JPH01291386A - 外観検査装置 - Google Patents
外観検査装置Info
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- JPH01291386A JPH01291386A JP63122362A JP12236288A JPH01291386A JP H01291386 A JPH01291386 A JP H01291386A JP 63122362 A JP63122362 A JP 63122362A JP 12236288 A JP12236288 A JP 12236288A JP H01291386 A JPH01291386 A JP H01291386A
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- 230000000007 visual effect Effects 0.000 title abstract 3
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims abstract description 24
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims description 7
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 6
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 2
- 230000015654 memory Effects 0.000 abstract description 18
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 abstract description 6
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 238000011179 visual inspection Methods 0.000 description 4
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Image Processing (AREA)
- Image Analysis (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔差業上の利用分野〕
本発明は、半導体装置の外観検査の自動化を図る外観検
査装置に関するものである。
査装置に関するものである。
第４図は従来の半導体装置の外観検査装置を示す構成図
である。この外観検査装置は、レーン１及びレーン２の
２つの検査工程を有しており、両者は同一の動作を行な
う。図において、１ａ、１ｂは検査対象物である半導体
装置（以下ＩＣという）、２ａ、２ｂはＩＣ１ａ、１ｂ
を搬送スルベルトコンベア、３ａ、３ｂは搬送手段であ
るベルトコンベア２ａ、２ｂのベルトを移動させるモー
タ、６ａ。
である。この外観検査装置は、レーン１及びレーン２の
２つの検査工程を有しており、両者は同一の動作を行な
う。図において、１ａ、１ｂは検査対象物である半導体
装置（以下ＩＣという）、２ａ、２ｂはＩＣ１ａ、１ｂ
を搬送スルベルトコンベア、３ａ、３ｂは搬送手段であ
るベルトコンベア２ａ、２ｂのベルトを移動させるモー
タ、６ａ。
６ｂはＩ Ｃ１ａ、１ｂの上部に設けられた瞬時発光手
段であるストロボ照明装置、３５ａ、３５ｂはＩＣｊａ
、１ｂを映し出す複数の鏡体、７ａ−７ｄは鏡体３５ａ
、３５ｂの上部に設けられ、この鏡体３５ａ。
段であるストロボ照明装置、３５ａ、３５ｂはＩＣｊａ
、１ｂを映し出す複数の鏡体、７ａ−７ｄは鏡体３５ａ
、３５ｂの上部に設けられ、この鏡体３５ａ。
３５ｂに映し出されたＩ Ｃｌａ、ｊｂの像を撮像する
カメラ、１０ｂは画像メモリｇａ、８ｂ及びマイコン９
ａからなる画像処理装置、同じく１０ｃは画像メモリ８
ｃ、８ｄ及びマイコン９ｂからなる画像処理装置、３６
ａ、３６ＣはＩ Ｃｌａ、１ｂの進行方向Ａに対し側面
に設けられた送光素子及び受光素子からなるセンサ、３
６ｂ、３６ｄは入力側をセンサ３６ａ。
カメラ、１０ｂは画像メモリｇａ、８ｂ及びマイコン９
ａからなる画像処理装置、同じく１０ｃは画像メモリ８
ｃ、８ｄ及びマイコン９ｂからなる画像処理装置、３６
ａ、３６ＣはＩ Ｃｌａ、１ｂの進行方向Ａに対し側面
に設けられた送光素子及び受光素子からなるセンサ、３
６ｂ、３６ｄは入力側をセンサ３６ａ。
３６Ｃに接続され、出力側をマイコン９ａ、９ｂに接続
されたセンサアンプである。
されたセンサアンプである。
次に動作について説明する。前述したように第４図のレ
ーン１とレーン２は同一の動作を行なうため、レーン１
のみを説明しレーン２の説明を省略する。さて、ＩＣ１
ａは、ベルトコンベア２ａに取付けられたモータ３ａの
回転動作により、ベルト上を進行方向Ａに移動する。こ
のとき、センサ３６ａの受光素子への光をＩＣ１ａが遮
光すると、センサアンプ３６ｂｉｌ：ｍ光信号をマイコ
ン９ａに伝達する。マイコン９ａはこの信号を入力する
とストロボ照明装置６ａに発光指示を出し発光させる。
ーン１とレーン２は同一の動作を行なうため、レーン１
のみを説明しレーン２の説明を省略する。さて、ＩＣ１
ａは、ベルトコンベア２ａに取付けられたモータ３ａの
回転動作により、ベルト上を進行方向Ａに移動する。こ
のとき、センサ３６ａの受光素子への光をＩＣ１ａが遮
光すると、センサアンプ３６ｂｉｌ：ｍ光信号をマイコ
ン９ａに伝達する。マイコン９ａはこの信号を入力する
とストロボ照明装置６ａに発光指示を出し発光させる。
この発光によるＩＣ１ａの像は鏡体３５ａで反射されカ
メラ７ａ、７ｃによって分割撮像される。このカメラ７
ａ、７ｃに撮像された映像は電気信号に変換され、マイ
コン９ａの指示により画像メモリ８ａと画像メモリ８ｂ
とに書き込まれる。そして、マイコン９ａはこの画像メ
モリ１３ａ、ｇｂ内の情報に基づいて検査に係る画像処
理を行なう。
メラ７ａ、７ｃによって分割撮像される。このカメラ７
ａ、７ｃに撮像された映像は電気信号に変換され、マイ
コン９ａの指示により画像メモリ８ａと画像メモリ８ｂ
とに書き込まれる。そして、マイコン９ａはこの画像メ
モリ１３ａ、ｇｂ内の情報に基づいて検査に係る画像処
理を行なう。
第５図（ａ） 、 （ｂ）はマイコン９ａの処理工程を
示すフローチャートである。ここで、同図（ａ）はレー
ン１の処理を、同図（Ｉ））はレーン２の処理を示す。
示すフローチャートである。ここで、同図（ａ）はレー
ン１の処理を、同図（Ｉ））はレーン２の処理を示す。
同図（ａ）において、センサ３６ａからセンサアンプ３
６ｂを介して遮光信号がマイコン９ａに入力されると（
ステップ３８）、ストロボ照明装置６ａを発光させ、カ
メラ７ａ、７ｃを介してＩＣ１ａの映像信号を画像メモ
ＩＪ８ａ、８ｂに同時に書き込みを行なう（ステップ３
９）。そして、この画像メモリ８ａ、８ｂに記憶された
映像信号に基づいて検査に係る画像処理Ａ、Ｂを行なう
（ステップ４０）。
６ｂを介して遮光信号がマイコン９ａに入力されると（
ステップ３８）、ストロボ照明装置６ａを発光させ、カ
メラ７ａ、７ｃを介してＩＣ１ａの映像信号を画像メモ
ＩＪ８ａ、８ｂに同時に書き込みを行なう（ステップ３
９）。そして、この画像メモリ８ａ、８ｂに記憶された
映像信号に基づいて検査に係る画像処理Ａ、Ｂを行なう
（ステップ４０）。
従来の半導体装置の外観検査装置は以上のように構成さ
れているので、鏡体３５ａ、３５ｂやカメラ７ａ〜７ｄ
が各レーン毎に複数必要となり価格が高くなるという欠
点があった。
れているので、鏡体３５ａ、３５ｂやカメラ７ａ〜７ｄ
が各レーン毎に複数必要となり価格が高くなるという欠
点があった。
本発明は上記のような欠点を解消するためになされたも
ので、鏡体、カメラ等の価格が安い半導体装置の外観検
査装置を得ることを目的とする。
ので、鏡体、カメラ等の価格が安い半導体装置の外観検
査装置を得ることを目的とする。
本発明に係る外観検査装置は、検査対象物を搬送する搬
送手段と、この搬送手段に設けられ前記検査対象物の位
置を検知する位置検知手段と、この位置検知手段からの
信号に基づき複数回前記検査対象物に光を照射する瞬間
発光照明手段と、この瞬時発光照明手段より照らし出さ
れる前記検査対象物を撮像し映像信号を出力する撮像手
段と、この映像信号を画像処理して検査する画像処理手
段とを備えている。
送手段と、この搬送手段に設けられ前記検査対象物の位
置を検知する位置検知手段と、この位置検知手段からの
信号に基づき複数回前記検査対象物に光を照射する瞬間
発光照明手段と、この瞬時発光照明手段より照らし出さ
れる前記検査対象物を撮像し映像信号を出力する撮像手
段と、この映像信号を画像処理して検査する画像処理手
段とを備えている。
画像処理手段は、位置検出手段からの信号に基づき瞬時
発光照明手段の光を複数回検査対象物に照射し、このと
き撮像手段より得られた検査対象物の映像信号に基づい
て検査に係る画（象処理を行々う。
発光照明手段の光を複数回検査対象物に照射し、このと
き撮像手段より得られた検査対象物の映像信号に基づい
て検査に係る画（象処理を行々う。
以下、本発明の実施例を図に従って説明する。
第１図は本発明に係る一実施例を示した構成図である。
図において、第４図と同一部分または和尚部分には同一
符号を付する。４ａ、４ｂはモータ３ａ、３ｂに取り付
けられたロータリエンコーダ、５ａ、５ｂはロータリエ
ンコーダ４ａ、４ｂに接続された回転位置検出部、１０
ａは画像メモ１Ｊ８ａ〜８ｄ及びマイコン９ａからなる
画像処理装置である。
符号を付する。４ａ、４ｂはモータ３ａ、３ｂに取り付
けられたロータリエンコーダ、５ａ、５ｂはロータリエ
ンコーダ４ａ、４ｂに接続された回転位置検出部、１０
ａは画像メモ１Ｊ８ａ〜８ｄ及びマイコン９ａからなる
画像処理装置である。
ここで、カメラ７ａ、７ｂは撮像手段を構成し、ロータ
リエンコーダ４ａ、４ｂ及び回転位置検出部５ａ、５ｂ
は位置検出手段を構成している。
リエンコーダ４ａ、４ｂ及び回転位置検出部５ａ、５ｂ
は位置検出手段を構成している。
次に動作について説明する。本実施例においては、レー
ン１とレーン２は同一の動作を行なうため、レーン１の
みを説明しレーン２の説明を省略する。さて、ベルトコ
ンベア２ａに取付けられたモータ３ａが回転すると、ベ
ルト上に配置されたＩＣ１ａが進行方向Ａに移動する。
ン１とレーン２は同一の動作を行なうため、レーン１の
みを説明しレーン２の説明を省略する。さて、ベルトコ
ンベア２ａに取付けられたモータ３ａが回転すると、ベ
ルト上に配置されたＩＣ１ａが進行方向Ａに移動する。
このとき、エンコーダ４ａはモータ３ａの軸回転を検知
し、回転位置検出部５ａを介して工Ｃ１ａの移動位置に
対応する回転信号をマイコン９ａに伝達する。マイコン
９ａは、この信号に基づいてベルト上のＩＣ［ａの位置
を認識し、ストロボ発光照明装置６ａに発光指示を出し
発光させる。このときのストロボ発光装置６ａの発光回
数は、画像処理装置１０ａ内の画像メモリ８ａ、８ｂに
対応して行なわれる。
し、回転位置検出部５ａを介して工Ｃ１ａの移動位置に
対応する回転信号をマイコン９ａに伝達する。マイコン
９ａは、この信号に基づいてベルト上のＩＣ［ａの位置
を認識し、ストロボ発光照明装置６ａに発光指示を出し
発光させる。このときのストロボ発光装置６ａの発光回
数は、画像処理装置１０ａ内の画像メモリ８ａ、８ｂに
対応して行なわれる。
すなわち、第１回目の発光によりＩＣｊａの半分の像が
カメラ７ａに撮像され、映像信号に変換されて画像メモ
リ８ａに書き込まれる。続いて、第２回目の発光により
残り半分のＩＣ１ａの像がカメラ７ａに撮像され、映像
信号に変換されて画像メモリ８ｂに書き込まれる。これ
は第４図において、鏡体３５ａが反射してカメ５７ａ、
７ｃに分割撮像させる動作と同一の作用となる。そして
、マイコン９ａは、この画像メモ１Ｊ８ａ、８ｂ内の情
報に基づいて検査に係る画像処理を行なう。
カメラ７ａに撮像され、映像信号に変換されて画像メモ
リ８ａに書き込まれる。続いて、第２回目の発光により
残り半分のＩＣ１ａの像がカメラ７ａに撮像され、映像
信号に変換されて画像メモリ８ｂに書き込まれる。これ
は第４図において、鏡体３５ａが反射してカメ５７ａ、
７ｃに分割撮像させる動作と同一の作用となる。そして
、マイコン９ａは、この画像メモ１Ｊ８ａ、８ｂ内の情
報に基づいて検査に係る画像処理を行なう。
第２図はマイコン９ａの検査に係る画像処理を示したフ
ローチャート、第３図（ａ）、［有］）はマイコン９ａ
における画像メモ１７８ａ〜８ｄへの書き込み処理を示
したフローチャートである。ここで、同図（ａ）はレー
ン１の処理を、同図の）はレー／２の処理を示す。さて
、第２図において、マイＩン９ａは画像処理装置１０ａ
内の画像メモｌ７８ａ〜８ｄに対応して各々検査画像処
理Ａ−Ｄを順次実施する。例えば、ステップ１１で画像
処理が開始されると、レーン１における画像メモリ８ａ
に映像信号が書き込まれたか否かを判断する（ステップ
１２）。
ローチャート、第３図（ａ）、［有］）はマイコン９ａ
における画像メモ１７８ａ〜８ｄへの書き込み処理を示
したフローチャートである。ここで、同図（ａ）はレー
ン１の処理を、同図の）はレー／２の処理を示す。さて
、第２図において、マイＩン９ａは画像処理装置１０ａ
内の画像メモｌ７８ａ〜８ｄに対応して各々検査画像処
理Ａ−Ｄを順次実施する。例えば、ステップ１１で画像
処理が開始されると、レーン１における画像メモリ８ａ
に映像信号が書き込まれたか否かを判断する（ステップ
１２）。
ここで、画像メモリ８ａに映像信号が書き込まれると、
このメモ１Ｊ８ａについてのみ検査画像処理Ａが行なわ
れ（ステップ１３）、再びステップ１２に戻される。次
に、ステップ１２は既に映像信号が書き込まれているの
でステップ１４に進み、画像メモリ８ｂについて判断が
行なわれる。このように、順次すべての画像メモリに映
像信号が書き込まれ、全ての検査画像処理が終了するま
で動作が行なわれる。
このメモ１Ｊ８ａについてのみ検査画像処理Ａが行なわ
れ（ステップ１３）、再びステップ１２に戻される。次
に、ステップ１２は既に映像信号が書き込まれているの
でステップ１４に進み、画像メモリ８ｂについて判断が
行なわれる。このように、順次すべての画像メモリに映
像信号が書き込まれ、全ての検査画像処理が終了するま
で動作が行なわれる。
次に、第３図（ａ）について説明する。前述したように
マイコン９ａにロータリエンコーダ４ａより回転検出部
５ａを介して回転信号が入力されると、マイコン９ａは
プログラムの割込みを開始する（ステップ２０）。続い
て、ストロボ照明装置６ａの発光指示が第１回目か否か
を判断しくステップ２１）、第１回目であればカメラ７
ａで得られた映像信号を画像メモリ８ａへ書き込む１（
ステップ２２）。そして、次回の処理の第２回目の順番
を設定しくステップ２３）、割込みを終了する（ステッ
プ２６）。一方、ステップ２１の判断において、第２回
目の発光指示であればカメラ７ａで得られた映像信号を
画像メモ１Ｊ８ｂへ書き込み（ステップ２４）、第１回
目の順番を設定して終了する（ステップ２５ 、２６
）。
マイコン９ａにロータリエンコーダ４ａより回転検出部
５ａを介して回転信号が入力されると、マイコン９ａは
プログラムの割込みを開始する（ステップ２０）。続い
て、ストロボ照明装置６ａの発光指示が第１回目か否か
を判断しくステップ２１）、第１回目であればカメラ７
ａで得られた映像信号を画像メモリ８ａへ書き込む１（
ステップ２２）。そして、次回の処理の第２回目の順番
を設定しくステップ２３）、割込みを終了する（ステッ
プ２６）。一方、ステップ２１の判断において、第２回
目の発光指示であればカメラ７ａで得られた映像信号を
画像メモ１Ｊ８ｂへ書き込み（ステップ２４）、第１回
目の順番を設定して終了する（ステップ２５ 、２６
）。
このように本装置は、ベルトコンベアにＩ Ｃ１ａの移
動位置を検出するロータリエンコーダ４ａ及び回転検出
部５ａを設けたことにより、第４図のような鐘体３５ａ
、 ３５ｂが不用となる。また、各レーン毎に２台配
置していたカメラを１台にすることができる。これによ
り、複数レーンで外観検査を行なう場合、カメラの設置
台数を半減することができ安価な装置を得ることが可能
となる。
動位置を検出するロータリエンコーダ４ａ及び回転検出
部５ａを設けたことにより、第４図のような鐘体３５ａ
、 ３５ｂが不用となる。また、各レーン毎に２台配
置していたカメラを１台にすることができる。これによ
り、複数レーンで外観検査を行なう場合、カメラの設置
台数を半減することができ安価な装置を得ることが可能
となる。
また、画像メモリの構成を増加させることにより、大型
サイズのＩＣにも利用することができ非常に高い汎用性
が得られるなど顕著な効果を有する０ さらに、レーン１とレーン２との映像信号を１台のマイ
コンで処理することができるため、各レーン毎に画像処
理装置を配置する必要がなく装置の簡略化を図ることが
できる。
サイズのＩＣにも利用することができ非常に高い汎用性
が得られるなど顕著な効果を有する０ さらに、レーン１とレーン２との映像信号を１台のマイ
コンで処理することができるため、各レーン毎に画像処
理装置を配置する必要がなく装置の簡略化を図ることが
できる。
以上のように本発明によれば、搬送手段に検査対象物の
移動位置を検出する位置検知手段を備えたことにより、
検査対象物を分割撮像するための鏡体が不用となる。ま
た、各レーン毎に複数台配置していた撮像手段を１台に
することができる。
移動位置を検出する位置検知手段を備えたことにより、
検査対象物を分割撮像するための鏡体が不用となる。ま
た、各レーン毎に複数台配置していた撮像手段を１台に
することができる。
これにより、複数レーンで検査を打力う場合、撮像手段
の台数を削減することができ安価外外観検査装置を得る
ことが可能となる。
の台数を削減することができ安価外外観検査装置を得る
ことが可能となる。
第１図は本発明に係る一実施例を示した構成図、第２図
はマイコン９ａの検査に係る画像処理を示したフローチ
ャート、第３図（ａ）、（ロ）はマイコン９ａにおける
画像メモリ８ａ〜８ｄへの書き込み処理を示したフロー
チャート、第４図は従来の構成図、第５図（ａ）、Φ）
はマイコン９ａ、の処理工程を示すフローチャートであ
る。 １ａ、ｉｂ＊ １１１＋ １１ ＩＣ，２Ｊｌ、２’ｌ
） ＊ ＊ １１ ＠ベルトコンベア、３ａ、３ｂ
・・・・モータ、４ａ、４ｂ・・−・ロータリエンコー
ダ、５ａ、５ｂ ・・ＩＩ＠回転検出部、６ａ、６ｂ・
、・・・ストロボ照明装置、７ａ、７ｂ・・・・カメラ
、８ａ〜８ｄ・・Φ・画像メモリ、９ａ・・・・マイコ
ン、１ｏａ ＠ １１ ＠Φ画像処理装置。
はマイコン９ａの検査に係る画像処理を示したフローチ
ャート、第３図（ａ）、（ロ）はマイコン９ａにおける
画像メモリ８ａ〜８ｄへの書き込み処理を示したフロー
チャート、第４図は従来の構成図、第５図（ａ）、Φ）
はマイコン９ａ、の処理工程を示すフローチャートであ
る。 １ａ、ｉｂ＊ １１１＋ １１ ＩＣ，２Ｊｌ、２’ｌ
） ＊ ＊ １１ ＠ベルトコンベア、３ａ、３ｂ
・・・・モータ、４ａ、４ｂ・・−・ロータリエンコー
ダ、５ａ、５ｂ ・・ＩＩ＠回転検出部、６ａ、６ｂ・
、・・・ストロボ照明装置、７ａ、７ｂ・・・・カメラ
、８ａ〜８ｄ・・Φ・画像メモリ、９ａ・・・・マイコ
ン、１ｏａ ＠ １１ ＠Φ画像処理装置。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 検査対象物を搬送する搬送手段と、 この搬送手段に設けられ前記検査対象物の位置を検知す
る位置検知手段と、 との位置検知手段からの信号に基づき、複数回前記検査
対象物に光を照射する瞬時発光照明手段と、 この瞬時発光照明手段より照らし出される前記検査対象
物を撮像し、映像信号を出力する撮像手段と、 この映像信号を画像処理して検査する画像処理手段とを
備えたことを特徴とする外観検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63122362A JP2623115B2 (ja) | 1988-05-18 | 1988-05-18 | 外観検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63122362A JP2623115B2 (ja) | 1988-05-18 | 1988-05-18 | 外観検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01291386A true JPH01291386A (ja) | 1989-11-22 |
| JP2623115B2 JP2623115B2 (ja) | 1997-06-25 |
Family
ID=14834009
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63122362A Expired - Fee Related JP2623115B2 (ja) | 1988-05-18 | 1988-05-18 | 外観検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2623115B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007263868A (ja) * | 2006-03-29 | 2007-10-11 | Toray Eng Co Ltd | 自動外観検査装置及び自動外観検査方法 |
| WO2017002369A1 (ja) * | 2015-06-30 | 2017-01-05 | セイコーエプソン株式会社 | 電子部品搬送装置および電子部品検査装置 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5930216A (ja) * | 1982-08-14 | 1984-02-17 | Victor Co Of Japan Ltd | デジタル信号の磁気記録再生装置 |
| JPS5960505U (ja) * | 1982-10-14 | 1984-04-20 | 株式会社山武 | 形状認識装置 |
| JPS618610A (ja) * | 1984-06-22 | 1986-01-16 | Sumitomo Metal Ind Ltd | 鋼板表面検査装置 |
| JPS62279649A (ja) * | 1986-05-28 | 1987-12-04 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置の外観検査装置 |
-
1988
- 1988-05-18 JP JP63122362A patent/JP2623115B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5930216A (ja) * | 1982-08-14 | 1984-02-17 | Victor Co Of Japan Ltd | デジタル信号の磁気記録再生装置 |
| JPS5960505U (ja) * | 1982-10-14 | 1984-04-20 | 株式会社山武 | 形状認識装置 |
| JPS618610A (ja) * | 1984-06-22 | 1986-01-16 | Sumitomo Metal Ind Ltd | 鋼板表面検査装置 |
| JPS62279649A (ja) * | 1986-05-28 | 1987-12-04 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置の外観検査装置 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007263868A (ja) * | 2006-03-29 | 2007-10-11 | Toray Eng Co Ltd | 自動外観検査装置及び自動外観検査方法 |
| WO2017002369A1 (ja) * | 2015-06-30 | 2017-01-05 | セイコーエプソン株式会社 | 電子部品搬送装置および電子部品検査装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2623115B2 (ja) | 1997-06-25 |
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| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
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| R350 | Written notification of registration of transfer |
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