed circuit board and the detection plate (63) moves in the axial direction due to an overload state, the overload state can be detected by the pair of optical sensors (64).

（65A）（65B）は前記シュート（20A）（20B）の上流
側端部に夫々対向する如く内側に設けられたブレーキ部
材で、夫々上面には真空源に連通する吸引口（66）が複
数開設されている。（67A）はローダで、複数のプリン
ト基板（Ｐ）を棚上に収納すると共に図示しないエレベ
ータにより昇降可能な収納箱（68A）と該箱（68A）内の
最下位にある基板（Ｐ）を前記コンベア（18A）（18B）
上に押出す押出部材（69）とより成る。この押出部材
（69）より収納箱（68A）内の基板（Ｐ）が押出された
際に、コンベア（18A）（18B）上にスムーズに乗り移ら
ず、勢い余ってコンベア（18A）（18B）から落下したり
しないように、前記ブレーキ部材（65A）（65B）によっ
て吸引され確実に安定した状態で乗り移れるようにされ
ている。即ち押出部材（69）の押出動作開始時に真空源
による吸引を開始し、押出動作が終了したら吸引を解除
する。(65A) and (65B) are brake members provided inside so as to oppose the upstream ends of the chutes (20A) and (20B), respectively, and each of the upper surfaces has a plurality of suction ports (66) communicating with a vacuum source. Has been established. (67A) is a loader that stores a plurality of printed circuit boards (P) on a shelf and a storage box (68A) that can be moved up and down by an elevator (not shown) and a lowermost board (P) in the box (68A). The conveyor (18A) (18B)
And an extruding member (69) for extruding upward. When the substrate (P) in the storage box (68A) is extruded from the extrusion member (69), the substrate (P) is not smoothly transferred onto the conveyors (18A) and (18B), and the conveyors (18A) and (18B) are overpowered. The brake members (65A) and (65B) are sucked by the brake members (65A) so as to be able to move in a stable state so as not to fall from the vehicle. That is, the suction by the vacuum source is started at the time of starting the pushing operation of the pushing member (69), and the suction is released when the pushing operation is completed.

次に一対の基板位置決め装置（４）（５）について説
明するが、両者は同様な構成であるため、一方（５）に
ついてのみ説明する。該位置決め装置（４）（５）は、
基板（Ｐ）の送り方向、これと直交する幅方向及び基板
（Ｐ）の厚さ方向の各方向の位置決めを行なうものであ
り、以下説明する。Next, a pair of substrate positioning devices (4) and (5) will be described. Since both have the same configuration, only one (5) will be described. The positioning devices (4) and (5)
The positioning in the feed direction of the substrate (P), the width direction orthogonal thereto, and the thickness direction of the substrate (P) is performed, which will be described below.

一対の軸受（70）（71）を貫通する軸杆（72）には、
第１図及び第２図の左から幅寄せカム（73）、リフトカ
ム（74）及びクランプカム（75）が設けられ、該軸杆
（72）左端部のプーリ（76）とモータ（77）の出力軸プ
ーリ（78）間にはベルト（79）が張設されている。従っ
てモータ（77）の通電により軸杆（72）が回転すると、
カム（73）（74）（75）が回転し、各カムフォロワー
（80）（81）（82）を介して各上下部材（86）（87）
（88）が上下動し、これに伴ない各カムレバー（89）
（90）（91）も上下動する。The shaft (72) penetrating the pair of bearings (70) (71)
1 and 2, a width shifting cam (73), a lift cam (74), and a clamp cam (75) are provided, and a pulley (76) at the left end of the shaft (72) and a motor (77) are provided. A belt (79) is stretched between the output shaft pulleys (78). Therefore, when the shaft (72) is rotated by energization of the motor (77),
The cams (73) (74) (75) rotate, and the upper and lower members (86) (87) via the cam followers (80) (81) (82)
(88) moves up and down, causing each cam lever (89)
(90) and (91) also move up and down.

先ず基板（Ｐ）の送り方向の規制位置決めを行なう装
置（92）について説明する。First, an apparatus (92) for regulating and positioning the substrate (P) in the feed direction will be described.

（93）（94）は前記基板（Ｐ）の流れ方向の端部に接
触する基準クランプ、可動クランプで、夫々支軸（95）
（96）を支点として回動可能である。そしてバネ（97）
により基準クランプ（93）は外方に回動するように付勢
され、可動クランプ（94）はバネ（98）により内方へ回
動するように付勢されている。（91）は前述の如く前記
上下部材（88）の頂部に設けられたカムレバーで、前記
クランプ（93）（94）に突出したピン（99）（100）に
係合して、該クランプ（93）（94）の揺動を制御する。(93) and (94) are a reference clamp and a movable clamp which are in contact with the end of the substrate (P) in the flow direction.
It is rotatable around (96) as a fulcrum. And spring (97)
Thus, the reference clamp (93) is urged to rotate outward, and the movable clamp (94) is urged to rotate inward by the spring (98). Reference numeral (91) denotes a cam lever provided on the top of the upper and lower members (88) as described above. The cam lever engages with the pins (99) and (100) projecting from the clamps (93) and (94), and ) The swing of (94) is controlled.

一方基板（Ｐ）の流れ方向に延びたリニアガイド（10
1）によりＸテーブル（102）が水平移動可能であり、該
テーブル（102）には前記可動クランプ（94）を回動可
能に支持する可動体（103）が固定されると共に、駆動
源（図示せず）により回転するネジ軸（104）が嵌合す
るボールネジ体（105）と一体化された連結体（106）が
固定される。（107）（108）は軸受である。On the other hand, a linear guide (10) extending in the flow direction of the substrate (P)
According to 1), the X table (102) can be moved horizontally. A movable body (103) that rotatably supports the movable clamp (94) is fixed to the table (102). (Not shown), the connecting body (106) integrated with the ball screw body (105) into which the rotating screw shaft (104) fits is fixed. (107) and (108) are bearings.

従って駆動源によりネジ軸（104）が回転することに
より連結体（106）を介してＸテーブル（102）が流れ方
向に移動するため、可動体（103）も移動し、基準クラ
ンプ（93）に対して可動クランプ（94）が遠近移動する
ことができ、種々の基板（Ｐ）の送り方向の長さに対応
できる。Therefore, when the screw shaft (104) is rotated by the driving source, the X table (102) moves in the flow direction via the connecting body (106), so that the movable body (103) also moves, and is moved to the reference clamp (93). On the other hand, the movable clamp (94) can move far and near, and can correspond to the length of the various substrates (P) in the feed direction.

またカムレバー（91）が上動すると、可動クランプ
（94）はピン（100）を介して外方向に回動し、基準ク
ランプ（93）もバネ（97）により外方向に回動し、両ク
ランプ（93）（94）は基板（Ｐ）より下方に位置するこ
とになる。When the cam lever (91) moves upward, the movable clamp (94) pivots outward through the pin (100), and the reference clamp (93) pivots outward by the spring (97). (93) and (94) are located below the substrate (P).

以上のように、上下動部材（88）は、ガイド（85）を
介して上下動可能であり、固定シュート（20B）に突出
したピン（110）と上下部材（88）に突出したピン（11
1）との間にはバネ（112）が張架され、該上下部材（8
8）を上方へ付勢している。従って上下部材（88）端部
のカムフォロワー（82）は、クランプカム（75）に圧接
するので、該カム（75）の形状に合わせて上下部材（8
8）は上下することになる。As described above, the vertical moving member (88) can move up and down via the guide (85), and the pin (110) protruding from the fixed chute (20B) and the pin (11) protruding from the vertical member (88).
A spring (112) is stretched between the upper and lower members (8).
8) is urged upward. Therefore, the cam follower (82) at the end of the upper and lower member (88) is pressed against the clamp cam (75), so that the upper and lower members (8
8) will move up and down.

次に基板（Ｐ）の送り方向と直交する幅方向の規制に
ついて述べる。先ず固定シュート（20B）の上部には、
固定板（115）が設けられ、該固定板（115）上には所定
間隔を存して可動ベアリング体（116）及び基準ベアリ
ング体（117）が設けられる。一方可動シュート（20A）
に設けられる軸受（118）（118）に回転可能に支持され
る支持（119）には、複数個の幅寄せ部材（120）を取付
け、図示しない軸により回転可能なその円筒部分の周縁
が基板（Ｐ）に当接可能である。そして一対の支持部
（121）（121）間に支持された取付杆（122）に付勢体
としてのバネ（123）の一端が固定され、前記幅寄せ部
材（120）は夫々基板（Ｐ）方向に回動するように付勢
されている。また一対の支持部（121）（121）間に支持
された支持（124）により回動可能とされた伝達アーム
（125）の上部には、係合ロッド（126）が設けられ、前
記幅寄せ部材（120）の夫々を基板（Ｐ）から遠ざける
ように作動する。前記伝達アーム（125）の他端部には
カムフォロワー（127）が設けられ、前記幅寄せカム（7
3）と係合するカムフォロワー（80）を有する上下部材
（86）の上下動に伴うカムレバー（89）の上下動によっ
て、該レバー（89）により前記カムフォロワー（127）
を介して前記伝達アーム（125）は回動されることにな
る。Next, regulation in the width direction orthogonal to the feeding direction of the substrate (P) will be described. First, on the upper part of the fixed chute (20B)
A fixed plate (115) is provided, and a movable bearing body (116) and a reference bearing body (117) are provided on the fixed plate (115) at predetermined intervals. On the other hand, movable chute (20A)
A plurality of width shifting members (120) are mounted on a support (119) rotatably supported by bearings (118) and (118) provided on the substrate. (P) can be contacted. One end of a spring (123) as an urging member is fixed to a mounting rod (122) supported between the pair of supporting portions (121), (121), and the width shifting members (120) are respectively mounted on the substrate (P). It is urged to rotate in the direction. An engagement rod (126) is provided on the upper part of the transmission arm (125) rotatable by the support (124) supported between the pair of support parts (121) (121). It operates to move each of the members (120) away from the substrate (P). A cam follower (127) is provided at the other end of the transmission arm (125), and the width shifting cam (7
3) The vertical movement of the cam lever (89) accompanying the vertical movement of the vertical member (86) having the cam follower (80) engaging with the cam follower (127) by the lever (89)
, The transmission arm (125) is rotated.

次に基板（Ｐ）への部品実装面の位置を、該基板
（Ｐ）の厚さ如何に拘わらず一定とするための規制装置
（130）について説明する。固定シュート（20B）及び可
動シュート（20A）には、夫々リニアガイド（84）（8
4）により吸着用上下部材（87A）（87A）が上下動可能
とされている。また両シュート（20B）（20A）から突設
したピン（131）（131）と各上下部材（87A）（87A）下
部に突設したピン（132）（132）との間にはバネ（13
3）（133）が張架され、上下部材（87）（87）を夫々上
方へ付勢している。Next, a regulating device (130) for keeping the position of the component mounting surface on the substrate (P) constant regardless of the thickness of the substrate (P) will be described. The fixed chute (20B) and movable chute (20A) have linear guides (84) (8
According to 4), the upper and lower members for suction (87A) and (87A) can be moved up and down. A spring (13) is provided between the pins (131) and (131) projecting from the chutes (20B) and (20A) and the pins (132) and (132) projecting below the upper and lower members (87A) and (87A).
3) (133) is stretched to urge the upper and lower members (87) and (87) upward.

一上下部材（87A）（87A）端部に設けられたカムフォ
ロワー（134）（134）は、カムレバー（90）により押下
げられる。即ち、リフトカム（74）に係合するカムフォ
ロワー（81）を有する上下部材（87）の上端部に前記カ
ムレバー（90）を設けているので、リフトカム（74）に
より吸着用上下部材（87A）（87A）は夫々上下動するこ
とになる。The cam followers (134) and (134) provided at the ends of the upper and lower members (87A) and (87A) are pushed down by the cam lever (90). That is, since the cam lever (90) is provided at the upper end of the upper and lower member (87) having the cam follower (81) engaged with the lift cam (74), the upper and lower suction members (87A) and (87A) are provided by the lift cam (74). 87A) will move up and down respectively.

また（135）（135）は前記シュート（20A）（20B）の
上部に設けられる基板押えで、前記基板（Ｐ）の上面と
係合可能な係合部（136）（136）を有している。Reference numerals (135) and (135) denote substrate holders provided above the chutes (20A) and (20B), which have engagement portions (136) and (136) which can be engaged with the upper surface of the substrate (P). I have.

更に、前記吸着用上下部材（87A）（87A）の上流寄り
の吸着部（138）には、複数の吸着孔（137）が開設さ
れ、真空パイプ（139）（139）を介して図示しない真空
源に連通している。従って前記上下部材（87A）（87A）
の上部にプリント基板（Ｐ）の下面が吸着可能である。Further, a plurality of suction holes (137) are formed in the suction portion (138) on the upstream side of the suction upper and lower members (87A) (87A), and a vacuum pipe (139) (139) In communication with the source. Therefore, the upper and lower members (87A) (87A)
The lower surface of the printed circuit board (P) can be attracted to the upper part of the substrate.

また前記上下部材（87A）（87A）の上部面は、コンベ
ア（２）搬送面よりわずかに高いレベルに設定されてお
り、チェーン（18A）（18B）の係合片（19）（19）によ
り基板（Ｐ）は、コンベア（２）搬送面から前記上下部
材（87A）（87A）に乗り移り、その時点で、真空吸着を
開始する。そしてコンベア（２）が停止したときにその
吸着を停止するが、この吸着によりコンベア（２）が停
止したときの慣性によってプリント基板（Ｐ）が移動す
ることはない。従って大きな位置ずれを起すことなく、
該上下部材（87A）（87A）によってリフトアップされ、
プリント基板（Ｐ）はその送り方向及びこの送り方向と
直交する幅方向の位置決めがなされた状態で、基板押え
（135）（135）の係合部（136）（136）に押しつけられ
る。The upper surfaces of the upper and lower members (87A) and (87A) are set at a level slightly higher than the conveyor (2) transport surface, and are engaged by the engagement pieces (19) and (19) of the chains (18A) and (18B). The substrate (P) moves from the conveying surface of the conveyor (2) to the upper and lower members (87A) and (87A), and at that time, starts vacuum suction. Then, when the conveyor (2) stops, the suction is stopped. However, the suction does not move the printed circuit board (P) due to inertia when the conveyor (2) stops. Therefore, without causing a large displacement
Lifted up by the upper and lower members (87A) and (87A),
The printed board (P) is pressed against the engaging portions (136) and (136) of the board pressers (135) and (135) in a state where the positioning is performed in the feed direction and the width direction orthogonal to the feed direction.

次にウェハー支持台（11）（12）について詳述するが
両者は同一構造であり支持台（11）についてのみ説明す
る。（140）はXYテーブルで、Ｘ軸用モータ（141）、Ｙ
軸用モータ（142）により、Ｘ軸方向ガイド（143）及び
Ｙ軸方向ガイド（144）に沿って、平面方向に移動可能
である。また該XYテーブル（140）上に載置したウェハ
ーテーブル（９）は、図示しない駆動源により正逆回転
可能である。Next, the wafer supports (11) and (12) will be described in detail, but both have the same structure, and only the support (11) will be described. (140) is an XY table, an X-axis motor (141), Y
The shaft motor (142) is movable in a planar direction along the X-axis guide (143) and the Y-axis guide (144). The wafer table (9) placed on the XY table (140) can be rotated forward and backward by a driving source (not shown).

従って、突き上げ針装置（145）の上方位置に、所望
のウェハーシート（146）が位置することになる。ウェ
ハーテーブル（９）は、４個あるために、少なくとも１
種以上４種以下の例えば夫々大きさが異なるウェハーを
扱えることになる。Therefore, a desired wafer sheet (146) is located above the push-up needle device (145). Since there are four wafer tables (9), at least one
More than four kinds and less than four kinds of wafers having different sizes, for example, can be handled.

次に一方の装着ヘッド（14）について詳述する。該ヘ
ッド（14）は、天板（13）に支持された支持部材（15
0）に支持されたボールネジ（151）に沿って第43図に示
す駆動モータ（154A）によりＸ方向の移動が可能であ
り、またガイド体（152）（152）に沿って駆動モータ
（154B）によりＹ方向の移動が可能となる。略箱状を呈
したヘッド本体（153）内に配設された駆動モータ（154
C）の出力軸プーリ（155）とネジ軸（156）端部のプー
リ（157）との間にはベルト（158）が張設され、上下移
動体（159）がナット体（160）によりガイド体（161）
を介して上下移動可能となる。Next, one mounting head (14) will be described in detail. The head (14) is supported by a support member (15) supported by a top plate (13).
0) can be moved in the X direction along the ball screw (151) supported by the drive motor (154A) shown in FIG. 43, and the drive motor (154B) can be moved along the guides (152) and (152). This enables movement in the Y direction. A drive motor (154) disposed in a substantially box-shaped head body (153).
A belt (158) is stretched between the output shaft pulley (155) of C) and the pulley (157) at the end of the screw shaft (156), and the vertically movable body (159) is guided by a nut body (160). Body (161)
Can be moved up and down via.

そして上下移動体（159）には、加圧用モータ（162）
とロックソレノイド（163）が固定されており、該モー
タ（162）の出力軸にはバネ取付ピン（164）を有するレ
バー（165）が設けられている。前記ソレノイド（163）
のプランジャ（166）には取付ピン（167）が突設され、
上下移動体（159）に固定されたＬ字形状の支持体（16
8）に突設した取付ピン（169）との間にはバネＡ（17
0）が張架されている。The vertical moving body (159) has a pressing motor (162)
And a lock solenoid (163) are fixed, and an output shaft of the motor (162) is provided with a lever (165) having a spring mounting pin (164). The solenoid (163)
The plunger (166) has a mounting pin (167) protruding therefrom.
An L-shaped support (16) fixed to a vertically movable body (159)
8) Spring A (17)
0) is stretched.

上下移動体（159）の軸受部（171）には支軸（172）
により揺動体（173）が回動可能とされ、該揺動体（17
3）の上端部にはＵ字溝が切欠されて該溝に前記取付ピ
ン（167）が嵌合し、また揺動体（173）の他端部には加
圧ベアリング体（174）が設けられている。A support shaft (172) is mounted on the bearing (171) of the vertical moving body (159).
The rocking body (173) is rotatable by the
A U-shaped groove is cut out at the upper end of 3), the mounting pin (167) is fitted in the groove, and a pressure bearing body (174) is provided at the other end of the rocking body (173). ing.

（175）はロータリジョイント（176）に突設した鍔体
（177）を、前記加圧ベアリング体（174）とで挾持する
固定ベアリング体であり、前記支持体（168）の端部に
設けられている。前記揺動体（173）に突設した取付ピ
ン（178）と加圧用モータ（162）の出力軸に固定された
レバー（165）に突設した取付ピン（164）との間に張架
されたバネＢ（179）により前記加圧ベアリング体（17
4）を下方へ付勢している。そしてこの加圧用モータ（1
62）の回転角度を制御することにより、加圧ベアリング
体（174）によるロータリジョイント（176）及び固定ベ
アリング体（175）への押圧力を可変とすることができ
る。このバネＢ（179）は、ペレット（180A），（180
B）を基板（Ｐ）に装着する際の押しつけ圧力を加える
ためのものである。Reference numeral (175) denotes a fixed bearing body which clamps a flange (177) protruding from the rotary joint (176) with the pressure bearing body (174), and is provided at an end of the support (168). ing. It is stretched between a mounting pin (178) protruding from the rocking body (173) and a mounting pin (164) protruding from a lever (165) fixed to the output shaft of the pressurizing motor (162). The pressure bearing body (17) is
4) is urged downward. And this pressurizing motor (1
By controlling the rotation angle of 62), the pressing force of the pressure bearing body (174) on the rotary joint (176) and the fixed bearing body (175) can be made variable. The spring B (179) is composed of a pellet (180A), (180
This is for applying a pressing pressure when mounting B) on the substrate (P).

また前記上下移動体（159）に突設した取付ピン（18
1）とロータリジョイント（176）から突設した取付ピン
（182）との間には、バランスバネＣ（183）が張架さ
れ、該バネＣ（183）の弾性力と吸着ノズル体（184）及
び吸着コレット（185）の次長が略等しくなるようにこ
の弾性力が設定されており、前記自重の影響を除去して
いる。Also, mounting pins (18) protruding from the vertical moving body (159) are provided.
A balance spring C (183) is stretched between 1) and the mounting pin (182) protruding from the rotary joint (176), and the elastic force of the spring C (183) and the suction nozzle body (184). The elastic force is set so that the secondary lengths of the suction collet (185) and the suction collet (185) are substantially equal, and the influence of the own weight is eliminated.

前記ロータリジョイント（176）にはピン（186）が突
設しており、このピン（186）に嵌合する係止片（187）
により該ジョイント（176）自身の回転は防止されてい
る。A pin (186) protrudes from the rotary joint (176), and a locking piece (187) fitted to the pin (186).
Thus, rotation of the joint (176) itself is prevented.

吸着ノズル体（184）は、ロータリジョイント（17
6）、ホース（190）、大きなペレット（180B）の吸着有
無検出に使用する真空スイッチ（191）等を介して図示
しない真空源と連結している。該吸着ノズル体（184）
は、上下ガイド体（192）内を上下動可能であるが、該
ノズル体（184）の上部には面取部（193）が形成されて
規制ベアリング（194）により上下ガイド体（192）内で
のθ回転はできない。前記真空スイッチ（191）は、真
空源による吸引圧力が一定値以上になった場合に作動
し、吸着コレット（185）がペレットを吸着していない
ものと判断する。The suction nozzle body (184) is connected to the rotary joint (17
6), connected to a vacuum source (not shown) via a hose (190), a vacuum switch (191) used for detecting the presence or absence of adsorption of a large pellet (180B). The suction nozzle body (184)
Can be moved up and down in the vertical guide body (192), but a chamfered portion (193) is formed on the upper part of the nozzle body (184), and the inside of the vertical guide body (192) is controlled by the regulating bearing (194). Θ rotation is not possible. The vacuum switch (191) is activated when the suction pressure by the vacuum source becomes equal to or higher than a predetermined value, and determines that the adsorption collet (185) is not adsorbing the pellet.

また前記ヘッド本体（153）内には、駆動モータ（19
5）が配設されその出力軸プーリ（196）と前記上下ガイ
ド体（192）周囲に固定されたプーリ（197）間にはベル
ト（198）が張架され、前記モータ（195）の通電により
ベルト（198）を介して上下ガイド体（192）がベアリン
グ体（199）に案内されつつ回転し吸着ノズル体（184）
をもθ回転させることになる。A drive motor (19) is provided in the head body (153).
A belt (198) is stretched between an output shaft pulley (196) and a pulley (197) fixed around the upper and lower guide bodies (192), and the motor (195) is energized by the motor (195). The suction nozzle body (184) that the upper and lower guide body (192) rotates while being guided by the bearing body (199) via the belt (198).
Is also rotated by θ.

該吸着ノズル体（184）の下端には、吸着コレット（1
85）がロック機構（200）の施錠、解錠により着脱可能
に設けられる。At the lower end of the suction nozzle body (184), a suction collet (1
85) is detachably provided by locking and unlocking the lock mechanism (200).

（201）は前記ヘッド本体（153）の側面に取付けられ
たDCソレノイドで、そのプランジャ（202）には中間部
が枢支された作動レバー（203）が回転可能に連結して
いる。（204）はヘッド本体（153）に上下に延びたガイ
ドレール（205）に沿って上下動可能な上下スライダー
で、該スライダー（204）に突設したピン（206）とヘッ
ド本体（153）上部に突設したピン（207）との間にはバ
ネＤ（208）が張架され、該スライダー（204）を上方へ
付勢している。Reference numeral (201) denotes a DC solenoid attached to the side surface of the head body (153), and an operation lever (203) pivotally supported at an intermediate portion is rotatably connected to the plunger (202). Reference numeral (204) denotes an up / down slider which can move up and down along a guide rail (205) extending up and down on the head body (153), and a pin (206) protruding from the slider (204) and an upper part of the head body (153). A spring D (208) is stretched between the pin (207) and the pin (207) projecting therefrom to urge the slider (204) upward.

そしてこのスライダー（204）には、カムフォロワー
（210）が設けられており、ヘッド本体（153）には上限
ストッパ（211）及び下限ストッパ（212）が設けられ前
記作動レバー（203）がカムフォロワー（210）に当接し
ているので、前記ソレノイド（201）が励磁すると作動
レバー（203）は反時計方向へ回転してスライダー（20
4）を押下げカムフォロワー（210）がストッパ（212）
に当接して停止し同様に消磁すると作動レバー（203）
が時計方向へ回転し該レバー（203）が上限ストッパ（2
11）に当接するまでバネＤ（208）によりスライダー（2
04）を押上げる。The slider (204) is provided with a cam follower (210), and the head body (153) is provided with an upper limit stopper (211) and a lower limit stopper (212). (210), when the solenoid (201) is excited, the operating lever (203) rotates counterclockwise to move the slider (20).
4) Press down the cam follower (210) and the stopper (212)
When it comes into contact with and stops and demagnetizes in the same way, the operating lever (203)
Rotates clockwise and the lever (203) moves to the upper limit stopper (2
Slider (2) by spring D (208) until contact with 11)
04) Press up.

従って発光素子（213）及び受光素子（214）を備え且
つ厚さが厚いが小さなペレット（180A）の吸着検出に使
用する光電検知装置（215）を下端部に備えているの
で、この上下スライダー（204）の上下により光電検知
装置（215）も上下することになる。Therefore, since the photoelectric detecting device (215) provided with the light emitting element (213) and the light receiving element (214) and used for detecting the adsorption of the thick but small pellet (180A) is provided at the lower end, the vertical slider (215) The photoelectric detection device (215) also moves up and down by the up and down movement of (204).

このため、検知装置（215）が下方位置にあるとき、
吸着コレット（185）が吸着しているペレット（180A）
（180B）の有無状態を検知でき、上方位置にあるとき、
吸着コレット（185）自体の有無状態を検知できる。Therefore, when the detection device (215) is in the lower position,
Pellet (180A) on which adsorption collet (185) is adsorbed
(180B) can be detected and when it is in the upper position,
The presence or absence of the suction collet (185) itself can be detected.

（284A）（284B）は保持形の連動する切換スイッチ
で、使用者が任意に切換えられる。（285）（286）は夫
々オア回路、アンド回路で、制御装置であるマイクロ・
コンピュータ（287）に接続されている。従って切換ス
イッチ（284A）（284B）が、第43図に示すように設定し
てある状態では、前記真空スイッチ（191）か光電検知
装置（215）かのいずれかが、ペレット「無し」を検知
したら、予めペレット無しカウンター（図示せず）に設
定された回数Ｎだけピックアップ動作を繰り返し、Ｎ回
を越えると、マイクロ・コンピュータ（287）はモータ
駆動回路（288）を介して各モータ（154A）（154B）（1
54C）を制御して、装着ヘッド（14），（15）を復帰さ
せた後当該装着装置の運転を停止すると共に報知手段
（289）により表示灯、ブザー等の視覚か聴覚に訴えて
使用者に知らせる。然る後使用者は、ペレット「無し」
が事実か否かの確認をし、事実ではなければ真空スイッ
チ（191）の作動レベルを調整したり、光電検知装置（2
15）の高さ位置調整を行なって一回試運転させるか再運
転させればよい。(284A) and (284B) are holding type interlocking changeover switches, which can be arbitrarily switched by the user. (285) and (286) are OR circuits and AND circuits, respectively.
Connected to computer (287). Therefore, when the changeover switches (284A) and (284B) are set as shown in FIG. 43, either the vacuum switch (191) or the photoelectric detection device (215) detects the pellet "absence". Then, the pick-up operation is repeated a preset number N of times in a pellet-less counter (not shown). When the number of times exceeds N, the microcomputer (287) sends each motor (154A) through the motor drive circuit (288). (154B) (1
54C) to stop the operation of the mounting device after returning the mounting heads (14) and (15) and to notify the user of the visual or auditory sound of the indicator lamp, buzzer, etc. by the notification means (289). Inform After that, the user, "No" pellet
Check if the condition is true, and if not, adjust the operation level of the vacuum switch (191) or use the photoelectric detection device (2
It is only necessary to adjust the height position in step 15) and perform a trial run or restart the run.

また切換スイッチ（284A）（284B）を切り換えた場合
には、真空スイッチ（191）及び光電検知装置（215）の
両方がペレット「無し」を検知した場合に、アンド回路
（286）を介してマイクロ・コンピュータ（287）が検知
出力を受けて前述と同様に制御する。Also, when the changeover switches (284A) and (284B) are switched, when both the vacuum switch (191) and the photoelectric detection device (215) detect the pellet "absence", the microcircuit is connected via the AND circuit (286). -The computer (287) receives the detection output and performs the same control as described above.

尚前記切換スイッチ（284A）（284B）、オア回路（28
5）、アンド回路（286）に代えて、同等の機能をキー入
力装置及びランダム・アクセス・メモリ（RAM）によっ
て置換えることも可能であることは勿論である。The changeover switches (284A) and (284B) and the OR circuit (28
5), Of course, instead of the AND circuit (286), equivalent functions can be replaced by a key input device and a random access memory (RAM).

次に前記吸着コレット（185）について説明すると、
該ノズル体（184）の下端部には、ロック機構取付部（2
16）を形成し、該取付部（216）にロック機構（200）を
設ける。そして該取付部（216）には、中空の取付空間
（218）が形成され前記吸着コレット（185）のアダプタ
（219）が嵌合する。また取付部（216）の両側部には軸
受体（220）（220）間に夫々ロック爪体（221）を配設
してこれらを支軸（222）が貫通し、ロック爪体（221）
の夫々を対向するように配設してバネ（223）によりそ
の下端が互いに近づくように付勢している。（224）は
取付部（216）下面に突設した位置決めピンであり、後
述のＵ字溝（225）に嵌合可能である。Next, the adsorption collet (185) will be described.
At the lower end of the nozzle body (184), a lock mechanism mounting part (2
16) is formed, and a lock mechanism (200) is provided on the mounting portion (216). A hollow mounting space (218) is formed in the mounting portion (216), and the adapter (219) of the suction collet (185) is fitted therein. Locking pawls (221) are provided on both sides of the mounting portion (216) between the bearings (220) and (220), respectively, and the support shaft (222) passes therethrough.
Are disposed so as to face each other, and are biased by springs (223) so that the lower ends thereof approach each other. Reference numeral (224) denotes a positioning pin protruding from the lower surface of the mounting portion (216), and can be fitted into a U-shaped groove (225) described later.

吸着コレット（185）は、前記取付部（216）の取付空
間（218）に嵌合するアダプタ（219）と、該アダプタ
（219）の下部には前記嵌合した際に前記取付体（216）
下面に当接するアダプタフランジ部（226）と、ペレッ
ト（180A）（180B）を直接吸着する吸着部（227）とか
ら構成される。前記フランジ部（226）の両側部には、
下部が内方へ凹んだ係止部（228）が形成され、該ロッ
ク爪体（221）の下端が該係止部（228）に入り込んでロ
ックすることになる。The suction collet (185) includes an adapter (219) that fits into the mounting space (218) of the mounting portion (216), and a lower portion of the adapter (219) when the fitting is performed.
It is composed of an adapter flange (226) that comes into contact with the lower surface, and a suction part (227) that directly suctions the pellets (180A) and (180B). On both sides of the flange (226),
A locking portion (228) with a lower portion recessed inward is formed, and the lower end of the lock claw (221) enters the locking portion (228) to lock.

次に吸着コレット交換装置（７），（８）について述
べるが、両者は同一構造であるため、一方（７）につい
てのみ述べる。該交換装置（７）は、大きく分けて取付
板（230）に対して図示しない駆動源により上下動可能
なツールストッカー（231）及びストッカー台（232）
と、所定間隔を存して複数のロック解除ピン（233）を
有するピン取付台（234）とから構成される。Next, the adsorption collet exchange devices (7) and (8) will be described, but since both have the same structure, only one (7) will be described. The exchange device (7) is roughly divided into a tool stocker (231) and a stocker table (232) that can be moved up and down with respect to a mounting plate (230) by a drive source (not shown).
And a pin mount (234) having a plurality of lock release pins (233) at predetermined intervals.

前記ストッカー（231）及びストッカー台（232）と
は、略同形状であり、両者は所定間隔を存して互いに合
致する取付孔（235）（236）が複数穿設されている。そ
してストッカー（231）及びストッカー台（232）に穿設
した孔には２本のコンプライアンスピン（237）が遊嵌
し、頭部（238）とコイルスプリング（239）によりスト
ッカー（231）及びストッカー台（232）は、ストッカー
台（232）の上面に開設した溝内にあるスチールボール
（229）を介して互いに圧接される。このボール（229）
によってストッカー台（232）上をストッカー（231）が
転がれるようになる。前記コンプライアンスピン（23
7）の径より該ピン（237）が嵌合する孔径をやや大きく
とることによって、吸着コレット（185）の着脱時の吸
着ノズル体（184）のセンターとストッカー（231）に収
納された吸着コレット（185）のアダプタ（219）のセン
ターの芯ずれを吸収できる。The stocker (231) and the stocker base (232) have substantially the same shape, and are provided with a plurality of mounting holes (235) and (236) that match each other at a predetermined interval. Two compliance pins (237) are loosely fitted in the holes formed in the stocker (231) and the stocker base (232), and the stocker (231) and the stocker base are fixed by the head (238) and the coil spring (239). The (232) are pressed against each other via a steel ball (229) in a groove formed on the upper surface of the stocker table (232). This ball (229)
This allows the stocker (231) to roll on the stocker table (232). The compliance pin (23
By making the diameter of the hole into which the pin (237) fits slightly larger than the diameter of 7), the suction collet stored in the center of the suction nozzle body (184) and the stocker (231) when the suction collet (185) is attached and detached. The center misalignment of the adapter (219) in (185) can be absorbed.

前記ピン取付台（234）から立設した夫々同長のロッ
ク解除ピン（233）は、前記ストッカー（231）及びスト
ッカー台（232）を貫通している。Lock release pins (233) of the same length, each standing from the pin mounting base (234), penetrate the stocker (231) and the stocker base (232).

ストッカー（231）の取付孔（235）の上面側開口周縁
部の善後部には、吸着コレット支持台（240）が立設さ
れ、夫々位置決めピン（241）（241）が突設している。
従って該交換装置（７）に吸着コレット（185）が置か
れている場合には、前記支持台（240）上に前記フラン
ジ部（226）が当接し、然も該フランジ部（226）の長手
方向側の端部にはＵ字溝（225）（225）が形成され、夫
々位置決めピン（241）（241）が該溝（225）（225）に
嵌合し、該コレット（185）のθ回転を阻止する。A suction collet support (240) is erected at the rear end of the periphery of the upper surface side opening of the mounting hole (235) of the stocker (231), and positioning pins (241) and (241) protrude respectively.
Therefore, when the suction collet (185) is placed on the exchange device (7), the flange portion (226) abuts on the support base (240), and the longitudinal direction of the flange portion (226) is naturally increased. U-shaped grooves (225) and (225) are formed at the ends on the direction side, and positioning pins (241) and (241) are fitted into the grooves (225) and (225), respectively, so that the θ of the collet (185) is Prevent rotation.

前記ピン取付台（234）は取付板（230）に取付けられ
たシリンダー（242）により、ガイド（243）（243）に
軸杆（244）（244）が案内されながら上下動が可能であ
る。（245）（245）は前記ストッカー台（232）に設け
られた軸受体で、該軸受体（245）に所定間隔を存して
複数の押え部材（247）が固定された軸杆（246）が回動
自在に支持されている。該押え部材（247）は略クラン
ク形状を呈して一端部が前記アダプタフランジ部（22
6）に上面から係合するもので、任意の押え部材（247）
の他端部には回動用駆動源としてのシリンダー（248）
が連結している。The pin mounting base (234) can move up and down while the shafts (244) and (244) are guided by guides (243) and (243) by a cylinder (242) mounted on a mounting plate (230). (245) and (245) are bearing members provided on the stocker table (232), and a shaft rod (246) having a plurality of pressing members (247) fixed to the bearing member (245) at predetermined intervals. Are rotatably supported. The holding member (247) has a substantially crank shape, and one end is provided at the adapter flange (22).
6) engages from above, and can be used as an optional holding member (247)
The other end of the cylinder is a cylinder (248) as a rotation drive source
Are linked.

尚前記ツールストッカー（231）及びストッカー台（2
32）を開設した複数の取付棚（235）（236）の開設ピッ
チ、同じくロック解除ピン（233）が嵌合する孔（図示
せず）の開設ピッチ、ロック解除ピン（233）の取付ピ
ッチは全て同ピッチである。The tool stocker (231) and stocker table (2
32) Opening pitch of multiple mounting shelves (235) and (236), opening pitch of holes (not shown) into which unlocking pins (233) are fitted, and mounting pitch of unlocking pins (233) All have the same pitch.

次に突き上げ針装置（145）について詳述する。先ず
図示しない駆動モータ及びその出力軸に設けられた歯車
と歯車（250）とが噛合しており、該歯車（250）により
回転ガイド（251）及び回転板（252）が90度正逆回転可
能である。（254）はシリンダー（253）により上下動す
るベース体で、該ベース体（254）に取付けられた回転
ガイド軸受（255）に案内されつつ前記回転ガイド（25
1）は回転可能である。Next, the push-up needle device (145) will be described in detail. First, a drive motor (not shown) and a gear provided on an output shaft thereof mesh with a gear (250), and the gear (250) enables the rotation guide (251) and the rotating plate (252) to rotate forward and backward by 90 degrees. It is. Reference numeral (254) denotes a base body that moves up and down by a cylinder (253). The base body (254) is guided by a rotation guide bearing (255) attached to the base body (254), and is rotated by the rotation guide (25).
1) is rotatable.

そして回転板（252）には、90度異なった位置に夫々
第１のガイドレール（256）（257）に沿って移動可能な
第１の作動レバー（258）（259）及び夫々第２のガイド
レール（260）（261）に沿って移動可能な第２の作動レ
バー（262）（263）が設けられる。第２の作動レバー
（262）（263）には、ガイド体（264）（265）が設けら
れている。一方のガイド体は（264）は、小さいペレッ
ト（180A）に対応するもので、そのステージ面（266）
の外径は小さく、吸着孔（267）の孔径も小さい。該ガ
イド体は（264）には、突き上げ針（268）を上下動可能
とする案内通路（269）が中央部に形成され、また４個
開設された吸着孔（267）は夫々１つの集合室（270）に
連通した後１つの連通路（271）及び導管（272）を介し
て真空源に連通している。The rotating plate (252) has first operating levers (258) and (259) movable along the first guide rails (256) and (257) at positions different from each other by 90 degrees, and a second guide respectively. A second operating lever (262) (263) movable along the rails (260) (261) is provided. Guide bodies (264) and (265) are provided on the second operation levers (262) and (263). On the other hand, the guide body (264) corresponds to a small pellet (180A), and its stage surface (266)
Has a small outer diameter and the hole diameter of the suction hole (267) is also small. In the guide body (264), a guide passage (269) for vertically moving the push-up needle (268) is formed in the center, and four suction holes (267) are provided in one collecting chamber. After communicating with (270), it communicates with a vacuum source via one communication passage (271) and conduit (272).

また他方のガイド体（265）は、大きいペレット（180
B）に対応するもので、そのステージ面（273）の外径は
前記ステージ面（266）のそれより大きく、吸着孔（27
4）の孔径も前記吸着孔（267）のそれよりも大きい。そ
してガイド体（265）には、例えば４本の突き上げ針（2
75）を上下動可能とする案内通路（276）及び前記針（2
75）を支持する支持杆（276）を上下動可能とする案内
通路（277）が形成され、また８個開設された吸着孔（2
74）は夫々１つの集合室（279）に連通した後１つの連
通路（280）及び導管（281）を介して真空源に連通して
いる。従って、該ガイド体（265）の総吸引力は、ガイ
ド体（264）のそれよりも大きく設定してある。The other guide body (265) is a large pellet (180
The outer diameter of the stage surface (273) is larger than that of the stage surface (266),
The hole diameter of 4) is also larger than that of the suction hole (267). The guide body (265) has, for example, four push-up needles (2
75) and the needle (2)
A guide passage (277) is formed for vertically moving a support rod (276) for supporting the support rod (75), and eight suction holes (2) are opened.
74) communicate with a vacuum source via a communication passage (280) and a conduit (281) after communicating with one collecting chamber (279). Therefore, the total suction force of the guide body (265) is set to be larger than that of the guide body (264).

そして、前記突き上げ針（268）及び支持杆（277）の
下部には、夫々コイルバネ（282）（283）が巻装された
状態で第１の作動レバー（258）（259）に夫々取付けら
れる。従ってこれらバネ（282）（283）によって、両レ
バー（258）（259），（262）（263）が離反するように
付勢される。Further, coil springs (282) and (283) are attached to the first operating levers (258) and (259), respectively, in a state of being wound below the push-up needle (268) and the support rod (277). Therefore, the levers (258), (259), (262), and (263) are urged by the springs (282) and (283) to be separated from each other.

（290）（291）は下限ストッパで、第１の作動レバー
（258）（259）の係合部（292）（293）が当接すること
により該レバー（258）（259）の下限が決定される。即
ち前記針（268）（275）の下限が決定されることによ
る。(290) and (291) are lower limit stoppers, and when the engaging portions (292) and (293) of the first operating levers (258) and (259) come into contact, the lower limits of the levers (258) and (259) are determined. You. That is, the lower limits of the needles (268) and (275) are determined.

そして、後述の上下ローラー（294）により夫々第１
の作動レバー（258），（259）が上動したときに、バネ
（282），（283）によって第２の作動レバー（262），
（263）も上動するが、上限ストッパーボルト（295）
（296）が上限ストッパ（297）（298）に当接すると上
動は制限される。更に第１のレバー（258），（259）が
バネ（282），（283）に抗して上動すると、針（268）
（275）は上昇し、ウェハーシート（146）のペレット
（180A），（180B）を突き上げることになる。（29
9），（300）は押上げピンで、第１の作動レバー（25
8），（259）が下降するときに第２の作動レバー（26
2）（263）も下降することになる。Then, the upper and lower rollers (294) described below respectively
When the operating levers (258) and (259) move upward, the springs (282) and (283) move the second operating levers (262) and (283).
(263) also moves up, but the upper limit stopper bolt (295)
When (296) comes into contact with upper limit stoppers (297) and (298), upward movement is limited. Further, when the first levers (258) and (259) move upward against the springs (282) and (283), the needle (268)
(275) rises and pushes up the pellets (180A) and (180B) of the wafer sheet (146). (29
9) and (300) are push-up pins, and the first operating lever (25
8) and (259) descend when the second operating lever (26
2) (263) will also fall.

一方、ベース体（254）の上部には駆動モータ（301）
が取付けられ、その出力軸プーリ（302）とネジ軸（30
3）の上部のプーリ（304）との間にベルト（305）が張
設される。（306）は前記ネジ軸（303）を支持する支持
体で、（307）は前記ネジ軸（303）が嵌合し該ネジ軸
（303）の回転により上下する上下バーである。該上下
バー（307）は回転ガイド（251）の中空部に遊嵌され、
該バー（307）端部の上下ローラー（294）が該バー（30
7）の上動に伴ない第１の作動レバー（258），（259）
のいずれかを前述の如く上動させるものである。On the other hand, the drive motor (301) is located above the base body (254).
The output shaft pulley (302) and the screw shaft (30
A belt (305) is stretched between the upper pulley (304) and the belt (305). Reference numeral (306) denotes a support for supporting the screw shaft (303), and reference numeral (307) denotes an upper and lower bar fitted with the screw shaft (303) and moved up and down by rotation of the screw shaft (303). The upper and lower bars (307) are loosely fitted into the hollow portion of the rotation guide (251),
The upper and lower rollers (294) at the end of the bar (307) are
7) First actuating lever (258), (259) with upward movement
Is moved up as described above.

（308），（309）は回転板ストッパで、夫々回転板
（252）に当接して、該回転板（252）の停止位置を確実
なものとしており、このストッパ（308），（309）に回
転板（252）が当接する際の衝撃を緩和するためにショ
ックアブソーバが設けられている。Reference numerals (308) and (309) denote rotating plate stoppers which abut against the rotating plate (252) to secure the stop position of the rotating plate (252). A shock absorber is provided to reduce the impact when the rotating plate (252) comes into contact.

そして第40図に示すように、前記ガイド体（264），
（265）と真空源との間には、第１のフィルター（31
0），（311）と、切換弁（312），（313）と、該切換弁
（312），（313）と真空源との間に並列に接続される二
又絞り弁（314）（315），（316）（317）、第２のフィ
ルター（318）（319），（320）（321）及びバルブ（32
2）（323），（324）（325）とが設けられる。Then, as shown in FIG. 40, the guide body (264),
A first filter (31) is provided between (265) and the vacuum source.
0), (311), switching valves (312), (313), and a two-way throttle valve (314) (315) connected in parallel between the switching valves (312), (313) and the vacuum source. ), (316) (317), the second filter (318) (319), (320) (321) and the valve (32).
2) (323), (324) and (325) are provided.

尚真空圧の調整は、二又絞り弁（314）（315），（31
6）（317）の一方の大気に開放している弁（326）（32
7），（328）（329）の絞り具合により決まる。Adjustment of the vacuum pressure is performed by using a two-way throttle valve (314) (315), (31
6) Valve (326) (32) that is open to one atmosphere of (317)
7), (328), (329) Determined by the degree of aperture.

前記第１のフィルター（310），（311）は、吸着孔
（267），（274）から吸い込んだ塵埃を除塵して、切換
弁（312），（313）及び二又絞り弁（326）（327），
（328）（329）を保護し、第２のフィルター（318），
（319），（320），（321）は、前記二又絞り弁（326）
（327），（328）（329）から吸い込んだ塵埃を除塵
し、夫々バルブ（322）（323），（324）（325）を保護
する。The first filters (310) and (311) remove dust sucked from the suction holes (267) and (274), and changeover valves (312) and (313) and a two-way throttle valve (326) ( 327),
(328) to protect (329) and the second filter (318),
(319), (320) and (321) are the two-way throttle valve (326)
The dust sucked from (327), (328) and (329) is removed to protect the valves (322) (323) and (324) (325), respectively.

以上の構成により以下動作について説明する。 The operation of the above configuration will be described below.

（ｉ） コンベア（２）幅の調整動作 固定シュート（20B）に対する可動シュート（20A）の
移動動作について以下述べる。種々の大きさのプリント
基板（Ｐ）をコンベア（２）を搬送できるようにするた
めに、先ず駆動モータ（38）によりベルト（39）及び各
プーリ（40）（41）を介してボールネジ体（36）（37）
を回転させる。するとナット体（35）（36）が可動シュ
ート（20A）と共に進退動するが、このとき可動シュー
ト（20A）はスプライン軸（27）に案内されながら移動
することになる。従って両スプロケット（16），（17）
間に張設されたチェーン（18B）も移動することにな
り、プリント基板（Ｐ）の送り方向と直交する方向の幅
に対応できることになる。(I) Conveyor (2) width adjustment operation The movement operation of the movable chute (20A) with respect to the fixed chute (20B) will be described below. In order to be able to convey the printed circuit boards (P) of various sizes to the conveyor (2), first, the driving motor (38) drives the ball screw () via the belt (39) and the respective pulleys (40) (41). 36) (37)
To rotate. Then, the nut bodies (35) and (36) move forward and backward together with the movable chute (20A). At this time, the movable chute (20A) moves while being guided by the spline shaft (27). Therefore, both sprockets (16), (17)
The chain (18B) stretched between them also moves, and can correspond to the width of the printed circuit board (P) in the direction orthogonal to the feed direction.

（ii） プリント基板（Ｐ）の搬送動作 駆動モータ（21）が通電されると、ベルト（23）を介
してインデックス装置（22）が働らき、その出力軸プー
リ（24）とプーリ（25）との間に張設されたベルト（2
6）により支軸（32）（33）を介して駆動スプロケット
（16）（16）が回転する。このため従動スプロケット
（17）（17）も回転し、チェーン（18A）（18B）上のプ
リント基板（Ｐ）は間欠的に搬送されることになる。(Ii) Print substrate (P) transport operation When the drive motor (21) is energized, the index device (22) operates via the belt (23), and its output shaft pulley (24) and pulley (25) Between the belt (2
6) rotates the drive sprockets (16) and (16) via the support shafts (32) and (33). Therefore, the driven sprockets (17) and (17) also rotate, and the printed circuit board (P) on the chains (18A) and (18B) is intermittently conveyed.

このとき、プリント基板（Ｐ）は、各係合片（19）に
その上流側端部が係合した状態で、間欠的に搬送され
る。At this time, the printed circuit board (P) is intermittently conveyed in a state where its upstream end is engaged with each engagement piece (19).

尚、駆動スプロケット（16）の加工上の寸法誤差が送
り精度のバラツキにならないようインデックス装置（2
2）の１割出しによって、該スプロケット（16）が１回
転するようにし、このスプロケット（16）の１回転が間
欠搬送の１ピッチとなるように該スプロケット（16）、
プーリの歯数が決めてある。The indexing device (2) should be used so that dimensional errors in the machining of the drive sprocket (16) do not vary
By the indexing of 2), the sprocket (16) is rotated once, and the sprocket (16) is rotated so that one rotation of the sprocket (16) becomes one pitch of the intermittent conveyance.
The number of pulley teeth is determined.

またローダ（67A）から前記チェーン（18A）（18B）
上へプリント基板（Ｐ）の橋渡しは、先ず収納箱（68
A）内の最下位にある基板（Ｐ）を押出部材（69）によ
り押出すことにより行なわれる。即ち押出部材（69）
は、前記各係合片（19）間に各基板（Ｐ）が位置するよ
うに作動する。Also from the loader (67A) to the chain (18A) (18B)
To bridge the printed circuit board (P) upward, first put the storage box (68
This is performed by extruding the lowermost substrate (P) in A) by the extruding member (69). That is, the extrusion member (69)
Operates so that each board (P) is located between the engagement pieces (19).

前記押出部材（69）が基板（Ｐ）を押出すと、この押
出動作開始に同期して各ブレーキ部材（65A）（65B）に
より各吸引口（66）を介して基板（Ｐ）の動きに真空に
よってブレーキをかけるので、コンベア（18A）（18B）
上に確実に安定した状態で乗り移れる。而してこの乗り
移った後は、前記押出動作終了に同期して真空源による
吸引を解除する。When the pushing member (69) pushes out the substrate (P), the brake members (65A) and (65B) move the substrate (P) through the suction ports (66) in synchronization with the start of the pushing operation. Conveyor (18A) (18B) because brake is applied by vacuum
I can move on in a stable state. After the transfer, the suction by the vacuum source is released in synchronization with the end of the pushing operation.

尚基板（Ｐ）の搬送中に何らかの事故が起きて、過負
荷状態となると、トルクリミッタ（62）が働らきその検
出板（63）が軸方向に移動することになるので、一対の
光センサー（64）で過負荷状態を検出することができ
る。このときには、当該駆動モータ（21）を非通電とす
ると共に図示しない報知手段で使用者にその旨を報知す
る。従って使用者は、その事故の原因と取除けばよい。If an accident occurs during the transfer of the substrate (P) and the load is overloaded, the torque limiter (62) operates and the detection plate (63) moves in the axial direction. The overload state can be detected in (64). At this time, the drive motor (21) is de-energized, and the user is notified of this by a not-shown notifying means. Therefore, the user may remove the cause of the accident.

またこのようにしてプリント基板（Ｐ）の搬送は行な
われるが、経時変化等でチェーン（18A）が伸びる等し
て係合片（19）の停止位置がずれてある許容範囲を越え
た場合には、センサー（43）が係合片（19）に遮光され
ず係合片（19）の存在を「無し」と検知すると、電子部
品装着装置全体を停止させる。この場合、作業者は、手
動でもってインデックス装置（22）の軸を回し、ずれ量
を補正し、正規の位置に戻せばよい。The printed circuit board (P) is conveyed in this manner. However, if the stop position of the engagement piece (19) is out of a certain allowable range due to elongation of the chain (18A) due to aging, etc. When the sensor (43) detects the presence of the engagement piece (19) as “absent” without being blocked by the engagement piece (19), the entire electronic component mounting device is stopped. In this case, the operator may manually turn the axis of the index device (22) to correct the amount of displacement and return the index device to the normal position.

（iii） プリント基板（Ｐ）の位置決め動作 そしてチェーン（18A）（18B）により、位置決め装置
（４）の位置に到達したのが検知されると、駆動モータ
（21）の通電は断たれプリント基板（Ｐ）の搬送は停止
する。(Iii) Positioning operation of the printed circuit board (P) When the chain (18A) (18B) detects that the position of the positioning device (4) has been reached, the drive motor (21) is de-energized and the printed circuit board (P) is turned off. The conveyance of (P) stops.

すると、モータ（77）が通電されベルト（79）を介し
て軸杆（72）が回転するので、各カム（73）（74）（7
5）も回転し、該カムの形状に合わせてカムフォロワー
（80）（81）（82）を介して、各上下部材（86）（87）
（88）は上下動することになる。これによりプリント基
板（Ｐ）の送り方向、この送り方向と直交する幅方向、
これらの方向と直交する垂直方向の位置規制を行なう。Then, since the motor (77) is energized and the shaft (72) rotates via the belt (79), each of the cams (73) (74) (7
5) also rotates, and according to the shape of the cam, via the cam followers (80) (81) (82), the upper and lower members (86) (87)
(88) will move up and down. Thereby, the feed direction of the printed circuit board (P), the width direction orthogonal to the feed direction,
Position control in the vertical direction perpendicular to these directions is performed.

プリント基板（Ｐ）の送り方向の位置規制 基板（Ｐ）がこの位置決め位置に到達する前は、カム
レバー（91）が上昇位置にあるため第８図に示す状態に
ある。Position regulation in the feed direction of the printed circuit board (P) Before the printed circuit board (P) reaches the positioning position, the cam lever (91) is at the raised position, and is in the state shown in FIG.

そして、モータ（77）の通電により回転するクランプ
カム（75）に合わせて、上下部材（88）がバネ（112）
に抗して下降すると、バネ（98）により可動クランプ
（94）がバネ（97）に抗して基準クランプ（93）が夫々
回動してプリント基板（Ｐ）の送り方向の位置規制が行
なわれる。And the upper and lower members (88) are spring
When the movable clamp (94) is lowered by the spring (98), the reference clamps (93) are rotated by the spring (97) against the spring (97) to regulate the position of the printed circuit board (P) in the feed direction. It is.

即ち、ガイド（85）に沿って上下部材（88）が下降す
ると、可動クランプ（94）は支軸（96）を支点とし基準
クランプ（93）は支軸（95）を支点として夫々回動す
る。このため、各クランプが基板（Ｐ）の上流側端面及
び下流側端面に当接するようになる。That is, when the upper and lower members (88) descend along the guide (85), the movable clamp (94) rotates about the support shaft (96) and the reference clamp (93) rotates about the support shaft (95). . For this reason, each clamp comes in contact with the upstream end surface and the downstream end surface of the substrate (P).

尚プリント基板（Ｐ）の送り方向の寸法を変更する場
合には、チェーン（18A）（18B）に載置する前に、図示
しない駆動源によりネジ軸（104）を回転させることに
より行なう。このネジ軸（104）が回転すると、ボール
ネジ体（105）及び連結体（106）を介してリニアガイド
（101）に沿ってＸテーブル（102）が移動する。このＸ
テーブル（102）には、可動クランプ（94）を支持する
可動体（103）が固定されているので、基準クランプ（9
3）に対して可動クランプ（94）が遠ざかったり近づい
たりすることができる。これにより、プリント基板
（Ｐ）の送り方向の寸法が変っても、対処できるように
なる。When changing the dimensions of the printed circuit board (P) in the feed direction, the screw shaft (104) is rotated by a drive source (not shown) before being mounted on the chains (18A) and (18B). When the screw shaft (104) rotates, the X table (102) moves along the linear guide (101) via the ball screw body (105) and the connecting body (106). This X
Since the movable body (103) supporting the movable clamp (94) is fixed to the table (102), the reference clamp (9
The movable clamp (94) can move farther or closer to 3). This makes it possible to cope with a change in the size of the printed circuit board (P) in the feed direction.

プリント基板（Ｐ）の送り方向と直交する幅方向の
位置規制 基板（Ｐ）がこの位置決め位置に到達する前は、上下
部材（86）及びカムレバー（89）が上昇位置にあるの
で、バネ（123）に抗して幅寄せ部材（120）は第11図に
示すような状態にある。Before the printed board (P) reaches the positioning position in the width direction orthogonal to the feeding direction of the printed board (P), the spring (123) is used because the upper and lower members (86) and the cam lever (89) are at the raised position. 11) is in a state as shown in FIG.

そして前記モータ（77）の通電により回転する幅寄せ
カム（73）の形状に合わせて上下部材（86）が下降す
る。このためバネ（123）によって幅寄せ部材（120）は
支軸（119）を支点として上部が基板（Ｐ）側に回動す
る。この回動により基板（Ｐ）を可動ベアリング体（11
6）とで挾持することになる。従って基板（Ｐ）の幅方
向の位置が規制されることになる。Then, the upper and lower members (86) descend according to the shape of the width shifting cam (73) which is rotated by energization of the motor (77). Therefore, the spring (123) rotates the upper portion of the width-shifting member (120) toward the substrate (P) with the support shaft (119) as a fulcrum. This rotation causes the substrate (P) to move the movable bearing body (11).
6). Therefore, the position in the width direction of the substrate (P) is regulated.

尚このプリント基板（Ｐ）の送り方向と直交する幅方
向の寸法が変った場合には、前述の如く、駆動モータ
（38）により可動シュート（20A）を移動させ、固定シ
ュート（20B）との間隔を拡開したり、狭めることによ
って結果的にこれら幅寄せ部材（120）を移動させれば
よい。When the dimension of the printed circuit board (P) in the width direction orthogonal to the feed direction changes, the movable chute (20A) is moved by the drive motor (38) to move the movable chute (20A) with the fixed chute (20B) as described above. By widening or narrowing the interval, these width shifting members (120) may be moved as a result.

プリント基板（Ｐ）の垂直方向の規制 基板（Ｐ）がこの位置決め位置に到達する前は、上下
部材（87）及びカムレバー（90）は第13図に示すように
下降位置にあって、吸着用上下部材（87A）（87B）の上
面はチェーン（18A）（18B）の上面よりわずかに高いレ
ベルにあり、各チェーン（18A）（18B）の係合片（19）
により基板（Ｐ）はチェーンから各上下部材（87A）（8
7B）の上面に乗り移って吸着される。そしてコンベア
（２）が停止したときにその吸着を停止することになる
が、この吸着によりコンベア（２）が停止したときの慣
性によってプリント基板（Ｐ）が移動することは少な
い。Before the board (P) reaches the positioning position, the upper and lower members (87) and the cam lever (90) are at the lowered position as shown in FIG. The upper surfaces of the upper and lower members (87A) and (87B) are slightly higher than the upper surfaces of the chains (18A) and (18B), and the engagement pieces (19) of each chain (18A) (18B)
The board (P) is separated from the upper and lower members (87A) (8
Transfers to the upper surface of 7B) and is absorbed. Then, when the conveyor (2) stops, the suction is stopped. However, the printed board (P) rarely moves due to the inertia when the conveyor (2) stops due to the suction.

そして前記モータ（77）の通電により回転するリフト
カム（74）の形状に合わせて、上下部材（87）及びカム
レバー（90）が上昇すると、プリント基板（Ｐ）は、バ
ネ（133）（133）により上昇する前記上下部材（87A）
（87A）によって押上げられる。このため基板（Ｐ）
は、送り方向及びこの送り方向と直交する幅方向の位置
規制がなされた状態で、基板押え（135）（135）の係合
部（136）（136）の下面に当接した状態となる（第14図
参照）。When the upper and lower members (87) and the cam lever (90) rise according to the shape of the lift cam (74) that rotates when the motor (77) is energized, the printed circuit board (P) is moved by the springs (133) and (133). Ascending and descending members (87A)
(87A). Therefore, the substrate (P)
Is in a state of contact with the lower surfaces of the engaging portions (136) and (136) of the substrate pressers (135) and (135) in a state where the position is regulated in the feed direction and the width direction orthogonal to the feed direction ( (See Fig. 14).

従って、この規制装置（130）によって、基板（Ｐ）
への部品実装面の位置を、該基板（Ｐ）の厚さに影響さ
れず常に一定とすることができる。Therefore, the board (P) is controlled by the regulating device (130).
The position of the component mounting surface can be kept constant regardless of the thickness of the substrate (P).

以上の基板（Ｐ）の各位置規制は、モータ（77）の通
電により略同時に開始されることになるが、送り方向の
位置規制、この送り方向とは直交する幅方向の位置規
制、これらの方向と直交する垂直方向の位置規制の順に
終了する。The above-described position regulation of the substrate (P) is started at substantially the same time when the motor (77) is energized. However, the position regulation in the feed direction, the position regulation in the width direction perpendicular to the feed direction, and the like. The process ends in the order of the position regulation in the vertical direction perpendicular to the direction.

（iv） ウェハーテーブル（９）等の動作 前述のように位置規制された状態にあるプリント基板
（Ｐ）にペレットを装着するわけであるが、この装着前
にウェハーテーブル（９）上の所望ウェハーシート（14
6）ウェハーシート（146）がステーション（Ａ）に移動
するように、ウェハー支持台（11）を図示しない駆動源
により正逆いずれかに回転させる。(Iv) Operation of the wafer table (9) etc. The pellets are mounted on the printed circuit board (P) whose position is regulated as described above. Before mounting, the desired wafer on the wafer table (9) is mounted. Seat (14
6) The wafer support (11) is rotated either forward or backward by a drive source (not shown) so that the wafer sheet (146) moves to the station (A).

次にＸ軸用モータ（141）、Ｙ軸用モータ（142）によ
り各ガイド（143）（144）に沿って、XYテーブル（14
0）及び支持台（11）を平面方向に移動させて、突き上
げ針装置（145）のガイド体（264）の上方位置に所望の
ウェハーシート（146）上のペレット（180A）が位置す
るようにする。Next, the XY table (14) is moved along the guides (143) and (144) by the X-axis motor (141) and the Y-axis motor (142).
0) and the support table (11) are moved in the plane direction so that the pellet (180A) on the desired wafer sheet (146) is positioned above the guide body (264) of the push-up needle device (145). I do.

そしてシリンダー（253）によりベー体（254）を上動
させ、前記ガイド体（264）をウェハーシート（146）に
近接させる。その後駆動モータ（301）を通電させ、各
プーリ（302）（304）及びベルト（305）を介してネジ
軸（303）を回転させ上下バー（307）を上昇させる。す
ると該バー（307）は、第１の作動レバー（258）を上昇
させるので、バネ（282）によって第２のレバー（262）
も上昇するが、ボルト（295）が上限ストッパ（297）に
当接するので、この上動は制限される。Then, the base body (254) is moved upward by the cylinder (253) to bring the guide body (264) close to the wafer sheet (146). Thereafter, the drive motor (301) is energized, and the screw shaft (303) is rotated via the respective pulleys (302) (304) and the belt (305) to raise the upper and lower bars (307). Then, the bar (307) raises the first operating lever (258), so that the second lever (262) is moved by the spring (282).
However, the upward movement is limited because the bolt (295) comes into contact with the upper limit stopper (297).

しかし、更に第１のレバー（258）は上動するので、
突き上げ針（268）は上昇する。従って第36図に示すよ
うに、真空源により導管（272）、連通路（271）及び吸
着孔（267）を介して、ステージ面（266）上に吸着した
シート（146）を突き上げ、シート（146）面からペレッ
ト（180A）を剥がすようにして装着ヘッド（４）の吸着
部（227）とで保持する状態として該吸着部（227）が確
実にペレット（180A）を吸着する。However, since the first lever (258) further moves upward,
The push-up needle (268) rises. Therefore, as shown in FIG. 36, the sheet (146) adsorbed on the stage surface (266) is pushed up by the vacuum source via the conduit (272), the communication path (271) and the suction hole (267), and the sheet ( 146) The pellet (180A) is peeled off from the surface, and the pellet (180A) is surely sucked by the suction part (227) in a state where the pellet (180A) is held by the suction part (227) of the mounting head (4).

但し、このとき突き上げ針（268）は、その下限停止
位置から一気に突き上げるのではなく、ペレット吸着後
の吸着コレット（185）の上昇タイミングと同期をとる
ために、先ず突き上げ針（268）上端がステージ面（26
6）と同一レベルて待機して、しかるべきタイミング信
号でもって上昇して前記シート（146）を突き上げる
（第36図参照）。このとき降下している吸着コレット
（185）の吸着部（227）の下端部とでペレット（180A）
を挾持しても、更に針（268）は上昇するので、装着ヘ
ッド（14）の上下移動体（159）が停止状態にあっても
バネＢ（179）に抗して吸着ノズル体（184）を上昇させ
る。However, at this time, the push-up needle (268) does not push up from its lower limit stop position at once, but in order to synchronize with the rising timing of the adsorption collet (185) after the pellet is adsorbed, first, the upper end of the push-up needle (268) is set on the stage. Surface (26
After waiting at the same level as in step 6), the sheet (146) is raised with an appropriate timing signal and pushed up (see FIG. 36). At this time, a pellet (180A) is formed between the adsorbing collet (185) and the lower end of the adsorbing section (227).
The needle (268) further rises even if the pinch is clamped, so that the suction nozzle body (184) against the spring B (179) even when the vertical moving body (159) of the mounting head (14) is stopped. To rise.

この後突き上げ針（268）と吸着ノズル体（184）は、
同期してペレット（180A）を挾持した状態で共に上昇す
る。そして、所定の上昇に到達した後は、前記ノズル体
（184）のみ上昇し、前記針（268）は下降し待機位置に
戻る。After this, the push-up needle (268) and the suction nozzle body (184)
Synchronously, they rise together while holding the pellet (180A). Then, after reaching a predetermined rise, only the nozzle body (184) rises, the needle (268) descends, and returns to the standby position.

この吸着後は、前記駆動モータ（301）の回転を逆転
させ、上下バー（307）を下動させバネ（282）により第
１の作動レバー（258）を下降させるので前記針（268）
は下降し、更に上下バー（307）が下動すると、第２の
作動レバー（262）も下降し、この突き上げ針装置（14
5）はシリンダー（253）によって下降することによって
初期状態となる。After the suction, the rotation of the drive motor (301) is reversed, the upper and lower bars (307) are moved down, and the first operating lever (258) is lowered by the spring (282).
When the upper and lower bars (307) further move down, the second operating lever (262) also lowers, and this push-up needle device (14)
5) is initialized by being lowered by the cylinder (253).

次に大きなペレット（180B）を装着したい場合には、
そのウェハーシート（146）がステーション（Ａ）に位
置するように支持台（11）を回転させると共にXYテーブ
ル（140）及び支持台（11）を平面方向に移動させて、
次の装着動作に備える。また、突き上げ針装置（145）
の回転板（252）を90度回転させる。即ち、図示しない
駆動モータに通電して、その出力軸に設けられた歯車に
噛合する歯車（250）により回転ガイド（251）及び回転
板（252）を回転させ、回転板ストッパ（308）に当接し
て停止位置を確実なものにしている。If you want to install the next bigger pellet (180B)
The support table (11) is rotated so that the wafer sheet (146) is located at the station (A), and the XY table (140) and the support table (11) are moved in the plane direction.
Prepare for the next mounting operation. In addition, push-up needle device (145)
Rotate the rotating plate (252) by 90 degrees. That is, power is supplied to a drive motor (not shown), and the rotation guide (251) and the rotating plate (252) are rotated by the gear (250) meshing with the gear provided on the output shaft, and the rotating guide (251) is brought into contact with the rotating plate stopper (308). To make sure the stop position.

従って、大きなペレット（180B）用のガイド体（26
5）がウェハーシート（146）の直下方に位置することに
なる。Therefore, guides (26) for large pellets (180B)
5) is located immediately below the wafer sheet (146).

尚第40図に示すように、ペレットをウェハーシート
（146）から剥離する際に、ウェハーシート（146）をス
テージ面（266）に吸着するための真空圧も変更するこ
とができる。即ち比較的小さなペレット（180A）の場合
には、切換弁（312）を切換えることによって、二又絞
り弁（314），（315）のいずれかを選択して異なる真空
圧で吸引でき、また比較的大きなペレット（180B）の場
合には、切換弁（313）を切換えることによって、二又
絞り弁（316），（317）のいずれかを選択して異なる真
空圧で吸引できる。As shown in FIG. 40, when the pellets are peeled from the wafer sheet (146), the vacuum pressure for adsorbing the wafer sheet (146) to the stage surface (266) can also be changed. That is, in the case of a relatively small pellet (180A), by switching the switching valve (312), one of the two-way throttle valves (314) and (315) can be selected and suctioned at different vacuum pressures. In the case of a very large pellet (180B), one of the two-way throttle valves (316) and (317) can be selected and sucked at a different vacuum pressure by switching the switching valve (313).

従って、各ガイド体（264），（265）につき２種類の
真空圧を選択調整でき、各ウェハーテーブル（９）（1
0）上のウェハーの大きさの異なる種類に応じて対応す
ることができる。Therefore, two kinds of vacuum pressures can be selected and adjusted for each guide body (264), (265), and each wafer table (9) (1) can be adjusted.
0) It is possible to cope with different types of wafers having different sizes.

例えば、前述の小さなペレット（180A）を扱う場合に
は、切換弁（312）を切換えて、二又絞り弁（314）を選
択し、各バルブ（323），（324），（325）を閉じ、バ
ルブ（322）は開く。すると真空圧は、例えば250mmHgと
なる。またこのとき、ガイド体（264）の吸着孔（267）
を介して吸い込んだ塵埃は第１のフィルター（310）で
除塵され、切換弁（312）及び二又絞り弁（314）は保護
される。更には、二又絞り弁（314）の弁（326）から吸
い込んだ塵埃は第２のフィルター（318）で除塵され、
バルブ（322）は保護される。このペレット（180A）よ
り少許大きなペレットを扱う場合には、切換弁（312）
を切換えて二又絞り弁（315）を選択して、真空圧を例
えば350mmHgとする。For example, when handling the aforementioned small pellet (180A), the switching valve (312) is switched to select the bifurcated throttle valve (314), and the valves (323), (324) and (325) are closed. , Valve (322) open. Then, the vacuum pressure becomes, for example, 250 mmHg. At this time, the suction hole (267) of the guide body (264)
The dust sucked through the filter is removed by the first filter (310), and the switching valve (312) and the two-way throttle valve (314) are protected. Further, dust sucked from the valve (326) of the two-way throttle valve (314) is removed by the second filter (318),
Valve (322) is protected. When handling pellets slightly larger than this pellet (180A), changeover valve (312)
To select the bifurcated throttle valve (315) and set the vacuum pressure to, for example, 350 mmHg.

勿論大きなペレット（180B）を扱う場合には、切換弁
（313）を切換えて、二又絞り弁（328），（329）のい
ずれかを選択して、真空圧を例えば300mmHg,400mmHgの
いずれかに設定することができる。Of course, when handling large pellets (180B), switch the switching valve (313) and select one of the two-way throttle valves (328) and (329), and set the vacuum pressure to, for example, 300 mmHg or 400 mmHg. Can be set to

（ｖ） ペレットの装着動作 装着ヘッド（14）は、駆動モータ（154A）によって回
転されるボールネジ（154A）によりＸ方向の移動がで
き、駆動モータ（154B）によって回転されるボールネジ
（151B）によりガイド体（151）（152）に沿ってＹ方向
の移動が可能となる。(V) Pellet mounting operation The mounting head (14) can move in the X direction by a ball screw (154A) rotated by a drive motor (154A), and is guided by a ball screw (151B) rotated by a drive motor (154B). It is possible to move in the Y direction along the bodies (151) and (152).

従って、装着ヘッド（14）は、ステーション（Ａ）に
位置するウェハーシート（146）の吸着すべきペレット
（180A）の上方位置まで移動でき、次いで吸着コレット
（185）を降下させることにより所望のペレット（180
A）を吸着できる。この点につき以下詳述する。Accordingly, the mounting head (14) can move to a position above the pellet (180A) to be sucked of the wafer sheet (146) located at the station (A), and then lower the suction collet (185) to obtain the desired pellet. (180
A) can be adsorbed. This will be described in detail below.

先ず駆動モータ（154C）に通電して、各プーリ（15
5），（157）、ベルト（158）を介してネジ軸（156）を
回転させ、上下移動体（159）を降下させる。すると、
加圧用モータ（162）によりバネＢ（179）によって、加
圧ベアリング体（174）がロータリジョイント（176）及
び固定ベアリング体（175）に押圧しているので、吸着
ノズル体（184）は上下ガイド体（192）に沿ってウェハ
ーシート（146）まで降下する。このため、前述の如く
突き上げ針装置（145）の針（268）と相俟ってペレット
（180A）を確実に吸着できる。First, energize the drive motor (154C) and pull each pulley (15C).
5), (157), the screw shaft (156) is rotated via the belt (158), and the vertical moving body (159) is lowered. Then
Since the pressure bearing body (174) is pressed against the rotary joint (176) and the fixed bearing body (175) by the spring B (179) by the pressure motor (162), the suction nozzle body (184) is moved up and down by the vertical guide. It descends along the body (192) to the wafer sheet (146). Therefore, in combination with the needle (268) of the push-up needle device (145) as described above, the pellet (180A) can be reliably adsorbed.

そして、この吸着後は前記モータ（154C）の回転を逆
転させて、ネジ軸（156）により上下移動体（159）を上
昇させるが、この上昇後はロックソレノイド（163）を
励磁させる。このため吸引されたプランジャ（166）に
よりバネ（170）に抗して揺動体（173）を支軸（172）
を支点として回動させる。従って上下移動体（159）に
固定された支持体（168）に設けられた固定ベアリング
体（175）と加圧ベアリング体（174）とで、ロータリジ
ョイント（176）の鍔体（177）を挾持した状態にロック
する。勿論このロック動作は、装着ヘッド（14）の水平
移動中に行なわれ、このロック動作後必要あらば吸着ノ
ズル体（184）のθ回転を行ない、ペレット（180A）の
平面方向における向きを基板（Ｐ）への装着向きに合わ
せる。Then, after the suction, the rotation of the motor (154C) is reversed to raise the vertical moving body (159) by the screw shaft (156). After this lifting, the lock solenoid (163) is excited. For this reason, the rocking body (173) is supported by the pivot (172) against the spring (170) by the plunger (166) sucked.
Is rotated about the fulcrum. Therefore, the flange (177) of the rotary joint (176) is held between the fixed bearing (175) and the pressure bearing (174) provided on the support (168) fixed to the vertically movable body (159). Lock in the state that was done. Of course, this locking operation is performed during the horizontal movement of the mounting head (14). After this locking operation, if necessary, the suction nozzle (184) is rotated by θ, and the orientation of the pellet (180A) in the plane direction is changed to the substrate ( Adjust to the mounting direction to P).

即ち、駆動モータ（195）の通電により各プーリ（19
6），（197）、ベルト（198）を介して、上下ガイド体
（192）及び規制ベアリング（194）によって吸着ノズル
体（184）はθ回転することになる。That is, each pulley (19) is energized by the drive motor (195).
6), (197), and the belt (198), the suction nozzle body (184) is rotated by θ by the vertical guide body (192) and the regulating bearing (194).

この吸着ノズル体（184）は、装着ヘッド（14）の水
平方向の移動によって、前述のように位置規制された状
態にあるプリント基板（Ｐ）の上方位置まで移動し、該
基板（Ｐ）の所望位置にペレット（180A）を装着するこ
とができる。The suction nozzle body (184) moves to a position above the printed circuit board (P) in a state where the position is regulated as described above by the horizontal movement of the mounting head (14), and A pellet (180A) can be mounted at a desired position.

即ち、前述の如く、モータ（154C）に通電して、上下
移動体（159）を降下させ、吸着ノズル体（184）を基板
（Ｐ）上まで降下させるのがその途中で、前記ロックソ
レノイド（163）を消磁させてロック動作を解除する。That is, as described above, the motor (154C) is energized to lower the vertical moving body (159) and lower the suction nozzle body (184) onto the substrate (P). 163) is degaussed to release the lock operation.

この装着時には、バネＢ（179）によってペレット（1
80A）はプリント基板（Ｐ）に押圧されることになる。
従ってこの押圧力を変更したい場合には、加圧用モータ
（162）の回転角度を希望の値にデータ設定することに
より行なえる。At this time, the pellet (1) is set by the spring B (179).
80A) is pressed against the printed circuit board (P).
Therefore, when it is desired to change the pressing force, the pressing force can be changed by setting the rotation angle of the pressing motor (162) to a desired value.

尚、前記吸着コレット（185）による吸着動作時に、
図示しない真空源による真空吸引動作が開始した場合
に、当該装着装置の全てを統轄制御するマイクロ・コン
ピュータ（287）は、前記真空スイッチ（191）、光電検
知装置（215）からの検知データをオア回路（285）かア
ンド回路（286）を介して取り込む。そして、切換スイ
ッチ（284A）（284B）の状態により少なくとも一方の検
知データか両方の検知データの内容がペレット「無し」
であれば、予めペレット無しカウンター（図示せず）に
設定された回数Ｎだけ、ピックアップ動作を繰り返し、
Ｎ解を越えると、装着ヘッド（14），（15）を原点に復
帰させ、当該装着装置の運転を停止すると共に使用者に
報知手段（289）によって視覚か聴覚により使用者にそ
の旨を報知する。従って使用者は、ペレット「無し」が
事実か否かの確認をし、事実でなければ真空スイッチ
（191）の作動レベルを調整したり、光電検知装置（21
5）の高さ位置調整を行なって一回試運転させるか再運
転させて、その調整が適切か否かを確認する。適切でな
ければ、再度調整し、適切であれば通常運転を続行すれ
ばよい。During the suction operation by the suction collet (185),
When a vacuum suction operation by a vacuum source (not shown) is started, a microcomputer (287) that supervises and controls all of the mounting devices or the detection data from the vacuum switch (191) and the photoelectric detection device (215). Take in via circuit (285) or AND circuit (286). Then, depending on the state of the changeover switches (284A) and (284B), the content of at least one of the detection data or both of the detection data is the pellet “absent”.
Then, the pickup operation is repeated by the number N set in advance in the pellet-less counter (not shown),
When N solutions are exceeded, the mounting heads (14) and (15) are returned to the origins, the operation of the mounting device is stopped, and the user is notified visually or audibly by the notification means (289). I do. Therefore, the user confirms whether or not the pellet “absent” is true, and if not, adjusts the operation level of the vacuum switch (191), or sets the photoelectric detection device (21).
Perform the test operation or restart operation once after performing the height position adjustment in step 5), and confirm that the adjustment is appropriate. If it is not appropriate, readjustment is performed, and if appropriate, normal operation may be continued.

また装着ヘッド（14）（15）は、前記チェーン（18
A）（18B）の各係合片（19）の間隔の整数バーの間隔を
存して配設してあり、このためタイミング上同時に両ヘ
ッドがボンディング動作ができる。The mounting heads (14) and (15) are
A) The arrangement is made with an interval of an integer bar of the engagement pieces (19) of (18B), so that both heads can simultaneously perform the bonding operation in terms of timing.

（vi） 吸着コレット（185）の交換動作 以上のように装着動作が行なわれることになるが、例
えば次に装着したいペレットが大きなペレット（180B）
の場合には、それに合った吸着コレット（185）に交換
しなければならない。以下その交換動作について、第25
図〜第32図に基づいて説明する。(Vi) Replacement operation of adsorption collet (185) The mounting operation is performed as described above. For example, the next pellet to be mounted is a large pellet (180B)
In this case, the suction collet (185) must be replaced with a suitable one. The replacement operation is described below in Chapter 25.
A description will be given with reference to FIGS.

先ず第22図に示すように、前述の如く吸着ノズル体
（184）及び吸着コレット（185）を降下させ、吸着コレ
ット交換装置（７）の吸着コレットが収納されていない
シールストッカー（231）の取付孔（235）上方位置に移
動させる。First, as shown in FIG. 22, the suction nozzle body (184) and the suction collet (185) are lowered as described above, and the mounting of the seal stocker (231) in which the suction collet of the suction collet exchange device (7) is not stored is installed. Move to the position above the hole (235).

次にシリンダー（242）の駆動によりピン取付台（23
4）及び図示しない駆動源によりシールストッカー（23
1）を上昇させる（第25図参照）。Next, the pin mount (23
4) and a seal stocker (23
1) is raised (see Fig. 25).

この後、前記吸着ノズル体（184）及びコレット（18
5）を更に降下させると、ロック爪体（221），（221）
がロック解除ピン（233）に当接して支軸（222），（22
2）を支点として回動して開く（第26図参照）。このた
め、ロックが介除されることになるが、シリンダー（24
8）によって外方に回動していた押え部材（247）がこの
シリンダー（248）の駆動により内方に会同してアダプ
タフランジ部（226）を押える。Thereafter, the suction nozzle body (184) and the collet (18)
When 5) is further lowered, the lock claws (221), (221)
Abuts against the lock release pin (233) and the support shafts (222), (22
Rotate and open with 2) as a fulcrum (see Fig. 26). For this reason, the lock will be removed, but the cylinder (24
The holding member (247), which has been rotated outward by (8), meets the inside by driving the cylinder (248) and holds the adapter flange (226).

勿論、このときフランジ部（226）に形成されたＵ字
溝（225）内に支持台（240）上の位置決めピン（241）
（241）が夫々嵌合し、吸着コレット（185）のθ回転は
防止される。Of course, at this time, the positioning pin (241) on the support (240) is inserted into the U-shaped groove (225) formed in the flange (226).
(241) are fitted into each other, and the θ rotation of the suction collet (185) is prevented.

そして、第27図に示すように駆動源によりストッカー
（231）を降下させると、アダプタ（219）は取付空間
（218）から抜けて下がる。次に吸着ノズル体（184）は
前述のように上昇し、ピン取付台（234）及びロック解
除ピン（233）が降下する（第28図参照）。この後、吸
着ノズル体（184）は、大きなペレット（180A）用の吸
着コレット（185）の上方位置まで移動して下降し、一
方前記ピン（233）も上昇する。従って、該ピン（233）
によってロック爪体（221）（221）が開く（第29図参
照）。Then, as shown in FIG. 27, when the stocker (231) is lowered by the drive source, the adapter (219) falls out from the mounting space (218). Next, the suction nozzle body (184) is raised as described above, and the pin mounting base (234) and the lock release pin (233) are lowered (see FIG. 28). Thereafter, the suction nozzle body (184) moves to a position above the suction collet (185) for the large pellet (180A) and descends, while the pin (233) also rises. Therefore, the pin (233)
As a result, the lock claws (221) and (221) open (see FIG. 29).

そしてシールストッカー（231）及びストッカー（23
2）が上昇し、吸着コレット（185）のアダプタ（219）
を前記取付空間（218）内に挿入する。このとき取付部
（216）下面の位置決めピン（224）がアダプタフランジ
分（226）のＵ字溝（225）内に嵌合することにより、こ
の挿入時のθずれを防止している。然る後、シリンダー
（248）の駆動によって、押え部材（247）を外方へ回動
させる。And seal stocker (231) and stocker (23
2) Ascending collet (185) adapter (219)
Into the mounting space (218). At this time, the positioning pin (224) on the lower surface of the mounting portion (216) is fitted into the U-shaped groove (225) of the adapter flange (226), thereby preventing the θ shift at the time of insertion. Thereafter, the pressing member (247) is rotated outward by driving the cylinder (248).

この後前記解除ピン（233）を降下させるので、ロッ
ク爪体（221）（221）がバネ（223）（223）により内方
へ回動し、係止部（228）内に入り込んでロックするこ
とになる（第31図参照）。そして吸着ノズル体（184）
及び吸着コレット（185）は上昇し、前記押え部材（24
7）を今度は内方へ回動させ、ストッカー（231）及びス
トッカー台（232）を下降させることによって、吸着コ
レット（185）の交換動作が終了する。Thereafter, the release pin (233) is lowered, so that the lock pawls (221) and (221) are rotated inward by the springs (223) and (223) to enter the locking portion (228) and lock. (See Figure 31). And the suction nozzle body (184)
And the suction collet (185) rises and the holding member (24)
7) is rotated inward, and the stocker (231) and the stocker base (232) are lowered, whereby the replacement operation of the suction collet (185) is completed.

この吸着コレット（185）の交換により、大きなペレ
ット（180B）の装着に対応できることになる。By replacing the adsorption collet (185), it is possible to cope with the mounting of a large pellet (180B).

次にこの吸着コレット（185）の交換が確実に行なわ
れたか否かの確認動作について述べる。Next, an operation of confirming whether or not the replacement of the suction collet (185) has been surely performed will be described.

先ずDCソレノイド（201）が励磁している状態では、
バネＤ（208）に抗して作動レバー（203）がカムフォロ
ワー（210）を介して上下スライダ（204）を下方に押圧
しており、前記フォロワー（210）が下限ストッパ（21
2）に当接して係止している状態にあるため、光電検知
装置（215）は吸着コレット（185）がペレット（180
A），（180B）を吸着しているか否かの検知を行なって
いる。しかし、前述のコレット（185）の交換が行なわ
れたか否かの確認をする場合には、前記ソレノイド（20
1）を消磁させればよい。即ち、この消磁によって上下
スライダ（204）はバネＤ（208）により上昇し、作動レ
バー（203）が上限ストッパ（211）に当接して係止する
状態となり、第19B図に示すように光電検知装置（215）
は吸着コレット（185）の存在を確認できる。仮に、存
在「無」を検知すると、以後の動作を中止すると共に、
使用者に図示しない報知手段により報知する。First, when the DC solenoid (201) is excited,
The operation lever (203) presses the upper and lower sliders (204) downward via the cam follower (210) against the spring D (208), and the follower (210) is moved to the lower limit stopper (21).
2), the photoelectric detection device (215) has the suction collet (185) and the pellet (180).
A) and (180B) are detected as to whether or not they are adsorbed. However, when checking whether or not the above-mentioned collet (185) has been replaced, the solenoid (20
1) can be demagnetized. That is, due to this demagnetization, the upper and lower sliders (204) are raised by the spring D (208), and the operating lever (203) comes into contact with the upper limit stopper (211) and is locked, and as shown in FIG. Equipment (215)
Can confirm the presence of the adsorption collet (185). If the existence “absence” is detected, the subsequent operations are stopped,
The user is notified by notifying means (not shown).

以上のように装着動作が行なわれると、位置決め装置
（４）の各動作を停止する。即ち、前記モータ（77）を
再び通電して、幅寄せカム（73）、リフトカム（74）及
びクランプカム（75）を回転させ、カムレバー（91）
（89）を上昇させると共にカムレバー（90）を降下さ
せ、また吸着用上下部材（87A），（87A）の吸着孔（13
7）を介するプリント基板（Ｐ）の吸着を止めるように
真空源による吸引を止めて大気圧に戻し前記モータ（7
7）を非通電とし、初期状態に戻す。また然る後、駆動
モータ（21）に通電してプリント基板（Ｐ）をチェーン
（18A）（18B）によって下流に搬送する。When the mounting operation is performed as described above, each operation of the positioning device (4) is stopped. That is, the motor (77) is energized again to rotate the width shifting cam (73), the lift cam (74), and the clamp cam (75), and the cam lever (91)
(89) is raised, the cam lever (90) is lowered, and the suction upper and lower members (87A), (87A) suction holes (13
7) The suction by the vacuum source is stopped to stop the suction of the printed circuit board (P) through
7) Turn off the power and return to the initial state. After that, the drive motor (21) is energized and the printed circuit board (P) is transported downstream by the chains (18A) and (18B).

（vii） プリント基板（Ｐ）の反転動作 このようにして、装着後のプリント基板（Ｐ）は下流
に搬送されて、第41図に示すように図示しないエレベー
タにより昇降可能な収納箱（68B）に逐次収納される。
この収納箱（68B）は前述のローダ（67A）の収納箱（68
A）と全く同一構造である。従ってローダ（67A）の収納
箱（68A）内のプリント基板（Ｐ）の全てが、装着し終
ってアンローダ（67B）の収納箱（68B）内に収納される
ことになる。(Vii) Inversion operation of the printed circuit board (P) In this manner, the mounted printed circuit board (P) is transported downstream, and as shown in FIG. 41, a storage box (68B) that can be moved up and down by an elevator (not shown). Is stored sequentially.
This storage box (68B) is the storage box (68A) of the aforementioned loader (67A).
It has exactly the same structure as A). Therefore, all the printed circuit boards (P) in the storage box (68A) of the loader (67A) are mounted and stored in the storage box (68B) of the unloader (67B).

ここでプリント基板（Ｐ）によっては、多数のペレッ
トを装着しなければならないものがあり、この場合再度
チェーン（18A）（18B）に載せて装着する必要がある。
この場合、プリント基板（Ｐ）が収納されている収納箱
（68B）と収納されていない収納箱（68A）とを交換し、
夫々ローダ（67A）、アンローダ（67B）にセットすれば
よい。Here, depending on the printed circuit board (P), a large number of pellets must be mounted. In this case, it is necessary to mount the pellets again on the chains (18A) and (18B).
In this case, the storage box (68B) in which the printed circuit board (P) is stored and the storage box (68A) in which the printed circuit board (P) is not stored are exchanged.
What is necessary is just to set to a loader (67A) and an unloader (67B), respectively.

この場合、プリント基板（Ｐ）の位置決めの際の基準
側が反対側となってしまうが、反転装置（３）により平
面方向に於いて反転させればよい。以下詳述する。In this case, the reference side at the time of positioning of the printed circuit board (P) is the opposite side, but it may be reversed in the plane direction by the reversing device (3). The details will be described below.

前述のようにローダ（67A）からチェーン（18A）（18
B）上に基板（Ｐ）が載置して、間欠搬送されて、反転
装置（３）の直上方位置に来たら、搬送駆動源である駆
動モータ（21）の通電を停止してシリンダー（56）を駆
動する。すると揺動部材（55）が回動しガイド（48）に
よって上下杆（49）を上動させると共に、図示しない真
空源によりチューブ（61）、上下杆（49）の真空通路
（59）及び押上体（50）の吸引路（58）を介して、押上
体（50）の上面にプリント基板（Ｐ）を吸着しつつ上昇
させる。然る後、モータ（53）に通電してプーリ（5
4），（52）及びベルト（51）を介して平面方向に於い
て180度分押上体（50）を回転させる。As described above, the chain (18A) (18
B) When the substrate (P) is placed on it and is intermittently conveyed and comes to a position immediately above the reversing device (3), the drive motor (21) serving as the conveyance driving source is turned off and the cylinder (P) is turned off. 56) Driving. Then, the swinging member (55) is rotated to move the upper and lower rods (49) upward by the guide (48), and the tube (61), the vacuum passage (59) and the push-up of the upper and lower rods (49) by a vacuum source (not shown). The printed circuit board (P) is lifted while adsorbing on the upper surface of the push-up body (50) through the suction path (58) of the body (50). After that, turn on the motor (53) and pulley (5
4) The push-up body (50) is rotated by 180 degrees in the plane direction via the belt (51) and the belt (51).

この後前記シリンダー（56）の駆動を停止して、前記
揺動部材（55）を初期状態に戻して押上体（50）を降下
させる。このとき、前記真空源による吸引を解除して大
気圧に戻すから、プリント基板（Ｐ）はチェーン（18
A）（18B）上に載置され、再び搬送用の駆動モータ（2
1）に通電して、180度反転されたプリント基板（Ｐ）を
再び搬送して、前述のように位置決めし、所望のペレッ
トを装着すればよい。Thereafter, the drive of the cylinder (56) is stopped, the swing member (55) is returned to the initial state, and the lifting body (50) is lowered. At this time, the suction by the vacuum source is released and the pressure is returned to the atmospheric pressure.
A) It is placed on (18B), and the transport drive motor (2
The printed circuit board (P), which has been turned 180 degrees, is again conveyed by energizing 1), positioned as described above, and a desired pellet may be mounted.

従って、プリント基板（Ｐ）の位置決めの際の基準側
が、最初に搬送位置決めしたときと同じ側となるから、
装着精度が向上する。Therefore, the reference side when positioning the printed circuit board (P) is the same side as when the first transfer and positioning is performed.
Mounting accuracy is improved.

尚プリント基板（Ｐ）の搬送方向と直交する幅寸法が
偏向した基板（Ｐ）を流す場合には、Ｘ軸用モータ（4
4）、Ｙ軸用モータ（45）を駆動して、XYテーブル（4
6）を移動させ、その相互の間隔が変更したチェーン（1
8A）（18B）のその丁度中間位置に前記押上体（50）を
移動することにより対処できる。When a substrate (P) whose width is orthogonal to the transport direction of the printed circuit board (P) is deflected, the X-axis motor (4
4) Drive the Y-axis motor (45) to move the XY table (4
6) Move the chain (1
8A) and (18B) can be dealt with by moving the push-up body (50) to its intermediate position.

（ト） 発明の効果 以上のように本発明は、装着ヘッドの水平移動途中で
振動が発生しても、この振動によって一旦吸着ノズルで
吸着した電子部品を落したりすることがなく、また位置
ずれを起したりすることもなく、更には電子部品表面に
傷を付けたりすることもなくなって、装着動作の向上が
図れる。(G) Effects of the Invention As described above, according to the present invention, even if vibrations occur during the horizontal movement of the mounting head, the vibrations do not cause the electronic components once suctioned by the suction nozzles to drop, and the position shifts. And the mounting operation can be improved without causing any damage to the electronic component surface.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

第１図は電子部品装着装置の平面図、第２図は同装着装
置の固定シュートの内側から奥行方向を見た正面図、第
３図は同装着装置の搬送部の右側面図、第４図はチェー
ン（18A）の部分正面図、第５図は第１図のＸ−Ｘ′断
面図、第６図は第１図のＹ−Ｙ′断面図、第７図は送り
方向の規制位置決めを行なう装置（92）の正面図、第８
図は同装置（92）の作動待機状態の正面図、第９図は同
装置（92）による送り方向の寸法が長いプリント基板
（Ｐ）の位置決め状態を示す正面図、第10図は位置決め
装置（４）の平面図、第11図は第１図のＺ−Ｚ′断面図
でプリント基板（Ｐ）の幅方向の位置決め前の状態を示
す要部断面図、第12図は同じくプリント基板（Ｐ）の幅
方向の位置決め状態を示す要部断面図、第13図は第１図
のＶ−Ｖ′断面図で規制装置（130）による位置決め前
の状態を示す要部断面図、第14図は同じく規制装置（13
0）による位置決め状態を示す要部断面図、第15図は基
板の送り方向とは直交する幅方向の位置を規制する装置
を取除いた状態の部分平面図、第16図は装着ヘッドの一
部断面せる正面図、第17図は装着ヘッドの縦断右側面
図、第18図は装着ヘッドの一部切欠せる平面図、第19A
図は装着ヘッドの一部切欠せる右側面図、第19B図は上
下スライダーが上昇した状態の装着ヘッドの一部切欠せ
る右側面図、第20図は吸着ノズル下端部を縦断した上体
及び吸着コレットの正面図、第21図は吸着ノズル下端部
の左側面図、第22図は吸着ノズル交換装置の縦断正面
図、第23図は同交換装置の平面図、第24図は同交換装置
の左側面図、第25図乃至第32図は吸着コレットの交換動
作を示す図、第33図は小さいペレットを扱う場合の突き
上げ針装置の正面図、第34図は第33図の右側面図、第35
図は大きいペレットを扱う場合の同装置の正面図、第36
図は小さいペレット用の突き上げガイドの縦断面図、第
37図は同ガイドの平面図、第38図は大きいペレットを扱
う場合の突き上げガイドの縦断面図、第39図は同ガイド
の平面図、第40図は突き上げに必要な吸引回路図、第41
図は本発明装着装置の模試図であって反転装置の動作を
示す図、第42図は反転装置の動作説明図、第43図は吸着
コレットがペレットを吸着したか否かの検出に係るブロ
ック図を夫々示す。 （14）（15）……装着ヘッド、（163）……ロックソレ
ノイド、（170）……バネＡ、（173）……揺動体、（17
4）……加圧ベアリング体、（180A）（180B）……ペレ
ット、（185）……吸着コレット。1 is a plan view of the electronic component mounting apparatus, FIG. 2 is a front view of the mounting apparatus viewed from the inside of a fixed chute, and FIG. 3 is a right side view of a transport unit of the mounting apparatus. The figure is a partial front view of the chain (18A), FIG. 5 is a sectional view taken along line XX 'of FIG. 1, FIG. 6 is a sectional view taken along line YY' of FIG. 1, and FIG. View of the device (92) for performing
FIG. 9 is a front view of the device (92) in an operation standby state, FIG. 9 is a front view showing a positioning state of the printed circuit board (P) having a long dimension in the feed direction by the device (92), and FIG. FIG. 11 is a plan view of (4), FIG. 11 is a sectional view taken along the line ZZ 'of FIG. 1, and FIG. 12 is a sectional view of a main part showing a state before positioning of the printed circuit board (P) in the width direction. FIG. 13 is a cross-sectional view taken along the line VV ′ in FIG. 1 showing a state before positioning by the regulating device (130), and FIG. Is also a regulatory device (13
FIG. 15 is a partial plan view showing a state in which a device for regulating a position in a width direction orthogonal to a substrate feeding direction is removed, and FIG. 16 is a partial view of a mounting head. FIG. 17 is a longitudinal right side view of the mounting head, FIG. 18 is a partially cutaway plan view of the mounting head, FIG. 19A
Fig. 19B is a right side view of the mounting head with a partial cutout, Fig. 19B is a right side view of the mounting head with a vertical slider raised, and Fig. 20 is an upper body and suction with the suction nozzle lower end cut vertically. Front view of the collet, FIG. 21 is a left side view of the lower end of the suction nozzle, FIG. 22 is a longitudinal sectional front view of the suction nozzle replacement device, FIG. 23 is a plan view of the same replacement device, and FIG. FIG. 25 is a left side view, FIG. 25 to FIG. 32 are diagrams showing an exchange operation of the suction collet, FIG. 33 is a front view of a push-up needle device when handling small pellets, FIG. 34 is a right side view of FIG. 33, No. 35
The figure shows a front view of the same device for handling large pellets, No. 36
The figure shows a vertical section of a push-up guide for small pellets,
FIG. 37 is a plan view of the guide, FIG. 38 is a longitudinal sectional view of the push-up guide when handling large pellets, FIG. 39 is a plan view of the guide, FIG. 40 is a suction circuit diagram required for push-up, and FIG.
The figure is a schematic diagram of the mounting device of the present invention, showing the operation of the reversing device, FIG. 42 is an explanatory diagram of the operation of the reversing device, and FIG. 43 is a block related to detection of whether or not the suction collet has sucked the pellet. Each figure is shown. (14) (15) Mounting head, (163) Lock solenoid, (170) Spring A, (173) Oscillator, (17)
4) Pressurized bearing, (180A) (180B) Pellets, (185) Adsorption collet.

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項１】電子部品をプリント基板、リードフレーム
等に装着するためにXY移動可能な装着ヘッドに上下動可
能な部品吸着ノズルを設け、該ノズルの下降による部品
の装着の際には押圧力を加えるバネを有する電子部品装
着装置に於いて、前記装着ヘッドの移動途中の振動等に
よる前記吸着ノズルの上下動を停止させる停止機構を設
けたことを特徴とする電子部品装着装置。1. A vertically movable component suction nozzle is provided on an XY-movable mounting head for mounting an electronic component on a printed circuit board, a lead frame, or the like, and a pressing force is applied when mounting the component by lowering the nozzle. An electronic component mounting device having a spring for applying a force, wherein a stopping mechanism for stopping the vertical movement of the suction nozzle due to vibration or the like during the movement of the mounting head is provided.