JP7487495B2 - 圧電アクチュエータ - Google Patents

Description

本発明は、厚み方向に積層された２つの圧電体を含む圧電アクチュエータに関する。

特許文献１には、第１共通電極、第１圧電体層、個別電極、第２圧電体層及び第２共通電極が順に積層された圧電アクチュエータが開示されている。個別電極には、リード電極が接続されている。リード電極は、個別電極から、圧力発生室の長手方向の一方に延びている。

特開２０１３－２５６１３８号公報（図２）

特許文献１において、第１共通電極と第２共通電極とは、個別電極に対し、圧力発生室の長手方向の他方（リード電極が延びる方向とは反対側）のみで接続されている。この場合、電極同士の接触面積を大きくし難いため、電圧降下を十分に抑制することができない。

本発明の目的は、電圧降下を抑制できる圧電アクチュエータを提供することにある。

本発明に係る圧電アクチュエータは、第１電極と、前記第１電極に対して前記第１電極の厚み方向の一方に配置された第１圧電体と、前記第１圧電体に対して前記厚み方向の一方に配置された個別電極と、前記個別電極に対して前記厚み方向の一方に配置された第２圧電体と、前記第２圧電体に対して前記厚み方向の一方に配置された第２電極と、前記第１圧電体における前記第１電極と前記個別電極とで前記厚み方向に挟まれた部分と、前記第２圧電体における前記第２電極と前記個別電極とで前記厚み方向に挟まれた部分とで構成されるアクチュエータと、前記個別電極と電気的に接続し、前記個別電極から前記厚み方向と直交する直交方向の一方に向かって延びる配線と、を備え、前記個別電極に対して前記直交方向の一方に、前記第１電極と前記第２電極とが互いに電気的に接続される第１接点が設けられ、前記個別電極に対して前記直交方向の他方に、前記第１電極と前記第２電極とが互いに電気的に接続される第２接点が設けられたことを特徴とする。

本発明の第１実施形態に係る圧電アクチュエータ３０を備えたプリンタ１００の平面図である。 ヘッド１の平面図である。 図２のＩＩＩ－ＩＩＩ線に沿ったヘッド１の断面図である。 図２のＩＶ－ＩＶ線に沿ったヘッド１の断面図である。 図２のＶ－Ｖ線に沿ったヘッド１の断面図である。 本発明の第２実施形態に係る圧電アクチュエータ２３０を備えたヘッド２０１の平面図である。 図６のＶＩＩ－ＶＩＩ線に沿ったヘッド２０１の断面図である。 図６のＶＩＩＩ－ＶＩＩＩ線に沿ったヘッド２０１の断面図である。 本発明の第３実施形態に係る圧電アクチュエータ３３０を備えたヘッド３０１の平面図である。 図９のＶＩＩＩ－ＶＩＩＩ線に沿ったヘッド３０１の断面図である。

＜第１実施形態＞
先ず、図１を参照し、本発明の第１実施形態に係る圧電アクチュエータ３０を備えたプリンタ１００の全体構成について説明する。

プリンタ１００は、４つのヘッド１を含むヘッドユニット１ｘ、プラテン３、搬送機構４及び制御部５を備えている。

プラテン３の上面に、用紙９が載置される。

搬送機構４は、搬送方向にプラテン３を挟んで配置された２つのローラ対４ａ，４ｂを有する。制御部５の制御により搬送モータ（図示略）が駆動されると、ローラ対４ａ，４ｂが用紙９を挟持した状態で回転し、用紙９が搬送方向に搬送される。

ヘッドユニット１ｘは、紙幅方向（搬送方向及び鉛直方向の双方と直交する方向）に長尺であり、位置が固定された状態でノズル１１（図３及び図４参照）から用紙９に対してインクを吐出するライン式である。４つのヘッド１は、それぞれ紙幅方向に長尺であり、紙幅方向に千鳥状に配列されている。

制御部５は、ＲＯＭ（Read Only Memory）、ＲＡＭ（Random Access Memory）及びＡＳＩＣ（Application Specific Integrated Circuit）を有する。ＡＳＩＣは、ＲＯＭに格納されたプログラムに従い、記録処理等を実行する。記録処理において、制御部５は、ＰＣ等の外部装置から入力された記録指令（画像データを含む。）に基づき、各ヘッド１のドライバＩＣ及び搬送モータ（共に図示略）を制御し、用紙９上に画像を記録する。

次いで、図２～図５を参照し、ヘッド１の構成について説明する。

ヘッド１は、流路基板１０及び圧電アクチュエータ３０を有する。

流路基板１０は、図３及び図４に示すように、鉛直方向（本発明に係る「厚み方向」に該当し、以下「厚み方向」という。）に積層された２枚のプレート１０ａ，１０ｂで構成されている。プレート１０ａには、複数の圧力室１２が形成されている。プレート１０ｂには、複数のノズル１１が形成されている。

ノズル１１は、圧力室１２毎に設けられており、圧力室１２に連通している。

複数の圧力室１２は、図２に示すように、ヘッド１の長手方向（紙幅方向。本発明に係る「配列方向」に該当し、以下「配列方向」という。）に配列されている。圧力室１２は、厚み方向と直交する平面において、ヘッド１の幅方向（搬送方向と平行な方向。本発明に係る「直交方向」であり、以下「直交方向」という。）に長尺な略矩形状である。

複数の圧力室１２は、インクタンクに連通する供給流路（共に図示略）と連通している。インクタンク内のインクは、供給流路を介して各圧力室１２に供給される。圧力室１２内のインクは、圧電アクチュエータ３０の変形に伴い、圧力室１２の容積が変化し、圧力室１２に圧力が付与されることで、ノズル１１から吐出される。

圧電アクチュエータ３０は、図３及び図４に示すように、振動板３１、第１共通電極３２（本発明に係る「第１電極」）、複数の第１圧電体３３、複数の個別電極３４、複数の第２圧電体３５及び第２共通電極３６（本発明に係る「第２電極」）を有する。

振動板３１は、プレート１０ａの上面に接着され、プレート１０ａに形成された全ての圧力室１２を覆っている。

第１共通電極３２は、振動板３１の上面に形成され、プレート１０ａに形成された全ての圧力室１２と厚み方向に重なっている。第１共通電極３２は、図２に示す第２共通電極３６のパターンと同一のパターンで形成されている。

第１圧電体３３、個別電極３４及び第２圧電体３５は、図３に示すように、圧力室１２毎に設けられており、各圧力室１２と厚み方向に重なっている。第１圧電体３３、個別電極３４及び第２圧電体３５からなる積層体は、圧力室１２と同様、配列方向に配列されている。

第１圧電体３３は、第１共通電極３２の上面（即ち、第１共通電極３２に対して上方（厚み方向の一方））に配置されている。

個別電極３４は、第１圧電体３３の上面（即ち、第１圧電体３３に対して上方（厚み方向の一方））に形成されている。

第２圧電体３５は、個別電極３４の上面及び第１圧電体３３の側面を覆っている。第２圧電体３５は、個別電極３４に対して上方（厚み方向の一方）に配置された部分と、厚み方向と直交する方向において第１圧電体３３及び個別電極３４と重なる部分とを有する。

第２共通電極３６は、第１共通電極３２及び複数の第２圧電体３５を上から覆うように、図２に示すパターンで形成されている。第２共通電極３６は、第２圧電体３５に対して上方（厚み方向の一方）に配置された部分を有する。

圧電アクチュエータ３０は、図３に示すように、圧力室１２毎に、アクチュエータ３０ｚを有する。アクチュエータ３０ｚは、第１圧電体３３における第１共通電極３２と個別電極３４とで厚み方向に挟まれた部分３０ｘと、第２圧電体３５における第２共通電極３６と個別電極３４とで厚み方向に挟まれた部分３０ｙとで構成される。

圧電アクチュエータ３０は、さらに、図２に示すように、複数の個別電極３４のそれぞれと電気的に接続する複数の配線４０を有する。配線４０は、個別電極３４における配列方向に沿った辺の中央から、直交方向の一方に向かって延びている。配線４０の幅（配列方向の長さ）は、個別電極３４の幅よりも小さい。

共通電極３２，３６は、図２に示す接点５１～５４において、互いに電気的に接続されている。共通電極３２，３６は、各接点５１～５４において、厚み方向に互いに重なり、互いに接触している（図３～図５参照）。

複数の個別電極３４に対して直交方向の一方に、複数の第１接点５１が設けられている。すなわち、複数の個別電極３４からなる群（array）に対して直交方向の一方に複数の第１接点５１からなる群が設けられている。

第１接点５１は、配列方向に隣接する複数の個別電極３４の間の領域のそれぞれに対して直交方向の一方に設けられ、当該領域のそれぞれと直交方向に重なっている。

各第１接点５１は、配列方向において、配列方向に隣接する複数の個別電極３４の間の領域に亘って設けられている。具体的には、第１接点５１は、厚み方向と直交する平面において、台形の形状を有し、その下底が上記領域に亘って延びている。当該形状は、直交方向の一方に向かうにつれて幅（配列方向の長さ）が短くなる形状である。すなわち、第１接点５１は、第２接点５２から離れる直交方向に向かうにつれて、第１接点５１の幅（配列方向の長さ）が短くなる形状である。また、当該形状は、第１接点５１の配列方向の中央を通って直交方向に延びる直線に関して、対称な形状である。

第１接点５１の下底の長さ（幅）は、配線４０の幅（配列方向の長さ）よりも大きい。第１接点５１は、配線４０から離隔しており、配線４０と厚み方向に重なっていない。

複数の個別電極３４の群に対して直交方向の他方に、第２接点５２が設けられている。

第２接点５２は、厚み方向と直交する平面において、配列方向に長尺な矩形状である。第２接点５２は、配列方向において複数の個別電極３４を含む領域よりも長く、当該領域に対して配列方向の一方及び他方のそれぞれに突出している。第２接点５２は、複数の個別電極３４及びこれらの間の領域と、直交方向に重なっている。

複数の個別電極３４の群の領域に対して配列方向の一方及び他方のそれぞれに、第３接点５３が設けられている。

第３接点５３は、厚み方向と直交する平面において、直交方向に長尺な矩形状である。第３接点５３は、直交方向において個別電極３４よりも長く、個別電極３４に対して直交方向の一方及び他方のそれぞれに突出している。第３接点５３における直交方向の一方の端部は、第１接点５１と配列方向に重なっている。第３接点５３における直交方向の他方の端部は、第２接点５２に接続している。第３接点５３は、複数の個別電極３４と配列方向に重なっている。

配列方向に隣接する複数の個別電極３４の間のそれぞれに、第４接点５４が設けられている。

第４接点５４は、厚み方向と直交する平面において、直交方向に長尺な矩形状である。第４接点５４は、直交方向において個別電極３４よりも長く、個別電極３４に対して直交方向の他方に突出している。第４接点５４における直交方向の一方の端部は、第１接点５１に接続している。第４接点５４における直交方向の他方の端部は、第２接点５２に接続している。第４接点５４は、個別電極３４と配列方向に重なっている。

上記構成において、図２に示すＡ～Ｇの数値は、例えば以下のとおりである。

圧力室１２の幅（配列方向の長さ）Ａは４０～５０μｍ、圧力室１２の配列方向の中心間距離Ｂは８０～９０μｍ、圧力室１２の配列方向の間隔Ｃは４０～５０μｍ、配線４０の幅（配列方向の長さ）Ｄは１０～１５μｍ、配線４０の配列方向の間隔Ｅは８０～９０μｍ、配線４０と第１接点５１との配列方向の最短の間隔Ｆは５～１０μｍ、第１接点５１の直交方向の長さＧは４０～８０μｍであってよい。

以上に述べたように、本実施形態によれば、共通電極３２，３６が、個別電極３４に対して直交方向の他方（第２接点５２）のみでなく、個別電極３４に対して直交方向の一方（第１接点５１）及び他方（第２接点５２）のそれぞれで（即ち、配線４０が延びる方向と同じ側及び反対側で）、互いに電気的に接続されている（図２参照）。この場合、共通電極３２，３６が個別電極３４に対して直交方向の他方（第２接点５２）のみで互いに電気的に接続される場合に比べ、接点の箇所が増えることで、共通電極３２，３６同士の接触面積を大きくし易く、電圧降下を抑制できる。

第１接点５１と配線４０とは、厚み方向に重ならない（図２参照）。第１接点５１と配線４０とが厚み方向に重なる場合、電気的なショートを防止するため、第１接点５１と配線４０との間に保護膜を設ける必要が生じ得るが、本構成では保護膜を設ける必要がない。したがって、構成が簡素であり、製造も容易である。

第１接点５１の幅は、配線４０の幅よりも大きい（図２参照）。この場合、第１接点５１の面積を大きくでき、電圧降下をより確実に抑制できる。

複数の個別電極３４が配列方向に配列され、複数の配線４０が複数の個別電極３４のそれぞれから直交方向の一方に向かって延び、複数の第１接点５１が複数の個別電極３４のそれぞれに対して直交方向の一方に設けられている（図２参照）。複数の個別電極３４に対して１つの第１接点５１を設ける場合、配線４０を第１接点５１と接触しないように配置することが困難になり得る。これに対し、本構成では、複数の個別電極３４のそれぞれに対して第１接点５１を設けることで、配線４０を第１接点５１と接触しないように配置することを容易に行える。

複数の個別電極３４の群の領域に対して配列方向の少なくとも一方（本実施形態では、配列方向の一方及び他方の双方）に、第３接点５３が設けられている（図２参照）。この場合、共通電極３２，３６同士の接触面積をさらに大きくし易く、電圧降下をより確実に抑制できる。

配列方向に隣接する複数の個別電極３４の間に、第４接点５４が設けられている（図２参照）。この場合、共通電極３２，３６同士の接触面積をさらに大きくし易く、電圧降下をより確実に抑制できる。

配線４０は個別電極３４における配列方向に沿った辺から延び、第１接点５１は配列方向に隣接する複数の個別電極３４の間の領域と直交方向に重なっている（図２参照）。この場合、第１接点５１と配線４０との接触による電気的なショートを防止しつつ、第１接点５１の面積を確保し、電圧降下を抑制できる。

第１接点５１は、配列方向において、配列方向に隣接する複数の個別電極３４の間の領域に亘って設けられている（図２参照）。この場合、第１接点５１の面積を大きくでき、電圧降下をより確実に抑制できる。

第１接点５１は、直交方向の一方に向かうにつれて幅（配列方向の長さ）が短くなる形状を有する（図２参照）。この場合、第１接点５１と配線４０との接触による電気的なショートを効果的に防止できる。

第１接点５１は、第１接点５１の配列方向の中央を通って直交方向に延びる直線に関して、対称な形状を有する（図２参照）。この場合、第１接点５１に対して配列方向の両側にある配線４０との間隔を確保でき、第１接点５１と配線４０との接触による電気的なショートをより確実に防止できる。

＜第２実施形態＞
続いて、図６から図８を参照し、本発明の第２実施形態に係る圧電アクチュエータ２３０を備えたヘッド２０１について説明する。

第１実施形態（図２）では、配線４０が個別電極３４における配列方向に沿った辺から、直交方向の一方に向かって延びているが、本実施形態（図６）では、配線４０が個別電極３４における直交方向に沿った辺から、直交方向の一方に向かって延びている。配線４０は、図６に示すように、個別電極３４における配列方向の他方側の直交方向に沿った辺から、配列方向の他方に突出した第１部分と、当該第１部分の先端から直交方向の一方に延びる第２部分とを含む。

本実施形態において、第１共通電極２３２（本発明に係る「第１電極」）は、図６に示す第２共通電極２３６（本発明に係る「第２電極」）のパターンと同一のパターンで形成されている。なお、配線４０の第１部分は、図８に示すように、厚み方向において、個別電極３４から振動板２１へ向けて延びる。配線４０の第２部分は、厚み方向において、第１共通電極２３２と同じ高さにある。また、配線４０の第２部分は、第１共通電極２３２から離隔している。

第１実施形態（図２）では、第１接点５１が配列方向に隣接する複数の個別電極３４の間の領域と直交方向に重なっているが、本実施形態（図６）では、第１接点２５１が複数の個別電極３４それぞれの領域と直交方向に重なっている。

各第１接点２５１は、配列方向において、各個別電極３４の領域（幅）に亘って設けられている。具体的には、第１接点２５１は、厚み方向と直交する平面において、台形の形状を有し、その下底が上記領域に亘って延びている。当該形状は、直交方向の一方に向かうにつれて幅（配列方向の長さ）が短くなる形状である。すなわち、第１接点２５１は、第２接点５２から離れる直交方向に向かうにつれて、第１接点２５１の幅（配列方向の長さ）が短くなる形状である。また、当該形状は、第１接点２５１の配列方向の中央を通って直交方向に延びる直線に関して、対称な形状である。

第１実施形態と同様、第１接点２５１の下底の長さ（幅）は、配線４０の幅（配列方向の長さ）よりも大きい。第１接点２５１は、配線４０から離隔しており、配線４０と厚み方向に重なっていない。

また、第１実施形態と同様、複数の個別電極３４に対して直交方向の他方に、第２接点５２が設けられている。複数の個別電極３４に対して配列方向の一方及び他方のそれぞれに、第３接点５３が設けられている。配列方向に隣接する複数の個別電極３４の間のそれぞれに、第４接点５４が設けられている。第４接点５４は、第１実施形態と異なり、凹部５４Ａを有する。第４接点５４は、凹部５４Ａにより、配線４０から離隔している。第４接点５４は、少なくとも、第１接点２５１と配線４０との最短距離以上離れている。

上記構成において、図６に示すＡ～Ｇの数値は、図２に示すＡ～Ｇの数値と同様である。

以上に述べたように、本実施形態によれば、配線４０は個別電極３４における直交方向に沿った辺から延び、第１接点２５１は複数の個別電極３４それぞれの領域と直交方向に重なっている（図６参照）。この場合、第１接点２５１と配線４０との接触による電気的なショートを防止しつつ、第１接点２５１の面積を確保し、電圧降下を抑制できる。

第１接点２５１は、配列方向において、各個別電極３４の領域（幅）に亘って設けられている（図６参照）。この場合、第１接点２５１の面積を大きくでき、電圧降下をより確実に抑制できる。

第１接点２５１は、直交方向の一方に向かうにつれて幅（配列方向の長さ）が短くなる形状を有する（図６参照）。この場合、第１接点２５１と配線４０との接触による電気的なショートを効果的に防止できる。

第１接点２５１は、第１接点２５１の配列方向の中央を通って直交方向に延びる直線に関して、対称な形状を有する（図６参照）。この場合、第１接点２５１に対して配列方向の両側にある配線４０との間隔を確保でき、第１接点２５１と配線４０との接触による電気的なショートをより確実に防止できる。
＜第３実施形態＞
続いて、図９及び図１０を参照して、本発明の第３実施形態に係る圧電アクチュエータ３３０を備えたヘッド３０１について説明する。
第２実施形態（図６）では、第１接点２５１が複数の個別電極３４それぞれの領域と直交方向に重なっているが、本実施形態（図９）では、第１接点３５１が複数の個別電極３４および第４接点５４の領域（幅）と直交方向に重なっている。つまり、本実施形態（図９）において、第１接点３５１は、第２実施形態（図６）の第１接点２５１よりも、配列方向に長い。また、第１接点３５１は、厚み方向と直交する平面において、台形の形状を有し、その下底が上記領域（幅）に亘って延びている。
本実施形態において、第１共通電極３３２（本発明に係る「第１電極」）は、図９に示す第２共通電極３３６（本発明に係る「第２電極」）のパターンと同一のパターンで形成されている。なお、配線４０は、図９に示すように、第２実施形態（図６）と同様である。
以上に述べたように、本実施形態（図９）では、第１接点３５１が複数の個別電極３４および第４接点５４の領域と直交方向に重なっている。この場合、本実施形態（図９）において、第１接点３５１は、第２実施形態（図６）の第１接点２５１よりも、広い面積を有する。このため、第１接点３５１の面積を確保し、第１接点２５１よりも電圧降下を抑制できる。

＜変形例＞
以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は上述の実施形態に限られるものではなく、特許請求の範囲に記載した限りにおいて様々な設計変更が可能なものである。

例えば、第１接点の形状は、台形に限定されず、矩形、三角形、楕円形等、任意の形状であってよい。また、第１接点の形状は、第１接点の配列方向の中央を通って直交方向に延びる直線に関して非対称な形状であってもよい。

第１実施形態の第１接点は、配列方向において個別電極間の領域の一部に設けられてもよい。第２実施形態の第１接点は、配列方向において個別電極の領域の一部に設けられてもよい。

第１接点の幅は、配線の幅以下であってもよい。

例えば、第１接点が配線と同様の線状であり、第１接点と配線とが、個別電極における配列方向に沿った辺から延び、配列方向に互いに離れる方向に屈曲してもよい。或いは、第１接点が配線と同様の線状であり、第１接点が、個別電極における配列方向の一方側の直交方向に沿った辺から延び、配線が、個別電極における配列方向の他方側の直交方向に沿った辺から延びてもよい。

第１接点と配線とは、厚み方向に重なってもよい。この場合、第１接点と配線との間に保護膜を設けてよい。

複数の個別電極に対して１つの第１接点が設けられてもよい。

第２接点が、複数設けられてもよい（例えば、配列方向に互いに分離してもよい）。

第３接点は、複数の個別電極に対して配列方向の一方又は他方のみに設けられてもよい。

配列方向に隣接する複数の個別電極の間に、第４接点が設けられていない部分があってもよい。例えば、配列方向に並ぶ複数の個別電極からなる群と群との間に第４接点が設けられ、各群に属する複数の個別電極間には第４接点が設けられなくてもよい。

第３接点や第４接点を省略してもよい。

本発明は、プリンタに限定されず、ファクシミリ、コピー機、複合機等にも適用可能である。また、本発明は、画像の記録以外の用途で使用される液体吐出装置（例えば、基板に導電性の液体を吐出して導電パターンを形成する液体吐出装置）にも適用可能である。さらに、本発明に係る圧電アクチュエータは、液体吐出装置以外の任意の装置に適用可能である。

１；２０１ ヘッド
３０；２３０ 圧電アクチュエータ
３０ｚ アクチュエータ
３１ 振動板
３２；２３２ 第１共通電極（第１電極）
３３ 第１圧電体
３４ 個別電極
３５ 第２圧電体
３６；２３６ 第２共通電極（第２電極）
４０ 配線
５１；２５１ 第１接点
５２ 第２接点
５３ 第３接点
５４ 第４接点
１００ プリンタ

Claims (10)

1. 第１電極と、
   前記第１電極に対して前記第１電極の厚み方向の一方に配置された第１圧電体と、
   前記第１圧電体に対して前記厚み方向の一方に配置された個別電極と、
   前記個別電極に対して前記厚み方向の一方に配置された第２圧電体と、
   前記第２圧電体に対して前記厚み方向の一方に配置された第２電極と、
   前記第１圧電体における前記第１電極と前記個別電極とで前記厚み方向に挟まれた部分と、前記第２圧電体における前記第２電極と前記個別電極とで前記厚み方向に挟まれた部分とで構成されるアクチュエータと、
   前記個別電極と電気的に接続し、前記個別電極から前記厚み方向と直交する直交方向の一方に向かって延びる配線と、を備え、
   前記個別電極に対して前記直交方向の一方に、前記第１電極と前記第２電極とが互いに電気的に接続される第１接点が設けられ、
   前記個別電極に対して前記直交方向の他方に、前記第１電極と前記第２電極とが互いに電気的に接続される第２接点が設けられ、
   複数の前記個別電極が、前記厚み方向と直交しかつ前記直交方向と交差する配列方向に配列され、
   複数の前記配線が、前記複数の個別電極のそれぞれから前記直交方向の一方に向かって延び、
   複数の前記第１接点が、前記複数の個別電極のそれぞれに対して前記直交方向の一方に設けられたことを特徴とする、圧電アクチュエータ。
2. 前記第１接点と前記配線とは、前記厚み方向に重ならないことを特徴とする、請求項１に記載の圧電アクチュエータ。
3. 前記第１接点の前記配列方向の長さである幅は、前記配線の前記配列方向の長さである幅よりも大きいことを特徴とする、請求項１又は２に記載の圧電アクチュエータ。
4. 前記複数の個別電極に対して前記配列方向の少なくとも一方に、前記第１電極と前記第２電極とが互いに電気的に接続される第３接点がさらに設けられたことを特徴とする、請求項１～３のいずれか１項に記載の圧電アクチュエータ。
5. 前記配列方向に隣接する前記複数の個別電極の間に、前記第１電極と前記第２電極とが互いに電気的に接続される第４接点がさらに設けられたことを特徴とする、請求項１～４のいずれか１項に記載の圧電アクチュエータ。
6. 前記複数の配線は、前記複数の個別電極それぞれにおける前記配列方向に沿った辺から延び、
   前記複数の第１接点は、前記複数の個別電極のそれぞれに対して前記配列方向の一方に設けられた領域のそれぞれと前記直交方向に重なることを特徴とする、請求項１～５のいずれか１項に記載の圧電アクチュエータ。
7. 前記複数の配線は、前記複数の個別電極それぞれにおける前記直交方向に沿った辺から延び、
   前記複数の第１接点は、前記複数の個別電極それぞれの領域と前記直交方向に重なることを特徴とする、請求項１～５のいずれか１項に記載の圧電アクチュエータ。
8. 前記複数の第１接点は、それぞれ、前記配列方向において前記領域に亘って設けられていることを特徴とする、請求項６又は７に記載の圧電アクチュエータ。
9. 前記複数の第１接点は、それぞれ、前記直交方向の一方に向かうにつれて前記配列方向の長さが短くなる形状を有することを特徴とする、請求項６～８のいずれか１項に記載の圧電アクチュエータ。
10. 前記形状は、当該第１接点の前記配列方向の中央を通って前記直交方向に延びる直線に関して対称な形状であることを特徴とする、請求項９に記載の圧電アクチュエータ。

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