JPH01182731A - 密封容器の気密性能試験方法 - Google Patents
密封容器の気密性能試験方法Info
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- JPH01182731A JPH01182731A JP63004745A JP474588A JPH01182731A JP H01182731 A JPH01182731 A JP H01182731A JP 63004745 A JP63004745 A JP 63004745A JP 474588 A JP474588 A JP 474588A JP H01182731 A JPH01182731 A JP H01182731A
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- 238000005070 sampling Methods 0.000 claims abstract description 23
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 10
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims 6
- 239000001307 helium Substances 0.000 claims 1
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 claims 1
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 9
- 238000007789 sealing Methods 0.000 abstract description 2
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 7
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- 238000010998 test method Methods 0.000 description 4
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
- G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
- G01M3/04—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point
- G01M3/20—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
「産業上の利用分野」
本発明は、密封容器の気密性能試験方法に係り、特に密
封容器の非破壊気密性能試験方法に関する。
封容器の非破壊気密性能試験方法に関する。
「従来の技術」
従来、密封容器の気密性を確認するために行う非破壊気
密性確認試験方法は種々提案されている。
密性確認試験方法は種々提案されている。
この内で特に容器の内部からの操作例えば、加圧及び減
圧、測定機の挿入等が行えない場合に気密性確認対象物
である容器を減圧容器内に入れ、減圧しながら或いは高
真空度まで減圧を行い然る後Ｈｅ リークディテクタ
（質量分析器）等により測定することが行われていた。
圧、測定機の挿入等が行えない場合に気密性確認対象物
である容器を減圧容器内に入れ、減圧しながら或いは高
真空度まで減圧を行い然る後Ｈｅ リークディテクタ
（質量分析器）等により測定することが行われていた。
第２図は、従来のＨｅリークディテクタ（質量分析器）
を用いた非破壊気密性確認試験方法の一実施例を示す図
である。同図に示す方法はまず、気密性確認対象物であ
る容器１を減圧容器２内に入れ弁３を開き真空ポンプ４
により１０−” Ｔｏｒｒ程度まで減圧する。この時、
弁５は閉じている。
を用いた非破壊気密性確認試験方法の一実施例を示す図
である。同図に示す方法はまず、気密性確認対象物であ
る容器１を減圧容器２内に入れ弁３を開き真空ポンプ４
により１０−” Ｔｏｒｒ程度まで減圧する。この時、
弁５は閉じている。
次に弁３を閉じるとともに弁５を開き、油拡散ポンプ６
により更にｌ Ｏ−’ Ｔｏｒｒ以下に減圧しＨｅリー
クデイチクタフにより測定する。
により更にｌ Ｏ−’ Ｔｏｒｒ以下に減圧しＨｅリー
クデイチクタフにより測定する。
「発明が解決しようとする問題点」
ところで、上述のＨｅ リークディテクタ７を使用す
る測定方法は減圧容器２内を１０−’ Ｔｏｒｒ以上の
高真空に保持する必要があるとともに真空を発生させる
真空ポンプも低真空用と高真空用の２種類が必要であり
、機器の製作および購入費用も膨大になるという欠点が
あった。また、容器１の欠陥孔が１００μｍｍ以上では
測定できないという欠点が存在した。つまり、Ｈｅ１Ｊ
−タディテクタが作動する１ ０−２Ｔｏｒｒ まで真
空ポンプで吸引する際に容器１の欠陥孔が１００μｍｍ
以上であるとＨｅの流出時間が早＜ １０−’ Ｔｏｒ
ｒ まで真空ポンプで吸引する間に測定対象物であるＨ
ｅがなくなってしまうからである。
る測定方法は減圧容器２内を１０−’ Ｔｏｒｒ以上の
高真空に保持する必要があるとともに真空を発生させる
真空ポンプも低真空用と高真空用の２種類が必要であり
、機器の製作および購入費用も膨大になるという欠点が
あった。また、容器１の欠陥孔が１００μｍｍ以上では
測定できないという欠点が存在した。つまり、Ｈｅ１Ｊ
−タディテクタが作動する１ ０−２Ｔｏｒｒ まで真
空ポンプで吸引する際に容器１の欠陥孔が１００μｍｍ
以上であるとＨｅの流出時間が早＜ １０−’ Ｔｏｒ
ｒ まで真空ポンプで吸引する間に測定対象物であるＨ
ｅがなくなってしまうからである。
本発明の目的は上述した欠点に鑑みなされたもので、高
真空用のケーシングを必要とすることなく真空ポンプも
一台で済み、しかも正確な測定の出来る密封容器の気密
性能試験方法を提供することにある。
真空用のケーシングを必要とすることなく真空ポンプも
一台で済み、しかも正確な測定の出来る密封容器の気密
性能試験方法を提供することにある。
「問題点を解決するための手段」
本発明に係る密封容器の気密性能試験方法はまず、密封
性を測定すべき密封容器をＡケーシング内に入れ減圧し
所定時間放置し、減圧した後のＡケーシング内へＨｅ等
の希ガスを注入し所定時間放置した後、密封容器を別の
Ｂケーシング移動しこのＢケーシングと既に減圧された
ガスサンプリングタンクとを連通しＢケーシング内の圧
力を所定量減圧しこのガスサンプリングタンク内のＨｅ
を測定するとともにＢケーシングおよびガスサンプリン
グタンク内の予め測定したＨｅ濃度とを比較することに
より密封容器からのＨｅ漏れを検出する方法である。
性を測定すべき密封容器をＡケーシング内に入れ減圧し
所定時間放置し、減圧した後のＡケーシング内へＨｅ等
の希ガスを注入し所定時間放置した後、密封容器を別の
Ｂケーシング移動しこのＢケーシングと既に減圧された
ガスサンプリングタンクとを連通しＢケーシング内の圧
力を所定量減圧しこのガスサンプリングタンク内のＨｅ
を測定するとともにＢケーシングおよびガスサンプリン
グタンク内の予め測定したＨｅ濃度とを比較することに
より密封容器からのＨｅ漏れを検出する方法である。
「作用」
このように、本発明の密封容器の気密性能試験方法によ
れば、２個のケーシングを用いることにより測定のだの
真空度を１０−１程度吸引すればよく、簡易な装置で容
易にしかも正確に密封容器の気密性能試験を行うことが
可能となる。
れば、２個のケーシングを用いることにより測定のだの
真空度を１０−１程度吸引すればよく、簡易な装置で容
易にしかも正確に密封容器の気密性能試験を行うことが
可能となる。
「実施例」
以下、本発明の一実施例について添付図面を参照しなが
ら説明する。
ら説明する。
第１図は本発明の一実施例の気密性能試験方法を示すも
のである。まず気密性確認対象物である密封容器１０を
Ａケーシング１１にいれ弁１２を開は真空ポンプ１３に
よりＡケーシング１１内を減圧する。Ａケーシング１１
を減圧後、測定対象物である容器１０に欠陥がある時、
欠陥孔の大小により所定の時間遅れをともなって容器が
欠陥孔により減圧される。従って、Ａケーシング１１の
減圧後欠陥孔による密封容器内の減圧を徹底するため、
所定の放置時間を設ける。この所定の時間放置後、Ａケ
ーシング１１へ図外のＨｅボンベからＨｅを充填し大気
圧まで戻す。大気圧置換後に減圧後と同様な放置時間を
おく。これは密封容器ｌＯ内へＨｅが浸透するための時
間が必要だからである。その後、ＡケーシングがＨｅ
による汚染の影響を受けるのを防ぐため密封容器１０を
Ａケ゛ −シング１１からＢケーシング１４へ移動す
る。
のである。まず気密性確認対象物である密封容器１０を
Ａケーシング１１にいれ弁１２を開は真空ポンプ１３に
よりＡケーシング１１内を減圧する。Ａケーシング１１
を減圧後、測定対象物である容器１０に欠陥がある時、
欠陥孔の大小により所定の時間遅れをともなって容器が
欠陥孔により減圧される。従って、Ａケーシング１１の
減圧後欠陥孔による密封容器内の減圧を徹底するため、
所定の放置時間を設ける。この所定の時間放置後、Ａケ
ーシング１１へ図外のＨｅボンベからＨｅを充填し大気
圧まで戻す。大気圧置換後に減圧後と同様な放置時間を
おく。これは密封容器ｌＯ内へＨｅが浸透するための時
間が必要だからである。その後、ＡケーシングがＨｅ
による汚染の影響を受けるのを防ぐため密封容器１０を
Ａケ゛ −シング１１からＢケーシング１４へ移動す
る。
なお、移動する前に密封容器１０を外に置きＢケーシン
グ１４、ガスサンプリングタンク１５内の吸引洗浄をお
こなう。吸引洗浄後密封容器の欠陥の有無を判定するた
めのバックデータとして、大気圧開放後のガスサンプリ
ングタンク１５内の大気を採取しＨｅ濃度を測定する。
グ１４、ガスサンプリングタンク１５内の吸引洗浄をお
こなう。吸引洗浄後密封容器の欠陥の有無を判定するた
めのバックデータとして、大気圧開放後のガスサンプリ
ングタンク１５内の大気を採取しＨｅ濃度を測定する。
一方、弁１６を開き弁１７を閉じて真空ポンプ１３によ
りガスサンプリングタンク１５を減圧し、その換弁１６
を閉じ弁１７を開けてＢケーシング１４と連通させた後
、所定の放置時間をおく。その後、弁１７を閉じ、ガス
サンプリングタンク１５よりガスの採取を行う。これに
より、欠陥孔がある大きさであればガスサンプリングタ
ンク１５の減圧後、弁１７を開成する事によりガスサン
プリングタンク１５内に欠陥孔より圧力差で流出したＨ
ｅが検出される。また、欠陥孔が小さい場合には圧力差
による流出が時間遅れを伴っているため、Ｂケーシング
１４までは圧力差で流出するがＢケーシング１４及びガ
スサンプリングタンク１５間は弁１７の開放後、直ちに
圧力平衡になるためガスサンプリングタンク１５には到
達しない。従って、再度ガスサンプリングタンク１５を
減圧し弁１７を開成し圧力平衡になった時点でガスサン
プリングタンク１５内ガスを採取しガスクロマトグラフ
ィ等で測定する。
りガスサンプリングタンク１５を減圧し、その換弁１６
を閉じ弁１７を開けてＢケーシング１４と連通させた後
、所定の放置時間をおく。その後、弁１７を閉じ、ガス
サンプリングタンク１５よりガスの採取を行う。これに
より、欠陥孔がある大きさであればガスサンプリングタ
ンク１５の減圧後、弁１７を開成する事によりガスサン
プリングタンク１５内に欠陥孔より圧力差で流出したＨ
ｅが検出される。また、欠陥孔が小さい場合には圧力差
による流出が時間遅れを伴っているため、Ｂケーシング
１４までは圧力差で流出するがＢケーシング１４及びガ
スサンプリングタンク１５間は弁１７の開放後、直ちに
圧力平衡になるためガスサンプリングタンク１５には到
達しない。従って、再度ガスサンプリングタンク１５を
減圧し弁１７を開成し圧力平衡になった時点でガスサン
プリングタンク１５内ガスを採取しガスクロマトグラフ
ィ等で測定する。
以上の測定操作終了後、既に求めたバックデータを基に
ガスサンプリングタンク１５内の測定データと比較判定
することにより、対象である密封容器の気密性の確認を
行うことができる。
ガスサンプリングタンク１５内の測定データと比較判定
することにより、対象である密封容器の気密性の確認を
行うことができる。
なお、以上の実施例ではＡ、８２個のケーシングを使用
する場合について説明したがこれに限ることなく１個の
ケーシングを使用するものであってもよい。
する場合について説明したがこれに限ることなく１個の
ケーシングを使用するものであってもよい。
「発明の効果コ
本発明は、ケーシングとガスサンプリングタンクを使用
することにより両ケーシングの圧力差を利用している為
、１０−’ Ｔｏｒｒ程度の真空度で容器の気密性試験
を行うことができる。また、操作が容易であるため、現
場作業にて充分正確な測定を行うことができる。更に、
高真空容器を必要としないため安価に測定することがで
きる。
することにより両ケーシングの圧力差を利用している為
、１０−’ Ｔｏｒｒ程度の真空度で容器の気密性試験
を行うことができる。また、操作が容易であるため、現
場作業にて充分正確な測定を行うことができる。更に、
高真空容器を必要としないため安価に測定することがで
きる。
第１図は本発明の一実施例の気密性能試験方法を示す説
明図、第２図は従来のＨｅリークディテクタを用いた非
破壊気密性確認試験方法の一実施例を示す説明図である
。 １０・・・・・・密封容器、 １１・・・・・・Ａケーシング、 １２．１６．１７・・・・・・弁、 １３・・・・・・真空ポンプ、 １４・・・・・・Ｂケーシング、 １５・・・・・・ガスサンプリングタンク。 出 願 人 日本原子力事業株式会社 代 理 人
明図、第２図は従来のＨｅリークディテクタを用いた非
破壊気密性確認試験方法の一実施例を示す説明図である
。 １０・・・・・・密封容器、 １１・・・・・・Ａケーシング、 １２．１６．１７・・・・・・弁、 １３・・・・・・真空ポンプ、 １４・・・・・・Ｂケーシング、 １５・・・・・・ガスサンプリングタンク。 出 願 人 日本原子力事業株式会社 代 理 人
Claims (1)
- 密封容器を第１のケーシング内に入れ減圧し所定時間放
置する工程と、減圧後の第１のケーシング内へヘリウム
等の希ガスを注入し所定時間放置する工程と、密封容器
を第２のケーシングへ移動しこの第２のケーシングと既
に減圧されたガスサンプリングタンクとを連通し第２の
ケーシング内の圧力を所定量減圧する工程と、ガスサン
プリングタンク内の希ガスを測定する工程と、第２のケ
ーシングおよびガスサンプリングタンク内の予め測定し
た希ガス濃度とを比較する工程とから成ることを特徴と
する密封容器の気密性能試験方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63004745A JPH01182731A (ja) | 1988-01-14 | 1988-01-14 | 密封容器の気密性能試験方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63004745A JPH01182731A (ja) | 1988-01-14 | 1988-01-14 | 密封容器の気密性能試験方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01182731A true JPH01182731A (ja) | 1989-07-20 |
Family
ID=11592451
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63004745A Pending JPH01182731A (ja) | 1988-01-14 | 1988-01-14 | 密封容器の気密性能試験方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01182731A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006250789A (ja) * | 2005-03-11 | 2006-09-21 | Yamaha Fine Technologies Co Ltd | 漏れ検査装置および漏れ検査方法 |
| CN104568336A (zh) * | 2015-01-26 | 2015-04-29 | 上海贤日自动化设备有限公司 | 一种密封工件的氦质谱检漏方法 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3578758A (en) * | 1969-05-07 | 1971-05-18 | Nasa | Orifice gross leak tester |
| US3675468A (en) * | 1970-11-25 | 1972-07-11 | Raytheon Co | Leak testing apparatus and method |
| JPS5857940B2 (ja) * | 1979-08-20 | 1983-12-22 | 日本電信電話株式会社 | 非同期多重化集配方式 |
| JPS59176642A (ja) * | 1983-03-25 | 1984-10-06 | Hitachi Zosen Corp | 使用済核燃料輸送容器の漏洩検査方法 |
-
1988
- 1988-01-14 JP JP63004745A patent/JPH01182731A/ja active Pending
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3578758A (en) * | 1969-05-07 | 1971-05-18 | Nasa | Orifice gross leak tester |
| US3675468A (en) * | 1970-11-25 | 1972-07-11 | Raytheon Co | Leak testing apparatus and method |
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| JPS59176642A (ja) * | 1983-03-25 | 1984-10-06 | Hitachi Zosen Corp | 使用済核燃料輸送容器の漏洩検査方法 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006250789A (ja) * | 2005-03-11 | 2006-09-21 | Yamaha Fine Technologies Co Ltd | 漏れ検査装置および漏れ検査方法 |
| JP4573269B2 (ja) * | 2005-03-11 | 2010-11-04 | ヤマハファインテック株式会社 | 漏れ検査装置および漏れ検査方法 |
| CN104568336A (zh) * | 2015-01-26 | 2015-04-29 | 上海贤日自动化设备有限公司 | 一种密封工件的氦质谱检漏方法 |
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|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
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| A521 | Written amendment |
Effective date: 20070925 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 |
|
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Effective date: 20071016 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 |
|
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Effective date: 20080513 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
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