JP7380066B2 - 液体吐出ヘッド、吐出ユニット、液体を吐出する装置 - Google Patents

Description

本発明は液体吐出ヘッド、吐出ユニット、液体を吐出する装置に関する。

液体を吐出する液体吐出ヘッドにおいては、液体の吐出に伴って生じる残留振動によって吐出特性が変動する。

従来、圧力室に通じる個別の供給流路と循環流路の双方が対向する部位にそれぞれ薄膜部が形成されると共に、各薄膜部間には空間部が形成されているヘッドが知られている（特許文献１）。

特開２０１７－０７７６４３号公報

しかしながら、特許文献１に開示の構成にあっては、圧力室に通じる個別の流路に薄膜部を設けて空間部を共用している。そのため、ヘッドを大型化することなく、薄膜部の面積が大きくすることができず、十分な振動減衰効果（圧力伝搬吸収効果）を得ることができない。その結果、吐出特性の変動を十分に低減できないという課題がある。

本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、吐出特性の変動を低減することを目的とする。

上記の課題を解決するため、本発明に係る液体吐出ヘッドは、
液体を吐出する複数のノズルと、
前記複数のノズルにそれぞれ通じる複数の圧力室と、
前記複数の圧力室に通じる共通供給流路と、
前記複数の圧力室に通じる共通回収流路と、を備え、
前記共通供給流路は、壁面の一部に変位可能な第１領域を有し、
前記共通回収流路は、壁面の一部に変位可能な第２領域を有し、
前記第１領域及び前記第２領域の流路側とは反対の面は共通の気体室に臨んでおり、
前記気体室は、ノズル面の面直方向において、前記圧力室に対して、前記複数のノズルと反対側に位置し、
前記共通供給流路と前記共通回収流路とは、前記複数のノズルのノズル配列方向と直交し、かつ、前記ノズル面の面直方向と直交する方向において、前記ノズルに対して、一方の同じ側に配置され、他方の側には配置されていない
構成とした。

本発明によれば、吐出特性の変動を低減することができる。

本発明の第１実施形態に係る液体吐出ヘッドのノズル配列方向と直交する方向に沿う断面説明図である。 図１のＡ－Ａ線に沿う断面説明図である。 比較例１に係る液体吐出ヘッドのノズル配列方向と直交する方向に沿う断面説明図である。 本発明の第２実施形態に係る液体吐出ヘッドのノズル配列方向と直交する方向に沿う断面説明図である。 本発明の第３実施形態に係る液体吐出ヘッドのノズル配列方向と直交する方向に沿う断面説明図である。 本発明に係る液体を吐出する装置の一例の概略説明図である。 同装置のヘッドユニットの一例の平面説明図である。 液体循環装置の一例のブロック説明図である。 本発明に係る液体を吐出する装置の他の例の要部平面説明図である。 同装置の要部側面説明図である。 本発明に係る吐出ユニットの他の例の要部平面説明図である。 本発明に係る吐出ユニットの更に他の例の正面説明図である。

以下、本発明の実施形態について添付図面を参照して説明する。本発明の第１実施形態について図１及び図２を参照して説明する。図１は同実施形態に係る液体吐出ヘッドのノズル配列方向と直交する方向（圧力室長手方向）に沿う断面説明図、図２は図１のＡ－Ａ線に沿う断面説明図である。

本実施形態の液体吐出ヘッド（以下、「ヘッド」という。）１００は、ノズル板１０と、個別流路部材である流路板２０と、壁面部材としての振動板部材３０とを積層接合している。そして、振動板部材３０の振動領域（振動板）３１を変位させる圧電アクチュエータ４０と、ヘッドのフレーム部材を兼ねている共通流路部材５０とを備えている。

ノズル板１０は、液体を吐出する複数のノズル１１を有している。

流路板２０は、複数のノズル１１にそれぞれノズル連通路２６を介して通じる複数の圧力室２１と、各圧力室２１にそれぞれ通じる流体抵抗部を兼ねる個別供給流路２２と、１又は２以上の個別供給流路２２に通じる液導入部となる中間供給流路２３を形成している。

流路板２０は、複数の圧力室２１に各々通じる複数の個別回収流路２４と、１又は２以上の個別回収流路２４に通じる液導出部となる１又は複数の中間回収流路２５とを形成している。

振動板部材３０は、流路板２０の圧力室２１の壁面を形成する変位可能な複数の振動領域（振動板）３１を有する。ここでは、振動板部材３０は２層構造（限定されない）とし、流路板２０側から薄肉部を形成する第１層３０Ａと、厚肉部を形成する第２層３０Ｂで構成されている。

そして、振動板部材３０の振動領域３１の圧力室２１とは反対側に、振動板部材３０の振動領域３１を変形させる駆動手段（アクチュエータ手段、圧力発生手段）としての電気機械変換素子を含む圧電アクチュエータ４０を配置している。

この圧電アクチュエータ４０は、ベース部材４４上に接合した圧電部材にハーフカットダイシングによって溝加工をして、ノズル配列方向において、所要数の柱状の圧電素子４２を所定の間隔で櫛歯状に形成している。そして、圧電素子４２は、振動板部材３０の振動領域３１に形成した厚肉部である凸部３１ａに接合している。

この圧電素子４２は、圧電層と内部電極とを交互に積層したものであり、内部電極がそれぞれ端面に引き出されて外部電極（端面電極）に接続され、外部電極にフレキシブル配線部材４５が接続されている。

共通流路部材５０は複数の圧力室２１に通じる共通供給流路５１を形成している。共通供給流路５１は、振動板部材３０に設けた開口部３２を介して中間供給流路２３に連通し、中間供給流路２３を介して個別供給流路２２に通じている。

共通流路部材５０は複数の圧力室２１に通じる共通回収流路５２を形成している。共通回収流路５２は、振動板部材３０に設けた開口部３３を介して中間回収流路２５に連通し、中間回収流路２５を介して個別回収流路２４に通じている。

共通流路部材５０には、共通供給流路５１に通じて外部から液体が供給される供給ポート７１と、共通回収流路に通じて外部から液体を回収される回収ポート７２とが設けられている。また、共通流路部材５０には、圧電アクチュエータ４０を挿入する溝部５８が設けられている。

このヘッド１００においては、例えば圧電素子４２に与える電圧を基準電位（中間電位）から下げることによって圧電素子４２が収縮し、振動領域３１が引かれて圧力室２１の容積が膨張することで、圧力室２１内に液体が流入する。

その後、圧電素子４２に印加する電圧を上げて圧電素子４２を積層方向に伸長させ、振動領域３１をノズル１１に向かう方向に変形させて圧力室２１の容積を収縮させることにより、圧力室２１内の液体が加圧され、ノズル１１から液体が吐出される。

次に、本実施形態における振動減衰構造について説明する。

共通供給流路５１は、壁面の一部に変位可能な第１領域６１を有している。共通回収流路５２は、壁面の一部に変位可能な第２領域６２を有している。第１領域６１の共通供給流路５１側とは反対の面、及び、第２領域６２の共通回収流路５２側とは反対の面は、いずれも共通の気体室である空気室６３に臨んでいる。

ここでは、圧力室２１の長手方向（ノズル配列方向と直交する方向）において、共通供給流路５１と共通回収流路５２とが並んで配置されている。そして、共通供給流路５１の一部は、共通回収流路５２側までノズル配列方向と直交する方向に延ばして、ノズル面（ノズル板１０）の面直方向において共通回収流路５２と重なる部分５１ａを形成している。

この共通供給流路５１の重なる部分５１ａに第１領域６１を設け、第１領域６１と空気室６３を介して対向する共通回収流路５２の部分に第２領域６２を設けている。

このように構成したので、圧力室２１内の液体を加圧してノズル１１から液体を吐出するときに生じる圧力波は、共通供給流路５１、共通回収流路５２に伝搬することで、第１領域６１、第２領域６２の変位によって減衰され、安定した吐出特性が得られる。

ここで、共通供給流路５１の一部を延ばしてノズル面の面直方向において共通回収流路５２と重なる部分５１ａを形成して、第１領域６１及び第２領域６２を配置し、共通の空気室６３に臨ませる構成としている。

これにより、共通供給流路５１のノズル配列方向と直交する方向の幅を大きくしても、ヘッド１００の幅を大型化することにならない。したがって、ヘッド１００の大型化を抑制しつつ、ダンパとなる第１領域６１及び第２領域６２の面積を大きくして、振動減衰効果を高めることができる。また、共通供給流路５１の流路体積も確保することができる。

ここで、比較例１について図３を参照して説明する。図３は同比較例１に係る液体吐出ヘッドのノズル配列方向と直交する方向（圧力室長手方向）に沿う断面説明図である。

この比較例１では、ノズル面の面直方向で重なる中間供給流路２３の壁面と個別回収流路２４の壁面にそれぞれ第１領域６１と第２領域６２を設けて、第１領域６１及び第２領域６２を共通の空気室６３に臨ませている。

この比較例１において、第１領域６１の面積を広くして減衰効果を高めるためには、共通供給流路５１のノズル配列方向と直交する方向の幅Ｗ２を広くしなければならない。しかしながら、共通供給流路５１の幅Ｗ２を広くすると、ヘッド１００の幅が広くなってヘッドが大型化する。

そのため、ヘッド１００の幅が同じであれば、第１領域６１の幅が相対的に狭くなり、振動減衰効果を十分に得られなくなる。

これに対し、本実施形態によれば、前述したように、ヘッド１００の大型化を抑制しつつ、振動減衰効果を高めることができる。

次に、本発明の第２実施形態について図４を参照して説明する。図４は同実施形態に係る液体吐出ヘッドのノズル配列方向と直交する方向（圧力室長手方向）に沿う断面説明図である。

共通流路部材５０は、複数枚の板状部材５０Ａ～５０Ｅを積層して構成している。複数枚の板状部材５０Ａ～５０Ｅは、例えば拡散接合で接合されている。

ここでは、板状部材５０Ｂで第２領域６２を形成し、板状部材５０Ｄで第１領域６１を形成して、板状部材５０Ｃで空気室６３を形成している。また、板状部材５０Ａは、共通供給流路５１、共通回収流路５２の一部となる貫通部を有し、板状部材５０Ｂ～５０Ｄは、共通供給流路５１の一部となる貫通部も有している。板状部材５０Ｅは、重なる部分５１ａを含む共通供給流路５１を形成する凹部を有している。

このように、共通流路部材５０は複数枚の板状部材５０Ａ～５０Ｅを積層して構成することで、第１領域６１と、第２領域６２と、共通の空気室６３を容易に構成することができる。

次に、本発明の第３実施形態について図５を参照して説明する。図５は同実施形態に係る液体吐出ヘッドのノズル配列方向と直交する方向（圧力室長手方向）に沿う断面説明図である。

ここでは、圧力室２１の長手方向（ノズル配列方向と直交する方向）において、共通供給流路５１と共通回収流路５２とが並んで配置されている。そして、共通回収流路５２の一部は、共通供給流路５１側までノズル配列方向と直交する方向に延ばして、ノズル面（ノズル板１０）の面直方向において共通供給流路５１と重なる部分５２ａを形成している。

この共通回収流路５２の重なる部分５２ａに第２領域６２を設け、第２領域６２と空気室６３を介して対向する共通供給流路５１の部分に第１領域６１を設けている。

そして、共通流路部材５０には、共通流路部材５０に設けた圧電アクチュエータ４０を配置する溝部５８内に空気室６３を通じる大気連通路６４を設けている。

このように、空気室６３を大気に連通することで空気室６３内の空気のコンプライアンス分を考慮する必要がなくなり、大きな圧力伝搬吸収効果（減衰効果）を得ることができる。

そして、空気室６３をヘッド１００のフレームを構成している共通流路５０の外面でなく、内側の溝部５８に通じる大気連通路６４を設けることで、空気室６３内への液体の侵入を防止できる。

この場合、共通流路部材５０に設けた圧電アクチュエータ４０を配置する溝部５８に近い共通供給流路５１側に空気室６３を配置しているので、溝部５８への大気連通路６４の這い回しが容易になる。つまり、第１実施形態のように、溝部５８に遠い共通回収流路５１側に空気室６３を配置すると、溝部５８に通じるためにはノズル配列方向の端部に大気連通路６４を這い回す必要があり、距離が長くなる。

次に、本発明に係る液体を吐出する装置の一例について図６及び図７を参照して説明する。図６は同装置の概略説明図、図７は同装置のヘッドユニットの一例の平面説明図である。

この液体を吐出する装置である印刷装置５００は、連続体５１０を搬入する搬入手段５０１と、搬入手段５０１から搬入された連帳紙、シート材などの連続体５１０を印刷手段５０５に案内搬送する案内搬送手段５０３と、連続体５１０に対して液体を吐出して画像を形成する印刷を行う印刷手段５０５と、連続体５１０を乾燥する乾燥手段５０７と、連続体５１０を搬出する搬出手段５０９などを備えている。

連続体５１０は搬入手段５０１の元巻きローラ５１１から送り出され、搬入手段５０１、案内搬送手段５０３、乾燥手段５０７、搬出手段５０９の各ローラによって案内、搬送されて、搬出手段５０９の巻取りローラ５９１にて巻き取られる。

この連続体５１０は、印刷手段５０５において、搬送ガイド部材５５９上を吐出ユニット５５０及び吐出ユニット５５５に対向して搬送され、吐出ユニット５５０から吐出される液体によって画像が形成され、吐出ユニット５５５から吐出される処理液で後処理が行われる。

ここで、吐出ユニット５５０には、例えば、搬送方向上流側から、４色分のフルライン型ヘッドアレイ５５１Ａ、５５１Ｂ、５５１Ｃ、５５１Ｄ（以下、色の区別しないときは「ヘッドアレイ５５１」という。）が配置されている。

各ヘッドアレイ５５１は、液体吐出手段であり、それぞれ、搬送される連続体５１０に対してブラックＫ，シアンＣ、マゼンタＭ、イエローＹの液体を吐出する。なお、色の種類及び数はこれに限るものではない。

ヘッドアレイ５５１は、例えば、本発明に係る液体吐出ヘッド１００をベース部材５５２上に千鳥状に並べて配置したものであるが、これに限らない。

次に、液体循環装置の一例について図８を参照して説明する。図８は同循環装置のブロック説明図である。なお、ここでは１つのヘッドのみ図示しているが、複数のヘッドを配列する場合には、マニホールドなどを介して複数のヘッドの供給側、回収側にそれぞれ供給側液体経路、回収側液体経路を接続することになる。

液体循環装置６００は、供給タンク６０１、回収タンク６０２、メインタンク６０３、第１送液ポンプ６０４、第２送液ポンプ６０５、コンプレッサ６１１、レギュレータ６１２、真空ポンプ６２１、レギュレータ６２２、供給側圧力センサ６３１、回収側圧力センサ６３２などで構成されている。

ここで、コンプレッサ６１１及び真空ポンプ６２１は、供給タンク６０１内の圧力と回収タンク６０２内の圧力とに差圧を生じさせる手段を構成している。

供給側圧力センサ６３１は、供給タンク６０１とヘッド１００との間であって、ヘッド１００の供給ポート７１に繋がった供給側液体経路に接続されている。回収側圧力センサ６３２は、ヘッド１と回収タンク６０２との間であって、ヘッド１００の回収ポート７２に繋がった回収側液体経路に接続されている。

回収タンク６０２の一方は、第１送液ポンプ６０４を介して供給タンク６０１と接続されており、回収タンク６０２の他方は第２送液ポンプ６０５を介してメインタンク６０３と接続されている。

これにより、供給タンク６０１から供給ポート７１を通ってヘッド１００内に液体が流入し、回収ポート７２から回収タンク６０２へ回収され、第１送液ポンプ６０４によって回収タンク６０２から供給タンク６０１へ液体が送られることによって、液体が循環する循環経路が構成される。

ここで、供給タンク６０１にはコンプレッサ６１１がつなげられており、供給側圧力センサ６３１で所定の正圧が検知されるように制御される。一方、回収タンク６０２には真空ポンプ６２１がつなげられており、回収側圧力センサ６３２で所定の負圧が検知されるよう制御される。

これにより、ヘッド１００内を通って液体を循環させつつ、メニスカスの負圧を一定に保つことができる。

また、ヘッド１００のノズル１１から液体を吐出すると、供給タンク６０１及び回収タンク６０２内の液体量が減少していく。そのため、適宜、第２送液ポンプ６０５を用いて、メインタンク６０３から回収タンク６０２に液体を補充する。

なお、メインタンク６０３から回収タンク６０２への液体補充のタイミングは、回収タンク６０２内の液体の液面高さが所定高さよりも下がったときに液体補充を行うなど、回収タンク６０２内に設けた液面センサなどの検知結果によって制御することができる。

次に、本発明に係る液体を吐出する装置としての印刷装置の他の例について図９及び図１０を参照して説明する。図９は同装置の要部平面説明図、図１０は同装置の要部側面説明図である。

この印刷装置５００は、シリアル型装置であり、主走査移動機構４９３によって、キャリッジ４０３は主走査方向に往復移動する。主走査移動機構４９３は、ガイド部材４０１、主走査モータ４０５、タイミングベルト４０８等を含む。ガイド部材４０１は、左右の側板４９１Ａ、４９１Ｂに架け渡されてキャリッジ４０３を移動可能に保持している。そして、主走査モータ４０５によって、駆動プーリ４０６と従動プーリ４０７間に架け渡したタイミングベルト４０８を介して、キャリッジ４０３は主走査方向に往復移動される。

このキャリッジ４０３には、本発明に係る液体吐出ヘッド１００及びヘッドタンク４４１を一体にした吐出ユニット４４０を搭載している。吐出ユニット４４０の液体吐出ヘッド１００は、例えば、イエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、ブラック（Ｋ）の各色の液体を吐出する。また、液体吐出ヘッド１００は、複数のノズルからなるノズル列を主走査方向と直交する副走査方向に配置し、吐出方向を下方に向けて装着している。

液体吐出ヘッド１００は、前述した液体循環装置６００と接続されて、所要の色の液体が循環供給される。

この印刷装置５００は、用紙４１０を搬送するための搬送機構４９５を備えている。搬送機構４９５は、搬送手段である搬送ベルト４１２、搬送ベルト４１２を駆動するための副走査モータ４１６を含む。

搬送ベルト４１２は用紙４１０を吸着して液体吐出ヘッド１００に対向する位置で搬送する。この搬送ベルト４１２は、無端状ベルトであり、搬送ローラ４１３と、テンションローラ４１４との間に掛け渡されている。吸着は静電吸着、あるいは、エアー吸引などで行うことができる。

そして、搬送ベルト４１２は、副走査モータ４１６によってタイミングベルト４１７及びタイミングプーリ４１８を介して搬送ローラ４１３が回転駆動されることによって、副走査方向に周回移動する。

さらに、キャリッジ４０３の主走査方向の一方側には搬送ベルト４１２の側方に液体吐出ヘッド１００の維持回復を行う維持回復機構４２０が配置されている。

維持回復機構４２０は、例えば液体吐出ヘッド１００のノズル面（ノズルが形成された面）をキャッピングするキャップ部材４２１、ノズル面を払拭するワイパ部材４２２などで構成されている。

主走査移動機構４９３、維持回復機構４２０、搬送機構４９５は、側板４９１Ａ，４９１Ｂ、背板４９１Ｃを含む筐体に取り付けられている。

このように構成したこの印刷装置５００においては、用紙４１０が搬送ベルト４１２上に給紙されて吸着され、搬送ベルト４１２の周回移動によって用紙４１０が副走査方向に搬送される。

そこで、キャリッジ４０３を主走査方向に移動させながら画像信号に応じて液体吐出ヘッド１００を駆動することにより、停止している用紙４１０に液体を吐出して画像を形成
する。

次に、本発明に係る吐出ユニットの他の例について図１１を参照して説明する。図１１は同ユニットの要部平面説明図である。

この吐出ユニット４４０、前記液体を吐出する装置を構成している部材のうち、側板４９１Ａ、４９１Ｂ及び背板４９１Ｃで構成される筐体部分と、主走査移動機構４９３と、キャリッジ４０３と、液体吐出ヘッド１００で構成されている。

なお、この吐出ユニット４４０の例えば側板４９１Ｂに、前述した維持回復機構４２０を更に取り付けた吐出ユニットを構成することもできる。

次に、本発明に係る吐出ユニットの更に他の例について図１２を参照して説明する。図１２は同ユニットの正面説明図である。

この吐出ユニット４４０は、流路部品４４４が取付けられた液体吐出ヘッド１００と、流路部品４４４に接続されたチューブ４５６で構成されている。

なお、流路部品４４４はカバー４４２の内部に配置されている。流路部品４４４に代えてヘッドタンク４４１を含むこともできる。また、流路部品４４４の上部には液体吐出ヘッド１００と電気的接続を行うコネクタ４４３が設けられている。

本願において、吐出される液体は、ヘッドから吐出可能な粘度や表面張力を有するものであればよく、特に限定されないが、常温、常圧下において、または加熱、冷却により粘度が３０ｍＰａ・ｓ以下となるものであることが好ましい。より具体的には、水や有機溶媒等の溶媒、染料や顔料等の着色剤、重合性化合物、樹脂、界面活性剤等の機能性付与材料、ＤＮＡ、アミノ酸やたんぱく質、カルシウム等の生体適合材料、天然色素等の可食材料、などを含む溶液、懸濁液、エマルジョンなどであり、これらは例えば、インクジェット用インク、表面処理液、電子素子や発光素子の構成要素や電子回路レジストパターンの形成用液、３次元造形用材料液等の用途で用いることができる。

液体を吐出するエネルギー発生源として、圧電アクチュエータ（積層型圧電素子及び薄膜型圧電素子）、発熱抵抗体などの電気熱変換素子を用いるサーマルアクチュエータ、振動板と対向電極からなる静電アクチュエータなどを使用するものが含まれる。

「吐出ユニット」は、液体吐出ヘッドに機能部品、機構が一体化したものであり、液体の吐出に関連する部品の集合体が含まれる。例えば、「吐出ユニット」は、ヘッドタンク、キャリッジ、供給機構、維持回復機構、主走査移動機構、液体循環装置の構成の少なくとも一つを液体吐出ヘッドと組み合わせたものなどが含まれる。

ここで、一体化とは、例えば、液体吐出ヘッドと機能部品、機構が、締結、接着、係合などで互いに固定されているもの、一方が他方に対して移動可能に保持されているものを含む。また、液体吐出ヘッドと、機能部品、機構が互いに着脱可能に構成されていても良い。

例えば、吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドとヘッドタンクが一体化されているものがある。また、チューブなどで互いに接続されて、液体吐出ヘッドとヘッドタンクが一体化されているものがある。ここで、これらの吐出ユニットのヘッドタンクと液体吐出ヘッドとの間にフィルタを含むユニットを追加することもできる。

また、吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドとキャリッジが一体化されているものがある。

また、吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドを走査移動機構の一部を構成するガイド部材に移動可能に保持させて、液体吐出ヘッドと走査移動機構が一体化されているものがある。また、液体吐出ヘッドとキャリッジと主走査移動機構が一体化されているものがある。

また、吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドが取り付けられたキャリッジに、維持回復機構の一部であるキャップ部材を固定させて、液体吐出ヘッドとキャリッジと維持回復機構が一体化されているものがある。

また、吐出ユニットとして、ヘッドタンク若しくは流路部品が取付けられた液体吐出ヘッドにチューブが接続されて、液体吐出ヘッドと供給機構が一体化されているものがある。このチューブを介して、液体貯留源の液体が液体吐出ヘッドに供給される。

主走査移動機構は、ガイド部材単体も含むものとする。また、供給機構は、チューブ単体、装填部単体も含むものする。

「液体を吐出する装置」には、液体吐出ヘッド又は吐出ユニットを備え、液体吐出ヘッドを駆動させて液体を吐出させる装置が含まれる。液体を吐出する装置には、液体が付着可能なものに対して液体を吐出することが可能な装置だけでなく、液体を 気中や液中に向けて吐出する装置も含まれる。

この「液体を吐出する装置」は、液体が付着可能なものの給送、搬送、排紙に係わる手段、その他、前処理装置、後処理装置なども含むことができる。

例えば、「液体を吐出する装置」として、インクを吐出させて用紙に画像を形成する装置である画像形成装置、立体造形物（三次元造形物）を造形するために、粉体を層状に形成した粉体層に造形液を吐出させる立体造形装置（三次元造形装置）がある。

また、「液体を吐出する装置」は、吐出された液体によって文字、図形等の有意な画像が可視化されるものに限定されるものではない。例えば、それ自体意味を持たないパターン等を形成するもの、三次元像を造形するものも含まれる。

上記「液体が付着可能なもの」とは、液体が少なくとも一時的に付着可能なものであって、付着して固着するもの、付着して浸透するものなどを意味する。具体例としては、用紙、記録紙、記録用紙、フィルム、布などの被記録媒体、電子基板、圧電素子などの電子部品、粉体層（粉末層）、臓器モデル、検査用セルなどの媒体であり、特に限定しない限り、液体が付着するすべてのものが含まれる。

上記「液体が付着可能なもの」の材質は、紙、糸、繊維、布帛、皮革、金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックスなど液体が一時的でも付着可能であればよい。

また、「液体を吐出する装置」は、液体吐出ヘッドと液体が付着可能なものとが相対的に移動する装置があるが、これに限定するものではない。具体例としては、液体吐出ヘッドを移動させるシリアル型装置、液体吐出ヘッドを移動させないライン型装置などが含まれる。

また、「液体を吐出する装置」としては、他にも、用紙の表面を改質するなどの目的で用紙の表面に処理液を塗布するために処理液を用紙に吐出する処理液塗布装置、原材料を溶液中に分散した組成液を、ノズルを介して噴射させて原材料の微粒子を造粒する噴射造粒装置などがある。

なお、本願の用語における、画像形成、記録、印字、印写、印刷、造形等はいずれも同義語とする。

１０ ノズル板
１１ ノズル
２０ 流路板
２１ 圧力室
２２ 個別供給流路
２４ 個別回収流路
３０ 振動板部材
４０ 圧電アクチュエータ
５０ 共通流路部材
５１ 共通供給流路
５２ 共通回収流路
６１ 第１領域
６２ 第２領域
６３ 空気室
６４ 大気連通路
１００ 液体吐出ヘッド
４０３ キャリッジ
４４０ 吐出ユニット
５００ 印刷装置（液体を吐出する装置）
５５０ ヘッドユニット
６００ 液体循環装置

Claims (7)

1. 液体を吐出する複数のノズルと、
   前記複数のノズルにそれぞれ通じる複数の圧力室と、
   前記複数の圧力室に通じる共通供給流路と、
   前記複数の圧力室に通じる共通回収流路と、を備え、
   前記共通供給流路は、壁面の一部に変位可能な第１領域を有し、
   前記共通回収流路は、壁面の一部に変位可能な第２領域を有し、
   前記第１領域及び前記第２領域の流路側とは反対の面は共通の気体室に臨んでおり、
   前記気体室は、ノズル面の面直方向において、前記圧力室に対して、前記複数のノズルと反対側に位置し、
   前記共通供給流路と前記共通回収流路とは、前記複数のノズルのノズル配列方向と直交し、かつ、前記ノズル面の面直方向と直交する方向において、前記ノズルに対して、一方の同じ側に配置され、他方の側には配置されていない
   ことを特徴とする液体吐出ヘッド。
2. 前記共通供給流路と前記共通回収流路とは、ノズル面の面直方向において一部が重なる部分があり、
   前記重なる部分の壁面に前記第１領域及び前記第２領域がそれぞれ配置されている
   ことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
3. 前記共通供給流路の前記重なる部分は、ノズル面の面直方向において、前記共通回収流路の前記重なる部分に対して、前記ノズル面と反対側に位置する
   ことを特徴とする請求項２に記載の液体吐出ヘッド。
4. 前記共通回収流路の前記重なる部分は、ノズル面に面直方向において、前記共通供給流路の前記重なる部分に対して前記ノズル面と反対側に位置する
   ことを特徴とする請求項２に記載の液体吐出ヘッド。
5. 前記気体室を大気に通じる大気連通路を有する
   ことを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
6. 請求項１ないし５のいずれかに記載の液体吐出ヘッドを含むことを特徴とする吐出ユニット。
7. 請求項１ないし５のいずれかに記載の液体吐出ヘッド、又は、請求項６に記載の吐出ユニットを備えている
   ことを特徴とする液体を吐出する装置。

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