JPH01182731A - 密封容器の気密性能試験方法 - Google Patents
密封容器の気密性能試験方法Info
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- JPH01182731A JPH01182731A JP63004745A JP474588A JPH01182731A JP H01182731 A JPH01182731 A JP H01182731A JP 63004745 A JP63004745 A JP 63004745A JP 474588 A JP474588 A JP 474588A JP H01182731 A JPH01182731 A JP H01182731A
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Classifications
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
- G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
- G01M3/04—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point
- G01M3/20—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material
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Abstract
め要約のデータは記録されません。
Description
封容器の非破壊気密性能試験方法に関する。
密性確認試験方法は種々提案されている。
圧、測定機の挿入等が行えない場合に気密性確認対象物
である容器を減圧容器内に入れ、減圧しながら或いは高
真空度まで減圧を行い然る後He リークディテクタ
(質量分析器)等により測定することが行われていた。
を用いた非破壊気密性確認試験方法の一実施例を示す図
である。同図に示す方法はまず、気密性確認対象物であ
る容器1を減圧容器2内に入れ弁3を開き真空ポンプ4
により10−” Torr程度まで減圧する。この時、
弁5は閉じている。
により更にl O−’ Torr以下に減圧しHeリー
クデイチクタフにより測定する。
る測定方法は減圧容器2内を10−’ Torr以上の
高真空に保持する必要があるとともに真空を発生させる
真空ポンプも低真空用と高真空用の2種類が必要であり
、機器の製作および購入費用も膨大になるという欠点が
あった。また、容器1の欠陥孔が100μmm以上では
測定できないという欠点が存在した。つまり、He1J
−タディテクタが作動する1 0−2Torr まで真
空ポンプで吸引する際に容器1の欠陥孔が100μmm
以上であるとHeの流出時間が早< 10−’ Tor
r まで真空ポンプで吸引する間に測定対象物であるH
eがなくなってしまうからである。
真空用のケーシングを必要とすることなく真空ポンプも
一台で済み、しかも正確な測定の出来る密封容器の気密
性能試験方法を提供することにある。
性を測定すべき密封容器をAケーシング内に入れ減圧し
所定時間放置し、減圧した後のAケーシング内へHe等
の希ガスを注入し所定時間放置した後、密封容器を別の
Bケーシング移動しこのBケーシングと既に減圧された
ガスサンプリングタンクとを連通しBケーシング内の圧
力を所定量減圧しこのガスサンプリングタンク内のHe
を測定するとともにBケーシングおよびガスサンプリン
グタンク内の予め測定したHe濃度とを比較することに
より密封容器からのHe漏れを検出する方法である。
れば、2個のケーシングを用いることにより測定のだの
真空度を10−1程度吸引すればよく、簡易な装置で容
易にしかも正確に密封容器の気密性能試験を行うことが
可能となる。
ら説明する。
のである。まず気密性確認対象物である密封容器10を
Aケーシング11にいれ弁12を開は真空ポンプ13に
よりAケーシング11内を減圧する。Aケーシング11
を減圧後、測定対象物である容器10に欠陥がある時、
欠陥孔の大小により所定の時間遅れをともなって容器が
欠陥孔により減圧される。従って、Aケーシング11の
減圧後欠陥孔による密封容器内の減圧を徹底するため、
所定の放置時間を設ける。この所定の時間放置後、Aケ
ーシング11へ図外のHeボンベからHeを充填し大気
圧まで戻す。大気圧置換後に減圧後と同様な放置時間を
おく。これは密封容器lO内へHeが浸透するための時
間が必要だからである。その後、AケーシングがHe
による汚染の影響を受けるのを防ぐため密封容器10を
Aケ゛ −シング11からBケーシング14へ移動す
る。
グ14、ガスサンプリングタンク15内の吸引洗浄をお
こなう。吸引洗浄後密封容器の欠陥の有無を判定するた
めのバックデータとして、大気圧開放後のガスサンプリ
ングタンク15内の大気を採取しHe濃度を測定する。
りガスサンプリングタンク15を減圧し、その換弁16
を閉じ弁17を開けてBケーシング14と連通させた後
、所定の放置時間をおく。その後、弁17を閉じ、ガス
サンプリングタンク15よりガスの採取を行う。これに
より、欠陥孔がある大きさであればガスサンプリングタ
ンク15の減圧後、弁17を開成する事によりガスサン
プリングタンク15内に欠陥孔より圧力差で流出したH
eが検出される。また、欠陥孔が小さい場合には圧力差
による流出が時間遅れを伴っているため、Bケーシング
14までは圧力差で流出するがBケーシング14及びガ
スサンプリングタンク15間は弁17の開放後、直ちに
圧力平衡になるためガスサンプリングタンク15には到
達しない。従って、再度ガスサンプリングタンク15を
減圧し弁17を開成し圧力平衡になった時点でガスサン
プリングタンク15内ガスを採取しガスクロマトグラフ
ィ等で測定する。
ガスサンプリングタンク15内の測定データと比較判定
することにより、対象である密封容器の気密性の確認を
行うことができる。
する場合について説明したがこれに限ることなく1個の
ケーシングを使用するものであってもよい。
することにより両ケーシングの圧力差を利用している為
、10−’ Torr程度の真空度で容器の気密性試験
を行うことができる。また、操作が容易であるため、現
場作業にて充分正確な測定を行うことができる。更に、
高真空容器を必要としないため安価に測定することがで
きる。
明図、第2図は従来のHeリークディテクタを用いた非
破壊気密性確認試験方法の一実施例を示す説明図である
。 10・・・・・・密封容器、 11・・・・・・Aケーシング、 12.16.17・・・・・・弁、 13・・・・・・真空ポンプ、 14・・・・・・Bケーシング、 15・・・・・・ガスサンプリングタンク。 出 願 人 日本原子力事業株式会社 代 理 人
Claims (1)
- 密封容器を第1のケーシング内に入れ減圧し所定時間放
置する工程と、減圧後の第1のケーシング内へヘリウム
等の希ガスを注入し所定時間放置する工程と、密封容器
を第2のケーシングへ移動しこの第2のケーシングと既
に減圧されたガスサンプリングタンクとを連通し第2の
ケーシング内の圧力を所定量減圧する工程と、ガスサン
プリングタンク内の希ガスを測定する工程と、第2のケ
ーシングおよびガスサンプリングタンク内の予め測定し
た希ガス濃度とを比較する工程とから成ることを特徴と
する密封容器の気密性能試験方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63004745A JPH01182731A (ja) | 1988-01-14 | 1988-01-14 | 密封容器の気密性能試験方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63004745A JPH01182731A (ja) | 1988-01-14 | 1988-01-14 | 密封容器の気密性能試験方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01182731A true JPH01182731A (ja) | 1989-07-20 |
Family
ID=11592451
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP63004745A Pending JPH01182731A (ja) | 1988-01-14 | 1988-01-14 | 密封容器の気密性能試験方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH01182731A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006250789A (ja) * | 2005-03-11 | 2006-09-21 | Yamaha Fine Technologies Co Ltd | 漏れ検査装置および漏れ検査方法 |
CN104568336A (zh) * | 2015-01-26 | 2015-04-29 | 上海贤日自动化设备有限公司 | 一种密封工件的氦质谱检漏方法 |
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JPS59176642A (ja) * | 1983-03-25 | 1984-10-06 | Hitachi Zosen Corp | 使用済核燃料輸送容器の漏洩検査方法 |
-
1988
- 1988-01-14 JP JP63004745A patent/JPH01182731A/ja active Pending
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