JPH01115033A - ガス放電表示装置 - Google Patents
ガス放電表示装置Info
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- JPH01115033A JPH01115033A JP62270201A JP27020187A JPH01115033A JP H01115033 A JPH01115033 A JP H01115033A JP 62270201 A JP62270201 A JP 62270201A JP 27020187 A JP27020187 A JP 27020187A JP H01115033 A JPH01115033 A JP H01115033A
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Landscapes
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は、電離ガスの発光を利用するガス放電表示装置
に係り、特に、大画面、高輝度、高解像度を有するフル
カラーガス放電表示装置(壁かけ状超薄型テレビ)に関
する。
に係り、特に、大画面、高輝度、高解像度を有するフル
カラーガス放電表示装置(壁かけ状超薄型テレビ)に関
する。
[従来の技術]
ガス放電表示装置では、放電空間内で封入ガスを電離さ
せ、電離ガス自体の発光、あるいは電離ガスで発生した
紫外線や電子を蛍光体に照射した時に発生する蛍光によ
って情報を表示する。したがって、ガス放電表示装置の
製造にあたっては、その放電空間構成体の作製技術が重
要な位置を占める。第2図は、蛍光体の発光を利用する
ガス放電表示装置の断面模式図である。装置は放電セル
1がマトリックス状に配置された放電空間構成体2を、
陽極3が形成されている面板4と陰極5が形成されてい
る基板6ではさんだ構造となっている。放電空間の壁面
には蛍光体7が塗布してあり、また1周囲は封着剤によ
り封止され、放電セルにはXs、 Ne、あるいは、そ
れらの混合ガスが放電ガスとして封入されている。この
種の装置では。
せ、電離ガス自体の発光、あるいは電離ガスで発生した
紫外線や電子を蛍光体に照射した時に発生する蛍光によ
って情報を表示する。したがって、ガス放電表示装置の
製造にあたっては、その放電空間構成体の作製技術が重
要な位置を占める。第2図は、蛍光体の発光を利用する
ガス放電表示装置の断面模式図である。装置は放電セル
1がマトリックス状に配置された放電空間構成体2を、
陽極3が形成されている面板4と陰極5が形成されてい
る基板6ではさんだ構造となっている。放電空間の壁面
には蛍光体7が塗布してあり、また1周囲は封着剤によ
り封止され、放電セルにはXs、 Ne、あるいは、そ
れらの混合ガスが放電ガスとして封入されている。この
種の装置では。
陰極−陽極間に電圧を印荷して放電ガスに紫外線を発生
させ、蛍光体を発光されて情報を表示する。
させ、蛍光体を発光されて情報を表示する。
また、放電空間の隔壁に蛍光体を塗布せず、単に放電ガ
スの発光自体により情報を表示する形式の装置もある。
スの発光自体により情報を表示する形式の装置もある。
以上の記述かられかるように、ガス放電表示装置におい
ては、その表示の輝度、解像度等は放電空間の形状に大
きく依存する。すなわち、ガス放電表示装置の製造にあ
たっては、その放電空間構成体の製造技術が重要な位置
を占める。とくに、フルカラーガス放電テレビは高輝度
、高解像度が要求されるため、高精度の放電空間構成体
作製技術が必要となる。ここで、40インチサイズのフ
ルカラーガス放電テレビを想定したときの放電空間構成
体の構造を示しておくと、実用上十分な明るさをもつ放
電セルの形状は約0.8mm角、深さ1.5〜2mmの
直方体の空間であり、放電空間構成体は隔壁を介してこ
の放電セルを垂直方向に約480セル、水平方向に約8
oOセルを配列した構造となる。また、このセル数等は
、現用のNTSC標準モードの画像の場合であり、今後
実用化されるIDTV、EDTV、HDTVでは放電セ
ルの微少化と放電セル数の大巾な増加が必要となる。ま
た一方、放電空間の数は、上記のように対角40インチ
のフルカラーテレビでは数十五個の達するので、加工の
生産性が高いことも要求される。
ては、その表示の輝度、解像度等は放電空間の形状に大
きく依存する。すなわち、ガス放電表示装置の製造にあ
たっては、その放電空間構成体の製造技術が重要な位置
を占める。とくに、フルカラーガス放電テレビは高輝度
、高解像度が要求されるため、高精度の放電空間構成体
作製技術が必要となる。ここで、40インチサイズのフ
ルカラーガス放電テレビを想定したときの放電空間構成
体の構造を示しておくと、実用上十分な明るさをもつ放
電セルの形状は約0.8mm角、深さ1.5〜2mmの
直方体の空間であり、放電空間構成体は隔壁を介してこ
の放電セルを垂直方向に約480セル、水平方向に約8
oOセルを配列した構造となる。また、このセル数等は
、現用のNTSC標準モードの画像の場合であり、今後
実用化されるIDTV、EDTV、HDTVでは放電セ
ルの微少化と放電セル数の大巾な増加が必要となる。ま
た一方、放電空間の数は、上記のように対角40インチ
のフルカラーテレビでは数十五個の達するので、加工の
生産性が高いことも要求される。
ところで、従来のガス放電表示装置の放電空間は大別す
ると以下の二種の方法で構成されていた。
ると以下の二種の方法で構成されていた。
第1の方法は、例えばrPDPキャラクタデイスプレィ
」、電子技術、第20巻、第11号(1978)、16
〜19頁に示すように、研削、エツチング、レーザ照射
、超音波加工法により素材に貫通孔を開け、この貫通孔
を放電空間として利用する方法である。この場合、研削
法による加工では、孔の断面は円形となり、平面内の放
電空間の割合が低下するという問題点があり、また角形
の貫通孔については、生産性が低いという問題点があっ
た。エツチング法では、サイドエッチが起こるため、断
面形状が一定とならない(加工可能な素材の厚さは、孔
径を1mmとした場合、約0.3mm以下となる)等の
問題があった。また、レーザ照射による穿孔では、孔の
周囲にダメージが残るという問題があり、超音波加工法
では、ホーンと称される加工部の消耗が激しいため、加
工の生産性が低いという問題点があった。
」、電子技術、第20巻、第11号(1978)、16
〜19頁に示すように、研削、エツチング、レーザ照射
、超音波加工法により素材に貫通孔を開け、この貫通孔
を放電空間として利用する方法である。この場合、研削
法による加工では、孔の断面は円形となり、平面内の放
電空間の割合が低下するという問題点があり、また角形
の貫通孔については、生産性が低いという問題点があっ
た。エツチング法では、サイドエッチが起こるため、断
面形状が一定とならない(加工可能な素材の厚さは、孔
径を1mmとした場合、約0.3mm以下となる)等の
問題があった。また、レーザ照射による穿孔では、孔の
周囲にダメージが残るという問題があり、超音波加工法
では、ホーンと称される加工部の消耗が激しいため、加
工の生産性が低いという問題点があった。
第2の方法は1例えば「8型子面構成パルスメモリーカ
ラーパネルの試作と大型化の問題点」。
ラーパネルの試作と大型化の問題点」。
テレビジョン学会技術報告、(昭和61.11゜13)
、37−42頁に示す゛ように、厚膜プロセスにより放
°電空間を構成する方法である。この方法はスクリーン
印刷等の厚膜プロセスによって、セラミックスの原膜を
形成し、放電空間を構成するものであるが、1回の厚膜
プロセスで構成できる放電空間の深さが約0.05mm
と薄いため、たとえば、深さ1mmの放電空間を構成す
るのに20回のプロセスの繰り返しが必要となる。通常
、厚膜プロセスでは、乾燥、焼成、焼鈍など、長時間の
工程が必要であるため、この方法の生産性は低く、かつ
、プロセスを繰り返すため、孔の断面が一定とならない
という問題があった。
、37−42頁に示す゛ように、厚膜プロセスにより放
°電空間を構成する方法である。この方法はスクリーン
印刷等の厚膜プロセスによって、セラミックスの原膜を
形成し、放電空間を構成するものであるが、1回の厚膜
プロセスで構成できる放電空間の深さが約0.05mm
と薄いため、たとえば、深さ1mmの放電空間を構成す
るのに20回のプロセスの繰り返しが必要となる。通常
、厚膜プロセスでは、乾燥、焼成、焼鈍など、長時間の
工程が必要であるため、この方法の生産性は低く、かつ
、プロセスを繰り返すため、孔の断面が一定とならない
という問題があった。
[発明が解決しようとする問題点]
以上示したように、従来技術は、大画面、高輝度、高解
像度を有するフルカラーテレビを代表例とするようなガ
ス放電表示装置の放電空間を構成する技術としては、加
工の生産性が低いという問題点があった。
像度を有するフルカラーテレビを代表例とするようなガ
ス放電表示装置の放電空間を構成する技術としては、加
工の生産性が低いという問題点があった。
本発明の目的は、断面積が0.04〜
3 、0 m m ”、深さが0 、2〜5 、0 m
mと大容積である放電セルにより構成された放電空間
を生産性高く作製する技術に基づき、高品質、低価格の
ガス放電表示装置を提供することにある。
mと大容積である放電セルにより構成された放電空間
を生産性高く作製する技術に基づき、高品質、低価格の
ガス放電表示装置を提供することにある。
[問題点を解決するための手段]
上記目的は、例えばコルゲート法等により、セラミック
スの薄板を波状に成型加工した後に、これを平面板状セ
ラミックスと交互に接着により積層してゆくという方法
を放電空間構成体の製造法として用いることにより達成
される。
スの薄板を波状に成型加工した後に、これを平面板状セ
ラミックスと交互に接着により積層してゆくという方法
を放電空間構成体の製造法として用いることにより達成
される。
[作用]
本発明の放電空間構成体の製造プロセスを模式的に第1
図(a)〜(d)に示す。原料シート(素材薄板)11
を、成型ロール12を通して加工することにより、矩形
波型シート13を作製する。ついで、この矩形波型シー
トと隔壁シート14を組合せて接着成型し、放電空間構
成体母材、すなわち集積ブロック15とする。このブロ
ックをカッター16等を用いて、所定の厚さにスライス
カットして放電空間構成体2を作製する。尚、あらかじ
め原料シートの巾を放電空間構成体の厚さにしておけば
、スライスカットの工程は不要となる。
図(a)〜(d)に示す。原料シート(素材薄板)11
を、成型ロール12を通して加工することにより、矩形
波型シート13を作製する。ついで、この矩形波型シー
トと隔壁シート14を組合せて接着成型し、放電空間構
成体母材、すなわち集積ブロック15とする。このブロ
ックをカッター16等を用いて、所定の厚さにスライス
カットして放電空間構成体2を作製する。尚、あらかじ
め原料シートの巾を放電空間構成体の厚さにしておけば
、スライスカットの工程は不要となる。
[実施例]
以下、本発明の一実施例を第1図(a)〜(d)と対応
させて説明する。
させて説明する。
原料シート11として長さ50cm、巾10c m 、
厚さ0.2mmの未焼結セラミックス(AQ20390
%、Si025%、Mg05%の組成を持つグリーンシ
ート)を用い、超硬合金製の成型ロール12を通過させ
て断面正方形状波型シート13を作成した。この時、正
方形の一辺寸法は0.81mmであった。予備乾燥の後
、空気中で1550℃、1時間、炉内温度分布プラスマ
イナス2%の電気炉を用いて焼成し、矩形波型セラミッ
クシートを完成した。この時、セラミックシートは等方
的に焼きしまり、−辺の寸法は均一に0.8mmとなっ
た。次に、あらかじめ同一素材を用いて作成した厚さ0
.1mmのセラミックス製隔壁シート14と、この波型
シートを交互に組合せ位置決め後、ガラスペーストを用
いて加熱液 ′着し、放電空間構成体用集積ブロック
15を作製した。この後、ワイヤーソーを用いて、厚さ
2mmにスライスカットして放電空間構成体とした。
厚さ0.2mmの未焼結セラミックス(AQ20390
%、Si025%、Mg05%の組成を持つグリーンシ
ート)を用い、超硬合金製の成型ロール12を通過させ
て断面正方形状波型シート13を作成した。この時、正
方形の一辺寸法は0.81mmであった。予備乾燥の後
、空気中で1550℃、1時間、炉内温度分布プラスマ
イナス2%の電気炉を用いて焼成し、矩形波型セラミッ
クシートを完成した。この時、セラミックシートは等方
的に焼きしまり、−辺の寸法は均一に0.8mmとなっ
た。次に、あらかじめ同一素材を用いて作成した厚さ0
.1mmのセラミックス製隔壁シート14と、この波型
シートを交互に組合せ位置決め後、ガラスペーストを用
いて加熱液 ′着し、放電空間構成体用集積ブロック
15を作製した。この後、ワイヤーソーを用いて、厚さ
2mmにスライスカットして放電空間構成体とした。
つぎに、この放電空間構成体の壁面に、紫外線励起緑色
蛍光体:Mn添加Zn2SiO4を塗布し、上面に陽極
マトリックスを形成した表示ガラス板。
蛍光体:Mn添加Zn2SiO4を塗布し、上面に陽極
マトリックスを形成した表示ガラス板。
下面に陰極マトリックスを形成したガラス基板を接着し
、Xeガスを封入してガス放電表示装置を作製した。陽
極はNiの蒸着膜、陰極はBa合金膜である。このよう
にして作製した装置を動作させたところ、画面の輝度は
約150fLと実用上十分な明るさであり、かつ、表示
セル間のクロストークが無く1機械的強度も十分である
というガス放電表示装置として要求される仕様を満足す
る結果が得られた。このことにより、上記方法によるガ
ス放電表示装置の放電空間構成体が製造できることが実
証された。
、Xeガスを封入してガス放電表示装置を作製した。陽
極はNiの蒸着膜、陰極はBa合金膜である。このよう
にして作製した装置を動作させたところ、画面の輝度は
約150fLと実用上十分な明るさであり、かつ、表示
セル間のクロストークが無く1機械的強度も十分である
というガス放電表示装置として要求される仕様を満足す
る結果が得られた。このことにより、上記方法によるガ
ス放電表示装置の放電空間構成体が製造できることが実
証された。
以上の実施例をふまえて、本発明の技術と従来技術の生
産性を比較してみると、たとえば5通常の化学エツチン
グ法のみで貫通孔を作製する方法では、エツチング速度
が遅いこと、0.2〜0.3mm厚の薄板を重ね合せる
工程が必要となることから考えて5本発明の技術の方が
製造時間は約1/10以下となるものと計算される。ま
た膜厚プロセスを用いる方法と比べても、放電空間の深
さが0.2mm以上の場合、同様に1/10以下と試算
された。
産性を比較してみると、たとえば5通常の化学エツチン
グ法のみで貫通孔を作製する方法では、エツチング速度
が遅いこと、0.2〜0.3mm厚の薄板を重ね合せる
工程が必要となることから考えて5本発明の技術の方が
製造時間は約1/10以下となるものと計算される。ま
た膜厚プロセスを用いる方法と比べても、放電空間の深
さが0.2mm以上の場合、同様に1/10以下と試算
された。
ところで4上記の実施例では原料シートとしていわゆる
セラミックス、なかんずくアルミナ系のものを示したが
、他のセラミックス、たとえば。
セラミックス、なかんずくアルミナ系のものを示したが
、他のセラミックス、たとえば。
シリカ系のフォルステライト、ジルコニア等を素材とし
ても本発明の効果は実現できる。
ても本発明の効果は実現できる。
なお、いわゆるガラス板を加熱軟化させつつ成型し、放
電空間構成体を作製する場合においても、本発明による
方法が非常に効果的であることはいうまでもない。
電空間構成体を作製する場合においても、本発明による
方法が非常に効果的であることはいうまでもない。
本実施例では、陽極にはNi、陰極にはBa合金、蛍光
体にはZ n 2 S i O4(M n ) 、接着
剤には低融点ガラスペーストを用いたが、本発明の効果
は、これら電極、蛍光体、および接着剤の材料や作製法
に制限を受けるものではない。
体にはZ n 2 S i O4(M n ) 、接着
剤には低融点ガラスペーストを用いたが、本発明の効果
は、これら電極、蛍光体、および接着剤の材料や作製法
に制限を受けるものではない。
又、波型断面形状を三角形、台形等にしても本発明の効
果は十分に実現可能である。
果は十分に実現可能である。
[発明の効果〕
以上、説明したように、本発明によれば、ガス放電表示
装置の放電空間構成体を、高精度で、かつ、高い生産性
をもって製造することが可能となり、ガス放電表示装置
の高画質化、低コスト化が達成できるという効果がある
。とくに、開発の要望が強い壁掛は式大画面フルカラー
テレどの実現に効果がある。
装置の放電空間構成体を、高精度で、かつ、高い生産性
をもって製造することが可能となり、ガス放電表示装置
の高画質化、低コスト化が達成できるという効果がある
。とくに、開発の要望が強い壁掛は式大画面フルカラー
テレどの実現に効果がある。
第1図は本発明の一実施例の説明図、第2図はガス放電
表示装置の断面の模式図である。 1・・・放電セル、2・・・放電空間、3・・・陽極、
4・・・面板、5・・・陰極、6・・・基板、7・・・
蛍光体、11・・・原料シート、12・・・成型ロール
、13・・・波型シート、14・・・隔壁シート、15
・・・集積ブロック、16・・・カッター。
表示装置の断面の模式図である。 1・・・放電セル、2・・・放電空間、3・・・陽極、
4・・・面板、5・・・陰極、6・・・基板、7・・・
蛍光体、11・・・原料シート、12・・・成型ロール
、13・・・波型シート、14・・・隔壁シート、15
・・・集積ブロック、16・・・カッター。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、一枚の連続したセラミックスの薄板を成型加工して
波状構造とした後、これを組合せることによって構成し
た空隙を放電空間として利用することを特徴とするガス
放電表示装置。 2、特許請求の範囲第1項において、構成される放電空
間の端形が、波長0.2〜1.5mmの正方形及び台形
、ないしは、長辺の長さが 0.4〜2.0mmで短辺の長さが0.2〜1.5mm
の長方形及び台形であることを特徴とするガス放電表示
装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62270201A JPH01115033A (ja) | 1987-10-28 | 1987-10-28 | ガス放電表示装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62270201A JPH01115033A (ja) | 1987-10-28 | 1987-10-28 | ガス放電表示装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01115033A true JPH01115033A (ja) | 1989-05-08 |
Family
ID=17482938
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP62270201A Pending JPH01115033A (ja) | 1987-10-28 | 1987-10-28 | ガス放電表示装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH01115033A (ja) |
Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02114429A (ja) * | 1988-10-24 | 1990-04-26 | Fujitsu General Ltd | カラー表示用pdpの螢光体層用凹部形成方法 |
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WO2010041403A1 (ja) * | 2008-10-10 | 2010-04-15 | 株式会社ニコン | 可撓性基板、表示素子の製造方法及び表示素子の製造装置 |
US20130271945A1 (en) | 2004-02-06 | 2013-10-17 | Nikon Corporation | Polarization-modulating element, illumination optical apparatus, exposure apparatus, and exposure method |
US8854601B2 (en) | 2005-05-12 | 2014-10-07 | Nikon Corporation | Projection optical system, exposure apparatus, and exposure method |
US9341954B2 (en) | 2007-10-24 | 2016-05-17 | Nikon Corporation | Optical unit, illumination optical apparatus, exposure apparatus, and device manufacturing method |
US9423698B2 (en) | 2003-10-28 | 2016-08-23 | Nikon Corporation | Illumination optical apparatus and projection exposure apparatus |
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