JPH01220110A - 磁気ヘッドのギャップ形成方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は磁気ヘッドのギャップ形成方法、特に、浮動式
磁気ヘッドのギャップ部の形成方法に関する。

（従来の技術） 一般に浮動式磁気ヘッドの構造は、第１図に示すように
、Ｈｎ−Ｚｎフェライト等の磁性体から成るスライダ１
と、同じ（Ｈｎ−Ｚｎフェライト等の磁性体から成る口
字状のコア２とを所定間隔のギャップ部３を形成するよ
うにガラスにより結合したものである。なお、４は前記
コア２に巻装されたコイルである。

そこで、前記磁気ヘッドのギャップ部３の形成方法を更
に説明すると、第２図に拡大して示すように、前記スラ
イダ１及びコア２のギャップ対向面１ａ及び２ａに、Ｓ
ｉＯ２等から成り非磁性膜５をスパッタリングによりそ
れぞれ約０．３μ形成する。次に、前記非磁性膜５の何
れか一方にのりガラス膜６をスパッタリングにより７０
０人の厚さに形成する。次に、該のりガラス膜６を介し
てスライダ１及びコア３２を突合わせ、加熱してのりガ
ラス膜６を溶融して両者を結合している。なお、前記非
磁性膜５の膜厚寸法はギャップ部３の幅寸法により任意
に設定すれば良く、通常、ギャップ部３の幅寸法は０．
６〜１．０μとなっている。

また、非磁性膜５はスライダ１とコア２との何れか一方
に設けてあっても良い。

（発明が解決しようとする問題点） しかし、上記従来における磁気ヘッドのギャップ形成方
法においては、前記のりガラス膜６の溶融結合時に、の
りガラス膜６中に気泡が発生し、磁気ヘッドの信頼性が
悪いという欠点があった。

本発明は、かかる問題点を解決するためになされたもの
で、のりガラス膜中の気泡の発生を減少させ、磁気ヘッ
ドの信頼性を向上させ、且つ、従来と同様な結合強度を
有する磁気ヘッドのギャップ形成方法を提供することを
目的とする。

（問題点を解決するための手段） 本発明に係る磁気ヘッドのギャップ形成方法は、一対の
磁性体の少なくとも何れか一方のギャップ対向面に非磁
性体膜を形成し、該非磁性体膜上又は前記磁性体のギャ
ップ対向面上に３００〜５００人ののりガラス膜をスパ
ッタリングにより設け、該のりガラス膜の溶融により前
記両磁性体を結合するものである。

（作用） 本発明においては、のりガラス膜のスパッタリング膜厚
を３００〜５００人設定したために、気泡の発生が抑え
られ、且つ、必要な接合強度も維持し得る。

（実施例） 本発明の磁気ヘッドのギャップ形成方法は、前記従来例
とほとんど同様であり、相違点はのりガラス膜の膜厚の
みである。すなわち、本発明は、第２図に示すように、
磁性体のスライダ１及び磁性体のコア２のギャップ対向
面１ａ及び２ａに、５ｉ０２等から成る非磁性ｐｉ５を
スパッタリングによりそれぞれ約０．３μに形成する。

次に、前記非磁性膜５の一方に所定の膜厚ののりガラス
膜６をスパッタリングにより形成し、次に、前記スライ
ダ１及びコア２を突合わせ前記のりガラス膜６を加熱溶
融して両者を接合する。

なお、前記非磁性膜５はスライダ１とコア２のギャップ
対向面１ａと２ａの何れか一方にのみ形成しても良く、
その際に、前記のりガラス膜６は非磁性膜５が形成され
ていない前記ギャップ対向面１ａ又は２ａに直接設けて
も良い。ただし、のリガラス膜６は非磁性膜５上に設け
た方が形成時の磁性体への影響を少なく抑えることが出
来る。

ところで、前記のりガラス膜６の膜厚については、種々
の値を設定して磁気ヘッドのギャップ部３を形成し、の
りガラス膜６のＩ！！厚に対して、のりガラス膜６中に
生じる気泡の発生状況並びにギャップ部３の接合強度を
実験測定した。

第３図　（ａ）〜（ｄ）は磁気ヘッドのギャップ部を各
々拡大した説明図であり、同図（ａ）〜（ｄ）はのりガ
ラス膜厚がそれぞれ３００人、５００人。

７００人、及び９００人の時のギャップ部の状況を示し
ている。同図（Ｃ）、（ｄ）において中央にぶつぶつ観
察できる黒及び白丸がのりガラス膜６中の気泡である。

同図（ａ）、　（ｂ）においては前記気泡はほとんど見
られない。すなわち、のりガラス膜厚を５００Å以下と
することにより気泡発生数が急速に減少する。

一方、ギャップ部の接合強度については、下記衣に示す
通りである。なお、接合強度の測定は、両者を引っ張り
剥がれるまでの強度を示している。

（表） これらの結果をグラフに示すと第４図のようになり、第
４図は横軸にのりガラス膜６の膜厚、縦軸にその接合強
度を示している。同図から明らかなように、のりガラス
膜厚が３００人より小さくなると、接合強度が急激に減
少することが判かる。

以上の実験結果から、のりがラス膜厚が５００Å以下で
あれば気泡発生数が少なく、磁気ヘッドの信頼性を向上
することが出来る。一方、のりガラス膜厚が３００人以
上であれば、スライダ１とコア２との接合強度を従来と
ほぼ同等に維持することが出来る。

なお、前記実施例では浮動式磁気ヘッドについて説明し
たが、ＶＴＲ用映像ヘッド等の磁性体から成る一対のコ
アをガラスにより接合し、ギャップ部を形成する方法に
も適用し得ること勿論である。

（発明の効果） 膜上のように、本発明は一対の磁性体の少なくとも何れ
か一方のギャップ対向面に非磁性体膜を形成し、該非磁
性体膜上にのりガラス膜を３００〜５００人の膜厚にス
パッタリングするものであり、前記両磁性体の加熱接合
時においてのりガーラス膜中の気泡の発生を抑えられ、
ギャップ不良率を１％以下にすることが出来る。しかも
、両磁性体の結−合強度も十分であるという顕著な効果
を操する。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来の浮動式磁気ヘッドの斜視図、第２図はギ
ャップ部の要部拡大図、第３図（ａ）〜（ｄ）それぞれ
膜の膜厚を異ならしめたギャップ部の拡大説明図、第４
図はのりガラス膜厚に対する接合強度を示すグラフであ
る。 １・・・スライダ、２・・・コア、３・・・ギャップ部
、５・・・非磁性膜、６・・・のりガラス膜。 第１図 第２図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 一対の磁性体の少なくとも何れか一方のギャップ対向面
   に非磁性体膜を形成し、該非磁性体膜上又は前記磁性体
   のギャップ対向面上にのりガラス膜をスパッタリングに
   より設け、該のりガラス膜の溶融により前記両磁性体を
   結合する磁気ヘッドのギャップ形成方法において、前記
   のりガラス膜のスパッタリング膜厚を３００〜５００Å
   にすることを特徴とする磁気ヘッドのギャップ形成方法
   。