JPH01245140A - Ｘ線透視検査装置 - Google Patents
Ｘ線透視検査装置Info
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- JPH01245140A JPH01245140A JP63071798A JP7179888A JPH01245140A JP H01245140 A JPH01245140 A JP H01245140A JP 63071798 A JP63071798 A JP 63071798A JP 7179888 A JP7179888 A JP 7179888A JP H01245140 A JPH01245140 A JP H01245140A
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
- G01N23/02—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material
- G01N23/04—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material and forming images of the material
- G01N23/046—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material and forming images of the material using tomography, e.g. computed tomography [CT]
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- G—PHYSICS
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- G01N2223/00—Investigating materials by wave or particle radiation
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔座業上の利用分野〕
この発明は、被検査物ＫＸ線を照射し、その結果侍られ
るＸ線透視像から被検査物の内部を検査するＸ線透視検
査装置に関するものである。
るＸ線透視像から被検査物の内部を検査するＸ線透視検
査装置に関するものである。
第４図は従来のＸｇｊ透視検査装置の構成を示す概略図
で、（２）はＸ線源、（２）は内部検査される被検査物
、（３）はＸ線源（１）から発生された放射線（４）が
被検査物（２） Ｋ照射され、透過した透過Ｘ線（５）
を２次元的に検出する２次元Ｘ線検出器、（６）はこの
２次元Ｘ線検出器（３）からの画像信号を処理する画像
処理器、（８）ハこの画像処理器（６）から送出された
画像信号（７）を表示する表示装置、（９）は被検査物
（２）を載置し、Ｘ線源（Ｌ）と２次元Ｘ線検出器（３
）に対して直交する方向に配置されて直線走行する被検
査物搬送装置である。
で、（２）はＸ線源、（２）は内部検査される被検査物
、（３）はＸ線源（１）から発生された放射線（４）が
被検査物（２） Ｋ照射され、透過した透過Ｘ線（５）
を２次元的に検出する２次元Ｘ線検出器、（６）はこの
２次元Ｘ線検出器（３）からの画像信号を処理する画像
処理器、（８）ハこの画像処理器（６）から送出された
画像信号（７）を表示する表示装置、（９）は被検査物
（２）を載置し、Ｘ線源（Ｌ）と２次元Ｘ線検出器（３
）に対して直交する方向に配置されて直線走行する被検
査物搬送装置である。
次に、この従来装置の動作を、第５図および第６図につ
いて説明する。
いて説明する。
先ず、被検査物（２）が放射線軌跡（照射視野）よりも
小さい場合について説明する。この場合は、Ｘ線源（１
）によって発生された放射線（４）＆工被検登物（２）
に照射され、ここで一部は散乱、吸収されるが、一部は
そのまま透過されて透過Ｘ線（５）になる。この透過Ｘ
線（５）は２次元Ｘ線検出器（３）で検出されて透過Ｘ
＃ｊ画像信号（１０）になる。このとき、被検査物（２
）が密度の犬ぎな金属とすると、放射線（４）であるＸ
線はこの被検査物（２） ＩＣよく吸収される。その結
果、透過Ｘ１（５）の強度は小さくなり、これを受けた
２次元ＸＲ検出器（３）の出力である透過Ｘ線画像信号
（ｌＯ）には量子雑音がかなシ大きな割合で含まれるよ
うになる。この童子雑音は、次段の画像処理器（６）で
積分され、低減される。従って、画像信号（７）を表示
装置（８）に表示することＫよシ、被検査物（２）のわ
ずかな板厚変化などを輝度の濃淡レベルの差として表わ
すことができる。
小さい場合について説明する。この場合は、Ｘ線源（１
）によって発生された放射線（４）＆工被検登物（２）
に照射され、ここで一部は散乱、吸収されるが、一部は
そのまま透過されて透過Ｘ線（５）になる。この透過Ｘ
線（５）は２次元Ｘ線検出器（３）で検出されて透過Ｘ
＃ｊ画像信号（１０）になる。このとき、被検査物（２
）が密度の犬ぎな金属とすると、放射線（４）であるＸ
線はこの被検査物（２） ＩＣよく吸収される。その結
果、透過Ｘ１（５）の強度は小さくなり、これを受けた
２次元ＸＲ検出器（３）の出力である透過Ｘ線画像信号
（ｌＯ）には量子雑音がかなシ大きな割合で含まれるよ
うになる。この童子雑音は、次段の画像処理器（６）で
積分され、低減される。従って、画像信号（７）を表示
装置（８）に表示することＫよシ、被検査物（２）のわ
ずかな板厚変化などを輝度の濃淡レベルの差として表わ
すことができる。
次に、被検査物（２）が放射線軌跡（照射視野）よりも
大きい場合について説明する。この場合は、被検査物（
２）を放射線軌跡内にもたらすために被検査物（２）を
被検査物搬送装置（９）上に載置してこれを直線走行さ
せる。その結果、２次元Ｘ線検出器（３）で検出した透
過Ｘ線画像信号（１υ）の各フレームに対して、その画
質改善のために次のような２つの方法が通常採られる。
大きい場合について説明する。この場合は、被検査物（
２）を放射線軌跡内にもたらすために被検査物（２）を
被検査物搬送装置（９）上に載置してこれを直線走行さ
せる。その結果、２次元Ｘ線検出器（３）で検出した透
過Ｘ線画像信号（１υ）の各フレームに対して、その画
質改善のために次のような２つの方法が通常採られる。
■）被検査物搬送装置（９）によシ被検査物（２）をス
テップ毎に移動させる。そして、得られた透過Ｘ線画像
信号（ｌＯ）に対して画像処理器（６）がその画質改善
のため一定時間画像積分を行う。この間は、被検査物搬
送装置（９）は停止させておく。
テップ毎に移動させる。そして、得られた透過Ｘ線画像
信号（ｌＯ）に対して画像処理器（６）がその画質改善
のため一定時間画像積分を行う。この間は、被検査物搬
送装置（９）は停止させておく。
（以上の詳細は、昭箱１５７年度春季大会講演概要、第
３１巻、第２号、第１１Ｊ４〜１０５ページに掲載され
た中西章人他著の論文ｒ ｕｏｇ鋼管のＸ線透視装置に
ついて」に述べられている。）同様に、２）被検査物搬
送装置（９）によシ、被検査物（２）をわずかな送シ幅
で移動させ、画像処理器（６）により画像移動積分を行
う。（以上の詳細は、例えば特開昭６０−１２３．７５
４号公報に開示されている。）しかしながら、これらの
２つの方法は次のような問題点がある。
３１巻、第２号、第１１Ｊ４〜１０５ページに掲載され
た中西章人他著の論文ｒ ｕｏｇ鋼管のＸ線透視装置に
ついて」に述べられている。）同様に、２）被検査物搬
送装置（９）によシ、被検査物（２）をわずかな送シ幅
で移動させ、画像処理器（６）により画像移動積分を行
う。（以上の詳細は、例えば特開昭６０−１２３．７５
４号公報に開示されている。）しかしながら、これらの
２つの方法は次のような問題点がある。
即ち、前者の場合は、画像積分を行つＸ１１１ｉ！透視
時間以外に画像相当分の距離を搬送させる時間を加えな
ければならず、従って検査時間のスループットが低下す
るか、量子雑音の多い画像になるという問題点がある。
時間以外に画像相当分の距離を搬送させる時間を加えな
ければならず、従って検査時間のスループットが低下す
るか、量子雑音の多い画像になるという問題点がある。
後者の場合は、被検査物（２）を一定速度で走行させな
からＸｉ透視検査を行うので、スループットを低下せず
に量子雑音を減らせる効果はあるが、画像移動積分を行
う画像処理器（６）から出力される合成画像に歪が発生
するという問題点がある。
からＸｉ透視検査を行うので、スループットを低下せず
に量子雑音を減らせる効果はあるが、画像移動積分を行
う画像処理器（６）から出力される合成画像に歪が発生
するという問題点がある。
以下、この合成画像歪について説明する。
第５図において、被検査物（２）は、Ｘ線源（１）から
放出されたＸ線束（２１）、（２２）、 （２３）中を
横断しながら直線走行する。ここで、模擬欠陥信号とし
て文字ｒ４Ｊを被検査物（２）の各検査層面（２４）。
放出されたＸ線束（２１）、（２２）、 （２３）中を
横断しながら直線走行する。ここで、模擬欠陥信号とし
て文字ｒ４Ｊを被検査物（２）の各検査層面（２４）。
（２５）、（２Ｂ）に設ける。そして、被検査物（２）
を移動させながらＸ線透視像を監測する。第６図（ａ）
にこのＸ線透視像を例示する。画像（２７）、（２８）
、（２９）はそれぞれ時刻（Ｔ１）、（Ｔ２）、（Ｔ３
） におけるものである（ Ｔ、 ＜Ｔ２＜Ｔ３）。
を移動させながらＸ線透視像を監測する。第６図（ａ）
にこのＸ線透視像を例示する。画像（２７）、（２８）
、（２９）はそれぞれ時刻（Ｔ１）、（Ｔ２）、（Ｔ３
） におけるものである（ Ｔ、 ＜Ｔ２＜Ｔ３）。
また、これらの画像（２７）。
（２８）、（２９）を画像処理器（６）で処理した画面
合成像（３０）、 （３１）、 （３２）を第６図（ｂ
）に例示する。この図かられかるように、計測画面を移
動積分した結果、検査層面（２５）に対する画面合成像
（３Ｌ）は無歪であるが、検査層面（２４）、 （２６
）に対する画面合成像（３０）、（３２） ｈｓ合成ず
れが生じている。但し、それぞれの検査層面（２４）
、 （２５’） 、 （２６）からの像拡大比は実際に
は異なるが、図では同じ大きさで表わしである。このよ
うな合成ずれは次の理由により惹起される。即ち、先ず
、被検査点が同−検査層面にあっても、放射線軌跡（２
１）〜（２３）のそれぞれ（投影各線）が異なると、こ
れらの軌跡上での投影拡大比ｍが異なって来る。例えば
、検査層ｍ（２５）に対するそれぞれの放射線軌跡（２
Ｌ）〜（２３）Ｋ対する投影拡大比”２５，２１１ｍ２
ｓ、２２１ｍ２ｓ、２３とすると、 Ｌ２１Ａ＋Ｌ２、Ｂ Ｌ２□い＋Ｌ２２
８”°・” ’ Ｌ２１Ａ Ｌ２□え
２５．２２ ＝ Ｌ２３Ａ＋ Ｌ２３Ｂ ｍ２５．２３： ２３Ａ が得られる。ここに、Ｌ 、Ｌ 、Ｌ２３Ａは
そ２１Ａ ２２Ａ れそれ放射組軌跡（２１）〜（２３）上でのＸ線源（１
）から検査層面（２５）までの距離、またＬＬ２１Ｂ１
２２ＢＩ Ｌ＋工同様に放射線軌跡（２１）〜（２３）上での検３
Ｂ 香層面（２５）から２次元ＸＩｍ検出器（３）までの距
離を表わす。このように投影拡大比が放射線軌跡（２１
）〜（２３）毎に異なるので、被検査物搬送装置（９）
に載置された被検査物（２）が一定速度で直？走行した
としても、同一検査層内でも、各検査層間でも、２次元
Ｘ線検出器面上に投影される投影速度が異なることにな
シ合成ずれが生じる。
合成像（３０）、 （３１）、 （３２）を第６図（ｂ
）に例示する。この図かられかるように、計測画面を移
動積分した結果、検査層面（２５）に対する画面合成像
（３Ｌ）は無歪であるが、検査層面（２４）、 （２６
）に対する画面合成像（３０）、（３２） ｈｓ合成ず
れが生じている。但し、それぞれの検査層面（２４）
、 （２５’） 、 （２６）からの像拡大比は実際に
は異なるが、図では同じ大きさで表わしである。このよ
うな合成ずれは次の理由により惹起される。即ち、先ず
、被検査点が同−検査層面にあっても、放射線軌跡（２
１）〜（２３）のそれぞれ（投影各線）が異なると、こ
れらの軌跡上での投影拡大比ｍが異なって来る。例えば
、検査層ｍ（２５）に対するそれぞれの放射線軌跡（２
Ｌ）〜（２３）Ｋ対する投影拡大比”２５，２１１ｍ２
ｓ、２２１ｍ２ｓ、２３とすると、 Ｌ２１Ａ＋Ｌ２、Ｂ Ｌ２□い＋Ｌ２２
８”°・” ’ Ｌ２１Ａ Ｌ２□え
２５．２２ ＝ Ｌ２３Ａ＋ Ｌ２３Ｂ ｍ２５．２３： ２３Ａ が得られる。ここに、Ｌ 、Ｌ 、Ｌ２３Ａは
そ２１Ａ ２２Ａ れそれ放射組軌跡（２１）〜（２３）上でのＸ線源（１
）から検査層面（２５）までの距離、またＬＬ２１Ｂ１
２２ＢＩ Ｌ＋工同様に放射線軌跡（２１）〜（２３）上での検３
Ｂ 香層面（２５）から２次元ＸＩｍ検出器（３）までの距
離を表わす。このように投影拡大比が放射線軌跡（２１
）〜（２３）毎に異なるので、被検査物搬送装置（９）
に載置された被検査物（２）が一定速度で直？走行した
としても、同一検査層内でも、各検査層間でも、２次元
Ｘ線検出器面上に投影される投影速度が異なることにな
シ合成ずれが生じる。
この合成歪を防止する方法として例えば”東芝レビュー
”第４０巻、第１２号（昭和６０年）、第１０２８〜１
０３０ページの掲載された藤井正司他著の論文「Ｘ線を
用いた最近の非破壊検査システム」に開示されたものが
ある。この方法では、直線走行する非検査物に対してラ
インセンサを用いて透過Ｘ線を検出することによシ合成
歪を防いでいるが、残念ながらこの方法はＸ線エネルギ
ーが低いときは有効であるが、高くなると量子雑音が増
加するという問題点がある。この他、被検査物が円笥配
管形状のとき移動画像積分で画像処理することによシ合
成歪を発生しな（・ようにする方法力、エックスレイ・
イメージング・コーポレーション（Ｘ−ＲＡＹ ＩＭＡ
ＧＩＮＧ Ｃ０ＲＰＯＲＡＴＩＯＮ ）の“リアルタイ
ム（ｒｅａｌ ｔｉｍｅ ） （１９８２年９月２１〜
２２日）に［実時間放射線計測の利点（ＴＩ ＰＯＴＢ
ＮＴＩＡＬＯＦ ＲＥＡＬ−ＴＩＭＥ ＲＡＤＩＯＧＲ
ＡＰＨＹ） Ｊとして報告されている。この方法は原理
的には有効であるが、実際には薄い被検査物（５〜４０
朋）に適用されるものである。
”第４０巻、第１２号（昭和６０年）、第１０２８〜１
０３０ページの掲載された藤井正司他著の論文「Ｘ線を
用いた最近の非破壊検査システム」に開示されたものが
ある。この方法では、直線走行する非検査物に対してラ
インセンサを用いて透過Ｘ線を検出することによシ合成
歪を防いでいるが、残念ながらこの方法はＸ線エネルギ
ーが低いときは有効であるが、高くなると量子雑音が増
加するという問題点がある。この他、被検査物が円笥配
管形状のとき移動画像積分で画像処理することによシ合
成歪を発生しな（・ようにする方法力、エックスレイ・
イメージング・コーポレーション（Ｘ−ＲＡＹ ＩＭＡ
ＧＩＮＧ Ｃ０ＲＰＯＲＡＴＩＯＮ ）の“リアルタイ
ム（ｒｅａｌ ｔｉｍｅ ） （１９８２年９月２１〜
２２日）に［実時間放射線計測の利点（ＴＩ ＰＯＴＢ
ＮＴＩＡＬＯＦ ＲＥＡＬ−ＴＩＭＥ ＲＡＤＩＯＧＲ
ＡＰＨＹ） Ｊとして報告されている。この方法は原理
的には有効であるが、実際には薄い被検査物（５〜４０
朋）に適用されるものである。
以上説明したように従来技術では、被検査物が照射視野
よシ大きくかつ直線走行させられる場合は、透過Ｘ線画
像信号から雑音成分を除去するために積分処理を必要と
し、２つの方法がある。そのうちのステップ毎に被検査
物を移動させる方法は、検査時間のスループットが低下
するか、量子雑音が犬ぎくなると云う問題点がある。ま
たもう１つの、被検査物を一定速度で走行させる方法は
、合成画像に歪が生じると云う問題点がある。更に、こ
の合成画像歪を除去するためラインセンサを用いる方法
があるが、これは高エネルギーで量子雑音が犬ぎくなる
と云う問題点がある。また、被検食物が円筒形状をなす
とき移動画像積分を有効に行う方法もあるが、実際的で
はないと云う問題点がある。
よシ大きくかつ直線走行させられる場合は、透過Ｘ線画
像信号から雑音成分を除去するために積分処理を必要と
し、２つの方法がある。そのうちのステップ毎に被検査
物を移動させる方法は、検査時間のスループットが低下
するか、量子雑音が犬ぎくなると云う問題点がある。ま
たもう１つの、被検査物を一定速度で走行させる方法は
、合成画像に歪が生じると云う問題点がある。更に、こ
の合成画像歪を除去するためラインセンサを用いる方法
があるが、これは高エネルギーで量子雑音が犬ぎくなる
と云う問題点がある。また、被検食物が円筒形状をなす
とき移動画像積分を有効に行う方法もあるが、実際的で
はないと云う問題点がある。
この発明は、従来技術のこのような諸問題点を解決する
ためになされたもので、Ｘ線透過長の長い（５０〜５ｏ
ｕｍｍ）被検査物を走行させ、これに高エネルギーＸ
線（０，５ＭｅＶ 〜２ （ｌ ＭｅＶ ）を照射して
検査する場合に、検査スループットを低下させず、童子
雑音の少な（・、良質の画像を与えることができるＸｉ
透視検査装置を提供する事を目的としている。
ためになされたもので、Ｘ線透過長の長い（５０〜５ｏ
ｕｍｍ）被検査物を走行させ、これに高エネルギーＸ
線（０，５ＭｅＶ 〜２ （ｌ ＭｅＶ ）を照射して
検査する場合に、検査スループットを低下させず、童子
雑音の少な（・、良質の画像を与えることができるＸｉ
透視検査装置を提供する事を目的としている。
この発明にかかるＸ線透視検査装置は、内部検査される
べき被検査物にＸ線を照射するＸＭＡ源と、このＸ線源
を中心として、前記）ＩＪ源からのＸｉ東中で前記被検
査物を載置したま一円弧状に回転走行させる被検査物搬
送装置と、複数列のＸ線検出素子を有し、前記被検査物
を透過したＸ線を検出して単純透視画像を出力する２次
元Ｘ線検出器と、前記被検査物の検査中に前記２次元Ｘ
線検出号から時々刻々送出される単純透視画像信号が入
力され、前記被検査物の移動に合わせて画像の移動積分
を行ない、積分画像信号を出力する画像処理器と、この
画像処理器から送出された積分画像信号を表示する表示
装置とを設けたものである。
べき被検査物にＸ線を照射するＸＭＡ源と、このＸ線源
を中心として、前記）ＩＪ源からのＸｉ東中で前記被検
査物を載置したま一円弧状に回転走行させる被検査物搬
送装置と、複数列のＸ線検出素子を有し、前記被検査物
を透過したＸ線を検出して単純透視画像を出力する２次
元Ｘ線検出器と、前記被検査物の検査中に前記２次元Ｘ
線検出号から時々刻々送出される単純透視画像信号が入
力され、前記被検査物の移動に合わせて画像の移動積分
を行ない、積分画像信号を出力する画像処理器と、この
画像処理器から送出された積分画像信号を表示する表示
装置とを設けたものである。
この発明においては、被検査物の移動軌跡は円弧状をな
すようにしたので、被検査物内のあるＸ−投影線上の相
互位置は、いずれの投影線上にあっても一定の関係を維
持できる。従って、投影拡大比が一定になり、その結果
投影像の移動速度が同じになる。これによシ画面合成歪
を除去でき、従って被検査物のどの部位に欠陥があって
も、これを忠実に捉えることができる。
すようにしたので、被検査物内のあるＸ−投影線上の相
互位置は、いずれの投影線上にあっても一定の関係を維
持できる。従って、投影拡大比が一定になり、その結果
投影像の移動速度が同じになる。これによシ画面合成歪
を除去でき、従って被検査物のどの部位に欠陥があって
も、これを忠実に捉えることができる。
第１図はこの発明の一実施例の構成を示す概略図であり
、符号（１）〜（８）および（１ｏ）で表わさｎたもの
は第４図に示した従来例におけるものと同じである。（
９人）はこの発明の特徴をなす部分で、被検査物（２）
を円弧状に回転移動させる被検査物搬送装置である。
、符号（１）〜（８）および（１ｏ）で表わさｎたもの
は第４図に示した従来例におけるものと同じである。（
９人）はこの発明の特徴をなす部分で、被検査物（２）
を円弧状に回転移動させる被検査物搬送装置である。
次に、第１図に示したＸ線透視検査装置の動作を、第２
図および第３図について説明する。
図および第３図について説明する。
第１図において、Ｘ線源（１）によって発生された放射
線（４）は被検査物（２）に照射され、一部は散乱、吸
収されるが、一部はそのまま透過されて透過Ｘ線（５）
になる。この透過Ｘ線（５）は２次元Ｘ線検出器（３）
で検出されて画像信号（１υ）になる。この画像信号（
１０）は画像処理器（６）に送られ、画像積分される。
線（４）は被検査物（２）に照射され、一部は散乱、吸
収されるが、一部はそのまま透過されて透過Ｘ線（５）
になる。この透過Ｘ線（５）は２次元Ｘ線検出器（３）
で検出されて画像信号（１υ）になる。この画像信号（
１０）は画像処理器（６）に送られ、画像積分される。
この場合、被検査物（２）は、被検査物搬送装置（９Ａ
）に載置され、円弧状に回転走行されるので、画像処理
器（６）は、画像信号（１０）をこの回転走行に合わせ
て移動積分し、画像合成する。この合成された画像信号
（７）は表示装置（８）に送られ、表示される。
）に載置され、円弧状に回転走行されるので、画像処理
器（６）は、画像信号（１０）をこの回転走行に合わせ
て移動積分し、画像合成する。この合成された画像信号
（７）は表示装置（８）に送られ、表示される。
ここで、第２図は、この発明のＸ線透視検査装置により
合成歪のない画像信号が得られる様子を示した図である
。３つの検査表面（５１）、 （５２）、 （５３）は
、Ｘ線源（１）を中心として円弧をなすように配列され
る。従来例と同様に投影拡大比ｍを考え、合成歪が如何
に除去されるかＫついて説明すると次のようになる。今
、検査層面（５２）上に投影したい対象物があるとし、
投影Ｘ線軌跡（５４）、（５５）。
合成歪のない画像信号が得られる様子を示した図である
。３つの検査表面（５１）、 （５２）、 （５３）は
、Ｘ線源（１）を中心として円弧をなすように配列され
る。従来例と同様に投影拡大比ｍを考え、合成歪が如何
に除去されるかＫついて説明すると次のようになる。今
、検査層面（５２）上に投影したい対象物があるとし、
投影Ｘ線軌跡（５４）、（５５）。
（５６）上での投影拡大比ｍ５□５４＋ｍ５□５５＋ｍ
５□、５６を求めると、 Ｌ５４Ａ ＋Ｌ５４Ｂ ”５２．５４ ＝ ５４Ａ （但し、Ｌ５４．は検査層面（５２）から２次元Ｘ線検
出器（３）の表面までの距離、Ｌ５４ＡはＸ線源（１）
υ・ら検出層面（５２）までの距離を表わす。）（但し
、Ｌ は検査層面（５２）から２次元Ｘ線５Ｂ 検出器（３）の表面までの距離、Ｌ５５ＡはＸ線源（１
）から検査層面（５２）までの距離を表わす。）Ｌ５６
Ａ ＋Ｌ５６Ｂ ”５２．５６ ： ５８Ａ （但し、Ｌ５６Ｂは検査層面（６２）から２次元Ｘ線検
出器（３）の表面までの距離、Ｌ はＸ線源（１）５
６ム から検査層面（５２）までの距離を表わす。）となる。
５□、５６を求めると、 Ｌ５４Ａ ＋Ｌ５４Ｂ ”５２．５４ ＝ ５４Ａ （但し、Ｌ５４．は検査層面（５２）から２次元Ｘ線検
出器（３）の表面までの距離、Ｌ５４ＡはＸ線源（１）
υ・ら検出層面（５２）までの距離を表わす。）（但し
、Ｌ は検査層面（５２）から２次元Ｘ線５Ｂ 検出器（３）の表面までの距離、Ｌ５５ＡはＸ線源（１
）から検査層面（５２）までの距離を表わす。）Ｌ５６
Ａ ＋Ｌ５６Ｂ ”５２．５６ ： ５８Ａ （但し、Ｌ５６Ｂは検査層面（６２）から２次元Ｘ線検
出器（３）の表面までの距離、Ｌ はＸ線源（１）５
６ム から検査層面（５２）までの距離を表わす。）となる。
ここで、被検査物（２）は、Ｘ線源（１）を中心として
円弧をなして回転移動させられるので、投影Ｘ線軌跡（
５４） 、 （５５）、 （５６）のいずれに対しても
、Ｌの値は一定になる。従って、投影拡大比ｍは、被検
査物（２）が回転走行されている間は一定になる。更に
、検査層面（５１）、（５２）、（５３）の各々では、
検査対象の移動速度は異なるが、２次元Ｘ線検出器（３
）の表面に対する投影速度は同じになるので、投影像に
関する限シは、検査層面（５１）。
円弧をなして回転移動させられるので、投影Ｘ線軌跡（
５４） 、 （５５）、 （５６）のいずれに対しても
、Ｌの値は一定になる。従って、投影拡大比ｍは、被検
査物（２）が回転走行されている間は一定になる。更に
、検査層面（５１）、（５２）、（５３）の各々では、
検査対象の移動速度は異なるが、２次元Ｘ線検出器（３
）の表面に対する投影速度は同じになるので、投影像に
関する限シは、検査層面（５１）。
（５２）、（５ｒｊの相互の位置関係を一定に保持する
ことかできる。従って、画像処理器（６）による移動積
分後も、従来例で説明したような、即ち、第６図（ｂ）
で示したような画像合成歪の発生を防止することができ
る。
ことかできる。従って、画像処理器（６）による移動積
分後も、従来例で説明したような、即ち、第６図（ｂ）
で示したような画像合成歪の発生を防止することができ
る。
なお、上記実施例では２次元Ｘ線検出器（３）には特別
な制限が設けなかったが、第３図に示したように各絵素
に対応してＸ線検出素子（５７）を２次元上離散的に配
置させてもよい。この場合、それぞれのＸ線検出素子（
５７）は、各Ｘ線検出素子内で発生する散乱Ｘ線が隣接
するＸ線検出素子に干渉しないように（吸収など）、各
絵素間距離の整数倍をなして配置し、各Ｘ線検出素子の
間の間隙は夏金属（６２）などを充填させである。
な制限が設けなかったが、第３図に示したように各絵素
に対応してＸ線検出素子（５７）を２次元上離散的に配
置させてもよい。この場合、それぞれのＸ線検出素子（
５７）は、各Ｘ線検出素子内で発生する散乱Ｘ線が隣接
するＸ線検出素子に干渉しないように（吸収など）、各
絵素間距離の整数倍をなして配置し、各Ｘ線検出素子の
間の間隙は夏金属（６２）などを充填させである。
以上説明したよ５Ｋ、この発明は内部検査されるべき被
検査物にＸ線を照射するＸ線源と、このＸ線源を中心と
して、前記Ｘ線源からのＸ線束中で前記被検査物を載置
したま〜円弧状に回転走行させる被検査物搬送装置と、
複数列のＸ線検出素子を有し、前記被検査物を透過した
Ｘ線を検出し−Ｃ単純透視画儂を出力する２次元Ｘａ検
出器と、前記被検査物の検査中に前記２次元Ｘ線検出器
から時々刻々送出される単純透視画像信号が入力され、
前記被検査物の移動に合わせて画像の移動積・？を行な
い、積分画像信号を出力する画像処理器と、この画像処
理器から送出された積分画像信号？表示する表示装置と
を設けることによシ、画像歪の少ない、高品位画質の画
像が得られる効果を奏する。
検査物にＸ線を照射するＸ線源と、このＸ線源を中心と
して、前記Ｘ線源からのＸ線束中で前記被検査物を載置
したま〜円弧状に回転走行させる被検査物搬送装置と、
複数列のＸ線検出素子を有し、前記被検査物を透過した
Ｘ線を検出し−Ｃ単純透視画儂を出力する２次元Ｘａ検
出器と、前記被検査物の検査中に前記２次元Ｘ線検出器
から時々刻々送出される単純透視画像信号が入力され、
前記被検査物の移動に合わせて画像の移動積・？を行な
い、積分画像信号を出力する画像処理器と、この画像処
理器から送出された積分画像信号？表示する表示装置と
を設けることによシ、画像歪の少ない、高品位画質の画
像が得られる効果を奏する。
第１図はこの発明の一実施例を示す概略図、第２図は第
１図に示したＸ＠透視検査装置における横置層面とその
投影状態を示す図、第３図はこの発明に用いられる２次
元Ｘ線検出器の他の例を示す平面図、第４図は従来のＸ
線透視検査装置を示す概略図、第５図は第４図の従来例
における検査層面とその投影状態を示す図、第６図は第
４図の従来例で得られる画像信号に合成歪が生じる状況
を示した図である。 図中、（１）はＸ線源、（２）は被検査物、（３）は２
次元Ｘ線検出器、（６）＆′ｓ、画像処理器、（８）は
表示装置、（９Ａ）は被検出物搬送装置である。 なお、図中、同一符号は同−又は相当部分を示代理人
曾 我 道 照 ゛へ２図 搗３図 へ７ 児４図 晃５図 鴫 Ｔ＋ ＜ Ｔ２ ＜ Ｔ３ ６図 （ｂ）
１図に示したＸ＠透視検査装置における横置層面とその
投影状態を示す図、第３図はこの発明に用いられる２次
元Ｘ線検出器の他の例を示す平面図、第４図は従来のＸ
線透視検査装置を示す概略図、第５図は第４図の従来例
における検査層面とその投影状態を示す図、第６図は第
４図の従来例で得られる画像信号に合成歪が生じる状況
を示した図である。 図中、（１）はＸ線源、（２）は被検査物、（３）は２
次元Ｘ線検出器、（６）＆′ｓ、画像処理器、（８）は
表示装置、（９Ａ）は被検出物搬送装置である。 なお、図中、同一符号は同−又は相当部分を示代理人
曾 我 道 照 ゛へ２図 搗３図 へ７ 児４図 晃５図 鴫 Ｔ＋ ＜ Ｔ２ ＜ Ｔ３ ６図 （ｂ）
Claims (1)
- 内部検査されるべき被検査物にＸ線を照射するＸ線源と
、このＸ線源を中心として、前記Ｘ線源からのＸ線束中
で前記被検査物を載置したまゝ円弧状に回転走行させる
被検査物搬送装置と、複数列のＸ線検出素子を有し、前
記被検査物を透過したＸ線を検出して単純透視画像を出
力する２次元Ｘ線検出器と、前記被検査物の検査中に前
記２次元Ｘ線検出器から時々刻々送出される単純透視画
像信号が入力され、前記被検査物の移動に合わせて画像
の移動積分を行ない、積分画像信号を出力する画像処理
器と、この画像処理器から送出された積分画像信号を表
示する表示装置とを備えたことを特徴とするＸ線透視検
査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63071798A JP2593172B2 (ja) | 1988-03-28 | 1988-03-28 | Ｘ線透視検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63071798A JP2593172B2 (ja) | 1988-03-28 | 1988-03-28 | Ｘ線透視検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01245140A true JPH01245140A (ja) | 1989-09-29 |
| JP2593172B2 JP2593172B2 (ja) | 1997-03-26 |
Family
ID=13470940
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63071798A Expired - Lifetime JP2593172B2 (ja) | 1988-03-28 | 1988-03-28 | Ｘ線透視検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2593172B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2721402A1 (fr) * | 1994-06-21 | 1995-12-22 | Commissariat Energie Atomique | Procédé d'obtention par radiographie tangentielle d'une image d'un objet en rotation autour d'un axe. |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3647961A (en) * | 1970-04-09 | 1972-03-07 | Western Electric Co | T.v. -aided flaw detection using rotating image techniques |
| US4710946A (en) * | 1985-08-06 | 1987-12-01 | Amoco Corporation | Method and apparatus for X-ray video fluoroscopic analysis of rock samples |
-
1988
- 1988-03-28 JP JP63071798A patent/JP2593172B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3647961A (en) * | 1970-04-09 | 1972-03-07 | Western Electric Co | T.v. -aided flaw detection using rotating image techniques |
| US4710946A (en) * | 1985-08-06 | 1987-12-01 | Amoco Corporation | Method and apparatus for X-ray video fluoroscopic analysis of rock samples |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2721402A1 (fr) * | 1994-06-21 | 1995-12-22 | Commissariat Energie Atomique | Procédé d'obtention par radiographie tangentielle d'une image d'un objet en rotation autour d'un axe. |
| EP0689048A1 (fr) * | 1994-06-21 | 1995-12-27 | Commissariat A L'energie Atomique | Procédé d'obtention par radiographie tangentielle d'une image d'un objet en rotation autour d'un axe |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2593172B2 (ja) | 1997-03-26 |
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