JPH01145380A - 窒化珪素質焼結体の製法 - Google Patents
窒化珪素質焼結体の製法Info
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- JPH01145380A JPH01145380A JP62304135A JP30413587A JPH01145380A JP H01145380 A JPH01145380 A JP H01145380A JP 62304135 A JP62304135 A JP 62304135A JP 30413587 A JP30413587 A JP 30413587A JP H01145380 A JPH01145380 A JP H01145380A
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/515—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics
- C04B35/58—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides
- C04B35/584—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides based on silicon nitride
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は特に抗折強度及び靭性に優れた窒化珪素質焼結
体の製法に関するものである。
体の製法に関するものである。
窒化珪素を主体とする焼結体は原子の結合様式が共有結
合を主としており、強度、靭性、硬度、熱的化学安定性
等に優れた特性を有している。このことからエンジニア
リングセラミックス、特に熱機関としてガスタービン等
への応用が進められているが、熱機関はその効率化に伴
い作動温度が１４００℃以上に上昇しつつあり、この条
件下での特性向上が強く望まれている。
合を主としており、強度、靭性、硬度、熱的化学安定性
等に優れた特性を有している。このことからエンジニア
リングセラミックス、特に熱機関としてガスタービン等
への応用が進められているが、熱機関はその効率化に伴
い作動温度が１４００℃以上に上昇しつつあり、この条
件下での特性向上が強く望まれている。
窒化珪素質焼結体はこの焼結性を促進させるために、金
属酸化物、窒化物等の焼結助剤を配合して焼成すること
が知られている。そして、これに使用される窒化珪素粉
末には結晶形態の違いからα型とβ型との２種類が存在
している。高α化率の窒化珪素粉末を原料粉末として用
いた焼結体の製法は窒化珪素粉末と焼結助剤との混合物
を成形後、常圧焼成法、ホットプレス法、ガス圧焼成法
、熱間静水圧焼成法等を用い、１５００〜２０００℃の
窒素雰囲気で焼成するという一般的な製法が用いられて
いるが、このα−５ｉ３Ｎ、の焼結過程には２つの緻密
過程が存在することが知られている。第１の過程は１６
００〜１８００℃の温度領域でα−５ｉＪａからβ−３
ｉ、Ｎ、への転移と同時に焼結助剤によって生成される
液相により緻密化させる。したがって、常圧焼成法、ホ
ットプレス法では１８００℃以上まで温度を上げると、
窒化珪素が分解する可能性があることから、主として第
１の過程のみで焼結させる必要があり、そのため多量の
焼結助剤を必要とする。第２の緻密過程は、窒素加圧下
の１８００℃以上で起こり、焼結助剤の液相とβ−３ｉ
Ｊａが反応し５ｋｓＮａ粒子の溶解析出により緻密化が
進むと考えられている。
属酸化物、窒化物等の焼結助剤を配合して焼成すること
が知られている。そして、これに使用される窒化珪素粉
末には結晶形態の違いからα型とβ型との２種類が存在
している。高α化率の窒化珪素粉末を原料粉末として用
いた焼結体の製法は窒化珪素粉末と焼結助剤との混合物
を成形後、常圧焼成法、ホットプレス法、ガス圧焼成法
、熱間静水圧焼成法等を用い、１５００〜２０００℃の
窒素雰囲気で焼成するという一般的な製法が用いられて
いるが、このα−５ｉ３Ｎ、の焼結過程には２つの緻密
過程が存在することが知られている。第１の過程は１６
００〜１８００℃の温度領域でα−５ｉＪａからβ−３
ｉ、Ｎ、への転移と同時に焼結助剤によって生成される
液相により緻密化させる。したがって、常圧焼成法、ホ
ットプレス法では１８００℃以上まで温度を上げると、
窒化珪素が分解する可能性があることから、主として第
１の過程のみで焼結させる必要があり、そのため多量の
焼結助剤を必要とする。第２の緻密過程は、窒素加圧下
の１８００℃以上で起こり、焼結助剤の液相とβ−３ｉ
Ｊａが反応し５ｋｓＮａ粒子の溶解析出により緻密化が
進むと考えられている。
また、後者のβ型は焼結温度が１６００〜１８００℃の
温度範囲においては殆ど焼結せず、また、１８００℃以
上の温度領域にて緻密化させると組織が等粒状となり、
強度、靭性が低下してしまう。したがって、高強度、高
靭性焼結体を得るための原料粉末としては高α化率のも
のが主に使用されていた。
温度範囲においては殆ど焼結せず、また、１８００℃以
上の温度領域にて緻密化させると組織が等粒状となり、
強度、靭性が低下してしまう。したがって、高強度、高
靭性焼結体を得るための原料粉末としては高α化率のも
のが主に使用されていた。
上記α型の窒化珪素原料粉末から製造される窒化珪素質
焼結体においてはその抗折強度及び靭性等の特性向上に
限界があった。その原因は焼成工程上１８００℃までの
低温域におけるα−５ｉ３Ｎｍからβ−５ｉＪ４への転
移に伴う針状結晶の粒成長によって結晶粒が粗大化して
しまい、その後の高温での緻密化が阻害されるためと考
えられる。抗折強度及び靭性に優れた特性を得るために
は焼結体組織を微細にしかつ緻密にする必要があること
を考慮すれば焼成途中にα−５ｉ３Ｎ４からβ−３ｉ、
Ｎ、への移転過程が存在することは致命的である。１８
００℃までの低温域での粒成長を抑えつつ転移させるこ
とも不可能ではないが、焼成条件が極めて難しく焼結体
の安定製造ができない等の不都合が生じる。
焼結体においてはその抗折強度及び靭性等の特性向上に
限界があった。その原因は焼成工程上１８００℃までの
低温域におけるα−５ｉ３Ｎｍからβ−５ｉＪ４への転
移に伴う針状結晶の粒成長によって結晶粒が粗大化して
しまい、その後の高温での緻密化が阻害されるためと考
えられる。抗折強度及び靭性に優れた特性を得るために
は焼結体組織を微細にしかつ緻密にする必要があること
を考慮すれば焼成途中にα−５ｉ３Ｎ４からβ−３ｉ、
Ｎ、への移転過程が存在することは致命的である。１８
００℃までの低温域での粒成長を抑えつつ転移させるこ
とも不可能ではないが、焼成条件が極めて難しく焼結体
の安定製造ができない等の不都合が生じる。
一方、β−３ｉ、Ｎ４を多量に含む原料粉末を用いるこ
とにより上記よりもより焼結性が改善できることが最近
の研究により分かったが、焼結体組織が等粒状となり抗
折強度及び靭性は未だ充分に改善させることができない
。
とにより上記よりもより焼結性が改善できることが最近
の研究により分かったが、焼結体組織が等粒状となり抗
折強度及び靭性は未だ充分に改善させることができない
。
そこで、本発明者は上記問題点に鑑み研究の結果、高β
化率であって粒径が細かい側の窒化珪素粉末原料を使用
すると抗折強度及び靭性が従来よりも向上することが分
かった。
化率であって粒径が細かい側の窒化珪素粉末原料を使用
すると抗折強度及び靭性が従来よりも向上することが分
かった。
本発明においては、抗折強度及び靭性をより改善した高
緻密な焼結体を得るための窒化珪素質焼結体の製法を提
供するものである。
緻密な焼結体を得るための窒化珪素質焼結体の製法を提
供するものである。
本発明者によれば、β化率χ（ｘ）と粒径μ（ｙ）との
関係が３０≦Ｘ≦１００の範囲内において、ｙ≦る粉末
を成形後、１気圧を越える非酸化性雰囲気中で１８００
℃以上の温度で焼成することを特徴とする窒化珪素質焼
結体の製法が提供される。
関係が３０≦Ｘ≦１００の範囲内において、ｙ≦る粉末
を成形後、１気圧を越える非酸化性雰囲気中で１８００
℃以上の温度で焼成することを特徴とする窒化珪素質焼
結体の製法が提供される。
β−５ｉＪａを多量に含む窒化珪素粉末、即ちβ化率が
３０≦Ｘ≦１０ｏｚの範囲内にある窒化珪素粉末と焼結
助剤とからなる混合粉末の成形体を焼成する場合、初期
からβ−５ｉＪ、を用いるために１８５０℃以下での従
来の転移工程は殆ど不要となる。温度の上昇に従い１８
５０℃以下の低温域では焼結助剤によって液相が形成さ
れ、緻密化は進行するがβ−５ｉＪａが多い程、低温で
の粒成長は生じないため、β−３ｉＪ４は原料粉末の粒
径とほぼ同じ粒径のままで１８５０℃以上の高温域まで
達する。従来−般にはこのようなβ化率は高くなればな
るほど抗折強度及び靭性が劣化すると言われているが、
本発明者においてはβ化率が高い窒化珪素原料粉末であ
っても粒径が細かくなればなるほど抗折強度に示す如く
、β化率％（ｘ）が３０〜１００χの範囲内において に従って抗折強度及び靭性が太き（なる傾向かある。従
って、本発明の良好なβ化率％（ｘ）と粒径μ（ｙ）と
の範囲は３０≦Ｘ≦１００であり、かつｘ＋０．４）以
下、さらにより好ましくは線分Ｇ−Ｈを囲を外れると充
分高い抗折強度及び強靭性を有する窒化珪素焼結体が得
られない。β−５ｉＪ４の含有率が３０重量％未満とな
ると低温域において針状結晶の成長が大きくなり、本発
明の目的が達成されない。
３０≦Ｘ≦１０ｏｚの範囲内にある窒化珪素粉末と焼結
助剤とからなる混合粉末の成形体を焼成する場合、初期
からβ−５ｉＪ、を用いるために１８５０℃以下での従
来の転移工程は殆ど不要となる。温度の上昇に従い１８
５０℃以下の低温域では焼結助剤によって液相が形成さ
れ、緻密化は進行するがβ−５ｉＪａが多い程、低温で
の粒成長は生じないため、β−３ｉＪ４は原料粉末の粒
径とほぼ同じ粒径のままで１８５０℃以上の高温域まで
達する。従来−般にはこのようなβ化率は高くなればな
るほど抗折強度及び靭性が劣化すると言われているが、
本発明者においてはβ化率が高い窒化珪素原料粉末であ
っても粒径が細かくなればなるほど抗折強度に示す如く
、β化率％（ｘ）が３０〜１００χの範囲内において に従って抗折強度及び靭性が太き（なる傾向かある。従
って、本発明の良好なβ化率％（ｘ）と粒径μ（ｙ）と
の範囲は３０≦Ｘ≦１００であり、かつｘ＋０．４）以
下、さらにより好ましくは線分Ｇ−Ｈを囲を外れると充
分高い抗折強度及び強靭性を有する窒化珪素焼結体が得
られない。β−５ｉＪ４の含有率が３０重量％未満とな
ると低温域において針状結晶の成長が大きくなり、本発
明の目的が達成されない。
また、原料粉末中の全酸素含有量は２〜０．５重量％が
望ましく、不純物濃度は０．５重量％以下であることが
望ましい。
望ましく、不純物濃度は０．５重量％以下であることが
望ましい。
焼結助剤としては、スカンジウム、イツトリウム、ラン
タノイド元素等の周期律表第ｍａ族元素の酸化物、窒化
物、酸窒化物あるいはＢｅＪｇ、Ｃａ、Ｓｒ、Ｂａ等の
周期律表第１１ａ族元素の酸化物、窒化物等の他、＾ｌ
ｚ（ｈ＋ ＡＩＮ＋ ５ｔｏｔ、 Ｚｒ０ｚ＋ Ｚｒ
Ｎ、 Ｈｆ０ｚ等を１種または２種以上の組み合わせで
用いることができる。
タノイド元素等の周期律表第ｍａ族元素の酸化物、窒化
物、酸窒化物あるいはＢｅＪｇ、Ｃａ、Ｓｒ、Ｂａ等の
周期律表第１１ａ族元素の酸化物、窒化物等の他、＾ｌ
ｚ（ｈ＋ ＡＩＮ＋ ５ｔｏｔ、 Ｚｒ０ｚ＋ Ｚｒ
Ｎ、 Ｈｆ０ｚ等を１種または２種以上の組み合わせで
用いることができる。
これらの焼結助剤は、全体量に対し０．１〜２０重量％
の割合で前述の窒化珪素粉末と均一に混合粉砕した後、
公知の成形手段、例えば鋳込み成形、射出成形、インジ
ェクシッン成形手段等によって所望の形に成形され、焼
成工程に移される。
の割合で前述の窒化珪素粉末と均一に混合粉砕した後、
公知の成形手段、例えば鋳込み成形、射出成形、インジ
ェクシッン成形手段等によって所望の形に成形され、焼
成工程に移される。
焼成工程は、１気圧を超える窒素ガス加圧雰囲気で焼成
温度は１８００℃以上、特に１８５０〜１９５０℃に設
定される。詳細には焼成温度と窒素ガス圧との関係は、
設定される焼成温度における窒化珪素の分解平衡圧を超
える窒素圧に設定されることが必要がある。好ましくは
雰囲気に酸素あるいはＳｉＯを導入し、そのガス圧をそ
の焼成温度における窒化珪素とＳｉＯ□との反応、即ち
次式（１）％式％（１） の反応におけるＳｔＯの平衡蒸気圧以上に設定すること
が望ましい、これによって、雰囲気を低圧下にすること
ができ、焼成中に焼結体の気孔中に高圧ガスがトラップ
され、緻密化が阻害されるのを防止するためである。こ
の時、ＳｉＯの制御は焼成炉内に成形体とともに窒化珪
素とＳｉｎ、の混合粉末あるいはＳｉ０ｇ粉末、ＳｉＯ
粉末、Ｓｔ粉末と５ｉ（ｈ粉末との混合粉末を配置させ
焼成時にＳｉＯを生成すればよい。
温度は１８００℃以上、特に１８５０〜１９５０℃に設
定される。詳細には焼成温度と窒素ガス圧との関係は、
設定される焼成温度における窒化珪素の分解平衡圧を超
える窒素圧に設定されることが必要がある。好ましくは
雰囲気に酸素あるいはＳｉＯを導入し、そのガス圧をそ
の焼成温度における窒化珪素とＳｉＯ□との反応、即ち
次式（１）％式％（１） の反応におけるＳｔＯの平衡蒸気圧以上に設定すること
が望ましい、これによって、雰囲気を低圧下にすること
ができ、焼成中に焼結体の気孔中に高圧ガスがトラップ
され、緻密化が阻害されるのを防止するためである。こ
の時、ＳｉＯの制御は焼成炉内に成形体とともに窒化珪
素とＳｉｎ、の混合粉末あるいはＳｉ０ｇ粉末、ＳｉＯ
粉末、Ｓｔ粉末と５ｉ（ｈ粉末との混合粉末を配置させ
焼成時にＳｉＯを生成すればよい。
焼成パターンはβ化率３０χを下回る従来の場合、１８
００℃まで一気に昇温するとαからβへの変換に伴う急
激な粒成長によって緻密化は困難であるがβ化率３０％
以上含む場合は急激な粒成長を起こすことなく昇温開始
時から１８００℃以上の温度まではほぼ連続的に昇温す
ることができるため、極めて焼成時間は短縮される。
００℃まで一気に昇温するとαからβへの変換に伴う急
激な粒成長によって緻密化は困難であるがβ化率３０％
以上含む場合は急激な粒成長を起こすことなく昇温開始
時から１８００℃以上の温度まではほぼ連続的に昇温す
ることができるため、極めて焼成時間は短縮される。
最終的に得られる焼結体はβ−Ｓｉ、Ｎ、が９０％以上
の結晶粒子相と粒界相から成るもので、粒界相はガラス
あるいは結晶相となり得ることもある。
の結晶粒子相と粒界相から成るもので、粒界相はガラス
あるいは結晶相となり得ることもある。
窒化珪素原料粉末として第１表に及び図面に示す１４種
類のものを用意した。これら平均粒子径については遠心
沈降式粒度分布測定装置（島津製作所５Ａ−ＣＰ２型）
により、また酸素含有量については酸素分析装置（ＬＥ
ＣＯ社 ＴＣ−１３６型）により夫々測定した。
類のものを用意した。これら平均粒子径については遠心
沈降式粒度分布測定装置（島津製作所５Ａ−ＣＰ２型）
により、また酸素含有量については酸素分析装置（ＬＥ
ＣＯ社 ＴＣ−１３６型）により夫々測定した。
第１表
＊印を付した番号は本発明の範囲外の原料粉末である。
第１表の窒化珪素粉末に第２表に示す焼結助剤を加えた
混合粉末を５ ｘ４ Ｘ４５（＋＋＋ｍ）に成形した後
、第２表の条件にて焼成を行った。
混合粉末を５ ｘ４ Ｘ４５（＋＋＋ｍ）に成形した後
、第２表の条件にて焼成を行った。
得られた焼結体に対し、比重（対理論密度比）と、ＪＩ
ＳＲ１６０１による３点曲げ法により室温および１４０
０℃における抗折強度を測定し、さらにビッカースイン
デンテーション法により靭性を測定した。
ＳＲ１６０１による３点曲げ法により室温および１４０
０℃における抗折強度を測定し、さらにビッカースイン
デンテーション法により靭性を測定した。
これらの結果を第２表に示す。
第２表から明らかなように、β化率が３０％以上と本発
明の範囲内であるが粒径が０．９μ以上と本発明の範囲
外である原料粉末１１（第１表）を使用した試料番号１
１は焼結が不十分でありかつ抗折強度は常温で５３Ｋｇ
／＋＋ｖ＋”、１４００℃で３７Ｋｇ／ｍｍ”と低く、
更に靭性が５．４ＭＰａｍ””と弱い。また、β化率が
３０２以下である原料粉末１及び２（第１表）を使用し
た試料番号１及び２のものは焼結が不十分であり対理論
密度比が低くかつ抗折強度も低い。更に原料粉末は本発
明の範囲内であるが、焼成温度が１８００℃以下で圧力
をかけずに焼成した試料番号１６のものも同様充分緻密
化せず抗折強度及び靭性も劣化していた。
明の範囲内であるが粒径が０．９μ以上と本発明の範囲
外である原料粉末１１（第１表）を使用した試料番号１
１は焼結が不十分でありかつ抗折強度は常温で５３Ｋｇ
／＋＋ｖ＋”、１４００℃で３７Ｋｇ／ｍｍ”と低く、
更に靭性が５．４ＭＰａｍ””と弱い。また、β化率が
３０２以下である原料粉末１及び２（第１表）を使用し
た試料番号１及び２のものは焼結が不十分であり対理論
密度比が低くかつ抗折強度も低い。更に原料粉末は本発
明の範囲内であるが、焼成温度が１８００℃以下で圧力
をかけずに焼成した試料番号１６のものも同様充分緻密
化せず抗折強度及び靭性も劣化していた。
これに対し、本発明の範囲内である原料粉末３〜１０及
び１２〜１４（第１表）を使用した試料番号３〜１０及
び１２〜１５は夫々理論密度まで緻密化しており、抗折
強度も常温で６０〜８８Ｋｇ／ｍ＋ｍ”、１４００℃で
５０〜６５Ｋｇ／ｍｓ”と高く靭性も７．９〜８．２Ｍ
Ｐａｍ””と強い。
び１２〜１４（第１表）を使用した試料番号３〜１０及
び１２〜１５は夫々理論密度まで緻密化しており、抗折
強度も常温で６０〜８８Ｋｇ／ｍ＋ｍ”、１４００℃で
５０〜６５Ｋｇ／ｍｓ”と高く靭性も７．９〜８．２Ｍ
Ｐａｍ””と強い。
また、図面及び第２表から理解されるようにβ化率χ（
×）と粒径μ（ｙ）との関係がβ化率３０〜１００χの
範囲内において常温抗折強度が となっている。
×）と粒径μ（ｙ）との関係がβ化率３０〜１００χの
範囲内において常温抗折強度が となっている。
以上詳述したように、本発明はβ化率χ（ｘ）と粒径μ
（ｙ）との関係が、３０≦Ｘ≦１００の範囲内において
、図面に示す少なくとも線分Ａ−Ｂより粒径が小さい窒
化珪素粉末に焼結助剤を含む混合粉末を成形後、１気圧
を越える非酸化性雰囲気中で１８００℃以上の温度で焼
成する様にしたので、抗折強度及び靭性の向上した高緻
密な窒化珪素焼結体を提供できる。
（ｙ）との関係が、３０≦Ｘ≦１００の範囲内において
、図面に示す少なくとも線分Ａ−Ｂより粒径が小さい窒
化珪素粉末に焼結助剤を含む混合粉末を成形後、１気圧
を越える非酸化性雰囲気中で１８００℃以上の温度で焼
成する様にしたので、抗折強度及び靭性の向上した高緻
密な窒化珪素焼結体を提供できる。
図面は窒化珪素原料粉末のβ化率χ（ｘ）と粒径μ（ｙ
）との関係図である。
）との関係図である。
Claims (1)
- （１）β化率％（ｘ）と粒径μ（ｙ）との関係が、３０
≦ｘ≦１００の範囲内において、ｙ≦１／２５０ｘ＋０
．６である窒化珪素粉末を主成分とする粉末を成形後、
１気圧を越える非酸化性雰囲気中で１８００℃以上の温
度で焼成することを特徴とする窒化珪素質焼結体の製法
。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62304135A JP2631115B2 (ja) | 1987-11-30 | 1987-11-30 | 窒化珪素質焼結体の製法 |
| US07/176,605 US4920085A (en) | 1987-04-02 | 1988-04-01 | Silicon nitride sintered body and process for preparation thereof |
| US07/446,598 US5219500A (en) | 1987-04-02 | 1989-12-06 | Silicon nitride sintered body and process for preparation thereof |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62304135A JP2631115B2 (ja) | 1987-11-30 | 1987-11-30 | 窒化珪素質焼結体の製法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01145380A true JPH01145380A (ja) | 1989-06-07 |
| JP2631115B2 JP2631115B2 (ja) | 1997-07-16 |
Family
ID=17929461
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62304135A Expired - Fee Related JP2631115B2 (ja) | 1987-04-02 | 1987-11-30 | 窒化珪素質焼結体の製法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2631115B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02255573A (ja) * | 1989-03-29 | 1990-10-16 | Natl Inst For Res In Inorg Mater | 高靭性窒化珪素焼結体の製造法 |
| JPH03290370A (ja) * | 1990-04-09 | 1991-12-20 | Natl Inst For Res In Inorg Mater | 高靭性窒化けい素焼結体の製造法 |
| JPH06219840A (ja) * | 1993-01-22 | 1994-08-09 | Ngk Insulators Ltd | 窒化珪素焼結体及びその製造方法 |
| JPH09157030A (ja) * | 1995-12-07 | 1997-06-17 | Denki Kagaku Kogyo Kk | 窒化珪素焼結体の製造方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62167257A (ja) * | 1986-01-14 | 1987-07-23 | 住友電気工業株式会社 | 窒化ケイ素焼結体の製造方法 |
| JPS6389459A (ja) * | 1986-10-03 | 1988-04-20 | 住友電気工業株式会社 | 窒化ケイ素焼結体の製造方法 |
-
1987
- 1987-11-30 JP JP62304135A patent/JP2631115B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
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| JPH03290370A (ja) * | 1990-04-09 | 1991-12-20 | Natl Inst For Res In Inorg Mater | 高靭性窒化けい素焼結体の製造法 |
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| JPH09157030A (ja) * | 1995-12-07 | 1997-06-17 | Denki Kagaku Kogyo Kk | 窒化珪素焼結体の製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2631115B2 (ja) | 1997-07-16 |
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