JPH01255143A - 電子顕微鏡におけるx線分析装置 - Google Patents
電子顕微鏡におけるx線分析装置Info
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- JPH01255143A JPH01255143A JP63081009A JP8100988A JPH01255143A JP H01255143 A JPH01255143 A JP H01255143A JP 63081009 A JP63081009 A JP 63081009A JP 8100988 A JP8100988 A JP 8100988A JP H01255143 A JPH01255143 A JP H01255143A
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/244—Detectors; Associated components or circuits therefor
-
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
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- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/244—Detection characterized by the detecting means
- H01J2237/2441—Semiconductor detectors, e.g. diodes
- H01J2237/24415—X-ray
- H01J2237/2442—Energy-dispersive (Si-Li type) spectrometer
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
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- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は、電子顕微鏡において電子線の照射により試料
から発生するX線を検出し、試料の分析を行うX線分析
装置の改良に関する。
から発生するX線を検出し、試料の分析を行うX線分析
装置の改良に関する。
[従来の技術]
この種装置としては、試料からのX線を分光結晶により
各波長ごとに分散して分析する分散型分析装置と分光結
晶を用いずに試料からのX線を直接半導体X線検出素子
で検出し、電気的に各波長ごとに分析する非分散型分析
装置がある。
各波長ごとに分散して分析する分散型分析装置と分光結
晶を用いずに試料からのX線を直接半導体X線検出素子
で検出し、電気的に各波長ごとに分析する非分散型分析
装置がある。
第3図及び第4図はかかる非分散型X線分析装置を備え
た電子顕微鏡の従来例を示す図であり、1は電子顕微鏡
の鏡体、2.3は対物レンズの上磁極片及び下磁極片、
4はその両者間に置かれた試料、5はこの試料に図示外
の電子銃からの電子線が光軸Zに沿って照射されること
により発生する特性X線Xを検出するための半導体から
なるX線検出素子で、このX線検出素子は熱伝導棒6の
先端部に取り付けられている。前記熱伝導棒6の軸心は
X線発生点Oを中心にして光軸Zと交差する軸S上に配
置されており、また、熱伝導棒6の他端は前記鏡体1を
貫通して大気中に取り出され内部に例えば液体窒素7を
満した冷却槽8に固定される。これにより熱伝導棒を介
してX線検出素子4が液体窒素温度まで冷却される。9
はこの熱伝導棒6の外周を隙間を保って包囲するように
設けられた筒体で、この筒体の他端は熱伝導棒6と同様
に鏡体1を貫通して大気中に取り出され、冷却槽8の外
周を包囲した外筒10に接続されている。また、この筒
体のX線検出素子4と対向する端部にはX線を通過させ
る窓11が設けてあり、この窓には例えばベリリウムの
ようなX線透過可能な薄膜が張り付けである。この薄膜
を張り付けることにより筒体9内は密閉され、それによ
ってこの筒体9及び外筒10の内部は真空に保たれる。
た電子顕微鏡の従来例を示す図であり、1は電子顕微鏡
の鏡体、2.3は対物レンズの上磁極片及び下磁極片、
4はその両者間に置かれた試料、5はこの試料に図示外
の電子銃からの電子線が光軸Zに沿って照射されること
により発生する特性X線Xを検出するための半導体から
なるX線検出素子で、このX線検出素子は熱伝導棒6の
先端部に取り付けられている。前記熱伝導棒6の軸心は
X線発生点Oを中心にして光軸Zと交差する軸S上に配
置されており、また、熱伝導棒6の他端は前記鏡体1を
貫通して大気中に取り出され内部に例えば液体窒素7を
満した冷却槽8に固定される。これにより熱伝導棒を介
してX線検出素子4が液体窒素温度まで冷却される。9
はこの熱伝導棒6の外周を隙間を保って包囲するように
設けられた筒体で、この筒体の他端は熱伝導棒6と同様
に鏡体1を貫通して大気中に取り出され、冷却槽8の外
周を包囲した外筒10に接続されている。また、この筒
体のX線検出素子4と対向する端部にはX線を通過させ
る窓11が設けてあり、この窓には例えばベリリウムの
ようなX線透過可能な薄膜が張り付けである。この薄膜
を張り付けることにより筒体9内は密閉され、それによ
ってこの筒体9及び外筒10の内部は真空に保たれる。
[発明が解決しようとする課題]
ところで、試料4からの特性X線XをX線検出器で検出
する場合において、感度の向上を図るには第4図で示す
X線発生点0からX線検出素子5の受光面を見込む角(
以下見込角と称す)αをできるだけ大きくして単位時間
あたりのX線検出量を多くしなければならない。つまり
、X線検出素子の受光面の表面積をできるだけ広くする
必要がある。
する場合において、感度の向上を図るには第4図で示す
X線発生点0からX線検出素子5の受光面を見込む角(
以下見込角と称す)αをできるだけ大きくして単位時間
あたりのX線検出量を多くしなければならない。つまり
、X線検出素子の受光面の表面積をできるだけ広くする
必要がある。
しかしながら、従来装置においては第4図で示すように
光軸Zと交差する軸S上に配置した熱伝導棒6の先端に
X線検出素子5を取り付けているため、感度向上のため
にX線検出素子の受光面を大きくすると、それに伴って
伝熱伝導棒(筒体9−)の径を大きくしなければならな
い。従って構造の大型化を避けることができない。また
、筒体9が大きくなれば、上磁極片2及び下磁極片3と
の接触を避けるためにこの筒体を遠ざけなければならず
、結果として、見込角が小さくなってしまう。
光軸Zと交差する軸S上に配置した熱伝導棒6の先端に
X線検出素子5を取り付けているため、感度向上のため
にX線検出素子の受光面を大きくすると、それに伴って
伝熱伝導棒(筒体9−)の径を大きくしなければならな
い。従って構造の大型化を避けることができない。また
、筒体9が大きくなれば、上磁極片2及び下磁極片3と
の接触を避けるためにこの筒体を遠ざけなければならず
、結果として、見込角が小さくなってしまう。
そこで、本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり
、熱伝導棒(筒体)を大きくすることなくX線検出量を
多くすることのできるX線分析装置を提供するものであ
る。
、熱伝導棒(筒体)を大きくすることなくX線検出量を
多くすることのできるX線分析装置を提供するものであ
る。
[課題を解決するための手段]
上記目的を達成するため、本発明のX線分析装置は、対
物レンズ中に置かれた試料に電子線を照射することによ
り発生するX線を検出するX線検出素子と、該X線検出
素子を冷却するための熱伝導棒と、該熱伝導棒の外周に
沿って隙間を保って配置された筒体とを備え、前記熱伝
導棒を電子線光軸から離れた位置に電子線光軸と略直交
するように配置し、試料と対向する前記筒体外周の部分
にX線通過用窓を形成すると共に、該窓を通して入射す
るX線を検出できるように前記X線検出素子を熱伝導棒
に取り付けたことを特徴とするものである。
物レンズ中に置かれた試料に電子線を照射することによ
り発生するX線を検出するX線検出素子と、該X線検出
素子を冷却するための熱伝導棒と、該熱伝導棒の外周に
沿って隙間を保って配置された筒体とを備え、前記熱伝
導棒を電子線光軸から離れた位置に電子線光軸と略直交
するように配置し、試料と対向する前記筒体外周の部分
にX線通過用窓を形成すると共に、該窓を通して入射す
るX線を検出できるように前記X線検出素子を熱伝導棒
に取り付けたことを特徴とするものである。
以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳説する。
[実施例]
第1図は本発明の一実施例を示す要部断面図、第2図は
そのBB断面図であり、第3図及び第4図と同一符号の
ものは同一構成要素を示す。
そのBB断面図であり、第3図及び第4図と同一符号の
ものは同一構成要素を示す。
本実施例においては、熱伝導棒6(筒体9)の軸心を光
軸Zと略直交しかつ光軸2から距離ρだけ離れた軸L1
上に設置する。また、筒体9を有底状に形成すると共に
、その外周面の試料4と対向する部分に薄膜を張り付け
たX線通過用窓11を形成する。さらに、この窓と対向
する熱伝導棒6の外周部分に切欠部12を形成してX線
検出素子5を取り付ける。
軸Zと略直交しかつ光軸2から距離ρだけ離れた軸L1
上に設置する。また、筒体9を有底状に形成すると共に
、その外周面の試料4と対向する部分に薄膜を張り付け
たX線通過用窓11を形成する。さらに、この窓と対向
する熱伝導棒6の外周部分に切欠部12を形成してX線
検出素子5を取り付ける。
このように構成すれば、X線検出素子5は熱伝導棒6(
筒体9)の軸心方向に沿って取り付けられるため、X線
検出素子5の長さを長くするだけで、見込角αを大きく
することができ、感度の向上が図られ、また構造の小形
化が図られる。また、筒体9のシール面の径も小さくて
すむため、真空漏れによる試料汚染を防止することもで
きる。さらに、筒体を上磁極片2と下磁極片3間に配置
してX線検出素子5をできるだけ試料4に接近させるこ
とが可能となる。さらに、また、筒体9部分が小形であ
るため、X線検出素子を使用しない場合にこのX線検出
素子を各磁極片外に移動させるための移動機構も簡略化
できると共に、移動をスムーズに行わせることができる
。
筒体9)の軸心方向に沿って取り付けられるため、X線
検出素子5の長さを長くするだけで、見込角αを大きく
することができ、感度の向上が図られ、また構造の小形
化が図られる。また、筒体9のシール面の径も小さくて
すむため、真空漏れによる試料汚染を防止することもで
きる。さらに、筒体を上磁極片2と下磁極片3間に配置
してX線検出素子5をできるだけ試料4に接近させるこ
とが可能となる。さらに、また、筒体9部分が小形であ
るため、X線検出素子を使用しない場合にこのX線検出
素子を各磁極片外に移動させるための移動機構も簡略化
できると共に、移動をスムーズに行わせることができる
。
尚、前述の説明は本発明の一例であり、実施にあっては
幾多の変形が考えられる。例えば上記実施例ではX線通
過用窓に薄膜を張り付けたが、これに限定されることな
く、窓部分に移動可能な板体を設け、この板体に薄膜を
張付けた開口と薄膜を張付けない開口を形成し、分析目
的に応じて両開口を任意に切り換えるように構成しても
良い。
幾多の変形が考えられる。例えば上記実施例ではX線通
過用窓に薄膜を張り付けたが、これに限定されることな
く、窓部分に移動可能な板体を設け、この板体に薄膜を
張付けた開口と薄膜を張付けない開口を形成し、分析目
的に応じて両開口を任意に切り換えるように構成しても
良い。
[効果コ
以上詳述したように本発明によれば、X線検出素子を熱
伝導棒の外周の軸方向に沿って取り付けるようになして
いるため、従来装置のように筒体を大きくすることなく
、X線検出素子の受光面の表面積を広くすることができ
る。そのため構造の大型化を伴うことなく感度の向上を
図ることができる。
伝導棒の外周の軸方向に沿って取り付けるようになして
いるため、従来装置のように筒体を大きくすることなく
、X線検出素子の受光面の表面積を広くすることができ
る。そのため構造の大型化を伴うことなく感度の向上を
図ることができる。
第1図は本発明の一実施例を示す要部断面図、第2図は
第1図のBB断面図、第3図は従来例を説明するための
断面図、第4図は第3図のAA矢視図である。 1:tf!体 2:上磁極片3:下磁極片
4:試料 5:X線検出素子 6:熱伝導棒 9:筒体 11:窓
第1図のBB断面図、第3図は従来例を説明するための
断面図、第4図は第3図のAA矢視図である。 1:tf!体 2:上磁極片3:下磁極片
4:試料 5:X線検出素子 6:熱伝導棒 9:筒体 11:窓
Claims (1)
- 対物レンズ中に置かれた試料に電子線を照射することに
より発生するX線を検出するX線検出素子と、該X線検
出素子を冷却するための熱伝導棒と、該熱伝導棒の外周
に沿って隙間を保って配置された筒体とを備え、前記熱
伝導棒を電子線光軸から離れた位置に電子線光軸と略直
交するように配置し、試料と対向する前記筒体外周の部
分にX線通過用窓を形成すると共に、該窓を通して入射
するX線を検出できるように前記X線検出素子を熱伝導
棒に取り付けたことを特徴とする電子顕微鏡におけるX
線分析装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63081009A JP2582114B2 (ja) | 1988-04-01 | 1988-04-01 | 電子顕微鏡におけるx線分析装置 |
US07/330,629 US4910399A (en) | 1988-04-01 | 1989-03-30 | Electron microscope having X-ray detector |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63081009A JP2582114B2 (ja) | 1988-04-01 | 1988-04-01 | 電子顕微鏡におけるx線分析装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01255143A true JPH01255143A (ja) | 1989-10-12 |
JP2582114B2 JP2582114B2 (ja) | 1997-02-19 |
Family
ID=13734510
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP63081009A Expired - Fee Related JP2582114B2 (ja) | 1988-04-01 | 1988-04-01 | 電子顕微鏡におけるx線分析装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4910399A (ja) |
JP (1) | JP2582114B2 (ja) |
Families Citing this family (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4962306A (en) * | 1989-12-04 | 1990-10-09 | Intenational Business Machines Corporation | Magnetically filtered low loss scanning electron microscopy |
US5047648A (en) * | 1990-04-20 | 1991-09-10 | Applied Materials, Inc. | Method and apparatus for detecting particles in ion implantation machines |
JPH0511061A (ja) * | 1991-07-05 | 1993-01-19 | Jeol Ltd | エネルギー分散型x線検出器 |
JPH05182625A (ja) * | 1991-12-27 | 1993-07-23 | Jeol Ltd | 対物レンズ |
JPH05251028A (ja) * | 1992-03-09 | 1993-09-28 | Jeol Ltd | X線分析装置を備えた電子顕微鏡 |
US5235817A (en) * | 1992-04-02 | 1993-08-17 | North American Philips Corp. | Cryogenic cooling apparatus for radiation detector |
US5302831A (en) * | 1992-04-30 | 1994-04-12 | North American Philips Corporation | Dewar construction for cooling radiation detector cold finger |
US5903004A (en) * | 1994-11-25 | 1999-05-11 | Hitachi, Ltd. | Energy dispersive X-ray analyzer |
US5552608A (en) * | 1995-06-26 | 1996-09-03 | Philips Electronics North America Corporation | Closed cycle gas cryogenically cooled radiation detector |
US5847388A (en) * | 1997-06-11 | 1998-12-08 | Noran Instruments, Inc. | Collimator for high takeoff angle energy dispersive spectroscopy (EDS) detectors |
JP2002329473A (ja) * | 2001-02-27 | 2002-11-15 | Jeol Ltd | X線分光器を備えた透過型電子顕微鏡 |
US8080791B2 (en) | 2008-12-12 | 2011-12-20 | Fei Company | X-ray detector for electron microscope |
US8314386B2 (en) * | 2010-03-26 | 2012-11-20 | Uchicago Argonne, Llc | High collection efficiency X-ray spectrometer system with integrated electron beam stop, electron detector and X-ray detector for use on electron-optical beam lines and microscopes |
US8336405B2 (en) | 2010-07-28 | 2012-12-25 | E.A. Fischione Instruments, Inc. | Cryogenic specimen holder |
JP6008965B2 (ja) | 2011-08-05 | 2016-10-19 | イー エイ フィシオネ インストルメンツ インコーポレーテッドE.A.Fischione Instruments, Inc. | 改良型低温試料ホルダ |
US10269536B2 (en) | 2015-03-25 | 2019-04-23 | Hitachi High-Technologies Corporation | Electron microscope |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS553129A (en) * | 1978-06-21 | 1980-01-10 | Jeol Ltd | X-ray analyzer for scanning electron microscope or the like |
JPS57199847U (ja) * | 1981-06-17 | 1982-12-18 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB1420803A (en) * | 1973-06-28 | 1976-01-14 | Ass Elect Ind | Electron microscopes |
JPS60220541A (ja) * | 1984-04-17 | 1985-11-05 | Jeol Ltd | 透過電子顕微鏡 |
-
1988
- 1988-04-01 JP JP63081009A patent/JP2582114B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1989
- 1989-03-30 US US07/330,629 patent/US4910399A/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS553129A (en) * | 1978-06-21 | 1980-01-10 | Jeol Ltd | X-ray analyzer for scanning electron microscope or the like |
JPS57199847U (ja) * | 1981-06-17 | 1982-12-18 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US4910399A (en) | 1990-03-20 |
JP2582114B2 (ja) | 1997-02-19 |
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