JPH01257117A - 微粉炭化珪素の製造方法 - Google Patents
微粉炭化珪素の製造方法Info
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- JPH01257117A JPH01257117A JP63084881A JP8488188A JPH01257117A JP H01257117 A JPH01257117 A JP H01257117A JP 63084881 A JP63084881 A JP 63084881A JP 8488188 A JP8488188 A JP 8488188A JP H01257117 A JPH01257117 A JP H01257117A
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Landscapes
- Carbon And Carbon Compounds (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
この発明は、微粉炭化珪素の製造方法に関し、さらに詳
しくは、異形物の混入がなく、狭い粒度分布を有する微
粉炭化珪素を高収量で製造することのできる方法に関す
る。
しくは、異形物の混入がなく、狭い粒度分布を有する微
粉炭化珪素を高収量で製造することのできる方法に関す
る。
[従来の技術と発明が解決しようとする課H]最近、フ
ァインセラミックス用原料(特に、高温での耐熱性およ
び高強度を有する素材の原料)として、サブミクロンオ
ーダーの粒径を有する。
ァインセラミックス用原料(特に、高温での耐熱性およ
び高強度を有する素材の原料)として、サブミクロンオ
ーダーの粒径を有する。
微粉炭化珪素に期待が高まっている。
従来、微粉炭化珪素の製造法としては、アチソン法があ
る。
る。
しかしながら、前記アチソン法には1反応部度が高く、
また反応後に煩雑な何段階もの粉砕が必要であると言う
欠点がある。
また反応後に煩雑な何段階もの粉砕が必要であると言う
欠点がある。
また、微粉炭化珪素の製造方法として、シリカ、金属珪
素、カーボン等の三成分系を用いる方法がある(特公昭
60−35283号公報および特開昭50−75600
号公報参照)。
素、カーボン等の三成分系を用いる方法がある(特公昭
60−35283号公報および特開昭50−75600
号公報参照)。
前記特公昭60−35283号公報に記載の方法は、低
い反応温度(800〜1450℃)て連鎖反応を瞬時に
進行させるものであるが、自発的連鎖反応を進行させる
ので酸化雰囲気を必要とし、かつ原料組成物の組成範囲
が限定されているから、反応操作および原料の調製が煩
雑である。さらに、連鎖反応であるから、反応の制御が
困難である。
い反応温度(800〜1450℃)て連鎖反応を瞬時に
進行させるものであるが、自発的連鎖反応を進行させる
ので酸化雰囲気を必要とし、かつ原料組成物の組成範囲
が限定されているから、反応操作および原料の調製が煩
雑である。さらに、連鎖反応であるから、反応の制御が
困難である。
特開昭50−75600号公報に記載の方法においても
、反応原料の組成範囲か限定されていて、たとえば、粒
状炭素とシリカとの混合モル比は約2:l〜6:lであ
り、金属珪素は混合物全量に対して約3.5〜22%で
ある。したがって、前記公報に記載の方法には、前記特
公昭60−35283号公報に記載の方法と同質の問題
点を有している。
、反応原料の組成範囲か限定されていて、たとえば、粒
状炭素とシリカとの混合モル比は約2:l〜6:lであ
り、金属珪素は混合物全量に対して約3.5〜22%で
ある。したがって、前記公報に記載の方法には、前記特
公昭60−35283号公報に記載の方法と同質の問題
点を有している。
しかも、特開昭50−75600号公報に記載の方法は
1粒状炭素、シリカおよび金属珪素をただ単に混合して
反応させているので、生成する炭化珪素中にウィスカー
等の異形物が不純物として混入し、なおかつ、炭化珪素
の粒径分布もブロードとなり、焼結用に適する微粉炭化
珪素を得ることができないと言う欠点を有している。
1粒状炭素、シリカおよび金属珪素をただ単に混合して
反応させているので、生成する炭化珪素中にウィスカー
等の異形物が不純物として混入し、なおかつ、炭化珪素
の粒径分布もブロードとなり、焼結用に適する微粉炭化
珪素を得ることができないと言う欠点を有している。
本発明の目的は、シリカ、金属珪素、カーボンの三成分
系を原料とする微粉炭化珪素の製造において、ウィスカ
ー等の異形物の混入がなく、多段の粉砕工程を要するこ
となく一回のみの粉砕工程を経るたけて焼結用に適した
分布幅の狭い粒径分布を有する微粉炭化珪素を、製造す
ることかてきる方法を提供することにある。
系を原料とする微粉炭化珪素の製造において、ウィスカ
ー等の異形物の混入がなく、多段の粉砕工程を要するこ
となく一回のみの粉砕工程を経るたけて焼結用に適した
分布幅の狭い粒径分布を有する微粉炭化珪素を、製造す
ることかてきる方法を提供することにある。
[課題を解決しようとする手段と作用]前記問題点を解
決するために、本発明者が鋭意研究したところ、粉末状
の原料を混合して得られる混合物を耐火製容器内に充填
して高温で反応させる際に、前記耐火性容器内での前記
混合物の充填密度を所定の値以上にすると、前記目的を
達成することができることを見出して、本発明に到達し
た。
決するために、本発明者が鋭意研究したところ、粉末状
の原料を混合して得られる混合物を耐火製容器内に充填
して高温で反応させる際に、前記耐火性容器内での前記
混合物の充填密度を所定の値以上にすると、前記目的を
達成することができることを見出して、本発明に到達し
た。
すなわち、前記目的を達成するための本発明は、原料と
してのシリカ、金属珪素およびカーボンを混合し、耐火
性容器内に充填して高温て反応させることによる微粉炭
化珪素の製造方法において、前記耐火性容器内に充填し
た原料の混合物の充填密度を0.45g/cm’以上に
することを特徴とする微粉炭化珪素の製造方法である。
してのシリカ、金属珪素およびカーボンを混合し、耐火
性容器内に充填して高温て反応させることによる微粉炭
化珪素の製造方法において、前記耐火性容器内に充填し
た原料の混合物の充填密度を0.45g/cm’以上に
することを特徴とする微粉炭化珪素の製造方法である。
本発明における微粉炭化珪素の製造方法は、全体として
、原料としてのシリカ、金属珪素およびカーボンを混合
する混合工程と前記工程で得られる混合物を耐火性容器
内に充填してこれを高温で反応させる反応工程の2工程
を少くとも有する。
、原料としてのシリカ、金属珪素およびカーボンを混合
する混合工程と前記工程で得られる混合物を耐火性容器
内に充填してこれを高温で反応させる反応工程の2工程
を少くとも有する。
前記混合工程で原料として使用するのは、シリカ、金属
珪素およびカーボンである。
珪素およびカーボンである。
前記シリカは、一般的にはSi Oxで表わすことがで
き、たとえば、石英、珪石、珪砂、クリストバライト、
トリジマイト等を使用することができる。さらに、前記
シリカとして、シリカコロイド、超微粒子状無水シリカ
、ゼオライト等をも使用することができる。
き、たとえば、石英、珪石、珪砂、クリストバライト、
トリジマイト等を使用することができる。さらに、前記
シリカとして、シリカコロイド、超微粒子状無水シリカ
、ゼオライト等をも使用することができる。
シリカコロイドを用いる場合、その濃度について特に制
限はないが、入手が容易であると言う観点からすると、
濃度が10〜50%であるシリカコロイドが好ましい、
と言うのは、シリカ原料としてシリカコロイドを用いる
と、他のシリカ原料を用いる場合よりも炭化珪素の収量
が向上するからである。
限はないが、入手が容易であると言う観点からすると、
濃度が10〜50%であるシリカコロイドが好ましい、
と言うのは、シリカ原料としてシリカコロイドを用いる
と、他のシリカ原料を用いる場合よりも炭化珪素の収量
が向上するからである。
天然の珪石および珪砂も使用することかできるのである
が、粉砕に困難なことがあるので、たとえば、フェロシ
リコンの製造あるいはリン酸肥料の製造時に副生ずる無
定形の珪酸微粉末や四塩化珪素を酸化分解して得られる
エアロジルなどの、一般的にホワイトカーボンと称され
る珪酸微粉末が好適である。
が、粉砕に困難なことがあるので、たとえば、フェロシ
リコンの製造あるいはリン酸肥料の製造時に副生ずる無
定形の珪酸微粉末や四塩化珪素を酸化分解して得られる
エアロジルなどの、一般的にホワイトカーボンと称され
る珪酸微粉末が好適である。
粉末状のシリカを使用する場合、その粒径としては1通
常、200メツシユ以下、好ましくは400メツツユ以
下が好ましい。
常、200メツシユ以下、好ましくは400メツツユ以
下が好ましい。
前記金属珪素は、粒度はかなり粗くてもよいが、ハンド
リングの面から、11以下に粉砕したものを用いるのが
良い。
リングの面から、11以下に粉砕したものを用いるのが
良い。
前記カーボンとしては、ファーネスブラック、チャンネ
ルブラック、サーマルブラック等のカーボンブラック、
コークス、黒鉛等の炭素源を使用することかできるので
あるが、粒度については1μ■以下のできるたけ細かい
カーボンが好ましい。
ルブラック、サーマルブラック等のカーボンブラック、
コークス、黒鉛等の炭素源を使用することかできるので
あるが、粒度については1μ■以下のできるたけ細かい
カーボンが好ましい。
混合工程で原料として使用する、シリカ、金属珪素およ
びカーボンのそれぞれの純度は、反応に対するその影響
か特に著しいと言う訳ではないか、製品の純度および粒
度には影響があるのて。
びカーボンのそれぞれの純度は、反応に対するその影響
か特に著しいと言う訳ではないか、製品の純度および粒
度には影響があるのて。
製品の目的とする用途により適当に選択するのが良い。
また、混合に際するシリカ、金属珪素およびカーボンそ
れぞれの配合割合は1通常の場合第1図に示す点a、b
およびCを結ぶ範囲内の組成(モル%)、好ましくは第
1図に示す点a、dおよびeを結ぶ範囲内の組成(モル
%)、特に好ましくは第1図に示゛す点f、gおよびh
を結ぶ範囲内の組成(モル%)となるように、適宜に決
定される。なお、第1表における前記a〜hの各点で示
される組成は、第1表に示す通りである。
れぞれの配合割合は1通常の場合第1図に示す点a、b
およびCを結ぶ範囲内の組成(モル%)、好ましくは第
1図に示す点a、dおよびeを結ぶ範囲内の組成(モル
%)、特に好ましくは第1図に示゛す点f、gおよびh
を結ぶ範囲内の組成(モル%)となるように、適宜に決
定される。なお、第1表における前記a〜hの各点で示
される組成は、第1表に示す通りである。
第1表
前記三成分の混合は1通常、ニーダ−、アイリッヒ混合
機等を使用して行うことができる。
機等を使用して行うことができる。
前記三成分の混合は、加熱下に水分を蒸発させながら行
い、充分に混合ないし混練させた後、さらに必要に応じ
て熱風乾燥を施してもよい。
い、充分に混合ないし混練させた後、さらに必要に応じ
て熱風乾燥を施してもよい。
以上の混合工程で得られた混合物は、次の反応工程に提
供される。
供される。
なお、前記混合物はそのまま反応工程に提供しても良い
のであるが、前記混合物を造粒φ成形してからその造粒
・成形物を次の反応工程に提供するのが良い。
のであるが、前記混合物を造粒φ成形してからその造粒
・成形物を次の反応工程に提供するのが良い。
造粒・成形は、転勤、押出し、ダブルロール、金型成形
等により行うことがてきる。
等により行うことがてきる。
例えば、前記混合物に結合剤としてpv^ (ポリビニ
ールアルコール)水溶液を加え、適度にスラリー化させ
たものを、押出し機とマルメライザーにかけることによ
り、前記混合物の造粒・成形を行うことができる。マル
メライザーによる操作工程において、前記混合工程て得
られる乾燥した混合物の粉末添加しながら、造粒・成形
を行うことができる。
ールアルコール)水溶液を加え、適度にスラリー化させ
たものを、押出し機とマルメライザーにかけることによ
り、前記混合物の造粒・成形を行うことができる。マル
メライザーによる操作工程において、前記混合工程て得
られる乾燥した混合物の粉末添加しながら、造粒・成形
を行うことができる。
また、原料をアイリッヒ混合機に入れて充分に混合した
混合物を、パン型造粒機に移しかえ。
混合物を、パン型造粒機に移しかえ。
PVA水溶液を散布しながら転動造粒することにより、
造粒・成形を行うことができる。
造粒・成形を行うことができる。
前記結合剤としては、前記PVAの他に、デキストリン
、アルギン酸ナトリウム、 CM(:(カルボキシメチ
ルナトリウム) 、 PVP(ポリビニルピロリドン)
、 5pp(ポリリン酸ナトリウム)および水ガラス
等も使用可能である。
、アルギン酸ナトリウム、 CM(:(カルボキシメチ
ルナトリウム) 、 PVP(ポリビニルピロリドン)
、 5pp(ポリリン酸ナトリウム)および水ガラス
等も使用可能である。
造粒・成形物の粒径は、通常、0.5〜30mm。
特に2〜15m mである。
また、造粒・成形物の密度は1通常、0.4〜1.2g
/cm″、特に0.5〜0.9 g / c m ”の
範囲内になるように調製するのが望ましい。
/cm″、特に0.5〜0.9 g / c m ”の
範囲内になるように調製するのが望ましい。
反応工程では、前記混合工程で得られた粉末状の原料の
混合物あるいは好ましくは前記造粒・成形物を耐火性容
器内に充填する。
混合物あるいは好ましくは前記造粒・成形物を耐火性容
器内に充填する。
耐火性容器としては、黒鉛製ルツボ等が使用できる。
本発明において重要なのは、TX料である混合物を耐火
性容器に充填する場合、前記混合物の充填密度を0.4
5g/c■3以上、好ましくは0.50g/c−コリ上
にすることである。
性容器に充填する場合、前記混合物の充填密度を0.4
5g/c■3以上、好ましくは0.50g/c−コリ上
にすることである。
ここで、前記混合物か非造粒・成形物である場合には、
耐火性容器内の前記混合物が前記充填密度になるように
圧填するのが良く、また、前記混合物が造粒・成形物で
ある場合には、前記造粒・成形物の密度を0.4〜1.
2 g / c m’ 、特に0.5〜0.9g/cm
”の範囲内になるように調製するのが良い。
耐火性容器内の前記混合物が前記充填密度になるように
圧填するのが良く、また、前記混合物が造粒・成形物で
ある場合には、前記造粒・成形物の密度を0.4〜1.
2 g / c m’ 、特に0.5〜0.9g/cm
”の範囲内になるように調製するのが良い。
前記造粒・成形物の密度を前記範囲内に調製しておくと
、耐火性容器内に粉状の混合物を収容してからこれを圧
填するような作業を省略して(操作の簡略化)、造粒・
成形物を耐火性容器内に収容して、たとえばこの造粒・
成形物を最密充填状態にするだけで前記充填密度を実現
することができる。
、耐火性容器内に粉状の混合物を収容してからこれを圧
填するような作業を省略して(操作の簡略化)、造粒・
成形物を耐火性容器内に収容して、たとえばこの造粒・
成形物を最密充填状態にするだけで前記充填密度を実現
することができる。
前記充填済みの耐火性容器は、縦形高温反応炉、開放型
電気炉、ガス炉などの耐火物の焼成な目的とした一般の
工業用炉などに装填され、この工業用炉内で耐火性容器
内の前記混合物の反応か行われる。
電気炉、ガス炉などの耐火物の焼成な目的とした一般の
工業用炉などに装填され、この工業用炉内で耐火性容器
内の前記混合物の反応か行われる。
また1反応には、高温可変雰囲気炉を使用することもで
きる。
きる。
反応雰囲気としては、酸化性雰囲気であっても良いが1
通常は、非酸化性雰囲気である。
通常は、非酸化性雰囲気である。
反応温度は、通常1400〜1900°C1好ましくは
1.500へ1,700℃てあり、反応時間は1〜6時
間、好ましくは2〜3時間と、極めて短時間に反応を行
わせることができる。このとき、反応圧力には特に制限
はないが、一般に常圧である。
1.500へ1,700℃てあり、反応時間は1〜6時
間、好ましくは2〜3時間と、極めて短時間に反応を行
わせることができる。このとき、反応圧力には特に制限
はないが、一般に常圧である。
反応は下式により反応すると考えられる。
反応: 5iOz+ Si+ 4C= zsic+ z
c。
c。
前記混合工程および反応工程を通して得られる生成物は
、ウィスカー等の異形物をほとんど含んでいない。
、ウィスカー等の異形物をほとんど含んでいない。
また、前記生成物は、凝集度合が低いのて容易に解砕さ
れる性質を有しており、多段の粉砕工程を要することな
く、−回のみの粉砕工程を経るだけで微細な粉末にする
ことができる。
れる性質を有しており、多段の粉砕工程を要することな
く、−回のみの粉砕工程を経るだけで微細な粉末にする
ことができる。
前記生成物は、通常のボールミルあるいは振動ミル等の
粉砕機を用いて極めて容易に粉砕することができる。
粉砕機を用いて極めて容易に粉砕することができる。
粉砕により得られた粉末、すなわち炭化珪素の微粉は1
粒径が0,5ル■以下と微細であり、かつ幅の狭い粒度
分布を有している。
粒径が0,5ル■以下と微細であり、かつ幅の狭い粒度
分布を有している。
全体の工程を通して得られる微粉炭化珪素の純度は、9
0〜99%であり、また、微粉炭化珪素の収率は、ケイ
素源を基準にして80〜95%である。
0〜99%であり、また、微粉炭化珪素の収率は、ケイ
素源を基準にして80〜95%である。
[実施例]
(実施例1)
シリカコロイド水溶液(シリカ含有率30重量%)3に
g、金属珪素(74IL−以下に粉砕したもの)420
gおよびカーボンブラック720gを、ニーダ−を用い
、充分に混合Sよび混線した。この際に、加熱による水
分蒸発を行わせ、含水率34重量%の乾燥粉末を3.1
にg得た。
g、金属珪素(74IL−以下に粉砕したもの)420
gおよびカーボンブラック720gを、ニーダ−を用い
、充分に混合Sよび混線した。この際に、加熱による水
分蒸発を行わせ、含水率34重量%の乾燥粉末を3.1
にg得た。
コノ乾燥粉末1.7kg ニO,S %PVA水溶液を
430g加え、適度にスラリー化させたものを押出し機
にかけ、孔径5鑓■のプレートから押出した後、さらに
、造粒をマルメライザーにより行った。この工程におい
て、前記の乾燥粉末を、さらに熱風乾燥しておいた粉末
(含水量4重量%) 980gを添加しながら行うと、
粒度の良くそろった造粒体が得られた。
430g加え、適度にスラリー化させたものを押出し機
にかけ、孔径5鑓■のプレートから押出した後、さらに
、造粒をマルメライザーにより行った。この工程におい
て、前記の乾燥粉末を、さらに熱風乾燥しておいた粉末
(含水量4重量%) 980gを添加しながら行うと、
粒度の良くそろった造粒体が得られた。
得られた造粒物の粒径は2−一〜5.71であり、かつ
その密度は0.6〜0.8 g / c m ’であっ
た。
その密度は0.6〜0.8 g / c m ’であっ
た。
次に、この造粒物53gを黒鉛製ルツボに充填した。こ
のときの充填密度は、0.55g/c■3であった。充
填済みのルツボを、縦形高温反応炉中に入れ、反応を、
1600℃で3時間行った。
のときの充填密度は、0.55g/c■3であった。充
填済みのルツボを、縦形高温反応炉中に入れ、反応を、
1600℃で3時間行った。
前記反応により得られた生成物は、X線回折による分析
の結果、炭化珪素であった。また、第2図の電子顕微鏡
写真に示されるように、前記生成物は、凝集度合が低く
て、容易に解砕されやすいものであった。また、ウィス
カー状の異形物なはとんど含んていなかった。ボールミ
ルて24時間かけて前記生成物を粉砕することにより、
平均粒径が0.24 p、 mで幅の狭い粒度分布を有
している微粉末が1選択的に得られた。この微粉末の粒
度分布図を、第3図に示した。
の結果、炭化珪素であった。また、第2図の電子顕微鏡
写真に示されるように、前記生成物は、凝集度合が低く
て、容易に解砕されやすいものであった。また、ウィス
カー状の異形物なはとんど含んていなかった。ボールミ
ルて24時間かけて前記生成物を粉砕することにより、
平均粒径が0.24 p、 mで幅の狭い粒度分布を有
している微粉末が1選択的に得られた。この微粉末の粒
度分布図を、第3図に示した。
(実施例2)
珪石微粉(平均粒径1.5 g園) 1500g 、金
属珪素(74gm以下に粉砕したもの) 700gおよ
びカーボン・ブラック1200gを、アイリッヒ混合機
を用い、充分に混合した0次に、この混合物1.0にg
をパン型造粒機に移しかえ、0.5%PVA水溶液58
0gを散布しながら前記混合物の転勤造粒し、粒径2I
1m−15mm、密度0.6〜0.8 g/cm′3の
造粒物を得た。
属珪素(74gm以下に粉砕したもの) 700gおよ
びカーボン・ブラック1200gを、アイリッヒ混合機
を用い、充分に混合した0次に、この混合物1.0にg
をパン型造粒機に移しかえ、0.5%PVA水溶液58
0gを散布しながら前記混合物の転勤造粒し、粒径2I
1m−15mm、密度0.6〜0.8 g/cm′3の
造粒物を得た。
この造粒物をさらに熱風乾燥して得た乾燥造粒物56g
を黒鉛製ルツボに充填した。このときの充填密度は、
0.57g/am″であった。充填済のルツボな縦形高
温反応炉中に入れ1反応を、1600℃で。
を黒鉛製ルツボに充填した。このときの充填密度は、
0.57g/am″であった。充填済のルツボな縦形高
温反応炉中に入れ1反応を、1600℃で。
3時間行った。
前記反応により得られた生成物をX線回折により分析す
ると、炭化珪素であった。また、第4図の電子顕微鏡写
真に示すように、前記反応により得られた生r&物は、
実施例1と同様、見掛上、凝集度合が低く、容易に解砕
されるものであり、さらに、ウィスカー状の異形物をほ
とんど含んでいなかった。ボールミルで24時間かけて
前記生成物を粉砕することにより、平均粒径が0.2S
ILmで幅の狭い粒度分布を有している微粉末が、選択
的に得られた。この微粉末の粒度分布図を、第5図に示
した。
ると、炭化珪素であった。また、第4図の電子顕微鏡写
真に示すように、前記反応により得られた生r&物は、
実施例1と同様、見掛上、凝集度合が低く、容易に解砕
されるものであり、さらに、ウィスカー状の異形物をほ
とんど含んでいなかった。ボールミルで24時間かけて
前記生成物を粉砕することにより、平均粒径が0.2S
ILmで幅の狭い粒度分布を有している微粉末が、選択
的に得られた。この微粉末の粒度分布図を、第5図に示
した。
(実施例3)
シリカコロイド水溶液(シリカ含有率15.5重量%)
968 Kg、金属珪素(741Ls以下に粉砕した
もの)70gおよびカーボンブラック120gを、ニー
ダ−を用い、充分に混合および混練した。この際に、加
熱による水分蒸発を行わせ、乾燥した粉末を得た。
968 Kg、金属珪素(741Ls以下に粉砕した
もの)70gおよびカーボンブラック120gを、ニー
ダ−を用い、充分に混合および混練した。この際に、加
熱による水分蒸発を行わせ、乾燥した粉末を得た。
この乾燥粉末を金型成形機(圧力100kg/c■3)
により角型に成型し、黒鉛製ルツボに充填した。このと
きの充填密度は、0 、55g/c■工であった。充填
済みのルツボな、縦形高温反応炉中に入れ1反応を、1
600°Cて3時間行った。
により角型に成型し、黒鉛製ルツボに充填した。このと
きの充填密度は、0 、55g/c■工であった。充填
済みのルツボな、縦形高温反応炉中に入れ1反応を、1
600°Cて3時間行った。
前記反応により得られた生成物は、X線回折による分析
の結果、炭化珪素であった。また、第6図の電子顕微鏡
写真に示すように、前記反応により得られた生成物は、
実施例1と同様、見掛上。
の結果、炭化珪素であった。また、第6図の電子顕微鏡
写真に示すように、前記反応により得られた生成物は、
実施例1と同様、見掛上。
凝集度合が低く、容易に解砕されるものであり、さらに
、ウィスカー状の異形物をほとんど含んでいなかった。
、ウィスカー状の異形物をほとんど含んでいなかった。
ボールミルで24時間かけて前記生成物を粉砕すること
により、平均粒径が0.28#Lmで幅の狭い粒度分布
を有している微粉末が、選択的に得られた。この微粉末
の粒度分布図を、第7図に示した。
により、平均粒径が0.28#Lmで幅の狭い粒度分布
を有している微粉末が、選択的に得られた。この微粉末
の粒度分布図を、第7図に示した。
(比較例1)
実施例3における乾燥粉末をそのまま黒鉛製ルツボに充
填した(充填密度; 0.40g/cs3)以外は前記
実施例3と同様に実施した。
填した(充填密度; 0.40g/cs3)以外は前記
実施例3と同様に実施した。
反応により得られた生成物は、X線回折による分析の結
果、炭化珪素であった。
果、炭化珪素であった。
しかしながら、得られた炭化珪素は、第8図の電子顕微
鏡写真に示すように、ウィスカー状の異形物の混入が多
く、かつ第9図に示すように1幅の広い粒度分布を有し
ていた。
鏡写真に示すように、ウィスカー状の異形物の混入が多
く、かつ第9図に示すように1幅の広い粒度分布を有し
ていた。
(比較例2)
実施例3における乾燥粉末をそのまま黒鉛製ルツボに充
填した(充填密度、 0.38g八■へ)以外は前記実
施例3と同様に実施した。
填した(充填密度、 0.38g八■へ)以外は前記実
施例3と同様に実施した。
反応により得られた生成物は、X線回折による分析の結
果、炭化珪素であった。
果、炭化珪素であった。
しかしながら、得られた炭化珪素は、第10図の電子顕
微鏡写真に示すように、ウィスカー状の異形物の混入が
多く、かつ第11図に示すように1幅の広い粒度分布を
有していた。
微鏡写真に示すように、ウィスカー状の異形物の混入が
多く、かつ第11図に示すように1幅の広い粒度分布を
有していた。
実施例1.2.3および比較例1.2における原料充填
密度その他の事項を第2表に示した。
密度その他の事項を第2表に示した。
(以下、余白、)
第2表
(注)形態観察および粒度分布に記載の番号は、各図面
の番号を示す。
の番号を示す。
[充用の効果コ
本発明によると、シソカ、金属珪素、カーボンの三成分
系を原料とする微粉炭化珪素の製造において、ウィスカ
ー等の異形物の混入がなく、焼結用に適した分布幅の狭
い粒径分布を有する微粉炭化珪素を、多段の粉砕工程を
要することなく、製造することができる方法を提供する
ことができた。
系を原料とする微粉炭化珪素の製造において、ウィスカ
ー等の異形物の混入がなく、焼結用に適した分布幅の狭
い粒径分布を有する微粉炭化珪素を、多段の粉砕工程を
要することなく、製造することができる方法を提供する
ことができた。
第1図は、本発明におけるシリカ、金属珪素およびカー
ボンの配合分量(モル%)を示す原料組成図、第2図は
図面代用写真であって、本発明の実施例1で得られた炭
化珪素の形j&を示す電子顕微鏡写真、第3図は前記実
施例1て得られた炭化珪素の粒度分布を示す粒度分布図
、第4図は図面代用写真てあって、本発明の実施例2て
得られた炭化珪素の形態を示す電子顕微鏡写真、第5図
は前記実施例2で得られた炭化珪素の粒度分布を示す粒
度分布図、第6図は図面代用写真であって、本発明の実
施例3で得られた炭化珪素の形態な示す電子顕微鏡写真
、第7図は前記実施例3で得られた炭化珪素の粒度分布
を示す粒度分布図、第8図は図面代用写真であって、比
較例1で得られた炭化珪素の形態を示す電子顕微鏡写真
、第9図は前記比較例1で得られた粒度分布を示す粒度
分布図、第1Oは図面代用写真であって、比較例2で得
られた炭化珪素の形態を示す電子顕微鏡写真および第1
1図は前記比較例2で得られた粒度分布を示す粒度分布
図である。 第1図 Si Sin>(モル%) 第、1図 第2図 第3図 第5図 第7図 1゛・ 第、9図 ・・ 第6図 第10図 第11図 「−続 補 正 、1:(方式) 昭和63年10 Jl 2ダロ
ボンの配合分量(モル%)を示す原料組成図、第2図は
図面代用写真であって、本発明の実施例1で得られた炭
化珪素の形j&を示す電子顕微鏡写真、第3図は前記実
施例1て得られた炭化珪素の粒度分布を示す粒度分布図
、第4図は図面代用写真てあって、本発明の実施例2て
得られた炭化珪素の形態を示す電子顕微鏡写真、第5図
は前記実施例2で得られた炭化珪素の粒度分布を示す粒
度分布図、第6図は図面代用写真であって、本発明の実
施例3で得られた炭化珪素の形態な示す電子顕微鏡写真
、第7図は前記実施例3で得られた炭化珪素の粒度分布
を示す粒度分布図、第8図は図面代用写真であって、比
較例1で得られた炭化珪素の形態を示す電子顕微鏡写真
、第9図は前記比較例1で得られた粒度分布を示す粒度
分布図、第1Oは図面代用写真であって、比較例2で得
られた炭化珪素の形態を示す電子顕微鏡写真および第1
1図は前記比較例2で得られた粒度分布を示す粒度分布
図である。 第1図 Si Sin>(モル%) 第、1図 第2図 第3図 第5図 第7図 1゛・ 第、9図 ・・ 第6図 第10図 第11図 「−続 補 正 、1:(方式) 昭和63年10 Jl 2ダロ
Claims (3)
- (1)原料としてのシリカ、金属珪素およびカーボンを
混合し、耐火性容器内に充填して高温で反応させること
による微粉炭化珪素の製造方法において、前記耐火性容
器内に充填した原料の混合物の充填密度を0.45g/
cm^3以上にすることを特徴とする微粉炭化珪素の製
造方法。 - (2)前記シリカがシリカコロイドである前記請求項1
に記載の微粉炭化珪素の製造方法。 - (3)前記耐火性容器内に充填した原料の混合物が、前
記シリカ、金属珪素およびカーボンを混合した後に造粒
して得られる造粒物である前記請求項1に記載の微粉炭
化珪素の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63084881A JPH01257117A (ja) | 1988-04-06 | 1988-04-06 | 微粉炭化珪素の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63084881A JPH01257117A (ja) | 1988-04-06 | 1988-04-06 | 微粉炭化珪素の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01257117A true JPH01257117A (ja) | 1989-10-13 |
Family
ID=13843115
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP63084881A Pending JPH01257117A (ja) | 1988-04-06 | 1988-04-06 | 微粉炭化珪素の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH01257117A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN114249594A (zh) * | 2020-09-21 | 2022-03-29 | 山东硅纳新材料科技有限公司 | 一种超细碳化硅粉体的制备工艺 |
-
1988
- 1988-04-06 JP JP63084881A patent/JPH01257117A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN114249594A (zh) * | 2020-09-21 | 2022-03-29 | 山东硅纳新材料科技有限公司 | 一种超细碳化硅粉体的制备工艺 |
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