JP7471559B1

JP7471559B1 - Sheet vacuum laminating equipment

Info

Publication number: JP7471559B1
Application number: JP2023098758A
Authority: JP
Inventors: 浩之田渕; 鍾仁崔
Original assignee: 株式会社エヌ・シー・ティ
Priority date: 2023-06-15
Filing date: 2023-06-15
Publication date: 2024-04-22
Anticipated expiration: 2043-06-15

Abstract

【課題】ドライフィルムの形状癖による影響を低減することで、シート基板とドライフィルムとの貼り合わせを精度良く良好に行うことを可能とするラミネート装置を提供する。【解決手段】シート真空ラミネート装置１は、真空ポンプにより減圧される真空チャンバー１１と、シート基板３とドライフィルム５ａ，５ｂを圧着するラミネートローラー４３，４５と、ドライフィルム５ａ，５ｂからセパレーター６１を剥離し、セパレーター６１を剥離したドライフィルム層５７及びレジスト層５９をラミネートローラー４３，４５に供給するスクレーパー３５，３７と、を有し、ラミネートローラー４３，４５は、ドライフィルム層５７に接触してシート基板３に圧着する小径ローラー４３ａ，４５ａと、小径ローラー４３ａ，４５ａに対してシート基板３とは反対側で接触し、小径ローラー４３ａ，４５ａよりも直径が大きい大径ローラー４３ｂ，４５ｂを有する。【選択図】図１[Problem] To provide a laminating device that can accurately and satisfactorily bond a sheet substrate and a dry film by reducing the influence of the shape quirks of the dry film. [Solution] A sheet vacuum laminating device 1 has a vacuum chamber 11 that is depressurized by a vacuum pump, laminating rollers 43, 45 that press the sheet substrate 3 and the dry films 5a, 5b together, and scrapers 35, 37 that peel the separator 61 from the dry films 5a, 5b and supply the dry film layer 57 and resist layer 59 from which the separator 61 has been peeled to the laminating rollers 43, 45. The laminating rollers 43, 45 have small diameter rollers 43a, 45a that contact the dry film layer 57 and press it against the sheet substrate 3, and large diameter rollers 43b, 45b that contact the small diameter rollers 43a, 45a on the side opposite to the sheet substrate 3 and have a larger diameter than the small diameter rollers 43a, 45a. [Selected Figure] Figure 1

Description

本発明は、減圧された真空チャンバー内においてシート基板にフィルム等を接合するシート真空ラミネート装置に関する。 The present invention relates to a sheet vacuum lamination device that bonds a film or the like to a sheet substrate in a reduced pressure vacuum chamber.

プリント基板の表面にパターン形成用の感光性ドライフィルム等の積層フィルムを真空中で貼り付ける真空ラミネート装置が知られている。例えば特許文献１には、ナイフエッジ部においてセパレーターを鋭角に折り返すことで、セパレーターを剥離した状態でレジスト面を露出したドライフィルムを引き出し、ラミネート位置に位置決めされた基板とドライフィルムを上下のラミネーションロールにてクランプし、熱圧着しながらラミネートを行う真空ラミネート装置が記載されている。 There is a known vacuum laminating device that applies a laminated film, such as a photosensitive dry film for pattern formation, to the surface of a printed circuit board in a vacuum. For example, Patent Document 1 describes a vacuum laminating device that folds back a separator at an acute angle at a knife edge, peels off the separator, and pulls out a dry film with the resist surface exposed, clamps the substrate and dry film positioned at the lamination position with upper and lower lamination rolls, and laminates them while thermocompressing them.

特開２０１６－１５５３５５号公報JP 2016-155355 A

上記特許文献１に記載の真空ラミネート装置では、熱圧着に必要な強度を確保するために、ラミネーションロールの径が大きくなると考えられる。一方で、ドライフィルムはロール状に巻かれた状態から引き出されるため、ロール状にカールする形状の癖が付いている場合がある。このため、ラミネーションロールの径が大きいことに起因してナイフエッジ部の先端とラミネート位置との距離が大きくなると、ナイフエッジ部から引き出されたドライフィルムがカールし、基板との貼り合わせが良好に行えないおそれがあった。 In the vacuum laminating device described in Patent Document 1, the lamination roll diameter is thought to be large in order to ensure the strength required for thermocompression bonding. On the other hand, since the dry film is pulled out from a rolled up state, it may have a tendency to curl into a rolled shape. For this reason, if the distance between the tip of the knife edge and the lamination position becomes large due to the large diameter of the lamination roll, the dry film pulled out from the knife edge may curl, which may prevent good bonding to the substrate.

本発明の目的は、ドライフィルムの形状癖による影響を低減することで、シート基板とドライフィルムとの貼り合わせを精度良く良好に行うことを可能とし、高品質なラミネート製品を製造できるラミネート装置を提供することにある。 The object of the present invention is to provide a laminating device that can manufacture high-quality laminated products by reducing the effects of the shape tendencies of the dry film, enabling accurate and satisfactory bonding of the sheet substrate and the dry film.

上記目的を達成するために、本願発明のシート真空ラミネート装置は、真空ポンプにより減圧されるチャンバーと、前記チャンバー内に設けられ、シート基板とドライフィルムを圧着するラミネートローラーと、前記ドライフィルムに積層されたセパレーターを先端部で折り返すことにより前記ドライフィルムから剥離し、前記セパレーターを剥離した前記ドライフィルムを前記ラミネートローラーに供給するスクレーパーと、を有し、前記ラミネートローラーは、前記ドライフィルムに接触して前記シート基板に圧着する第１ローラーと、前記第１ローラーに対して前記シート基板とは反対側で接触し、前記第１ローラーよりも直径が大きい第２ローラーと、を有する。 In order to achieve the above object, the sheet vacuum laminating device of the present invention has a chamber that is depressurized by a vacuum pump, a laminating roller that is provided in the chamber and presses the sheet substrate and the dry film together, and a scraper that peels off a separator laminated on the dry film from the dry film by folding back the tip of the separator and supplies the dry film from which the separator has been peeled off to the laminating roller, and the laminating roller has a first roller that contacts the dry film and presses it against the sheet substrate, and a second roller that contacts the first roller on the opposite side to the sheet substrate and has a larger diameter than the first roller.

本発明のシート真空ラミネート装置では、シート基板とドライフィルムを圧着するラミネートローラーが、ドライフィルムに接触してシート基板に圧着する第１ローラーと、第１ローラーに対してシート基板とは反対側で接触し、第１ローラーよりも直径が大きい第２ローラーを有する。ラミネートローラーを大小２つのローラーで構成して小さい方の第１ローラーで圧着することにより、スクレーパーと第１ローラーによるラミネート位置との距離を小さくすることができる。すなわち、スクレーパーの先端をラミネート位置に近づけることができる。これにより、ドライフィルムの形状癖による影響を低減でき、シート基板とドライフィルムとの貼り合わせを精度良く良好に行うことが可能となる。したがって、高品質なラミネート製品を製造できる。また、第１ローラーは小径であるため剛性が小さいが、大径で剛性が大きな第２ローラーがシート基板とは反対側で第１ローラーを支持するため、第１ローラーを強度的にバックアップすることができる。したがって、第１ローラーの撓みを防止できる。 In the sheet vacuum laminating device of the present invention, the laminating roller for pressing the sheet substrate and the dry film has a first roller that contacts the dry film and presses it against the sheet substrate, and a second roller that contacts the first roller on the opposite side of the sheet substrate and has a larger diameter than the first roller. By configuring the laminating roller with two rollers, one large and one small, and pressing with the smaller first roller, the distance between the scraper and the laminating position by the first roller can be reduced. In other words, the tip of the scraper can be brought closer to the laminating position. This reduces the influence of the shape of the dry film, and makes it possible to accurately and satisfactorily bond the sheet substrate and the dry film. Therefore, a high-quality laminated product can be manufactured. In addition, since the first roller has a small diameter, its rigidity is low, but since the second roller, which has a large diameter and high rigidity, supports the first roller on the opposite side of the sheet substrate, the first roller can be backed up in terms of strength. Therefore, it is possible to prevent the first roller from bending.

また、本願発明のシート真空ラミネート装置では、第２ローラーが第１ローラーを加熱するためのヒーターを内蔵している。これにより、加熱した第１ローラーによりドライフィルムのレジストを溶融させてシート基板に熱圧着することができる。また、第２ローラーにより第１ローラの温度をバックアップできることから、第１ローラーに対するヒーターの設置が不要となり、第１ローラーを小径化できる。 In addition, in the sheet vacuum laminating device of the present invention, the second roller has a built-in heater for heating the first roller. This allows the heated first roller to melt the resist of the dry film and thermocompress it to the sheet substrate. In addition, since the second roller can back up the temperature of the first roller, there is no need to install a heater for the first roller, and the diameter of the first roller can be reduced.

また、本願発明のシート真空ラミネート装置では、第１ローラーが温水を通水させる配管を内蔵している。これにより、第２ローラーによる加熱に加えて、第１ローラー自体を加熱することができる。これにより、第１ローラーの表面温度をより精度良く一定温度に保持することができる。 In addition, in the sheet vacuum laminator of the present invention, the first roller has built-in piping for passing hot water. This allows the first roller itself to be heated in addition to being heated by the second roller. This allows the surface temperature of the first roller to be maintained at a constant temperature with greater precision.

また、本願発明のシート真空ラミネート装置は、前記チャンバー内に設けられ、前記ドライフィルムを供給するドライフィルム軸と、前記チャンバー内に設けられ、前記ドライフィルム軸から供給された前記ドライフィルムを前記ラミネートローラーに向けて押し出すフィードローラーと、をさらに有する。 In addition, the sheet vacuum laminating device of the present invention further includes a dry film shaft that is provided within the chamber and supplies the dry film, and a feed roller that is provided within the chamber and pushes the dry film supplied from the dry film shaft toward the laminating roller.

本発明のシート真空ラミネート装置では、ドライフィルム軸から供給されたドライフィルムをフィードローラーによりラミネートローラーに向けて押し出す。これにより、ドライフィルムに作用するテンションを小さくすることができるので、ドライフィルムに伸縮が生じるのを抑制できる。その結果、シート基板とドライフィルムの位置決め精度を向上できるので、シート基板とドライフィルムを精度良く貼り合わせることができる。 In the sheet vacuum laminating device of the present invention, the dry film supplied from the dry film shaft is pushed toward the laminating roller by the feed roller. This reduces the tension acting on the dry film, thereby suppressing the expansion and contraction of the dry film. As a result, the positioning accuracy of the sheet substrate and the dry film can be improved, allowing the sheet substrate and the dry film to be bonded together with high accuracy.

また、本願発明のシート真空ラミネート装置では、フィードローラーがドライフィルムを押し出す速度が、第１ローラーがドライフィルムを引き込む速度と略等しくなるように、フィードローラーの回転速度が制御される。これにより、ドライフィルムに作用するテンションを０に近づけることができるので、シート基板とドライフィルムの位置決め精度をさらに向上できる。 In addition, in the sheet vacuum laminator of the present invention, the rotation speed of the feed roller is controlled so that the speed at which the feed roller pushes out the dry film is approximately equal to the speed at which the first roller pulls in the dry film. This allows the tension acting on the dry film to approach zero, further improving the positioning accuracy of the sheet substrate and the dry film.

また、本願発明のシート真空ラミネート装置は、前記ラミネートローラーにより圧着された前記シート基板及び前記ドライフィルムを冷却すると共に、前記ドライフィルムに引っ張り力を作用させる冷却ローラーをさらに有する。 In addition, the sheet vacuum laminating device of the present invention further includes a cooling roller that cools the sheet substrate and the dry film pressed by the laminating roller and applies a tensile force to the dry film.

本発明のシート真空ラミネート装置では、冷却ローラーにより、ドライフィルムを圧着されたシート基板を冷却すると共に、ドライフィルムに引っ張り力を作用させる。これにより、シート基板に圧着されたドライフィルムにしわや弛みが生じていた場合でも、ドライフィルムを伸ばした状態で、溶融させたレジストを固化させてシート基板に固定することができる。したがって、ドライフィルムの平滑性を確保でき、高品質なラミネート製品を製造できる。 In the vacuum sheet laminating device of the present invention, a cooling roller cools the sheet substrate to which the dry film is pressed, and also applies a pulling force to the dry film. As a result, even if the dry film pressed onto the sheet substrate is wrinkled or loose, the melted resist can be solidified and fixed to the sheet substrate while the dry film is stretched. This ensures the smoothness of the dry film, and allows the production of high-quality laminated products.

また、本願発明のシート真空ラミネート装置では、冷却ローラーが、第１ローラーと冷却ローラーとの間隔がシート基板の搬送方向の寸法よりも小さくなるように配置されると共に、冷却ローラーがシート基板及びドライフィルムを引き込む速度が、第１ローラーがシート基板及びドライフィルムを押し出す速度よりも大きくなるように、冷却ローラーの回転速度が制御される。これにより、ドライフィルムに対して引っ張り力を確実に作用させることができるので、ドライフィルムの平滑性を確保でき、高品質なラミネート製品を製造できる。 In addition, in the sheet vacuum laminating device of the present invention, the cooling roller is positioned so that the distance between the first roller and the cooling roller is smaller than the dimension in the conveying direction of the sheet substrate, and the rotation speed of the cooling roller is controlled so that the speed at which the cooling roller draws in the sheet substrate and dry film is greater than the speed at which the first roller pushes out the sheet substrate and dry film. This ensures that a tensile force is applied to the dry film, ensuring the smoothness of the dry film and enabling the production of high-quality laminate products.

本発明によれば、ドライフィルムの形状癖による影響を低減することで、シート基板とドライフィルムとの貼り合わせを精度良く良好に行うことを可能とし、高品質なラミネート製品を製造できる。 The present invention reduces the effects of the shape tendencies of the dry film, making it possible to bond the sheet substrate and the dry film with high accuracy and to produce high-quality laminate products.

実施形態に係るシート真空ラミネート装置の全体構成の一例を表す断面図である。1 is a cross-sectional view illustrating an example of the overall configuration of a sheet vacuum laminator according to an embodiment. ドライフィルムの積層構造の一例を表す説明図である。FIG. 2 is an explanatory diagram illustrating an example of a laminated structure of a dry film. 基材にドライフィルムを圧着するラミネート位置近傍の構造を拡大して表す図である。1 is an enlarged view showing a structure in the vicinity of a lamination position where a dry film is pressure-bonded to a substrate. ラミネートローラーを単一のローラーで構成した場合の、基材にドライフィルムを圧着するラミネート位置近傍の構造を表す図である。1 is a diagram showing the structure in the vicinity of the lamination position where the dry film is pressed onto the substrate when the lamination roller is configured as a single roller. FIG.

以下、本発明の一実施の形態について図面を参照しつつ説明する。 One embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.

＜１．シート真空ラミネート装置の構成＞
図１～図３を用いて、本実施形態に係るシート真空ラミネート装置の構成の一例を説明する。図１は、本実施形態に係るシート真空ラミネート装置の全体構成の一例を表す断面図である。図２は、ドライフィルムの積層構造の一例を表す説明図である。図３は、基材にドライフィルムを圧着するラミネート位置近傍の構造を拡大して表す図である。 1. Configuration of the sheet vacuum lamination device
An example of the configuration of a sheet vacuum laminator according to the present embodiment will be described with reference to Figures 1 to 3. Figure 1 is a cross-sectional view showing an example of the overall configuration of a sheet vacuum laminator according to the present embodiment. Figure 2 is an explanatory diagram showing an example of a laminated structure of a dry film. Figure 3 is an enlarged view showing the structure in the vicinity of a lamination position where a dry film is pressure-bonded to a substrate.

本実施形態に係るシート真空ラミネート装置１は、減圧環境下でシート基板３にドライフィルム５ａ，５ｂを圧着してラミネート基板７を製造する装置である。図１に示すように、シート真空ラミネート装置１は、入口チャンバー９と、真空チャンバー１１と、出口チャンバー１３とを有する。シート基板３は、大気圧である外部から入口チャンバー９に投入される。投入されたシート基板３は、入口チャンバー９から真空チャンバー１１に搬送される。真空チャンバー１１の内部空間は、真空ポンプにより空気を吸引されて所定の圧力に減圧されている。所定の圧力は例えば５０Ｐａ以下である。真空チャンバー１１では、減圧された状態でシート基板３の両面に対してドライフィルム５ａ，５ｂが圧着されて、ラミネート基板７が生成される。ラミネート基板７は、真空チャンバー１１から出口チャンバー１３に搬送され、出口チャンバー１３から外部に搬出される。 The sheet vacuum laminating device 1 according to this embodiment is a device that manufactures a laminate substrate 7 by bonding dry films 5a and 5b to a sheet substrate 3 under a reduced pressure environment. As shown in FIG. 1, the sheet vacuum laminating device 1 has an entrance chamber 9, a vacuum chamber 11, and an exit chamber 13. The sheet substrate 3 is loaded into the entrance chamber 9 from the outside, which is at atmospheric pressure. The loaded sheet substrate 3 is transported from the entrance chamber 9 to the vacuum chamber 11. The internal space of the vacuum chamber 11 is depressurized to a predetermined pressure by sucking air with a vacuum pump. The predetermined pressure is, for example, 50 Pa or less. In the vacuum chamber 11, the dry films 5a and 5b are bonded to both sides of the sheet substrate 3 under reduced pressure to produce a laminate substrate 7. The laminate substrate 7 is transported from the vacuum chamber 11 to the exit chamber 13, and then taken out from the exit chamber 13 to the outside.

シート基板３は、例えば銅張積層板である。シート真空ラミネート装置１によりドライフィルムをラミネートされた銅張積層板は、その後に露光、現像、エッチング、メッキ処理等が行われ、プリント配線基板が製造される。なお、シート基板３はフィルム等がラミネートされる基材であれば銅張積層板以外でもよい。 The sheet substrate 3 is, for example, a copper-clad laminate. The copper-clad laminate laminated with the dry film by the sheet vacuum laminating device 1 is then exposed, developed, etched, plated, etc., to produce a printed wiring board. Note that the sheet substrate 3 may be a substrate other than a copper-clad laminate, so long as it is a substrate on which a film or the like can be laminated.

入口チャンバー９は、入口ゲート１５と出口ゲート１７を有すると共に、内部にプレヒートプレート１９と搬送装置２１を有する。入口ゲート１５及び出口ゲート１７は、駆動装置（図示省略）により開閉される。出口ゲート１７が閉鎖された状態のままで入口ゲート１５が開放され、シート基板３が入口チャンバー９に投入される。投入されたシート基板３は、搬送装置２１によりプレヒートプレート１９による予熱位置に搬送されて停止される。この状態で、入口ゲート１５が閉鎖されて入口チャンバー９内が真空チャンバー１１内と同程度まで減圧される。また、シート基板３は上下両側に設置されたプレヒートプレート１９により所定の温度まで予熱される。予熱が完了すると、入口ゲート１５が閉鎖された状態のままで、出口ゲート１７が開放され、搬送装置２１によりシート基板３が真空チャンバー１１に搬送される。シート基板３が真空チャンバー１１に移動した後、出口ゲート１７が閉鎖される。その後、入口チャンバー９の内部は大気圧に復帰され、出口ゲート１７が閉鎖された状態のままで入口ゲート１５が開放され、次のシート基板３が投入される。 The entrance chamber 9 has an entrance gate 15 and an exit gate 17, and has a preheat plate 19 and a conveying device 21 inside. The entrance gate 15 and the exit gate 17 are opened and closed by a driving device (not shown). The entrance gate 15 is opened while the exit gate 17 is closed, and the sheet substrate 3 is inserted into the entrance chamber 9. The inserted sheet substrate 3 is conveyed by the conveying device 21 to a preheating position by the preheat plate 19 and stopped. In this state, the entrance gate 15 is closed, and the inside of the entrance chamber 9 is depressurized to the same degree as the inside of the vacuum chamber 11. The sheet substrate 3 is preheated to a predetermined temperature by the preheat plates 19 installed on both the upper and lower sides. When the preheating is completed, the exit gate 17 is opened while the entrance gate 15 is closed, and the sheet substrate 3 is conveyed to the vacuum chamber 11 by the conveying device 21. After the sheet substrate 3 moves to the vacuum chamber 11, the exit gate 17 is closed. After that, the inside of the entrance chamber 9 is returned to atmospheric pressure, the entrance gate 15 is opened while the exit gate 17 remains closed, and the next sheet substrate 3 is inserted.

搬送装置２１は、サーボモーター（図示省略）により駆動される複数のローラーを有する。シート基板３の搬送速度や停止位置等は、サーボモーターを制御するコントローラー（図示省略）により制御される。 The conveying device 21 has multiple rollers driven by a servo motor (not shown). The conveying speed and stopping position of the sheet substrate 3 are controlled by a controller (not shown) that controls the servo motor.

真空チャンバー１１（チャンバーの一例）は、搬送装置２３と、センタリングガイド２５と、ドライフィルム軸２７，２９と、フィードローラー３１，３３と、スクレーパー３５，３７と、セパレーター巻き取り軸３９，４１と、ラミネートローラー４３，４５と、冷却ローラー４７，４９と、エッジセンサ５１，５３，５５とを、内部に有する。 The vacuum chamber 11 (an example of a chamber) has therein a conveying device 23, a centering guide 25, dry film shafts 27, 29, feed rollers 31, 33, scrapers 35, 37, separator winding shafts 39, 41, laminating rollers 43, 45, cooling rollers 47, 49, and edge sensors 51, 53, 55.

入口チャンバー９から真空チャンバー１１に搬入されたシート基板３は、搬送装置２３によりラミネートローラー４３，４５に向けて搬送される。シート基板３は、ラミネートローラー４３，４５の上流側に設置されたセンタリングガイド２５により、シート基板３の幅方向（図１における紙面に垂直な方向）の位置がドライフィルム５ａ，５ｂと合うように調整される。また、シート基板３の搬送方向（図１における右方向）先端側のエッジの位置が、ラミネートローラー４３，４５の上流側に設置されたエッジセンサ５１により検出される。エッジセンサ５１は、シート基板３のエッジを検出可能であれば特に限定されるものではなく、例えばカメラ、光学センサ、レーザーセンサ、赤外線センサ等、様々な検出方式のセンサを採用することができる。後述のエッジセンサ５３，５５も同様である。 The sheet substrate 3, which is carried into the vacuum chamber 11 from the entrance chamber 9, is transported by the transport device 23 toward the laminating rollers 43, 45. The sheet substrate 3 is adjusted by the centering guide 25 installed upstream of the laminating rollers 43, 45 so that the position of the sheet substrate 3 in the width direction (direction perpendicular to the paper surface in FIG. 1) is aligned with the dry films 5a, 5b. In addition, the position of the edge of the leading end side of the transport direction (rightward in FIG. 1) of the sheet substrate 3 is detected by the edge sensor 51 installed upstream of the laminating rollers 43, 45. The edge sensor 51 is not particularly limited as long as it can detect the edge of the sheet substrate 3, and various detection methods such as a camera, optical sensor, laser sensor, and infrared sensor can be used. The same applies to the edge sensors 53 and 55 described later.

ドライフィルム軸２７，２９は、ロール状に巻かれたドライフィルム５ａ，５ｂを固定しており、ドライフィルム５ａ，５ｂを繰り出しながら供給する。ドライフィルム５ａ，５ｂは、感光性レジストをフィルム状に加工した材料であり、例えば３層構造の積層フィルムとして構成されている。図２に示すように、ドライフィルム５ａ，５ｂは、例えばポリエステルフィルム等からなるドライフィルム層５７と、感光性及び熱硬化性を有するレジスト層５９と、例えばポリエチレンフィルム等からなるセパレーター６１とを有する。ドライフィルム５ａ，５ｂは、予め所定の間隔でセパレーター６１以外の部分が部分的にカット（ハーフカット）されており、シート基板３に対応する部分ではセパレーター６１上にドライフィルム層５７及びレジスト層５９が残され、それ以外の部分ではドライフィルム層５７及びレジスト層５９が除去されている。ドライフィルム層５７及びレジスト層５９の搬送方向の寸法Ｌ１はシート基板３の搬送方向の寸法Ｌと略同一であり、ドライフィルム層５７及びレジスト層５９が除去された部分の搬送方向の寸法Ｌ２は、真空チャンバー１１において搬送装置２３により搬送されるシート基板３の間隔と略同一である。ドライフィルム５ａ，５ｂは、セパレーター６１に対してドライフィルム層５７及びレジスト層５９が外周側となるようにロール状に巻かれ、ドライフィルム軸２７，２９に固定されている。 The dry film shafts 27 and 29 fix the dry films 5a and 5b wound in a roll shape, and supply the dry films 5a and 5b while unwinding them. The dry films 5a and 5b are made of a material made by processing a photosensitive resist into a film shape, and are configured, for example, as a laminated film with a three-layer structure. As shown in FIG. 2, the dry films 5a and 5b have a dry film layer 57 made of, for example, a polyester film, a resist layer 59 having photosensitivity and thermosetting properties, and a separator 61 made of, for example, a polyethylene film. The dry films 5a and 5b are partially cut (half-cut) at a predetermined interval in advance except for the separator 61, and the dry film layer 57 and resist layer 59 are left on the separator 61 in the part corresponding to the sheet substrate 3, and the dry film layer 57 and resist layer 59 are removed in the other parts. The dimension L1 of the dry film layer 57 and resist layer 59 in the transport direction is approximately the same as the dimension L of the sheet substrate 3 in the transport direction, and the dimension L2 of the portion from which the dry film layer 57 and resist layer 59 have been removed is approximately the same as the spacing between the sheet substrates 3 transported by the transport device 23 in the vacuum chamber 11. The dry films 5a and 5b are wound in a roll shape so that the dry film layer 57 and resist layer 59 are on the outer periphery of the separator 61, and are fixed to the dry film shafts 27 and 29.

フィードローラー３１は、ドライフィルム軸２７の近傍に配置されている。フィードローラー３１は、ドライフィルム軸２７から供給されたドライフィルム５ａを両側から挟むように配置された一対のローラとして構成されており、ドライフィルム５ａをクランプして、ラミネートローラー４３に向けて押し出すように駆動する。フィードローラー３１は、コントローラにより制御されるサーボモータ６３により駆動される。フィードローラー３１は、当該フィードローラー３１がドライフィルム５ａを押し出す速度が、ラミネートローラー４３の小径ローラー４３ａがドライフィルム５ａのドライフィルム層５７及びレジスト層５９を引き込む速度と略等しくなるように、コントローラにより回転速度を制御される。 The feed roller 31 is disposed near the dry film shaft 27. The feed roller 31 is configured as a pair of rollers disposed to sandwich the dry film 5a supplied from the dry film shaft 27 from both sides, and is driven to clamp the dry film 5a and push it out toward the laminating roller 43. The feed roller 31 is driven by a servo motor 63 controlled by a controller. The rotation speed of the feed roller 31 is controlled by the controller so that the speed at which the feed roller 31 pushes out the dry film 5a is approximately equal to the speed at which the small diameter roller 43a of the laminating roller 43 pulls in the dry film layer 57 and resist layer 59 of the dry film 5a.

フィードローラー３３は、ドライフィルム軸２９の近傍に配置されている。フィードローラー３３は、ドライフィルム軸２９から供給されたドライフィルム５ｂを両側から挟むように配置された一対のローラとして構成されており、ドライフィルム５ｂをクランプして、ラミネートローラー４５に向けて押し出すように駆動する。フィードローラー３３は、コントローラにより制御されるサーボモータ６５により駆動される。フィードローラー３３は、当該フィードローラー３３がドライフィルム５ｂを押し出す速度が、ラミネートローラー４５の小径ローラー４５ａがドライフィルム５ｂのドライフィルム層５７及びレジスト層５９を引き込む速度と略等しくなるように、コントローラにより回転速度を制御される。以上により、ドライフィルム５ａ，５ｂに作用するテンションを小さくする（０に近づける）ことができる。 The feed roller 33 is disposed near the dry film shaft 29. The feed roller 33 is configured as a pair of rollers disposed to sandwich the dry film 5b supplied from the dry film shaft 29 from both sides, and is driven to clamp the dry film 5b and push it toward the laminating roller 45. The feed roller 33 is driven by a servo motor 65 controlled by a controller. The rotation speed of the feed roller 33 is controlled by the controller so that the speed at which the feed roller 33 pushes out the dry film 5b is approximately equal to the speed at which the small diameter roller 45a of the laminating roller 45 pulls in the dry film layer 57 and resist layer 59 of the dry film 5b. As a result, the tension acting on the dry films 5a and 5b can be reduced (closer to 0).

また、ドライフィルム５ａの搬送経路におけるフィードローラー３１とラミネートローラー４３との間には、エッジセンサ５３が設置されている。エッジセンサ５３により、ドライフィルム５ａのドライフィルム層５７及びレジスト層５９の搬送方向先端側のエッジの位置が検出される。同様に、ドライフィルム５ｂの搬送経路におけるフィードローラー３３とラミネートローラー４５との間には、エッジセンサ５５が設置されている。エッジセンサ５５により、ドライフィルム５ｂのドライフィルム層５７及びレジスト層５９の搬送方向先端側のエッジの位置が検出される。コントローラは、エッジセンサ５１，５３，５５の検出結果に基づいて、シート基板３の搬送方向の先端と、ドライフィルム５ａ，５ｂのドライフィルム層５７及びレジスト層５９の搬送方向の先端とが、ラミネート位置Ｌｐにおいて略一致するように搬送装置２３、セパレーター巻き取り軸３９，４１、ラミネートローラー４３，４５、及びフィードローラー３１，３３の駆動（回転量、回転速度等）を制御する。なお、ラミネート位置Ｌｐは、ラミネートローラー４３の小径ローラー４３ａ及びラミネートローラー４５の小径ローラー４５ａがドライフィルム層５７及びレジスト層５９をシート基板３の上側の表面及び下側の表面に圧着する位置である（図３参照）。 In addition, an edge sensor 53 is installed between the feed roller 31 and the laminating roller 43 in the transport path of the dry film 5a. The edge sensor 53 detects the position of the edge of the dry film layer 57 and the resist layer 59 of the dry film 5a at the leading edge in the transport direction. Similarly, an edge sensor 55 is installed between the feed roller 33 and the laminating roller 45 in the transport path of the dry film 5b. The edge sensor 55 detects the position of the edge of the dry film layer 57 and the resist layer 59 of the dry film 5b at the leading edge in the transport direction. Based on the detection results of the edge sensors 51, 53, and 55, the controller controls the drive (rotation amount, rotation speed, etc.) of the transport device 23, the separator winding shafts 39 and 41, the laminating rollers 43 and 45, and the feed rollers 31 and 33 so that the leading edge of the sheet substrate 3 in the transport direction and the leading edges of the dry film layer 57 and the resist layer 59 of the dry films 5a and 5b in the transport direction approximately coincide at the laminating position Lp. The lamination position Lp is the position where the small diameter roller 43a of the lamination roller 43 and the small diameter roller 45a of the lamination roller 45 press the dry film layer 57 and the resist layer 59 onto the upper and lower surfaces of the sheet substrate 3 (see FIG. 3).

なお、エッジセンサ５１，５３，５５の検出結果に基づいてシート基板３の先端位置とドライフィルム層５７及びレジスト層５９の先端位置が一致するように制御しても、ドライフィルム５ａ，５ｂにテンションが作用した場合にはセパレーター６１に伸縮が生じてドライフィルム層５７及びレジスト層５９の先端位置にずれが生じる可能性がある。本実施形態では、上述のようにドライフィルム５ａ，５ｂに作用するテンションを小さくする（０に近づける）ことができるので、ドライフィルム５ａ，５ｂに伸縮が生じるのを抑制できる。その結果、シート基板３とドライフィルム層５７及びレジスト層５９の位置決め精度を向上できるので、精度の良い貼り合わせが可能となる。 Even if the leading edge position of the sheet substrate 3 is controlled to coincide with the leading edge positions of the dry film layer 57 and the resist layer 59 based on the detection results of the edge sensors 51, 53, and 55, tension acting on the dry films 5a and 5b may cause expansion and contraction of the separator 61, resulting in a possibility of misalignment of the leading edge positions of the dry film layer 57 and the resist layer 59. In this embodiment, the tension acting on the dry films 5a and 5b can be reduced (closer to 0) as described above, so that expansion and contraction of the dry films 5a and 5b can be suppressed. As a result, the positioning accuracy of the sheet substrate 3, the dry film layer 57, and the resist layer 59 can be improved, enabling accurate bonding.

ドライフィルム軸２７，２９から供給され、フィードローラー３１，３３により押し出されたドライフィルム５ａ，５ｂは、複数のローラーを介して搬送され、スクレーパー３５，３７によりセパレーター６１を剥離される。 The dry films 5a and 5b are fed from the dry film shafts 27 and 29 and pushed out by the feed rollers 31 and 33, then transported through multiple rollers and the separator 61 is peeled off by the scrapers 35 and 37.

図３に示すように、スクレーパー３５は、先端に向けて厚さが薄くなり先端が尖った形状に形成された平板状の部材であり、先端がシート基板３の上側のラミネート位置Ｌｐの近傍に位置するように配置されている。スクレーパー３５は、幅方向の寸法がシート基板３及びドライフィルム５ａの幅方向の寸法と同等以上となるように形成されている。例えば、スクレーパー３５の先端とラミネート位置Ｌｐ（小径ローラー４３ａ及び大径ローラー４３ｂの中心位置）との搬送方向の距離Ｄ１は、小径ローラー４３ａの直径Φ２の半分以下であることが好ましい。本実施形態では、例えばΦ２が４０ｍｍの場合には距離Ｄ１は１５ｍｍとして構成されている。スクレーパー３５は、ドライフィルム５ａに積層されたセパレーター６１を先端部で鋭角に折り返すことによりドライフィルム５ａからセパレーター６１を剥離し、セパレーター６１を剥離したドライフィルム層５７及びレジスト層５９をラミネート位置Ｌｐに供給する。 As shown in FIG. 3, the scraper 35 is a flat member formed so that its thickness decreases toward the tip and its tip is sharpened, and the scraper 35 is arranged so that its tip is located near the lamination position Lp on the upper side of the sheet substrate 3. The scraper 35 is formed so that its width dimension is equal to or greater than the width dimension of the sheet substrate 3 and the dry film 5a. For example, the distance D1 in the conveying direction between the tip of the scraper 35 and the lamination position Lp (the center position of the small diameter roller 43a and the large diameter roller 43b) is preferably less than half the diameter Φ2 of the small diameter roller 43a. In this embodiment, for example, when Φ2 is 40 mm, the distance D1 is configured to be 15 mm. The scraper 35 peels the separator 61 from the dry film 5a by folding back the separator 61 laminated on the dry film 5a at an acute angle at the tip, and supplies the dry film layer 57 and resist layer 59 from which the separator 61 has been peeled to the lamination position Lp.

同様に、スクレーパー３７は、先端に向けて厚さが薄くなり先端が尖った形状に形成された平板状の部材であり、先端がシート基板３の下側のラミネート位置Ｌｐの近傍に位置するように配置されている。スクレーパー３７は、幅方向の寸法がシート基板３及びドライフィルム５ｂの幅方向の寸法と同等以上となるように形成されている。例えば、スクレーパー３７の先端とラミネート位置Ｌｐ（小径ローラー４５ａ及び大径ローラー４５ｂの中心位置）との搬送方向の距離Ｄ１は、小径ローラー４５ａの直径Φ２の半分以下であることが好ましい。本実施形態では、例えばΦ２が４０ｍｍの場合には距離Ｄ１は１５ｍｍとして構成されている。スクレーパー３７は、ドライフィルム５ｂに積層されたセパレーター６１を先端部で鋭角に折り返すことによりドライフィルム５ｂからセパレーター６１を剥離し、セパレーター６１を剥離したドライフィルム層５７及びレジスト層５９をラミネート位置Ｌｐに供給する。 Similarly, the scraper 37 is a flat member formed so that its thickness decreases toward the tip and its tip is sharpened, and is arranged so that its tip is located near the lamination position Lp on the lower side of the sheet substrate 3. The scraper 37 is formed so that its width dimension is equal to or greater than the width dimension of the sheet substrate 3 and the dry film 5b. For example, it is preferable that the distance D1 in the conveying direction between the tip of the scraper 37 and the lamination position Lp (the center position of the small diameter roller 45a and the large diameter roller 45b) is less than half the diameter Φ2 of the small diameter roller 45a. In this embodiment, for example, when Φ2 is 40 mm, the distance D1 is configured to be 15 mm. The scraper 37 peels off the separator 61 from the dry film 5b by folding back the separator 61 laminated on the dry film 5b at an acute angle at the tip, and supplies the dry film layer 57 and resist layer 59 from which the separator 61 has been peeled off to the lamination position Lp.

スクレーパー３５，３７により剥離されたセパレーター６１は、複数のローラーを介して搬送され、セパレーター巻き取り軸３９，４１にそれぞれ巻き取られる。セパレーター巻き取り軸３９，４１は、コントローラにより制御されるサーボモータ（図示省略）により駆動される。 The separator 61 peeled off by the scrapers 35 and 37 is transported via multiple rollers and wound up on the separator winding shafts 39 and 41, respectively. The separator winding shafts 39 and 41 are driven by servo motors (not shown) controlled by a controller.

なお、スクレーパー３５，３７はそれぞれ、アーム６７を介して回転軸６９を中心に回動可能に設置されており、シリンダー７１の伸縮駆動により、ラミネート位置ＬＰに対して進退させることが可能である。シリンダー７１が伸びた場合にはスクレーパー３５，３７はラミネート位置ＬＰに近接し、シリンダー７１が縮んだ場合にはスクレーパー３５，３７はラミネート位置ＬＰから離間する。例えば、ドライフィルム５ａ，５ｂの交換等のメンテナンス作業は、スクレーパー３５，３７をラミネート位置ＬＰから離間させた状態で行われる。 The scrapers 35 and 37 are each installed so as to be rotatable about a rotation axis 69 via an arm 67, and can be moved toward and away from the lamination position LP by the extension and retraction drive of the cylinder 71. When the cylinder 71 is extended, the scrapers 35 and 37 approach the lamination position LP, and when the cylinder 71 is retracted, the scrapers 35 and 37 move away from the lamination position LP. For example, maintenance work such as replacing the dry films 5a and 5b is performed with the scrapers 35 and 37 spaced away from the lamination position LP.

ラミネートローラー４３，４５は、搬送されるシート基板３の上下両側に配置されており、シート基板３を上下両側からクランプして、シート基板３の上下両側の表面にドライフィルム５ａ，５ｂ（ドライフィルム層５７及びレジスト層５９）を圧着する。 The laminating rollers 43, 45 are positioned above and below the sheet substrate 3 being transported, clamping the sheet substrate 3 from both the top and bottom, and pressing the dry films 5a, 5b (dry film layer 57 and resist layer 59) onto the surfaces of both the top and bottom of the sheet substrate 3.

ラミネートローラー４３は、シート基板３の上側に配置されており、シート基板３の上側の表面にドライフィルム５ａ（ドライフィルム層５７及びレジスト層５９）を圧着する。ラミネートローラー４３は、小径ローラー４３ａと、大径ローラー４３ｂとを有する。小径ローラー４３ａは、軸方向の寸法がシート基板３及びドライフィルム５ａの幅方向の寸法と同等以上となるように形成されており、ドライフィルム５ａのドライフィルム層５７に接触してシート基板３に圧着する。大径ローラー４３ｂは、軸方向の寸法が小径ローラー４３ａの軸方向の寸法と同等以上となるように形成されており、小径ローラー４３ａに対してシート基板３とは反対側で接触する。図３に示すように、大径ローラー４３ｂの直径Φ１は小径ローラー４３ａの直径Φ２よりも大きい。例えば、直径Φ１は直径Φ２の２倍以上であることが好ましい。本実施形態では、例えばΦ１は８０ｍｍ、Φ２は４０ｍｍとして構成されている。 The laminating roller 43 is disposed on the upper side of the sheet substrate 3, and presses the dry film 5a (the dry film layer 57 and the resist layer 59) onto the upper surface of the sheet substrate 3. The laminating roller 43 has a small diameter roller 43a and a large diameter roller 43b. The small diameter roller 43a is formed so that its axial dimension is equal to or greater than the widthwise dimensions of the sheet substrate 3 and the dry film 5a, and presses the dry film layer 57 of the dry film 5a onto the sheet substrate 3. The large diameter roller 43b is formed so that its axial dimension is equal to or greater than the axial dimension of the small diameter roller 43a, and contacts the small diameter roller 43a on the opposite side of the sheet substrate 3. As shown in FIG. 3, the diameter Φ1 of the large diameter roller 43b is larger than the diameter Φ2 of the small diameter roller 43a. For example, it is preferable that the diameter Φ1 is twice or more the diameter Φ2. In this embodiment, for example, Φ1 is configured to be 80 mm, and Φ2 is configured to be 40 mm.

大径ローラー４３ｂは、例えば強度が大きく、且つ、熱伝導率の高い金属材料で構成されており、小径ローラー４３ａを加熱するためのヒーター（図示省略）を内蔵している。小径ローラー４３ａは、例えば内側は金属材料で構成され、ドライフィルム層５７と接触する外側表面はゴム材料で構成されている。大径ローラー４３ｂにより小径ローラー４３ａを加熱することで、レジスト層５９を溶融させてドライフィルム層５７をシート基板３に熱圧着することができる。なお、小径ローラー４３ａは、内側に温水を通水させる配管（金属パイプ等）を内蔵してもよい。この場合には、大径ローラー４３ｂによる加熱に加えて、小径ローラー４３ａ自体を加熱することができるので、小径ローラー４３ａの表面温度をより精度良く一定温度に保持することができる。なお、小径ローラー４３ａは小径であるため剛性が小さいが、大径で剛性が大きな大径ローラー４３ｂがシート基板３とは反対側で小径ローラー４３ａを支持するため、小径ローラー４３ａを強度的にバックアップして小径ローラー４３ａの撓みを防止できる。 The large diameter roller 43b is made of, for example, a metal material having high strength and high thermal conductivity, and has a built-in heater (not shown) for heating the small diameter roller 43a. The small diameter roller 43a is made of, for example, a metal material on the inside, and a rubber material on the outside surface that comes into contact with the dry film layer 57. By heating the small diameter roller 43a with the large diameter roller 43b, the resist layer 59 can be melted and the dry film layer 57 can be thermocompressed to the sheet substrate 3. The small diameter roller 43a may have a built-in pipe (metal pipe, etc.) for passing hot water inside. In this case, in addition to heating by the large diameter roller 43b, the small diameter roller 43a itself can be heated, so that the surface temperature of the small diameter roller 43a can be kept constant with greater accuracy. Since the small diameter roller 43a has a small diameter, it has low rigidity, but the large diameter roller 43b, which has a large diameter and high rigidity, supports the small diameter roller 43a on the opposite side to the sheet substrate 3, providing strength to the small diameter roller 43a and preventing it from bending.

ラミネートローラー４５は、シート基板３の下側に配置されており、シート基板３の下側の表面にドライフィルム５ｂ（ドライフィルム層５７及びレジスト層５９）を圧着する。ラミネートローラー４５は、小径ローラー４５ａと、大径ローラー４５ｂとを有する。小径ローラー４５ａは、軸方向の寸法がシート基板３及びドライフィルム５ｂの幅方向の寸法と同等以上となるように形成されており、ドライフィルム５ｂのドライフィルム層５７に接触してシート基板３に圧着する。大径ローラー４５ｂは、軸方向の寸法が小径ローラー４５ａの軸方向の寸法と同等以上となるように形成されており、小径ローラー４５ａに対してシート基板３とは反対側で接触する。大径ローラー４５ｂの直径Φ１は小径ローラー４５ａの直径Φ２よりも大きい。例えば、直径Φ１は直径Φ２の２倍以上であることが好ましい。本実施形態では、例えばΦ１は８０ｍｍ、Φ２は４０ｍｍとして構成されている。 The laminating roller 45 is disposed below the sheet substrate 3 and presses the dry film 5b (the dry film layer 57 and the resist layer 59) onto the surface of the lower side of the sheet substrate 3. The laminating roller 45 has a small diameter roller 45a and a large diameter roller 45b. The small diameter roller 45a is formed so that its axial dimension is equal to or greater than the widthwise dimension of the sheet substrate 3 and the dry film 5b, and it contacts the dry film layer 57 of the dry film 5b and presses it onto the sheet substrate 3. The large diameter roller 45b is formed so that its axial dimension is equal to or greater than the axial dimension of the small diameter roller 45a, and it contacts the small diameter roller 45a on the opposite side to the sheet substrate 3. The diameter Φ1 of the large diameter roller 45b is larger than the diameter Φ2 of the small diameter roller 45a. For example, it is preferable that the diameter Φ1 is twice or more the diameter Φ2. In this embodiment, for example, Φ1 is configured to be 80 mm and Φ2 is configured to be 40 mm.

大径ローラー４５ｂは、例えば強度が大きく、且つ、熱伝導率の高い金属材料で構成されており、小径ローラー４５ａを加熱するためのヒーター（図示省略）を内蔵している。小径ローラー４５ａは、例えば内側は金属材料で構成され、ドライフィルム層５７と接触する外側表面はゴム材料で構成されている。大径ローラー４５ｂにより小径ローラー４５ａを加熱することで、レジスト層５９を溶融させてドライフィルム層５７をシート基板３に熱圧着することができる。なお、小径ローラー４５ａは、内側に温水を通水させる配管（金属パイプ等）を内蔵してもよい。この場合には、大径ローラー４５ｂによる加熱に加えて、小径ローラー４５ａ自体を加熱することができるので、小径ローラー４５ａの表面温度をより精度良く一定温度に保持することができる。なお、小径ローラー４５ａは小径であるため剛性が小さいが、大径で剛性が大きな大径ローラー４５ｂがシート基板３とは反対側で小径ローラー４５ａを支持するため、小径ローラー４５ａを強度的にバックアップして小径ローラー４５ａの撓みを防止できる。 The large diameter roller 45b is made of, for example, a metal material having high strength and high thermal conductivity, and has a built-in heater (not shown) for heating the small diameter roller 45a. The small diameter roller 45a is made of, for example, a metal material on the inside, and a rubber material on the outside surface that comes into contact with the dry film layer 57. By heating the small diameter roller 45a with the large diameter roller 45b, the resist layer 59 can be melted and the dry film layer 57 can be thermocompressed to the sheet substrate 3. The small diameter roller 45a may have a built-in piping (metal pipe, etc.) for passing hot water inside. In this case, in addition to heating by the large diameter roller 45b, the small diameter roller 45a itself can be heated, so that the surface temperature of the small diameter roller 45a can be kept constant with greater accuracy. Since the small diameter roller 45a has a small diameter, it has low rigidity, but the large diameter roller 45b, which has a large diameter and high rigidity, supports the small diameter roller 45a on the side opposite the sheet substrate 3, providing strength to the small diameter roller 45a and preventing it from bending.

なお、上記小径ローラー４３ａ，４５ａが第１ローラーの一例であり、大径ローラー４３ｂ，４５ｂが第２ローラーの一例である。 The small diameter rollers 43a and 45a are an example of a first roller, and the large diameter rollers 43b and 45b are an example of a second roller.

ラミネートローラー４３を構成する小径ローラー４３ａ及び大径ローラー４３ｂは、支持部材７３により回転可能に支持されており、ラミネートローラー４５を構成する小径ローラー４５ａ及び大径ローラー４５ｂは、支持部材７５により回転可能に支持されている。支持部材７３，７５はそれぞれ、シリンダー７７の伸縮駆動によりシート基板３に対して上下方向に移動する。ラミネートローラー４３，４５は、シート基板３が通過する際には互いに近づいてドライフィルム５ａ，５ｂを圧着し、圧着が終了した後次のシート基板３が到達するまでの間は互いに遠ざかって離間する。このようにして、ラミネートローラー４３，４５はシート基板３ごとに遠近動作を繰り返す。ラミネートローラー４３を構成する小径ローラー４３ａ及び大径ローラー４３ｂと、ラミネートローラー４５を構成する小径ローラー４５ａ及び大径ローラー４５ｂとは、コントローラにより制御されるサーボモータ７９により駆動される。 The small diameter roller 43a and the large diameter roller 43b constituting the laminating roller 43 are rotatably supported by the support member 73, and the small diameter roller 45a and the large diameter roller 45b constituting the laminating roller 45 are rotatably supported by the support member 75. The support members 73 and 75 each move vertically relative to the sheet substrate 3 by the expansion and contraction drive of the cylinder 77. The laminating rollers 43 and 45 approach each other when the sheet substrate 3 passes and press the dry films 5a and 5b together, and move away from each other until the next sheet substrate 3 arrives after the pressing is completed. In this way, the laminating rollers 43 and 45 repeat the movement toward and away from each other for each sheet substrate 3. The small diameter roller 43a and the large diameter roller 43b constituting the laminating roller 43 and the small diameter roller 45a and the large diameter roller 45b constituting the laminating roller 45 are driven by a servo motor 79 controlled by a controller.

ラミネートローラー４３，４５によりドライフィルム５ａ，５ｂ（ドライフィルム層５７及びレジスト層５９）を圧着されたラミネート基板７は、搬送装置２３により冷却ローラー４７，４９に向けて搬送される。 The laminate substrate 7, to which the dry films 5a, 5b (dry film layer 57 and resist layer 59) have been pressed by the laminating rollers 43, 45, is transported by the transport device 23 toward the cooling rollers 47, 49.

冷却ローラー４７，４９は、ラミネート基板７を挟むように上下に配置された一対のローラーとして構成されており、搬送されるラミネート基板７を上下両側からクランプして、ラミネート基板７を冷却する。冷却ローラー４７，４９は、例えば表面にフッ化炭素樹脂からなるチューブを設けた金属パイプとして構成されており、内部に冷媒を循環させることで表面温度が低い温度に保持されている。冷却ローラー４７，４９は、小径ローラー４３ａ，４５ａと冷却ローラー４７，４９との搬送方向の間隔がシート基板３の搬送方向の寸法Ｌよりも小さくなるように配置されている。冷却ローラー４７，４９は、コントローラにより制御されるサーボモータ８１により駆動される。冷却ローラー４７，４９は、当該冷却ローラー４７，４９がラミネート基板７を引き込む速度が、小径ローラー４３ａ，４５ａがラミネート基板７を押し出す速度よりも大きくなるように、回転速度を制御される。これにより、冷却ローラー４７，４９は、ラミネート基板７を冷却すると共に、ドライフィルム層５７及びレジスト層５９に引っ張り力を作用させる。これにより、シート基板３に圧着されたドライフィルム層５７にしわや弛みが生じていた場合でも、ドライフィルム層５７を伸ばした状態で、溶融させたレジスト層５９を固化させてシート基板３に固定することができる。 The cooling rollers 47, 49 are configured as a pair of rollers arranged above and below to sandwich the laminate substrate 7, and clamp the laminate substrate 7 being transported from both the top and bottom to cool the laminate substrate 7. The cooling rollers 47, 49 are configured as metal pipes with tubes made of fluorocarbon resin on the surface, for example, and the surface temperature is kept low by circulating a refrigerant inside. The cooling rollers 47, 49 are arranged so that the distance between the small diameter rollers 43a, 45a and the cooling rollers 47, 49 in the transport direction is smaller than the dimension L in the transport direction of the sheet substrate 3. The cooling rollers 47, 49 are driven by a servo motor 81 controlled by a controller. The rotation speed of the cooling rollers 47, 49 is controlled so that the speed at which the cooling rollers 47, 49 draw in the laminate substrate 7 is greater than the speed at which the small diameter rollers 43a, 45a push out the laminate substrate 7. As a result, the cooling rollers 47, 49 cool the laminate substrate 7 and apply a tensile force to the dry film layer 57 and the resist layer 59. As a result, even if the dry film layer 57 pressed against the sheet substrate 3 is wrinkled or loose, the melted resist layer 59 can be solidified and fixed to the sheet substrate 3 while the dry film layer 57 is stretched.

搬送装置２３は、サーボモーター（図示省略）により駆動される複数のローラーを有する。シート基板３，７の搬送速度や停止位置等は、サーボモーターを制御するコントローラー（図示省略）により制御される。冷却ローラー４７，４９により冷却されたラミネート基板７は、搬送装置２３により出口チャンバー１３に向けて搬送される。 The conveying device 23 has multiple rollers driven by a servo motor (not shown). The conveying speed and stopping position of the sheet substrates 3 and 7 are controlled by a controller (not shown) that controls the servo motor. The laminate substrate 7 cooled by the cooling rollers 47 and 49 is conveyed by the conveying device 23 toward the exit chamber 13.

出口チャンバー１３は、入口ゲート８３と出口ゲート８５を有すると共に、内部に搬送装置８７を有する。入口ゲート８３及び出口ゲート８５は、駆動装置（図示省略）により開閉される。出口チャンバー１３は、入口ゲート８３及び出口ゲート８５が閉鎖された状態で、真空チャンバー１１内と同程度まで減圧される。真空チャンバー１１においてラミネート基板７の冷却が完了すると、出口ゲート８５が閉鎖された状態のままで、入口ゲート８３が開放され、搬送装置２３，８７によりラミネート基板７が出口チャンバー１３に搬入される。搬入されたラミネート基板７は所定位置まで搬送されて停止され、入口ゲート８３が閉鎖される。その後、出口チャンバー１３の内部は大気圧に復帰され、入口ゲート８３が閉鎖された状態のままで出口ゲート８５が開放され、ラミネート基板７が外部に搬出される。 The exit chamber 13 has an entrance gate 83 and an exit gate 85, and also has a conveying device 87 inside. The entrance gate 83 and the exit gate 85 are opened and closed by a driving device (not shown). The exit chamber 13 is depressurized to the same level as the inside of the vacuum chamber 11 with the entrance gate 83 and the exit gate 85 closed. When cooling of the laminate substrate 7 is completed in the vacuum chamber 11, the entrance gate 83 is opened with the exit gate 85 closed, and the laminate substrate 7 is conveyed into the exit chamber 13 by the conveying devices 23 and 87. The conveyed laminate substrate 7 is conveyed to a predetermined position and stopped, and the entrance gate 83 is closed. The inside of the exit chamber 13 is then returned to atmospheric pressure, the exit gate 85 is opened with the entrance gate 83 closed, and the laminate substrate 7 is conveyed to the outside.

搬送装置８７は、サーボモーター（図示省略）により駆動される複数のローラーを有する。ラミネート基板７の搬送速度や停止位置等は、サーボモーターを制御するコントローラー（図示省略）により制御される。なお、入口チャンバー９の搬送装置２１、真空チャンバー１１の搬送装置２３、及び、出口チャンバー１３の搬送装置８７は、それぞれが独立して制御される。 The transport device 87 has multiple rollers driven by a servo motor (not shown). The transport speed and stopping position of the laminate substrate 7 are controlled by a controller (not shown) that controls the servo motor. The transport device 21 of the entrance chamber 9, the transport device 23 of the vacuum chamber 11, and the transport device 87 of the exit chamber 13 are each controlled independently.

＜２．実施形態の効果＞
以上説明したように、本実施形態に係るシート真空ラミネート装置１では、シート基板３とドライフィルム５ａ，５ｂ（ドライフィルム層５７及びレジスト層５９）を圧着するラミネートローラー４３，４５が、ドライフィルム層５７に接触してシート基板３に圧着する小径ローラー４３ａ，４５ａと、小径ローラー４３ａ，４５ａに対してシート基板３とは反対側で接触し、小径ローラー４３ａ，４５ａよりも直径が大きい大径ローラー４３ｂ，４５ｂを有する。ラミネートローラー４３，４５を大小２つのローラーで構成して小さい方の小径ローラー４３ａ，４５ａで圧着することにより、スクレーパー３５，３７の先端をラミネート位置Ｌｐに近づけることができる。 2. Effects of the embodiment
As described above, in the sheet vacuum laminating device 1 according to this embodiment, the laminating rollers 43, 45 that press the sheet substrate 3 and the dry films 5a, 5b (the dry film layer 57 and the resist layer 59) have small diameter rollers 43a, 45a that contact the dry film layer 57 and press it against the sheet substrate 3, and large diameter rollers 43b, 45b that contact the small diameter rollers 43a, 45a on the opposite side of the sheet substrate 3 and have a larger diameter than the small diameter rollers 43a, 45a. The laminating rollers 43, 45 are composed of two rollers, large and small, and are pressed with the smaller small diameter rollers 43a, 45a, so that the tips of the scrapers 35, 37 can be brought closer to the laminating position Lp.

例えば、図４にラミネートローラー４３を単一のローラー４３ｃで構成した場合の構造の一例を示す。この場合、熱圧着に必要な強度を確保するために、ローラー４３ｃの直径Φ３は比較的大きくなると考えられる。ローラー４３ｃの直径Φ３が大きいと、スクレーパー３５の先端とラミネート位置Ｌｐ（ローラー４３ｃの中心位置）との搬送方向の距離Ｄ２も、構造上、比較的大きくなる。例えばΦ３が８０ｍｍの場合には、距離Ｄ２は３０ｍｍ程度になると考えられる。一方で、ドライフィルム５ａ，５ｂはドライフィルム軸２７，２９においてロール状に巻かれた状態から引き出されるため、ロール状にカールする形状の癖が付いている場合がある。このため、図４に示したような単一のローラー構成の場合、距離Ｄ２が大きくなることに起因して、スクレーパー３５から引き出されたドライフィルム層５７及びレジスト層５９がカールし、シート基板３との貼り合わせ位置がずれてしまい、貼り合わせを良好に行えないおそれがある。 For example, FIG. 4 shows an example of the structure in which the lamination roller 43 is configured with a single roller 43c. In this case, the diameter Φ3 of the roller 43c is considered to be relatively large in order to ensure the strength required for thermocompression bonding. If the diameter Φ3 of the roller 43c is large, the distance D2 in the conveying direction between the tip of the scraper 35 and the lamination position Lp (the center position of the roller 43c) is also relatively large due to the structure. For example, when Φ3 is 80 mm, the distance D2 is considered to be about 30 mm. On the other hand, since the dry films 5a and 5b are pulled out from a state in which they are wound in a roll on the dry film shafts 27 and 29, they may have a tendency to curl into a roll shape. For this reason, in the case of a single roller configuration as shown in FIG. 4, the dry film layer 57 and resist layer 59 pulled out from the scraper 35 may curl due to the large distance D2, causing the lamination position with the sheet substrate 3 to shift, and there is a risk that the lamination cannot be performed well.

本実施形態では、図３に示すように、スクレーパー３５，３７の先端をラミネート位置Ｌｐに近づけることができるので、ドライフィルム５ａ，５ｂの形状癖による影響を低減でき、シート基板３とドライフィルム層５７及びレジスト層５９との貼り合わせを精度良く良好に行うことが可能となる。したがって、高品質なラミネート製品を製造できる。また、ドライフィルム５ａ，５ｂの形状癖による影響を低減する方法として、例えばラミネート位置Ｌｐ近傍にエアを噴出する機構を設け、ドライフィルム５ａ，５ｂに対してエアを噴出してカール状の癖を是正する構成が考えられる。しかしながら、この場合にはエアを噴出させるために真空度を高くすることができない。本実施形態では、エアの噴出の必要がないため、真空チャンバー１１の真空度を最大限まで高めることが可能である。 In this embodiment, as shown in FIG. 3, the tips of the scrapers 35 and 37 can be brought closer to the lamination position Lp, so that the influence of the shape quirks of the dry films 5a and 5b can be reduced, and the sheet substrate 3 can be bonded to the dry film layer 57 and the resist layer 59 with high accuracy. Therefore, a high-quality laminate product can be manufactured. In addition, as a method for reducing the influence of the shape quirks of the dry films 5a and 5b, for example, a mechanism for blowing air near the lamination position Lp can be provided to blow air onto the dry films 5a and 5b to correct the curled quirks. However, in this case, the degree of vacuum cannot be increased in order to blow air. In this embodiment, since there is no need to blow air, it is possible to maximize the degree of vacuum in the vacuum chamber 11.

また、ラミネートローラー４３，４５のうち、ドライフィルム層５７に当接して押圧する小径ローラー４３ａ，４５ａは表面が摩耗するため、定期的に交換が必要となる。本実施形態では、ラミネートローラー４３，４５を大小２つのローラーで構成するので、例えば大径ローラー４３ｂ，４５ｂについては支持部材７３，７５に対して固定的に設置してサーボモータ７９や減速機等と連結させる一方で、小径ローラー４３ａ，４５ａについては例えば大径ローラー４３ｂ，４５ｂに従動させる構造として、着脱しやすいように設置することが可能となる。したがって、小径ローラー４３ａ，４５ａのメンテナンス性を向上できる。 Of the laminating rollers 43, 45, the small diameter rollers 43a, 45a that contact and press against the dry film layer 57 have worn surfaces and therefore need to be replaced periodically. In this embodiment, the laminating rollers 43, 45 are composed of two rollers, one large and one small. For example, the large diameter rollers 43b, 45b are fixedly installed on the support members 73, 75 and connected to a servo motor 79 or a reducer, while the small diameter rollers 43a, 45a can be installed so as to be easily attached and detached, for example, by being structured to follow the large diameter rollers 43b, 45b. Therefore, the maintainability of the small diameter rollers 43a, 45a can be improved.

また、小径ローラー４３ａ，４５ａは小径であるため剛性が小さいが、大径で剛性が大きな大径ローラー４３ｂ，４５ｂがシート基板３とは反対側で小径ローラー４３ａ，４５ａを支持するため、小径ローラー４３ａ，４５ａを強度的にバックアップすることができる。したがって、小径ローラー４３ａ，４５ａの撓みを防止できる。 In addition, the small diameter rollers 43a and 45a have low rigidity due to their small diameter, but the large diameter rollers 43b and 45b, which have a large diameter and high rigidity, support the small diameter rollers 43a and 45a on the side opposite the sheet substrate 3, and therefore can back up the strength of the small diameter rollers 43a and 45a. Therefore, deflection of the small diameter rollers 43a and 45a can be prevented.

また、本実施形態のシート真空ラミネート装置１では、大径ローラー４３ｂ，４５ｂが小径ローラー４３ａ，４５ａを加熱するためのヒーターを内蔵している。これにより、加熱した小径ローラー４３ａ，４５ａによりドライフィルム５ａ，５ｂのレジスト層５９を溶融させてドライフィルム層５７をシート基板３に熱圧着することができる。また、大径ローラー４３ｂ，４５ｂにより小径ローラー４３ａ，４５ａの温度をバックアップできることから、小径ローラー４３ａ，４５ａに対するヒーターの設置が不要となり、小径ローラー４３ａ，４５ａを小径化できる。 In addition, in the sheet vacuum laminating device 1 of this embodiment, the large diameter rollers 43b, 45b have built-in heaters for heating the small diameter rollers 43a, 45a. This allows the resist layer 59 of the dry film 5a, 5b to melt with the heated small diameter rollers 43a, 45a, and the dry film layer 57 to be thermocompressed to the sheet substrate 3. In addition, since the large diameter rollers 43b, 45b can back up the temperature of the small diameter rollers 43a, 45a, it is not necessary to install heaters for the small diameter rollers 43a, 45a, and the diameter of the small diameter rollers 43a, 45a can be reduced.

また、本実施形態のシート真空ラミネート装置１では、小径ローラー４３ａ，４５ａが温水を通水させる配管を内蔵してもよい。この場合には、大径ローラー４３ｂ，４５ｂのヒーターによる加熱に加えて、小径ローラー４３ａ，４５ａ自体を加熱することができる。これにより、小径ローラー４３ａ，４５ａの表面温度をより精度良く一定温度に保持することができる。 In addition, in the sheet vacuum laminator 1 of this embodiment, the small diameter rollers 43a, 45a may have built-in piping for passing hot water. In this case, in addition to heating the large diameter rollers 43b, 45b by the heaters, the small diameter rollers 43a, 45a themselves can be heated. This makes it possible to more accurately maintain the surface temperature of the small diameter rollers 43a, 45a at a constant temperature.

また、本実施形態のシート真空ラミネート装置１では、ドライフィルム軸２７，２９から供給されたドライフィルム５ａ，５ｂをフィードローラー３１，３３によりラミネートローラー４３，４５に向けて押し出す。これにより、ドライフィルム５ａ，５ｂに作用するテンションを小さくすることができるので、ドライフィルム５ａ，５ｂに伸縮が生じるのを抑制できる。その結果、シート基板３とドライフィルム５ａ，５ｂの位置決め精度を向上できるので、シート基板３とドライフィルム層５７及びレジスト層５９を精度良く貼り合わせることができる。 In addition, in the sheet vacuum laminating device 1 of this embodiment, the dry films 5a and 5b supplied from the dry film shafts 27 and 29 are pushed toward the laminating rollers 43 and 45 by the feed rollers 31 and 33. This reduces the tension acting on the dry films 5a and 5b, thereby suppressing the expansion and contraction of the dry films 5a and 5b. As a result, the positioning accuracy of the sheet substrate 3 and the dry films 5a and 5b can be improved, so that the sheet substrate 3, the dry film layer 57, and the resist layer 59 can be bonded together with high accuracy.

また、本実施形態のシート真空ラミネート装置１では、フィードローラー３１，３３がドライフィルム５ａ，５ｂを押し出す速度が、小径ローラー４３ａ，４５ａがドライフィルム層５７及びレジスト層５９を引き込む速度と略等しくなるように、フィードローラー３１，３３の回転速度が制御される。これにより、ドライフィルム５ａ，５ｂに作用するテンションを０に近づけることができるので、シート基板３とドライフィルム層５７及びレジスト層５９の位置決め精度をさらに向上できる。 In addition, in the sheet vacuum laminator 1 of this embodiment, the rotation speed of the feed rollers 31, 33 is controlled so that the speed at which the feed rollers 31, 33 push out the dry films 5a, 5b is approximately equal to the speed at which the small diameter rollers 43a, 45a pull in the dry film layer 57 and resist layer 59. This allows the tension acting on the dry films 5a, 5b to approach zero, further improving the positioning accuracy of the sheet substrate 3 and the dry film layer 57 and resist layer 59.

また、本実施形態のシート真空ラミネート装置１では、冷却ローラー４７，４９により、シート基板３にドライフィルム層５７を熱圧着して生成したラミネート基板７を冷却すると共に、ドライフィルム層５７に引っ張り力を作用させる。これにより、シート基板３に圧着されたドライフィルム層５７にしわや弛みが生じていた場合でも、ドライフィルム層５７を伸ばした状態で、溶融させたレジスト層５９を固化させてシート基板３に固定することができる。したがって、ラミネート基板７におけるドライフィルム層５７の平滑性を確保でき、高品質なラミネート製品を製造できる。 In addition, in the sheet vacuum laminating device 1 of this embodiment, the cooling rollers 47, 49 cool the laminate substrate 7 produced by thermocompression bonding the dry film layer 57 to the sheet substrate 3, and apply a tensile force to the dry film layer 57. As a result, even if the dry film layer 57 bonded to the sheet substrate 3 is wrinkled or loose, the melted resist layer 59 can be solidified and fixed to the sheet substrate 3 while the dry film layer 57 is stretched. Therefore, the smoothness of the dry film layer 57 on the laminate substrate 7 can be ensured, and a high-quality laminate product can be manufactured.

また、本実施形態のシート真空ラミネート装置１では、冷却ローラー４７，４９が、小径ローラー４３ａ，４５ａと冷却ローラー４７，４９との間隔がシート基板３の搬送方向の寸法Ｌよりも小さくなるように配置されると共に、冷却ローラー４７，４９がラミネート基板７を引き込む速度が、小径ローラー４３ａ，４５ａがラミネート基板７を押し出す速度よりも大きくなるように、冷却ローラー４７，４９の回転速度が制御される。これにより、ドライフィルム層５７に対して引っ張り力を確実に作用させることができるので、ラミネート基板７におけるドライフィルム層５７の平滑性を確保でき、高品質なラミネート製品を製造できる。 In addition, in the sheet vacuum laminating device 1 of this embodiment, the cooling rollers 47, 49 are arranged so that the distance between the small diameter rollers 43a, 45a and the cooling rollers 47, 49 is smaller than the dimension L in the conveying direction of the sheet substrate 3, and the rotation speed of the cooling rollers 47, 49 is controlled so that the speed at which the cooling rollers 47, 49 pull the laminate substrate 7 is greater than the speed at which the small diameter rollers 43a, 45a push out the laminate substrate 7. This ensures that a tensile force is applied to the dry film layer 57, ensuring the smoothness of the dry film layer 57 on the laminate substrate 7 and producing a high-quality laminate product.

＜３．変形例＞
本発明は、以上説明した実施形態に限られるものではなく、その趣旨及び技術的思想を逸脱しない範囲内で種々の変形が可能である。 3. Modifications
The present invention is not limited to the above-described embodiment, and various modifications are possible without departing from the spirit and technical concept of the present invention.

例えば、以上ではシート基板３，７が入口チャンバー９及び出口チャンバー１３において一旦停止するようにしたが、停止させずに連続的に搬送しつつ、加圧及び減圧を行う構成としてもよい。 For example, in the above, the sheet substrates 3 and 7 are temporarily stopped in the entrance chamber 9 and the exit chamber 13, but the pressure and pressure may be applied while the substrates are continuously transported without stopping.

また、以上ではシート基板３の両面にドライフィルム５をラミネートする場合について説明したが、シート基板３の片面のみにドライフィルム５をラミネートする構成としてもよい。 In addition, although the above describes the case where the dry film 5 is laminated on both sides of the sheet substrate 3, the dry film 5 may be laminated on only one side of the sheet substrate 3.

また、以上既に述べた以外にも、上記実施形態や各変形例による手法を適宜組み合わせて利用しても良い。その他、一々例示はしないが、本発明は、その趣旨を逸脱しない範囲内において、種々の変更が加えられて実施されるものである。 In addition to what has already been described above, the methods according to the above embodiments and their variations may be used in appropriate combinations. Although not illustrated individually, the present invention may be implemented with various modifications within the scope of its spirit.

１シート真空ラミネート装置
３シート基板
５ａ，５ｂドライフィルム
１１真空チャンバー（チャンバーの一例）
２７，２９ドライフィルム軸
３１，３３フィードローラー
３５，３７スクレーパー
４３ラミネートローラー
４３ａ小径ローラー（第１ローラーの一例）
４３ｂ大径ローラー（第２ローラーの一例）
４５ラミネートローラー
４５ａ小径ローラー（第１ローラーの一例）
４５ｂ大径ローラー（第２ローラーの一例）
４７，４９冷却ローラー
５７ドライフィルム層
５９レジスト層
６１セパレーター
Ｌ寸法
1 Sheet vacuum lamination device 3 Sheet substrate 5a, 5b Dry film 11 Vacuum chamber (an example of a chamber)
27, 29 Dry film shaft 31, 33 Feed roller 35, 37 Scraper 43 Laminate roller 43a Small diameter roller (an example of a first roller)
43b Large diameter roller (an example of the second roller)
45 Lamination roller 45a Small diameter roller (an example of the first roller)
45b Large diameter roller (an example of the second roller)
47, 49 Cooling roller 57 Dry film layer 59 Resist layer 61 Separator L Dimension

Claims

真空ポンプにより減圧されるチャンバーと、
前記チャンバー内に設けられ、シート基板とドライフィルム層を圧着するラミネートローラーと、
前記ドライフィルム層に積層されたセパレーターを先端部で折り返すことにより前記ドライフィルム層から剥離し、前記セパレーターを剥離した前記ドライフィルム層を前記ラミネートローラーに供給するスクレーパーと、
前記チャンバー内に設けられ、前記セパレーター上の前記シート基板に対応する部分では前記ドライフィルム層が積層されそれ以外の部分では前記ドライフィルム層が除去されたドライフィルムを供給するドライフィルム軸と、
前記チャンバー内に設けられ、前記ドライフィルム軸から供給された前記ドライフィルムをクランプして前記ラミネートローラーに向けて押し出すフィードローラーと、
を有し、
前記ラミネートローラーは、
前記ドライフィルム層に接触して前記シート基板に圧着する第１ローラーと、
前記第１ローラーに対して前記シート基板とは反対側で接触し、前記第１ローラーよりも直径が大きい第２ローラーと、
を有し、
前記フィードローラーは、
当該フィードローラーが前記ドライフィルムを押し出す速度が、前記第１ローラーが前記ドライフィルム層を引き込む速度と略等しくなるように、回転速度を制御され、
前記スクレーパーの先端と、前記第１ローラーが前記ドライフィルム層を前記シート基板に圧着する位置と、の前記シート基板の搬送方向の距離は、前記第１ローラーの直径の半分以下であり、
前記第２ローラーの直径は前記第１ローラーの直径の２倍以上である
ことを特徴とするシート真空ラミネート装置。 a chamber that is depressurized by a vacuum pump;
a lamination roller provided in the chamber for pressing the sheet substrate and the dry film layer together;
a scraper that peels off the separator laminated on the dry film layer from the dry film layer by folding back a tip portion of the separator and supplies the dry film layer from which the separator has been peeled off to the lamination roller;
a dry film shaft provided within the chamber and configured to supply a dry film having the dry film layer laminated on a portion of the separator corresponding to the sheet substrate and the dry film layer removed from the other portion;
a feed roller provided in the chamber for clamping the dry film fed from the dry film shaft and pushing the dry film toward the lamination roller;
having
The lamination roller is
a first roller that contacts the dry film layer and presses it against the sheet substrate;
a second roller that contacts the first roller on the opposite side to the sheet substrate and has a larger diameter than the first roller;
having
The feed roller is
The rotation speed of the feed roller is controlled so that the speed at which the dry film is pushed out is approximately equal to the speed at which the first roller draws in the dry film layer ;
a distance between a tip of the scraper and a position where the first roller presses the dry film layer onto the sheet substrate in a conveying direction of the sheet substrate is equal to or less than half a diameter of the first roller;
The diameter of the second roller is at least twice the diameter of the first roller.
A sheet vacuum lamination apparatus comprising:

前記第２ローラーは、
前記第１ローラーを加熱するためのヒーターを内蔵している
ことを特徴とする請求項１に記載のシート真空ラミネート装置。 The second roller is
2. The sheet vacuum laminating apparatus according to claim 1, further comprising a built-in heater for heating the first roller.

前記第１ローラーは、
温水を通水させる配管を内蔵している
ことを特徴とする請求項２に記載のシート真空ラミネート装置。 The first roller is
3. The sheet vacuum laminating apparatus according to claim 2, further comprising a built-in pipe for passing hot water.

前記ラミネートローラーにより圧着された前記シート基板及び前記ドライフィルム層を冷却すると共に、前記ドライフィルム層に引っ張り力を作用させる冷却ローラーをさらに有する
ことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載のシート真空ラミネート装置。 A sheet vacuum lamination apparatus as described in any one of claims 1 to 3, further comprising a cooling roller that cools the sheet substrate and the dry film layer pressed by the lamination roller and applies a tensile force to the dry film layer.

前記冷却ローラーは、
前記第１ローラーと前記冷却ローラーとの間隔が前記シート基板の搬送方向の寸法よりも小さくなるように配置され、
前記冷却ローラーが前記シート基板及び前記ドライフィルム層を引き込む速度が、前記第１ローラーが前記シート基板及び前記ドライフィルム層を押し出す速度よりも大きくなるように、回転速度を制御される
ことを特徴とする請求項４に記載のシート真空ラミネート装置。 The cooling roller is
a gap between the first roller and the cooling roller is smaller than a dimension of the sheet substrate in a transport direction;
5. The sheet vacuum laminating apparatus of claim 4, wherein the rotational speed of the cooling roller is controlled so that the speed at which the sheet substrate and the dry film layer are drawn in is greater than the speed at which the first roller extrudes the sheet substrate and the dry film layer.