JP7509575B2 - 熱輻射光検出装置及びレーザ加工装置 - Google Patents
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Description
[レーザ加工装置の構成]
[熱輻射光検出装置の構成]
Ms1=Mm1-I1…(1)
I1=D1+(β1/λ1 5)・exp[-C1/{λ1(T1+273.15)}]…(2)
Ms2=Mm2-I2…(3)
I2=D2+(β2/λ2 5)・exp[-C2/{λ2(T2+273.15)}]…(4)
[作用及び効果]
[変形例]
Claims (11)
- 複数の壁部を有する筐体と、
前記複数の壁部のうちの1つの壁部に取り付けられ、前記筐体内に熱輻射光を入射させる光入射部と、
前記筐体内に配置され、第1波長の光及び前記第1波長とは異なる第2波長の光を前記熱輻射光から抽出する光抽出部と、
前記複数の壁部のうちの1つの壁部に取り付けられ、前記第1波長の光を検出する第1光検出部と、
前記複数の壁部のうちの1つの壁部に取り付けられ、前記第2波長の光を検出する第2光検出部と、
前記複数の壁部のうち、前記第1光検出部が取り付けられた前記壁部とは異なる壁部に取り付けられた第1温度検出部と、を備え、
前記第1光検出部は、第1パッケージ、及び、前記第1パッケージ内に配置された第1光検出素子を有し、
前記第2光検出部は、第2パッケージ、及び、前記第2パッケージ内に配置された第2光検出素子を有する、熱輻射光検出装置。 - 前記第1温度検出部は、前記複数の壁部のうち、前記第1光検出部が取り付けられた前記壁部と対向する壁部に取り付けられている、請求項1に記載の熱輻射光検出装置。
- 前記光抽出部及び前記第1光検出部の少なくとも1つは、前記第1光検出素子に前記第1波長の光を集光する第1集光レンズを有し、
前記第1温度検出部は、前記第1温度検出部が取り付けられた前記壁部において前記第1集光レンズのFOV内に位置している、請求項1又は2に記載の熱輻射光検出装置。 - 前記複数の壁部のうち、前記第2光検出部が取り付けられた前記壁部とは異なる壁部に取り付けられた第2温度検出部を更に備える、請求項1~3のいずれか一項に記載の熱輻射光検出装置。
- 前記第2温度検出部は、前記複数の壁部のうち、前記第2光検出部が取り付けられた前記壁部と対向する壁部に取り付けられている、請求項4に記載の熱輻射光検出装置。
- 前記光抽出部及び前記第2光検出部の少なくとも1つは、前記第2光検出素子に前記第2波長の光を集光する第2集光レンズを有し、
前記第2温度検出部は、前記第2温度検出部が取り付けられた前記壁部において前記第2集光レンズのFOV内に位置している、請求項4又は5に記載の熱輻射光検出装置。 - 前記第1光検出部が取り付けられた前記壁部、及び前記第2光検出部が取り付けられた前記壁部は、異なる壁部であり、
前記第1温度検出部が取り付けられた前記壁部、及び前記第2温度検出部が取り付けられた前記壁部は、同じ壁部である、請求項4~6のいずれか一項に記載の熱輻射光検出装置。 - 前記第1光検出部が取り付けられた前記壁部、及び前記第2光検出部が取り付けられた前記壁部は、同じ壁部であり、
前記第1温度検出部は、前記複数の壁部のうち、前記第1光検出部及び前記第2光検出部が取り付けられた前記壁部と対向する壁部に取り付けられている、請求項1に記載の熱輻射光検出装置。 - 前記光抽出部及び前記第1光検出部の少なくとも1つは、前記第1光検出素子に前記第1波長の光を集光する第1集光レンズを有し、
前記光抽出部及び前記第2光検出部の少なくとも1つは、前記第2光検出素子に前記第2波長の光を集光する第2集光レンズを有し、
前記第1温度検出部は、前記第1温度検出部が取り付けられた前記壁部において前記第1集光レンズのFOV及び前記第2集光レンズのFOVが重なる領域内に位置している、請求項1に記載の熱輻射光検出装置。 - 前記第1光検出部から出力された信号及び前記第2光検出部から出力された信号に基づいて、前記熱輻射光を発した領域の温度を求める信号処理部を更に備え、
前記信号処理部は、前記第1温度検出部から出力された信号に基づいて、少なくとも、前記第1光検出部から出力された前記信号を補正する、請求項1~9のいずれか一項に記載の熱輻射光検出装置。 - 請求項1~10のいずれか一項に記載の熱輻射光検出装置と、
レーザ光を出射するレーザ光源と、
被加工物において前記レーザ光が照射された領域から発せられた熱輻射光を前記熱輻射光検出装置に導光する導光部と、を備える、レーザ加工装置。
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