JPH01100403A - 干渉計用光源装置 - Google Patents
干渉計用光源装置Info
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- JPH01100403A JPH01100403A JP62258050A JP25805087A JPH01100403A JP H01100403 A JPH01100403 A JP H01100403A JP 62258050 A JP62258050 A JP 62258050A JP 25805087 A JP25805087 A JP 25805087A JP H01100403 A JPH01100403 A JP H01100403A
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- laser beam
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Links
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- BJQHLKABXJIVAM-UHFFFAOYSA-N bis(2-ethylhexyl) phthalate Chemical compound CCCCC(CC)COC(=O)C1=CC=CC=C1C(=O)OCC(CC)CCCC BJQHLKABXJIVAM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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Landscapes
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
この発明は、少なくとも2光束に分けて干渉させる干渉
部にレーザ光を供給する干渉計用光源装置に関する。
部にレーザ光を供給する干渉計用光源装置に関する。
(従来の技術)
第9図は、従来の干渉計用光源装置を備えた光干渉計の
概略構成図であり、図において、51はステージで、こ
のステージ51には干渉光学系52と、この干渉光学系
52に対してレーザ光を射出するレーザヘッドであるガ
スレーザ装置53とが設置されている。54はガスレー
ザ装置53が射出するレーザ光の波長を安定に保たせる
波長安定化制御部で、この波長安定化制御部54とガス
レーザ装置53(レーザヘッド)とで干渉計用光源装置
が構成されている。55はレシーバ52aが受光する干
渉光から移動鏡52bの移動距離を演算するとともにこ
の演算した移動距離を表示部55aに表示させる演算装
置である。52dは参照鏡、52cは参照光束と測定光
束に分割する分割器である。
概略構成図であり、図において、51はステージで、こ
のステージ51には干渉光学系52と、この干渉光学系
52に対してレーザ光を射出するレーザヘッドであるガ
スレーザ装置53とが設置されている。54はガスレー
ザ装置53が射出するレーザ光の波長を安定に保たせる
波長安定化制御部で、この波長安定化制御部54とガス
レーザ装置53(レーザヘッド)とで干渉計用光源装置
が構成されている。55はレシーバ52aが受光する干
渉光から移動鏡52bの移動距離を演算するとともにこ
の演算した移動距離を表示部55aに表示させる演算装
置である。52dは参照鏡、52cは参照光束と測定光
束に分割する分割器である。
いま、ガスレーザ装置53からレーザ光を射出させて移
動鏡52bを移動させていくと、レシーバ52aの受光
面にレーザ光の干渉による明暗が生じ、その明暗の数を
演算装置55がカウントして移動鏡52bの移動距離が
測定される。
動鏡52bを移動させていくと、レシーバ52aの受光
面にレーザ光の干渉による明暗が生じ、その明暗の数を
演算装置55がカウントして移動鏡52bの移動距離が
測定される。
(発明が解決しようとする問題点)
ところで、移動鏡52bの移動距離を精度よく測定する
にはガスレーザ装置53.移動鏡52b、レシーバ52
a等の光軸合わせが高精度に行われていなければならな
い。しかし、上記装置にあっては、ガスレーザ装置53
は大型で重量が大きいのでその自重によってステージ5
1がたわんでくるため、高精度に光軸合わせしたそれら
の光軸がずれてきて、測定誤差が大きくなってしまうと
いう問題があった。また、ガスレーザ装置53をステー
ジ51から離し、ガスレーザ装置1i53から射出され
るレーザ光を反射鏡によって干渉光学系52に導くもの
が提案されているが、ステージ51のたわみはなくなる
ものの、その反射鏡の反射面の向きが環境の変化にとも
なって変化して各光軸がずれてくるので、環境変化に弱
いという問題があった。
にはガスレーザ装置53.移動鏡52b、レシーバ52
a等の光軸合わせが高精度に行われていなければならな
い。しかし、上記装置にあっては、ガスレーザ装置53
は大型で重量が大きいのでその自重によってステージ5
1がたわんでくるため、高精度に光軸合わせしたそれら
の光軸がずれてきて、測定誤差が大きくなってしまうと
いう問題があった。また、ガスレーザ装置53をステー
ジ51から離し、ガスレーザ装置1i53から射出され
るレーザ光を反射鏡によって干渉光学系52に導くもの
が提案されているが、ステージ51のたわみはなくなる
ものの、その反射鏡の反射面の向きが環境の変化にとも
なって変化して各光軸がずれてくるので、環境変化に弱
いという問題があった。
また、半導体レーザを使用したものが提案されているが
、この場合、発振波長が注入電流や動作温度の影響を受
は易いので発振波長を安定化させる必要がある。この発
振波長の安定化を図るための制御に、波長基準となるフ
ァブリペロ・エタロン板、原子・分子吸収セル等のいず
れかが必要であり、更にハーフミラ−2反射鏡、集光レ
ンズ等が必要である。また、動作温度を安定化させるた
めに冷却素子、これに付随するサーミスタ等が必要とな
る。このため、半導体レーザ自体は超小型であるがステ
ージに載置されるレーザヘッドは殆ど小型化されず5上
記問題点を解決することができなかった。
、この場合、発振波長が注入電流や動作温度の影響を受
は易いので発振波長を安定化させる必要がある。この発
振波長の安定化を図るための制御に、波長基準となるフ
ァブリペロ・エタロン板、原子・分子吸収セル等のいず
れかが必要であり、更にハーフミラ−2反射鏡、集光レ
ンズ等が必要である。また、動作温度を安定化させるた
めに冷却素子、これに付随するサーミスタ等が必要とな
る。このため、半導体レーザ自体は超小型であるがステ
ージに載置されるレーザヘッドは殆ど小型化されず5上
記問題点を解決することができなかった。
(発明の目的)
そこで、この発明は、上記問題点に鑑みてなされたもの
で、レーザヘッドを小型にすることができるとともに環
境の変化によって光軸のずれを生じさせない干渉計用光
源装置を提供することを目的とする。
で、レーザヘッドを小型にすることができるとともに環
境の変化によって光軸のずれを生じさせない干渉計用光
源装置を提供することを目的とする。
(問題点を解決するための手段)
この発明は、上記問題点を解決するために、レーザ光を
射出するレーザ光源部と、前記レーザ光源部からのレー
ザ光を受取り、少なくとも2光束に分けて干渉させる干
渉部へ導く偏波面保存ファイバーとを備えたものである
。
射出するレーザ光源部と、前記レーザ光源部からのレー
ザ光を受取り、少なくとも2光束に分けて干渉させる干
渉部へ導く偏波面保存ファイバーとを備えたものである
。
(作 用)
上記の構成であるから、レーザ光源から射出されたレー
ザ光は偏波面保存ファイバーによって干渉部に導かれる
。
ザ光は偏波面保存ファイバーによって干渉部に導かれる
。
(実施例)
以下、この発明の一実施例を図面に基づいて説明する。
第1図は、この発明に係わる干渉計用光源装置を実施し
た光干渉装置の光学系の配置を示した概念図であり、第
1図において、1は干渉光学系2を載置したステージ、
3はその干渉光学系2に対してレーザ光を射出するレー
ザヘッドで、これにはコリメータレンズ4が設けられて
いる。上記干渉光学系2は従来と同様に分割器2a、参
照鏡2b。
た光干渉装置の光学系の配置を示した概念図であり、第
1図において、1は干渉光学系2を載置したステージ、
3はその干渉光学系2に対してレーザ光を射出するレー
ザヘッドで、これにはコリメータレンズ4が設けられて
いる。上記干渉光学系2は従来と同様に分割器2a、参
照鏡2b。
移動fi2c、受光センサ2d等から構成されている。
6は半導体レーザ装置、7は半導体レーザ装置6が発す
るレーザ光の発振波長を安定化する波長安定化制御装置
、8は干渉光学系2の移動鏡2aの移動距離を演算し、
この演算した移動距離を表示部8aに表示させる演算装
置、9は電源である。
るレーザ光の発振波長を安定化する波長安定化制御装置
、8は干渉光学系2の移動鏡2aの移動距離を演算し、
この演算した移動距離を表示部8aに表示させる演算装
置、9は電源である。
そして、これら半導体レーザ装置6.波長安定化制御装
置7.演算装置8等は1つのケースKに収められている
。ところで、半導体レーザ装置6゜波長安定化制御装置
7.後述する偏波面保存ファイバ=5等で干渉計用光源
装置が構成される。
置7.演算装置8等は1つのケースKに収められている
。ところで、半導体レーザ装置6゜波長安定化制御装置
7.後述する偏波面保存ファイバ=5等で干渉計用光源
装置が構成される。
第2図は上記半導体レーザ装置6の概略構成図を示した
ものであり、図において、11は半導体レーザ、13は
半導体レーザ11を強制的に冷却する電子冷却素子、1
4は放熱板、15は半導体レーザ11の温度を検出する
サーミスタである。 16は半導体レーザ11から射出
されるレーザ光を平行光束にするコリメータレンズ部、
17はコリメータレンズ部16によって平行光束にされ
た光束を分割するハーフミラ−118はレーザ光の波長
の変動を検出する波長基準の役割をもつフィルタ、19
はフィルタ18を透過した光束を集束させるコンデンサ
レンズ、20はコンデンサレンズ19によって集束され
た光束を受光する受光センサであり、この受光センサ2
0によって発振波長の変動がモニターされる。そして。
ものであり、図において、11は半導体レーザ、13は
半導体レーザ11を強制的に冷却する電子冷却素子、1
4は放熱板、15は半導体レーザ11の温度を検出する
サーミスタである。 16は半導体レーザ11から射出
されるレーザ光を平行光束にするコリメータレンズ部、
17はコリメータレンズ部16によって平行光束にされ
た光束を分割するハーフミラ−118はレーザ光の波長
の変動を検出する波長基準の役割をもつフィルタ、19
はフィルタ18を透過した光束を集束させるコンデンサ
レンズ、20はコンデンサレンズ19によって集束され
た光束を受光する受光センサであり、この受光センサ2
0によって発振波長の変動がモニターされる。そして。
前記波長安定化制御装置7はその受光センサ20の出力
信号に基づいて半導体レーザ11の注入電流を制御して
発振波長の安定化を図るようになっている。すなわち、
レーザ光の発振波長が何らかの原因で変動した場合、フ
ィルタ18を透過する光束は波長の変動に応じて減衰さ
れるので受光センサ2G・の出力信号が小さくなり、波
長安定化制御装置E7はその出力信号に基づいて発振波
長の変動が小さくなる方向に注入電流を迅速に制御する
。
信号に基づいて半導体レーザ11の注入電流を制御して
発振波長の安定化を図るようになっている。すなわち、
レーザ光の発振波長が何らかの原因で変動した場合、フ
ィルタ18を透過する光束は波長の変動に応じて減衰さ
れるので受光センサ2G・の出力信号が小さくなり、波
長安定化制御装置E7はその出力信号に基づいて発振波
長の変動が小さくなる方向に注入電流を迅速に制御する
。
21はハーフミラ−17を透過した光束を分割するハー
フミラ−122はその八−フミラー21で分割された光
束を集束させるコンデンサレンズ、23はコンデンサレ
ンズ22によって集束された光束を受光する受光センサ
で、この受光センサ23によって発振出力の変動がモニ
ターされる。前記波長安定化制御装置7はその受光セン
サ23の出力信号に基づいて電子冷却素子13に流れる
電流を制御して発振出力を安定に保つように半導体レー
ザ11の動作温度を調整するようにもなっている。24
はハーフミラ−21を透過した光束を集束させる集束レ
ンズ部で、通常、偏波面保存ファイバーのNAは極めて
小さいので、この集束レンズ部24の焦点距離はコリメ
ータレンズ部16の焦点距離以上になっている。
フミラ−122はその八−フミラー21で分割された光
束を集束させるコンデンサレンズ、23はコンデンサレ
ンズ22によって集束された光束を受光する受光センサ
で、この受光センサ23によって発振出力の変動がモニ
ターされる。前記波長安定化制御装置7はその受光セン
サ23の出力信号に基づいて電子冷却素子13に流れる
電流を制御して発振出力を安定に保つように半導体レー
ザ11の動作温度を調整するようにもなっている。24
はハーフミラ−21を透過した光束を集束させる集束レ
ンズ部で、通常、偏波面保存ファイバーのNAは極めて
小さいので、この集束レンズ部24の焦点距離はコリメ
ータレンズ部16の焦点距離以上になっている。
なお、上述のコリメータレンズ部16と集束レンズ部2
4とでリレーレンズ部が構成される。そして、この集光
レンズ部24によって集光されたレーザ光は偏波面保存
ファイバー5に導入されるようになっている。偏波面保
存ファイバー5はクラッド5a内のコア5bの断面が楕
円形に形成されたものである(第7図参照)、25はコ
ネクタである。そして、偏波面保存ファイバー5の一端
部5aが前記ステージlに設けられたレーザヘッド3に
接続され、その偏波面保存ファイバー5を伝搬するレー
ザ光はその一端部5aから射出され、コリメータレンズ
4によってそのレーザ光は平行光束にされて干渉光学系
2に導入される。
4とでリレーレンズ部が構成される。そして、この集光
レンズ部24によって集光されたレーザ光は偏波面保存
ファイバー5に導入されるようになっている。偏波面保
存ファイバー5はクラッド5a内のコア5bの断面が楕
円形に形成されたものである(第7図参照)、25はコ
ネクタである。そして、偏波面保存ファイバー5の一端
部5aが前記ステージlに設けられたレーザヘッド3に
接続され、その偏波面保存ファイバー5を伝搬するレー
ザ光はその一端部5aから射出され、コリメータレンズ
4によってそのレーザ光は平行光束にされて干渉光学系
2に導入される。
レーザヘッド3は、コリメータレンズ4と偏波面保存フ
ァイバー5の一端部5aとから構成されるので、非常に
小型かつ軽量となる。
ァイバー5の一端部5aとから構成されるので、非常に
小型かつ軽量となる。
そして、干渉光学系2の移動鏡2cを移動させていけば
、従来と同様に、移動鏡2cで反射されるレーザ光と参
照鏡2bで反射されるレーザ光とが干渉し、この干渉光
が受光センサ2dに受光されて、移動鏡2cの移動距離
が測定される。
、従来と同様に、移動鏡2cで反射されるレーザ光と参
照鏡2bで反射されるレーザ光とが干渉し、この干渉光
が受光センサ2dに受光されて、移動鏡2cの移動距離
が測定される。
ところで、半導体レーザ11から射出されるレーザ光は
ほとんど直線偏光光であるが、自然放出光。
ほとんど直線偏光光であるが、自然放出光。
による非偏光光も僅かであるが含まれている。干渉計で
はコヒーレント光を使用して計測しているので、その非
偏光光はノイズの原因となり、計測に際しては偏光比(
直線偏光成分/非偏光成分)が高いほどよい。偏光比を
高めるには、第3図に示すように半導体レーザ11から
射出されるレーザ光をNA(=sinθ)が小さくなる
ようにコリメートすればよい。しかし、NAを小さくす
ると、半導体レーザ11から射出される射出角の大きな
光線(レーザ光)を捨てることになるからエネルギー損
失が大きくなる。第4@に偏光比、NA、光出力との関
係を表わしたグラフを示す。
はコヒーレント光を使用して計測しているので、その非
偏光光はノイズの原因となり、計測に際しては偏光比(
直線偏光成分/非偏光成分)が高いほどよい。偏光比を
高めるには、第3図に示すように半導体レーザ11から
射出されるレーザ光をNA(=sinθ)が小さくなる
ようにコリメートすればよい。しかし、NAを小さくす
ると、半導体レーザ11から射出される射出角の大きな
光線(レーザ光)を捨てることになるからエネルギー損
失が大きくなる。第4@に偏光比、NA、光出力との関
係を表わしたグラフを示す。
しかるに、第5図に示すように、NAを大きくしたコリ
メータレンズ部16を用いても、その後にコリメータレ
ンズ部16の焦点距離よりも長い焦点距離の集光レンズ
部24を設けて偏波面保存ファイバー5にレーザ光を入
射させればNAを小さくした場合と同様な効果を得るこ
とができ、さらに、その偏波面保存ファイバー5 を伝
搬して他端部5aから射出されるレーザ光は偏光比が改
善される(偏波面保存ファイバー5中では非偏光成分の
光は減衰し易いため)。したがって、半導体レーザ11
から射出される大きな射出角のレーザ光を拾っても集光
レンズ部24によってそのレーザ光を集束させて偏波面
保存ファイバー5に入射させれば。
メータレンズ部16を用いても、その後にコリメータレ
ンズ部16の焦点距離よりも長い焦点距離の集光レンズ
部24を設けて偏波面保存ファイバー5にレーザ光を入
射させればNAを小さくした場合と同様な効果を得るこ
とができ、さらに、その偏波面保存ファイバー5 を伝
搬して他端部5aから射出されるレーザ光は偏光比が改
善される(偏波面保存ファイバー5中では非偏光成分の
光は減衰し易いため)。したがって、半導体レーザ11
から射出される大きな射出角のレーザ光を拾っても集光
レンズ部24によってそのレーザ光を集束させて偏波面
保存ファイバー5に入射させれば。
偏波面保存ファイバー5が偏光子として作用して偏光比
を大きくするので、エネルギー損失が少なくしかも偏光
比の高いレーザ光を得ることができ、コヒーレント光を
使用する干渉計等にははなはだ都合がよい。
を大きくするので、エネルギー損失が少なくしかも偏光
比の高いレーザ光を得ることができ、コヒーレント光を
使用する干渉計等にははなはだ都合がよい。
上記実施例では、レーザヘッド3がコリメータレンズ4
と偏波面保存ファイバー5の一端部5aとから構成され
るので非常に小型かつ軽量となり、従来のように、ステ
ージがレーザヘッドの自重によりたわんで測定誤差が大
きくなってしまうということがない、また、反射鏡等を
用いてレーザ光を干渉光学系2に導入していないので、
環境変化によりレーザヘッド3と干渉光学系2の光軸が
ずれてしまうということがない。
と偏波面保存ファイバー5の一端部5aとから構成され
るので非常に小型かつ軽量となり、従来のように、ステ
ージがレーザヘッドの自重によりたわんで測定誤差が大
きくなってしまうということがない、また、反射鏡等を
用いてレーザ光を干渉光学系2に導入していないので、
環境変化によりレーザヘッド3と干渉光学系2の光軸が
ずれてしまうということがない。
また、上記実施例では、半導体レーザ装置6と波長安定
化制御装置7と演算装置!8とが同一ケー入内に収めら
れているので、各装置間を接続するコードが短かくなる
ため、そのコードにのる雑音が減少する。また、半導体
レーザ装置6をステージ1とは別のケースに設けている
ので、半導体レーザ11や放熱板12.14からの熱が
レーザヘッド3に伝導することが殆どなく、ステージ1
に熱的影響を与えることがない。
化制御装置7と演算装置!8とが同一ケー入内に収めら
れているので、各装置間を接続するコードが短かくなる
ため、そのコードにのる雑音が減少する。また、半導体
レーザ装置6をステージ1とは別のケースに設けている
ので、半導体レーザ11や放熱板12.14からの熱が
レーザヘッド3に伝導することが殆どなく、ステージ1
に熱的影響を与えることがない。
第6図は、第2実施例を示したもので、これは、コリメ
ータレンズ4と干渉光学系2との間にλ/4板3板製1
在させたものである。このλ/4板3板製1晶光学軸3
1aと偏波面保存ファイバー5のコア5bの楕円の長軸
5cとのなす角度が第7図に示すように45°になって
いる。図において、32は偏光ビームスプリッタ、33
.34は第1.第2受光センサ、35はハーフミラ−で
ある。
ータレンズ4と干渉光学系2との間にλ/4板3板製1
在させたものである。このλ/4板3板製1晶光学軸3
1aと偏波面保存ファイバー5のコア5bの楕円の長軸
5cとのなす角度が第7図に示すように45°になって
いる。図において、32は偏光ビームスプリッタ、33
.34は第1.第2受光センサ、35はハーフミラ−で
ある。
いま、レーザヘッド3から直線偏光のレーザ光が射出さ
れると、このレーザ光が後λ/4板31によって円偏光
となってこの円偏光のP偏光成分とS偏光成分とでπ/
2の位相差が生じる。そして、この円偏光のレーザ光は
ハーフミラ−35によって参照光束と測定光束に分割さ
れ、これら光束が参照境、移動鏡で反射されて再度ハー
フミラ−35に戻り、ここで、測定光束のP偏光成分と
参照光束のP偏光成分が、測定光束のS偏光成分と参照
光束のS偏光成分とがそれぞれ干渉し、この干渉した干
渉光束が偏光ビームスプリッタ32に入射する。
れると、このレーザ光が後λ/4板31によって円偏光
となってこの円偏光のP偏光成分とS偏光成分とでπ/
2の位相差が生じる。そして、この円偏光のレーザ光は
ハーフミラ−35によって参照光束と測定光束に分割さ
れ、これら光束が参照境、移動鏡で反射されて再度ハー
フミラ−35に戻り、ここで、測定光束のP偏光成分と
参照光束のP偏光成分が、測定光束のS偏光成分と参照
光束のS偏光成分とがそれぞれ干渉し、この干渉した干
渉光束が偏光ビームスプリッタ32に入射する。
この入射した干渉光束のP偏光成分が偏光ビームスプリ
ッタ32を通過して第1受光センサ33に受光され、S
偏光成分が偏光ビームスプリッタ32の斜面32aで反
射して第2受光センサ34に受光される。
ッタ32を通過して第1受光センサ33に受光され、S
偏光成分が偏光ビームスプリッタ32の斜面32aで反
射して第2受光センサ34に受光される。
第1.第2受光センサ33,34はその受光量に応じて
受光信号を出力する。
受光信号を出力する。
そして、移動鏡を例えば矢印入方向に移動させていくと
、参照光路長と測定光路長との差が波長の半整数倍にな
る毎に、すなわち移動鏡の移動距離がλ/2増加する毎
bL参照光束と測定光束との干渉により明暗が生じるの
で、第1.第2受光センサ33,34からその明暗に応
じた正弦波状の受光信号が第8図に示すように出力され
る。ところで。
、参照光路長と測定光路長との差が波長の半整数倍にな
る毎に、すなわち移動鏡の移動距離がλ/2増加する毎
bL参照光束と測定光束との干渉により明暗が生じるの
で、第1.第2受光センサ33,34からその明暗に応
じた正弦波状の受光信号が第8図に示すように出力され
る。ところで。
偏光ビームスプリッタ16に入射する干渉光束のP偏光
成分とS偏光成分はπ/2の位相差があるので、第1.
第2受光センサ33 、34から出力される受光信号に
π/2の位相差が生じる(第8図参照)。
成分とS偏光成分はπ/2の位相差があるので、第1.
第2受光センサ33 、34から出力される受光信号に
π/2の位相差が生じる(第8図参照)。
これら受光信号を所定レベル以上のときHレベルとなる
パルス信号(第8図のQ、S)に変換し、さらに、この
パルス信号の立上り時と立ち下り時にカウントパルスを
第8図のTに示すように発生させてそのカウントパルス
をカウントすれば移動鏡の移動距離をλ/8の精度で測
定することができる。
パルス信号(第8図のQ、S)に変換し、さらに、この
パルス信号の立上り時と立ち下り時にカウントパルスを
第8図のTに示すように発生させてそのカウントパルス
をカウントすれば移動鏡の移動距離をλ/8の精度で測
定することができる。
また、移動鏡が矢印B方向に移動した場合、第8図のS
に示す信号がHレベルになってからQに示す信号がHレ
ベルになるので(矢印入方向に移動している場合は、Q
がHレベルになってからSがHレベルになる)、これか
ら移動鏡の移動方向を検出することができる。なお、λ
14板31は破線で示す何れかの位置に設置してもよい
。
に示す信号がHレベルになってからQに示す信号がHレ
ベルになるので(矢印入方向に移動している場合は、Q
がHレベルになってからSがHレベルになる)、これか
ら移動鏡の移動方向を検出することができる。なお、λ
14板31は破線で示す何れかの位置に設置してもよい
。
(発明の効果)
この発明は、上記のように構成したものであるから、レ
ーザヘッドを小型かつ軽量にすることができるので、ス
テージのたわみを生じさせることなく、しかも環境の変
化によって光軸のずれが生じない。したがって、移動鏡
の移動距離を正確に測定することができるという効果を
有する。
ーザヘッドを小型かつ軽量にすることができるので、ス
テージのたわみを生じさせることなく、しかも環境の変
化によって光軸のずれが生じない。したがって、移動鏡
の移動距離を正確に測定することができるという効果を
有する。
第1図はこの発明に係おる干渉計用光源装置を実施した
光干渉装置の光学系の配置を示した概念図、第2図は半
導体レーザ装置の概略構成図、第3図はNAの説明図、
第4図は偏光比、NA、光出力との関係を表わしたグラ
フ、第5図は偏光比を改善するための説明図、第6図は
第2実施例の説明図、第7図はλ/4板の結晶光学軸と
偏波面保存ファイバーのコアとの関係を示した説明図、
第8図は受光センサの出力信号とパルスとの関係の説明
図、第9図は従来の干渉計用光源装置を備えた光干渉装
置の説明図である。 5・・・偏波面保存ファイバー 11・・・半導体レーザ 16・・・コリメータレンズ部 24・・・集束レンズ部 第5図 第6図 第8図
光干渉装置の光学系の配置を示した概念図、第2図は半
導体レーザ装置の概略構成図、第3図はNAの説明図、
第4図は偏光比、NA、光出力との関係を表わしたグラ
フ、第5図は偏光比を改善するための説明図、第6図は
第2実施例の説明図、第7図はλ/4板の結晶光学軸と
偏波面保存ファイバーのコアとの関係を示した説明図、
第8図は受光センサの出力信号とパルスとの関係の説明
図、第9図は従来の干渉計用光源装置を備えた光干渉装
置の説明図である。 5・・・偏波面保存ファイバー 11・・・半導体レーザ 16・・・コリメータレンズ部 24・・・集束レンズ部 第5図 第6図 第8図
Claims (4)
- (1)レーザ光を射出するレーザ光源部と、前記レーザ
光源部からのレーザ光を受取り、少なくとも2光束に分
けて干渉させる干渉部へ導く偏波面保存ファイバーと、 を備えている干渉計用光源装置。 - (2)前記レーザ光源部は、レーザ光を射出するレーザ
光源と、 このレーザ光源から射出されるレーザ光を集束させ、前
記偏波面保存ファイバーに入射させるリレーレンズ部と
、 を有することを特徴とする特許請求の範囲第1項記載の
干渉計用光源装置。 - (3)前記リレーレンズ部は、レーザ光源から射出され
るレーザ光を略平行光束とするコリメータレンズ部と、 前記コリメータレンズ部から射出したレーザ光を前記偏
波面保存ファイバーに入射させる集束レンズ部と、 を有することを特徴とする特許請求の範囲第2項記載の
干渉計用光源装置。 - (4)前記集束レンズ部の焦点距離は、コリメータレン
ズ部の焦点距離より長く構成されていることを特徴とす
る特許請求の範囲第3項記載の干渉計用光源装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62258050A JPH01100403A (ja) | 1987-10-13 | 1987-10-13 | 干渉計用光源装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62258050A JPH01100403A (ja) | 1987-10-13 | 1987-10-13 | 干渉計用光源装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01100403A true JPH01100403A (ja) | 1989-04-18 |
Family
ID=17314846
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP62258050A Pending JPH01100403A (ja) | 1987-10-13 | 1987-10-13 | 干渉計用光源装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH01100403A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003028608A (ja) * | 2001-07-13 | 2003-01-29 | Advantest Corp | 干渉計 |
JP2017519187A (ja) * | 2014-04-30 | 2017-07-13 | アトキューブ システムズ アクチエンゲゼルシャフト | 工作機械に組み込まれる干渉変位センサ及び半導体リソグラフィシステム |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6091203A (ja) * | 1983-09-23 | 1985-05-22 | カール ツアイス―スチフツシング | 多軸測定器 |
JPS60100002A (ja) * | 1983-11-04 | 1985-06-03 | Hitachi Cable Ltd | 偏波面保存光フアイバを用いた光干渉計 |
-
1987
- 1987-10-13 JP JP62258050A patent/JPH01100403A/ja active Pending
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6091203A (ja) * | 1983-09-23 | 1985-05-22 | カール ツアイス―スチフツシング | 多軸測定器 |
JPS60100002A (ja) * | 1983-11-04 | 1985-06-03 | Hitachi Cable Ltd | 偏波面保存光フアイバを用いた光干渉計 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003028608A (ja) * | 2001-07-13 | 2003-01-29 | Advantest Corp | 干渉計 |
JP2017519187A (ja) * | 2014-04-30 | 2017-07-13 | アトキューブ システムズ アクチエンゲゼルシャフト | 工作機械に組み込まれる干渉変位センサ及び半導体リソグラフィシステム |
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