JPH01266831A - 軽質ガス精製装置 - Google Patents
軽質ガス精製装置Info
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- JPH01266831A JPH01266831A JP63096559A JP9655988A JPH01266831A JP H01266831 A JPH01266831 A JP H01266831A JP 63096559 A JP63096559 A JP 63096559A JP 9655988 A JP9655988 A JP 9655988A JP H01266831 A JPH01266831 A JP H01266831A
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Landscapes
- Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
- Separation Of Gases By Adsorption (AREA)
- Hydrogen, Water And Hydrids (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、ヘリウム(トIc)もしくは水素(H2)
などの軽質ガスを含む混合ガスから水分く1120)、
二酸化炭素(CO2)および空気成分などの不純物を除
去して1−10もしくは1−12を精製回収する装置に
関するものである。
などの軽質ガスを含む混合ガスから水分く1120)、
二酸化炭素(CO2)および空気成分などの不純物を除
去して1−10もしくは1−12を精製回収する装置に
関するものである。
従来、軽質ガス$5製装置としては低温吸着法による精
製装置、凝固法による精製装置、分離膜法と圧力スイン
グ吸着法との組合せによる精製装置(例えば特開昭61
−127609号公報参照)などが知られている。これ
らのうち、低温吸’fq rkによる精製装置や凝固法
による精製装置では不純物の吸着や凝固に寒冷を必要と
するために、分離膜法と圧力スイング吸着法との組合せ
による精製装置が常温操作をすることができる点で理想
的なものと考えられている。
製装置、凝固法による精製装置、分離膜法と圧力スイン
グ吸着法との組合せによる精製装置(例えば特開昭61
−127609号公報参照)などが知られている。これ
らのうち、低温吸’fq rkによる精製装置や凝固法
による精製装置では不純物の吸着や凝固に寒冷を必要と
するために、分離膜法と圧力スイング吸着法との組合せ
による精製装置が常温操作をすることができる点で理想
的なものと考えられている。
上記分離膜法と圧力スイング吸容法との組合ゼによる精
製装置は、第2図に示すように気体分離膜精製手段2a
と圧力スイング吸着手段4aとを直列接続したものであ
る。この精製装置において、原料ガス供給管路12aか
ら供給される原料ガスは原i々1ガス月f?i機1 Q
aによって加1■され、この加圧された原料ガスを前
処理157のいずれかの吸ri塔71.72に通ずこと
により原料ガスからH20J3よびCO2成分を除去し
、残りのガスを導入?へ20aを介して気体分離膜精製
手段2a1.:導入する。この導入された原料ガスのう
ち分離膜21aに対して不透過性を示づ02やN2など
の不純成分は11出管23aから系外に放出され、透過
ヤ1を示J軽買ガス(1−1c)などからなる処理湾み
ガス(以下単に゛¥製品ガスという)は出口側の分離配
管22aに流れる。
製装置は、第2図に示すように気体分離膜精製手段2a
と圧力スイング吸着手段4aとを直列接続したものであ
る。この精製装置において、原料ガス供給管路12aか
ら供給される原料ガスは原i々1ガス月f?i機1 Q
aによって加1■され、この加圧された原料ガスを前
処理157のいずれかの吸ri塔71.72に通ずこと
により原料ガスからH20J3よびCO2成分を除去し
、残りのガスを導入?へ20aを介して気体分離膜精製
手段2a1.:導入する。この導入された原料ガスのう
ち分離膜21aに対して不透過性を示づ02やN2など
の不純成分は11出管23aから系外に放出され、透過
ヤ1を示J軽買ガス(1−1c)などからなる処理湾み
ガス(以下単に゛¥製品ガスという)は出口側の分離配
管22aに流れる。
上記半製品ガスは圧縮1110bによって再び加圧され
て圧力スイング吸着手段4aのいずれかの吸i′?塔4
1a、42aに供給される。この吸着塔41a、42a
では上記半製品ガス中の不純成分が活性炭などの吸着剤
に吸着され、残りのlie成分が回収管路43aを通し
て製品タンク6aに回収される。
て圧力スイング吸着手段4aのいずれかの吸i′?塔4
1a、42aに供給される。この吸着塔41a、42a
では上記半製品ガス中の不純成分が活性炭などの吸着剤
に吸着され、残りのlie成分が回収管路43aを通し
て製品タンク6aに回収される。
吸着塔418.42a内の吸析剤の不純成分吸盾能力が
飽和に達した時には、製品タンク6a内の製品ガスをパ
ージ用ガスとしてパージ用ガス供給管路’14aから吸
γ、塔41a、42aに逆送させることによりL記不純
成分をパージし、不純成分を含むパージガス(以下単に
循環用ガスという)はパージガス循Iフ用管路45 a
を通して原料ガス供給管路12aに戻されて角刈用され
る。
飽和に達した時には、製品タンク6a内の製品ガスをパ
ージ用ガスとしてパージ用ガス供給管路’14aから吸
γ、塔41a、42aに逆送させることによりL記不純
成分をパージし、不純成分を含むパージガス(以下単に
循環用ガスという)はパージガス循Iフ用管路45 a
を通して原料ガス供給管路12aに戻されて角刈用され
る。
(発明が解決しようとする課題)
上記従来の粘′!J装買においては、気体分離膜tへ装
丁段2aからの半製品ガスと圧力スイング成層手段4a
からの循環用ガスとはいずれも常圧に近いために、上記
半製品ガスの圧力スイング+1!>−i手段4aへの供
給、循環用ガスの気体分離膜精製手段2aへの供給に際
しては、それぞれの経路に圧縮n10a、10bを設け
、これらの圧縮機1゜a、10bに通づことにより調圧
もしく(よ加圧する必要がある。また上記循環用ガスは
圧力スイング吸4手段4aから間欠的に1)1出される
ために、パージガス循環用管路4521にはガス圧を均
圧化づるための緩衝手段(図示せず)を別に設ける必要
がある。このため上記圧縮ti10a、10bや緩衝手
段などの分だけ装置の構成が複雑となる。
丁段2aからの半製品ガスと圧力スイング成層手段4a
からの循環用ガスとはいずれも常圧に近いために、上記
半製品ガスの圧力スイング+1!>−i手段4aへの供
給、循環用ガスの気体分離膜精製手段2aへの供給に際
しては、それぞれの経路に圧縮n10a、10bを設け
、これらの圧縮機1゜a、10bに通づことにより調圧
もしく(よ加圧する必要がある。また上記循環用ガスは
圧力スイング吸4手段4aから間欠的に1)1出される
ために、パージガス循環用管路4521にはガス圧を均
圧化づるための緩衝手段(図示せず)を別に設ける必要
がある。このため上記圧縮ti10a、10bや緩衝手
段などの分だけ装置の構成が複雑となる。
また上記装置を連続運転させるにtよ、複数の圧縮tf
f10a、10bの入口側および出口側のガス圧を装置
全体の運転状況に合せて数多くの制御機器によって]ン
トロールしなtプればならず、複雑な制m+系ヤ)圧力
制御操作が要求されている。
f10a、10bの入口側および出口側のガス圧を装置
全体の運転状況に合せて数多くの制御機器によって]ン
トロールしなtプればならず、複雑な制m+系ヤ)圧力
制御操作が要求されている。
そこで、運転操作および制御を容易化づるために、圧縮
機として原料ガス圧縮機の1つだけ用い、この原料ガス
圧縮機によって加圧される原料ガスを気体分離膜精製手
段と圧力スイング吸4手段とに分岐し−(送給されるよ
うに管路構成するとともに、気体分離膜精製手段からの
半製品ガスをI京料ガス圧縮機の入口側に循環させて原
料ガス中の軽質ガス濃度および軽質ガス吊を高めるよう
に装置を’t14成づることが考えられる。
機として原料ガス圧縮機の1つだけ用い、この原料ガス
圧縮機によって加圧される原料ガスを気体分離膜精製手
段と圧力スイング吸4手段とに分岐し−(送給されるよ
うに管路構成するとともに、気体分離膜精製手段からの
半製品ガスをI京料ガス圧縮機の入口側に循環させて原
料ガス中の軽質ガス濃度および軽質ガス吊を高めるよう
に装置を’t14成づることが考えられる。
ところが、この場合においてもト120やCO2の除去
は前処理塔で吸着させることにより行われる。したがっ
て前処理塔の2つの吸着塔について吸着および再生の2
工程に切換え運転操作する必要があるとともに、この前
処理塔の分だけ装置も複鎖化する。
は前処理塔で吸着させることにより行われる。したがっ
て前処理塔の2つの吸着塔について吸着および再生の2
工程に切換え運転操作する必要があるとともに、この前
処理塔の分だけ装置も複鎖化する。
この発明は、このような従来の欠点を解消覆るためにな
されたものであり、簡易な構成で、かつ運転操作を容易
に行うことができ、しかし従来と同様に高い純度および
回収率で精製することができる軽質ガス精製装置を提供
−することを目的としている。
されたものであり、簡易な構成で、かつ運転操作を容易
に行うことができ、しかし従来と同様に高い純度および
回収率で精製することができる軽質ガス精製装置を提供
−することを目的としている。
上記1」的を達成するために、この発明では比重ガス圧
縮機と、気体分離膜精製手段と、圧力スイング吸着手段
と、フロンガス冷凍機とを有し、上記原料ガス圧縮機の
出口側は気体分ml精製1段の人口側と、圧力スイング
吸着手段の入口側とに分岐し゛(接続され、上記気体分
離膜精製手段の透過ガスの出口側と圧力スイング吸着手
段のパージガスの排出側とは原料ガス圧縮機の入口側の
原fjlガス導入部と合流するように接続され、上記フ
ロンガス冷凍機は上記原料ガス圧縮機と圧力スイング吸
着手段との間に介在されているとともに、圧力スイング
吸着塔には水分、空気および二酸化炭素を選択的に吸着
する吸着剤が充填されているように構成した。
縮機と、気体分離膜精製手段と、圧力スイング吸着手段
と、フロンガス冷凍機とを有し、上記原料ガス圧縮機の
出口側は気体分ml精製1段の人口側と、圧力スイング
吸着手段の入口側とに分岐し゛(接続され、上記気体分
離膜精製手段の透過ガスの出口側と圧力スイング吸着手
段のパージガスの排出側とは原料ガス圧縮機の入口側の
原fjlガス導入部と合流するように接続され、上記フ
ロンガス冷凍機は上記原料ガス圧縮機と圧力スイング吸
着手段との間に介在されているとともに、圧力スイング
吸着塔には水分、空気および二酸化炭素を選択的に吸着
する吸着剤が充填されているように構成した。
上記構成によれば、従来装置にJ3いては前処理塔によ
って除去されていたl−120とCO2とについて、1
120はフロンガス冷凍機、CO2は上記圧力スイング
吸着手段の吸着剤によってそれぞれ除去される。これに
よって上記前処理塔を省略することができるので、装置
を簡易に構成することができるとともに、前処理塔に要
していた切換え操作を省略することができる。
って除去されていたl−120とCO2とについて、1
120はフロンガス冷凍機、CO2は上記圧力スイング
吸着手段の吸着剤によってそれぞれ除去される。これに
よって上記前処理塔を省略することができるので、装置
を簡易に構成することができるとともに、前処理塔に要
していた切換え操作を省略することができる。
第1図において、原料ガス供給管路1には原料ガス圧縮
機10が設けられ、この原料ガス圧縮機10の出口側原
料ガス供給管路11は2つの分岐管111.112に分
岐され、一方の分岐管111は気体分離膜精製手段2の
入口側、他方の分岐管112はフロンガス冷凍機3を介
して圧力スイング吸着手段4の入口側とそれぞれ接続さ
れている。
機10が設けられ、この原料ガス圧縮機10の出口側原
料ガス供給管路11は2つの分岐管111.112に分
岐され、一方の分岐管111は気体分離膜精製手段2の
入口側、他方の分岐管112はフロンガス冷凍機3を介
して圧力スイング吸着手段4の入口側とそれぞれ接続さ
れている。
気体分離膜精製手段2の分離膜21は、l−1eを選択
的に透過し、CO2および空気成分などは透過しにくい
性質を有するもので、例えば酢酸セルロース躾、ポリイ
ミド膜もしくはポリスルフォン酸膜などによって形成さ
れている。
的に透過し、CO2および空気成分などは透過しにくい
性質を有するもので、例えば酢酸セルロース躾、ポリイ
ミド膜もしくはポリスルフォン酸膜などによって形成さ
れている。
上記分離膜21を挟んで透過ガスの出口側は分離配管2
2によって原料ガス圧縮11110人口側の入口側原料
ガス供給管路12と合流するように接続され、これにに
って分離膜21を透過したHa酸成分らなる半製品ガス
(透過ガス)は上記分離配管22を通して入口側原料ガ
ス供給管路12内の原料ガスと合流される。また上記分
離膜21を透過しない不純成分は排出管23がら系外へ
放出されるようにしている。
2によって原料ガス圧縮11110人口側の入口側原料
ガス供給管路12と合流するように接続され、これにに
って分離膜21を透過したHa酸成分らなる半製品ガス
(透過ガス)は上記分離配管22を通して入口側原料ガ
ス供給管路12内の原料ガスと合流される。また上記分
離膜21を透過しない不純成分は排出管23がら系外へ
放出されるようにしている。
フロンガス冷凍機3は、一般のフロン系冷媒(例えばR
−12)を用いた汎用的な冷凍機であり、除去するl−
120が氷結しないように例えば5層程度の温度に調整
され、またドレンはオートドレンによって除去されるよ
うに構成している。
−12)を用いた汎用的な冷凍機であり、除去するl−
120が氷結しないように例えば5層程度の温度に調整
され、またドレンはオートドレンによって除去されるよ
うに構成している。
圧力スイング吸着手段4は、2堪の吸着塔41゜42か
らなり、これらの吸着塔41.42内にはト12o除去
用の第1の吸着剤51として例えば゛合成ビオライト、
CO2および空気成分除去用の第2の吸着剤52として
例えば活性炭が下部入口側から順に2層に分けて充填さ
れている。上記合成ビオライトと活性炭とは、合成ゼオ
ライトが1に対して活性炭を例えば3の割合で充填され
ている。
らなり、これらの吸着塔41.42内にはト12o除去
用の第1の吸着剤51として例えば゛合成ビオライト、
CO2および空気成分除去用の第2の吸着剤52として
例えば活性炭が下部入口側から順に2層に分けて充填さ
れている。上記合成ビオライトと活性炭とは、合成ゼオ
ライトが1に対して活性炭を例えば3の割合で充填され
ている。
上記吸着塔41.42の上部出口側は回収管路43によ
って製品タンク6と接続され、これにより吸着塔41.
42で原料ガス中の不純成分が吸着除去された残りの1
10成分が製品タンク6に回収されるようにしている。
って製品タンク6と接続され、これにより吸着塔41.
42で原料ガス中の不純成分が吸着除去された残りの1
10成分が製品タンク6に回収されるようにしている。
またこの製品タンク6と上記吸着塔41.42の上部出
口側とはパージ用ガス供給管路44によって互いに接続
され、これにより製品タンク6内の回収He (’1
品ガス)がパージ用ガスとして吸着塔41.42に逆送
され、この製品ガスによって吸着剤51.52に吸着さ
れた不純成分が脱着されるようにしている。
口側とはパージ用ガス供給管路44によって互いに接続
され、これにより製品タンク6内の回収He (’1
品ガス)がパージ用ガスとして吸着塔41.42に逆送
され、この製品ガスによって吸着剤51.52に吸着さ
れた不純成分が脱着されるようにしている。
吸着塔41.42の下部入口側と入口側原料ガス供給管
路12とはパージガス循環用管路45によって互いに接
続され、これによって吸着塔41゜42内のパージガス
が上記パージガス循環用管路45を通して入口側原料ガ
ス供給管路12の原料ガスと合流するようにしている。
路12とはパージガス循環用管路45によって互いに接
続され、これによって吸着塔41゜42内のパージガス
が上記パージガス循環用管路45を通して入口側原料ガ
ス供給管路12の原料ガスと合流するようにしている。
なお、上記吸着塔41.4.2への分岐管112からの
原料ガスの供給、回収管路43を通した製品タンク6へ
の1−10成分の回収、パージ用ガス供給管路44から
の製品ガスの供給、およびパージガス循環用管路45を
通したパージガスの1月出なトG、t4 ”) 17)
3方弁46.47.48.49ノ#1lll操作によ
って切換え操作が行われるようにしている。
原料ガスの供給、回収管路43を通した製品タンク6へ
の1−10成分の回収、パージ用ガス供給管路44から
の製品ガスの供給、およびパージガス循環用管路45を
通したパージガスの1月出なトG、t4 ”) 17)
3方弁46.47.48.49ノ#1lll操作によ
って切換え操作が行われるようにしている。
また原料ガス圧縮機10によって加圧された原石ガスは
、気体分離膜精製手段2側の分岐管111に対して例え
ば10〜40%程度、圧力スイング吸着手段4側の分岐
管112に対して例えば90〜60%程度の供給比率と
なるように分配される。この分配調節をするには、圧力
調整、流量調整および濃度調整などにより自動制御を行
えばよく、第1図に示す装置では気体分離膜精製手段2
側に製電調整、圧力スイング吸着手段4側に流M調整、
原料ガス11縮機10側に圧力調整の自動詞t111T
′、段(図示せず)がそれぞれ設けられ、これらの自動
aI制御により分配調節が行なわれている。
、気体分離膜精製手段2側の分岐管111に対して例え
ば10〜40%程度、圧力スイング吸着手段4側の分岐
管112に対して例えば90〜60%程度の供給比率と
なるように分配される。この分配調節をするには、圧力
調整、流量調整および濃度調整などにより自動制御を行
えばよく、第1図に示す装置では気体分離膜精製手段2
側に製電調整、圧力スイング吸着手段4側に流M調整、
原料ガス11縮機10側に圧力調整の自動詞t111T
′、段(図示せず)がそれぞれ設けられ、これらの自動
aI制御により分配調節が行なわれている。
」1記構成の軽質ガス精製装置にJ3いて、原料ガス圧
縮機10によって加圧された原料ガスが所定の供給比率
で2つの分岐管111,112に分配され、この原r1
ガスは分岐管111を通して気体分離膜精製手段2、分
岐管112を通してフロンガス冷凍)幾3および圧力ス
イング吸着手段4にそれぞれ供給される。
縮機10によって加圧された原料ガスが所定の供給比率
で2つの分岐管111,112に分配され、この原r1
ガスは分岐管111を通して気体分離膜精製手段2、分
岐管112を通してフロンガス冷凍)幾3および圧力ス
イング吸着手段4にそれぞれ供給される。
気体分離膜精製手段2に供給された原料ガスのうら分離
膜21を透過しないCO2や空気成分はII出管23を
通して放出され、上記分111膜21を透過するl」e
成分(よ分離配管22を通して入口側原石ガス供給管路
12に戻される。これによってIjrj石ガス圧縮11
0に取入れられる原料ガスの11Cガス1IIIQやH
eガス量が元の原料ガスよりも増1:+1 する。
膜21を透過しないCO2や空気成分はII出管23を
通して放出され、上記分111膜21を透過するl」e
成分(よ分離配管22を通して入口側原石ガス供給管路
12に戻される。これによってIjrj石ガス圧縮11
0に取入れられる原料ガスの11Cガス1IIIQやH
eガス量が元の原料ガスよりも増1:+1 する。
分岐管112を通してフロンガス冷凍機3に供給された
I):li $1ガスは、その1」;(料ガス中の11
20が凝縮除去され、所定量になればオートドレンによ
り抽出される。このフロンガス冷凍機3を通ることによ
り1120が除去された原料ガスは圧力スイング吸る手
段4の吸着jハ41,42にその下部入E]側から導入
され、この吸着塔41.42では第1の吸着剤にJ、っ
て上記1京料ガス中の1120がさらに吸着除去される
とともに、第2の吸4剤ににつて002や空気成分が吸
着除去される。これにより導入された原ねガスは不fi
”T!物澗度が(,1ぼ1000m以下、露skiがは
ば一70℃以下になるように精製され、吸着されずに残
った1−10成分が回収管lt8/13を通して製品タ
ンク6に回収される。この製品タンク6内の製品ガスは
製品ガス取出し管61を通して取出され、例、えば超゛
市導1i?Ti冷fJI用のHc液化冷凍装置などに循
環されて使用される。
I):li $1ガスは、その1」;(料ガス中の11
20が凝縮除去され、所定量になればオートドレンによ
り抽出される。このフロンガス冷凍機3を通ることによ
り1120が除去された原料ガスは圧力スイング吸る手
段4の吸着jハ41,42にその下部入E]側から導入
され、この吸着塔41.42では第1の吸着剤にJ、っ
て上記1京料ガス中の1120がさらに吸着除去される
とともに、第2の吸4剤ににつて002や空気成分が吸
着除去される。これにより導入された原ねガスは不fi
”T!物澗度が(,1ぼ1000m以下、露skiがは
ば一70℃以下になるように精製され、吸着されずに残
った1−10成分が回収管lt8/13を通して製品タ
ンク6に回収される。この製品タンク6内の製品ガスは
製品ガス取出し管61を通して取出され、例、えば超゛
市導1i?Ti冷fJI用のHc液化冷凍装置などに循
環されて使用される。
吸着剤51.52の不純物吸着能力が飽和に達した時に
tま、製品タンク6の製品ガスがパージ用ガス供給管路
44を通して吸着塔/11.42に逆送され、この製品
ガスによって上記不純物がバージされる。このバルジガ
スはパージガス循環用管路45を通して入ロ側1京料ガ
ス供給管路12に戻されてli:j F+ガスの一部と
して再利用される。
tま、製品タンク6の製品ガスがパージ用ガス供給管路
44を通して吸着塔/11.42に逆送され、この製品
ガスによって上記不純物がバージされる。このバルジガ
スはパージガス循環用管路45を通して入ロ側1京料ガ
ス供給管路12に戻されてli:j F+ガスの一部と
して再利用される。
なお上記パージエ稈は間欠的に行なわれるので、入口側
原料ガス供給管路12内を流通するガス耐に変動を生じ
ることになる。ところが、この人[J側原料ガス供給管
路12には一定量で供給される原料ガスと、気体分離膜
精製手段2から戻される半製品ガスとによつ゛C比較的
多吊のガスが定常的に供給されるので、ト記パージガス
によるガス量変動tよ比較的小さく、原料ガス圧縮機1
00汀線能力に大きな影響を与えることはない。
原料ガス供給管路12内を流通するガス耐に変動を生じ
ることになる。ところが、この人[J側原料ガス供給管
路12には一定量で供給される原料ガスと、気体分離膜
精製手段2から戻される半製品ガスとによつ゛C比較的
多吊のガスが定常的に供給されるので、ト記パージガス
によるガス量変動tよ比較的小さく、原料ガス圧縮機1
00汀線能力に大きな影響を与えることはない。
このように第1図に示す軽質ガス精WA装置では、原料
ガス中のト120がフロンガス冷凍)蔑3と圧力スイン
グ吸着手段4の吸着塔41.42内の第1の吸着剤によ
って、またCO2が上記吸着塔41゜42内の第2の吸
着剤によってそれぞれ確実に除去されるために、第2図
に示す従来装置における前処理塔7を省略することがで
きる。またフロンガス冷凍機3には原litガスを単に
通すだけでの操作でよく、しかしこのフロンガス冷凍機
3は汎用的くgものぐ構成りることができるために、精
製装置を従来装置と比べて簡易に構成することができ、
その操作も上記前処理塔7の操作が省略される分だt」
従来装置に比べて容易に行うことができる。
ガス中のト120がフロンガス冷凍)蔑3と圧力スイン
グ吸着手段4の吸着塔41.42内の第1の吸着剤によ
って、またCO2が上記吸着塔41゜42内の第2の吸
着剤によってそれぞれ確実に除去されるために、第2図
に示す従来装置における前処理塔7を省略することがで
きる。またフロンガス冷凍機3には原litガスを単に
通すだけでの操作でよく、しかしこのフロンガス冷凍機
3は汎用的くgものぐ構成りることができるために、精
製装置を従来装置と比べて簡易に構成することができ、
その操作も上記前処理塔7の操作が省略される分だt」
従来装置に比べて容易に行うことができる。
しかし得られる製品ガスは従来装置と同様の1−(e純
度および回収率を維持づることができる。
度および回収率を維持づることができる。
原11ガスとして1−10が98容M%、空気成分、1
」20.CO2などの不純物の合計が2容51%のa合
ガスを用いて第1図に示す軽質ガス精製装置により精製
試験を行った結果、1leI11!度99.999%、
露点−75℃の110ガスを99.5%の回収率で11
することができた。
」20.CO2などの不純物の合計が2容51%のa合
ガスを用いて第1図に示す軽質ガス精製装置により精製
試験を行った結果、1leI11!度99.999%、
露点−75℃の110ガスを99.5%の回収率で11
することができた。
なお上記実施例ではフロンガス冷凍機3を分岐管112
上に設けているが、このフロンガス冷凍n3を設ける位
買は原料ガス圧縮機10と圧力スイング吸着手段4との
間であればよく、例えば上記フロンガス冷凍機3を分岐
11すの出口側原料ガス供給管路11上に設けてもよい
。
上に設けているが、このフロンガス冷凍n3を設ける位
買は原料ガス圧縮機10と圧力スイング吸着手段4との
間であればよく、例えば上記フロンガス冷凍機3を分岐
11すの出口側原料ガス供給管路11上に設けてもよい
。
また上記実施例においては、第1の吸着剤と第2の吸着
剤とが2層に分(Jて吸着塔41.42内に充填されて
いるが、これに限らず、例えば上記第1の吸着剤と第2
の吸着剤とを互いに混合し、この混合された2種類の吸
着剤を上記吸着塔41゜42内に充填してもJ:い。さ
らに2種類の吸着剤を用いずに、1種類の吸着剤(例え
ば合成ゼオライト)を吸着塔41.42内に充填し、こ
の1種類の吸着剤によって[]20、CO2および空気
成分の吸着を行なわすようにしてもよい。
剤とが2層に分(Jて吸着塔41.42内に充填されて
いるが、これに限らず、例えば上記第1の吸着剤と第2
の吸着剤とを互いに混合し、この混合された2種類の吸
着剤を上記吸着塔41゜42内に充填してもJ:い。さ
らに2種類の吸着剤を用いずに、1種類の吸着剤(例え
ば合成ゼオライト)を吸着塔41.42内に充填し、こ
の1種類の吸着剤によって[]20、CO2および空気
成分の吸着を行なわすようにしてもよい。
また上記実施例では1−18を含む混合ガスからト1e
を精製する場合について説明したが、Heの他にH2も
Heと同様の性状を有するために、ト12を含む混合ガ
スから!−12を精製する場合にもこの発明の精製装置
を適用することができる。
を精製する場合について説明したが、Heの他にH2も
Heと同様の性状を有するために、ト12を含む混合ガ
スから!−12を精製する場合にもこの発明の精製装置
を適用することができる。
この発明の!1質ガス精製装置によれば、従来装四では
前処理塔によって除去されていたl−120とCO2と
について、H2Oは汎用機器であるフロンガス冷凍機お
よび圧力スイング吸着手段の吸む剤、CO2は上記圧力
スイング吸着手段の吸着剤によってそれぞれ確実に除去
することができるので、上記前処理塔を省略することが
でき、これによって装置を簡易に構成することができる
とともに、前処理塔の切換え操作などを省略することが
でき、運転操作を容易に行うことができる。しかも従来
と同様に高い純度および回収率で精製することができる
。
前処理塔によって除去されていたl−120とCO2と
について、H2Oは汎用機器であるフロンガス冷凍機お
よび圧力スイング吸着手段の吸む剤、CO2は上記圧力
スイング吸着手段の吸着剤によってそれぞれ確実に除去
することができるので、上記前処理塔を省略することが
でき、これによって装置を簡易に構成することができる
とともに、前処理塔の切換え操作などを省略することが
でき、運転操作を容易に行うことができる。しかも従来
と同様に高い純度および回収率で精製することができる
。
第1図はこの発明の詳細な説明図、第2図は従来の軽質
ガス精製装置の説明図である。 2・・・気体分−1膜精製手段、3・・・フロンガス冷
凍機、4・・・圧力スイング吸着手段、10・・・原れ
ガス圧縮機、12・・・入口側原石ガス供給管路(原料
ガス導入部>、51.52・・・吸着剤。
ガス精製装置の説明図である。 2・・・気体分−1膜精製手段、3・・・フロンガス冷
凍機、4・・・圧力スイング吸着手段、10・・・原れ
ガス圧縮機、12・・・入口側原石ガス供給管路(原料
ガス導入部>、51.52・・・吸着剤。
Claims (1)
- 1、原料ガス圧縮機と、気体分離膜精製手段と、圧力ス
イング吸着手段と、フロンガス冷凍機とを有し、上記原
料ガス圧縮機の出口側は気体分離膜精製手段の入口側と
、圧力スイング吸着手段の入口側とに分岐して接続され
、上記気体分離膜精製手段の透過ガスの出口側と圧力ス
イング吸着手段のパージガスの排出側とは原料ガス圧縮
機の入口側の原料ガス導入部と合流するように接続され
、上記フロンガス冷凍機は上記原料ガス圧縮機と圧力ス
イング吸着手段との間に介在されているとともに、圧力
スイング吸着塔には水分、空気および二酸化炭素を選択
的に吸着する吸着剤が充填されていることを特徴とする
軽質ガス精製装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63096559A JPH0624604B2 (ja) | 1988-04-18 | 1988-04-18 | 軽質ガス精製装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63096559A JPH0624604B2 (ja) | 1988-04-18 | 1988-04-18 | 軽質ガス精製装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01266831A true JPH01266831A (ja) | 1989-10-24 |
JPH0624604B2 JPH0624604B2 (ja) | 1994-04-06 |
Family
ID=14168405
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP63096559A Expired - Lifetime JPH0624604B2 (ja) | 1988-04-18 | 1988-04-18 | 軽質ガス精製装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0624604B2 (ja) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002308605A (ja) * | 2001-04-11 | 2002-10-23 | Japan Pionics Co Ltd | 水素ガスの精製方法 |
JP2003068630A (ja) * | 2001-08-29 | 2003-03-07 | Kyocera Corp | 露光装置 |
US7294172B2 (en) * | 2001-07-31 | 2007-11-13 | Praxair Technology, Inc. | Helium recovery |
JP4721575B2 (ja) * | 2001-08-29 | 2011-07-13 | 京セラ株式会社 | 露光装置 |
WO2015146211A1 (ja) * | 2014-03-28 | 2015-10-01 | 住友精化株式会社 | ヘリウムガスの精製方法および精製システム |
JP2020523548A (ja) * | 2017-06-08 | 2020-08-06 | サウジ アラビアン オイル カンパニー | ガス状流からのヘリウム回収 |
CN113828103A (zh) * | 2021-08-19 | 2021-12-24 | 大连海奥膜技术有限公司 | 一种回收油田驱伴气轻烃和二氧化碳的工艺及设备 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61283324A (ja) * | 1985-06-05 | 1986-12-13 | Mitsubishi Electric Corp | 炭酸ガス除去装置 |
JPS6365930A (ja) * | 1986-09-04 | 1988-03-24 | Kobe Steel Ltd | 軽質ガス精製装置 |
-
1988
- 1988-04-18 JP JP63096559A patent/JPH0624604B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61283324A (ja) * | 1985-06-05 | 1986-12-13 | Mitsubishi Electric Corp | 炭酸ガス除去装置 |
JPS6365930A (ja) * | 1986-09-04 | 1988-03-24 | Kobe Steel Ltd | 軽質ガス精製装置 |
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002308605A (ja) * | 2001-04-11 | 2002-10-23 | Japan Pionics Co Ltd | 水素ガスの精製方法 |
US7294172B2 (en) * | 2001-07-31 | 2007-11-13 | Praxair Technology, Inc. | Helium recovery |
JP2003068630A (ja) * | 2001-08-29 | 2003-03-07 | Kyocera Corp | 露光装置 |
JP4721575B2 (ja) * | 2001-08-29 | 2011-07-13 | 京セラ株式会社 | 露光装置 |
WO2015146211A1 (ja) * | 2014-03-28 | 2015-10-01 | 住友精化株式会社 | ヘリウムガスの精製方法および精製システム |
CN105939960A (zh) * | 2014-03-28 | 2016-09-14 | 住友精化株式会社 | 氦气的纯化方法和纯化*** |
KR20160138377A (ko) * | 2014-03-28 | 2016-12-05 | 스미또모 세이까 가부시키가이샤 | 헬륨 가스의 정제 방법 및 정제 시스템 |
JPWO2015146211A1 (ja) * | 2014-03-28 | 2017-04-13 | 住友精化株式会社 | ヘリウムガスの精製方法および精製システム |
JP2020523548A (ja) * | 2017-06-08 | 2020-08-06 | サウジ アラビアン オイル カンパニー | ガス状流からのヘリウム回収 |
CN113828103A (zh) * | 2021-08-19 | 2021-12-24 | 大连海奥膜技术有限公司 | 一种回收油田驱伴气轻烃和二氧化碳的工艺及设备 |
CN113828103B (zh) * | 2021-08-19 | 2023-11-10 | 大连海奥膜技术有限公司 | 一种回收油田驱伴气轻烃和二氧化碳的工艺及设备 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0624604B2 (ja) | 1994-04-06 |
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