JPH01250804A - 干渉計 - Google Patents
干渉計Info
- Publication number
- JPH01250804A JPH01250804A JP8009188A JP8009188A JPH01250804A JP H01250804 A JPH01250804 A JP H01250804A JP 8009188 A JP8009188 A JP 8009188A JP 8009188 A JP8009188 A JP 8009188A JP H01250804 A JPH01250804 A JP H01250804A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- beam splitter
- polarizer
- splitter
- polarizing beam
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 33
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 11
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 7
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 4
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 claims 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 15
- 230000010287 polarization Effects 0.000 abstract description 15
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 206010041662 Splinter Diseases 0.000 description 5
- 230000010363 phase shift Effects 0.000 description 4
- 230000001934 delay Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はレーザビーム等の光ビームに対して生成した測
定光と参照光を同一光路上に供給し、これを複数の光路
へ相互に位相差を持たせて分割して測定光の光路長変化
を測定する干渉計の改良に関する。
定光と参照光を同一光路上に供給し、これを複数の光路
へ相互に位相差を持たせて分割して測定光の光路長変化
を測定する干渉計の改良に関する。
干渉計として、例えば、第6図に示すような4相の信号
を得るレーザ干渉計がある。
を得るレーザ干渉計がある。
第6図において、レーザ光源10はS偏光成分とP偏光
成分を含んだレーザビーム12を発生し、その光路上に
偏光ビームスプリッタ14及び移動反射体としてのコー
ナキューブ16が配設されている。
成分を含んだレーザビーム12を発生し、その光路上に
偏光ビームスプリッタ14及び移動反射体としてのコー
ナキューブ16が配設されている。
Gtビームスプリッタ14はレーザビーム12のP偏光
成分を直進させると共に、S偏光弁を入射ビームに対し
直交する方向へ反射させる。この反射光を再び偏光ビー
ムスプリンタ14へ反射させて参照光を得るために、固
定反射体としてのコーナキューブプリズム18が偏光ビ
ームスブリ・7タ14に装着されている。
成分を直進させると共に、S偏光弁を入射ビームに対し
直交する方向へ反射させる。この反射光を再び偏光ビー
ムスプリンタ14へ反射させて参照光を得るために、固
定反射体としてのコーナキューブプリズム18が偏光ビ
ームスブリ・7タ14に装着されている。
さらに、コーナキューブプリズム16による反射光路上
には、偏光ビームスプリッタ14を介して、172波長
板20、ビームスプリッタ24、偏光ビームスプリッタ
26及びフォトディテクタ28が順次配設されている。
には、偏光ビームスプリッタ14を介して、172波長
板20、ビームスプリッタ24、偏光ビームスプリッタ
26及びフォトディテクタ28が順次配設されている。
ビームスプリッタ24は一部を偏光ビームスプリッタ2
6へ直進させ、残りを入射ビームに直交する方向へ反射
させる。ビームスプリッタ24を反射したレーザビーム
の光路上には 174波長板32、偏光ビームスプリッ
タ34及びフォトディテクタ36が順次配設されている
。偏光ビームスプリッタ34は、入射ビームのP偏光弁
を直進させてフォトディテクタ36へ供給し、S偏光弁
を入射ビームに直交する方向へ反射させる。この反射ビ
ームの光路上に、フォトディテクタ38が配設されてい
る。
6へ直進させ、残りを入射ビームに直交する方向へ反射
させる。ビームスプリッタ24を反射したレーザビーム
の光路上には 174波長板32、偏光ビームスプリッ
タ34及びフォトディテクタ36が順次配設されている
。偏光ビームスプリッタ34は、入射ビームのP偏光弁
を直進させてフォトディテクタ36へ供給し、S偏光弁
を入射ビームに直交する方向へ反射させる。この反射ビ
ームの光路上に、フォトディテクタ38が配設されてい
る。
一方偏光ビームスプリツタ26は、入射ビームのP偏光
弁をフォトディテクタ28へ直進させると共に、S偏光
弁を入射ビームに直交する方向へ反射させ、その光路上
に配設されたフォトディテクタ30へ供給する。以上の
構成において、レーザ光源10で発生したレーザビーム
12は、偏光ビームスプリッタ14によってP偏光弁が
コーナキューブプリズム16に送られ、S偏光弁はコー
ナキューブプリズム18に送られる。コーナキューブプ
リズム16及び18の各々で反射したレーザビームは再
び偏光ビームスプリッタ14に戻され、同一の光路を経
て偏光ビームスプリッタ14より出射する。コーナキュ
ーブプリズム18より反射するレーザビームは参照光と
なり、コーナキューブプリズム16より反射するレーザ
ビームは測定光となり、偏光ビームスプリッタ14を出
射した光路上で参照光と測定光とが干渉する。その干渉
縞はコーナキューブプリズム16の光路方向への移動量
に応じて変化する。コーナキューブプリズム16は、長
さ、距離等を測定するために移動する部材に装着されて
いる。
弁をフォトディテクタ28へ直進させると共に、S偏光
弁を入射ビームに直交する方向へ反射させ、その光路上
に配設されたフォトディテクタ30へ供給する。以上の
構成において、レーザ光源10で発生したレーザビーム
12は、偏光ビームスプリッタ14によってP偏光弁が
コーナキューブプリズム16に送られ、S偏光弁はコー
ナキューブプリズム18に送られる。コーナキューブプ
リズム16及び18の各々で反射したレーザビームは再
び偏光ビームスプリッタ14に戻され、同一の光路を経
て偏光ビームスプリッタ14より出射する。コーナキュ
ーブプリズム18より反射するレーザビームは参照光と
なり、コーナキューブプリズム16より反射するレーザ
ビームは測定光となり、偏光ビームスプリッタ14を出
射した光路上で参照光と測定光とが干渉する。その干渉
縞はコーナキューブプリズム16の光路方向への移動量
に応じて変化する。コーナキューブプリズム16は、長
さ、距離等を測定するために移動する部材に装着されて
いる。
偏光ビームスプリッタ14よりの光ビームは、172波
長板20を通過する際に、測定光、参照光の偏光方向を
45度回転したのちビームスプリッタ24で2力向へ分
割される。ビームスプリンタ24で直進方向へ分割され
た光ビームは、さらに偏光ビームスプリンタ26によっ
てP偏光弁が直進し、これに直交するS偏光弁がフォト
ディテクタ30へ向かう。
長板20を通過する際に、測定光、参照光の偏光方向を
45度回転したのちビームスプリッタ24で2力向へ分
割される。ビームスプリンタ24で直進方向へ分割され
た光ビームは、さらに偏光ビームスプリンタ26によっ
てP偏光弁が直進し、これに直交するS偏光弁がフォト
ディテクタ30へ向かう。
フォトディテクタ28に対するレーザビーム(干渉光)
が0度であれば、フォトディテクタ30に受光される干
渉光は、180度のずれを持っている。
が0度であれば、フォトディテクタ30に受光される干
渉光は、180度のずれを持っている。
一方、ビームスプリッタ24で反射したレーザビームは
、174波長板32によって、参照光又は測定光のいず
れかの一方に位相遅れが付けられ、更に偏光ビームスプ
リッタ34で偏光面の直交する2方向へ分割され、各々
フォトディテクタ36及び38へ干渉縞が供給される。
、174波長板32によって、参照光又は測定光のいず
れかの一方に位相遅れが付けられ、更に偏光ビームスプ
リッタ34で偏光面の直交する2方向へ分割され、各々
フォトディテクタ36及び38へ干渉縞が供給される。
フォトディテクタ36及び38に供給される干渉光は、
光路中に174波長板32が配設されているため、フォ
トディテクタ28の0度に対し、90度及び270度の
位相遅れを持っている。
光路中に174波長板32が配設されているため、フォ
トディテクタ28の0度に対し、90度及び270度の
位相遅れを持っている。
したがって、フォトディテクタ28,36,30.38
は、順次90度の位相のずれを有する4相の光電変換信
号を出力する。
は、順次90度の位相のずれを有する4相の光電変換信
号を出力する。
各フォトディテクタの光電変換後の2組の180度づつ
位相のずれた電気信号は、不図示の減算器によって、信
号のDCバイアス成分を除去(DCバイアス成分が有る
と干渉縞を誤ってカウントする恐れがあることによる処
置)し、第7図のように振幅が2倍となり且つ位相が9
0度異子る2倍号を生成する。この2倍号を電気的に分
割し、通常のカウンタによって計数することにより、コ
ーナキューブプリズム16の移動量を知ることができ、
よって長さ又は距離等を知ることができる。
位相のずれた電気信号は、不図示の減算器によって、信
号のDCバイアス成分を除去(DCバイアス成分が有る
と干渉縞を誤ってカウントする恐れがあることによる処
置)し、第7図のように振幅が2倍となり且つ位相が9
0度異子る2倍号を生成する。この2倍号を電気的に分
割し、通常のカウンタによって計数することにより、コ
ーナキューブプリズム16の移動量を知ることができ、
よって長さ又は距離等を知ることができる。
なお、この種の干渉計に関するものとして、特開昭62
−70720がある。
−70720がある。
[発明が解決しようとする問題点]
しかし、従来の干渉計にあたっては、ビームスプリッタ
24及び偏光ビームスプリッタ26を用いて干渉光を4
方向へ分割し、さらに90度の位相差をもたせる構成が
必要になるため、装置の小型化に限界があると共にコス
トアップを招く不具合がある。
24及び偏光ビームスプリッタ26を用いて干渉光を4
方向へ分割し、さらに90度の位相差をもたせる構成が
必要になるため、装置の小型化に限界があると共にコス
トアップを招く不具合がある。
本発明は、上記従来技術の実情に鑑みてなされたもので
、構成を簡略にし、小型化が図れるようにした干渉計を
提供することを目的とする。
、構成を簡略にし、小型化が図れるようにした干渉計を
提供することを目的とする。
E問題点を解決するための手段〕
上記目的を達成するために本発明は、光ビームを発生す
る光源と、該光源からの光ビームを固定反射体及び移動
反射体の各々へ分割すると共に、前記固定反射体で反射
してくる参照光と前記移動反射体で反射してくる測定光
とを同一の光路へ出射させる光分割手段と、該光分割手
段を出射した光ビームから互いに90度の位相差を有す
る複数の光電変換信号を得る光電位相検出手段とを備え
た干渉計において、前記固定反射体または移動反射体の
入側もしくは出側の光路中に配設され、その通過光の波
面を傾けるウェッジ基板と、前記光分割手段より出射さ
れる光ビームを偏光させる偏光子と、光軸に対し直交す
る方向へ配設されると共に前記偏光子からの干渉光を所
定の位相差をもって複数位置で受光する複数のフォトデ
ィテクタとを設けるようにしたものである。
る光源と、該光源からの光ビームを固定反射体及び移動
反射体の各々へ分割すると共に、前記固定反射体で反射
してくる参照光と前記移動反射体で反射してくる測定光
とを同一の光路へ出射させる光分割手段と、該光分割手
段を出射した光ビームから互いに90度の位相差を有す
る複数の光電変換信号を得る光電位相検出手段とを備え
た干渉計において、前記固定反射体または移動反射体の
入側もしくは出側の光路中に配設され、その通過光の波
面を傾けるウェッジ基板と、前記光分割手段より出射さ
れる光ビームを偏光させる偏光子と、光軸に対し直交す
る方向へ配設されると共に前記偏光子からの干渉光を所
定の位相差をもって複数位置で受光する複数のフォトデ
ィテクタとを設けるようにしたものである。
[作用]
固定反射体又は移動反射体の入側もしくは出側の光路に
配設されたウェッジ基板は、通過する光の波面に傾きを
もたせるため、光分割手段を出射した干渉縞は横縞とな
る。したがって、光軸に直交する方向へ所定間隔にフォ
トディテクタを配設することにより、所定角度(例えば
、90度)づつ位相のずれた複数相の信号を得る光電位
相検出手段を、ビームスプリッタや偏光ビームスプリッ
タ等を用いることなく構成することができる。
配設されたウェッジ基板は、通過する光の波面に傾きを
もたせるため、光分割手段を出射した干渉縞は横縞とな
る。したがって、光軸に直交する方向へ所定間隔にフォ
トディテクタを配設することにより、所定角度(例えば
、90度)づつ位相のずれた複数相の信号を得る光電位
相検出手段を、ビームスプリッタや偏光ビームスプリッ
タ等を用いることなく構成することができる。
[実施例]
以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。第
1図は本発明によるレーザ干渉計の一実施例を示す構成
図である。なお本実施例においては、第6図と同一であ
るものには同一引用符号を付してその説明を省略し、異
なる構成について説明する。
1図は本発明によるレーザ干渉計の一実施例を示す構成
図である。なお本実施例においては、第6図と同一であ
るものには同一引用符号を付してその説明を省略し、異
なる構成について説明する。
t5i図に示すように本発明の特徴とするところは、光
分割手段としての偏光ビームスプリッタ14からコーナ
キューブプリズム18へ送られるレーザビームの光路内
にウェッジ基板40を配設すると共に、光電位相検出手
段を偏光子42、レンズ44及びフォトディテクタ46
によって構成したことにある。
分割手段としての偏光ビームスプリッタ14からコーナ
キューブプリズム18へ送られるレーザビームの光路内
にウェッジ基板40を配設すると共に、光電位相検出手
段を偏光子42、レンズ44及びフォトディテクタ46
によって構成したことにある。
偏光子42及びレンズ44は偏光ビームスプリッタ14
より出射される光ビームの光軸上に順次配設され、レン
ズ44による干渉パターンの分布範囲内に複数のフォト
ディテクタ46が光軸に直交する干渉縞形成方向へ配設
されている。フォトディテクタ46は、必要とする相信
号数に等しい数が設けられ、その設置間隔は干渉縞1ピ
ツチを1周期とした場合、90度づつ位相のずれた4点
に第2図のように配設される。
より出射される光ビームの光軸上に順次配設され、レン
ズ44による干渉パターンの分布範囲内に複数のフォト
ディテクタ46が光軸に直交する干渉縞形成方向へ配設
されている。フォトディテクタ46は、必要とする相信
号数に等しい数が設けられ、その設置間隔は干渉縞1ピ
ツチを1周期とした場合、90度づつ位相のずれた4点
に第2図のように配設される。
次に、以上の構成による実施例の動作について説明する
。
。
レーザ光線10はS偏光成分とP偏光成分を含んだ直線
偏光のレーザビーム12を発生する。レーザビーム12
は偏光ビームスプリッタ14によってS偏光とP偏光に
分割され、S偏光分はウェッジ基板40を介してコーナ
キューブプリズム18へ送られると共にP偏光分はコー
ナキューブプリズム16へ送られる。
偏光のレーザビーム12を発生する。レーザビーム12
は偏光ビームスプリッタ14によってS偏光とP偏光に
分割され、S偏光分はウェッジ基板40を介してコーナ
キューブプリズム18へ送られると共にP偏光分はコー
ナキューブプリズム16へ送られる。
参照光はウェッジ基板40によって波面が傾けられてい
る。一方、コーナキューブプリズム16は、偏光ビーム
スプリッタ14がらのレーザビームを反射させ、それを
測定光として再び偏光ビームスプリッタ14に戻される
。コーナキューブプリズム16による反射光は、偏光プ
リズム14を直進して偏光子42へ供給される。この測
定光の光路上に同一となるようにコーナキューブプリズ
ム18よりの参照光が偏光ビームスプリッタ14より出
射される。偏光子42は、例えば、ポラライザー、偏光
ビームスプリッタ、ウアーラストンプリズム等が用いら
れ、偏光ビームスプリッタ14がらの参照光と測定光と
を干渉させる。
る。一方、コーナキューブプリズム16は、偏光ビーム
スプリッタ14がらのレーザビームを反射させ、それを
測定光として再び偏光ビームスプリッタ14に戻される
。コーナキューブプリズム16による反射光は、偏光プ
リズム14を直進して偏光子42へ供給される。この測
定光の光路上に同一となるようにコーナキューブプリズ
ム18よりの参照光が偏光ビームスプリッタ14より出
射される。偏光子42は、例えば、ポラライザー、偏光
ビームスプリッタ、ウアーラストンプリズム等が用いら
れ、偏光ビームスプリッタ14がらの参照光と測定光と
を干渉させる。
偏光子42による干渉光の干渉パターンは、レンズ44
によってフォトディテクタ46a〜46d上(こ第2図
のように拡大され、フォトディテクタ46a〜46dは
90度づつ位相のずれた4相の電気信号を出力する。こ
の90度づつ位相のずれた4相信号を夫々0変信号、9
0度信号、180度信信号よび270度信9とすると、
第3図及び第4図に示すように、(0゜−180°)、
(90°−270°)の各減算処理を行なうことにより
、DCバイアス成分を排除した90度位相のづれた2信
号が得られる。この得られた信号を電気的に分割し、通
常のカウンタによって計数することにより、コーナキュ
ーブプリズムI6の相対移動量(長さ、距離等)を知る
ことができる。なお、上記構成において、偏光ビームス
プリッタ14の替りに無偏光ビームスプリッタを用い第
5図のような構成にし、干渉光の干渉パターンをレンズ
55で結像させ、7オトヂイテクタ46を適時配設する
ことにより所望の電気信号を得ることができる。
によってフォトディテクタ46a〜46d上(こ第2図
のように拡大され、フォトディテクタ46a〜46dは
90度づつ位相のずれた4相の電気信号を出力する。こ
の90度づつ位相のずれた4相信号を夫々0変信号、9
0度信号、180度信信号よび270度信9とすると、
第3図及び第4図に示すように、(0゜−180°)、
(90°−270°)の各減算処理を行なうことにより
、DCバイアス成分を排除した90度位相のづれた2信
号が得られる。この得られた信号を電気的に分割し、通
常のカウンタによって計数することにより、コーナキュ
ーブプリズムI6の相対移動量(長さ、距離等)を知る
ことができる。なお、上記構成において、偏光ビームス
プリッタ14の替りに無偏光ビームスプリッタを用い第
5図のような構成にし、干渉光の干渉パターンをレンズ
55で結像させ、7オトヂイテクタ46を適時配設する
ことにより所望の電気信号を得ることができる。
この場合、レーザ光源10は直線偏光である必要は無(
偏光子42もいらない構成になる。
偏光子42もいらない構成になる。
また、光電位相検出手段は、4相信号を得る例を示した
が、要求する相数に応じた数のフォトディテクタを設置
し、これらのすべてに干渉パターンが分布されるように
レンズ位置を定めることにより、任意の相数にすること
ができる。
が、要求する相数に応じた数のフォトディテクタを設置
し、これらのすべてに干渉パターンが分布されるように
レンズ位置を定めることにより、任意の相数にすること
ができる。
さらに、ウェッジ基板40は、コーナキューブプリズム
18の入射光路に設けるものとしたが、その出射光路内
に設けるようにしてもよい。また、コーナキューブプリ
ズム16の入光側又は出光側の光路内に設けてもよい。
18の入射光路に設けるものとしたが、その出射光路内
に設けるようにしてもよい。また、コーナキューブプリ
ズム16の入光側又は出光側の光路内に設けてもよい。
[発明の効果1
以上説明した通り、本発明によれ1!′、参照光又は測
定光の光波に傾きをもたせ、これによる干渉光をフォト
ディテクタ列に導びくようにしたため、光電位相検出手
段を従来のように複数の光分割手段を用いることな(構
成でき、光学系の小型化及びコストダウンを図ることが
できる。
定光の光波に傾きをもたせ、これによる干渉光をフォト
ディテクタ列に導びくようにしたため、光電位相検出手
段を従来のように複数の光分割手段を用いることな(構
成でき、光学系の小型化及びコストダウンを図ることが
できる。
第1図は本発明の一実施例を示す構成図、第2図は本発
明による干渉縞検出原理を示す説明図、第3図及び第4
図は本発明の実施例における4相信号の減算処理を示す
波形説明図、第5図は無偏光ビームスプリッタを用いた
場合の発明原理図、第6図は従来の干渉計を示す構成図
。 10・・・レーザ光源 14・・・偏光ビームスプ
リンタ16.18・・・コーナキューブプリズム
40・・・ウェッジ基板 42・・・偏光子
44・・・レンズ46・・・フォトディテクタ
55・・・結像レンズ特許出願人 株式会社 東京
精密 第1図 第2図 第3図 第4図 第5図
明による干渉縞検出原理を示す説明図、第3図及び第4
図は本発明の実施例における4相信号の減算処理を示す
波形説明図、第5図は無偏光ビームスプリッタを用いた
場合の発明原理図、第6図は従来の干渉計を示す構成図
。 10・・・レーザ光源 14・・・偏光ビームスプ
リンタ16.18・・・コーナキューブプリズム
40・・・ウェッジ基板 42・・・偏光子
44・・・レンズ46・・・フォトディテクタ
55・・・結像レンズ特許出願人 株式会社 東京
精密 第1図 第2図 第3図 第4図 第5図
Claims (2)
- (1)光ビームを発生する光源と、該光源からの光ビー
ムを固定反射体及び移動反射体の各々へ分割すると共に
、前記固定反射体で反射してくる参照光と前記移動反射
体で反射してくる測定光とを同一の光路へ出射させる光
分割手段と、該光分割手段を出射した光ビームから互い
に所定の位相差を有する複数の光電変換信号を得る光電
位相検出手段とを備え、各々の信号を演算処理すること
によって干渉縞を計数する干渉計において、前記固定反
射体または移動反射体の入側もしくは出側の光路中に配
設され、その通過光の波面を傾けるウェッジ基板と、前
記光分割手段の偏光ビームスプリッタより出射される光
ビームを干渉させるための偏光子と、光軸に対し、直交
する方向へ配設されると共に前記偏光子からの干渉光を
所定の位相差をもって、複数位置で受光する複数のフォ
トディテクタとを具備することを特徴とする干渉計。 - (2)請求項1記載の干渉計において偏光ビームスプリ
ッタを無偏光ビームスプリッタに替え、固定反射体また
は移動反射体の入射もしくは出側の光路中に配設され、
その通過光の波面を傾けるウェッジ基板と、前記無偏光
ビームスプリッタにより出射される光ビームを干渉させ
レンズ等の光学系により干渉縞を結像させ、複数固のフ
ォトディテクタにより干渉縞を検出し演算処理する干渉
縞を計数する干渉計。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63080091A JP2779497B2 (ja) | 1988-03-31 | 1988-03-31 | 干渉計 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63080091A JP2779497B2 (ja) | 1988-03-31 | 1988-03-31 | 干渉計 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01250804A true JPH01250804A (ja) | 1989-10-05 |
JP2779497B2 JP2779497B2 (ja) | 1998-07-23 |
Family
ID=13708530
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP63080091A Expired - Fee Related JP2779497B2 (ja) | 1988-03-31 | 1988-03-31 | 干渉計 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2779497B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007046938A (ja) * | 2005-08-08 | 2007-02-22 | Mitsutoyo Corp | 干渉計 |
JP2014196999A (ja) * | 2013-03-06 | 2014-10-16 | 株式会社東京精密 | 2色干渉計測装置 |
WO2016084239A1 (ja) * | 2014-11-28 | 2016-06-02 | 株式会社東京精密 | 2色干渉計測装置 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5786007A (en) * | 1980-09-22 | 1982-05-28 | Philips Nv | Interference gauge |
-
1988
- 1988-03-31 JP JP63080091A patent/JP2779497B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5786007A (en) * | 1980-09-22 | 1982-05-28 | Philips Nv | Interference gauge |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007046938A (ja) * | 2005-08-08 | 2007-02-22 | Mitsutoyo Corp | 干渉計 |
JP2014196999A (ja) * | 2013-03-06 | 2014-10-16 | 株式会社東京精密 | 2色干渉計測装置 |
WO2016084239A1 (ja) * | 2014-11-28 | 2016-06-02 | 株式会社東京精密 | 2色干渉計測装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2779497B2 (ja) | 1998-07-23 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US9360347B2 (en) | Two-dimensional encoder system and method | |
US7483145B2 (en) | Simultaneous phase shifting module for use in interferometry | |
US7355719B2 (en) | Interferometer for measuring perpendicular translations | |
US7224466B2 (en) | Compact multi-axis interferometer | |
JP2629948B2 (ja) | エンコーダー | |
US7362447B2 (en) | Low walk-off interferometer | |
US6954273B2 (en) | Laser-based measuring apparatus for measuring an axial run-out in a cylinder of rotation and method for measuring the same utilizing opposing incident measuring light beams | |
JP3109900B2 (ja) | 測定装置 | |
JPH01250804A (ja) | 干渉計 | |
JP2572111B2 (ja) | レーザ干渉測定装置 | |
JP2000329535A (ja) | 位相シフト干渉縞の同時計測装置 | |
JPH06160117A (ja) | 光学式変位検出装置 | |
JP2007292650A (ja) | 光学干渉計 | |
JPH01250803A (ja) | 干渉計 | |
CN114046732B (zh) | 一种利用激光同时测量多自由度几何误差的方法与*** | |
JP3003964B2 (ja) | 測長用干渉計 | |
JP2000018918A (ja) | レーザ干渉式可動体の移動量検出装置 | |
US11598629B2 (en) | Optical displacement sensor | |
JP2512873B2 (ja) | 光束安定装置 | |
JPH05203408A (ja) | 位相差検出器 | |
JP2003329422A (ja) | 形状測定装置 | |
JPH01142401A (ja) | 光学式変位測定装置 | |
JP2725746B2 (ja) | 干渉計 | |
JPH04109129A (ja) | 偏光検出光学系 | |
JPS61134022A (ja) | 位置合せ信号検出装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |