JPH01131069A - 複合常圧焼結成形体 - Google Patents
複合常圧焼結成形体Info
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- JPH01131069A JPH01131069A JP62286487A JP28648787A JPH01131069A JP H01131069 A JPH01131069 A JP H01131069A JP 62286487 A JP62286487 A JP 62286487A JP 28648787 A JP28648787 A JP 28648787A JP H01131069 A JPH01131069 A JP H01131069A
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/515—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics
- C04B35/58—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides
- C04B35/583—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides based on boron nitride
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本発明は、窒化硼素−窒化アルミニウム複合常圧焼結成
形体に関するものである。
形体に関するものである。
〈従来の技術〉
近年、各種のセラミックスが産業用の材料部品等に多く
使用されるようになってきた。これは、セラミックスの
持つ優れた耐熱性、耐食性及び機械的強度等によるもの
である。最近、これらセラミックスの中で窒化硼素（Ｂ
Ｎ）、窒化アルミニウム（Ａ Ａ Ｎ）及び焼結助剤か
らなる複合材が開発されている。ＢＮにＡＩＮを複合さ
せる理由は、ＢＮの持つ耐食性、耐熱衝撃性に／ＩＮを
加えることにより熱伝導性、耐摩耗性及び機械的強を向
上させ放熱板、ブレークリング、バーナーノズル等の用
途に供することを主目的としたものである。
使用されるようになってきた。これは、セラミックスの
持つ優れた耐熱性、耐食性及び機械的強度等によるもの
である。最近、これらセラミックスの中で窒化硼素（Ｂ
Ｎ）、窒化アルミニウム（Ａ Ａ Ｎ）及び焼結助剤か
らなる複合材が開発されている。ＢＮにＡＩＮを複合さ
せる理由は、ＢＮの持つ耐食性、耐熱衝撃性に／ＩＮを
加えることにより熱伝導性、耐摩耗性及び機械的強を向
上させ放熱板、ブレークリング、バーナーノズル等の用
途に供することを主目的としたものである。
しかしながら、従来のＢＮ−ＡＡＮ系複合材は、焼結助
剤を用いるためＢＮが有する耐食性、耐熱衝撃性及びＡ
ｎＮが有する熱伝導性、耐摩耗性、機械的強度等の特性
が得られず、特に高温下における曲げ強さが著しく低下
する欠点があった。また、このような焼結体を得るに当
っては、焼結助剤を用いる常圧焼結法（特開昭６０〜１
９５０５９号公報）や１６００〜２０００℃の温度で１
００〜２００ ｋｇ／ｃｒＡの圧力をかけるホントプレ
ス法（特開昭６０−１９５０６０号公報）が知られてい
る。前者は、焼結助剤を使用するためＢＮ、ＡＮＮの持
つ本来の特性が得られず、後者は、大型形状品、複雑形
状品が得られず生産性が悪いという欠点があった。これ
らの理由で、耐摩耗性、耐食性、機械的強度及び耐熱衝
撃性に優れたＢＮ−ＡＩ！Ｎ複合常圧焼結成形体の提供
が望まれていた。
剤を用いるためＢＮが有する耐食性、耐熱衝撃性及びＡ
ｎＮが有する熱伝導性、耐摩耗性、機械的強度等の特性
が得られず、特に高温下における曲げ強さが著しく低下
する欠点があった。また、このような焼結体を得るに当
っては、焼結助剤を用いる常圧焼結法（特開昭６０〜１
９５０５９号公報）や１６００〜２０００℃の温度で１
００〜２００ ｋｇ／ｃｒＡの圧力をかけるホントプレ
ス法（特開昭６０−１９５０６０号公報）が知られてい
る。前者は、焼結助剤を使用するためＢＮ、ＡＮＮの持
つ本来の特性が得られず、後者は、大型形状品、複雑形
状品が得られず生産性が悪いという欠点があった。これ
らの理由で、耐摩耗性、耐食性、機械的強度及び耐熱衝
撃性に優れたＢＮ−ＡＩ！Ｎ複合常圧焼結成形体の提供
が望まれていた。
〈発明が解決しようとする問題点〉
本発明は、このようなりＮ−ＡｎＮ系複合焼結体の形状
制約と生産性を改善し従来得られなかった耐摩耗性、耐
熱衝撃性の良好なりＮ−ＡＡＮ複合常圧焼結成形体を提
供することを目的とするものである。
制約と生産性を改善し従来得られなかった耐摩耗性、耐
熱衝撃性の良好なりＮ−ＡＡＮ複合常圧焼結成形体を提
供することを目的とするものである。
〈問題点を解決するための手段〉
すなわち、本発明は、ＡＩＮ５−６５重量％、ＢＮ９５
〜３５重景％含有し７なる相対密度が７０％以上のＢＮ
−ＡＡＮ複合常圧焼結成形体である。
〜３５重景％含有し７なる相対密度が７０％以上のＢＮ
−ＡＡＮ複合常圧焼結成形体である。
以下本発明の詳細な説明する。
本発明のＢＮ−Ａｊ！Ｎ複合常圧焼結成形体において、
ＡｐＮが５重量％未満では、相対的にＢＮ含有量が多く
なり耐熱衝撃性が向上する反面、耐摩耗性及び曲げ強さ
が低下する。一方、ＡＩＮが６５重量％を超えると耐摩
耗性及び曲げ強さが向上する反面、相対的にＢＮ含有量
が少くなり耐熱衝撃性及び機械加工性が低下する。
ＡｐＮが５重量％未満では、相対的にＢＮ含有量が多く
なり耐熱衝撃性が向上する反面、耐摩耗性及び曲げ強さ
が低下する。一方、ＡＩＮが６５重量％を超えると耐摩
耗性及び曲げ強さが向上する反面、相対的にＢＮ含有量
が少くなり耐熱衝撃性及び機械加工性が低下する。
焼結体密度は、相対密度で７０％以上である。
相対密度が７０％未満の焼結体では、気孔が多く緻密で
ないため曲げ強、さ耐摩耗性及び耐熱衝撃性が向上せず
、高温構造部材、ブレークリング等の用途には適さない
。特に相対密度が８０％以上のものは、曲げ強さ、耐摩
耗性、耐熱衝撃性が著しく向上するため高度な耐摩耗性
、耐熱衝撃性が要求される分野での利用が期待される。
ないため曲げ強、さ耐摩耗性及び耐熱衝撃性が向上せず
、高温構造部材、ブレークリング等の用途には適さない
。特に相対密度が８０％以上のものは、曲げ強さ、耐摩
耗性、耐熱衝撃性が著しく向上するため高度な耐摩耗性
、耐熱衝撃性が要求される分野での利用が期待される。
本発明で用いる原料粉末について説明すると、ＢＮ粉末
は市販品が使用できるが、特に結晶性の高い六方晶のＢ
Ｎ粉末が良い。結晶性の高い六方晶のＢＮ粉末は、予備
成形時の可塑変形性に優れているために高密度の予備成
形体が得られ易い。
は市販品が使用できるが、特に結晶性の高い六方晶のＢ
Ｎ粉末が良い。結晶性の高い六方晶のＢＮ粉末は、予備
成形時の可塑変形性に優れているために高密度の予備成
形体が得られ易い。
また、ＡＡＮ粉末は市販品で良いが、望ましくは純度９
９％以上、平均粒子径／Ｉ４μｍ以下である。
９％以上、平均粒子径／Ｉ４μｍ以下である。
Ａ４Ｎの粒度が、ＢＮ粉末と同等あるいは微細粒はど焼
結体密度及び強度が向上する。
結体密度及び強度が向上する。
上記原料を混合するに当っては、最終製品組成になるよ
うにＢＮとＡ７！Ｎを振動ボールミル等で混合する方法
、比表面積が入手時のそれの２倍以上になるまで微粉砕
したＢＮとＡｌ１Ｎをボールミル等で混合する方法、あ
るいはＢＮとＡＩＮの混合物をアトライター等で比表面
積が元の２倍以上になるように微粉砕する方法が用いら
れる。
うにＢＮとＡ７！Ｎを振動ボールミル等で混合する方法
、比表面積が入手時のそれの２倍以上になるまで微粉砕
したＢＮとＡｌ１Ｎをボールミル等で混合する方法、あ
るいはＢＮとＡＩＮの混合物をアトライター等で比表面
積が元の２倍以上になるように微粉砕する方法が用いら
れる。
これらの粉末を成形するに当っては、一般に良く知られ
ている金型成形機、冷間等方圧成形機（ＣＩ Ｐ）等の
公知の成形機を用いることができる。成形圧力について
は、結晶性の高い大方晶のＢＮ粉末あるいは非晶質のＢ
Ｎ粉末をそのまま用いるときは、５ｔｏｎ／ｃ＋Ｊ以上
好ましくは７ ｔｏｒｌ／ｃイ以上である。５ｔｏｎ／
ＣＩＡ未満の成形圧力では、相対密度７０％以上の常圧
焼結体を得ることが困難となる。一方、微粉砕したＢＮ
粉末あるいはＢＮとＡｆＮを混合した後微粉砕した粉末
を用いるときは、２ｔｏｎ／ｃｎ以上で前記と同様の効
果が得られる。
ている金型成形機、冷間等方圧成形機（ＣＩ Ｐ）等の
公知の成形機を用いることができる。成形圧力について
は、結晶性の高い大方晶のＢＮ粉末あるいは非晶質のＢ
Ｎ粉末をそのまま用いるときは、５ｔｏｎ／ｃ＋Ｊ以上
好ましくは７ ｔｏｒｌ／ｃイ以上である。５ｔｏｎ／
ＣＩＡ未満の成形圧力では、相対密度７０％以上の常圧
焼結体を得ることが困難となる。一方、微粉砕したＢＮ
粉末あるいはＢＮとＡｆＮを混合した後微粉砕した粉末
を用いるときは、２ｔｏｎ／ｃｎ以上で前記と同様の効
果が得られる。
粉砕装置としては、一般に良く知られているボールミル
、振動ボールミル、アトライター、ライカイ機等の通常
の粉砕機を用いることができる。
、振動ボールミル、アトライター、ライカイ機等の通常
の粉砕機を用いることができる。
粉砕を行う場合は、元の粉末の比表面積の２倍以上好ま
しくは１０倍以上になるまで行う。２倍未満の粉砕では
、相対密度７０％以上の常圧焼結体を得ることを困難と
なる。
しくは１０倍以上になるまで行う。２倍未満の粉砕では
、相対密度７０％以上の常圧焼結体を得ることを困難と
なる。
粉砕を行う場合、それを酸化性雰囲気で行うと酸化物の
生成がみられそのまま焼成すると高温強度、耐熱衝撃性
が著しく低下するばかりでなく、焼結体にクラックが発
生する。従って、酸化物が生成しないような例えばＡｒ
、Ｎｚ等の非酸化性雰囲気下で行う必要がある。粉砕
を行ったものは、高強度でなおかつ耐摩耗性、耐熱衝撃
性に優れた常圧焼結体を得ることができる理由は、結晶
の格子不整及び部分的な非晶質化が進むと同時に新たな
形成された粒子面が現われ所謂メカノケミカル効果によ
り活性化された粉末が得られたためと考えられる。
生成がみられそのまま焼成すると高温強度、耐熱衝撃性
が著しく低下するばかりでなく、焼結体にクラックが発
生する。従って、酸化物が生成しないような例えばＡｒ
、Ｎｚ等の非酸化性雰囲気下で行う必要がある。粉砕
を行ったものは、高強度でなおかつ耐摩耗性、耐熱衝撃
性に優れた常圧焼結体を得ることができる理由は、結晶
の格子不整及び部分的な非晶質化が進むと同時に新たな
形成された粒子面が現われ所謂メカノケミカル効果によ
り活性化された粉末が得られたためと考えられる。
焼成は、１２００〜２１００℃の非酸化性雰囲気で行う
。焼成温度が１２００℃未満では、ＢＮ粒同志及びＢＮ
粒とＡＩＮ粒が直接結合しにくいので高強度の常圧焼結
体が得られない。また、２１００′Ｃを超えるとＢＮ、
ＡｎＮが熱分解を起こし、その本来の性質を失う。特に
高い耐摩耗性、耐熱衝撃性の焼結体う得るには１３００
〜１８００℃の非酸化性雰囲気下で焼成することが好ま
しい。
。焼成温度が１２００℃未満では、ＢＮ粒同志及びＢＮ
粒とＡＩＮ粒が直接結合しにくいので高強度の常圧焼結
体が得られない。また、２１００′Ｃを超えるとＢＮ、
ＡｎＮが熱分解を起こし、その本来の性質を失う。特に
高い耐摩耗性、耐熱衝撃性の焼結体う得るには１３００
〜１８００℃の非酸化性雰囲気下で焼成することが好ま
しい。
非酸化性雰囲気としては、Ｈｅ 、Ａｒ ％ Ｎ２等の
不活性雰囲気かまたは真空中であるが、望ましくは、Ｂ
Ｎ、／Ｍ！Ｎの分解を抑制する効果のあるＮ２雰囲気が
好ましい。酸化雰囲気で焼成すると、耐食性、耐熱衝撃
性、耐摩耗性が著しく低下するばかりでなく焼結体にク
ラックが発生ずる。焼成装置としては、タンマン炉、高
周波炉、抵抗加熱炉が用いられる。
不活性雰囲気かまたは真空中であるが、望ましくは、Ｂ
Ｎ、／Ｍ！Ｎの分解を抑制する効果のあるＮ２雰囲気が
好ましい。酸化雰囲気で焼成すると、耐食性、耐熱衝撃
性、耐摩耗性が著しく低下するばかりでなく焼結体にク
ラックが発生ずる。焼成装置としては、タンマン炉、高
周波炉、抵抗加熱炉が用いられる。
〈実施例〉
以下本発明を実施例並びに比較例をもってさらに具体的
説明するが、本発明は何らこれらに限定されるものでは
ない。
説明するが、本発明は何らこれらに限定されるものでは
ない。
実施例Ｉ
ＢＮ粉末（六方晶、純度９９％、比表面積６ｍｌ／ｇ）
４０重量部に／ＩＮ粉末（純度９９％、比表面積４ｒｒ
ｒ／ｇ）６０重量部を添加した後、振動ボールミルにて
混合し、成形用混合粉末を得た。
４０重量部に／ＩＮ粉末（純度９９％、比表面積４ｒｒ
ｒ／ｇ）６０重量部を添加した後、振動ボールミルにて
混合し、成形用混合粉末を得た。
この混合粉末を５ｔｏｗ＋／ｃＪの圧力で冷間等方圧成
形した後、それを前記ＢＮ粉の入った黒鉛容器中に埋め
込み高周波炉にて１７００°Ｃ１６０分間、Ｎ２雰囲気
下で焼成した。得られた焼結体の組成、相対密度、曲げ
強さ、ショアー硬度、熱伝導率、耐熱衝撃性の測定結果
を表に示す。
形した後、それを前記ＢＮ粉の入った黒鉛容器中に埋め
込み高周波炉にて１７００°Ｃ１６０分間、Ｎ２雰囲気
下で焼成した。得られた焼結体の組成、相対密度、曲げ
強さ、ショアー硬度、熱伝導率、耐熱衝撃性の測定結果
を表に示す。
実施例２
実施例１で得た成形用混合粉末を用い、成形圧力を７ｔ
ｏｎ／ｃｎ及び焼成温度を１４００°Ｃとしたこと以外
は実施例１と同様の方法にて実施した。
ｏｎ／ｃｎ及び焼成温度を１４００°Ｃとしたこと以外
は実施例１と同様の方法にて実施した。
実施例３
硼酸とメラミンとを１：１の重量比率で混合しそれをア
ンモニアガス気流中にて１２００℃、４時間、加熱処理
してＢＮ純度９０％、比表面積５０ｎ？／ｇのＢＮ粉末
を得た。この粉末をＸ線回折した結果、非晶質ＢＮであ
ることが判った。この粉末６０重量部にＡＩＮ粉末４０
重量部を添加した後ボールミルにて混合し成形用混合粉
末を得た。この混合粉末を用い焼成温度を１６００℃と
したこと以外は実施例１と同様の方法にて実施した。
ンモニアガス気流中にて１２００℃、４時間、加熱処理
してＢＮ純度９０％、比表面積５０ｎ？／ｇのＢＮ粉末
を得た。この粉末をＸ線回折した結果、非晶質ＢＮであ
ることが判った。この粉末６０重量部にＡＩＮ粉末４０
重量部を添加した後ボールミルにて混合し成形用混合粉
末を得た。この混合粉末を用い焼成温度を１６００℃と
したこと以外は実施例１と同様の方法にて実施した。
実施例４
実施例１で用いたＢＮ粉末を了トライターで比表面積が
５Ｏｎ？／ｇになるまでＮ２雰囲気下にて粉砕しＢＮＩ
粉末を得た。比表面積の測定は、ＢＥＴ法にて測定した
。この粉末８０重量部にｉＮ粉末２０重量部添加した後
ボールミルにて混合し成形用混合粉末を得た。
５Ｏｎ？／ｇになるまでＮ２雰囲気下にて粉砕しＢＮＩ
粉末を得た。比表面積の測定は、ＢＥＴ法にて測定した
。この粉末８０重量部にｉＮ粉末２０重量部添加した後
ボールミルにて混合し成形用混合粉末を得た。
この混合粉末を用いたこと以外は実施例１と同様の方法
にて実施した。
にて実施した。
実施Ｍｌ
実施例４で得た成形用混合粉を用い、これを２ｔｏｎ／
ｃＪの金型成形で行ったこと以外は実施例１と同様の方
法にて実施した。
ｃＪの金型成形で行ったこと以外は実施例１と同様の方
法にて実施した。
実施例６
実施例１で用いたＢＮ粉末９０重量部にＡｎＮ粉末１０
重量部を添加した後、アトライターで比表面積が６０ｒ
ｒｒ／ｇになるまでＡｒ雰囲気下にて粉砕し成形用混合
粉末を得た。この混合粉末を用いたこと以外は実施例１
と同様の方法にて実施した。
重量部を添加した後、アトライターで比表面積が６０ｒ
ｒｒ／ｇになるまでＡｒ雰囲気下にて粉砕し成形用混合
粉末を得た。この混合粉末を用いたこと以外は実施例１
と同様の方法にて実施した。
スフ１ｆｆ９１Ｊ７
実施例６で得た成形用混合粉末を用いこれを２ｔｏｎ／
ｃ＋ｄの金型で行ったこと以外は実施例１と同様の方法
にて実施した。
ｃ＋ｄの金型で行ったこと以外は実施例１と同様の方法
にて実施した。
比較例１
実施例１で用いたＢＮ粉末９７重量部にＡ７！Ｎ粉末３
重量部を添加した後振動ボールミルにて混合し成形用混
合粉末を得た。この混合粉末を用い２ｔｏａ’／ｃ＋ａ
の金型成形で行ったこと以外は実施例１と同様の方法に
て実施した。
重量部を添加した後振動ボールミルにて混合し成形用混
合粉末を得た。この混合粉末を用い２ｔｏａ’／ｃ＋ａ
の金型成形で行ったこと以外は実施例１と同様の方法に
て実施した。
比較例２
実施例１で用いたＢＮ粉末５０重量部にＡｐＮ粉末４７
．５重量部及びＹ２０３２．５重量部添加した後、振動
ボールミルにて混合し成形用混合粉末を得た。この混合
粉末を用い成形圧力を５ ｔｏｓ ／ ｃｒａとしたこ
と以外は実施例１と同様の方法にて実施した。
．５重量部及びＹ２０３２．５重量部添加した後、振動
ボールミルにて混合し成形用混合粉末を得た。この混合
粉末を用い成形圧力を５ ｔｏｓ ／ ｃｒａとしたこ
と以外は実施例１と同様の方法にて実施した。
比較例３
実施例１で用いた。ＩＮ粉末７０重量部にＢＮ粉末３０
重量部を添加した後、振動ボールミルにて混合し、成形
用混合粉末を得た。この混合粉末を用いたこと以外は実
施例１と同様の方法にて実施した。
重量部を添加した後、振動ボールミルにて混合し、成形
用混合粉末を得た。この混合粉末を用いたこと以外は実
施例１と同様の方法にて実施した。
尚、表に記載した各物性の測定は次の方法によった。
＋ｌ） 相対密度−焼結体の寸法により体積を求め、
その重量から密度を求めた後、相対密度（％）−密度（
ｇ／ｃ＋Ｊ）／理論密度（ｇ／ｃＪ） Ｘ １００（７
）式で算出した。
その重量から密度を求めた後、相対密度（％）−密度（
ｇ／ｃ＋Ｊ）／理論密度（ｇ／ｃＪ） Ｘ １００（７
）式で算出した。
（２）常温曲げ強さ−ＪＩＳ Ｒ１６０１に準拠して
測定した。
測定した。
（３） ショアー硬度−・ＪＩＳ Ｚ２２４６に準
拠して測定した。
拠して測定した。
（４）熱伝導率−レーザーフラッシュ法によった。
（５）耐熱衝撃性−焼結体より切出した試料を一定温度
に加熱保持した後、この試料を２０℃の水中に急冷投入
して熱衝撃を加え、急冷後の試料の曲げ強さを測定して
急激な曲げ強さの低下がおき始める臨界温度差ΔＴを求
め耐熱衝撃性とした。
に加熱保持した後、この試料を２０℃の水中に急冷投入
して熱衝撃を加え、急冷後の試料の曲げ強さを測定して
急激な曲げ強さの低下がおき始める臨界温度差ΔＴを求
め耐熱衝撃性とした。
〈発明の効果〉
本発明によるＢＮ−Ａ７！Ｎ複合常圧焼結成形体は、熱
伝導性、耐摩耗性、曲げ強さ、耐熱衝撃性に優れている
ために、放熱板、ブレークリング、バーナー、ノズル等
の用途に利用できる。
伝導性、耐摩耗性、曲げ強さ、耐熱衝撃性に優れている
ために、放熱板、ブレークリング、バーナー、ノズル等
の用途に利用できる。
特許出願人 電気化学工業株式会社
Claims (1)
- １．ＡｌＮ５〜６５重量％、ＢＮ９５〜３５重量％含有
してなる相対密度が７０％以上の窒化硼素−窒化アルミ
ニウム複合常圧焼結成形体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62286487A JPH01131069A (ja) | 1987-11-14 | 1987-11-14 | 複合常圧焼結成形体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62286487A JPH01131069A (ja) | 1987-11-14 | 1987-11-14 | 複合常圧焼結成形体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01131069A true JPH01131069A (ja) | 1989-05-23 |
Family
ID=17705038
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62286487A Pending JPH01131069A (ja) | 1987-11-14 | 1987-11-14 | 複合常圧焼結成形体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01131069A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0244067A (ja) * | 1988-08-04 | 1990-02-14 | Koransha Co Ltd | 耐溶損性に優れたｂｎ系常圧焼結セラミック |
| JPH0416563A (ja) * | 1990-05-11 | 1992-01-21 | Nec Corp | セラミックス複合材料 |
| JPH0748173A (ja) * | 1993-03-26 | 1995-02-21 | Advanced Ceramics Corp | 耐浸蝕性と耐蝕性に優れるセラミック複合材料とその製造法 |
| JP2007162737A (ja) * | 2005-12-09 | 2007-06-28 | Nok Corp | 樹脂ベローズおよびその製造方法 |
| JP2008001536A (ja) * | 2006-06-20 | 2008-01-10 | Osaka Univ | 窒化アルミニウム・窒化ホウ素複合粉末およびその製造方法 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5832073A (ja) * | 1981-08-21 | 1983-02-24 | 株式会社日立製作所 | 焼結体 |
| JPS60195059A (ja) * | 1984-03-15 | 1985-10-03 | 株式会社トクヤマ | 複合焼結体 |
| JPS61182710A (ja) * | 1985-02-08 | 1986-08-15 | Toshiba Chem Corp | 多層回路基板の内層基準穴穿孔装置 |
| JPS62116627A (ja) * | 1985-10-10 | 1987-05-28 | ソルベイ（ソシエテ アノニム） | 臭素化ポリエーテルポリオール及びその製造方法 |
-
1987
- 1987-11-14 JP JP62286487A patent/JPH01131069A/ja active Pending
Patent Citations (4)
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|---|---|---|---|---|
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| JP2008001536A (ja) * | 2006-06-20 | 2008-01-10 | Osaka Univ | 窒化アルミニウム・窒化ホウ素複合粉末およびその製造方法 |
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