JP7468145B2 - 液体吐出ヘッド、吐出ユニット、液体を吐出する装置 - Google Patents
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Description
本発明は液体吐出ヘッド、吐出ユニット、液体を吐出する装置に関する。
液体を吐出する液体吐出ヘッドとして、ノズルを形成したノズル板、ノズルが通じる圧力室（個別液室）、圧力室の壁面を形成する振動板などを積層して接着剤で接合したものがある。
従来、振動板の組立用基準穴を組立用ガイドピンよりも小さくし、ガイドピンを組立用基準穴に圧入嵌合したものが知られている（特許文献１）。
しかしながら、特許文献１に開示の構成にあっては、振動板の組立用基準穴の周辺の変形不良が発生することで位置決め精度が低下するおそれがあるという課題がある。
本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、位置決め精度を向上することを目的とする。
上記の課題を解決するため、本発明に係る液体吐出ヘッドは、
少なくとも第１層及び第２層を含み、位置決め用の貫通穴が設けられた薄膜部材を備え、
前記第１層には前記貫通穴を構成する第１開口が設けられ、
前記第２層には前記貫通穴を構成する前記第１開口よりも大きい第２開口が設けられ、
前記第１層の前記第１開口の周辺部が前記第２層の前記第２開口の壁面に密着した状態に変形している
構成とした。
少なくとも第１層及び第２層を含み、位置決め用の貫通穴が設けられた薄膜部材を備え、
前記第１層には前記貫通穴を構成する第１開口が設けられ、
前記第２層には前記貫通穴を構成する前記第１開口よりも大きい第２開口が設けられ、
前記第１層の前記第１開口の周辺部が前記第２層の前記第２開口の壁面に密着した状態に変形している
構成とした。
本発明によれば、位置決め精度を向上できる。
以下、本発明の実施形態について添付図面を参照して説明する。本発明の第１実施形態について図１ないし図３を参照して説明する。図１は同実施形態に係る液体吐出ヘッドの分解斜視説明図、図２は同じく図１のＡ－Ａ線に沿うノズル配列方向と直交する方向に沿う断面説明図、図３は同じくノズル配列方向に沿う断面説明図である。
液体吐出ヘッド１００は、ノズル板１０と、流路板２０と、壁面部材としての振動板部材３０とを積層接合している。そして、振動板部材３０の振動領域（ダイアフラム領域、振動板ともいう。）３１を変位させる圧電アクチュエータ４０と、液体吐出ヘッド１００のフレーム部材を兼ねている共通流路部材５０とを備えている。
ノズル板１０は、複数のノズル１１を配列したノズル列を有している。
流路板２０は、複数のノズル１１に通じる複数の圧力室２１、各圧力室２１にそれぞれ通じる流体抵抗部を兼ねる個別供給流路２２、１又は複数の個別供給流路２２に通じる１又は複数の中間供給流路２４を形成している。隣り合う圧力室２１、２１は隔壁２８にて隔てられている。
振動板部材３０は、流路板２０の圧力室２１の壁面を形成する復元可能に変位する複数の振動領域３１を有する。ここでは、振動板部材３０は２層構造（限定されない）とし、流路板２０側から薄肉部を形成する第１層３０Ａと、厚肉部を形成する第２層３０Ｂで構成されている。
そして、薄肉部である第１層３０Ａで圧力室２１に対応する部分に変形可能な振動領域３１を形成している。振動領域３１内には、第２層３０Ｂで圧電アクチュエータ４０と接合する厚肉部である島状の凸部３１ａを形成している。
振動板部材３０の圧力室２１とは反対側に、振動板部材３０の振動領域３１を変形させる駆動手段（アクチュエータ手段、圧力発生手段）としての電気機械変換素子（圧電素子４２）を含む圧電アクチュエータ４０を配置している。
この圧電アクチュエータ４０は、ベース部材４５上に接合した圧電部材４１にハーフカットダイシングによって溝加工をして、ノズル配列方向において、所要数の柱状の圧電素子４２と支柱部４３を所定の間隔で櫛歯状に形成している。
圧電素子４２は、駆動電圧を与えることで振動領域３１を変位させる圧電素子である。支柱部４３は、駆動電圧を与えないで圧力室２１，２１間の隔壁２８を支える圧電素子である。
そして、圧電素子４２は、振動板部材３０の振動領域３１の凸部３１ａに接着剤で接合している。支柱部４３は、振動板部材３０の隔壁２８に対応する部位に接着剤で接合している。
この圧電部材４１は、圧電層と内部電極とを交互に積層したものであり、内部電極がそれぞれ端面に引き出されて外部電極（端面電極）に接続され、外部電極にフレキシブル配線部材４６が接続される。配線部材４６にはドライバＩＣ４７が実装されている。
共通流路部材５０は共通供給流路５６を形成している。共通供給流路５６は、振動板部材３０に設けた開口部３９を介して中間供給流路２４に通じている。共通供給流路５６には外部から液体を供給する供給ポート８１が通じている。
この液体吐出ヘッド１００においては、例えば圧電素子４２に与える電圧を基準電位（中間電位）から下げることによって圧電素子４２が収縮し、振動板部材３０の振動領域３１が引かれて圧力室２１の容積が膨張することで、圧力室２１内に液体が流入する。
その後、圧電素子４２に印加する電圧を上げて圧電素子４２を積層方向に伸長させ、振動板部材３０の振動領域３１をノズル１１に向かう方向に変形させて圧力室２１の容積を収縮させる。これにより、圧力室２１内の液体が加圧され、ノズル１１から液体が吐出される。
次に、流路板と振動板部材との接着剤接合について図４を参照して説明する。図４は同説明に供する説明図である。
図１に示すように、流路板２０のノズル配列方向の両端部には位置決め用貫通穴２５が設けられている。振動板部材３０のノズル配列方向の両端部には位置決め用貫通穴３５が設けられている。
そこで、流路板と振動板部材との接着剤接合するときには、例えば、図４に示すように、接着剤３０２を塗布した流路板２０を、位置決め用貫通穴２５に治具３００の位置決めピン３０１、３０１を挿通して、治具３００にセットする。
そして、振動板部材３０の第１層３０Ａ側を接合面として、位置決め用貫通穴２５に位置決めピン３０１、３０１に挿通して、流路板２０に振動板部材３０を重ね、接着剤３０２で接合する。
次に、本発明の第１実施形態における薄膜部材としての振動板部材の位置決め用貫通穴について図５及び図６を参照して説明する。図５は同振動板部材の位置決め用貫通穴の部分の平面説明図、図６は同じく断面説明図である。
振動板部材３０は、前述したように、第１層３０Ａと第２層３０Ｂとで構成している。振動板部材３０は、例えばニッケル電鋳により、薄腹部（振動領域３１）を構成する第１層３０Ａを析出した後、第１層３０Ａに第２層３０Ｂ以外の部分にレジストパターンを成膜した第２層３０Ｂを積層して形成したものである。
つまり、本実施形態では、薄膜部材の第１層及び第２層は一体のものであるが、異なる層、例えば第１層となる金属層と第２層となる樹脂層とを接合した構成でもよい。また、本実施形態の振動板部材３０は、第１層３０Ａを３μｍ厚さ、第２層３０Ｂを７μｍ厚さとしているが、これに限定されるものではない。
第１層３０Ａには、位置決め用貫通穴３５の一部を構成する貫通穴としての第１開口３５Ａが設けられている。第２層３０Ｂには、位置決め用貫通穴３５の一部を構成する貫通穴としての第２開口３５Ｂが設けられている。
ここで、第１開口３５Ａの径Ｄ１よりも第２開口３５Ｂの径Ｄ２を大きくして、第２層３０Ｂの第２開口３５Ｂを第１層３０Ａの第１開口３５Ａの開口よりも大きくしている。つまり、第２層３０Ｂには貫通穴３５を構成する第１開口３５Ａよりも大きい第２開口３５Ｂが設けられている。
次に、本実施形態の作用について図７も参照して説明する。図７は同作用説明に供する断面説明図である。
ここでは、図７に示すように、第１開口３５Ａの径Ｄ１よりも若干大きな径Ｄｐの位置決めピン３０１を使用している。
振動板部材３０の貫通穴３５内に位置決めピン３０１を挿入すると、第１層３０Ａの第１開口３５Ａの周辺部３０ａが、位置決めピン３０１が嵌合して、第２層３０Ｂの第２開口３５Ｂ側に向けて変形する。
このとき、第２層３０Ｂの第２開口３５Ｂは第１層３０Ａの第１開口３５Ａよりも大きいので、第１層３０Ａの第１開口３５Ａの周辺部３０ａの変形による力が、第２層３０Ｂに作用しないので、第２層３０Ｂの変形を抑制して位置決めできる。これにより、位置決め精度を向上する。
また、振動板部材３０の振動する部位である薄肉部（振動領域３１）を第１層３０Ａとして採用して上記第１開口３５Ａを形成したことで、薄肉部の振動（変形性）の機能を位置決めピン挿入時の変形にも適用させることができる。
本実施形態においては、第１層３０Ａ及び第２層３０Ｂを含み、第１層３０には貫通穴３５を構成する第１開口３５Ａが設けられ、第２層３０Ｂには貫通穴３５を構成する第１開口３５Ａよりも大きい第２開口３５Ｂが設けられている薄膜部材としての振動板部材３０、及び、振動板部材３０と接合する流路板２０の少なくともいずれかに接着剤３０２を塗布する工程と、振動板部材３０の貫通穴３５に対し、第１開口３５Ａ側から位置決めピン３０１を嵌め入れる工程と、流路板２０の位置決め用貫通穴２５に位置決めピン３０１を嵌め入れる工程と、を行い、振動板部材３０と流路板２０と接着材３０２で接合する液体吐出ヘッドの製造方法を行っている。
次に、本発明の第２実施形態について図８を参照して説明する。図８は同実施形態における振動板部材の位置決め用貫通穴の部分を作用説明とともに示す断面説明図である。
本実施形態では、位置決めピン３０１を位置決め用貫通穴３５に挿入したときに、第１層３０の第１開口３５Ａの周辺部３０ａの変形部分を位置決めピン３０１の周面と第２層３０Ｂの第２開口３５Ｂとの間に挟んで位置決めする構成としている。
つまり、図８（ａ）に示すように、第１層３０Ａに第１開口３５Ａを、第２層３０Ｂに第１開口３５Ａよりも大きい第２開口３５Ｂを有する振動板部材３０を使用する。そして、図８（ｂ）に示すように、振動板部材３０の位置決め用貫通穴３５に対し第１層３０Ａの第１開口３５Ａ側から位置決めピン３０１を挿入する。
この位置決めピン３０１の挿入に伴って、第１層３０Ａの第１開口３５Ａの周辺部３０ａが位置決めピン３０１の挿入方向（第２層３０Ｂの第２開口３５Ｂ側）に変形される。そして、図８（ｃ）に示すように、第１層３０の第１開口３５Ａの周辺部３０ａが位置決めピン３０１の周面と第２層３０Ｂの第２開口３５Ｂとの間に挟まれる。
このように、第１層３０の第１開口３５Ａの周辺部３０ａが位置決めピン３０１の周面と第２層３０Ｂの第２開口３５Ｂとの間に挟まれることで、位置決めピン３０１を挿入した後の位置ずれが生じにくくなる。
また、前記第１実施形態と同様に、振動板部材３０の振動する部位である薄肉部（振動領域３１）を第１層３０Ａとして採用して上記第１開口３５Ａを形成したことで、薄肉部の振動（変形性）の機能を位置決めピン挿入時の変形にも適用させることができる。
ここで、振動板部材３０の第２層３０Ｂの厚さについて説明すると、上記各実施形態で説明したように、第１層３０Ａの第１開口３５Ａの周辺部３０ａが第２層３０Ｂの第２開口３５Ｂ内に変形させる。
したがって、第２層３０Ｂの厚さは、変形した第１層３０Ａの周辺部３０ａが第２層３０Ｂの第１層３０Ａ側、すなわち、本実施形態では共通流路部材５０と接合する面側に突き出さない厚さとする。
次に、本発明の第３実施形態について図９及び図１０を参照して説明する。図９は同実施形態における振動板部材の位置決め用貫通穴の部分の平面説明図、図１０は同じく断面説明図である。
本実施形態では、第１層３０Ａの第１開口３５Ａの周辺部３０ａに、切込み部（切欠部）３６を設けている。
ここでは、第１開口３５Ａの周囲４カ所に切込み部３６をほぼ等間隔で設けているが、切込み部３６の個数及び間隔について、これに限るものではない。
また、第１開口３５Ａの径方向における切込み部３６の深さは、第１層３０Ａのみで構成される周辺部３０ａの領域（図１０の領域ａ）内とすることが好ましい。
このように構成したので、位置決めピン３０１が位置決め用貫通穴３５に挿入され、第１層３０Ａの周辺部３０ａが第２層３０Ｂの第２開口３５Ｂ側に変形するとき、変形が容易になるとともに、周方向における変形がほぼ均等になりやすい。
これにより、位置決め精度がより向上する。
次に、本発明の第４実施形態について図１１を参照して説明する。図１１は同実施形態における振動板部材の位置決め用貫通穴の部分の説明図であり、（ａ）は平面説明図、（ｂ）は（ａ）の拡大平面図である。
本実施形態では、切込み部３６の角部分３６ａ、３６ｂはアール形状としている。
これにより、第１開口３５Ａの周辺部３０ａが位置決めピン３０１の挿入によって変形するとき、角部分３６ａ、３６ｂから破断することを抑制できる。
次に、本発明の第５実施形態について図１２を参照して説明する。図１２は同実施形態における振動板部材の位置決め用貫通穴の部分の平面説明図である。
本実施形態では、切込み部３６は、面内方向で、第１開口３５Ａに向かって拡開する形状としている。言い換えれば、第１開口３５Ａの周辺部３０ａは、切込み部３６以外の部分が第１開口３５Ａに向かって狭まる形状としている。
これにより、第１開口３５Ａの周辺部３０ａが位置決めピン３０１の挿入によって変形するとき、変形がより容易になるとともに、周方向における変形がほぼ均等になる。
次に、本発明の第６実施形態について図１３を参照して説明する。図１３は同実施形態における振動板部材の位置決め用貫通穴の部分の平面説明図である。
本実施形態では、切込み部３６は、面内方向で、第１開口３５Ａに向かって狭まる形状としている。言い換えれば、第１開口３５Ａの周辺部３０ａは、切込み部３６以外の部分が第１開口３５Ａに向かって拡開する形状としている。
これにより、第１開口３５Ａの周辺部３０ａが位置決めピン３０１の挿入によって変形するとき、変形がより容易になるとともに、周方向における変形がほぼ均等になる。
なお、上記各実施形態では、振動板部材が２層構造の例で説明しているが、例えば３層構造とすることもでき、この場合も流路板側の一層目を第１層とし、二層目、三層目を第２層として上記各実施形態を適用すればよい。また、薄膜部材は振動板部材に限るものではなく、ノズル板や流路板を複層構造とする場合も同様に適用することができる。また、上記各実施形態は、矛盾しない限り、相互に組み合わせることができる。
次に、本発明に係る液体を吐出する装置としての印刷装置の一例について図１４及び図１５を参照して説明する。図１３は同装置の概略説明図、図１４は同装置のヘッドユニットの一例の平面説明図である。
印刷装置５００は、液体を吐出する装置である。印刷装置５００は、搬入手段５０１と、案内搬送手段５０３と、印刷手段５０５と、乾燥手段５０７と、搬出手段５０９などを備えている。
搬入手段５０１は、ウェブ状のシート材Ｐを搬入する。案内搬送手段５０３は、搬入手段５０１から搬入されたシート材Ｐを印刷手段５０５に案内搬送する。印刷手段５０５は、シート材Ｐに対して液体を吐出して画像を形成する印刷を行う。乾燥手段５０７は、シート材Ｐを乾燥する。搬出手段５０９は、シート材Ｐを搬出する。
シート材Ｐは搬入手段５０１の元巻きローラ５１１から送り出され、搬入手段５０１、案内搬送手段５０３、乾燥手段５０７、搬出手段５０９の各ローラによって案内、搬送されて、搬出手段５０９の巻取りローラ５９１にて巻き取られる。
このシート材Ｐは、印刷手段５０５において、吐出ユニットであるヘッドユニット５５０に対向して搬送され、ヘッドユニット５５０から吐出される液体によって画像が印刷され、ヘッドユニット５５５から吐出される処理液で後処理が行われる。
ここで、ヘッドユニット５５０には、例えば、搬送方向上流側から、４色分のフルライン型ヘッドアレイ５５１Ａ、５５１Ｂ、５５１Ｃ、５５１Ｄ（以下、色の区別しないときは「ヘッドアレイ５５１」という。）が配置されている。
各ヘッドアレイ５５１は、液体吐出手段であり、それぞれ、搬送される連続体５１０に対してブラックＫ，シアンＣ、マゼンタＭ、イエローＹの液体を吐出する。なお、色の種類及び数はこれに限るものではない。
ヘッドアレイ５５１は、例えば、本発明に係る液体吐出ヘッド１００をベース部材５５２上に千鳥状に並べて配置したものであるが、これに限らない。
次に、本発明に係る液体を吐出する装置としての印刷装置の他の例について図１６及び図１７を参照して説明する。図１６は同装置の要部平面説明図、図１７は同装置の要部側面説明図である。
この印刷装置５００は、シリアル型装置であり、主走査移動機構４９３によって、キャリッジ４０３は主走査方向に往復移動する。主走査移動機構４９３は、ガイド部材４０１、主走査モータ４０５、タイミングベルト４０８等を含む。ガイド部材４０１は、左右の側板４９１Ａ、４９１Ｂに架け渡されてキャリッジ４０３を移動可能に保持している。そして、主走査モータ４０５によって、駆動プーリ４０６と従動プーリ４０７間に架け渡したタイミングベルト４０８を介して、キャリッジ４０３は主走査方向に往復移動される。
このキャリッジ４０３には、本発明に係る液体吐出ヘッド１００及びヘッドタンク４４１を一体にした吐出ユニットである液体吐出ユニット４４０を搭載している。液体吐出ユニット４４０の液体吐出ヘッド１００は、例えば、イエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、ブラック（Ｋ）の各色の液体を吐出する。また、液体吐出ヘッド１００は、複数のノズルからなるノズル列を主走査方向と直交する副走査方向に配置し、吐出方向を下方に向けて装着している。
液体吐出ヘッド１００は、前述した液体循環装置６００と接続されて、所要の色の液体が循環供給される。
この印刷装置５００は、用紙４１０を搬送するための搬送機構４９５を備えている。搬送機構４９５は、搬送手段である搬送ベルト４１２、搬送ベルト４１２を駆動するための副走査モータ４１６を含む。
搬送ベルト４１２は用紙４１０を吸着して液体吐出ヘッド１００に対向する位置で搬送する。この搬送ベルト４１２は、無端状ベルトであり、搬送ローラ４１３と、テンションローラ４１４との間に掛け渡されている。吸着は静電吸着、あるいは、エアー吸引などで行うことができる。
そして、搬送ベルト４１２は、副走査モータ４１６によってタイミングベルト４１７及びタイミングプーリ４１８を介して搬送ローラ４１３が回転駆動されることによって、副走査方向に周回移動する。
さらに、キャリッジ４０３の主走査方向の一方側には搬送ベルト４１２の側方に液体吐出ヘッド１００の維持回復を行う維持回復機構４２０が配置されている。
維持回復機構４２０は、例えば液体吐出ヘッド１００のノズル面（ノズルが形成された面）をキャッピングするキャップ部材４２１、ノズル面を払拭するワイパ部材４２２などで構成されている。
主走査移動機構４９３、維持回復機構４２０、搬送機構４９５は、側板４９１Ａ，４９１Ｂ、背板４９１Ｃを含む筐体に取り付けられている。
このように構成したこの印刷装置５００においては、用紙４１０が搬送ベルト４１２上に給紙されて吸着され、搬送ベルト４１２の周回移動によって用紙４１０が副走査方向に搬送される。
そこで、キャリッジ４０３を主走査方向に移動させながら画像信号に応じて液体吐出ヘッド１００を駆動することにより、停止している用紙４１０に液体を吐出して画像を形成
する。
する。
次に、本発明に係る液体吐出ユニットの他の例について図１８を参照して説明する。図１８は同ユニットの要部平面説明図である。
この液体吐出ユニット４４０、前記液体を吐出する装置を構成している部材のうち、側板４９１Ａ、４９１Ｂ及び背板４９１Ｃで構成される筐体部分と、主走査移動機構４９３と、キャリッジ４０３と、液体吐出ヘッド１００で構成されている。
なお、この液体吐出ユニット４４０の例えば側板４９１Ｂに、前述した維持回復機構４２０を更に取り付けた液体吐出ユニットを構成することもできる。
次に、本発明に係る液体吐出ユニットの更に他の例について図１９を参照して説明する。図１９は同吐出ユニットの正面説明図である。
この液体吐出ユニット４４０は、流路部品４４４が取付けられた液体吐出ヘッド１００と、流路部品４４４に接続されたチューブ４５６で構成されている。
なお、流路部品４４４はカバー４４２の内部に配置されている。流路部品４４４に代えてヘッドタンク４４１を含むこともできる。また、流路部品４４４の上部には液体吐出ヘッド１００と電気的接続を行うコネクタ４４３が設けられている。
本願において、吐出される液体は、ヘッドから吐出可能な粘度や表面張力を有するものであればよく、特に限定されないが、常温、常圧下において、または加熱、冷却により粘度が３０ｍＰａ・ｓ以下となるものであることが好ましい。より具体的には、水や有機溶媒等の溶媒、染料や顔料等の着色剤、重合性化合物、樹脂、界面活性剤等の機能性付与材料、ＤＮＡ、アミノ酸やたんぱく質、カルシウム等の生体適合材料、天然色素等の可食材料、などを含む溶液、懸濁液、エマルジョンなどであり、これらは例えば、インクジェット用インク、表面処理液、電子素子や発光素子の構成要素や電子回路レジストパターンの形成用液、３次元造形用材料液等の用途で用いることができる。
液体を吐出するエネルギー発生源として、圧電アクチュエータ（積層型圧電素子及び薄膜型圧電素子）、発熱抵抗体などの電気熱変換素子を用いるサーマルアクチュエータ、振動板と対向電極からなる静電アクチュエータなどを使用するものが含まれる。
「液体吐出ユニット」は、液体吐出ヘッドに機能部品、機構が一体化したものであり、液体の吐出に関連する部品の集合体が含まれる。例えば、「液体吐出ユニット」は、ヘッドタンク、キャリッジ、供給機構、維持回復機構、主走査移動機構、液体循環装置の構成の少なくとも一つを液体吐出ヘッドと組み合わせたものなどが含まれる。
ここで、一体化とは、例えば、液体吐出ヘッドと機能部品、機構が、締結、接着、係合などで互いに固定されているもの、一方が他方に対して移動可能に保持されているものを含む。また、液体吐出ヘッドと、機能部品、機構が互いに着脱可能に構成されていても良い。
例えば、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドとヘッドタンクが一体化されているものがある。また、チューブなどで互いに接続されて、液体吐出ヘッドとヘッドタンクが一体化されているものがある。ここで、これらの液体吐出ユニットのヘッドタンクと液体吐出ヘッドとの間にフィルタを含むユニットを追加することもできる。
また、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドとキャリッジが一体化されているものがある。
また、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドを走査移動機構の一部を構成するガイド部材に移動可能に保持させて、液体吐出ヘッドと走査移動機構が一体化されているものがある。また、液体吐出ヘッドとキャリッジと主走査移動機構が一体化されているものがある。
また、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドが取り付けられたキャリッジに、維持回復機構の一部であるキャップ部材を固定させて、液体吐出ヘッドとキャリッジと維持回復機構が一体化されているものがある。
また、液体吐出ユニットとして、ヘッドタンク若しくは流路部品が取付けられた液体吐出ヘッドにチューブが接続されて、液体吐出ヘッドと供給機構が一体化されているものがある。このチューブを介して、液体貯留源の液体が液体吐出ヘッドに供給される。
主走査移動機構は、ガイド部材単体も含むものとする。また、供給機構は、チューブ単体、装填部単体も含むものする。
「液体を吐出する装置」には、液体吐出ヘッド又は液体吐出ユニットを備え、液体吐出ヘッドを駆動させて液体を吐出させる装置が含まれる。液体を吐出する装置には、液体が付着可能なものに対して液体を吐出することが可能な装置だけでなく、液体を 気中や液中に向けて吐出する装置も含まれる。
この「液体を吐出する装置」は、液体が付着可能なものの給送、搬送、排紙に係わる手段、その他、前処理装置、後処理装置なども含むことができる。
例えば、「液体を吐出する装置」として、インクを吐出させて用紙に画像を形成する装置である画像形成装置、立体造形物（三次元造形物）を造形するために、粉体を層状に形成した粉体層に造形液を吐出させる立体造形装置（三次元造形装置）がある。
また、「液体を吐出する装置」は、吐出された液体によって文字、図形等の有意な画像が可視化されるものに限定されるものではない。例えば、それ自体意味を持たないパターン等を形成するもの、三次元像を造形するものも含まれる。
上記「液体が付着可能なもの」とは、液体が少なくとも一時的に付着可能なものであって、付着して固着するもの、付着して浸透するものなどを意味する。具体例としては、用紙、記録紙、記録用紙、フィルム、布などの被記録媒体、電子基板、圧電素子などの電子部品、粉体層（粉末層）、臓器モデル、検査用セルなどの媒体であり、特に限定しない限り、液体が付着するすべてのものが含まれる。
上記「液体が付着可能なもの」の材質は、紙、糸、繊維、布帛、皮革、金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックスなど液体が一時的でも付着可能であればよい。
また、「液体を吐出する装置」は、液体吐出ヘッドと液体が付着可能なものとが相対的に移動する装置があるが、これに限定するものではない。具体例としては、液体吐出ヘッドを移動させるシリアル型装置、液体吐出ヘッドを移動させないライン型装置などが含まれる。
また、「液体を吐出する装置」としては、他にも、用紙の表面を改質するなどの目的で用紙の表面に処理液を塗布するために処理液を用紙に吐出する処理液塗布装置、原材料を溶液中に分散した組成液を、ノズルを介して噴射させて原材料の微粒子を造粒する噴射造粒装置などがある。
なお、本願の用語における、画像形成、記録、印字、印写、印刷、造形等はいずれも同義語とする。
１０ ノズル板
１１ ノズル
２０ 流路板
２１ 圧力室
３０ 振動板部材
３０Ａ 第１層
３０Ｂ 第２層
３５ 貫通穴
３５Ａ 第１開口
３５Ｂ 第２開口
３０ａ 周辺部
４０ 圧電アクチュエータ
５０ 共通流路部材
５６ 共通流路
１００ 液体吐出ヘッド
４０３ キャリッジ
４４０ 液体吐出ユニット（吐出ユニット）
５００ 印刷装置（液体を吐出する装置）
５５０ ヘッドユニット（吐出ユニット）
１１ ノズル
２０ 流路板
２１ 圧力室
３０ 振動板部材
３０Ａ 第１層
３０Ｂ 第２層
３５ 貫通穴
３５Ａ 第１開口
３５Ｂ 第２開口
３０ａ 周辺部
４０ 圧電アクチュエータ
５０ 共通流路部材
５６ 共通流路
１００ 液体吐出ヘッド
４０３ キャリッジ
４４０ 液体吐出ユニット（吐出ユニット）
５００ 印刷装置（液体を吐出する装置）
５５０ ヘッドユニット（吐出ユニット）
Claims (7)
- 少なくとも第１層及び第２層を含み、位置決め用の貫通穴が設けられた薄膜部材を備え、
前記第１層には前記貫通穴を構成する第１開口が設けられ、
前記第２層には前記貫通穴を構成する前記第１開口よりも大きい第２開口が設けられ、
前記第１層の前記第１開口の周辺部が前記第２層の前記第２開口の壁面に密着した状態に変形している
ことを特徴とする液体吐出ヘッド。 - 前記第１層には、前記第１開口の周囲に、前記貫通穴の径方向に沿う切込み部が設けられている
ことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。 - 前記第１層の厚さは、前記第２層の厚さよりも薄い
ことを特徴とする請求項１又は２に記載の液体吐出ヘッド。 - 前記第１層の前記第１開口の周辺部が前記第２層の前記第２開口内に変形しており、
前記変形した部分は前記第２層の前記第１層側とは反対側に突き出していない
ことを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。 - 前記薄膜部材は、液体を吐出するノズルに通じる圧力室の壁面を形成する振動領域を有する振動板部材であり、
前記第１層が前記振動領域を形成している
ことを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。 - 請求項１ないし５のいずれかに記載の液体吐出ヘッドを備えている
ことを特徴とする吐出ユニット。 - 請求項１ないし５のいずれかに記載の液体吐出ヘッド、又は、請求項６に記載の吐出ユニットを備えている
ことを特徴とする液体を吐出する装置。
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