JPH01131354A - 精密除振装置 - Google Patents
精密除振装置Info
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- JPH01131354A JPH01131354A JP29950787A JP29950787A JPH01131354A JP H01131354 A JPH01131354 A JP H01131354A JP 29950787 A JP29950787 A JP 29950787A JP 29950787 A JP29950787 A JP 29950787A JP H01131354 A JPH01131354 A JP H01131354A
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16F—SPRINGS; SHOCK-ABSORBERS; MEANS FOR DAMPING VIBRATION
- F16F15/00—Suppression of vibrations in systems; Means or arrangements for avoiding or reducing out-of-balance forces, e.g. due to motion
- F16F15/02—Suppression of vibrations of non-rotating, e.g. reciprocating systems; Suppression of vibrations of rotating systems by use of members not moving with the rotating systems
- F16F15/03—Suppression of vibrations of non-rotating, e.g. reciprocating systems; Suppression of vibrations of rotating systems by use of members not moving with the rotating systems using magnetic or electromagnetic means
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- Mechanical Engineering (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
この発明は精密光学機器、精密計量機器等を載置するＮ
密除振装置に関する。。
密除振装置に関する。。
［従来の技術］
従来より電子顕微禁やホログラフィ−装置等の精密機器
、あるいはＬＳＩ製造に用いられる縮小投影露光装置等
は、その使用時にきわめて微小な振動や変位が生じても
その作業に支障をきたし、・あるいは製品が不良品とな
る恐れがあり、また効率が悪くなる。
、あるいはＬＳＩ製造に用いられる縮小投影露光装置等
は、その使用時にきわめて微小な振動や変位が生じても
その作業に支障をきたし、・あるいは製品が不良品とな
る恐れがあり、また効率が悪くなる。
このような振動等の影響を除去するため、これら精密機
器類は、一般に除振装置上に載置し使用される。このよ
うな精密除振装置として、除振台に加わる振動を空気ば
ね、コイルばね等の振動吸収手段によって吸収減衰させ
る装Ｒ（受動除振装置）と、除振台に取付けられた振動
センサの信号に応答してカアクチュエータを作動し、除
振台に生じた振動と逆位相の振動を与え積極的に除振す
る装置（能動除振装置）があり、後者の代表的なものと
して特開昭６１−２２４０１５号公報の能動振動制御装
置がある。
器類は、一般に除振装置上に載置し使用される。このよ
うな精密除振装置として、除振台に加わる振動を空気ば
ね、コイルばね等の振動吸収手段によって吸収減衰させ
る装Ｒ（受動除振装置）と、除振台に取付けられた振動
センサの信号に応答してカアクチュエータを作動し、除
振台に生じた振動と逆位相の振動を与え積極的に除振す
る装置（能動除振装置）があり、後者の代表的なものと
して特開昭６１−２２４０１５号公報の能動振動制御装
置がある。
［発明が解決しようとする問題点コ
ところで、カアクチュエータを用いた除振装置において
、第７図に示すように除振台に加えられた加振力Ｆを振
動センサで検知し、その出方を位相調整、増幅し、カア
クチュエータを駆動し制振力Ｆｃを発生する場合、制振
力Ｆｃは加振力Ｆに対し逆位相で且つゲインが１以下と
なるように加えられなければならないが、一般に位相及
びゲインは振動の周波数によって変化し、特に系の固有
振動数近傍では除振台の振動と逆位相で且つゲインが１
以下の割振力を付与するようにカアクチュエータを制御
することは困難であった。
、第７図に示すように除振台に加えられた加振力Ｆを振
動センサで検知し、その出方を位相調整、増幅し、カア
クチュエータを駆動し制振力Ｆｃを発生する場合、制振
力Ｆｃは加振力Ｆに対し逆位相で且つゲインが１以下と
なるように加えられなければならないが、一般に位相及
びゲインは振動の周波数によって変化し、特に系の固有
振動数近傍では除振台の振動と逆位相で且つゲインが１
以下の割振力を付与するようにカアクチュエータを制御
することは困難であった。
また、従来のカアクチュエータを用いた除振装置におい
ては、カアクチュエータ（能動制動子）として通常リニ
アモータ等の垂直力アクチュエータを用いているため、
−個の能動制動子について一方向のダンピングしか行え
ない、このため、能動制動子が除振台の運動の各自由度
毎に１個ずつ必要となり１通常６の自由度に対し最低６
個を要し、装置が大型化、複雑化していた０本発明は上
記従来の問題点を解決し、少ない能動制動子で能動的制
動を行うことができ、しかも割振力の制御が容易である
精密除振台を提供することを目的とする。
ては、カアクチュエータ（能動制動子）として通常リニ
アモータ等の垂直力アクチュエータを用いているため、
−個の能動制動子について一方向のダンピングしか行え
ない、このため、能動制動子が除振台の運動の各自由度
毎に１個ずつ必要となり１通常６の自由度に対し最低６
個を要し、装置が大型化、複雑化していた０本発明は上
記従来の問題点を解決し、少ない能動制動子で能動的制
動を行うことができ、しかも割振力の制御が容易である
精密除振台を提供することを目的とする。
［問題を解決するための手段］
このような目的を達成する本発明の精密除振装置は支持
台に受動制動子によって支持される除振台と、該除振台
の振動を検出するセンサと、該センサの出力を信号処理
し、増幅して制御信号を出力する回路部と、該制御信号
によって作動し前記振動を制御する能動制動子とから成
る精密除振装置において、前記受動制動子及び前記駆動
制動子はそれぞれ互いに反発するよう対向配置された磁
石の対から成ると共に、前記能動制動子は前記磁石の一
方が前記制御信号によって制御さ五る電磁石であること
を特徴とし、更に能動制動子として。
台に受動制動子によって支持される除振台と、該除振台
の振動を検出するセンサと、該センサの出力を信号処理
し、増幅して制御信号を出力する回路部と、該制御信号
によって作動し前記振動を制御する能動制動子とから成
る精密除振装置において、前記受動制動子及び前記駆動
制動子はそれぞれ互いに反発するよう対向配置された磁
石の対から成ると共に、前記能動制動子は前記磁石の一
方が前記制御信号によって制御さ五る電磁石であること
を特徴とし、更に能動制動子として。
一方が円錐面又は角錐面を有し、他方が該円錐面又は角
錐面に対応する凹面を有する磁石の対を用い、それらの
ずれ方向にもダンピング力を付与することによって除振
台の振動を実質的に相殺することを特徴とする。
錐面に対応する凹面を有する磁石の対を用い、それらの
ずれ方向にもダンピング力を付与することによって除振
台の振動を実質的に相殺することを特徴とする。
［作用］
永久磁石ａ□、ａ２の対及び永久磁石ｂｉと電磁石ｂ２
の対で荷重Ｗを支持する系において、微小振動を考える
とするとその固有振動数ｆｎは次式で近似できる。
の対で荷重Ｗを支持する系において、微小振動を考える
とするとその固有振動数ｆｎは次式で近似できる。
２π Ｗ
ａｙ ｙ
但し、μは透磁率、Ｓは支持面積、ＡＴは全励磁アンペ
アターンであり、ｙは磁石間のギャップで、全簡単のた
めに磁石ａ１、ａ２のギャップと磁石ｂ工、ｂ２のギャ
ップは等しいものとする。
アターンであり、ｙは磁石間のギャップで、全簡単のた
めに磁石ａ１、ａ２のギャップと磁石ｂ工、ｂ２のギャ
ップは等しいものとする。
つまり、アンペアターンＡＴを変えればバネ定数ｋが変
わり、固有振動数ｆｎが変化する。
わり、固有振動数ｆｎが変化する。
このような振動系は比較的高い固有振動数ｆｎを有する
ので励磁エネルギー（アンペアターンＡＴ）を調整する
ことにより適切なｆｎ？ｉＦ域へもって行くことができ
る。
ので励磁エネルギー（アンペアターンＡＴ）を調整する
ことにより適切なｆｎ？ｉＦ域へもって行くことができ
る。
すなおち、安定した割振力のゲイン及び位相が得られる
ように外振の振動数と固有振動数との比を調整すること
ができる。このような振動系において外から付与された
振動を速度型のセンサで検出した場合、ダンピング力は
＋９０°〜−１８００の間で位相ｖＲ整し、ゲインが１
未満となるよう制御信号（電流）を電磁石ｂ８に印加す
ればよい。
ように外振の振動数と固有振動数との比を調整すること
ができる。このような振動系において外から付与された
振動を速度型のセンサで検出した場合、ダンピング力は
＋９０°〜−１８００の間で位相ｖＲ整し、ゲインが１
未満となるよう制御信号（電流）を電磁石ｂ８に印加す
ればよい。
次にずれ方向のダンピングの原理について説明する。
第１図Ｃａ）に示すように間隔上〇で対向配置された両
極性の磁気部材Ａ及び磁気部材Ｂとの間の反発力Ｆは次
式で与えられる。
極性の磁気部材Ａ及び磁気部材Ｂとの間の反発力Ｆは次
式で与えられる。
ｔ０
すなわち、力Ｆはギャップの体積の磁気エネルギーＥｍ
と間隔ｔ０の微分に比例する。
と間隔ｔ０の微分に比例する。
磁気部材Ａと磁気部材Ｂとの軸がずれが生じない場合は
軸に直角方向の力Ｆｃｏｓθは相殺され軸方向の力Ｆ
ｓｉｎθのみとなり、磁気部材Ａ（又は磁気部材Ｂ）に
対し、軸方向のカが作用する。
軸に直角方向の力Ｆｃｏｓθは相殺され軸方向の力Ｆ
ｓｉｎθのみとなり、磁気部材Ａ（又は磁気部材Ｂ）に
対し、軸方向のカが作用する。
但し、θは部材Ａの外周と凹面内壁とのなす角度である
。
。
一方、同図（ｂ）に示すように磁気部材Ａと磁気部材Ｂ
の中心がずれると、間隔ｔ工、ｔ２とギャップの体積の
磁気エネルギの差によって各反発力はＦ ｚ ＞ Ｆ
ｚとなり、 （Ｆ、−Ｆ２） ｃｏｓθがセンタリン
グ力、すなわちずれ方向のダンピング力となって作用す
る。したがって、θを調整することにより、また間隔ｔ
０を適当に選択することにより系の特性を安定化できる
。
の中心がずれると、間隔ｔ工、ｔ２とギャップの体積の
磁気エネルギの差によって各反発力はＦ ｚ ＞ Ｆ
ｚとなり、 （Ｆ、−Ｆ２） ｃｏｓθがセンタリン
グ力、すなわちずれ方向のダンピング力となって作用す
る。したがって、θを調整することにより、また間隔ｔ
０を適当に選択することにより系の特性を安定化できる
。
［実施例］
以下１本発明の一実施例を図面に基き説明する。
第２図に示す精密除振装置は主として除振されるべき機
器が載置される除振台１、除振台１を永久磁石の反発力
で支持する受動制動子２、除振台１の振動を外乱及び自
励を含めて検知するセンサ３、センサ３の出力を信号処
理し制御信号を送出する回路部４及び除振台１の振動に
対し逆位相の出力を付与することにより能動的に除振す
る能動制動子５から成る。
器が載置される除振台１、除振台１を永久磁石の反発力
で支持する受動制動子２、除振台１の振動を外乱及び自
励を含めて検知するセンサ３、センサ３の出力を信号処
理し制御信号を送出する回路部４及び除振台１の振動に
対し逆位相の出力を付与することにより能動的に除振す
る能動制動子５から成る。
受動制動子２は例えば４組の永久磁石２１．２２の対か
ら成り、一方の永久磁石２１は除振台１側に、他方の永
久磁石２２は支持体６側に固定されると共に永久磁石２
１及び２２は互いに同極性側が対向するように配置され
、その反発力（４組の合計）で除振台の荷重のほぼ８０
％を支持している。更に永久磁石２２はその形状が円錐
面又は角錐面を成しており、一方永久磁石２１は永久磁
石２２の円錐面又は角錐面に対応する凹面を成し、スラ
スト荷重が受けられるようになっている。
ら成り、一方の永久磁石２１は除振台１側に、他方の永
久磁石２２は支持体６側に固定されると共に永久磁石２
１及び２２は互いに同極性側が対向するように配置され
、その反発力（４組の合計）で除振台の荷重のほぼ８０
％を支持している。更に永久磁石２２はその形状が円錐
面又は角錐面を成しており、一方永久磁石２１は永久磁
石２２の円錐面又は角錐面に対応する凹面を成し、スラ
スト荷重が受けられるようになっている。
センサ３は、圧電型、電磁量等任意適宜の型式のものを
除振台１の制御すべき方向１本実施例においてはＺ軸方
向の加速度を検知するように除振台１に取り付けて使用
する。
除振台１の制御すべき方向１本実施例においてはＺ軸方
向の加速度を検知するように除振台１に取り付けて使用
する。
このセンサ３は１例えば除振台１に外乱が作用し除振台
４が振動すれば、この振動を加速度の状態または変位の
状態で検出するものである。
４が振動すれば、この振動を加速度の状態または変位の
状態で検出するものである。
回路部４は第３図にブロック図で示すようにフィルター
４１と位相・ゲイン調整回路４２及びパワーアンプ４３
からなり、センサ３からの出力を信号処理し、除振台の
加速度又は加振力と逆位相で且つゲインが１以下になる
ように制御電流を能動制動子５に印加する。
４１と位相・ゲイン調整回路４２及びパワーアンプ４３
からなり、センサ３からの出力を信号処理し、除振台の
加速度又は加振力と逆位相で且つゲインが１以下になる
ように制御電流を能動制動子５に印加する。
例えば、センサ３として速度センサを用いた場合、積分
回路で９０’位相がずれて変位が得られる（第４図）。
回路で９０’位相がずれて変位が得られる（第４図）。
制振力は速度に逆位相に加えれば良いので位相・ゲイン
調整回路４２は得られた変位に対し９０’位相がずれた
信号Ｉｃを出力するようにする。振動の周波数の高い所
、すなわち、受動制動子の減衰特性の良い所ではむしろ
能動制動子５は働かせない方が好ましいのでフィルター
４１によってゲインを制限する。
調整回路４２は得られた変位に対し９０’位相がずれた
信号Ｉｃを出力するようにする。振動の周波数の高い所
、すなわち、受動制動子の減衰特性の良い所ではむしろ
能動制動子５は働かせない方が好ましいのでフィルター
４１によってゲインを制限する。
能動制動子５は、本実施例においては、２個を１組とし
て２組（４個）設置されており、その１個は第５図に示
すように除振台１に永久磁石５１を介して接続されるヘ
ッド５２と電磁石５３に固定されたポール５４とから構
成される。電磁石５３は磁性体のコア５５と駆動兼線５
６から成り、コア５５は支持体６側に固定される。ポー
ル５４はその形状が円錐面又は角錐面を成しており、−
方ヘッド５２はポール５４、円錐面又は角錐面に対応す
る凹面を有している。そしてヘッド５２とポール５４の
互いに対向する側は同極性になるように駆動巻線５６に
定常電流（直流）が流れているものとする。この定常電
流によって定められるヘッド５２とポール５４との反発
力で除振台１の荷重のほぼ２０％（受動制御子２が支持
する力の残り）を支持する。更に能動制動子５は磁路が
外に漏れないように外周に磁気遮蔽板５７を備え、また
、コア５５及び駆動巻線５６を冷却するための空気流５
８が形成されているものとする。一般に精密除振装置は
クリーンルーム内で使用されるものであるから、空冷用
の空気流５８は吸引により形成するのが好ましい。
て２組（４個）設置されており、その１個は第５図に示
すように除振台１に永久磁石５１を介して接続されるヘ
ッド５２と電磁石５３に固定されたポール５４とから構
成される。電磁石５３は磁性体のコア５５と駆動兼線５
６から成り、コア５５は支持体６側に固定される。ポー
ル５４はその形状が円錐面又は角錐面を成しており、−
方ヘッド５２はポール５４、円錐面又は角錐面に対応す
る凹面を有している。そしてヘッド５２とポール５４の
互いに対向する側は同極性になるように駆動巻線５６に
定常電流（直流）が流れているものとする。この定常電
流によって定められるヘッド５２とポール５４との反発
力で除振台１の荷重のほぼ２０％（受動制御子２が支持
する力の残り）を支持する。更に能動制動子５は磁路が
外に漏れないように外周に磁気遮蔽板５７を備え、また
、コア５５及び駆動巻線５６を冷却するための空気流５
８が形成されているものとする。一般に精密除振装置は
クリーンルーム内で使用されるものであるから、空冷用
の空気流５８は吸引により形成するのが好ましい。
このように構成される能動制動子５は駆動巻線５６には
通常は除振台支持用の定常電流Ｉｏ（第６図）が印加さ
れており、ヘッド５２及びポール５４は所定の間隔に保
たれているが、今、振動によってヘッド６２及びポール
６４との間隔が変動すると、その間の磁気エネルギ７の
変動によって駆動巻線５６に電流が生じ、その内部抵抗
によってブレーキ力が発生すると共にセンサ３が振動を
検出しセンサ３の出力を回路部４が信号処理した制御電
流Ｉｃ（Ｉｃ（Ｉｏ）が印加される。制御電流Ｉｃは前
述のように除振台１に加えられた加振力を逆位相で且つ
ゲインが１以下となるように制御されている。
通常は除振台支持用の定常電流Ｉｏ（第６図）が印加さ
れており、ヘッド５２及びポール５４は所定の間隔に保
たれているが、今、振動によってヘッド６２及びポール
６４との間隔が変動すると、その間の磁気エネルギ７の
変動によって駆動巻線５６に電流が生じ、その内部抵抗
によってブレーキ力が発生すると共にセンサ３が振動を
検出しセンサ３の出力を回路部４が信号処理した制御電
流Ｉｃ（Ｉｃ（Ｉｏ）が印加される。制御電流Ｉｃは前
述のように除振台１に加えられた加振力を逆位相で且つ
ゲインが１以下となるように制御されている。
このようにヘッド６２に加振力と逆位相の制動力が加え
られると、ヘッド５２及びポール５４の配列方向、すな
わち垂直方向のダンピング力が生ずると共にヘッド５２
及びポール５４の形状によって生じるずれ方向のダンピ
ング力によって、ヘッド５２に固定される除振台１の振
動を実直的に相殺することができる。
られると、ヘッド５２及びポール５４の配列方向、すな
わち垂直方向のダンピング力が生ずると共にヘッド５２
及びポール５４の形状によって生じるずれ方向のダンピ
ング力によって、ヘッド５２に固定される除振台１の振
動を実直的に相殺することができる。
尚、ヘッド５２とポール５４とのギャップは振動のリミ
ッタとしても作用する。このような働きのためにヘッド
５２及び／又はポール５４に衝撃を吸収するためゴムな
どのＭ筒材を張り付けておくことも有効である。又、セ
ンサ３及び回路部４は各能動制動子毎に取付けるのが良
く、振動の検出は上下方向のみで行う。
ッタとしても作用する。このような働きのためにヘッド
５２及び／又はポール５４に衝撃を吸収するためゴムな
どのＭ筒材を張り付けておくことも有効である。又、セ
ンサ３及び回路部４は各能動制動子毎に取付けるのが良
く、振動の検出は上下方向のみで行う。
［発明の効果］
以上の説明からも明らかなように、本発明の精密除振装
置においては、除振台を磁石の反発力によって支持する
ので、固有振動数を適正に調整し、能動的制御を容易に
することができ、また力アクチュエータ（能動制動子）
として特定の形状のものを用いることにより垂直方向と
同時に水平方向のダンピングを行なうことができるので
、少ない設置数で除振台に生じた振動を効果的に除振す
ることができ、装置の簡素化を図ることができる。
置においては、除振台を磁石の反発力によって支持する
ので、固有振動数を適正に調整し、能動的制御を容易に
することができ、また力アクチュエータ（能動制動子）
として特定の形状のものを用いることにより垂直方向と
同時に水平方向のダンピングを行なうことができるので
、少ない設置数で除振台に生じた振動を効果的に除振す
ることができ、装置の簡素化を図ることができる。
第１図（ａ）、（ｂ）はそれぞれ本発明の詳細な説明す
る図、第２図は本発明の精密除振装置の一実施例を示す
概略図、第３図は本発明一実施例の回路部のブロック図
、第４図は各信号の波形を示す図、第５図は本発明一実
施例の能動制動子を示す図、第６図は制御電流を示す図
、第７図は能動除振装置の概略図である６ １・・・・・・・除振台 ２・・・・・・・受動制動子 ２１．２２・・・・・・・永久磁石 ３・・・・・・・センサ ４・・・・・・・回路部 ５・・・・・・・能動制動子 ５１・・・・・永久磁石 ５３・・・・・電磁石 ６・・・・・・・支持台 代理人 弁理士 守 谷 −離 落１図 （ａ） （ｂ） 第２図 第３図 第４図 第５図
る図、第２図は本発明の精密除振装置の一実施例を示す
概略図、第３図は本発明一実施例の回路部のブロック図
、第４図は各信号の波形を示す図、第５図は本発明一実
施例の能動制動子を示す図、第６図は制御電流を示す図
、第７図は能動除振装置の概略図である６ １・・・・・・・除振台 ２・・・・・・・受動制動子 ２１．２２・・・・・・・永久磁石 ３・・・・・・・センサ ４・・・・・・・回路部 ５・・・・・・・能動制動子 ５１・・・・・永久磁石 ５３・・・・・電磁石 ６・・・・・・・支持台 代理人 弁理士 守 谷 −離 落１図 （ａ） （ｂ） 第２図 第３図 第４図 第５図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、支持体に受動制動子によって支持される除振台と、
該除振台の振動を検出するセンサと、該センサの出力を
信号処理し、増幅して制御信号を出力する回路部と、該
制御信号によって作動し前記振動を制御する能動制動子
とから成る精密除振装置において、前記受動制動子及び
前記駆動制動子はそれぞれ互いに反発するよう対向配置
された磁石の対から成ると共に、前記能動制動子は前記
磁石の一方が前記制御信号によって制御される電磁石で
あることを特徴とする精密除振装置。 ２、前記能動制動子は前記対向配置された磁石の対のう
ち一方が円錐面又は角錐面を有し、他方が該円錐面又は
角錐面に対応する凹面を有し、前記振動に対応して前記
除振台に前記磁石の配列方向及びずれ方向の力を付与し
て前記振動を実質的に相殺することを特徴とする特許請
求の範囲第１項記載の精密除振装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29950787A JPH01131354A (ja) | 1987-08-27 | 1987-11-27 | 精密除振装置 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62-213237 | 1987-08-27 | ||
| JP21323787 | 1987-08-27 | ||
| JP29950787A JPH01131354A (ja) | 1987-08-27 | 1987-11-27 | 精密除振装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01131354A true JPH01131354A (ja) | 1989-05-24 |
Family
ID=26519678
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29950787A Pending JPH01131354A (ja) | 1987-08-27 | 1987-11-27 | 精密除振装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01131354A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5385217A (en) * | 1991-05-20 | 1995-01-31 | Ebara Corporation | Vibration eliminating apparatus for elminating vibration of an installation floor |
| US5487533A (en) * | 1993-06-04 | 1996-01-30 | Shinko Electric Co., Ltd. | Automatic transport vehicle with three-axis motion sensing and vibration damping |
| EP0740141A2 (en) * | 1995-04-27 | 1996-10-30 | Doryokuro Kakunenryo Kaihatsu Jigyodan | Electromagnetic rotary vibration for rotary body and damper using the same rotary body |
| JP2017502227A (ja) * | 2013-12-23 | 2017-01-19 | コリア エアロスペース リサーチ インスティトゥートＫｏｒｅａ Ａｅｒｏｓｐａｃｅ Ｒｅｓｅａｒｃｈ Ｉｎｓｔｉｔｕｔｅ | 磁石を用いた振動低減装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS51121356A (en) * | 1975-04-17 | 1976-10-23 | Akira Yamamura | Anti-vibration bench device |
-
1987
- 1987-11-27 JP JP29950787A patent/JPH01131354A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS51121356A (en) * | 1975-04-17 | 1976-10-23 | Akira Yamamura | Anti-vibration bench device |
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| EP0740141A3 (en) * | 1995-04-27 | 1997-11-19 | Doryokuro Kakunenryo Kaihatsu Jigyodan | Electromagnetic rotary vibration for rotary body and damper using the same rotary body |
| JP2017502227A (ja) * | 2013-12-23 | 2017-01-19 | コリア エアロスペース リサーチ インスティトゥートＫｏｒｅａ Ａｅｒｏｓｐａｃｅ Ｒｅｓｅａｒｃｈ Ｉｎｓｔｉｔｕｔｅ | 磁石を用いた振動低減装置 |
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