JPH01202669A - 磁気差動型回転計 - Google Patents
磁気差動型回転計Info
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- JPH01202669A JPH01202669A JP2787788A JP2787788A JPH01202669A JP H01202669 A JPH01202669 A JP H01202669A JP 2787788 A JP2787788 A JP 2787788A JP 2787788 A JP2787788 A JP 2787788A JP H01202669 A JPH01202669 A JP H01202669A
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- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 title claims abstract description 60
- 239000011295 pitch Substances 0.000 claims description 15
- 230000004907 flux Effects 0.000 claims description 14
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 abstract description 5
- 238000001514 detection method Methods 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 9
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000000644 propagated effect Effects 0.000 description 2
- 239000003302 ferromagnetic material Substances 0.000 description 1
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- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔概 要〕
回転数に対応した磁気的変化を検出する磁気差動型回転
計に関し、 低速から高速まで広範囲にわたって変化する車輪の回転
数を、高精度で検出すると共に安定した信号を出力でき
る回転計の提供を目的とし、永久磁石が内挿され回転軸
方向に磁化された回転子と、回転子のN極から出た磁束
をS極に戻すようにその外周に配置され、回転子と磁気
的に結合された一対の半円弧状固定子と、対向する固定
子9間に嵌挿された1乃至2個の磁電変換素子からなり
、少なくとも回転子の一方の磁極側に等ピンチで多数個
の外歯を形成すると共に、一対の固定子にそれぞれ外歯
と対向する多数個の内歯を形成し、且つ一方の固定子に
形成された内歯が外歯と対向した時に、他方の固定子に
形成された内歯が外歯と半ピンチずれるように構成する
。
計に関し、 低速から高速まで広範囲にわたって変化する車輪の回転
数を、高精度で検出すると共に安定した信号を出力でき
る回転計の提供を目的とし、永久磁石が内挿され回転軸
方向に磁化された回転子と、回転子のN極から出た磁束
をS極に戻すようにその外周に配置され、回転子と磁気
的に結合された一対の半円弧状固定子と、対向する固定
子9間に嵌挿された1乃至2個の磁電変換素子からなり
、少なくとも回転子の一方の磁極側に等ピンチで多数個
の外歯を形成すると共に、一対の固定子にそれぞれ外歯
と対向する多数個の内歯を形成し、且つ一方の固定子に
形成された内歯が外歯と対向した時に、他方の固定子に
形成された内歯が外歯と半ピンチずれるように構成する
。
本発明は自動車等に組み込み回転数を検知するセンサに
係り、特に回転数に対応した磁気的変化を検出する磁気
差動型回転計に関する。
係り、特に回転数に対応した磁気的変化を検出する磁気
差動型回転計に関する。
近年、モートロニクス技術の進歩に伴って操作を一層容
易にするため、制御系に各種のセンサやコンピュータを
組み込んだ自動車が実用化されている。かかる用途に用
いられる例えば走行速度計は従来のものと異なり、低速
から高速まで広範囲にわたって変化する車輪の回転数を
、高精度で検出すると共に安定した信号を出力できるこ
とが要求される。そこで最新のエレクトロニクス技術を
応用した各種センサが開発されている。
易にするため、制御系に各種のセンサやコンピュータを
組み込んだ自動車が実用化されている。かかる用途に用
いられる例えば走行速度計は従来のものと異なり、低速
から高速まで広範囲にわたって変化する車輪の回転数を
、高精度で検出すると共に安定した信号を出力できるこ
とが要求される。そこで最新のエレクトロニクス技術を
応用した各種センサが開発されている。
第5図は従来の溝付回転子型回転計の原理を示す図、第
6図は従来の着磁回転子型回転計の原理を示す図である
。
6図は従来の着磁回転子型回転計の原理を示す図である
。
第5図(a)に示す従来の溝付回転子型回転計は回転子
1とそれに対向するセンサ部2からなり、強磁性体を用
いて形成された回転子1はその周囲に、ピッチの等しい
多数個(例えば72個)の溝11を具えている。またセ
ンサ部2は強磁性体からなるヨーク21と永久磁石22
とセンスコイル23とで構成され、回転子1に対向する
ヨーク21の先端には溝11と幅の等しい溝24が形成
されている。
1とそれに対向するセンサ部2からなり、強磁性体を用
いて形成された回転子1はその周囲に、ピッチの等しい
多数個(例えば72個)の溝11を具えている。またセ
ンサ部2は強磁性体からなるヨーク21と永久磁石22
とセンスコイル23とで構成され、回転子1に対向する
ヨーク21の先端には溝11と幅の等しい溝24が形成
されている。
回転子1が回転して溝11が溝24と対向する位置に来
た時と溝24から外れた時とで、永久磁石22から出て
ヨーク21の内部を伝播する磁束が変化し、第5図世)
に示す如く磁束の変化即ち回転子の回転速度に対応した
交流電圧が、ヨーク21または永久磁石22に巻回され
たセンスコイル23に発生する。
た時と溝24から外れた時とで、永久磁石22から出て
ヨーク21の内部を伝播する磁束が変化し、第5図世)
に示す如く磁束の変化即ち回転子の回転速度に対応した
交流電圧が、ヨーク21または永久磁石22に巻回され
たセンスコイル23に発生する。
同図において実線は高速回転時を示し破線は低速回転時
を示す。
を示す。
一方第6図(a)に示す従来の着磁回転子型回転計は回
転子3とセンサ部4からなり、回転子3として用いられ
ているリング状の永久磁石は、円周に沿ってN極とS極
が交互に並ぶように着磁されている。また回転子3に対
向しその磁界を検出するセンサ部4として、ブリッジ状
の磁気抵抗素子41を含むハイブリッドICが用いられ
ている。
転子3とセンサ部4からなり、回転子3として用いられ
ているリング状の永久磁石は、円周に沿ってN極とS極
が交互に並ぶように着磁されている。また回転子3に対
向しその磁界を検出するセンサ部4として、ブリッジ状
の磁気抵抗素子41を含むハイブリッドICが用いられ
ている。
第6図世)はかかる着磁回転子型回転計の動作を説明す
るための図で、■に示す如く回転子3の回転に伴ってN
極とS極が交互にセンサ部を通過し、それに対応した信
号■が磁気抵抗素子41から出力される。磁気抵抗素子
41の出力信号は比較器42においてパルス信号■に変
換され、磁界の変化即ち回転子の回転速度に対応したパ
ルス信号■が出力端子43から出力される。
るための図で、■に示す如く回転子3の回転に伴ってN
極とS極が交互にセンサ部を通過し、それに対応した信
号■が磁気抵抗素子41から出力される。磁気抵抗素子
41の出力信号は比較器42においてパルス信号■に変
換され、磁界の変化即ち回転子の回転速度に対応したパ
ルス信号■が出力端子43から出力される。
従来の溝付回転子型回転計は構成が簡単で信頼性が高く
、センスコイルの巻数を増大させることによって増幅器
が無くても大出力が得られる。しかし出力電圧が磁束の
変化量に比例するため低速回転時の出力電圧が小さ(、
例えば51v/h以下の速度が検出できないという問題
があった。
、センスコイルの巻数を増大させることによって増幅器
が無くても大出力が得られる。しかし出力電圧が磁束の
変化量に比例するため低速回転時の出力電圧が小さ(、
例えば51v/h以下の速度が検出できないという問題
があった。
一方従来の着磁回転子型回転計は回転数に関係なく出力
電圧が得られ、低速から高速まで広範囲にわたって変化
する車輪の回転数を、高精度で検出すると共に安定した
信号を出力できるが、円周に沿ってN極とS極が交互に
配列されたリング状の永久磁石は着磁が困難で、しかも
分解能を高めるには細密ピッチでN極とS極を配列する
必要があり、着磁が益々困難になって高価になるという
問題があった。
電圧が得られ、低速から高速まで広範囲にわたって変化
する車輪の回転数を、高精度で検出すると共に安定した
信号を出力できるが、円周に沿ってN極とS極が交互に
配列されたリング状の永久磁石は着磁が困難で、しかも
分解能を高めるには細密ピッチでN極とS極を配列する
必要があり、着磁が益々困難になって高価になるという
問題があった。
第1図は本発明になる磁気差動型回転計の原理を示す斜
視図である。なお全図を通し同じ対象物は同一記号で表
している。
視図である。なお全図を通し同じ対象物は同一記号で表
している。
上記課題は永久磁石51が内挿され回転軸方向に磁化さ
れた回転子5と、回転子5のN極から出た磁束をS極に
戻すようにその外周に配置され、回転子5と磁気的に結
合された一対の半円弧状固定子6と、対向する固定子6
の間に嵌挿された1乃至2個の磁電変換素子7からなり
、少なくとも回転子5の一方の磁極側に等ピッチで多数
個の外歯52を形成すると共に、一対の固定子6にそれ
ぞれ外歯52と対向する多数個の内歯61を形成し、且
つ一方の固定子6に形成された内歯61が外歯52と対
向した時に、他方の固定子6に形成された内歯61が外
歯52と半ピッチずれるように、構成されてなる本発明
の磁気差動型回転計によって解決される。
れた回転子5と、回転子5のN極から出た磁束をS極に
戻すようにその外周に配置され、回転子5と磁気的に結
合された一対の半円弧状固定子6と、対向する固定子6
の間に嵌挿された1乃至2個の磁電変換素子7からなり
、少なくとも回転子5の一方の磁極側に等ピッチで多数
個の外歯52を形成すると共に、一対の固定子6にそれ
ぞれ外歯52と対向する多数個の内歯61を形成し、且
つ一方の固定子6に形成された内歯61が外歯52と対
向した時に、他方の固定子6に形成された内歯61が外
歯52と半ピッチずれるように、構成されてなる本発明
の磁気差動型回転計によって解決される。
第1図において永久磁石が内挿され回転軸方向に磁化さ
れた回転子と、回転子のN極から出た磁束をS極に戻す
ようにその外周に配置され、回転子と磁気的に結合され
た一対の半円弧状固定子と、対向する固定子の間に嵌挿
された1乃至2個の磁電変換素子からなり、少なくとも
回転子の一方の磁極側に等ピッチで多数個の外歯を形成
すると共に、一対の固定子゛にそれぞれ外歯と対向する
多数個の内歯を形成し、且つ一方の固定子に形成された
内歯が外歯と対向した時に、他方の固定子に形成された
内歯が外歯と半ピッチずれるよう構成することによって
、低速から高速まで広範囲にわたって変化する車輪の回
転数を、高精度で検出すると共に安定した信号を出力で
きる着磁回転子型回転計の長所と、構成が簡単で溝のピ
ンチを細分化することにより分解能を高めることのでき
る、比較的安価な溝付回転子型回転計の長所を兼ね具え
た回転計を実現することができる。
れた回転子と、回転子のN極から出た磁束をS極に戻す
ようにその外周に配置され、回転子と磁気的に結合され
た一対の半円弧状固定子と、対向する固定子の間に嵌挿
された1乃至2個の磁電変換素子からなり、少なくとも
回転子の一方の磁極側に等ピッチで多数個の外歯を形成
すると共に、一対の固定子゛にそれぞれ外歯と対向する
多数個の内歯を形成し、且つ一方の固定子に形成された
内歯が外歯と対向した時に、他方の固定子に形成された
内歯が外歯と半ピッチずれるよう構成することによって
、低速から高速まで広範囲にわたって変化する車輪の回
転数を、高精度で検出すると共に安定した信号を出力で
きる着磁回転子型回転計の長所と、構成が簡単で溝のピ
ンチを細分化することにより分解能を高めることのでき
る、比較的安価な溝付回転子型回転計の長所を兼ね具え
た回転計を実現することができる。
以下添付図により本発明の実施例について詳細社説明す
る。第2図は本発明の原理における動作の説明図、第3
図は本発明の実施例を示す斜視図、第4図は実施例にお
ける動作の説明図である。
る。第2図は本発明の原理における動作の説明図、第3
図は本発明の実施例を示す斜視図、第4図は実施例にお
ける動作の説明図である。
第2図(alは本発明になる回転計の原理を示す模式図
で、簡略化のためそれぞれの構成部品における内部抵抗
を無視し、回転子5と固定子6との間の磁気抵抗をR1
、R2、固定子6とS極との間の磁気抵抗をそれぞれR
3とすると、その磁気回路は第2図(b)に示す等価回
路で表すことができる。
で、簡略化のためそれぞれの構成部品における内部抵抗
を無視し、回転子5と固定子6との間の磁気抵抗をR1
、R2、固定子6とS極との間の磁気抵抗をそれぞれR
3とすると、その磁気回路は第2図(b)に示す等価回
路で表すことができる。
図において回転子5の外歯が左側の固定子6の内歯と対
向している時、回転子5と左側の固定子6との間の磁気
抵抗R1は最小になり、回転子5の外歯が右側の固定子
6の内歯と半ピッチずれていて、回転子5と右側の固定
子6との間の磁気抵抗R2は最大になる0図示省略され
ているか外歯が移動し右側の固定子6の内歯と対向して
いる時、その外歯が左側の固定子6の内歯と半ピンチず
れているため、磁気抵抗R1は最大になり磁気抵抗R2
は最小になる。
向している時、回転子5と左側の固定子6との間の磁気
抵抗R1は最小になり、回転子5の外歯が右側の固定子
6の内歯と半ピッチずれていて、回転子5と右側の固定
子6との間の磁気抵抗R2は最大になる0図示省略され
ているか外歯が移動し右側の固定子6の内歯と対向して
いる時、その外歯が左側の固定子6の内歯と半ピンチず
れているため、磁気抵抗R1は最大になり磁気抵抗R2
は最小になる。
即ち可変抵抗器の摺動子が回転子5の移動に伴って、点
aと点すの間を絶えず往復していると見なすことができ
、摺動子が点aに位置するときは点Cにおける電位が点
dに比べて高く、摺動子が点すに位置するときは点dに
おける電位が点Cに比べて高(なる。
aと点すの間を絶えず往復していると見なすことができ
、摺動子が点aに位置するときは点Cにおける電位が点
dに比べて高く、摺動子が点すに位置するときは点dに
おける電位が点Cに比べて高(なる。
この電位差に相当する磁位差が磁気抵抗素子等の磁電変
換素子7で検出され、外歯が左側の固定子6の内歯と対
向している時に磁電変換素子7から、例えば第2図(C
)に示す如く正電位の信号が出力されるものとすると、
外歯が右側の固定子6の内歯と対向している時は負電位
の信号が出力される。かかる出力信号の電圧は固定子間
の磁界の大きさにより決まり、回転子の移動速度、即ち
回転数によって変動することは無い。
換素子7で検出され、外歯が左側の固定子6の内歯と対
向している時に磁電変換素子7から、例えば第2図(C
)に示す如く正電位の信号が出力されるものとすると、
外歯が右側の固定子6の内歯と対向している時は負電位
の信号が出力される。かかる出力信号の電圧は固定子間
の磁界の大きさにより決まり、回転子の移動速度、即ち
回転数によって変動することは無い。
なお1個の磁電変換素子7を対向する固定子の一方の隙
間に装着し、磁位差を検出することは可能であるが磁気
的ノイズの影響を受けやすい。かかる場合は磁電変換素
子7を対向する固定子の両方の隙間にそれぞれ装着し、
2個の磁電変換素子7を差動的に動作させることによっ
て磁気的ノイズを排除することができる。
間に装着し、磁位差を検出することは可能であるが磁気
的ノイズの影響を受けやすい。かかる場合は磁電変換素
子7を対向する固定子の両方の隙間にそれぞれ装着し、
2個の磁電変換素子7を差動的に動作させることによっ
て磁気的ノイズを排除することができる。
第3図は本発明の一実施例で回転子5の一方の磁極側に
外歯52が形成されており、他方の磁極側に外歯52に
対し半ピッチずれた外歯53が形成されている。一対の
固定子6には外歯52.53と対向し得る内歯62がそ
れぞれ形成されており、一方の固定子6に形成された内
歯62が外歯52と対向した時に、他方の固定子6に形
成された内歯62が外歯52と半ピッチずれ、一方の固
定子6に形成された内歯62が外歯53と対向した時に
、他方の固定子6に形成された内歯62が外歯53と半
ピッチずれるように構成されている。
外歯52が形成されており、他方の磁極側に外歯52に
対し半ピッチずれた外歯53が形成されている。一対の
固定子6には外歯52.53と対向し得る内歯62がそ
れぞれ形成されており、一方の固定子6に形成された内
歯62が外歯52と対向した時に、他方の固定子6に形
成された内歯62が外歯52と半ピッチずれ、一方の固
定子6に形成された内歯62が外歯53と対向した時に
、他方の固定子6に形成された内歯62が外歯53と半
ピッチずれるように構成されている。
第4図(a)に示す如く左側の固定子6に形成された内
歯62が外歯52と対向し、右側の固定子6に形成され
た内歯62が外歯53と対向している場合、N極から出
た磁束は外歯52から左側の固定子6に形成された内歯
62を経由し、更に右側の固定子6に形成された内歯6
2と外歯53を経てS極に戻る。
歯62が外歯52と対向し、右側の固定子6に形成され
た内歯62が外歯53と対向している場合、N極から出
た磁束は外歯52から左側の固定子6に形成された内歯
62を経由し、更に右側の固定子6に形成された内歯6
2と外歯53を経てS極に戻る。
固定子5が移動し右側の固定子6に形成された内歯62
が外歯52と対向し、左側の固定子6に形成された内歯
62が外歯53と対向している場合、N極から出た磁束
は外歯52から右側の固定子6に形成された内歯62を
経由し、更に左側の固定子6に形成された内歯62と外
歯53を経てS極に戻る。
が外歯52と対向し、左側の固定子6に形成された内歯
62が外歯53と対向している場合、N極から出た磁束
は外歯52から右側の固定子6に形成された内歯62を
経由し、更に左側の固定子6に形成された内歯62と外
歯53を経てS極に戻る。
このように固定子5が半ピッチ移動する毎に磁束の方向
を、図の左上から右下へ、或いは右上から左下へ矢示の
如く変化させる方法は、磁電変換素子7としてバーバー
ポール型の磁気抵抗素子を用いる場合に特に有効である
。
を、図の左上から右下へ、或いは右上から左下へ矢示の
如く変化させる方法は、磁電変換素子7としてバーバー
ポール型の磁気抵抗素子を用いる場合に特に有効である
。
バーバーポール型の磁気抵抗素子は第4図(b)に示す
如(、つづら折れ状のパターンを有するパーマロイ(F
e−Ni)等からなる磁性薄膜71と、その上に一定間
隔で斜めに付着形成されたAu等の導電性薄膜72から
なり、磁性薄膜71は一軸異方性を与えるため矢印M方
向に予め磁化されている。図において磁束が左上から右
下に伝播される磁界はHex方向のベクトルとM方向の
ベクトルを有し、磁束が右上から左下に伝播される磁界
は)Iexと反対方向のベクトルとM方向のベクトルを
有する。
如(、つづら折れ状のパターンを有するパーマロイ(F
e−Ni)等からなる磁性薄膜71と、その上に一定間
隔で斜めに付着形成されたAu等の導電性薄膜72から
なり、磁性薄膜71は一軸異方性を与えるため矢印M方
向に予め磁化されている。図において磁束が左上から右
下に伝播される磁界はHex方向のベクトルとM方向の
ベクトルを有し、磁束が右上から左下に伝播される磁界
は)Iexと反対方向のベクトルとM方向のベクトルを
有する。
バーバーポール型の磁気抵抗素子はHex方向の磁界が
印加された時に、第4図(C)に示す如く正方向の電圧
が出力されるものとすると、逆方向の磁界が印加された
時に負方向の電圧が出力され、その際同時に矢印M方向
の磁界を印加すると破線で示す如く出力曲線の直線性が
改善される。即ち磁束の方向が左上から右下へ、或いは
右上から左下へ変化する上記実施例は、M方向のベクト
ルが常に印加されるため直線性の優れた出力信号を得る
ことができる。
印加された時に、第4図(C)に示す如く正方向の電圧
が出力されるものとすると、逆方向の磁界が印加された
時に負方向の電圧が出力され、その際同時に矢印M方向
の磁界を印加すると破線で示す如く出力曲線の直線性が
改善される。即ち磁束の方向が左上から右下へ、或いは
右上から左下へ変化する上記実施例は、M方向のベクト
ルが常に印加されるため直線性の優れた出力信号を得る
ことができる。
このように永久磁石が内挿され回転軸方向に磁化された
回転子と、回転子のN極から出た磁束をS極に戻すよう
にその外周に配置され、回転子と磁気的に結合された一
対の半円弧状固定子と、対向する固定子の間に嵌挿され
た1乃至2個の磁電変換素子からなり、少なくとも回転
子の一方の磁極側に等ピッチで多数個の外歯を形成する
と共に、一対の固定子にそれぞれ外歯と対向する多数個
の内歯を形成し、且つ一方の固定子に形成された内歯が
外歯と対向した時に、他方の固定子に形成された内歯が
外歯と半ピッチずれるよう構成することによって、低速
から高速まで広範囲にわたって変化する車輪の回転数を
、高精度で検出すると共に安定した信号を出力できる着
磁回転子型回転計の長所と、構成が簡単で溝のピッチを
細分化することにより分解能を高めることのできる、比
較的安価な溝付回転子型回転計の長所を兼ね具えた回転
計を実現することができる。
回転子と、回転子のN極から出た磁束をS極に戻すよう
にその外周に配置され、回転子と磁気的に結合された一
対の半円弧状固定子と、対向する固定子の間に嵌挿され
た1乃至2個の磁電変換素子からなり、少なくとも回転
子の一方の磁極側に等ピッチで多数個の外歯を形成する
と共に、一対の固定子にそれぞれ外歯と対向する多数個
の内歯を形成し、且つ一方の固定子に形成された内歯が
外歯と対向した時に、他方の固定子に形成された内歯が
外歯と半ピッチずれるよう構成することによって、低速
から高速まで広範囲にわたって変化する車輪の回転数を
、高精度で検出すると共に安定した信号を出力できる着
磁回転子型回転計の長所と、構成が簡単で溝のピッチを
細分化することにより分解能を高めることのできる、比
較的安価な溝付回転子型回転計の長所を兼ね具えた回転
計を実現することができる。
上述の如く本発明によれば低速から高速まで広範囲にわ
たって変化する車輪の回転数を、高精度で検出すると共
に安定した信号を出力できる磁気差動型回転計を提供す
ることができる。
たって変化する車輪の回転数を、高精度で検出すると共
に安定した信号を出力できる磁気差動型回転計を提供す
ることができる。
第1図は本発明になる磁気差動型回転計の原理を示す斜
視図、 第2図は本発明の原理における動作の説明図、第3図は
本発明の実施例を示す斜視図、第4図は実施例における
動作の説明図、第5図は従来の溝付回転子型回転計の原
理を示す図、 第6図は従来の着磁回転子型回転計の原理を示す図、 である。図において 5は回転子、 6は固定子、 7は磁電変換素子、 51は永久磁石、52.53は外
歯、 61.62は内歯、71は磁性薄膜、
72は導電性薄膜、をそれぞれ表す。 (b) 水金e月り原J里にあけ5重力f′F巧言之eH図jh
2 図 (1)ン
(G)−@ex 突先!9すに六ける重力作り説ヨ月pり第4 図
視図、 第2図は本発明の原理における動作の説明図、第3図は
本発明の実施例を示す斜視図、第4図は実施例における
動作の説明図、第5図は従来の溝付回転子型回転計の原
理を示す図、 第6図は従来の着磁回転子型回転計の原理を示す図、 である。図において 5は回転子、 6は固定子、 7は磁電変換素子、 51は永久磁石、52.53は外
歯、 61.62は内歯、71は磁性薄膜、
72は導電性薄膜、をそれぞれ表す。 (b) 水金e月り原J里にあけ5重力f′F巧言之eH図jh
2 図 (1)ン
(G)−@ex 突先!9すに六ける重力作り説ヨ月pり第4 図
Claims (1)
- 永久磁石(51)が内挿され回転軸方向に磁化された回
転子(5)と、該回転子(5)のN極から出た磁束をS
極に戻すようにその外周に配置され、該回転子(5)と
磁気的に結合された一対の半円弧状固定子(6)と、対
向する該固定子(6)の間に嵌挿された1乃至2個の磁
電変換素子(7)からなり、少なくとも該回転子(5)
の一方の磁極側に等ピッチで多数個の外歯(52)を形
成すると共に、一対の該固定子(6)にそれぞれ該外歯
(52)と対向する多数個の内歯(61)を形成し、且
つ一方の該固定子(6)に形成された該内歯(61)が
該外歯(52)と対向した時に、他方の該固定子(6)
に形成された該内歯(61)が該外歯(52)と半ピッ
チずれるように、構成されてなることを特徴とする磁気
差動型回転計。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2787788A JPH01202669A (ja) | 1988-02-09 | 1988-02-09 | 磁気差動型回転計 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2787788A JPH01202669A (ja) | 1988-02-09 | 1988-02-09 | 磁気差動型回転計 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01202669A true JPH01202669A (ja) | 1989-08-15 |
Family
ID=12233122
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2787788A Pending JPH01202669A (ja) | 1988-02-09 | 1988-02-09 | 磁気差動型回転計 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH01202669A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02141616A (ja) * | 1988-11-24 | 1990-05-31 | Copal Co Ltd | 相対変位検出装置 |
-
1988
- 1988-02-09 JP JP2787788A patent/JPH01202669A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02141616A (ja) * | 1988-11-24 | 1990-05-31 | Copal Co Ltd | 相対変位検出装置 |
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