JPH01201930A - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
半導体装置の製造方法Info
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- JPH01201930A JPH01201930A JP63025909A JP2590988A JPH01201930A JP H01201930 A JPH01201930 A JP H01201930A JP 63025909 A JP63025909 A JP 63025909A JP 2590988 A JP2590988 A JP 2590988A JP H01201930 A JPH01201930 A JP H01201930A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔概 要〕
化合物半導体基板に形成された光電変換素子とシリニ2
ン基十反に形成されたマルチブレクリな信邊処理装置と
を金属バンプで接続しまた半導体装置の製造方法に関し
、 前記半導体素子を形成した基板に転位が発生することな
く、かつ金属バンプに塑1′!ト変形を牛しることなく
金属バンプ同志か容易に接続されるのを目的とし、 一方の半導体基板に形成した半導体素子と、他方の半導
体基板に形成した半導体素子とを金属バンプて接続して
成る半導体装置の製造に於いて、前記相互の半導体素子
トに柱状の磁性体を形成後、該磁性体の表面に接続用金
属膜を被着して金属バンプを形成後、1)11記もd外
体の先端部を互いに異なる磁極となるように磁化した後
、前記金属バンプの接続用金属膜同志を接触して前記磁
性体の磁力によって金属バンプ同志を接合することて構
成ずろ。
ン基十反に形成されたマルチブレクリな信邊処理装置と
を金属バンプで接続しまた半導体装置の製造方法に関し
、 前記半導体素子を形成した基板に転位が発生することな
く、かつ金属バンプに塑1′!ト変形を牛しることなく
金属バンプ同志か容易に接続されるのを目的とし、 一方の半導体基板に形成した半導体素子と、他方の半導
体基板に形成した半導体素子とを金属バンプて接続して
成る半導体装置の製造に於いて、前記相互の半導体素子
トに柱状の磁性体を形成後、該磁性体の表面に接続用金
属膜を被着して金属バンプを形成後、1)11記もd外
体の先端部を互いに異なる磁極となるように磁化した後
、前記金属バンプの接続用金属膜同志を接触して前記磁
性体の磁力によって金属バンプ同志を接合することて構
成ずろ。
本発明は゛1′導体装置の製造方法に係り、特に金属バ
ンプを用いて一方の半導体基板である化合物半導体2.
!:板に形成した光電変換子と、他方の半導体基板であ
るシリコン基板Gこ形成したマルチプレクリ゛のような
半導体素子とを金属バンプを用いて接続形成して一体化
した半導体装置の製造方法に関する。
ンプを用いて一方の半導体基板である化合物半導体2.
!:板に形成した光電変換子と、他方の半導体基板であ
るシリコン基板Gこ形成したマルチプレクリ゛のような
半導体素子とを金属バンプを用いて接続形成して一体化
した半導体装置の製造方法に関する。
赤外線を高感度に検知する化合物半導体基板を用いて赤
外線検知素子のような光電変換素子を形成し、更にシリ
コン基板を用いて電荷結合素子のような信コ処理装置を
形成し、これ等の両者の素子をインゾウム(In)のよ
うな低融点金属柱て圧着接合して一体的に形成し、赤外
線検知素子で光電変換し7て得られた検知信号を、電荷
結合素子で信号処理する固体撮像素子のような半導体装
置は周知である。
外線検知素子のような光電変換素子を形成し、更にシリ
コン基板を用いて電荷結合素子のような信コ処理装置を
形成し、これ等の両者の素子をインゾウム(In)のよ
うな低融点金属柱て圧着接合して一体的に形成し、赤外
線検知素子で光電変換し7て得られた検知信号を、電荷
結合素子で信号処理する固体撮像素子のような半導体装
置は周知である。
〔従来の技i・1・i〕
このようへ半導体装置を形成する場合、例えば第3し1
に示すように、カトミウlい(CdTe) 等よりなる
基板1にP型の水銀 力トウミラ1、・う−ルル(ji
g、−xCdx Tp、)のエピクー1−シャル層2を
形成後、このエピタキシャル層2にN型の不純物原子を
イオン柱入法等の方法により導入してN型層3を形成し
、更にぞのセに硫化亜鉛(ZnS)の保護膜4を形成し
、N型層3−にを窓開きU7だ後、接続用電極5を形成
し′C赤外線検知素子6を形成する。
に示すように、カトミウlい(CdTe) 等よりなる
基板1にP型の水銀 力トウミラ1、・う−ルル(ji
g、−xCdx Tp、)のエピクー1−シャル層2を
形成後、このエピタキシャル層2にN型の不純物原子を
イオン柱入法等の方法により導入してN型層3を形成し
、更にぞのセに硫化亜鉛(ZnS)の保護膜4を形成し
、N型層3−にを窓開きU7だ後、接続用電極5を形成
し′C赤外線検知素子6を形成する。
−・力、P型の31基板7Gこ5102膜8を形成し、
そのセには図示しないか、所定のパターンのφj、送電
極電極形成し、更にごのノ、(仮の所定の位置にN型層
9を設り、この電荷結合素子の信号入力部となる入力ダ
イオードを形成し7ている。
そのセには図示しないか、所定のパターンのφj、送電
極電極形成し、更にごのノ、(仮の所定の位置にN型層
9を設り、この電荷結合素子の信号入力部となる入力ダ
イオードを形成し7ている。
そしてN型層8上のS10.膜7を窓開きして接続用電
極膜10を形成して′電荷結合素子11を形成し、赤外
線検知素子6のN型層3−1−と、電荷結合素子11の
N型層9」−に、それぞれInの金属バンプ12を形成
し、該金属バンプ12同志を押し潰して圧着接合するご
とて固体撮像装置のような:l’ 4体装置を形成して
いる。
極膜10を形成して′電荷結合素子11を形成し、赤外
線検知素子6のN型層3−1−と、電荷結合素子11の
N型層9」−に、それぞれInの金属バンプ12を形成
し、該金属バンプ12同志を押し潰して圧着接合するご
とて固体撮像装置のような:l’ 4体装置を形成して
いる。
そして赤外線検知素子6の底部より矢印に示すように導
入された赤外線は、エピタキシャル層2内のP−N接合
部で光電変換され、この光電変換された信号+J: I
n金属バンプ12を介して電荷結合素子]1Q)N型
層90部分に入力され、この入力信号は電荷結合素子1
1の所定の転送電極に電圧を印加するごとて転送されて
信号処理される。
入された赤外線は、エピタキシャル層2内のP−N接合
部で光電変換され、この光電変換された信号+J: I
n金属バンプ12を介して電荷結合素子]1Q)N型
層90部分に入力され、この入力信号は電荷結合素子1
1の所定の転送電極に電圧を印加するごとて転送されて
信号処理される。
〔発明が解決し7ようとする課題〕
然し、前記した金属バンプ同志を加圧接続する方法では
、金DIバンプの加圧時に基板に歪が入る恐れがあり、
素子形成領域に転位や格子欠陥が発生ずる欠点かある。
、金DIバンプの加圧時に基板に歪が入る恐れがあり、
素子形成領域に転位や格子欠陥が発生ずる欠点かある。
本発明はヒ記した問題点を除去し、金属バンプを同志を
圧接接合する必要かな(、容易に金属バンプ同志が接合
できる半導体装置の製造方法の提イ共を目的とする。
圧接接合する必要かな(、容易に金属バンプ同志が接合
できる半導体装置の製造方法の提イ共を目的とする。
本発明の方法は第10に示すように、一方の半導体!。
(板21に形成した半導体素子22と、他方の半導体基
板23に形成した半導体素子24とを金属バンプ25.
26で接合して成る半導体装置の製造であって、前記+
tl TLの゛l′、導体素了上に柱状の磁性体27.
28を形成後、該磁性体27.28の表面に接続用金属
膜29.30を被着して金属バンプ25,26を形成後
、前記磁性体27.28の先端部を互いに異なる磁極と
なるように磁化した後、前記金属バンプ25,26の接
続用金属膜29.30同志を接触して前記磁性体27゜
28の磁力によって金属バンプ25,26同志を接合す
ることで構成する。
板23に形成した半導体素子24とを金属バンプ25.
26で接合して成る半導体装置の製造であって、前記+
tl TLの゛l′、導体素了上に柱状の磁性体27.
28を形成後、該磁性体27.28の表面に接続用金属
膜29.30を被着して金属バンプ25,26を形成後
、前記磁性体27.28の先端部を互いに異なる磁極と
なるように磁化した後、前記金属バンプ25,26の接
続用金属膜29.30同志を接触して前記磁性体27゜
28の磁力によって金属バンプ25,26同志を接合す
ることで構成する。
A1互の半導体素子間を接続する金属バンプ25,26
を柱状のフェライトのよ・)な磁性体27.28で形成
し、その周囲を接続用金属膜29.30て被覆する。
を柱状のフェライトのよ・)な磁性体27.28で形成
し、その周囲を接続用金属膜29.30て被覆する。
そして4〃性体27 、28の先々;i;部を互いに異
なる磁極となるように磁化した後、金属バンプ25.2
6同志を接着すると、磁極の異なる磁性体27.28の
磁力によって金属バンプ同志を加圧することなく容易に
接る゛(き、基板の素子形成領域に転位や歪が入らない
状態で接続できろ。
なる磁極となるように磁化した後、金属バンプ25.2
6同志を接着すると、磁極の異なる磁性体27.28の
磁力によって金属バンプ同志を加圧することなく容易に
接る゛(き、基板の素子形成領域に転位や歪が入らない
状態で接続できろ。
〔実施例]
以下、開面を用いながら本発明の一実施例に付き詳細に
説明する。
説明する。
第2図(a)に示すように、一方の化合物半導体基板で
あるC d TL! 基+IX 41に設けたlIgl
−x、 Cdx Teのエピタキシャル層42&こN型
層43を形成し、該エピタキシャル層42の表面をZn
S膜のような保護膜44で保護し、該N型層43.1−
の保護膜44を窓開きした後、該N型層71311:目
n等を筑着して形成した接続用金属膜45を形成し、そ
の上に例えば直径かl Q (1mで高さか101.t
mの円柱状のフェライトより成る磁性体27を茶着に
より形成する。
あるC d TL! 基+IX 41に設けたlIgl
−x、 Cdx Teのエピタキシャル層42&こN型
層43を形成し、該エピタキシャル層42の表面をZn
S膜のような保護膜44で保護し、該N型層43.1−
の保護膜44を窓開きした後、該N型層71311:目
n等を筑着して形成した接続用金属膜45を形成し、そ
の上に例えば直径かl Q (1mで高さか101.t
mの円柱状のフェライトより成る磁性体27を茶着に
より形成する。
次いて磁性体27の周囲をIhのような接続用金属11
A 29て痰イ゛1またはスバンタ法を用いて被覆する
。
A 29て痰イ゛1またはスバンタ法を用いて被覆する
。
更に1″r11記U7た第2し1(a)に示すように一
方のSi基板46にP型層47を形成後、その上を5i
Oz膜48で被照゛シフ、該[)型層47Lの5iOz
膜48を窓開き後、接続用金属膜49を形成した後、そ
の」−に前記したのと同様に例えは直径かlQ71mで
高さが108mの円柱状のフェライ1〜よりなる磁性体
28を形成後、その周囲に接続用金属膜30を被着形成
する。
方のSi基板46にP型層47を形成後、その上を5i
Oz膜48で被照゛シフ、該[)型層47Lの5iOz
膜48を窓開き後、接続用金属膜49を形成した後、そ
の」−に前記したのと同様に例えは直径かlQ71mで
高さが108mの円柱状のフェライ1〜よりなる磁性体
28を形成後、その周囲に接続用金属膜30を被着形成
する。
次いで第21m(b)に示すように、例えばSi基板4
6に形成した磁性体28の先端部28八はN極となるよ
うに矢印へ方向より磁石等を用いて磁場を印加して磁(
ヒする。
6に形成した磁性体28の先端部28八はN極となるよ
うに矢印へ方向より磁石等を用いて磁場を印加して磁(
ヒする。
また図示しないがCdTe基板41に形成した磁性体2
7の先端部は、前記したSii板46に形成した磁性体
28の先端部と逆方向のS極となるように磁場を印加す
る。
7の先端部は、前記したSii板46に形成した磁性体
28の先端部と逆方向のS極となるように磁場を印加す
る。
次いで前記した第2図(b)に示すように両者の基板4
1と46に形成した金属バンプ25と26を接触させる
と、金属バンプ25の磁性体27の先端部と、金属バン
プ26の磁性体28とはそれぞれ逆方向の磁極に磁化さ
れているので容易に互いに吸引しあうのでその力によっ
て金属バンプ同志が容易に接合され、金属バンプ同志を
相互に圧着する必要かないので半導体素子形成領域に転
位や歪が発生しない状態て容易に金属バンプ同志が接続
でき、半導体素子形成領域に転位や歪を発生しない高信
頼度の半導体装置か4゛7られる。
1と46に形成した金属バンプ25と26を接触させる
と、金属バンプ25の磁性体27の先端部と、金属バン
プ26の磁性体28とはそれぞれ逆方向の磁極に磁化さ
れているので容易に互いに吸引しあうのでその力によっ
て金属バンプ同志が容易に接合され、金属バンプ同志を
相互に圧着する必要かないので半導体素子形成領域に転
位や歪が発生しない状態て容易に金属バンプ同志が接続
でき、半導体素子形成領域に転位や歪を発生しない高信
頼度の半導体装置か4゛7られる。
(発明の効果J
以上の説明から明らかなように本発明によれば、In金
属バンプ同志が基板を加圧することなく容易に接続でき
るので、高信頼度の半導体装置が得られる効果かある。
属バンプ同志が基板を加圧することなく容易に接続でき
るので、高信頼度の半導体装置が得られる効果かある。
第1図は本発明の方法の原理図、
第2図(8)より第2図(b)までは本発明の方法の一
実施例を示す断面図、 第3し1は従来の方法の説明図である。 図において、 21.23は半゛W体基板、22.24は半導体素子、
25゜26は金属バンプ、27.28は磁性体、28^
は磁性体の族4部、29.30は接続用金属膜、41は
CdTe基板、42はエピタキシャル層、43はN型層
、44は保護膜、45、49は接続用金に膜、46は3
1基板、47ばP型層、48はSiO□膜を示す。 −] (1
実施例を示す断面図、 第3し1は従来の方法の説明図である。 図において、 21.23は半゛W体基板、22.24は半導体素子、
25゜26は金属バンプ、27.28は磁性体、28^
は磁性体の族4部、29.30は接続用金属膜、41は
CdTe基板、42はエピタキシャル層、43はN型層
、44は保護膜、45、49は接続用金に膜、46は3
1基板、47ばP型層、48はSiO□膜を示す。 −] (1
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 一方の半導体基板(21)に形成した半導体素子(2
2)と、他方の半導体基板(23)に形成した半導体素
子(24)とを金属バンプ(25)で接続して成る半導
体装置の製造に於いて、 前記相互の半導体素子上に柱状の磁性体(27、28)
を形成後、該磁性体(27、28)の表面に接続用金属
膜(29、30)を被着して金属バンプ(25、26)
を形成後、前記磁性体(27、28)の先端部を互いに
異なる磁極となるように磁化した後、前記金属バンプ(
25、26)の接続用金属膜(29、30)同志を接触
して前記磁性体(27、28)の磁力によって金属バン
プ(25、26)同志を接合することを特徴とする半導
体装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63025909A JPH01201930A (ja) | 1988-02-05 | 1988-02-05 | 半導体装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63025909A JPH01201930A (ja) | 1988-02-05 | 1988-02-05 | 半導体装置の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01201930A true JPH01201930A (ja) | 1989-08-14 |
Family
ID=12178905
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP63025909A Pending JPH01201930A (ja) | 1988-02-05 | 1988-02-05 | 半導体装置の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH01201930A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0918197A (ja) * | 1995-06-30 | 1997-01-17 | Nec Corp | プリント板ユニット |
US9373609B2 (en) | 2012-10-18 | 2016-06-21 | Infineon Technologies Ag | Bump package and methods of formation thereof |
JP2017539097A (ja) * | 2015-07-14 | 2017-12-28 | ゴルテック.インク | マイクロ発光ダイオードの搬送方法、製造方法、マイクロ発光ダイオード装置、及び電子機器 |
JP2019062054A (ja) * | 2017-09-26 | 2019-04-18 | 三菱マテリアル株式会社 | 熱電変換セル及び熱電変換モジュール |
-
1988
- 1988-02-05 JP JP63025909A patent/JPH01201930A/ja active Pending
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0918197A (ja) * | 1995-06-30 | 1997-01-17 | Nec Corp | プリント板ユニット |
US9373609B2 (en) | 2012-10-18 | 2016-06-21 | Infineon Technologies Ag | Bump package and methods of formation thereof |
DE102013111540B4 (de) | 2012-10-18 | 2020-01-16 | Infineon Technologies Ag | Höckergehäuse und Verfahren zu seiner Herstellung |
JP2017539097A (ja) * | 2015-07-14 | 2017-12-28 | ゴルテック.インク | マイクロ発光ダイオードの搬送方法、製造方法、マイクロ発光ダイオード装置、及び電子機器 |
JP2019062054A (ja) * | 2017-09-26 | 2019-04-18 | 三菱マテリアル株式会社 | 熱電変換セル及び熱電変換モジュール |
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