JPH01140822U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH01140822U JPH01140822U JP3727588U JP3727588U JPH01140822U JP H01140822 U JPH01140822 U JP H01140822U JP 3727588 U JP3727588 U JP 3727588U JP 3727588 U JP3727588 U JP 3727588U JP H01140822 U JPH01140822 U JP H01140822U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- workpiece
- dry etching
- peripheral edge
- lower electrode
- etching
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 claims description 4
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Drying Of Semiconductors (AREA)
Description
第１図は本考案によるドライエツチング装置の
一実施例の要部を示す断端面図、第２図は本考案
の説明に使用する断端面図、第３図は従来のドラ
イエツチング装置の要部を示す断端面図、第４図
及び第５図はそれぞれ第３図例の説明に使用する
断端面図である。 １……反応室、２……上部電極、３……下部電
極、５……ガス導入管、９……ガス排出管、１０
……シリコンウエハ、１２……溝。
一実施例の要部を示す断端面図、第２図は本考案
の説明に使用する断端面図、第３図は従来のドラ
イエツチング装置の要部を示す断端面図、第４図
及び第５図はそれぞれ第３図例の説明に使用する
断端面図である。 １……反応室、２……上部電極、３……下部電
極、５……ガス導入管、９……ガス排出管、１０
……シリコンウエハ、１２……溝。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 下部電極上に被加工体を載置し、所定のエツチ
ングガスを使用して上記被加工体をエツチング加
工できるようになされたドライエツチング装置に
おいて、 上記被加工体の下面周縁部の下方の上記下部電
極表面に上記被加工体の下面周縁部に沿つた環状
の溝を設けたことを特徴とするドライエツチング
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3727588U JPH01140822U (ja) | 1988-03-22 | 1988-03-22 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3727588U JPH01140822U (ja) | 1988-03-22 | 1988-03-22 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01140822U true JPH01140822U (ja) | 1989-09-27 |
Family
ID=31263856
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3727588U Pending JPH01140822U (ja) | 1988-03-22 | 1988-03-22 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01140822U (ja) |
-
1988
- 1988-03-22 JP JP3727588U patent/JPH01140822U/ja active Pending