JP7489490B2 - 気泡率センサ、これを用いた流量計および極低温液体移送管 - Google Patents
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Description
図1は本開示の一実施形態に係る気泡率センサ1を示している。図1に示すように、この気泡率センサ1は、液体水素が流れる貫通孔3を有する絶縁性の内管2と、該内管2の外面に装着された偶数個(本実施形態では2個)の電極4とを備える。
研磨面を200倍の倍率で観察し、平均的な範囲を選択して、例えば、面積が7.2×104μm2(横方向の長さが310μm、縦方向の長さが233μm)となる範囲をCCDカメラで撮影して、観察像を得る。
流量計は、上記演算を行うために、気泡率センサ1、11、111および流速計が接続された演算装置をさらに備えている。これにより、液体水素の流量測定を簡単に行うことができるので、工業的に液体水素を大量移送する場合に管理が容易になる。
2、21、21´ 内管
21a、21b、21c、21d セラミック部材
21a´、21b´、21c´、21d´ セラミック部材
211 角部
3、31 貫通孔
4、29 電極
5 環状部
6 外管
7 第1挿通孔
8、81 第1気密端子
82 第2気密端子
9、91 導通ピン
10、100、100´ 真空空間
15 真空排気弁
17,50 第1セラミック基板
18、52 第1環状体
19 フランジ部
20、25、25´ 金属管
22、22´ 筐体
22a、22a´ 枠体部
22b、22b´ 蓋部
23 第2挿通孔
24 連結孔
26、26´ 外管
27 第1挿通孔
28 凹部
29 電極
30 結束体
50´ 第2セラミック基板
51 環状部
52´ 第2環状体
Claims (15)
- 極低温液体を流すための貫通孔を有する絶縁性の内管と、
該内管の外面に装着された少なくとも一対の電極と、
前記内管の外周側を覆う断熱層と、
前記内管の両端部に設けられる環状部と、を備え、
さらに、フランジ部を有する金属管を前記内管の少なくともいずれか一端に備え、
前記環状部と前記フランジ部とが溶接またはろう接されてなる、気泡率センサ。 - 前記環状部の外周部に接合され、第1挿通孔を有する外管と、
前記第1挿通孔内に設けられ、前記電極に個別に接続する導通ピンを前記第1挿通孔内で固定する第1気密端子と、を備える、請求項1に記載の気泡率センサ。 - 前記断熱層は、前記内管と前記外管との間に位置する真空空間である、請求項2に記載の気泡率センサ。
- 前記第1気密端子は、前記導通ピンと、該導通ピンを挿入するための第1ピン孔を厚み方向に備えた円板状のセラミック基板と、該セラミック基板の外周面を囲繞する環状体と、を備え、該環状体はフェルニコ系合金、Fe-Ni合金、Fe-Ni-Cr-Ti-Al合金、Fe-Cr-Al合金、Fe-Co-Cr合金、Fe-Co合金、Fe-Co-C合金またはニッケルの含有量が10.4質量%以上であるオーステナイト系ステンレス鋼からなる、請求項2または3に記載の気泡率センサ。
- 極低温液体を流すための貫通孔を有し、周方向に配列された分割可能な偶数個のセラミック部材からなる絶縁性の内管と、
該内管の外面に装着された少なくとも一対の電極と、
前記内管の外周側を覆う断熱層と、
前記内管を囲繞し、第2挿通孔と、前記内管の前記貫通孔と連通する連結孔とを有する筐体と、
該筐体の外側に位置し、前記内管と同一軸心上に軸孔を有する環状部と、
該環状部の外周部に接合され、第1挿通孔を有する外管と、
前記電極に個別に接続する導通ピンを前記第1挿通孔内で固定する第1気密端子と、
前記導通ピンを前記第2挿通孔内で固定する第2気密端子と、を備えてなり、
前記断熱層は、少なくとも前記外管と前記筐体との間に位置する真空空間である、気泡率センサ。 - 前記第1気密端子および前記第2気密端子は、いずれも、前記導通ピンと、該導通ピンを挿入するためのピン孔を厚み方向に備えた円板状のセラミック基板と、該セラミック基板の外周面を囲繞する環状体と、を有し、該環状体はフェルニコ系合金、Fe-Ni合金、Fe-Ni-Cr-Ti-Al合金、Fe-Cr-Al合金、Fe-Co-Cr合金、Fe-Co合金、Fe-Co-C合金またはニッケルの含有量が10.4質量%以上であるオーステナイト系ステンレス鋼からなる、請求項5に記載の気泡率センサ。
- 前記内管は、外部に向かって開口する凹部を有し、該凹部の底面に前記電極が装着されてなる、請求項5~6のいずれかに記載の気泡率センサ。
- 偶数個の前記セラミック部材のうち、互いに対向する少なくとも一対のセラミック部材に前記電極がそれぞれ設けられている、請求項5~7のいずれかに記載の気泡率センサ。
- 前記内管の外周側に、前記セラミック部材を結束する環状の結束体を装着してなる、請求項5~8のいずれかに記載の気泡率センサ。
- 前記内管の端面および外側面の少なくともいずれかは、前記筐体の内面に当接されてなる、請求項5~9のいずれかに気泡率センサ。
- 前記筐体は、前記内管を収容する枠体部と、該枠体部の開口を封止する蓋部とを備え、前記枠体部および前記蓋部は前記内管の貫通孔に連通する開口をそれぞれ有し、該各開口を介して前記貫通孔と連通するように金属管が前記枠体部および前記蓋部に溶接またはろう接されてなる、請求項5~10のいずれかに記載の気泡率センサ。
- 前記環状部は、前記金属管に溶接またはろう接されてなる、請求項11に記載の気泡率センサ。
- 前記内管は、低熱膨張セラミックスからなる、請求項1~12のいずれかに記載の気泡率センサ。
- 前記内管の貫通孔内を流れる極低温液体の流量を測定する流量計であって、請求項1~13のいずれかに記載の気泡率センサと、前記極低温液体が前記貫通孔内を流れる流速を測定する流速計とを備えた流量計。
- 請求項14に記載の流量計を備えた極低温液体移送管。
Applications Claiming Priority (3)
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