JPH01168035A

JPH01168035A - 塗布装置

Info

Publication number: JPH01168035A
Application number: JP62328240A
Authority: JP
Inventors: Masamitsu Kakehi; 筧　真光
Original assignee: Renesas Semiconductor Manufacturing Co Ltd; Kansai Nippon Electric Co Ltd
Current assignee: Renesas Semiconductor Manufacturing Co Ltd; Kansai Nippon Electric Co Ltd
Priority date: 1987-12-23
Filing date: 1987-12-23
Publication date: 1989-07-03

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】崖呈上９訓月附犀本発明は、配線基板上に、スクリーンマスクによって印
刷する塗布装置に関し、詳しくは、前記スクリーンマス
クの破れを防止するものに関する。

従来の技術電子回路装置の一例として、例えば、リードフレームを
使用したハイブリッドＩＣの従来例を、第５図及び第６
図によって説明する。

同図において、（１）は金属製のリードフレーム、（２
）は、該リードフレーム（１）に、吊りピン（３）、（
３）で支持された矩形状のランド部、（４）、（４）・
・・は、ランド部（２）の周辺部近傍まで延びてくる多
数のリード、（５）、（５）・・・は、並行に配設した
上記各リード（４）、（４）・・・を連結一体化するタ
イバーである。（６）は、上記ランド部（２）上に、接
着材を介して固着したランド部（２）と略同−矩形サイ
ズの配線基板で、この配線基板（６）は、例えば、プラ
スチック等の耐熱性及び絶縁性の基板の表面に、薄膜蒸
着や、スクリーン印刷法等によって、配線パターン（７
）、（７）・・・を被着形成したものである。この配線
パターン（７）、（７）・・・に、半導体ベレット（８
）、（８）・・・や、図示しない抵抗、コンデンサ、イ
ンダクタンス等のチップ部品からなる複数種の電子部品
を、導電性のペースト（９）を介して固着マウントする
。半導体ペレット（８）、（８）・・・と導電パターン
（７）、（７）・・・との間、及び、導電パターン（７
）、（７）・・・とり一ド（４）、（４）・・・の先端
部との間は、Ａｕ或いはＭ製のワイヤ（１０）、（１０
）・・・を使用して、電気的に接続する。第６図中、（
１１）は、エポキシ樹脂等の硬化性を有する外装樹脂材
で、ランド部（２）の全体から、リード（４）、（４）
の先端部までモールドする。

次に、導電性のペースト（９）を塗布する第１の塗布装
置を、第７図によって説明する。

同図において、（１２）は、台板で、配線基板（６）等
を収容する凹部（１３）を形成しである、　　（１４）
は、配線基板（６）上を一時的に被覆するスクリーンマ
スクで、導電パターン（７）上の所望の部分に、窓（１
５）を穿設しである。

（１６）は、スキージで、下端部をスクリーンマスク（
１４）に圧着し、スクリーンマスク（１４）の一端側に
盛られたペースト（９）を、他端側へ移動させる。

次に、第２の塗布装置を、第８図によって説明する。

同図において、（１７）は、スクリーンマスク（１４）
の下側で、かつ、リード（４）の上部に対応する位置に
添着したスペーサで、スクリーンマスク（１４）を、リ
ードフレーム（１）と平行にするものである。他の部品
については、第７図に示した第１の塗布装置と同じであ
るから、説明は省略する。

次に、塗布装置によるペースト（９）の塗布方法につい
て説明する。第１の塗布装置も、第２の塗布装置も、方
法は同じである。

スキージ（１６）は、下端部をスクリーンマスク（１４
）に圧着し、スクリーンマスク（１４）の一端側に盛ら
れたペースト（９）を、他端側へ移動させる。スクリー
ンマスク（１４）には、所望の部分に、窓（１５）を穿
設しであるから、この窓（１５）内に、ペースト（９）
が充填される。ペースト（９）を他端側へ移動させた後
、スクリーンマスク（１４）を、配線基板（６）上から
取り除く、そして、ペースト（９）が充填された部分に
、半導体ペレット（８）を載置して、ワイヤボンディン
グを行う。

、　　が　゛　しようとする間阻点上記第１の塗布装置においては、スキージ（１６）を移
動させるに際して、スキージ（１６）の下端部を、スク
リーンマスク（１４）に圧着する。従って、第７図仮想
線に示すように、スクリーンマスク（１４）は、配線基
板（６）及び導電パターン（７）の角部で、折れ曲がっ
たような状態となり、この部分で破れやすかった。スク
リーンマスク（１４）が破れると、ペースト（９）が、
配線基板（６）上のボンディングバットに付着して、シ
ョートするという問題点があった。

この導電パターン（７）角部で、スクリーンマスク（１
４）が破れることを解消するため、上記第２の塗布装置
のように、スクリーンマスク（１４）の下面に、スペー
サ（１７）を添着し、配線基板（６）及び導電パターン
（７）の角部で、スクリーンマスク（１４）が折れ曲が
らないようにすることもできる。しかし、この第２の塗
布装置においては、スペーサ（１７）の角部で、スクリ
ーンマスク（１４）が折れ曲がり破れやすい。

また、スクリーンマスク（Ｉ４）を折れ難くするため、
スクリーンマスク（１４）を厚くすることも考えれるら
れるが、この場合は、窓（１５）が深くなり、ペースト
（９）が多量に必要となり、また、スクリーンマスク（
１４）の可撓性も劣化するため好ましくない。

間！！寺を解°するための手本発明は、上記問題点を解決するため、配線基板上に、
スクリーンマスクを介して、スキージでペーストを塗布
して、ペーストをスクリーン印刷する塗布装置において
、上記配線基板を収容する凹部を形成した台板と、前記
凹部内に、配線基板を、スキージの移動に対応して圧下
されるよう支持する揺動治具とを具備したものである。

Ｕ上記解決手段としたことにより、スキージが移動してい
る部分の配線基板が押圧され、スキージの移動に従って
、配線基板と配線基板上のスクリーンマスクとが揺動す
る。従って、スクリーンマスクは、配線基板の角部で折
れ曲がることはない。

夫施± 本発明に係る第１の実施例を、第１図及び第２図を参照
しながら説明する。但し、従来の技術において説明した
部品と同一部品は、同一の符号を附して、その説明は省
略する。

同図において、（１日）は、台板で、配線基板（６）を
収容する凹部（１９）を形成しである。

（２０）は、前記凹部（１９）内に配置する揺動治具で
、配線基板（６）をｉｔしたリードフレーム（１）の底
面を支承する。図において、揺動治具（２０）は、断面
形状が円形であるものを図示したが、三角形でもよく、
リードフレーム（１）を支承できれば、形状を特定する
ものではない。

他の部品は、従来と同一であるので、次に動作について
説明する。

先ず、第１図に示すように、スキージ（１６）を、図面
において、左側から右側へと移動させる。すると、配線
基板（６）とリードフレーム（１）とは、揺動治具（２
０）に支承された状態にあるから、スキージ（１６）が
、スクリーンマスク（１４）を圧下することにより、図
面において、左側の配線基板（６）が左下りとなる。ス
キージ（１６）を、右方向へ移動させてゆくと、スクリ
ーンマスク（１４）の窓（１５）に、ペースト（９）が
充填される。スキージ（１６）が、揺動治具（２０）の
右側にくると、第２図に示すように、配線基板（６）は
、シーソ式に右下りとなる０図面からも明らかなように
、配線基板（６）のシーソ式の揺動に伴い、スクリーン
マスク（１４）は、スキージ（１６）によって、配線基
板（６）の角部で折れ曲がったような状態にならないか
ら、スクリーンマスク（１４）が破れることはない。

ペースト（９）のスクリーン印刷終了後は、別治具にお
いて、ペースト（９）上に半導体ベレット（８）を装着
し、後工程へ送る。

次に、第２の実施例を、第３図及び第４図を参照しなが
ら説明する。

同図において、（２１）、（２２）は揺動治具としての
第１及び第２の圧縮コイルばねで、台板（１８）に形成
した凹部（１９）の両端上に配置する。

他の部品については、従来と同一部品であるので、説明
は省略し、次に動作について説明する。

先ず、第３図に示すように、スキージ（１６）を図面に
おいて、左側から右側へ移動させる。

すると、スキージ（１６）が、スクリーンマスク（１４
）を圧下することにより、第１の圧縮コイルばね（２１
）が押圧され、配線基板（６）とリードフレーム（１）
とは、左下りの状態となる。スキージ（１６）を、さら
に右側へ移動させると、ペースト（９）が、スクリーン
マスク（１４）の窓（１５）に充填される。そして、ス
キージ（１６）が、第２の圧縮コイルばね（２２）を押
圧すると、第１の圧縮コイルばね（２１）が伸張し、配
線基板（６）とリードフレーム（１）とは、シーソ式に
右下りとなる。このような、配線基板（６）とリードフ
レーム（１）の揺動によって、スクリーンマスク（１４
）は、配線基板（６）の角部て、折れ曲がることはない
から、スクリーンマスク（１４）は破れない。

ペースト（９）のスクリーン印刷終了後は、配線基板（
６）等を後工程へ送る。

３明の効果本発明によれば、スクリーンマスク（１４）が、折れ曲
がって、破れるようなことはないから、ペーストが配線
基板上の電極パッドに付着することがない。従って、電
子回路装置の生産性を向上させることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図及び第２図は、本発明にかかる第１の実施例を示
す塗布装置の断面図、第３図及び第４図は、第２の実施
例を示す塗布装置の断面図である。第５図は、電子回路装置の一例としてのハイブリッドｔ
Ｃの製造途中における斜視図、第６　　　　スフ図は、
同じく断面図、第７図及び第８図は、従来の塗布装置の
断面図である。（６）・・−配線基板、　　　　　（９）・・・・ペー
スト、（１４）−・スクリーンマスク、（１Ｂ）　−台
板、（１９）−・凹部、　　　　　　　（２０）・−揺
動治具。第１図第２図第　３　図第　５　図第　６　図

Claims

【特許請求の範囲】

（１）配線基板上に、スクリーンマスクを介して、スキ
ージでペーストを塗布して、ペーストをスクリーン印刷
する塗布装置において、上記配線基板を収容する凹部を形成した台板と、前記凹部内に、配線基板を、スキージの移動に対応して
圧下されるよう支持する揺動治具とを具備したことを特
徴とする塗布装置。