JP7499641B2 - Thermally conductive sheet - Google Patents
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- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 claims description 64
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 claims description 43
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 42
- 239000011231 conductive filler Substances 0.000 claims description 41
- 239000010439 graphite Substances 0.000 claims description 41
- 150000002978 peroxides Chemical class 0.000 claims description 32
- 239000000945 filler Substances 0.000 claims description 31
- 229920002545 silicone oil Polymers 0.000 claims description 30
- 125000000391 vinyl group Chemical group [H]C([*])=C([H])[H] 0.000 claims description 23
- 239000003431 cross linking reagent Substances 0.000 claims description 14
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 27
- 238000004132 cross linking Methods 0.000 description 18
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 16
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 15
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 15
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 14
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 description 14
- 239000002243 precursor Substances 0.000 description 13
- 229920000260 silastic Polymers 0.000 description 13
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 12
- RNFJDJUURJAICM-UHFFFAOYSA-N 2,2,4,4,6,6-hexaphenoxy-1,3,5-triaza-2$l^{5},4$l^{5},6$l^{5}-triphosphacyclohexa-1,3,5-triene Chemical compound N=1P(OC=2C=CC=CC=2)(OC=2C=CC=CC=2)=NP(OC=2C=CC=CC=2)(OC=2C=CC=CC=2)=NP=1(OC=1C=CC=CC=1)OC1=CC=CC=C1 RNFJDJUURJAICM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 239000003063 flame retardant Substances 0.000 description 10
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 8
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 8
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 8
- -1 dimethylvinylsiloxy groups Chemical group 0.000 description 7
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 7
- 238000001125 extrusion Methods 0.000 description 7
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- DMWVYCCGCQPJEA-UHFFFAOYSA-N 2,5-bis(tert-butylperoxy)-2,5-dimethylhexane Chemical compound CC(C)(C)OOC(C)(C)CCC(C)(C)OOC(C)(C)C DMWVYCCGCQPJEA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- XMNIXWIUMCBBBL-UHFFFAOYSA-N 2-(2-phenylpropan-2-ylperoxy)propan-2-ylbenzene Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(C)(C)OOC(C)(C)C1=CC=CC=C1 XMNIXWIUMCBBBL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000004594 Masterbatch (MB) Substances 0.000 description 5
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 5
- 238000005227 gel permeation chromatography Methods 0.000 description 5
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 230000013011 mating Effects 0.000 description 4
- 125000002496 methyl group Chemical group [H]C([H])([H])* 0.000 description 4
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 4
- 150000001451 organic peroxides Chemical class 0.000 description 4
- 229920000049 Carbon (fiber) Polymers 0.000 description 3
- 239000004917 carbon fiber Substances 0.000 description 3
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 description 3
- 239000011243 crosslinked material Substances 0.000 description 3
- 235000013870 dimethyl polysiloxane Nutrition 0.000 description 3
- 238000004898 kneading Methods 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 3
- 239000013500 performance material Substances 0.000 description 3
- 229920000435 poly(dimethylsiloxane) Polymers 0.000 description 3
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 3
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 3
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000007259 addition reaction Methods 0.000 description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 2
- 238000007561 laser diffraction method Methods 0.000 description 2
- 150000003058 platinum compounds Chemical class 0.000 description 2
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 2
- 238000000790 scattering method Methods 0.000 description 2
- 125000005372 silanol group Chemical group 0.000 description 2
- 229920002379 silicone rubber Polymers 0.000 description 2
- 239000004945 silicone rubber Substances 0.000 description 2
- AGKBXKFWMQLFGZ-UHFFFAOYSA-N (4-methylbenzoyl) 4-methylbenzenecarboperoxoate Chemical compound C1=CC(C)=CC=C1C(=O)OOC(=O)C1=CC=C(C)C=C1 AGKBXKFWMQLFGZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004342 Benzoyl peroxide Substances 0.000 description 1
- OMPJBNCRMGITSC-UHFFFAOYSA-N Benzoylperoxide Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(=O)OOC(=O)C1=CC=CC=C1 OMPJBNCRMGITSC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N Boron nitride Chemical compound N#B PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920000742 Cotton Polymers 0.000 description 1
- 239000004793 Polystyrene Substances 0.000 description 1
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920004482 WACKER® Polymers 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011337 anisotropic pitch Substances 0.000 description 1
- 229940045985 antineoplastic platinum compound Drugs 0.000 description 1
- 239000003963 antioxidant agent Substances 0.000 description 1
- 230000003078 antioxidant effect Effects 0.000 description 1
- 239000002216 antistatic agent Substances 0.000 description 1
- 235000019400 benzoyl peroxide Nutrition 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 239000013256 coordination polymer Substances 0.000 description 1
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 239000007822 coupling agent Substances 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- LSXWFXONGKSEMY-UHFFFAOYSA-N di-tert-butyl peroxide Chemical compound CC(C)(C)OOC(C)(C)C LSXWFXONGKSEMY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004205 dimethyl polysiloxane Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000000806 elastomer Substances 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000007706 flame test Methods 0.000 description 1
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- UQSXHKLRYXJYBZ-UHFFFAOYSA-N iron oxide Inorganic materials [Fe]=O UQSXHKLRYXJYBZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000013980 iron oxide Nutrition 0.000 description 1
- WTFXARWRTYJXII-UHFFFAOYSA-N iron(2+);iron(3+);oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Fe+2].[Fe+3].[Fe+3] WTFXARWRTYJXII-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VBMVTYDPPZVILR-UHFFFAOYSA-N iron(2+);oxygen(2-) Chemical class [O-2].[Fe+2] VBMVTYDPPZVILR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SZVJSHCCFOBDDC-UHFFFAOYSA-N iron(II,III) oxide Inorganic materials O=[Fe]O[Fe]O[Fe]=O SZVJSHCCFOBDDC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JEIPFZHSYJVQDO-UHFFFAOYSA-N iron(III) oxide Inorganic materials O=[Fe]O[Fe]=O JEIPFZHSYJVQDO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZLNQQNXFFQJAID-UHFFFAOYSA-L magnesium carbonate Chemical compound [Mg+2].[O-]C([O-])=O ZLNQQNXFFQJAID-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 239000001095 magnesium carbonate Substances 0.000 description 1
- 229910000021 magnesium carbonate Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000395 magnesium oxide Substances 0.000 description 1
- CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N magnesium oxide Inorganic materials [Mg]=O CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N magnesium;oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[Mg+2] AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000012856 packing Methods 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 239000004014 plasticizer Substances 0.000 description 1
- 229920002223 polystyrene Polymers 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 230000001737 promoting effect Effects 0.000 description 1
- 239000012744 reinforcing agent Substances 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001542 size-exclusion chromatography Methods 0.000 description 1
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 238000010998 test method Methods 0.000 description 1
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 1
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 1
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- Compositions Of Macromolecular Compounds (AREA)
- Cooling Or The Like Of Electrical Apparatus (AREA)
Description
本発明は、熱伝導性シートに関する。 The present invention relates to a thermally conductive sheet.
電子機器の高密度化・薄型化が急速に進み、ＩＣやパワー部品、高輝度ＬＥＤなど発熱する部材から生じる熱の影響が重大な問題となっている。この問題を解消するために、発熱部材と放熱部材との間に熱を効率良く伝達する部材である熱伝導性シートを配置して、熱を放出することが行われている。 As electronic devices become increasingly dense and thin, the effects of heat from heat-generating components such as ICs, power components, and high-brightness LEDs have become a major problem. To solve this problem, a thermally conductive sheet, which efficiently transfers heat, is placed between the heat-generating component and the heat-dissipating component to dissipate the heat.
熱伝導性シートに関する技術として、例えば、特許文献１には、配向可撓性熱伝導材料であって、当該配向可撓性熱伝導材料の主成分は、シリコーンゴム及び異方性熱伝導充填剤であり、互いに平行である複数の連続した熱伝導パスが当該配向可撓性熱伝導材料内に形成され、且つ熱伝導パス方向に複数列に、前記シリコーンゴム内に充填された前記異方性熱伝導充填剤を連続的に配置することにより、前記熱伝導パスが形成される、配向可撓性熱伝導材料、が開示されている。
特許文献１に記載の発明は、異方性熱伝導充填剤として、膨張グラファイト等を含んでいる。
As a technology relating to thermally conductive sheets, for example,
The invention described in
熱伝導性シートは、電気部品、自動車部品など、広範な分野で使用されている。
これらの部品は、通常、部品全体として難燃性が求められている。そのため、熱伝導性シート自体も難燃性が求められている。
一方、グラファイトを熱伝導性成分とする熱伝導性シートは、グラファイトが燃焼性を有するため、難燃性を確保することが容易ではなかった。
そのため、グラファイトを熱伝導性成分とする熱伝導性シートに難燃性を付与するためには、難燃剤を含有させることが通常であった。
Thermally conductive sheets are used in a wide range of fields, including electrical components and automotive parts.
These parts are usually required to be flame retardant as a whole, and therefore the thermal conductive sheet itself is also required to be flame retardant.
On the other hand, it has not been easy to ensure flame retardancy in a thermally conductive sheet that uses graphite as a thermally conductive component, because graphite is combustible.
For this reason, in order to impart flame retardancy to a thermally conductive sheet that contains graphite as a thermally conductive component, it has been common to add a flame retardant.
本発明者らは、このような状況のもと鋭意検討を重ね、熱伝導性成分としてグラファイトを採用しても、特定のシリコーン系のマトリックス成分を採用することにより、優れた難燃性を確保することができることを見出し、本発明の熱伝導性シートを完成した。 The inventors of the present invention conducted extensive research under these circumstances and discovered that even when graphite is used as the thermally conductive component, excellent flame retardancy can be ensured by using a specific silicone-based matrix component, leading to the completion of the thermally conductive sheet of the present invention.
（１）本発明の熱伝導性シートは、
ビニル基を有するシリコーンの過酸化物架橋剤による架橋物と、シリコーンオイルと、熱伝導性フィラーとを含有する熱伝導性シートであって、
上記熱伝導性フィラーは、グラファイト製のフィラーを含み、
上記シリコーンオイルは、重量平均分子量Ｍｗが１０００００～１７００００であり、
上記過酸化物架橋剤の配合量は、上記シリコーンオイル１００重量部に対して、０．１５～０．６重量部である。
(1) The thermally conductive sheet of the present invention is
A thermally conductive sheet containing a silicone having a vinyl group crosslinked with a peroxide crosslinking agent, silicone oil, and a thermally conductive filler,
The thermally conductive filler includes a graphite filler,
The silicone oil has a weight average molecular weight Mw of 100,000 to 170,000;
The amount of the peroxide crosslinking agent is 0.15 to 0.6 parts by weight per 100 parts by weight of the silicone oil.
上記熱伝導性シートは、難燃剤を含有しなくても優れた難燃性を確保することができる。 The above thermally conductive sheet ensures excellent flame retardancy even without the inclusion of a flame retardant.
（２）上記熱伝導性シートにおいて、上記熱伝導性フィラーは５０～１００体積％がグラファイト製のフィラーであり、
上記熱伝導性フィラーの含有量は熱伝導性シート全体に対して４０～７０体積％である、ことが好ましい。
この場合、上記熱伝導性シートは、低コストで、優れた難燃性を確保することができる。
(2) In the thermally conductive sheet, the thermally conductive filler is a graphite filler in an amount of 50 to 100 volume %;
The content of the thermally conductive filler is preferably 40 to 70% by volume based on the entire thermally conductive sheet.
In this case, the thermally conductive sheet can ensure excellent flame retardancy at low cost.
本発明の熱伝導性シートは、グラファイトを熱伝導性成分としつつ、良好な難燃性を有する。 The thermally conductive sheet of the present invention has good flame retardancy while using graphite as a thermally conductive component.
以下、本発明の実施形態について説明する。
本発明において、「熱伝導性シート」とは、押出成型等で成形した後のブロック状物、及び、当該ブロック状物を適宜切断して得られる切断物（スライスしたシート状物を含む）のいずれも含む概念である。
ここでは、スライスしたシート状物を例にして、熱伝導性シートの実施形態を説明する。
Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described.
In the present invention, the term "thermally conductive sheet" is a concept that includes both a block-shaped product obtained after molding by extrusion molding or the like, and cut products (including sliced sheet-shaped products) obtained by appropriately cutting the block-shaped product.
Here, an embodiment of the thermally conductive sheet will be described using a sliced sheet as an example.
本発明の実施形態に係る熱伝導性シートは、発熱部材とヒートシンク等の放熱部材との間に配置し、一方の面を発熱部材に接触させ、他方の面を放熱部材に接触させて使用するものである。
上記熱伝導性シートは、ビニル基を有するシリコーンの過酸化物架橋剤による架橋物と、シリコーンオイルと、熱伝導性フィラーとを含有する。
このような構成の熱伝導性シートは、ビニル基を有するシリコーン、架橋剤としての過酸化物、シリコーンオイル、及び熱伝導性フィラーを含有するシリコーン系組成物を原料組成物とし、当該原料組成物を架橋させるとともに、成形したものである。
ここで、シリコーンとは、シロキサン結合による主骨格を有する化合物である。
図１（ａ）は、本発明の実施形態に係る熱伝導性シートの一例を模式的に示す斜視図であり、図１（ｂ）は、図１（ａ）のＡ－Ａ線断面における部分拡大図である。
なお、本願図面において、図１及び図２はいずれも模式図であり、各部材の実寸法を正確に反映したものではない。
The thermally conductive sheet according to an embodiment of the present invention is disposed between a heat-generating component and a heat-dissipating component such as a heat sink, and is used with one side in contact with the heat-generating component and the other side in contact with the heat-dissipating component.
The thermally conductive sheet contains a crosslinked product of silicone having a vinyl group with a peroxide crosslinking agent, silicone oil, and a thermally conductive filler.
The thermally conductive sheet having such a configuration is produced by using a silicone-based composition containing a silicone having a vinyl group, a peroxide as a crosslinking agent, silicone oil, and a thermally conductive filler as a raw material composition, and then crosslinking and molding the raw material composition.
Here, silicone is a compound having a main skeleton formed by siloxane bonds.
FIG. 1(a) is a perspective view showing a schematic example of a thermally conductive sheet according to an embodiment of the present invention, and FIG. 1(b) is a partially enlarged view of the cross section taken along line AA in FIG. 1(a).
In the drawings of the present application, both Fig. 1 and Fig. 2 are schematic diagrams and do not accurately reflect the actual dimensions of each member.
熱伝導性シート１は、例えば、発熱部材とヒートシンクとの間等に配置され、一方の面を発熱部材に接触させ、他方の面をヒートシンクに接触させて使用する。
熱伝導性シート１は、図１（ａ）及び（ｂ）に示すように、マトリックス成分２と、熱伝導性フィラー４としてのグラファイト製のフィラー（以下、グラファイトフィラーともいう）とを含有している。熱伝導性フィラー４は、熱伝導性シート１のほぼ厚さ方向に配向している。熱伝導性シート１では、熱伝導性フィラー４による熱伝導パスが、熱伝導性シート１のほぼ厚さ方向に形成されている。なお、熱伝導性シート１は、ほぼ厚さ方向にウェルドラインが形成されることもある。
本実施形態の熱伝導性シートでは、熱伝導性フィラー以外の成分をまとめてマトリックス成分と称する。
The thermally
1(a) and 1(b), the thermally
In the thermally conductive sheet of this embodiment, the components other than the thermally conductive filler are collectively referred to as matrix components.
マトリックス成分２は、シリコーンを含有する。そのため、熱伝導性シート１は耐熱性に優れる。
本実施形態において、上記シリコーンは、シリコーンの架橋物（以下、架橋シリコーンともいう）と、シリコーンオイルとの混合物である。
ここで、架橋シリコーンは、過酸化物架橋されたものである。シリコーンの架橋物としては、付加反応型の架橋による架橋物と、過酸化物架橋による架橋物とが良く知られているが、過酸化物架橋による架橋物の方が難燃性に優れている。これは本願発明者によって見出された事項である。
上述したように、過酸化物架橋による架橋物の方が付加反応型の架橋による架橋物に比べて難燃性に優れる理由については定かではないが、燃焼試験の観察結果から、過酸化物架橋による架橋物の方が燃焼時の試験片の熱膨張が少なく、表面における灰化層（シリカ）の形成が早いため、燃焼時間が短時間になると推測している。
上記架橋シリコーンとしては、例えば、側鎖（末端も含む）の一部にビニル基を有するシリコーンを架橋させたものが好ましい。
The
In this embodiment, the silicone is a mixture of a cross-linked product of silicone (hereinafter also referred to as cross-linked silicone) and silicone oil.
Here, the crosslinked silicone is one that has been crosslinked with peroxide. Well-known types of silicone crosslinked products are those crosslinked by addition reaction crosslinking and those crosslinked by peroxide crosslinking, but the crosslinked product by peroxide crosslinking has better flame retardancy. This was discovered by the present inventors.
As mentioned above, it is not clear why the cross-linked material obtained by peroxide cross-linking has better flame retardancy than the cross-linked material obtained by addition reaction type cross-linking. However, based on the observation results of the combustion test, it is speculated that the cross-linked material obtained by peroxide cross-linking has less thermal expansion of the test piece during combustion and the ash layer (silica) is formed quickly on the surface, resulting in a shorter combustion time.
As the crosslinked silicone, for example, one obtained by crosslinking silicone having a vinyl group in part of the side chain (including the terminal) is preferable.
上記シリコーンオイルは、例えば、側鎖が全てメチル基で不飽和基を含まないシリコーンである。
マトリックス成分２では、上記架橋シリコーンによってもたらされる３次元網目構造の隙間に、上記シリコーンオイルが入り込んでいる。このようなマトリックス成分２によって、熱伝導性シートは、柔軟性が確保され、優れた耐久性を確保するのに適した構造になっている。
なお、マトリックス成分２に含まれる架橋シリコーンは、その一部が、側鎖が全てメチル基で不飽和基を含まないシリコーンの架橋物であっても良い。
The silicone oil is, for example, a silicone whose side chains are all methyl groups and which does not contain any unsaturated groups.
In the
The crosslinked silicone contained in the
上記シリコーンオイルは、重量平均分子量Ｍｗが１０００００～１７００００である。重量平均分子量Ｍｗが上記範囲のシリコーンオイルを採用することで、熱伝導性シート１は、難燃剤を含有しなくも良好な難燃性を確保することができる。具体的には、例えば、ＵＬ９４規格において、Ｖ－１基準を満足することができる。
上記シリコーンオイルの重量平均分子量Ｍｗが１０００００未満の場合や、１７００００を超える場合は、難燃性が不十分になる。
上記シリコーンオイルの重量平均分子量Ｍｗの好ましい下限は１２００００であり、より好ましい下限は１３００００である。一方、上記シリコーンオイルの重量平均分子量Ｍｗの好ましい上限は１５５０００であり、より好ましい上限は１４５０００である。
The silicone oil has a weight average molecular weight Mw of 100,000 to 170,000. By using a silicone oil having a weight average molecular weight Mw in the above range, the thermal
When the weight average molecular weight Mw of the silicone oil is less than 100,000 or exceeds 170,000, the flame retardancy becomes insufficient.
The lower limit of the weight average molecular weight Mw of the silicone oil is preferably 120,000, and more preferably 130,000. On the other hand, the upper limit of the weight average molecular weight Mw of the silicone oil is preferably 155,000, and more preferably 145,000.
上記シリコーンオイルの分子量分布（Ｍｗ［重量平均分子量］／Ｍｎ［数平均分子量］）は、１．８～２．２が好ましい。
この場合、良好な難燃性を確保するのに特に適している。
上記分子量分布（Ｍｗ／Ｍｎ）は、１．９～２．１がより好ましい。
The molecular weight distribution (Mw [weight average molecular weight]/Mn [number average molecular weight]) of the silicone oil is preferably 1.8 to 2.2.
In this case, it is particularly suitable for ensuring good flame retardancy.
The molecular weight distribution (Mw/Mn) is more preferably from 1.9 to 2.1.
上記側鎖の一部にビニル基を有するシリコーンの具体例としては、例えば、分子鎖両末端ジメチルビニルシロキシ基封鎖ジメチルポリシロキサン、分子鎖両末端メチルフェニルビニルシロキシ基封鎖ジメチルポリシロキサン、分子鎖両末端ジメチルビニルシロキシ基封鎖ジメチルシロキサン・メチルフェニルシロキサン共重合体、分子鎖両末端ジメチルビニルシロキシ基封鎖ジメチルシロキサン・メチルビニルシロキサン共重合体、分子鎖両末端トリメチルシロキシ基封鎖ジメチルシロキサン・メチルビニルシロキサン共重合体、分子鎖両末端ジメチルビニルシロキシ基封鎖メチル（３，３，３－トリフルオロプロピル）ポリシロキサン、分子鎖両末端シラノール基封鎖ジメチルシロキサン・メチルビニルシロキサン共重合体、分子鎖両末端シラノール基封鎖ジメチルシロキサン・メチルビニルシロキサン・メチルフェニルシロキサン共重合体等が挙げられる。これらは単独で用いても良いし、２種以上併用しても良い。 Specific examples of silicones having vinyl groups in part of the side chain include, for example, dimethylpolysiloxanes with both molecular chain terminals blocked by dimethylvinylsiloxy groups, dimethylpolysiloxanes with both molecular chain terminals blocked by methylphenylvinylsiloxy groups, dimethylsiloxane-methylphenylsiloxane copolymers with both molecular chain terminals blocked by dimethylvinylsiloxy groups, dimethylsiloxane-methylvinylsiloxane copolymers with both molecular chain terminals blocked by dimethylvinylsiloxy groups, dimethylsiloxane-methylvinylsiloxane copolymers with both molecular chain terminals blocked by trimethylsiloxy groups, methyl(3,3,3-trifluoropropyl)polysiloxanes with both molecular chain terminals blocked by dimethylvinylsiloxy groups, dimethylsiloxane-methylvinylsiloxane copolymers with both molecular chain terminals blocked by silanol groups, and dimethylsiloxane-methylvinylsiloxane-methylphenylsiloxane copolymers with both molecular chain terminals blocked by silanol groups. These may be used alone or in combination of two or more.
上述したシリコーン系組成物（未架橋の原料組成物）において、上記ビニル基を有するシリコーンの配合量は、上記シリコーン系組成物に含まれる架橋剤としての過酸化物の量に応じて適宜選択すれば良い。
上記ビニル基を有するシリコーンの配合量が少ないと、熱伝導性シートの難燃性を確保できない場合がある。
一方、上記ビニル基を有するシリコーンの配合量が多いと、熱伝導性シートが硬くなり、当該熱伝導性シートを発熱部材とヒートシンクとの間等に配置した際に、発熱部材やヒートシンクなどの相手部材との接触面における密着性や追従性に劣ることがある。また、上記ビニル基を有するシリコーンの配合量が多いと、熱伝導性シート中に、未反応のビニル基が残留し、この未反応のビニル基の残留によって、上記熱伝導性シートの物性が経時的に変化するおそれがある。
上記ビニル基を有するシリコーンの配合量と、上記過酸化物架橋剤の配合量との関係については後述する。
In the above-mentioned silicone-based composition (uncrosslinked raw material composition), the blending amount of the silicone having a vinyl group may be appropriately selected according to the amount of peroxide as a crosslinking agent contained in the silicone-based composition.
If the blending amount of the vinyl group-containing silicone is small, the flame retardancy of the thermally conductive sheet may not be ensured.
On the other hand, if the blending amount of the silicone having the vinyl group is large, the thermal conductive sheet becomes hard, and when the thermal conductive sheet is placed between a heat generating member and a heat sink, the thermal conductive sheet may have poor adhesion and conformability at the contact surface with the mating member such as the heat generating member or the heat sink. Also, if the blending amount of the silicone having the vinyl group is large, unreacted vinyl groups may remain in the thermal conductive sheet, and the physical properties of the thermal conductive sheet may change over time due to the remaining unreacted vinyl groups.
The relationship between the amount of the vinyl group-containing silicone and the amount of the peroxide crosslinking agent will be described later.
マトリックス成分２は、シリコーンとして、所謂、ミラブルタイプのシリコーンを含有していても良い。上記ミラブルタイプのシリコーンとしては、例えば、上記シリコーンオイルよりも数平均分子量が大きく、側鎖が全てメチル基で不飽和基を含まないシリコーン等が挙げられる。
本発明においてシリコーンオイルやミラブルタイプのシリコーンの平均分子量は、ＪＩＳ－Ｋ７２５２－１：２００８年「プラスチック－サイズ排除クロマトグラフィーによる高分子の平均分子量及び分子量分布の求め方－第１部：通則」に準拠し、ポリスチレンを標準物質とするゲル浸透クロマトグラフィー（ＧＰＣ）を用いて測定した平均分子量である。
上記シリコーンオイル等の平均分子量（重量平均分子量Ｍｗ、数平均分子量Ｍｎ）は、例えば、下記の方法で測定すれば良い。
試料を精秤し、０．２重量％溶液になるようにトルエンを入れて一晩放置した後、０．４５μｍフィルターでろ過し、その後、（ＧＰＣ）を用いて測定すれば良い。
In the present invention, the average molecular weight of the silicone oil or millable type silicone is an average molecular weight measured by gel permeation chromatography (GPC) using polystyrene as a standard substance in accordance with JIS-K7252-1:2008 "Plastics - Determination of average molecular weight and molecular weight distribution of polymers by size exclusion chromatography - Part 1: General rules."
The average molecular weight (weight average molecular weight Mw, number average molecular weight Mn) of the silicone oil or the like may be measured, for example, by the following method.
A sample is precisely weighed, and toluene is added to the sample so as to give a 0.2 wt % solution, which is then left to stand overnight. The sample is then filtered through a 0.45 μm filter, and then the sample is measured using (GPC).
このとき、具体的なＧＰＣの測定条件としては、例えば、下記の条件を採用することができる。
装置：ＨＬＣ８３２０－ＧＰＣ Ｅｃｏ ＳＥＣ（東ソー社製）
カラム：
ＴＳＫｇｅｌ ＳｕｐｅｒＨＭ－Ｍ ６．０×１５０ｍｍ ２本連結＋ＴＳＫｇｅｌ ｇｕａｒｄｃｏｌｕｍｎ ＳｕｐｅｒＨ－Ｈ ４．６×３５ｍｍ
リファレンスカラム ＴＳＫｇｅｌ Ｓｕｐｅｒ ＲＣ ６．０×１５０ｍｍ
恒温槽：４０℃
検出器：ＲＩ（－）
注入量：１０μＬ
流量：トルエン ０．６ｍＬ／ｍｉｎ
In this case, the specific GPC measurement conditions that can be adopted are, for example, as follows:
Apparatus: HLC8320-GPC Eco SEC (manufactured by Tosoh Corporation)
column:
TSKgel SuperHM-M 6.0 x 150
Reference column: TSKgel Super RC 6.0 x 150 mm
Thermostatic chamber: 40°C
Detector: RI (-)
Injection volume: 10 μL
Flow rate: toluene 0.6 mL/min
上記過酸化物架橋を行う際の過酸化物としては、例えば、ベンゾイルパーオキサイド、ジクミルパーオキサイド、２，５－ジメチル－２，５－ジ（ｔ－ブチルパーオキシ）ヘキサン、ジ－ｔ－ブチルパーオキサイド、Ｐ－メチルベンゾイルパーオキサイド等の有機過酸化物が挙げられる。これらは単独で用いても良いし、２種以上併用しても良い。
これらのなかでは、２，５－ジメチル－２，５－ジ（ｔ－ブチルパーオキシ）ヘキサンが好ましい。ビニル基を有するシリコーンの架橋反応を進行させるのに適しているからである。
上記シリコーン系組成物は、更に架橋促進剤や架橋促進助剤等を含有し、これらと架橋剤としての過酸化物とを併用して架橋を行っても良い。
Examples of the peroxide used in the peroxide crosslinking include organic peroxides such as benzoyl peroxide, dicumyl peroxide, 2,5-dimethyl-2,5-di(t-butylperoxy)hexane, di-t-butyl peroxide, and p-methylbenzoyl peroxide. These may be used alone or in combination of two or more kinds.
Of these, 2,5-dimethyl-2,5-di(t-butylperoxy)hexane is preferred because it is suitable for promoting the crosslinking reaction of silicone having a vinyl group.
The silicone composition may further contain a crosslinking accelerator or a crosslinking accelerator assistant, and crosslinking may be carried out using these in combination with a peroxide as a crosslinking agent.
上記過酸化物架橋剤としては、市販品を使用することもできる。
過酸化物として２，５－ジメチル－２，５－ジ（ｔ－ブチルパーオキシ）ヘキサンを含有する過酸化物架橋剤の市販品としては、例えば、ＳＩＬＡＳＴＩＣ（登録商標） ＲＣ－４ ５０Ｐ ＦＤ Ｒｕｂｂｅｒ Ａｄｄｉｔｉｖｅ、ＳＩＬＡＳＴＩＣ ＲＣ－８ Ｒｕｂｂｅｒ Ａｄｄｉｔｉｖｅ（いずれもダウ・東レ社製）、Ｃ－８、Ｃ－８Ａ、Ｃ－８Ｂ、Ｃ－１５（いずれも信越化学工業社製）、ＴＣ－８（モメンティブ・パフォーマンス・マテリアル・ジャパン合同会社製）、ＤＳ－８（旭化成ワッカーシリコーン社製）、ＬＵＰＥＲＯＸ（登録商標） １０１ＸＬＳ５０、ＬＵＰＥＲＯＸ １０１ＸＬ４５、ＬＵＰＥＲＯＸ ＨＰ１０１ＸＬＰ、ＬＵＰＥＲＯＸ １０１ＸＬ４５－ＳＰ２（いずれもアルケマ吉富社製）、ＰＥＲＨＥＸＡ（登録商標）２５Ｂ－４０（日本油脂社製）等が挙げられる。
As the peroxide crosslinking agent, commercially available products can also be used.
Commercially available peroxide crosslinking agents containing 2,5-dimethyl-2,5-di(t-butylperoxy)hexane as the peroxide include, for example, SILASTIC (registered trademark) RC-4 50P FD Rubber Additive, SILASTIC RC-8 Rubber Additive (all manufactured by Dow-Toray), C-8, C-8A, C-8B, C-15 (all manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.), TC-8 (manufactured by Momentive Performance Materials Japan, LLC), DS-8 (manufactured by Wacker Asahi Kasei Silicones), LUPEROX (registered trademark) 101XLS50, LUPEROX 101XL45, LUPEROX HP101XLP, LUPEROX 101XL45-SP2 (both manufactured by Arkema Yoshitomi Co., Ltd.), PERHEXA (registered trademark) 25B-40 (manufactured by NOF Corporation), and the like.
上記過酸化物の配合量は、上記シリコーン系組成物において、シリコーンオイル１００重量部に対して、０．１５～０．６重量部である。
上記過酸化物の配合量が０．１５重量部未満では、熱伝導性シートの難燃性が不十分になる。
一方、上記過酸化物の配合量が０．６重量部を超えると、この場合も熱伝導性シートの難燃性が不十分になる。加えて、熱伝導性シートが硬くなるため、当該熱伝導性シートを実装した際に、相手材との接触状態が悪くなり、熱伝導性シートの主な機能である伝熱性能も悪くなる。
The amount of the peroxide blended in the silicone composition is 0.15 to 0.6 parts by weight per 100 parts by weight of silicone oil.
If the amount of the peroxide is less than 0.15 parts by weight, the flame retardancy of the thermally conductive sheet becomes insufficient.
On the other hand, if the amount of the peroxide exceeds 0.6 parts by weight, the flame retardancy of the thermal conductive sheet is also insufficient. In addition, the thermal conductive sheet becomes hard, so that when the thermal conductive sheet is mounted, the contact state with the mating material becomes poor, and the heat transfer performance, which is the main function of the thermal conductive sheet, also deteriorates.
上記過酸化物の配合量は、上記ビニル基を有するシリコーンの配合量との関係において、例えば、当該ビニル基を有するシリコーンを含む市販品を使用する場合、その市販品が推奨する過酸化物の配合量、又は上記推奨する過酸化物の配合量の８０～１２０重量％の量であることが好ましい。
具体的には、例えば、上記ビニル基を有するシリコーンを含む市販品として、ダウ・東レ社製 ＳＩＬＡＳＴＩＣ ＭＲ－５３ Ｒｕｂｂｅｒ Ａｄｄｉｔｉｖｅを使用する場合、この市販品が推奨する架橋剤の量を考慮して、上記ＳＩＬＡＳＴＩＣ ＭＲ－５３の配合量の１７～２６重量％の量を、過酸化物（例えば、２，５－ジメチル－２，５－ジ（ｔ－ブチルパーオキシ）ヘキサン）の配合量とすることが好ましい。
The amount of the peroxide blended, in relation to the amount of the silicone having a vinyl group, is preferably, for example, when a commercially available product containing the silicone having a vinyl group is used, the amount of peroxide blended recommended for that commercially available product, or an amount of 80 to 120% by weight of the above-mentioned recommended amount of peroxide blended.
Specifically, for example, when SILASTIC MR-53 Rubber Additive manufactured by Dow Toray Industries, Inc. is used as the commercially available product containing the silicone having a vinyl group, it is preferable to use a peroxide (for example, 2,5-dimethyl-2,5-di(t-butylperoxy)hexane) in an amount of 17 to 26% by weight of the amount of SILASTIC MR-53, taking into consideration the amount of crosslinking agent recommended for this commercially available product.
より具体的には、例えば、上記ビニル基を有するシリコーンを含む市販品として上記ＳＩＬＡＳＴＩＣ ＭＲ－５３ Ｒｕｂｂｅｒ Ａｄｄｉｔｉｖｅを使用し、過酸化物として２，５－ジメチル－２，５－ジ（ｔ－ブチルパーオキシ）ヘキサンを含有する過酸化物架橋剤の市販品として、ダウ・東レ社製、ＳＩＬＡＳＴＩＣ ＲＣ－４ ５０Ｐ ＦＤ Ｒｕｂｂｅｒ Ａｄｄｉｔｉｖｅ（過酸化物の含有量、約５０重量％）を使用する場合は、上記ＳＩＬＡＳＴＩＣ ＭＲ－５３ Ｒｕｂｂｅｒ Ａｄｄｉｔｉｖｅ１００重量部に対して、上記ＳＩＬＡＳＴＩＣ ＲＣ－４ ５０Ｐ ＦＤ Ｒｕｂｂｅｒ Ａｄｄｉｔｉｖｅ３４～５２重量部を配合することが好ましい。 More specifically, for example, when using the above-mentioned SILASTIC MR-53 Rubber Additive as a commercially available product containing silicone having a vinyl group, and SILASTIC RC-4 50P FD Rubber Additive (peroxide content: approximately 50% by weight) manufactured by Dow Toray Industries, Inc. as a commercially available peroxide crosslinking agent containing 2,5-dimethyl-2,5-di(t-butylperoxy)hexane as a peroxide, it is preferable to mix 34 to 52 parts by weight of the above-mentioned SILASTIC RC-4 50P FD Rubber Additive with 100 parts by weight of the above-mentioned SILASTIC MR-53 Rubber Additive.
本発明の実施形態に係る熱伝導性シート１は、難燃剤を含有しなくても充分な難燃性（例えば、ＵＬ９４規格におけるＶ－１水準）を有するものである。そのため、熱伝導性シート１は難燃剤を含有しなくても良いが、熱伝導性シート１（マトリックス成分２）は難燃剤を含有しても良い。
熱伝導性シート１が難燃性を含有する場合、熱伝導性シート１の難燃性は、より優れたものとなる。
上記難燃剤としては、例えば、白金系化合物、トリアゾール系化合物、べんがら、黒鉄などの酸化鉄等が挙げられる。これらは、単独で用いても良いし、２種以上併用しても良い。
The thermally
When the thermally
Examples of the flame retardant include platinum compounds, triazole compounds, iron oxides such as red iron oxide and black iron oxide, etc. These may be used alone or in combination of two or more kinds.
マトリックス成分２は、熱伝導性シート１の要求特性を損なわない範囲で、他のエラストマー成分等を含有していても良い。
マトリックス成分２は、更に、補強剤、充填剤、軟化剤、可塑剤、老化防止剤、粘着付与剤、帯電防止剤、練り込み接着剤、カップリング剤等の一般的な添加剤を含有していても良い。
The
The
一方、マトリックス成分２は、シリカを含有しないことが好ましい。
シリカを含有すると、マトリック成分が硬くなり、柔軟性を確保しつつ、熱伝導性フィラーの含有量を高めることが困難になる。その結果、高い熱伝導性を確保することが難しくなる。
このようにマトリック成分が硬くなる理由は、マトリックス成分がシリカを含有すると、シリコーン系組成物を過酸化物架橋させる際に、シリカが、ポリマー（シリコーン）の流動を阻害する拘束点となり、得られた架橋物が硬くなりすぎてしまうためと推測している。
On the other hand, it is preferable that the
When silica is contained, the matrix component becomes hard, making it difficult to increase the content of the thermally conductive filler while maintaining flexibility, and as a result, it becomes difficult to ensure high thermal conductivity.
The reason why the matrix component becomes hard in this way is believed to be that when the matrix component contains silica, the silica acts as a constraint point that inhibits the flow of the polymer (silicone) when the silicone-based composition is cross-linked with peroxide, causing the resulting cross-linked product to become too hard.
熱伝導性シート１は、熱伝導性フィラー４として、少なくともグラファイトフィラーを含有する。
ここで、上記グラファイトフィラーは、熱伝導性フィラー全体の５０～１００体積％を占めることが好ましい。この場合、熱伝導性能の確保と低コスト化とを図るのに適している。
The thermally
Here, it is preferable that the graphite filler occupies 50 to 100% by volume of the entire thermally conductive filler, which is suitable for ensuring thermal conductivity and reducing costs.
上記グラファイトフィラーとしては、例えば、鱗片状黒鉛、塊状黒鉛（鱗状黒鉛）、薄片化黒鉛等が好ましい。
これらのグラファイトフィラーは、熱伝導性シート１の厚さ方向に配向させやすく、かつ厚さ方向に配向させることにより、熱伝導性シート１は、優れた熱伝導性を確保するのに適している。
上記グラファイトフィラーとしては、市販品を使用することもできる。上記市販品の具体例としては、例えば、日本黒鉛社製のＣＰシリーズ、ＣＢシリーズ、Ｆ#シリーズ、ＵＰシリーズ、ＧＲシリーズ、ＣＭＸシリーズ等が挙げられる。
As the graphite filler, for example, flake graphite, lump graphite (flake graphite), exfoliated graphite, etc. are preferable.
These graphite fillers are easily oriented in the thickness direction of the thermally
The graphite filler may be a commercially available product, and specific examples of the commercially available products include the CP series, CB series, F# series, UP series, GR series, and CMX series manufactured by Nippon Graphite Co., Ltd.
上記グラファイトフィラーの粒子径は、１０～３０μｍが好ましい。上記粒子径が１０μｍ未満ではグラファイトフィラーの充填性が悪くなり熱伝導パスが形成されにくくなる。一方、上記粒子径が３０μｍを超えると、グラファイトフィラーを緻密に充填することが困難となり、また、熱伝導性シート１を製造する際にグラファイトフィラーが破損しやすくなる。
上記グラファイトフィラーの粒子径は、１２～２０μｍがより好ましい。
本発明において、上記熱伝導性フィラーの粒子径とは、レーザ回折・散乱法を用いて測定したメジアン径（ｄ５０）の値をいう。
また、熱伝導性シート１は、グラファイトフィラーとして、レーザ回折・散乱法を用いて測定した粒子径が１００μｍを超えるグラファイトフィラーを含有しないことが好ましい。粒子径が１００μｍを超えるグラファイトフィラーを含有すると、当該グラファイトフィラーが熱伝導性シートの表面に露出した際に、熱伝導性シートと相手材との密着性が低くなることがある。
The particle size of the graphite filler is preferably 10 to 30 μm. If the particle size is less than 10 μm, the filling property of the graphite filler is poor, making it difficult to form a heat conduction path. On the other hand, if the particle size exceeds 30 μm, it becomes difficult to densely fill the graphite filler, and the graphite filler becomes easily damaged during production of the thermal
The particle size of the graphite filler is more preferably 12 to 20 μm.
In the present invention, the particle size of the thermally conductive filler refers to the median diameter (d 50 ) value measured by a laser diffraction/scattering method.
Moreover, it is preferable that the thermally
上記グラファイトフィラーとしては、純度の高いものが好ましい。具体的には、固定炭素分が９９％以上、灰分０．５％以下のグラファイトフィラーが好ましい。高純度のグラファイトフィラーを用いると、上記熱伝導性シートが接触する相手材を汚染したり、腐食したりすることを回避するのに適している。
上記グラファイトフィラーとしては、形状や粒子径、純度の異なる２種以上のグラファイトフィラーを併用しても良い。
The graphite filler is preferably one with high purity. Specifically, the graphite filler has a fixed carbon content of 99% or more and an ash content of 0.5% or less. The use of a high-purity graphite filler is suitable for avoiding contamination or corrosion of the mating material with which the thermal conductive sheet comes into contact.
As the graphite filler, two or more kinds of graphite fillers different in shape, particle size, or purity may be used in combination.
熱伝導性シート１は、熱伝導性フィラー４として、グラファイトフィラー以外の他の熱伝導性フィラーを含有しても良い。
上記他の熱伝導性フィラーとしては、例えば、窒化ホウ素（ＢＮ）、アルミナ、窒化アルミニウム、窒化ケイ素、炭化ケイ素、炭酸マグネシウム、酸化マグネシウム、酸化亜鉛等からなるフィラーや、炭素繊維等が挙げられる。これらは単独で用いても良いし、２種以上併用しても良い。
これらのなかでは、難燃性を向上させるのに適しており、かつ充填性が高く熱伝導率も高い点で、炭素繊維が好ましく、特に異方性ピッチ系炭素繊維が好ましい。
The thermally
Examples of the other thermally conductive fillers include fillers made of boron nitride (BN), alumina, aluminum nitride, silicon nitride, silicon carbide, magnesium carbonate, magnesium oxide, zinc oxide, etc., and carbon fibers, etc. These may be used alone or in combination of two or more kinds.
Among these, carbon fibers are preferred, and anisotropic pitch-based carbon fibers are particularly preferred, because they are suitable for improving flame retardancy, have high packing properties, and have high thermal conductivity.
熱伝導性シート１における熱伝導性フィラー４の含有量は、熱伝導性シート１全体に対して４０～７０体積％が好ましい。
上記熱伝導性フィラーの含有量が４０体積％未満では、充分な熱伝導性を確保できないことがある。
一方、上記含有量が７０体積％を超えると、熱伝導性シートを作製する際の加工が困難になり、また、熱伝導性シートを安価に提供することが困難になる。
熱伝導性シート１における熱伝導性フィラー４の含有量は、４５～７０体積％がより好ましく、４５～６０体積％がさらに好ましい。これらの場合、良好な熱伝導性を確保しつつ、熱伝導性シートを安価に提供することができる点でより好適である。
The content of the thermally
If the content of the thermally conductive filler is less than 40% by volume, sufficient thermal conductivity may not be ensured.
On the other hand, if the content exceeds 70% by volume, processing becomes difficult when producing the thermally conductive sheet, and it becomes difficult to provide the thermally conductive sheet at a low cost.
The content of the thermally
熱伝導性シート１において、熱伝導性フィラー４全体に対するグラファイトフィラーの割合は、５０～１００体積％が好ましい。
上記グラファイトフィラーの割合が５０体積％未満では、熱伝導パスが形成されにくく、熱伝導性シート１は伝熱特性に劣ることになる。
In the thermally
If the proportion of the graphite filler is less than 50% by volume, it is difficult to form a heat conduction path, and the heat
次に、熱伝導性シート１を製造する方法について説明する。
熱伝導性シート１は、例えば、下記（ａ）～（ｃ）の工程を行うことにより製造することができる。
（ａ）ビニル基を有するシリコーン、過酸化物、シリコーンオイル及び熱伝導性フィラーを含有するシリコーン系組成物を調製する工程、
（ｂ）調製したシリコーン系組成物を成形する工程、及び、
（ｃ）成形されたシリコーン系組成物を架橋し、その後、シート状にスライス加工する工程。
Next, a method for producing the thermally
The thermally
(a) preparing a silicone-based composition containing a silicone having a vinyl group, a peroxide, a silicone oil, and a thermally conductive filler;
(b) molding the prepared silicone-based composition; and
(c) crosslinking the molded silicone composition and then slicing it into sheets.
まず、シリコーン系組成物を調製する工程（ａ）を行う。ここでは、例えば、ビニル基を有するシリコーン、有機過酸化物、シリコーンオイル及び熱伝導性フィラー、更には、必要に応じて添加する各種添加剤を２本ロールで練り込む等によってシリコーン系組成物を調製する。
このとき、各成分はマスターバッチの状態で供給しても良い。
First, step (a) is carried out to prepare a silicone composition. In this step, the silicone composition is prepared by kneading, for example, a silicone having a vinyl group, an organic peroxide, a silicone oil, a thermally conductive filler, and various additives added as necessary, using a two-roll mill.
In this case, each component may be supplied in the form of a master batch.
次に、調製したシリコーン系組成物を成形する工程（ｂ）と、成形されたシリコーン系組成物（樹脂シート前駆体）を架橋し、その後、シート状にスライス加工する工程（ｃ）とを行う。
上記シリコーン系組成物の成形は、例えば、押出機を用いて行えば良い。
図２は、本実施形態に係る熱伝導性シートの製造で使用する押出機を模式的に示す図である。図２には、押出機の先端部分及びＴダイの断面概略図を示す。
押出機３０に投入された上記シリコーン系組成物は、スクリュー３４によって撹拌・混練され、流路３１に沿ってＴダイの第１ギャップ３２に導入される。
Next, the prepared silicone composition is molded in a step (b), and the molded silicone composition (resin sheet precursor) is crosslinked and then sliced into a sheet in a step (c).
The silicone composition may be molded, for example, using an extruder.
Fig. 2 is a schematic diagram of an extruder used in the production of a thermally conductive sheet according to the present embodiment, showing a cross-sectional schematic diagram of a tip portion of the extruder and a T-die.
The silicone composition fed into the
押出機３０で攪拌・混錬されたシリコーン系組成物は、まず、第１ギャップ３２によって上下方向（厚さ方向）にしぼり込まれて薄い帯状となる。第１ギャップ３２を通過するシリコーン系組成物にはせん断力が作用し、このとき、シリコーン系組成物中に混合されている熱伝導性フィラーがシリコーン系組成物の流れ方向（押出方向）に配向する。従って、第１ギャップ３２を通過して成形された厚さの薄い樹脂シート前駆体は、熱伝導性フィラーが当該前駆体の面方向に配向している。
The silicone-based composition stirred and kneaded in the
第１ギャップ３２の隙間（図２中、上下方向の寸法）は、０．１ｍｍ以上５．０ｍｍ以下であることが好ましい。第１ギャップ３２の隙間が０．１ｍｍよりも小さいと、押出し圧力が不必要に上昇するだけでなく、樹脂詰まりが発生してしまうことがある。一方、第１ギャップ３２の隙間が５．０ｍｍよりも大きいと、上記薄い樹脂シート前駆体の面方向に対する熱伝導性フィラーの配向度が減少することがある。
The gap of the first gap 32 (the vertical dimension in FIG. 2) is preferably 0.1 mm or more and 5.0 mm or less. If the gap of the
熱伝導性フィラーが配向した上記薄い樹脂シート前駆体は、第１ギャップ３２を完全に通過すると、押出方向に限定されていたシートの流れ方向が解放されて、当該流れ方向が押出方向に対してほぼ垂直となる方向に変化する。これは、第１ギャップ３２を通過した後の流路３１の断面積が拡大し、流路３１の上下方向の長さが長くなるためである。
シートの流れ方向が押出方向に対してほぼ垂直となる方向に変化した上記薄い樹脂シート前駆体は、第１ギャップ３２を完全に通過した後、更に第２ギャップ３３に向かって押し出される。その結果、第２ギャップ３３内の樹脂シート前駆体は、上記薄い樹脂シート前駆体が積層された状態となる。その際に熱伝導性フィラーの多くは、第２ギャップ３３内の樹脂シート前駆体の厚さ方向（図２中、上下方向）に配向させられる。
When the thin resin sheet precursor in which the thermally conductive filler is oriented passes completely through the
The thin resin sheet precursor, whose sheet flow direction has changed to a direction approximately perpendicular to the extrusion direction, passes completely through the
その後、第２ギャップ３３を通過した樹脂シート前駆体を所定の条件で加熱することによりシリコーン系組成物の架橋を進行させ、架橋シリコーンとシリコーンオイルと熱伝導性フィラーとを含む熱伝導性シートのブロックを作製する。また、樹脂シート前駆体を架橋した後は、必要に応じていわゆる二次架橋を行っても良い。
最後に、熱伝導性シートのブロックを厚さ方向に垂直な方向にスライス加工する。その結果、所定の厚さを有し、熱伝導性フィラーが厚さ方向にほぼ配向した熱伝導性シート１を得ることができる。
Thereafter, the resin sheet precursor that has passed through the second gap 33 is heated under predetermined conditions to advance crosslinking of the silicone-based composition, and a block of a thermally conductive sheet containing crosslinked silicone, silicone oil, and a thermally conductive filler is produced. After crosslinking of the resin sheet precursor, so-called secondary crosslinking may be carried out as necessary.
Finally, the thermally conductive sheet block is sliced in a direction perpendicular to the thickness direction, resulting in a thermally
このような、熱伝導性シート１の製造方法において、第２ギャップ３３の隙間は第１ギャップ３２の隙間の２倍以上３０倍以下であることが好ましい。第２ギャップ３３の隙間が第１ギャップ３２の隙間の２倍よりも小さい場合は、熱伝導性フィラー４の多くが熱伝導性シート１の厚さ方向に配向しなくなることがある。また、第２ギャップ３３の隙間が第１ギャップ３２の隙間の３０倍よりも大きな場合は、部分的に樹脂シート前駆体が乱流した状況が生じやすくなり、その結果、熱伝導性シート１の厚さ方向に配向する熱伝導性フィラー４の割合が減少してしまうことがある。
第２ギャップ３３の隙間は第１ギャップ３２の隙間の５倍以上２０倍以下であることがより好ましい。
In such a manufacturing method of the thermally
It is more preferable that the gap of the second gap 33 be 5 to 20 times larger than the gap of the
また、上記薄い樹脂シート前駆体が、第１ギャップ３２を通過した後、流路３１の上下方向において均等に流れやすくなるように、第１ギャップ３２における厚さ方向の中心位置と第２ギャップ３３における厚さ方向の中心位置とは、厚さ方向においてほぼ同一の位置にあることが好ましい。
In addition, it is preferable that the center position in the thickness direction of the
また、第１ギャップ３２における開口部（第１ギャップにつながる部分）の形状は、特に限定されないが、上流側側面は圧力損失が少ないように傾斜面とすることが好ましく、下流側側面については最も効率良く熱伝導性フィラーを樹脂シートの厚さ方向に配向させるために、傾斜角度（押出方向と傾斜面とのなす角度）を調整することが望ましい。当該傾斜角度は、１０°～５０°が好ましく、２０°～２５°がより好ましい。 The shape of the opening in the first gap 32 (the portion connected to the first gap) is not particularly limited, but it is preferable that the upstream side be an inclined surface to reduce pressure loss, and it is desirable to adjust the inclination angle (the angle between the extrusion direction and the inclined surface) of the downstream side in order to most efficiently orient the thermally conductive filler in the thickness direction of the resin sheet. The inclination angle is preferably 10° to 50°, and more preferably 20° to 25°.
第１ギャップ３２における開口部は、上下共に傾斜を有している必要はなく、どちらか一方のみが傾斜を有していても良い。
なお、第１ギャップ３２及び第２ギャップ３３の奥行（即ち、図２において紙面に垂直な方向における第１ギャップ３２及び第２ギャップ３３の寸法）は、Ｔダイの全体にわたってほぼ同一である。また、上記第１ギャップ及び上記第２ギャップの奥行は特に規定されず、樹脂シートの製品幅に応じて種々の設計変更が可能である。
The opening of the
The depths of the
以下、実施例によって本発明をさらに具体的に説明するが、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。
（実施例１）
表１に示した組成の通り、シリコーンオイル（信越化学工業社製 ＫＦ－９６Ｈ－１０マンＣＳ：Ｍｗ＝１３８０００、Ｍｗ／Ｍｎ（分子量分布）＝１．９８）１００重量部、ビニル基含有シリコーンマスターバッチ（ＳＩＬＡＳＴＩＣ ＭＲ－５３ Ｒｕｂｂｅｒ Ａｄｄｉｔｉｖｅ）１．７５重量部、架橋剤として有機過酸化物（ＳＩＬＡＳＴＩＣ ＲＣ－４ ５０Ｐ ＦＤ Ｒｕｂｂｅｒ Ａｄｄｉｔｉｖｅ：過酸化物含有量５０重量％）０．７５重量部、白金化合物含有シリコーンマスターバッチ（モメンティブ・パフォーマンス・マテリアルズ・ジャパン合同会社製 ＭＥ４００－ＦＲ）５．００重量部、グラファイトフィラーとして薄片化黒鉛（日本黒鉛社製、薄片化黒鉛 ＵＰ-１５Ｎ、粒子径１５μｍ）２３６．５２重量部を２本ロールで練り込み、幅約１００ｍｍで、厚さ約１ｍｍのリボン状のシート（シリコーン系組成物）を作製した。
本実施例において、シート全体に対するグラファイトフィラーの体積分率は５０．０％である。
The present invention will be described in more detail below with reference to examples, but the present invention is not limited to the following examples.
Example 1
As shown in the composition in Table 1, the composition contains 100 parts by weight of silicone oil (KF-96H-10Man CS manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.: Mw = 138,000, Mw/Mn (molecular weight distribution) = 1.98), 1.75 parts by weight of vinyl group-containing silicone master batch (SILASTIC MR-53 Rubber Additive), 0.75 parts by weight of organic peroxide (SILASTIC RC-4 50P FD Rubber Additive: peroxide content 50% by weight) as a crosslinking agent, 5.00 parts by weight of platinum compound-containing silicone master batch (ME400-FR manufactured by Momentive Performance Materials Japan, LLC), and exfoliated graphite (exfoliated graphite manufactured by Nippon Graphite Co., Ltd.) as a graphite filler. A ribbon-shaped sheet (silicone-based composition) with a width of approximately 100 mm and a thickness of approximately 1 mm was produced using a twin roll kneading machine.
In this example, the volume fraction of the graphite filler relative to the entire sheet is 50.0%.
次に、作製したリボン状のシートをゴム用短軸押出機３０にて、１ｍｍの第１ギャップ及び１０ｍｍの第２ギャップを有する垂直配向金型を用いて（図２参照）、厚さ１０ｍｍのシート（ブロック）を作製し、１７０℃で４０分間の架橋処理を施した。
その後、得られたシートを厚さ方向に垂直な方向にスライス加工し、厚さ０．５ｍｍの熱伝導性シートを作製した。
Next, the ribbon-like sheet thus produced was extruded in a rubber short-
The obtained sheet was then sliced in a direction perpendicular to the thickness direction to produce a thermally conductive sheet having a thickness of 0.5 mm.
（比較例１）
シリコーンオイルとして、信越化学工業社製 ＫＦ－９６Ｈ－３マンＣＳ（Ｍｗ＝９６０００、Ｍｗ／Ｍｎ（分子量分布）＝２．３４）を使用した以外は、実施例１と同様にして熱伝導性シートを作製した。
(Comparative Example 1)
A thermally conductive sheet was prepared in the same manner as in Example 1, except that KF-96H-3Man CS (Mw=96,000, Mw/Mn (molecular weight distribution)=2.34) manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. was used as the silicone oil.
（比較例２）
ビニル基含有シリコーンマスターバッチ（ＳＩＬＡＳＴＩＣ ＭＲ－５３ Ｒｕｂｂｅｒ Ａｄｄｉｔｉｖｅ）を配合しなかった以外は、実施例１と同様にして熱伝導性シートを作製した。
(Comparative Example 2)
A thermally conductive sheet was produced in the same manner as in Example 1, except that the vinyl group-containing silicone master batch (SILASTIC MR-53 Rubber Additive) was not added.
（比較例３）
シリコーンオイル（信越化学工業社製 ＫＦ－９６Ｈ－１０マンＣＳ）に代えて、ミラブルタイプのジメチルポリシロキサン（モメンティブ・パフォーマンス・マテリアル・ジャパン合同会社製 ＴＳＥ２００：Ｍｗ＝６９６０００、Ｍｗ／Ｍｎ（分子量分布）＝１．７８）を使用した以外は、実施例１と同様にして熱伝導性シートを作製した。
(Comparative Example 3)
A thermally conductive sheet was produced in the same manner as in Example 1, except that a millable type dimethylpolysiloxane (TSE200: Mw = 696,000, Mw / Mn (molecular weight distribution) = 1.78, manufactured by Momentive Performance Materials Japan, LLC) was used instead of the silicone oil (KF-96H-10man CS, manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.).
（比較例４）
シリコーンオイル（信越化学工業社製 ＫＦ－９６Ｈ－１０マンＣＳ）に代えて、シリコーンオイル（信越化学工業社製 ＫＦ－９６Ｈ－３０マンＣＳ：Ｍｗ＝１９８０００、Ｍｗ／Ｍｎ（分子量分布）＝１．９４）を使用した以外は、実施例１と同様にして熱伝導性シートを作製した。
(Comparative Example 4)
A thermally conductive sheet was produced in the same manner as in Example 1, except that silicone oil (KF-96H-10Man CS manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., KF-96H-30Man CS: Mw = 198,000, Mw / Mn (molecular weight distribution) = 1.94) was used instead of silicone oil (KF-96H-10Man CS manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.).
（比較例５）
ビニル基含有シリコーンマスターバッチ（ＳＩＬＡＳＴＩＣ ＭＲ－５３ Ｒｕｂｂｅｒ Ａｄｄｉｔｉｖｅ）の量を３．５０重量部とし、有機過酸化物（ＳＩＬＡＳＴＩＣ ＲＣ－４ ５０Ｐ ＦＤ Ｒｕｂｂｅｒ Ａｄｄｉｔｉｖｅ）の量を１．５０重量部に変更した以外は、実施例１と同様にして熱伝導性シートを作製した。
(Comparative Example 5)
A thermally conductive sheet was produced in the same manner as in Example 1, except that the amount of the vinyl group-containing silicone master batch (SILASTIC MR-53 Rubber Additive) was changed to 3.50 parts by weight and the amount of the organic peroxide (SILASTIC RC-4 50P FD Rubber Additive) was changed to 1.50 parts by weight.
［評価試験］
実施例及び比較例で作製した熱伝導性シートの評価を下記の手法にて行い、結果を表２に示した。
（１）難燃性の評価（ＵＬ９４規格を参照）
実施例及び比較例で作製した熱伝導性シートを裁断し、長さ１２５ｍｍ×幅１３ｍｍ×厚さ０．５ｍｍの試験片を作製した（試験片の寸法は１種類のみ）。各熱伝導性シートの試験片の数はそれぞれ５個とした。
ＵＬ９４規格に基づいて垂直燃焼試験を行い、Ｖ規格（Ｖ－０、Ｖ－１、Ｖ－２）に適合するか否かを評価した。具体的には、１回目の接炎後の残炎時間（ｔ１）、２回目の接炎後の残炎時間（ｔ２）、アフターグロー時間（ｔ３）、２回目の接炎後の残炎時間（ｔ２）＋アフターグロー時間（ｔ３）、試料が保持クランプまで燃えたかどうか、及び、試料からの落下物によるワタの着火の有無を評価した。
[Evaluation test]
The thermally conductive sheets produced in the examples and comparative examples were evaluated by the following methods, and the results are shown in Table 2.
(1) Flame retardancy evaluation (see UL94 standard)
The thermally conductive sheets prepared in the examples and comparative examples were cut to prepare test pieces having a length of 125 mm, a width of 13 mm, and a thickness of 0.5 mm (there was only one type of test piece size). The number of test pieces for each thermally conductive sheet was five.
A vertical flame test was conducted based on the UL94 standard to evaluate whether or not the specimen conformed to the V standard (V-0, V-1, V-2). Specifically, the afterflame time (t1) after the first contact with the flame, the afterflame time (t2) after the second contact with the flame, the afterglow time (t3), the afterflame time (t2) after the second contact with the flame + the afterglow time (t3), whether or not the specimen burned up to the holding clamp, and whether or not the cotton ignited due to something falling from the specimen were evaluated.
表２には、評価結果として、１回目の接炎後の残炎時間（ｔ１）の平均値、２回目の接炎後の残炎時間（ｔ２）の平均値、アフターグロー時間（ｔ３）の平均値、１組５枚の合計残炎時間（ｔ１＋ｔ２の総和）、ＵＬ９４ランク（Ｖ規格の適合性）を示した。
本評価において、試験方法（判定基準を含む）はＵＬ９４規格に準拠した。
Table 2 shows the evaluation results: the average flame time (t1) after the first exposure to flame, the average flame time (t2) after the second exposure to flame, the average afterglow time (t3), the total flame time (sum of t1 + t2) for one set of five sheets, and the UL94 rank (compliance with V standard).
In this evaluation, the test method (including the evaluation criteria) complied with the UL94 standard.
（２）熱抵抗値［Ｋ・ｃｍ２／Ｗ］
実施例及び比較例で作製した熱伝導性シートを裁断し、Φ３３ｍｍの試験片を作製した。この試験片について、厚さ方向の熱抵抗値をＴＩＭ ＴＥＳＴＥＲ１３００を用いて測定した。
測定は、定常法にて米国規格ＡＳＴＭ Ｄ５４７０に準拠して行った。このとき、測定圧力は０．１ＭＰａとした。結果を表２に示した。
(2) Thermal resistance value [K·cm 2 /W]
The thermally conductive sheets prepared in the examples and comparative examples were cut to prepare test pieces with a diameter of 33 mm. The thermal resistance of each test piece in the thickness direction was measured using a TIM TESTER 1300.
The measurement was performed in accordance with the American standard ASTM D5470 by a steady-state method, with the measurement pressure set to 0.1 MPa. The results are shown in Table 2.
表２に示した結果の通り、本発明の実施形態に係る放熱シートは、良好な難燃性を有することが明らかとなった。 As shown in the results in Table 2, it has become clear that the heat dissipation sheet according to the embodiment of the present invention has good flame retardancy.
１ 熱伝導性シート
２ マトリックス成分
４ 熱伝導性フィラー
３０ 押出機
３１ 流路
３２ 第１ギャップ
３３ 第２ギャップ
３４ スクリュー
REFERENCE SIGNS
Claims (2)
前記熱伝導性フィラーは、グラファイト製のフィラーを含み、
前記シリコーンオイルは、重量平均分子量Ｍｗが１０００００～１７００００であり、
前記過酸化物架橋剤の配合量は、前記シリコーンオイル１００重量部に対して、０．１５～０．６重量部である、熱伝導性シート。 A thermally conductive sheet containing a silicone having a vinyl group crosslinked with a peroxide crosslinking agent, silicone oil, and a thermally conductive filler,
The thermally conductive filler includes a graphite filler;
The silicone oil has a weight average molecular weight Mw of 100,000 to 170,000;
The amount of the peroxide crosslinking agent blended is 0.15 to 0.6 parts by weight based on 100 parts by weight of the silicone oil.
前記熱伝導性フィラーの含有量は、熱伝導性シート全体に対して、４０～７０体積％である、請求項１に記載の熱伝導性シート。
the thermally conductive filler is a filler made of graphite in an amount of 50 to 100 volume %;
The thermally conductive sheet according to claim 1, wherein the content of the thermally conductive filler is 40 to 70 volume % based on the entire thermally conductive sheet.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| Publication Number | Publication Date |
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| JP7499641B2 true JP7499641B2 (en) | 2024-06-14 |
Family
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| JP (1) | JP7499641B2 (en) |
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-
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- 2020-08-24 JP JP2020141028A patent/JP7499641B2/en active Active
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|---|---|
| JP2022036692A (en) | 2022-03-08 |
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