JP7467919B2 - 光変調器とそれを用いた光送信装置 - Google Patents
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Description
(1) 基板に光導波路と該光導波路を伝搬する光波を制御する制御電極とを備えた光変調素子を有し、該光変調素子を筐体内に接着剤で固定した光変調器において、該基板の厚みが10μm以下であり、該制御電極は信号電極と接地電極を備え、該接地電極の上面には該上面から突出するように設けられた突出部が形成され、該突出部は、平面視した1つの面積が10000μm 2 以上であり、接地電極の側辺から少なくとも50μm以上離して配置され、さらに、該信号電極と該突出部との間隔は100μm以上に設定され、該突出部の上面は、該信号電極の上面よりも高い場所に位置し、該光変調素子を該筐体内に固定する際に押圧部材が該突出部に接触可能に構成することを特徴とする。
本発明の光変調器は、図1及び図2に示すように、基板に光導波路と該光導波路を伝搬する光波を制御する制御電極とを備えた光変調素子を有し、該光変調素子を筐体内に固定した光変調器において、該基板の厚みが10μm以下であり、該制御電極は信号電極と接地電極を備え、該接地電極の上面には該上面から突出するように設けられた突出部が形成され、該突出部の上面は、該信号電極の上面よりも高い場所に位置することを特徴とする。なお、図2は、図1の一点鎖線X-X’における断面図である。
図2に示すように、補強板を備えた光変調素子(チップ)は、さらに、筐体内の底面に塗布された接着剤により接着・固定され、筐体内に接合されている。
なお、突出部は押圧力を広く接地電極に分散する観点から硬度が接地電極よりも高くなるよう設定することがより好ましい。
Claims (7)
- 基板に光導波路と該光導波路を伝搬する光波を制御する制御電極とを備えた光変調素子を有し、該光変調素子を筐体内に接着剤で固定した光変調器において、
該基板の厚みが10μm以下であり、
該制御電極は信号電極と接地電極を備え、
該接地電極の上面には該上面から突出するように設けられた突出部が形成され、
該突出部は、平面視した1つの面積が10000μm 2 以上であり、接地電極の側辺から少なくとも50μm以上離して配置され、さらに、該信号電極と該突出部との間隔は100μm以上に設定され、
該突出部の上面は、該信号電極の上面よりも高い場所に位置し、該光変調素子を該筐体内に固定する際に押圧部材が該突出部に接触可能に構成することを特徴とする光変調器。 - 請求項1に記載の光変調器において、該基板は平面視した形状が長方形であり、該突出部の一部は、該基板の長辺に沿って少なくとも2か所以上に設けられていることを特徴とする光変調器。
- 請求項1又は2に記載の光変調器において、該突出部が複数配置され、各突出部の上面の位置は、同じ高さになるように設定されていることを特徴とする光変調器。
- 請求項1乃至3のいずれかに記載の光変調器において、該光導波路は、折り返し型の光導波路部分を備え、該突出部の一部は、該光導波路部分で折り返される前後の光導波路の間に設けられることを特徴とする光変調器。
- 請求項1乃至4のいずれかに記載の光変調器において、該信号電極の端部に電極パッドを備え、該電極パッドと該突出部との間隔は100μm以上に設定されていることを特徴とする光変調器。
- 請求項1乃至5のいずれかに記載の光変調器において、該光変調素子の該光導波路に光学的に結合する光ファイバとを備えたことを特徴する光変調器。
- 請求項1乃至6のいずれかに記載の光変調器と、該光変調素子の該制御電極に電気信号を入力する電子回路とを備えることを特徴とする光送信装置。
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