JPH01149006A - Light guide element - Google Patents
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/10—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
- G02B6/12—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
- G02B6/122—Basic optical elements, e.g. light-guiding paths
- G02B6/124—Geodesic lenses or integrated gratings
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は光導波路素子、特に詳細には光導波路の表面に
集光性回折格子を備え、光導波路中を導波させた光ビー
ムをこの集光性回折格子において回折させて、集光しつ
つ光導波路外に出射させるようにした光導波路素子に関
するものである。Detailed Description of the Invention (Industrial Field of Application) The present invention relates to an optical waveguide element, in particular, a light beam that is provided with a condensing diffraction grating on the surface of the optical waveguide, and that allows a light beam guided through the optical waveguide to be The present invention relates to an optical waveguide element that is configured to diffract light in a light-concentrating diffraction grating and emit light out of the optical waveguide while converging the light.
(従来の技術)
例えば光走査記録装置や光走査読取装置等において光ビ
ームを偏向させる光偏向装置として、従来より、ガルバ
ノメータミラーやポリゴンミラー等の機械式光偏向器や
、EOD (電気光学光偏向器) 、AOD (音響光
学光偏向器)が多く用いられている。しかし機械式光偏
向器においては、耐久性に難がある、大型化しやすいと
いった問題があり、一方EODやAOpにおいては、光
偏向角が大きく取れないのでビーム光路が長くなり、光
走査記録装置等の大型化を招くといった問題がある。(Prior Art) For example, mechanical optical deflectors such as galvanometer mirrors and polygon mirrors and EOD (electro-optic optical deflectors) have been used as optical deflection devices for deflecting light beams in optical scanning recording devices, optical scanning reading devices, etc. AOD (acousto-optic optical deflector) is widely used. However, mechanical optical deflectors have problems such as poor durability and easy increase in size.On the other hand, EOD and AOp cannot obtain a large optical deflection angle, so the beam optical path becomes long, and optical scanning recording devices etc. There is a problem in that it leads to an increase in size.
上述のような問題を解消しうる光偏向装置として近時、
光導波路を用いる光偏向装置が注目されている。この光
偏向装置は、表面弾性波が伝播可能な材料から形成され
たスラブ状の光導波路と、この光導波路内を導波する光
ビームと交わる方向に進行して周波数が連続的に変化す
る表面弾性波を該光導波路において発生させる手段(例
えば交叉くし形電極対と、この電極対に周波数が連続的
に変化する交番電圧を印加するドライバとから構成され
る)とを有するものである。この光偏向装置においては
、光導波路内を導波する光ビームが表面弾性波との音響
光学相互作用によりブラッグ回折し、そしてこの回折角
は表面弾性波周波数に応じて変化するので、表面弾性波
周波数を上述のように変えることにより、光ビームを光
導波路内において連続的に偏向させることができる。な
おこのような光偏向装置については、例、えば特開昭6
2−77761号公報に詳しい記載がなされている。Recently, as an optical deflection device that can solve the above-mentioned problems,
Optical deflection devices using optical waveguides are attracting attention. This optical deflection device consists of a slab-shaped optical waveguide made of a material that allows surface acoustic waves to propagate, and a surface whose frequency changes continuously as it travels in the direction intersecting the optical beam guided inside the optical waveguide. It has a means for generating an elastic wave in the optical waveguide (for example, composed of a pair of crossed comb-shaped electrodes and a driver that applies an alternating voltage whose frequency changes continuously to the pair of interdigitated electrodes). In this optical deflection device, the light beam guided in the optical waveguide undergoes Bragg diffraction due to acousto-optic interaction with the surface acoustic wave, and this diffraction angle changes depending on the surface acoustic wave frequency, so the surface acoustic wave By varying the frequency as described above, the light beam can be continuously deflected within the optical waveguide. Regarding such a light deflection device, for example, Japanese Patent Laid-Open No. 6
A detailed description is given in Japanese Patent No. 2-77761.
上述の光導波路を用いる光偏向装置においては、偏向さ
せた光ビームを集光しつつ光導波路外に出射させるため
に、光導波路の表面に設けた集光性回折格子(Focu
sing Grating Coupler: FG
C)を用いることが多い。このような集光性回折格子は
光導波路外に配置される通常の球面レンズと比べれば極
めて薄くまた小型に形成されつるので、光偏向装置を小
型軽量化する上で有利である。In the optical deflection device using the optical waveguide described above, a focusing diffraction grating (Focus grating) is provided on the surface of the optical waveguide in order to condense the deflected light beam and emit it out of the optical waveguide.
sing Grating Coupler: FG
C) is often used. Such a condensing diffraction grating is extremely thin and compact compared to a normal spherical lens disposed outside the optical waveguide, and is therefore advantageous in reducing the size and weight of the optical deflection device.
(発明が解決しようとする問題点)
しかしその反面この集光性回折格子に導波光が斜め、つ
まり回折格子の並び方向に対して角度をなす状態で入射
した場合、該集光性回折格子によって集束された光ビー
ムには、球面レンズで光ビームを集束させる場合と全く
異なる特殊な収差が生じ、この収差を球面レンズからな
る補正光学系によって補正することが困難になるという
問題が生じる。前述のように表面弾性波によって導波光
を偏向させる場合は、この導波光の集光性回折格子に対
する入射方向は刻々変化するから、偏向中のほとんどの
期間導波光が上述のように斜めに入射することになり、
上記特殊な収差の発生を回避することができない。(Problem to be solved by the invention) However, on the other hand, when guided light enters this condensing diffraction grating obliquely, that is, at an angle to the direction in which the diffraction gratings are arranged, A problem arises in that the focused light beam has a special aberration that is completely different from that when the light beam is focused by a spherical lens, and it is difficult to correct this aberration with a correction optical system made of a spherical lens. When guided light is deflected by surface acoustic waves as described above, the direction of incidence of the guided light on the condensing diffraction grating changes moment by moment, so most of the time during deflection the guided light is incident obliquely as described above. I decided to do it,
The occurrence of the above-mentioned special aberration cannot be avoided.
偏向した光ビームを平らな被走査面上に走査させて精密
な画像記録あるいは画像読取り等を行なう際には、上記
の収差を取り除くことが必要となるから、光導波路外に
非球面レンズ等から構成される複雑な補正光学系を配設
しなければならない。When performing precise image recording or image reading by scanning a flat scanned surface with a deflected light beam, it is necessary to remove the aberrations mentioned above. A complex correction optical system must be provided.
しかしこのような複雑な補正光学系を設ければ、当然な
がら光走査記録装置あるいは光走査読取装置が大型化し
てしまう。However, if such a complicated correction optical system is provided, the optical scanning recording device or the optical scanning reading device will naturally become larger.
以上、光導波路素子からなる光偏向装置における問題に
ついて述べたが、光導波路に表面弾性波を伝播させて導
波光を該表面弾性波によって回折させる光導波路素子は
例えば高周波スペクトルアナライザー等への適用も考え
られており、そのような場合も導波光を前述のような集
光性回折格子によって光導波路外へ出射させるようにす
れば、同様の問題が生じることになる。The problems with optical deflection devices made of optical waveguide elements have been described above, but optical waveguide elements that propagate surface acoustic waves in an optical waveguide and diffract the guided light by the surface acoustic waves can also be applied to, for example, high-frequency spectrum analyzers. Even in such a case, if the guided light is emitted out of the optical waveguide using a condensing diffraction grating as described above, the same problem will occur.
そこで本発明は、上述の問題を解決することができる光
導波路素子を提供することを目的とするものである。Therefore, an object of the present invention is to provide an optical waveguide element that can solve the above-mentioned problems.
(問題点を解決するための手段)
本発明の光導波路素子は、前述したように光導波路の表
面に形成する集光性回折格子を、その格子並び方向中央
位置から出射する光ビームの出射角がほぼ0°となる形
状としたことを特徴とするものである。(Means for Solving the Problems) The optical waveguide element of the present invention has a condensing diffraction grating formed on the surface of the optical waveguide as described above, and an emission angle of a light beam emitted from the central position in the direction in which the gratings are arranged. It is characterized by having a shape in which the angle is approximately 0°.
(作 用)
本発明者らの研究によると、集光性回折格子から上述の
ような角度で導波光を光導波路外に出射させる場合には
、通常の球面単レンズによって光ビームを集光する場合
の収差とほぼ同様の収差が発生することが分かった。し
たがってこの場合は、光導波路素子から出射した光ビー
ムを、従来から広く用いられている球面レンズからなる
補正光学系に通すだけで、上記収差を取り除くことがで
きる。上記の補正光学系は、例えば凹レンズ1枚と凸レ
ンズ1枚とから簡単に構成することができる。(Function) According to the research conducted by the present inventors, when the guided light is emitted from the condensing diffraction grating to the outside of the optical waveguide at the above-mentioned angle, the light beam is condensed by an ordinary spherical single lens. It was found that almost the same aberrations as those in the case were generated. Therefore, in this case, the aberration can be removed simply by passing the light beam emitted from the optical waveguide element through a correction optical system consisting of a spherical lens, which has been widely used in the past. The above correction optical system can be easily constructed from, for example, one concave lens and one convex lens.
(実 施 例)
以下、図面に示す実施例に基づいて本発明の詳細な説明
する。(Example) Hereinafter, the present invention will be described in detail based on an example shown in the drawings.
第1図は本発明の一実施例による光導波路素子lOの側
面形状を示すものであり、第2図はこの光導波路素子I
Oを用いて構成された画像記録用の光偏向器を示してい
る。光導波路素子10は、透明な基板16上に形成され
たスラブ状光導波路11と、この光導波路11の側端部
に設けられた交叉くし形電極対(I nter D
1g1tal T ransducer s以下ID
Tと称する) 15と、この光導波路llの表面におい
て互いに離して設けられた光入射用線状回折格子(Li
near crattng Coupler:以下L
GCと称する)20および光出射用集光性回折格子(以
下、FCCと称する)21とを有している。またこの光
導波路素子lOのFGC21の下方には、凹レンズ30
゜凸レンズ31が配置され、LGC20の下方にはコリ
メーターレンズ32が配置されている。FIG. 1 shows the side profile of an optical waveguide element IO according to an embodiment of the present invention, and FIG.
This figure shows an optical deflector for image recording constructed using O. The optical waveguide element 10 includes a slab-shaped optical waveguide 11 formed on a transparent substrate 16 and a pair of interdigitated electrodes (Inter D
ID below 1g1tal transducer s
15 (referred to as T) and a linear diffraction grating for light incidence (Li
near cratting coupler: hereafter L
GC) 20 and a light-emitting condensing diffraction grating (hereinafter referred to as FCC) 21. Further, below the FGC 21 of this optical waveguide element IO, there is a concave lens 30.
A convex lens 31 is arranged, and a collimator lens 32 is arranged below the LGC 20.
本実施例においては一例として、基板16にLiNbO
3ウェハを用い、このウェハの表面にTi拡散膜を設け
ることにより光導波路11を形成している。なお基板1
6としてその他サファイア、Si等からなる結晶性基板
が用いられてもよい。また光導波路11も上記のTi拡
散に限らず、基板16上にその他の材料をスパッタ、蒸
着する等して形成することもできる。なお光導波路につ
いては、例えばティー タミール(T−9Tamir)
編「インチグレイテッド オブティクス(I nteg
rated 0ptics)J()ピックス イン ア
プライド フィジックス(Topics In Ap
plied Physics)第7巻)スブリンガー
フエアラーグ(S pringer−Verlag)
刊(1975):西原、音名、栖原共著「光集積回路」
オーム社刊(1985)等の成著に詳細な記述があり、
本発明では光導波路11としてこれら公知の光導波路の
いずれをも使用できる。ただしこの光導波路11は、上
記Ti拡散膜等、後述する表面弾性波が伝播可能な材料
から形成される。また光導波路は2層以上の積層構造を
有していてもよい。In this embodiment, as an example, the substrate 16 is made of LiNbO.
The optical waveguide 11 is formed by using three wafers and providing a Ti diffusion film on the surface of the wafer. Note that substrate 1
As the material 6, a crystalline substrate made of sapphire, Si, etc. may also be used. Furthermore, the optical waveguide 11 is not limited to the above-mentioned Ti diffusion, but can also be formed by sputtering, vapor depositing, or the like other materials on the substrate 16. Regarding optical waveguides, for example, T-9Tamir
“Integrated Obtics” (ed.)
rated 0ptics)J()Pix in Applied Physics(Topics In Ap
plied Physics) Volume 7) Springer-Verlag
Published (1975): “Optical Integrated Circuits” by Nishihara, Onna, and Suhara.
There are detailed descriptions in published works such as Ohmsha (1985).
In the present invention, any of these known optical waveguides can be used as the optical waveguide 11. However, this optical waveguide 11 is formed from a material such as the above-mentioned Ti diffusion film that allows surface acoustic waves to be propagated, which will be described later. Further, the optical waveguide may have a laminated structure of two or more layers.
記録光を発する半導体レーザ18は、コリメーターレン
ズ32の下方から光入射用L G C20に向けて光ビ
ーム(レーザビーム) 13を射出するように配置され
ている。発散ビームであるこの光ビーム13は、上記コ
リメーターレンズ32によって平行ビームとされた上で
透明な基板IBおよび光導波路11を透過して、その表
面に形成された前記L G C20の部分に入射する。A semiconductor laser 18 that emits recording light is arranged so as to emit a light beam (laser beam) 13 from below the collimator lens 32 toward the light input LGC 20 . The light beam 13, which is a diverging beam, is made into a parallel beam by the collimator lens 32, passes through the transparent substrate IB and the optical waveguide 11, and enters the L G C 20 formed on the surface thereof. do.
それにより光ビーム13はこのLGC20で回折して光
導波路11内に入射し、該光導波路11内を導波モード
で矢印A方向に進行する。Thereby, the light beam 13 is diffracted by this LGC 20, enters the optical waveguide 11, and travels in the direction of arrow A in the optical waveguide 11 in a waveguide mode.
画像記録を行なう際には、例えばエンドレスベルト等の
移送手段22上に感光体23がセットされる。When recording an image, the photoreceptor 23 is set on a transport means 22 such as an endless belt.
そして半導体レーザ18はレーザ駆動回路19により、
レーザビーム■3を射出するように駆動され、それとと
もにIDT15には、駆動回路17から連続的に周波数
が変化する交番電圧が印加される。なおレーザ駆動回路
19は変調回路24によって制御され、画像信号Sに応
じて光出力を変えるように(すなわち光ビーム13の強
度や、光ビーム13をパルス状に射出する場合はパルス
数やパルス幅を変えるように)半導体レーザ18を駆動
する。The semiconductor laser 18 is driven by a laser drive circuit 19.
The IDT 15 is driven to emit the laser beam 3, and at the same time, an alternating voltage whose frequency changes continuously is applied from the drive circuit 17 to the IDT 15. The laser drive circuit 19 is controlled by a modulation circuit 24 so as to change the optical output according to the image signal S (i.e., the intensity of the light beam 13, the number of pulses and the pulse width when emitting the light beam 13 in a pulsed manner). ) the semiconductor laser 18 is driven so as to change the
IDT15に上述のような電圧印加がなされることによ
り、光導波路11の表面を表面弾性波12が第2図の矢
印B方向に進行する。IDT15は、この表面弾性波1
2が導波光(平行ビーム)13′ の光路に交わる方向
に進行するように配設されている。By applying the voltage as described above to the IDT 15, the surface acoustic wave 12 travels on the surface of the optical waveguide 11 in the direction of arrow B in FIG. The IDT 15 uses this surface acoustic wave 1
2 is arranged so as to travel in a direction intersecting the optical path of the guided light (parallel beam) 13'.
したがって導波光13°は、表面弾性波12を横切るよ
うに進行するが、その際該導波光13°は表面弾性波1
2との音響光学相互作用によりブラッグ(Bragg)
回折する。周知の通り、この回折による導波光13’
の偏向角は、表面弾性波12の周波数にほぼ比例する。Therefore, the guided light 13° travels across the surface acoustic wave 12;
Bragg by acousto-optic interaction with 2
diffract. As is well known, the guided light 13' due to this diffraction
The deflection angle of is approximately proportional to the frequency of the surface acoustic wave 12.
前述の通り駆動回路17はIDT15に、周波数が連続
的に変化する交番電圧を印加するので、表面弾性波12
の周波数が連続的に変化し、上記偏向角が連続的に変化
するようになる。したがってこの導波光13゛ は矢印
Cで示す通り、回折角が連続的に変化するように回折、
偏向する。このようにして偏向した導波光13°は、F
CC21により回折して光導波路11から基板16側に
出射する。As mentioned above, since the drive circuit 17 applies an alternating voltage whose frequency changes continuously to the IDT 15, the surface acoustic wave 12
The frequency changes continuously, and the deflection angle changes continuously. Therefore, as shown by arrow C, this guided light 13' is diffracted so that the diffraction angle changes continuously.
deflect. The guided light 13° deflected in this way is F
The light is diffracted by the CC 21 and output from the optical waveguide 11 to the substrate 16 side.
このFGC21は曲りとチャーブ周期、あるいは曲りを
有する回折格子であり、ここで回折して光導波路11外
に出射する際に光ビーム13“は、該FGC21の集光
作用により集光される。また本発明の特徴部分として上
記FGC21は、第1図に明確に示されるように、その
格子並び方向中央位置から出射する光ビーム13″がほ
ぼ出射角01′で(すなわち光導波路11に対してほぼ
垂直に)出射するように格子ピッチが設定されている。This FGC 21 is a diffraction grating having a curve and a chirve period, or a curve, and when the light beam 13'' is diffracted here and emitted to the outside of the optical waveguide 11, the light beam 13'' is focused by the focusing action of the FGC 21. As a characteristic part of the present invention, as clearly shown in FIG. The grating pitch is set so that the light is emitted vertically).
このような角度で光導波路素子lO外に出射した光ビー
ム13″は、凹レンズ30および凸レンズ31を通過し
て小さなビームスポットPに絞られ、感光体23上を矢
印X方向に走査(主走査)する。それとともに感光体2
3が、移送手段22により上記主走査の方向と略直角な
矢印y方向に移送されて副走査がなされるので、感光体
23は光ビーム13”により2次元的に走査される。前
述したようにこの光ビーム13’は画像信号Sに基づい
て変調されているので、感光体23上にはこの画像信号
Sが担う画像が記録される。The light beam 13'' emitted from the optical waveguide element 1O at such an angle passes through the concave lens 30 and the convex lens 31, is focused into a small beam spot P, and scans the photoreceptor 23 in the direction of the arrow X (main scanning). At the same time, photoreceptor 2
3 is transferred by the transfer means 22 in the direction of the arrow y, which is substantially perpendicular to the main scanning direction, to perform sub-scanning, so that the photoreceptor 23 is two-dimensionally scanned by the light beam 13''.As described above, Since this light beam 13' is modulated based on the image signal S, an image carried by this image signal S is recorded on the photoreceptor 23.
なお1主走査ライン分の画像信号Sと光ビーム13″の
主走査との同期をとるためには、、この画像信号Sに含
まれるブランキング信号sbをトリガ信号として用いて
、IDT15への電圧印加タイミングを制御すればよい
。またこのブランキング信号sbにより移送手段22の
駆動タイミングを制御することにより、上記主走査と副
走査との同期をとることができる。Note that in order to synchronize the image signal S for one main scanning line with the main scanning of the light beam 13'', the blanking signal sb included in the image signal S is used as a trigger signal to control the voltage to the IDT 15. It is only necessary to control the application timing. Furthermore, by controlling the drive timing of the transfer means 22 using this blanking signal sb, the main scanning and sub-scanning can be synchronized.
FCC21から先に述べたような角度で光ビーム13″
を出射させると、上記凹レンズ30および凸レンズ31
を通さないで光ビーム13″を平面の感光体23上に走
査させた場合、非点収差と像面湾曲が生じる。このとき
ビームスポットPの主走査方向Xの像面湾曲の曲率半径
は、副走査方向yのそれの約1/3となる。このような
収差は、球面単レンズによって平行ビームを集束させる
場合のそれとほぼ等しい。そこで上記凹レンズ30およ
び凸レンズ31として、従来より球面単レンズの非点収
差、像面湾曲補正のために用いられているものを用いる
ことにより、上記F G C21による収差をほぼすべ
て取り除くことができる。A light beam 13″ from the FCC21 at the angle mentioned above
When emitted, the concave lens 30 and the convex lens 31
When the light beam 13'' is scanned on the flat photoreceptor 23 without passing through it, astigmatism and field curvature occur.At this time, the radius of curvature of the field curvature of the beam spot P in the main scanning direction X is: It is about 1/3 of that in the sub-scanning direction y.Such aberration is almost equal to that when a parallel beam is focused by a spherical single lens.Therefore, as the concave lens 30 and the convex lens 31, conventionally a spherical single lens is used. By using what is used to correct astigmatism and field curvature, almost all of the aberrations caused by the F G C21 can be removed.
第3図に、上述のようにして収差を取り除く凹レンズ8
0と凸レンズ31とからなる収差補正光学系の一例を詳
しく示す。なおこの例では、光ビーム13”が出射する
基板1Bの裏側の表面leaも負の屈折力を有する面に
形成されて、補正光学系の一部を構成している。図中の
寸法は各面間の距離を示し、単位はmmである。また本
例で基板1B、凹レンズ30、凸レンズ31の屈折率は
それぞれ2.202.1.5151.1.7786であ
る。また図中 rl %rsで示す各面の曲率半径を下
表に示す。FIG. 3 shows a concave lens 8 that removes aberrations as described above.
An example of an aberration correction optical system including a convex lens 31 and a convex lens 31 will be shown in detail. In this example, the rear surface lea of the substrate 1B from which the light beam 13'' is emitted is also formed as a surface having negative refractive power, and constitutes a part of the correction optical system. It shows the distance between surfaces, and the unit is mm.In addition, in this example, the refractive index of the substrate 1B, concave lens 30, and convex lens 31 is 2.202.1.5151.1.7786, respectively.In addition, in the figure, rl %rs The table below shows the radius of curvature of each surface.
なお面r!はFGC21設置面であり、本例においてそ
の焦点距離は2206.63mmであるので、この値を
面r1の曲率半径として示しである。Naomen r! is the FGC 21 installation surface, and in this example, its focal length is 2206.63 mm, so this value is shown as the radius of curvature of the surface r1.
第3図の収差補正光学系により補正がなされた後の主走
査方向、副走査方向別の像面湾曲量と、第1図の光軸り
が被走査面となす角度θとの関係の一例を第4図に示す
。An example of the relationship between the amount of field curvature in the main scanning direction and sub-scanning direction after correction by the aberration correction optical system shown in Fig. 3, and the angle θ that the optical axis makes with the scanned surface in Fig. 1. is shown in Figure 4.
なお勿論ながら、FGC21から出射した光ビーム13
”の前記収差を補正する光学系は上記仕様のものに限定
されるものではなく、従来から球面単レンズの収差を補
正するために用いられている光学系と同様、種々に形成
されうるものである。Of course, the light beam 13 emitted from the FGC 21
The optical system for correcting the aberrations mentioned above is not limited to those with the above specifications, but can be formed in various ways, similar to the optical systems conventionally used to correct the aberrations of spherical single lenses. be.
(発明の効果)
以上詳細に説明した通り本発明の光導波路素子において
は、光導波路表面に形成する光ビーム出射用の集光性回
折格子を、その格子並び方向中央位置から出射する光ビ
ームの出射角がほぼ0°となる形状としたことにより、
この出射した光ビームの収差を、球面単レンズを通した
際のそれとほぼ等しくすることができる。そこでこの光
導波路素子によれば、従来から用いられている各1枚の
凹レンズ、凸レンズ等からなる比較的簡単な収差補正光
学系によって、上記収差を取り除くことができるように
なる。したがって本発明の光導波路素子を光走査記録装
置等に適用すれば、該装置の小型軽量化、コストダウン
を実現できる。(Effects of the Invention) As explained in detail above, in the optical waveguide element of the present invention, the light beam emitting condensing diffraction grating formed on the surface of the optical waveguide for emitting the light beam is By creating a shape where the exit angle is approximately 0°,
The aberration of this emitted light beam can be made almost equal to that when it passes through a single spherical lens. Therefore, according to this optical waveguide element, the above-mentioned aberrations can be removed using a relatively simple aberration correcting optical system consisting of one concave lens, one convex lens, etc., which has been used in the past. Therefore, if the optical waveguide device of the present invention is applied to an optical scanning recording device or the like, the device can be made smaller, lighter, and less expensive.
第1図と第2図はそれぞれ、本発明の一実施例による光
導波路素子を示す側面図と斜視図、第3図は上記実施例
における収差補正光学系を詳しく示す側面図、
第4図は第3図の収差補正光学系を有する上記実施例に
おける像面湾曲の特性を示すグラフである。1 and 2 are a side view and a perspective view, respectively, showing an optical waveguide element according to an embodiment of the present invention, FIG. 3 is a side view showing details of the aberration correction optical system in the above embodiment, and FIG. 4 is a graph showing characteristics of field curvature in the above embodiment having the aberration correction optical system shown in FIG. 3. FIG.
Claims (1)
回折格子において回折させて集光しつつ外部に出射させ
るようにした光導波路素子において、 前記集光性回折格子が、その格子並び方向中央位置から
出射する光ビームの出射角がほぼ0゜となる形状とされ
ていることを特徴とする光導波路素子。[Scope of Claims] An optical waveguide element in which a light-concentrating diffraction grating is formed on the surface, and guided light is diffracted by the light-concentrating diffraction grating to be focused and emitted to the outside, comprising: An optical waveguide element characterized in that the diffraction grating has a shape such that the emission angle of the light beam emitted from the central position in the direction in which the gratings are arranged is approximately 0°.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP30914687A JPH01149006A (en) | 1987-12-07 | 1987-12-07 | Light guide element |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP30914687A JPH01149006A (en) | 1987-12-07 | 1987-12-07 | Light guide element |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01149006A true JPH01149006A (en) | 1989-06-12 |
Family
ID=17989463
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP30914687A Pending JPH01149006A (en) | 1987-12-07 | 1987-12-07 | Light guide element |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH01149006A (en) |
-
1987
- 1987-12-07 JP JP30914687A patent/JPH01149006A/en active Pending
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